WO2008053923A1

WO2008053923A1 - Produit moulé et procédé de production de celui-ci

Info

Publication number: WO2008053923A1
Application number: PCT/JP2007/071234
Authority: WO
Inventors: Shunsuke Chatani; Toshiaki Hattori
Original assignee: Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
Priority date: 2006-10-31
Filing date: 2007-10-31
Publication date: 2008-05-08
Also published as: KR101245953B1; US8174765B2; CN101915950B; US20100091371A1; EP2078969A4; KR20120091245A; TWI360669B; KR101178627B1; CN101523245A; TW200831954A; EP2078969A1; CN101523245B; CN101915950A; EP2078969B1; KR20090052387A

Description

明細書

成形体及びその製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、回折、偏光、拡散等の光学特性を有する光学物品として使用される光学フィルム等の成形体及びその製造方法に関する。背景技術

[0002] 高分子材料は、選択できる材料の種類が豊富で多様な機能を付与できるため、近年、高分子材料を光学用途へ適用しょうとする試みが盛んになされている。例えば、一次元あるいは二次元の微細構造が形成された高分子材料の成形体は、光制御素子や光回折素子として利用することが考えられる。

[0003] このような成形体として、高分子材料のマトリックス中に、このマトリックスと屈折率の異なる多数の構造体が同一方向に配向された相分離構造を有する高分子フィルムが知られている（特許文献 1、 2参照）。このような相分離構造を有する高分子フィルムは、光が構造体の軸線方向と平行に入射すると、上記構造体の配置に起因して回折スポットを与える。したがって、このような高分子フィルムは、入射光を特定の位置に所定の強度で回折させる光回折素子として利用することができる。

[0004] 特許文献 1には、このような構造を有するフィルムとその作製方法が記載されて!/、る。特許文献 1では、フィルムは、一定の膜厚の光重合性組成物に所定の角度から線状光源の光を照射させて重合させることにより作製される。このようにして作製されたフィルムは、特定の入射角をなす入射光を選択的に回折する。

[0005] また、特許文献 2には、海島相分離構造をもつフィルムが記載されており、このフィルムでは、柱状の島構造が、海構造の中で膜厚方向に延びて形成されている。このフィルムの作製方法では、まず光重合性組成物を塗布面上に均一厚さに塗布し、その表面をマスクで覆う。このマスクには、島構造を形成するための多数の穿孔力 Sランダムにパターユングされている。次いで、このマスクを介して光重合性組成物の表面に紫外光を照射して、島構造をなす柱状体を形成する。そして、柱状体を形成した後、マスクを取り除いてさらに紫外線を照射し、海構造部分を硬化させる。これによりフィルムが作製される。

[0006] 特許文献 1：特開平 3— 284702号公報

特許文献 2：特開平 11 287906号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] しかしながら、特許文献 1に記載のフィルムは、その内部に互いに平行な短冊状の相分離構造を有するものであるため、入射角によって光線透過率を変化させる光制御素子としては機能するものの、光回折素子としては一次元の低い規則性しかなぐ入射光を高い効率で回折したり、急峻な角度スペクトルを示す回折スポットを与えたりするものではなかった。

[0008] また、特許文献 2に記載のフィルムは、島構造の配置に規則性がなぐ光を散乱透過させるものであるため、鋭い回折点を与えるものではな力、つた。

[0009] また、開口を通過した光は、回折により拡がりを持つことが知られている。半径 aの円形開口に波長 λの平面波が入射する場合、回折後の像面での強度 Iは、像面が開口力、ら距離 L離れており、像面での中心からの距離を rとすると以下の式で求められる。

I= aY[2J (R) /R]² - - - (l)

1

(R= 2 w ar/ U

また、像面で回折光強度が最初に極小値を示す距離 r は、 J (R)の最初の零点、 mm 1

すなわち R = 3. 83のときの rとして求められる。全光量のうち、約 84%のエネルギー力 r を半径とする円内に集中することが知られており、 r は円形開口からの回折 mm mm

光の拡がりの目安となる。

[0010] 例えば、波長 365nmの光が & = 1 111の円形開口を通過する場合、し=45 111で r

= 5 111となる。これはすなわち、半径 1 mの円形開口を通過した光は、 45 m mm

進行すると半径 5 mの円にボケるということを示している。つまり、フォトマスクを介した照射のみでアスペクト比の高い半径 1 μ mの柱状構造体を形成させることは困難である。特許文献 2ではフォトマスクを使用して島構造を形成させる例が示されているが、光の回折を考慮しておらず、高いアスペクト比の柱状構造体は形成できないと考えられる。すなわち、特許文献 2に記載の方法では、光を所定のパターンに、高い回折効率で回折させるフィルムは作製できなレ、。

[0011] 以上のように、従来、高い回折効率で鋭い回折スポットを与える高分子フィルムは、光重合によって作製することはできなかった。したがって、光を所定のパターンに高い回折効率で回折する光回折板が必要とされる光学的ローパスフィルタ一等に、上記高分子フィルムを使用することができなかった。

[0012] 本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、光重合性組成物を光重合させることによって形成された相分離構造を有する成形体であって、高い回折効率で鋭い回折スポットを与える成形体及びその製造方法を提供することを目的とする。また、上記成形体を用いた光学的ローパスフィルタ一等を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0013] 本発明は、マトリックスと、該マトリックス中に配設され該マトリックスと屈折率が異なる複数の柱状構造体と、を備えた相分離構造を有する成形体であって、標準正規分布の強度分布を有し且つ強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光線を照射したときに得られる角度スペクトルにおいて、回折スポットの半値幅が 0. 6° 以下であり、且つ、回折効率が 10%以上であることを特徴とする。

[0014] 本発明の好ましい態様によれば、前記複数の柱状構造体は、略同一方向に配向され、且つ、該配向方向と垂直な面において規則的な格子状に配置される。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記複数の柱状構造体は、前記配向方向と垂直な断面形状が略同一である。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記柱状構造体は、アスペクト比が 10以上である。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記マトリックス及び前記柱状構造体は、ァクリル系光重合性組成物の硬化体からなる。

