WO2007125904A1

WO2007125904A1 - ２軸型アクチュエータ

Info

Publication number: WO2007125904A1
Application number: PCT/JP2007/058824
Authority: WO
Inventors: Naoyuki Tokuchi
Original assignee: Alps Electric Co., Ltd.
Priority date: 2006-04-28
Filing date: 2007-04-24
Publication date: 2007-11-08
Also published as: JP2009171637A

Abstract

【課題】　安価で小型化に適するとともに、余計な振動モードの発生を抑えることができ、可動部を安定させて駆動させることができるようにした２軸型アクチュエータを提供する。【解決手段】　固定部１１と、可動部３０と、前記固定部１１と前記可動部３０との間に設けられた複数の架設部材１５とを有し、それぞれの前記架設部材１５は、その両端部に変形部１５ｂが設けられて、一方の変形部の端部１５ｂ１が前記固定部１１に、他方の変形部の端部１５ｂ２が前記可動部３０に固定され、前記固定部１１に固定された前記変形部３０の端部１５ｂ１間の距離が、前記可動部４０に固定された前記変形部の端部１５ｂ２間の距離よりも短く設定されており、前記可動部３０に対して、互いに交叉する２軸方向への駆動力を与える駆動機構を設けた。

Description

明細書

2軸型ァクチユエータ

技術分野

[0001] 本発明は、例えばミラーの傾斜角度を 2軸方向に調整することが可能な 2軸型ァクチユエータに係わり、特に小型化が可能で且つ余計な振動モードによる影響を受け難くした 2軸型ァクチユエータに関する。

背景技術

[0002] ミラーの傾斜角度を調整するァクチユエータとしては、例えばプレーナ型のガルバノミラーに関する特許文献 1などがある。特許文献 1に記載されたガルバノミラーは、シリコン基板 2に対し可動部 3がー方の軸を形成するトーシヨンバー 4で支持され、また前記可動部 3の内側に設けられたミラー 5が他方の軸を形成する梁 11で支持されている。駆動力発生部となるコイル 6に電流を流して電磁力を発生させると、互いに直交配置された前記トーシヨンバー 4に捩れ変形が発生するため、前記可動部 3がシーソー状に傾斜させられることにより、前記ミラーの角度を変更することが可能とされている。

[0003] またワイヤを利用したァクチユエータとしては、例えば特許文献 2などがある。特許文献 2に記載されたァクチユエータは、光ピックアップに関するものであり、コイルとレンズを搭載した可動ベース 24が固定部に対し 4本の弾性支持部材 (ワイヤ) Wで弹性的に支持されている。

特許文献 1 :特開 2002— 271821号公報 (第 6頁、図 8—図 9)

特許文献 2：特開平 10— 208282号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] しかし、特許文献 1に記載のァクチユエータでは、コイル 6をミラー 5の周囲に卷回する必要がある。またミラー 5の外側に可動部 3が設けられ、さらにその外側にシリコン基板 2が設けられ、し力もこれらの間に溝が形成されている。さらには、前記可動部 3 の両側（シリコン基板 2の上）に永久磁石 8, 8を設ける必要がある。すなわち、特許文献 1に記載のァクチユエータでは、これらを設けるために面積が側方に拡大されるような構成であるため、ァクチユエ一タの薄型化は可能であっても小型化には適さないという問題がある。

[0005] また特許文献 1に記載のァクチユエータでは、梁 11に対するミラー 5の慣性モーメントが大きぐさらにはトーシヨンバー 4に対する可動部 3の慣性モーメントも大きいため、外部振動などに起因する余計な振動モードの影響を排除することができ難い構 j¾¾ (？あつ 7こ。

[0006] し力も、特許文献 1に記載のァクチユエータは、シリコン基板上に集積ィ匕した MEM S (Micro ElectroMechanical Systems)で形成されているため、製造コストを低廉しにくいものであった。

[0007] また引用文献 2に記載のァクチユエータでは、可動ベース 24が 4本の弾性支持部材 (ワイヤ）で支持される構成である。このため、このァクチユエータでは、可動ベース 24は平行移動することは可能である力所定の支持中心点を支点に可動ベース 24 の傾斜角度を所望の角度とすることは不可能な構成である。さらには、可動ベース 2 4に外部振動などが発生した場合には、このような振動を効果的に抑えることは困難な構成であった。このため、従来においては、 4本ワイヤによる支持方式をミラーァクチユエータとして応用することを試みた例は見られな力つた。