[0015] また、本発明の光学積層体は、上記成形体と、この成形体に貼り合わされた光学的に透明なフィルムと、を備えたことを特徴とする。

また、本発明の光学積層体は、上記成形体と、この成形体を支持するようにこの成形体と一体に形成されたガラス基板と、を備えたことを特徴とする。

さらに、本発明の光学的ローパスフィルタ一は、上記光学積層体を用いたことを特徴とする。

さらに、本発明の撮像光学系は、固定撮像素子と、この固定撮像素子の受光面にギャップ層を介して配置された上記光学的ローパスフィルターと、を備えたことを特徴とする。

[0016] また、本発明は、光重合性組成物からなるマトリックスと、該マトリックス中に配設され該マトリックスと屈折率が異なる複数の柱状構造体と、を備えた相分離構造を有する成形体の製造方法であって、光硬化性モノマー又はオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を成形型に注入する工程と、前記成形型と光源との間に、光通過域と光不通過域とを有するフォトマスクを配置する工程と、前記光源から、波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定の平行光を、前記フォトマスクを通して前記成形型内の光重合性組成物に向けて照射して、前記光重合性組成物のうち平行光が照射された部位を、未完全な硬化状態に硬化させる第 1の光照射ェ程と、前記フォトマスクを取り外して、更に波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定の平行光を前記成形型内の光重合性組成物に向けて照射して、前記光重合性組成物の硬化を完了させる第 2の光照射工程と、を備えたことを特徴とする

〇

[0017] このように、本発明では、成形型に充填された光重合性組成物に対して、フォトマスクを介して平行光を照射する第 1の光照射工程と、これに引き続いてフォトマスクを取り外して平行光を照射する第 2の光照射工程と、を有する。

第 1の光照射ステップでは、平行光が照射された光重合性組成物を、光重合によつて完全には硬化させず、好ましくは、硬化度 10%〜80%に硬化させて、柱状構造体の形成位置を定めるのみである。

[0018] これは、第 1の光照射ステップでは、フォトマスクの光通過域を通過した平行光の回折による広がりによって、本来、このステップで光照射する必要のないマトリックスの一部にも光が届いてしまい、次の第 2の光照射ステップで全体に平行光を照射しても、マトリックスと柱状構造体との間に有意な屈折率差が生じなくなるからである。このため、本発明では、第 2の光照射ステップにおいて、光重合性組成物のうち、柱状構造体以外のマトリックスと、柱状構造体とがある程度の硬度差にある未完全な硬化状態で、全体に平行光を照射して、全体の硬化を完了させている。

[0019] このように光重合性組成物に平行光を照射することにより、柱状構造体の重合自己促進効果によるマトリックスとの架橋密度差と、柱状構造体とマトリックスとの間での反応拡散による組成分布により、両者間に有意な屈折率差を与え、また、製造工程時における平行光の照射方向に延びるアスペクト比の高い柱状構造体，及び明瞭な相分離構造を形成することができる。

[0020] また、本発明の好ましい態様によれば、前記フォトマスクは、前記光不通過域に多数の前記光通過域が規則的な格子状に配置される。これにより、製造される成形体に、規則的な柱状構造体を形成し、半値幅が狭ぐ鋭い回折スポットを与える成形体を製造すること力できる。

発明の効果

[0021] 本発明によれば、光重合性組成物を光重合させることによって形成された相分離構造を有する成形体であって、高い回折効率で鋭!、回折スポットを与える成形体及びその製造方法を提供することができる。その光学的特性から、上記成形体は光学的ローパスフィルタ一等に使用することができる。発明を実施するための最良の形態

[0022] 以下に、本発明の成形体をフィルム状の光回折素子に適用した実施形態について説明する。

図 1に示すように、成形体 1は、光重合性組成物からなる薄板状の基質であるマトリックス 2と、このマトリックス 2中に配設された光重合性組成物である柱状構造体 3と、を備えた相分離構造を有する。柱状構造体 3は、マトリックス 2と屈折率が異なっている。成形体 1は、厚さが略一定のフィルム状に成形されている。

本発明の成形体は、光学用途に使用される部材としては、一般的に使用されるフィルム形状が適している。し力、しながら、本発明の成形体は、その用途に応じて形状が適宜設定されるものであり、フィルム形状に限定することなぐ他の形状に形成してもよい。例えば、成形体は、その長さ方向において厚さが異なる形状であってもよい。 [0023] 各柱状構造体 3は、略同一形状を有し、その軸線が、フィルム形状の成形体 1の厚さ方向に延びるように、規則的な三角格子状に配置されている。詳しくは、柱状構造体 3は、断面形状が軸線方向に略一定である円柱形状であり、複数の柱状構造体 3 は、その軸線方向 Aが同一方向で略平行に配向され、且つ、軸線方向 Aと垂直な断面形状が略同一に設定されている。

柱状構造体 3は、その配向方向（軸線方向） Aが、成形体 1の厚さ方向 Bと略同一方向に設定されている力 S、これに限らず、方向 Aと方向 Bに所定の角度が設けられていてもよい。また、柱状構造体 3は、その断面形状が円形に設定されている力これに限らず、楕円形状，矩形状等であってもよい。

[0024] また、複数の柱状構造物 3は、配向方向 Aと垂直な面内において、規則的な三角格子状に配列されている力複数の柱状構造物 3は、所定のパターンに配置されていればよい。所定のパターンは、例えば、正方格子形状等の任意の格子形状であつてよい。

このように成形体 1は、マトリックス 2に屈折率が相違する多数の柱状構造体 3が規則的な格子形状に配列している。したがって、成形体 1に面方向から光が入射すると、柱状構造体 3の配列に起因して、成形体 1は回折スポットを与え、光回折素子として機能する。

[0025] 次に、成形体 1の製造方法について説明する。

成形体 1を製造するには、まず、成形型 10内に光重合性組成物 20を注入した後、照射光源 30と成形型 10との間にフォトマスク 40を配置する（図 2乃至図 6参照）。その後、フォトマスク 40を介して、照射光源 30から光を成形型 10内の光重合性組成物 20に向けて照射し、フォトマスク 40を取り除いて、さらに照射光源 30から光を成形型 10内の光重合性組成物 20に向けて照射する。これにより、光重合性組成物 20の光重合を完了させる。この光重合が完了した光重合性組成物 20を成形型 10から離型することにより、使用波長に対して透明な成形体 1を得ることができる。

[0026] (成形型）

図 2に基づいて、成形体 1の製造方法に用いる成形型 10について説明する。図 2 ( a)、（b)は、それぞれ光重合性組成物 20を充填する成形型 (セル） 10の平面図、断面図である。

成形型 10は、矩形状の空間部（凹部） 11aを有する本体部 11と、空間部 11aを覆うカバー部材 12と、を備える。成形型 10は、本体部 11をカバー部材 12で覆うことにより、内部に空間部 11aによって規定されるキヤビティが形成されるようになっている。後述するように、このキヤビティに、光重合性組成物 20が注入され、保持される。キヤビティに充填された光重合性組成物 20は、光重合させる際に重合が阻害されないよう、外部空気と接触しないことが望ましい。このため、成形型 10は、光重合性組成物 2 0を液密で封入可能となって!/、る。

[0027] 本体部 11の空間部 11aは、フィルム形状の成形体 1を形成するために、薄膜状又は薄板状の空間をなしている。し力、しながら、空間部 1 1aは、成形する成形体 1の形状に応じて種々の形状とすること力 Sできる。

カバー部材 12は、成形体 1の製造時に光照射側に配置されるため、照射光源の波長に対して光学的な吸収の少ない光透過性部材が用いられ、平均厚みは 150 ^ 111 である。光透過性部材は、具体的には、パイレックス（登録商標）ガラス，石英ガラス，フッ素化 (メタ）アクリル樹脂等の透明プラスチック材料等である。

[0028] 以下に、光重合性組成物 20に用いることができる材料について説明する。

(多官能モノマー）

光重合性組成物 20には、多官能モノマーが含まれることが好ましい。このような多官能モノマーとしては、（メタ）アタリロイル基を含む（メタ）アクリルモノマーや、ビュル基、ァリル基等を含有するものが特に好ましい。

[0029] 多官能モノマーの具体例としては、トリエチレングリコールジ（メタ）アタリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アタリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アタリレート、 1 , 4—ブタンジオールジ（メタ）アタリレート、 1 , 6—へキサンジオールジ（メタ）アタリレート、水添ジシクロペンタジェニルジ（メタ）アタリレート、エチレンオキサイド変性ビスフエノーノレ Aジ（メタ）アタリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アタリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アタリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アタリレート、ペンタエリスリトールへキサ（メタ）アタリレート、多官能のエポキシ（メタ）アタリレート、多官能のウレタン（メタ）アタリレート、ジビュルベンゼン、トリァリルシアヌレート、トリアリルイソシァヌレート、トリァリノレトリメリテート、ジァリルクロレンデート、 N, N，一 m フェニレンビスマレイミド、ジァリルフタレート等が挙げられ、これらを単独であるいは 2種以上の混合物として使用することができる。

[0030] 中でも、分子内に 3個以上の重合性炭素炭素二重結合を有する多官能性モノマ一は、重合度差による架橋密度の粗密がより大きくなりやすぐ上述の柱状構造体が形成されやすくなる。

特に好ましい 3個以上の重合性炭素炭素二重結合を有する多官能性モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アタリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アタリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アタリレート、ペンタエリスリトールへキサ (メタ）アタリレートがある。

[0031] 光重合性組成物 20として 2種以上の多官能モノマーあるいはそのオリゴマーを使用する場合には、それぞれの単独重合体としたときに互いに屈折率が異なるものを使用することが好ましぐその屈折率差が大きいものを組み合わせることがより好ましい。

回折、偏向、拡散などの機能を高効率で得られるようにする為には屈折率差を大きくとることが必要であり、その屈折率差が 0. 01以上であること力 S好ましく、 0. 05以上であることがより好ましい。また、重合過程でモノマーが拡散することにより屈折率差が大きくなるので、拡散定数の差が大きい組み合わせが好ましい。

[0032] なお、 3種以上の多官能モノマーあるいはオリゴマーを使用する場合は、それぞれの単独重合体の少なくともいずれか 2つの屈折率差が上記範囲内となるようにすればよい。また、単独重合体の屈折率差が最も大きい 2つのモノマーあるいはオリゴマ一は、高効率な回折、偏向、拡散などの機能を得る為に、重量比で 10 : 90〜90 : 10 の割合で用いることが好ましレ、。

[0033] (単官能モノマー）

また、光重合性組成物 20には、上記のような多官能モノマーあるいはオリゴマーとともに、分子内に 1個の重合性炭素炭素二重結合を有する単官能モノマーあるいはオリゴマーを使用してもよい。このような単官能モノマーあるいはオリゴマーとしては

、（メタ）アタリロイル基を含む（メタ）アクリルモノマーや、ビュル基、ァリル基等を含有するものが特に好ましい。

[0034] 単官能モノマーの具体例としては、例えば、メチル (メタ）アタリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アタリレート、ェチルカルビトール（メタ）アタリレート、ジシクロペンテ二ノレォキシェチル（メタ）アタリレート、イソボニル（メタ）アタリレート、フエ二ルカルビトール（メタ）アタリレート、ノユルフェノキシェチル（メタ）アタリレート、 2 ヒドロキシ一 3— フエノキシプロピル（メタ）アタリレート、（メタ）アタリロイルォキシェチルサクシネート、 ( メタ）アタリロイルォキシェチルフタレート、フエニル (メタ）アタリレート、シァノエチル (メタ）アタリレート、トリブロモフエニル（メタ）アタリレート、フエノキシェチル（メタ）アタリレート、トリブロモフエノキシェチル（メタ）アタリレート、ベンジル（メタ）アタリレート、 p— ブロモベンジル（メタ）アタリレート、 2—ェチルへキシル（メタ）アタリレート、ラウリル（メタ）アタリレート、トリフルォロェチル（メタ）アタリレート、 2, 2, 3, 3 テトラフルオロフ。口ピル（メタ）アタリレート等の（メタ）アタリレート化合物；スチレン、 p クロロスチレン、ビニノレアセテート、アタリロニトリノレ、 N ビニノレピロリドン、ビニノレナフタレン等のビニル化合物；エチレングリコールビスァリルカーボネート、ジァリルフタレート、ジァリルイソフタレート等のァリル化合物等が挙げられる。