[0008] 本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、安価で小型化に適した 2 軸型ァクチユエータを提供することを目的として!/、る。

[0009] また本発明は、余計な振動モードの発生を抑えることができ、可動部を安定させて駆動させることができるようにした 2軸型ァクチユエータを提供することを目的としてヽる。

課題を解決するための手段

[0010] 本発明の 2軸型ァクチユエータは、固定部と、可動部と、前記固定部と前記可動部との間に設けられた複数の架設部材とを有し、

それぞれの前記架設部材は、その両端部に変形部が設けられて、一方の変形部の端部が前記固定部に、他方の変形部の端部が前記可動部に固定され、前記固定部に固定された前記変形部の端部間の距離が、前記可動部に固定された前記変形部の端部間の距離よりも短く設定されており、

前記可動部に対して、互いに交叉する 2軸方向への駆動力を与える駆動機構が設けられて！/ヽることを特徴とするものである。

[0011] 本発明の 2軸型ァクチユエータでは、架設部材は、その両端が変形部で、両変形部の中間が、前記変形部よりも変形しにくいため、両変形部の中間部分が余計な振動を抑制する機能を発揮し、可動部を安定させて動作させることができる。

[0012] また、複数の架設部材が互いに傾斜した状態で設けられているため、駆動機構により、可動部に 2軸方向へ駆動されたときに、可動部が傾きながら揺動でき、可動部にミラーを設置することで、ガルバノミラーを構成することも可能である。し力も、可動部は固定部に対して複数の架設部材で支持されているため、可動部が不必要に動くことなぐ安定して支持される。

[0013] なお、架設部材の両変形部の中間部は、以下の実施の形態のように、ほぼ変形しない非変形部であってもよいし、あるいは、前記中間部は弾性変形可能であるが、前記変形部よりも曲げ剛性の高、ものであってもよ!/、。

[0014] 例えば、前記架設部材は、前記変形部が合成樹脂で形成され、両変形部の中間力前記変形部よりも変形しにくい金属製の線材で形成されている。あるいは前記架設部材は、前記変形部が合成樹脂で形成され、両変形部の中間は、前記合成樹脂が金属で部分的に被覆されて形成されており、金属で被覆された部分が、前記変形部よりも変形しにくいものである。

[0015] また、本発明は、前記駆動機構では、前記固定部と前記可動部の一方にコイルが設けられ、他方に、磁石およびヨークを有する磁界発生部が設けられ、前記コイルの流れる電流と、前記磁石から発せられる磁界とで、前記可動部が駆動されるものである。

[0016] また本発明は、前記可動部を前記固定部から離す方向へ付勢する付勢部材が設けられていることが好ましい。

[0017] 前記付勢部材で、可動部が固定部から離れる方向へ付勢されていると、架設部材に常に張力が作用し、可動部が予期しない方向へ移動するのを防止できる。

[0018] 例えば、前記付勢部材は、磁気反発力を利用したものである。磁気反発力を使用したものでは、駆動機構に設けられた磁界発生部の一部を付勢部材として使用でき、構造を簡単にできる。

[0019] さらに、前記付勢部材は、前記固定部と前記可動部との間に設けられた圧縮ばねであってもよい。

[0020] さらに、本発明は、前記可動部には、光を反射する反射面が形成されており、前記駆動機構によって前記可動部が駆動されたときに、前記反射面の角度が変化するものとして構成できる。

発明の効果

[0021] 本発明では、安価で且つ小型化に適した 2軸型ァクチユエータを提供することができる。

[0022] また本発明では、余計な振動モードの発生を抑えることが可能となり、可動部を安定して駆動することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0023] 図 1は本発明の実施の形態としてァクチユエータを示す断面図、図 2は図 1の 2— 2 線から見た場合におけるァクチユエータの平面図、図 3は磁界発生部を示す斜視図、図 4は磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、 Aは平面図、 Bは Aの B— B線における矢視断面図、図 5Aは架設部材の一例を示す断面図、図 5Bは架設部材の他の一例を示す断面図、図 6は本発明における動作状態の主要部を示す側面図である。