[0035] これら単官能モノマーあるいはオリゴマーは成形体 1に柔軟性を付与するために用いられ、その使用量は多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち 10〜99 質量％の範囲が好ましぐ 10〜50質量％の範囲がより好ましい。

[0036] (ポリマー、低分子化合物）

また、光重合性組成物 20には、前記多官能モノマーあるいはオリゴマーと重合性炭素炭素二重結合を持たない化合物を含む均一溶解混合物を用いることもできる

〇

重合性炭素炭素二重結合を持たない化合物としては、例えば、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンォキシド、ポリビュルピロリドン、ポリビュルアルコーノレ、ナイロン等のポリマー類、トルエン、 n へキサン、シクロへキサン、アセトン、メチノレェチルケトン、メチルアルコール、エチルアルコール、酢酸ェチル、ァセトニトリノレ、ジメチルァセトアミド、ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフランのような低分子化合物、有機ハロゲン化合物、有機ケィ素化合物、可塑剤、安定剤のような添加剤等が挙げられる。

[0037] これら重合性炭素炭素二重結合を持たない化合物は、成形体 1を製造する際に光重合性組成物 20の粘度を調節し取り扱!/、性を良くする為や、光重合性組成物 20 中のモノマー成分比率を下げて、硬化性を良くする為に用いられ、その使用量は多官能モノマーあるいはオリゴマーとの合計量のうち 1〜99質量⁰ /₀の範囲とすることが好ましぐ取り扱い性も良くしつつ規則的な配歹 IJを持った柱状構造体を形成させる為には 1〜50質量％の範囲がより好ましい。

[0038] (開始剤）

光重合性組成物 20に使用する光重合開始剤は、紫外線等の活性エネルギー線を照射して重合を行う通常の光重合で用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ベンゾフエノン、ベンジノレ、ミヒラーズケトン、 2—クロ口チォキサントン、ベンゾインェチルエーテル、ジエトキシァセトフエノン、 p— t ブチルトリクロロアセトフエノン、ベンジルジメチルケターノレ、 2—ヒドロキシー2—メチルプロピルフエノン、 1 ーヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、 2—べンジルー 2—ジメチルアミノー 1一（ 4 モルフォリノフエニル）ーブタノン 1、ジベンゾスベロン等が挙げられる。

[0039] これら光重合開始剤の使用量は、その他の光重合性組成物の重量に対して 0.001 〜； 10質量％の範囲とする事が好ましぐ成形体 1の透明性を落とさないようにする為に 0.0；!〜 5質量％とする事がより好ましい。

[0040] また、図 3〜図 6に基づいて、成形体 1の製造方法に用いる他の装置について説明する。

(フォトマスク）

図 1に示した成形体 1では、マトリックス 2中にマトリックス 2と屈折率が異なる複数の柱状構造体 3が同一方向に配向しており、この配向方向と垂直な面内において柱状構造体 3があるパターンで配置されて!/、る。このパターンはフォトマスク 40によるテクスチャリングで任意に決定することができる。

本実施形態では、屈折率の異なる柱状構造体 3の配置を決定する方法として、テクスチャリングを用いている。ここで述べるテクスチャリングとは、あらかじめ位置情報を入力することで、形成される規則構造に高!、規則性をもたせる方法である。 [0041] フォトマスク 40は、フォトリソグラフィ一法で使用されているもの等が使用できる。また、マスク孔のパターンや孔径のサイズ、ピッチ、形状は特に定められたものではないヽマスク孔を円孔とした場合、孔径は 80nm〜； lO ^ mが好ましぐピッチは 120nm 〜； 15 mが好ましい。

[0042] 図 3に示すように、フォトマスク 40は、マスク孔 41が三角格子パターンで規則的に配列されたものである。また、マスク孔 41は、上記に限らず、他のパターンで配列されていてもよい。例えば、図 4のように、マスク孔 41が正方格子パターンで規則的に酉己列されたフォトマスク 40を使用してもよい。

なお、本実施形態では、柱状構造体 3を形成するためにフォトマスク 40によるテクスチャリングを使用しているが、これに限らず、可視あるいは紫外域の波長帯のレーザ光、 X線、 γ線等の放射線を走査照射して位置情報を入力してもよい。

[0043] (照射光源）

照射光源 30 (図 6参照）は、成形型 10に対して紫外線等の平行光を照射することができるものが用いられる。照射する光の平行度は、広がり角が ± 0. 03rad以下であるものが好ましぐより好ましくは ± 0. OOlrad以下の範囲である。

また、照射光源 30は、平行光を照射可能であることに加えて、照射する平行光の進行方向に対する垂直断面内で、平行光の光強度分布を略一定とすることができるものを用いる。具体的には、照射光源 30には、点光源や棒状光源からの光を、ミラーやレンズ等により光強度分布が略一定 (ハット型分布）の平行光としたもの、 VCSEL 等の面状光源等を使用することができる。

なお、レーザ光線は平行度の点では好ましい光源である力 S、その光強度分布がガウス型の分布を有して!/、るため、適当なフィルタ一等を用レ、て光強度分布を略一定にして使用することが好ましレ、。

[0044] すなわち、成形体 1にお!/、て、柱状構造体 3を高!/、規則性で配列するには、成形体

1の膜厚方向 Bに垂直な平面内において重合反応を均一に進める事が必要である。このため、照射光源 30は、その光強度分布を照射範囲で略均一としている。

照射光源 30は、図 5に示すように照射エリア 31を複数の領域に分割して (本実施形態では、 9領域）、各領域の点 31a〜31iの光強度を測定し、式（2)で与えられる照度分布の値が、 2. 0%以下であるものを用いている。より好ましくは、 1. 0%以下であるものを用いている。