[0024] 図 1に示すァクチユエータ 10は、ミラーの向きを変える 2軸型のミラーァクチユエータである。なお、その応用例については後に説明する。

[0025] 図 1に示すように、このァクチユエータ 10は、図示 Z2側の位置に設けられた四角形状の底板 12と、この底板 12に対しほぼ垂直に設けられ且つ図示 Z1方向に延びる側壁 13, 13, 13, 13と力なる固定部 11を有している。

[0026] 前記側壁 13, 13, 13, 13の Z1方向の端面には、下ヨーク 21が固定されている。この実施の形態に示す下ヨーク 21は、図 3に示すように八角形状の金属板として形成されている。このため、図 2に示すように、底板 12と下ヨーク 21とを平面的に重ねて見た場合には、四隅に固定部側からその上部に抜ける開口領域 14, 14, 14, 14が形成されている。なお、前記固定板 12の中心部には、後述するように 4本の架設部材（ワイヤ） 15の一端側が固定される。

[0027] 前記下ヨーク 21は磁ィ匕しやすい材料または磁力線を集中させる材料、例えば鉄系の磁性材料などで形成されている。図 3に示すように、前記下ヨーク 21の中心には、例えば四角形状力もなる第 1の磁石 Mlが固定されている。そして、この第 1の磁石 Mlの上部には、同じく磁ィ匕しやすい材料または磁力線^^中させる材料で形成された上ヨーク 22が固定されている。前記上ヨーク 22は、前記第 1の磁石 Mlの上面と同じ面積及び形状からなる基部 22Aと、この基部 22Aから四方に延びる腕部 22a, 2 2a, 22a, 22aを有している。前記 4つの腕部 22aの各先端は前記下ヨークに対し平行な状態を維持しつつ前記下ヨーク 21に近づく方向にクランク状に折り曲げられている。そして、各腕部 22a, 22a, 22a, 22aの先端と前記下ヨーク 21とが対向する空間にギャップ gが形成されて、る。

[0028] 図 1に示すように、前記第 1の磁石 Mlは、例えば図示 Z1側が N極、図示 Z2側が S 極となるように、図示 Z方向に着磁されている。このため、前記第 1の磁石 Mlの N極と S極との間には、第 1の磁石 Mlの ?^極→上ヨーク 22の基部 22A→各腕部 22aの先端→ギャップ g→下ヨーク 21→第 1の磁石 Mlの S極の経路から構成される 4つの磁路 (磁気回路) Maが形成されている。すなわち、前記下ヨーク 21、第 1の磁石 Ml および上ヨーク 22は、ギャップ gに静磁界を与える磁界発生部 20を構成している。

[0029] 前記上ヨーク 22の上方 (Z1側）には可動部 30が設けられて、る。前記可動部 30は、ァクチユエータ 10の制御対象であるミラー (反射面） 31と、このミラー 31を保持する保持部材 32と、前記ミラー 31を保持した状態の保持部材 32を駆動させてミラー 31 の向きを変える電磁力を発生する磁気駆動部 40を有している。

[0030] 前記保持部材 32の上面 (Z1側の面）にはミラー 31が固定されている。そして、前記保持部材 32の下面 (Z2側の面）と前記磁界発生部 20を構成する上ヨーク 22との間には、前記可動部 30を磁界発生部 20から図示 Z1方向に引き離す付勢力を発生させる付勢部材 35が設けられて、る。

[0031] 本実施の形態においては、前記付勢部材 35が第 2の磁石 M2で構成されている。

すなわち、前記保持部材 32の下面 (Z2側の面）に前記第 2の磁石 M2が固定されている。前記第 2の磁石 M2は、前記上ヨーク 22と対向する下面側が、前記第 1の磁石 Mlの Z1側と同じ N極に着磁されている。このため、前記前記第 1の磁石 Mlと前記第 2の磁石 M2との間には磁気反発力が作用しており、この磁気反発力を受けて前記可動部 30が固定部 11側力も離れる Z1方向に付勢されている。この構成では、駆動機構に設けられた磁界発生部の一部を付勢部材として利用できるため、構造を簡単にすることができる。

[0032] これにより、後述する架設部材 15には常に一定の張力が与えることができ、非駆動状態において前記架設部材 15に橈みが生じないようになつている。このため、非駆動状態においては、可動部 30を中立位置に保持することが可能とされている。

[0033] なお、前記前記第 1の磁石 Mlと前記第 2の磁石との間で磁気反発力 f, fを発生させる位置は、前記可動部 30の重心 Gを通り、前記固定部 11の表面に垂直な仮想的な基準線 G1— G1上ではなぐ前記基準線 G1— G1から側方に可能な限り離れた位置が好ましい。このようにすると、前記可動部 30の重心位置を前記基準線 G1— G1 上に設定することが可能となり、前記可動部 30はバランスが取りやすくなる。このような構成は、例えば前記第 2の磁石 M2をリング状 (環状)の磁石とすることにより実現可能となる。

[0034] また可動部 30を固定部 11から引き離す力を与える付勢部材 35は、上記のような第 2の磁石 M2に限られるものではなぐその他例えば前記保持部材 32の下面と上ョーク 22との間に圧縮ばねを配置してもよい。

[0035] 前記磁気駆動部 40はボビン 41とこのボビン 41に設けられた 4つのコイル CI, C2, C3, C4で形成されており、前記磁界発生部 20とともに前記可動部 30を動かす駆動機構を形成している。なお、図 1ではボビン 41を省略して示している。

[0036] 図 4A, Bに示すように、前記ボビン 41は榭脂材料などで形成され、平面的には略十字形状をしている。前記ボビン 41は、中心部に設けられた正方形状の枠部 41 Aと、この枠部 41Aの外周面力それぞれ四方に突出する筒状の 4つの卷回部 42, 42 , 42および 42を有している。前記枠部 41 Aの外周面には、枠部 41 Aの内部から前記卷回咅 42, 42, 42の内咅を通って外咅に抜ける連通咅42a, 42a, 42a, 42 aがそれぞれ形成されている。各卷回部 42の Z1側の一面には、前記各卷回部 42を部分的に開放して形成した開放部 42b, 42b, 42b, 42bがそれぞれ形成されている。各連通部 42aと前記各開放部 42bとは連続して形成されており、前記卷回部 42の外部に開放されている。

[0037] また各卷回部 42の先端には、各卷回部 42が延びる前記四方向に対して垂直となる方向に広がるフランジ部 43, 43, 43, 43がそれぞれ一体に形成されている。そして、各卷回部 42の外周で、且つ前記枠部 41Aの外周面とフランジ部 43との間には線材を巻き付けて形成した 4ケのコイル CI, C2, C3, C4が設けられている。 4ケのコィル CI, C2, C3, C4を備えたボビン 41は、可動部側を構成する前記保持部材 32 の下面 (Z2側の面）に固定されている。

[0038] 磁界発生部 20を構成する前記上ヨーク 22は前記ボビン 41の内部に配置されている。すなわち、前記上ヨーク 22の基部 22A力ボビン 41の枠部 41 Aの内側に配置されており、前記上ヨーク 22から延びる 4つの腕部 22a, 22a, 22a, 22a力前記開放部 42b, 42b, 42b, 42bを通じて前記連通部 42a, 42a, 42a, 42a内にそれぞれ揷入されている。そして、前記腕部 43a, 43a, 43a, 43aの先端は、各コイル CI, C2, C3, C4内において移動余裕を有する状態で前記下ヨーク 21に対向している。この状態では各コイル CI, C2, C3, C4の一部が各ギャップ g内に配置されている。なお、前記 4ケのコイル CI, C2, C3, C4は、例えば前記上ヨーク 22を前記ボビン 41の内部に配置した後に、線材を各卷回部 42の周囲に巻き付けることにより形成することができる。

[0039] 前記コイル C1とコイル C2は前記基準線 Gl—G1を挟んで軸対称となる位置に配置され、同じく前記コイル C3とコイル C4も軸対称となる位置に配置されている。前記コイル C1とコイル C2とは直列接続されており、前記線材の卷き方向及び巻き数などは同じである。同様に前記コイル C3とコイル C4も同じ巻き方向及び巻き数で直列に接続されている。そして、 XI—X2方向に沿って配置された前記コイル C1とコイル C2 が第 1の磁気駆動部を形成し、 XI— X2方向に対し直交する Y方向に沿って配置された前記コイル C3とコイル C4が第 2の磁気駆動部を形成している。