照度分布 = (最大値最小値) / (最大値 +最小値） X 100 · · · (2)

[0045] (光照射）

成形体 1の製造方法では、第 1の光照射ステップと第 2の光照射ステップからなる 2 つの光照射ステップにより光照射を行う。

<第 1の光照射ステップ〉

第 1の光照射ステップでは、まず、図 6 (a)に示すように、光重合性組成物 20を充填した成形型 10の上部 (すなわち、成形型 10と照射光源 30との間）に、柱状構造体 3 の形成位置を定めるためのフォトマスク 40を配置する。このとき、フォトマスク 40を、成形型 10 (カバー部材 12)の上面に対して略平行に配置する。より精密に柱状構造の円径及びピッチを制御するためには、成形型 10とフォトマスク 40との間の空隙を 1 00 in以下にすることが好ましい。フォトマスクを用いて形成位置を定める方法では、マスク開口で紫外光が回折される点に注意する必要がある。回折により、フォトマスクとは異なるパターンに形成位置が定められてしまったり、パターンが劣化しすぎて形成位置を定めることができな力、つたりするので、フォトマスクと光重合性組成物との距離を正確に定めねばならな!/、。

[0046] 次いで、フォトマスク 40を配置した後、照射光源 30から照射対象範囲で波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定である紫外線等の平行光を照射する。これにより、フォトマスク 40を通過した平行光力光重合性組成物 20に所定パターンで照射される。このようにして、第 1の光照射ステップでは、光重合性組成物 20の平行光照射部位がゲル状に硬化するまで紫外線等の光を平行光として照射し、成形体 1内部における柱状構造体 3の形成位置を定める。このマスク露光では、光重合性組成物 20に相分離構造を形成しな!/、程度の硬化度（反射率）が設定される。

[0047] 具体的には、第 1の光照射ステップでは、製造される成形体 1の柱状構造体 3の規則性及び高回折効率を両立させるために、光重合性組成物 20の硬化度が 10%〜8 0%の範囲となるまで、より好ましくは、 20%〜60%の範囲となるまで照射する。本実施形態では、光 DSC法で、光重合性組成物 20が完全に反応し光照射してもそれ以上発熱しない状態を硬化率 100%としている。そして、第 1の光照射ステップでは、光 DSC法での発熱量から計算した硬化率が、所定の硬化度（10%〜80%)となるまで、光重合性組成物 20に対して、所定量の光照射を行う。

[0048] <第 2の光照射ステップ〉

第 1の光照射ステップに続き、第 2の光照射ステップでは、図 6 (b)に示すように、フオトマスク 40を取り外して、さらに波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定の平行光を成形型 10に対して照射する。これにより、平行光を光重合性組成物 20全体に照射し、第 1の光照射ステップで形成位置が定められた柱状構造体 3の形成部位と、それ以外のマトリックス 2形成部位とからなる柱状相分離構造を膜厚方向に形成して、マトリックス 2と複数の柱状構造体 3との間の屈折率差を高めつつ光重合性組成物 20の硬化を完全に終了させる。

[0049] このとき、平行光によって光重合性組成物 20には、柱状構造体 3が、明瞭な柱状構造としてマトリックス 2中に、面方向に拡がらず且つ膜厚方向に平行に延びたように形成される。これにより、成形体 1は、マトリックス 2と柱状構造体 3との境界で、屈折率の変化が明瞭に現れるように形成される。完全に硬化した光重合組成物 20を成形型 10から離型することにより、成形体 1が製造される。

[0050] 一般に、高圧水銀ランプ等の点状光源から放出された光を、ミラーやレンズにより照度の均一性や平行度を調整してフォトマスクに露光する際の解像度は、以下の通りである。フォトマスクのスリット幅を a,ギャップを Lとすると、スリットを通過する光は、 a の大きさが Lに対して無視できない場合（aと Lの値が近い場合）、フレネル回折で近似され、一方、 aの大きさが Lに対して無視できる場合（a< < Lの場合）、フラウンホーファ回折で近似される。回折による像の劣化を式（3)の関数 Fで表すと、 Fが 2近くで解像度の限界が現れる。 λは光の波長である。

F = a (2/ l L) ^1/2- - - (3)

[0051] F = 2, λ =0. 4の場合、式（3)から、 a = 0. 89 'L^1/2を得る。この aが解像限界線幅である。 Lをセル上部のカバー部材 12の平均厚みである 150 mとした場合には、解像度は 10. 9 111になる。したがって、柱状構造体の孔径が好ましくは、 80nm〜l 0〃mである力、ら、単にフォトマスクを用いて柱状構造体を形成しょうとしても、フラウンホーファ回折（a< < L)による像の劣化が激しぐこのような系ではフィルム内にァスぺタト比 10以上の柱状構造体が形成されるとは考えられない。

[0052] すなわち、従来のように、第 1の光照射ステップのみで柱状構造体を完全に形成すると、フォトマスクを通過した光は、回折によってマスク孔の投影領域 (すなわち、柱状構造体の領域)からマトリックスの領域まで広がって届いてしまう。このため、従来のように第 1の光照射ステップの後に、第 2光照射ステップを行ったとしても、マトリックスと柱状構造体との間に有意な屈折率差が生じなくなる。

[0053] しかしながら、本実施形態では、第 1の光照射ステップで柱状構造体 3を完全には硬化させず、形成位置を定めるのみである。そして、第 2の光照射ステップにおいて、マトリックス 2と柱状構造体 3とがある程度の硬度差にある未完全硬化状態で、全体に平行光を照射し、全体を完全に硬化させている。このとき、柱状構造体 3の重合自己促進効果によるマトリックス 2との架橋密度差と、柱状構造体 3とマトリックス 2との間での反応拡散による組成分布により、両者間に有意な屈折率差を与えられ、また、成形体 1の膜厚方向に略平行に延びるアスペクト比の高い柱状構造体 3を形成することができる。

[0054] 製造した成形体 1の評価は、以下のように行った。

(回折効率の算出）

製造した成形体 1に、標準正規分布の強度分布を持つレーザ光線を照射して回折スポットの強度を測定し、回折スポットの測定強度を、入射光全体の強度で除した値を成形体 1の回折効率として算出した。回折スポットが複数点現れる場合は、それらの合計の強度を入射光全体の強度で除した値とする。

本実施形態では、成形体 1は、回折効率が、 10%以上（10%≤回折効率≤100% )であった。

[0055] (角度スペクトル）

また、図 7に示すように、レーザ光源 51から標準正規分布の強度分布を持つレーザ光線 52を、製造した成形体 1の面に対し直交するように入射し、成形体 1に対するフォトダイオード 54の角度 Θを角度可変台 53によって変えながら、成形体 1からの透過光の光強度をフォトダイオード 54によって測定した。入射レーザ光線 52が透過直進した点を 0° とし、横軸に角度 Θ、縦軸に光強度をとつて描画すると図 8のような角度スペクトルが得られる。この角度スペクトルから回折スポットの半値幅を求めた。相分離構造の配置の規則性が高いほど、ピークの半値幅は小さくなる。

本実施形態では、成形体 1は、角度スペクトルから求めた回折スポットの半値幅力 0. 6° 以下（0° <半ィ直幅≤0· 6° )であった。

[0056] (光学的ローパスフィルター）

成形体 1は、光学的ローパスフィルターに用いてもよい。デジタルカメラ等の撮影系では、しばしばモアレ（偽色）が問題となる。この原因は、用いられる CCDや CMOS 等のセンサが規則的に配列しているため撮影対象に含まれる規則的パターンと干渉してしまうからである。この問題を解決する手段の一つとして、光学的ローパスフィルターの導入がある。光学的ローパスフィルタ一は、入力された光を複数点に分離することにより干渉の影響を抑え、モアレを抑制する効果をもつ。

[0057] 成形体 1を光学的ローパスフィルターに用いるためには、まず、成形体 1に光学的に透明な光学素子（例えば、透明フィルム等）を貼り合わせる等して積層させたり、成形体 1を支持するためにガラス基板と一体に形成したりすることにより、光学積層体を形成する。この光学積層体は、入射光を特定の位置と強度に回折するため、この光学積層体の回折角と回折効率、及び上述のセンサとの距離を適切に設定することで

、光学的ローパスフィルタ一として機能させることができる。

[0058] センサの作製方法の一つである Wafer Level Chip Size Package (WL-CS P)では、シリコン基板上のセンサを覆う保護ガラスを、接着層で貼り合わせている。 W L CSPの保護ガラスとして上記光学積層体を使用することにより、センサとの距離の設定が容易となり、 WL— CSPの小型、高生産性という長所を損ねることなぐセンサに光学的ローパスフィルターを導入できる。この方法によれば、接着層の厚みにより光学積層体とセンサとの距離の設定を容易にでき、光学系全体の厚みを増すことなぐセンサに光学的ローパスフィルターを導入できる。

また、成形体 1とガラスとを一体形成した大面積の光学積層体を形成した後、所定のサイズに切り出し、所定のサイズに切り出した光学積層体を、センサ個片の保護ガラスとして使用してもよい。なお、成形体 1を、光学系に配置することができれば、必ずしも成形体 1に光学的に透明な光学素子を積層させなくてもよい。

[0059] 一例として、図 9に成形体 1を用いた撮像光学系 50を示す。この撮像光学系 50は、固体撮像素子であるセンサ 51と、光学積層体 52と、レンズ 53を備えている。この例では、成形体 1とガラス基板 4とを一体に形成して光学積層体 52を構成し、これを光学的ローパスフィルタ一として用いている。この光学積層体 52は、外縁部分に配置した接着層 6によりセンサ 51の受光面に固定されている。これにより、光学積層体 52とセンサ 51との間には、所定厚さのギャップ層が形成される。このギャップ層は空気層である。

なお、図 9の例では、光学積層体 52の外縁部分のみに接着層 6が配置されている 1S これに限らず、光学積層体 52の全面に接着層を配置して、光学積層体 52とセンサ 51とを固定してもよい。この場合、ギャップ層は接着層となる。

[0060] <シランカップリング〉

成形体 1をガラス基板と一体に形成する方法としては、シランカップリング剤を用いて接着する方法が挙げられる。シランカップリング剤として用いることのできるものは、ガラス等の無機成分と結合する反応部位 (例えば加水分解によりシラノール基を生成する部位）と、有機成分と反応する部位 (例えば (メタ）アタリロイル基、エポキシ基、ビニル基、アミノ基等の官能基）の両者を有して!/、る化合物であれば特に限定されるものではない。また、予めシランカップリング剤で表面処理を施したガラス基板を用いても良いし、光重合性組成物にシランカップリング剤を含有させても良い。

[0061] <赤外線カット機能〉

ガラス基板は、一般的に用いられる無機ガラス等であれば特に限定されるものではないが、センサに CCD等を用いる場合は視感度補正が必要となるため、近赤外線領域の光をカットする機能を有するものがより好ましい。

また、光重合性組成物に赤外線吸収剤を添加することによって、硬化物に赤外線カット機能を付与してもよい。

[0062] <反射防止〉

成形体 1を光学的ローパスフィルタ一として利用するためには、表面が反射防止機能を有することが好ましい。反射防止処理としては、例えば、電子ビームリソグラフィ一法や、陽極酸化ポーラスアルミナ等を用いたスタンパにより、微細凹凸構造を形成する方法があげられる。

また、反射防止機能をもたせるために、コーティングにより表面に反射防止膜を形成してもよい。

[0063] 以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。

(実施例 1)

実施例 1では、フエノキシェチルアタリレート 30質量部とトリメチロールプロパントリメタクリレート 70質量部からなる混合物に、 1ーヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン 0. 6質量部を溶解させ光重合性組成物を得た。