[0040] 固定部 11側を構成する前記固定板 12には、 4本の架設部材 15の一端 (Z2側）が固定されている。これらの架設部材 15のうち、固定部 11側の一端 15bl側は、全て前記基準線 Gl—Glの近傍にそれぞれ固定されている。より詳しくは、前記全ての一端 15blは前記固定板 12の上面側の中心点（以下、「支持中心点」と称する） Oの近傍で且つ前記基準線 G1— G1から等距離の位置に集中する状態でそれぞれ固定されている。

[0041] また架設部材 15の他端（15b2側）は、前記架設部材 15の一端 15blよりも前記基準線 G1— G1からの距離が離れた可動部 30上の 4つの支持点（図 1および図 6では 2つの支持点 al、 blのみ図示）に固定されている。すなわち、前記 4本の架設部材 1 5からなる支持構造は、前記架設部材 15がちょうどピラミッド（四角錐)の頂点 (支持中心点 Oに相当）から底面方向に向力つて延びる 4本の斜辺ように、前記一端 15b 1 よりも前記他端側が開かれた三角型支持構造 (またはピラミッド型支持構造)となっている。そして、前記 4本の架設部材 15の他端 15b2は、全て前記可動部 30を構成する保持部材 32の下面側の四隅で、且つ前記重心 Gを通る基準線 G1— G1から等距離の位置にそれぞれ固定されている。このため、可動部 30の前記基準線 G1— G1 回りの慣性モーメントはほぼ一定に保たれている。

[0042] 図 5A,図 5Bに架設部材 15の実施例を示す。個々の架設部材 15は、両端に変形部 15b, 15bが設けられ、これらの中間が非変形部 15aで形成されている。なお、非変形部 15aとは、全く変形できないものに限られず、前記変形部 15b, 15bよりも曲げ剛性が高ぐ大きな曲げ応力が作用したときに曲がり変形するものであってもよい。

[0043] 図 5Aに示す架設部材 15では、前記非変形部 15aが容易に変形し難!、硬!/、材料、例えばアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成されて、る。また変形部 15b , 15bは、可撓性又は柔軟性に優れた材料、例えばナイロンやポリアセタール (PO M)等の合成樹脂などで形成されている。前記変形部 15b, 15bは前記非変形部 15 aの両端に接着材などで固定される。

[0044] また図 5Bに示す架設部材 15では、前記合成樹脂などで形成された芯線 15Aの表面を、アルミニウムやステンレスなどの硬い金属材料 15Bで部分的に被覆することによって形成されている。前記金属材料 15Bで覆われた部分が非変形部 15aに相当し、芯線 15Aがそのまま露出している両端部が変形部 15b, 15bに相当している。

[0045] そして、 4本の架設部材 15を形成する一方の変形部 15bの一端 15blは固定部 11 の 4つの支持点（図 1および図 6では 2つの支持点 01、 Olのみ図示）にそれぞれ固定され、他方の変形部 15bの他端 15b2は可動部 30上の 4つの支持点 al, bl等に取り付けられている。

[0046] このように、上記の 2軸型ァクチユエータでは、ミラー 31、磁界発生部 20、磁気駆動部 40および架設部材 15などが、基準軸 G1— G1に沿って Z方向に配置される構成である。このため、本願発明のァクチユエータは、従来のようにァクチユエータの面積が側方 (X方向および Y方向）に広がる構成となることを避けることができ、小型化に適したものとなっている。

[0047] 上記ァクチユエータの動作について、図 1および図 6を用いて説明する。

前記第 1の磁気駆動部を構成するコイル CI, C2および前記第 2の磁気駆動部を構成するコイル C3, C4の、ずれにも駆動電流が与えられて!/、な、非駆動状態では、可動部 30は前記付勢部材 35によって前記固定部 11から遠ざかる（Z1)方向に付勢された状態にある。この非駆動状態では、前記磁気反発力と前記 4本の架設部材 15のそれぞれに作用する張力の Z方向の成分とがバランス的につり合った状態に設定されている。そして、この状態では前記可動部 30は中立位置に設定されており、前記ミラー 31の傾斜角度は前記基準線 G 1— G 1に対して直角な関係に設定されている。