得られた光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mmのガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 mとした。次いで、ガラスセル上部に 2〃 m φの光通過域が 5 mピッチで六方格子状（三角格子状）に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 840mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 40%であった。その後、フォトマスクを取り外し、更に 6300mj/cm²で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化しプラスチックフィルムを得た。

[0064] 図 10に得られたプラスチックフィルムの光学顕微鏡像を示す。この観察像から、製造されたプラスチックフィルムでは、柱状構造体が規則正しく配列されてレ、ること力 S確認された。

また、プラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行った。図 11にポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点の観察像を示す。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅（半値幅）は 0. 5° と良好であった。また、回折効率は 75%と良好であつた。

[0065] (実施例 2)

実施例 2は、実施例 1と第 1の光照射ステップの硬化度を異ならせて、硬化度を上限値（80%)にした例である。実施例 2では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 μ mとした。次いで、ガラスセル上部に 2 πι φの光通過域が 5 mピッチで六方格子状に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 1400mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 80 %であった。

その後フォトマスクを取り外し、更に 6300mj/cm²で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化しプラスチックフィルムを得た。

[0066] また、実施例 1と同様に、得られたプラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 0. 5° であった。また、回折効率は 60%であつた。

このように、実施例 2では、実施例 1と比べて、回折スポットの半値幅は同程度で良好であり、回折効率はやや劣るが 10%以上の良好な値を示すことが分力、つた。

[0067] なお、実施例 2は、第 1の光照射ステップの硬化度を上限値の 80%とした例である

1S 下限値の 10%とした場合にも、実施例 1と同程度の 0. 5° の半値幅を有する回折スポットが観察されると共に、回折効率も 10%以上の良好な値を示すことが確認され。

[0068] (実施例 3)

実施例 3は、実施例 1と第 1の光照射ステップの硬化度を異ならせて、硬化度を上限値付近（75%)にすると共に、フォトマスクの光透過域のパターンを異ならせた例（ 6 ^ m , 12 mヒッチリでめる。

実施例 3では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 μ mとした。次いで、ガラスセル上部に 6 πι φの光通過域が 12 mピッチで六方格子状に配歹 IJしたフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 1260mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 75%であった。

[0069] また、実施例 1と同様に、得られたプラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 0. 5° であった。また、回折効率は 30%であつた。

このように、実施例 3では、実施例 1と比べて、回折スポットの半値幅は同程度で良好であり、回折効率はやや劣るが 10%以上の良好な値を示すことが分力、つた。

[0070] (実施例 4)

実施例 4は、実施例 1と第 1の光照射ステップの硬化度は同程度（40%)であるが、フォトマスクの光透過域のパターンを正方格子状に異ならせた例である。

実施例 4では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 μ mとした。次いで、ガラスセル上部に 2 πι φの光通過域が 5 mピッチで正方格子状に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 840mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 30 %であった。

[0071] また、実施例 1と同様に、得られたプラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 0. 5° であった。また、回折効率は 58%であつた。

このように、実施例 4では、実施例 1と比べて、回折スポットの半値幅は同程度で良好であり、回折効率はやや劣るが 10%を越える良好な値を示すことが分力、つた。 [0072] (比較例 1)

比較例 1は、実施例 1と異なり、フォトマスクを使用した第 1の光照射ステップを行わず (もしくは、第 1の光照射ステップでの硬化度が 0%)、第 2の光照射ステップのみを fiつた例である。

比較例 1では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 μ mとした。次いで、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 63 00mj/cm²で照射して光重合性組成物を重合硬化しプラスチックフィルムを得た。

[0073] 図 12に得られたプラスチックフィルムの光学顕微鏡像を示す。この観察像から、製体の規則性が低レ、ことが確認された。

また、プラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行った。図 13にポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点の観察像を示す。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 1. 3° であった。また、回折効率は 24%であった。

[0074] このように、比較例 1では、実施例 1と比べて、回折効率は 10%を超える値が得られるものの、規則的相分離構造の規則性が低ぐそのため、回折スポットの角度スぺタトルにおける半値幅が 0. 6° よりも大きいことが分力、つた。

[0075] (比較例 2)

比較例 2は、実施例 1と異なり、第 1の光照射ステップで柱状構造体の硬化をほぼ完了させた例である。

比較例 2では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 150 μ mとした次いで、ガラスセル上部に 2 πι φの光通過域が 5 mピッチで六方格子状に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 15j/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 90%以上であった。その後フォトマスクを取り外し、更に 6300mj/cm²で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化しプラスチックフィルムを得た。

[0076] また、実施例 1と同様に、得られたプラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 0. 5° であった。また、回折効率は 6%であつた。

このように、比較例 2では、回折スポットの半値幅は、実施例 1と同程度で良好であつたものの、回折効率が 10%未満と良好な値を示さな力た。

[0077] (比較例 3)

比較例 3は、実施例 1と異なり、照射面側のガラスの厚みを 5mmとした例である。比較例 3では、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を、 20mm φ、厚さ 0. 2mm のガラスセル中にフィルム状に封入した。照射面側のガラスの厚みは 5mmとした。次いで、ガラスセル上部に 2 πι φの光通過域が 5 mピッチで六方格子状に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定である紫外平行光を 840mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 30%であった。

その後、フォトマスクを取り外し、更に 6300mj/cm²で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化しプラスチックフィルムを得た。

[0078] また、実施例 1と同様に、得られたプラスチックフィルムの面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマー内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スペクトルから一次回折点の角度幅は 0. 5° であった。また、回折効率は 5%であつた。

このように、比較例 3では、回折スポットの半値幅は、実施例 1と同程度で良好であつたものの、回折効率が 10%未満と良好な値を示さな力た。

[0079] (実施例 5)

実施例 5は、成形体を、ガラス基板に一体に形成した例である。 KBM5103 (3—アタリロキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業 (株)製）を 2· 0%の酢酸水溶液に希釈し、シランカップリング剤の希薄水溶液を調製した。大きさ 2 00mm φ、厚さ 500 μ mのガラス基板の表面を前述のシランカップリング剤で処理し、シランカップリング処理済みのガラス基板を得た。このガラス基板上に、実施例 1と同じ組成の光重合性組成物を 100 mの厚みで塗布し、ポリエチレンテレフタラート製フィルムを透明カバー部材として用いて塗布した光重合性組成物を覆って密封し成形型を得た。次いで、この成形型上部に 2 πι φの光通過域が 5 mピッチで六方格子状に配列したフォトマスクを配置し、表面に対して垂直方向から、光強度分布が略一定の紫外平行光を 840mj/cm²で照射した。このときの光重合性組成物の硬化度は 30%であった。

[0080] その後、フォトマスクを取り外し、更に 6300mj/cm²で紫外平行光を照射して光重合性組成物を重合硬化し、透明カバー部材を剥離して、成形体がガラス基板と一体に形成された光学積層体を得た。

[0081] また、実施例 1と同様に、得られた光学積層体の面に対して垂直に強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光を照射して回折パターンの評価を行ったところ、ポリマ一内部の規則的相分離構造に起因した回折点が観察された。回折像の角度スぺタトルから一次回折点の角度幅（半値幅）は 0. 5° であった。また、回折効率は 75%であった。

[0082] この光学積層体を光学的ローパスフィルタ一として用い、固体撮像素子上に接着層を介して設置することで、容易に光学的ローパスフィルターの位置決めができた。このようにして光学的ローパスフィルターを搭載した固体撮像素子を用いた撮像光学系を作製し、サーキユラ一ゾーンプレートを撮影したところ、高空間周波数成分を含む領域でモアレが抑制されていることが確認できた。

図面の簡単な説明

[0083] [図 1]本発明の成形体の概略構成図である。

[図 2]本発明の成形体を製造する成形型の説明図である。

[図 3]本発明の製造方法で用いるフォトマスクの平面図である。

[図 4]本発明の製造方法で用いるフォトマスクの平面図である。 [図 5]本発明の製造方法で用いる照射光源の照度分布の測定点を示す説明面であ [図 6]本発明の製造方法の説明図である。

[図 7]本発明の成形体のレーザ回折の角度スペクトル測定方法の概略説明図である

[図 8]本発明の成形体力得られる角度スぺ外ルのグラフである。

[図 9]本発明の成形体を用いた撮像光学系の説明図である。

[図 10]実施例 1の成形体の光学顕微鏡画像を示す図である。

[図 11]実施例 1の成形体によるレーザ回折画像を示す図である。

[図 12]比較例 1の成形体の光学顕微鏡画像を示す図である。

[図 13]比較例 1の成形体によるレーザ回折画像を示す図である。

符号の説明

1 成形体

2 マトリックス

3 柱状構造体

10 成形型

11 本体部

12 カバー部材

20 光重合性組成物

30 照射光源

40 フォトマスク

Claims

請求の範囲

[1] マトリックスと、該マトリックス中に配設され該マトリックスと屈折率が異なる複数の柱状構造体と、を備えた相分離構造を有する成形体であって、

標準正規分布の強度分布を有し且つ強度分布の半値幅が 0. 5° であるレーザ光線を照射したときに得られる角度スペクトルにおいて、回折スポットの半値幅が 0. 6 ° 以下であり、且つ、回折効率が 10%以上であることを特徴とする成形体。

[2] 前記複数の柱状構造体は、略同一方向に配向され、且つ、該配向方向と垂直な面において規則的な格子状に配置されたことを特徴とする請求項 1に記載の成形体。

[3] 前記複数の柱状構造体は、前記配向方向と垂直な断面形状が略同一であることを特徴とする請求項 1に記載の成形体。

[4] 前記柱状構造体は、アスペクト比が 10以上であることを特徴とする請求項 1に記載の成形体。

[5] 前記マトリックス及び前記柱状構造体が、アクリル系光重合性組成物の硬化体からなることを特徴とする請求項 1に記載の成形体。

[6] 請求項;!〜 5のいずれか 1項に記載の成形体と、この成形体に貼り合わされた光学的に透明なフィルムと、を備えたことを特徴とする光学積層体。

[7] 請求項;!〜 5のいずれか 1項に記載の成形体と、この成形体を支持するようにこの成形体と一体に形成されたガラス基板と、を備えたことを特徴とする光学積層体。

[8] 請求項 6または 7に記載の光学積層体を用いたことを特徴とする光学的ローバスフィルター。

[9] 固体撮像素子と、この固体撮像素子の受光面にギャップ層を介して配置された請求項 8に記載の光学的ローパスフィルターと、を備えたことを特徴とする撮像光学系。

[10] 光重合性組成物からなるマトリックスと、該マトリックス中に配設され該マトリックスと屈折率が異なる複数の柱状構造体と、を備えた相分離構造を有する成形体の製造方法であって、

光硬化性モノマー又はオリゴマーと光重合開始剤とを含有する光重合性組成物を成形型に注入する工程と、

前記成形型と光源との間に、光通過域と光不通過域とを有するフォトマスクを配置する工程と、

前記光源から、波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定の平行光を、前記フォトマスクを通して前記成形型内の光重合性組成物に向けて照射して、前記光重合性組成物のうち平行光が照射された部位を、未完全な硬化状態に硬化させる第 1の光照射工程と、

前記フォトマスクを取り外して、更に波長半値全幅が lOOnm以下であり光強度分布が略一定の平行光を前記成形型内の光重合性組成物に向けて照射して、前記光重合性組成物の硬化を完了させる第 2の光照射工程と、を備えたことを特徴とする成形体の製造方法。

[11] 前記第 1の光照射工程では、前記光重合性組成物を、硬化度 10%以上、 80%以下に硬化させることを特徴とする請求項 10に記載の成形体の製造方法。

[12] 前記フォトマスクは、前記光不通過域に多数の前記光通過域が規則的な格子状に配置されたことを特徴とする請求項 10に記載の成形体の製造方法。