[0048] 次に、例えば前記第 1の磁気駆動部を構成するコイル C1に、図 1に矢印 A1で示す外方向から見て時計回り方向の電流が流れるとすると、フレミングの左手の法則に従う電磁力 F1がコイル C1に発生する。同時に、前記第 1の磁気駆動部を形成するコィル C2に、図 1に矢印 A2で示す外方向から見て反時計回り方向の電流が流れると、電磁力 F2がコイル C2に発生する。前記電磁力 F1と電磁力 F2とは大きさ及び向きが等しぐともに支持中心点 O力等、位置に発生する。

[0049] 前記電磁力 F1と電磁力 F2は、それぞれ支持中心点 Oを回転中心とする所定の円の半径方向の成分と接線方向の成分 Fit, F2tとに分けることができる。このうち前記接線方向の成分 Fit, F2tが、図 1において支持中心点 Oを回転中心とする反時計回り方向の回転を生じさせる力として寄与する。よって、前記コイル C1及び C2を有する可動部 30には、図 1にて反時計回り方向 1方向）の駆動力が作用する。また前記コイル CI , C2に対し、前記とは逆向きの駆動電流が流れると、前記コイル C1及び C2を有する可動部 30には、図 1にて時計回り方向（ oc 2方向）の駆動力が作用する。

[0050] 本発明の 2軸型ァクチユエータでは、図 6に示すように前記可動部 30に電磁力 F1 及び電磁力 F2による駆動力が作用した場合あっても、硬ゝ材料で形成された前記架設部材 15の非変形部 15a自体は変形することがない。そして、その代わりに前記架設部材 15の両端に設けられた前記可撓性等に優れた変形部 15b l , 15b2が可橈変形させられる。

[0051] すなわち、図 6に示す前記架設部材 15, 15では、一方の変形部 15b側の一端 15b 1 , 15b lは固定部 11の支持点 Ol , 02を支点にそれぞれ可撓変形させられ、他方の変形部 15b側の他端 15b2, 15b2は非変形部 15aの図示 Z1側の根元部 15al , 1 5a 1を支点にそれぞれ可撓変形させられる。このとき、可動部 30はほぼ前記支持中心点 Oを中心に揺動させられる。そして、変形後は可動部 30の前記支持点 al , b l 力支持点 a2, b2に位置するようになる。よって、前記ミラー 31の傾斜角度 φを前記支持中心点 Oを中心に変更させることが可能とされている。

[0052] つまり、本発明の 2軸型ァクチユエータでは、可動部 30に設けられているミラー 31 の傾斜角度 Φを前記電磁力 Fl , F2の大きさ、ひいてはコイル C I , C2に与える駆動電流の大きさに応じ、前記 XI— X2方向に沿う任意の角度に調整することが可能である。

[0053] このような動作は、第 2の磁気駆動部を形成する前記コイル C3及びコイル C4においても同様である。すなわち、前記コイル C3及びコイル C4に与える駆動電流の大きさを変えることにより、ミラー 31の傾斜角度 φを図 1にて紙面に対し直交する Y方向に沿って任意の角度に調整することができる。

[0054] そして、前記第 1の磁気駆動部を構成するコイル CI , C2および前記第 2の磁気駆動部を構成するコイル C3, C4のそれぞれに対し、同時に駆動電流を与えることにより、可動部 30に搭載されているミラー 31を前記基準軸 G1— G2に対し垂直な状態から様々な方向に傾けることができる。

[0055] 上記のように前記架設部材 15は、その長さの殆どが非変形部 15aで形成されている。このため、余計な振動が発生しても、架設部材 15全体が橈み変形することがない。すなわち、架設部材 15の前記変形部 15bが変形しても前記非変形部 15aが変形することはない。このため、ァクチユエータに余計な外部振動などが発生しても、前記変形部 15bが振動を吸収し、前記架設部材 15全体として様々な振動モードの寄生を抑え、前記振動がァクチユエータに与える悪影響を排除することができる。

[0056] よって、振動の影響を受け難くした 2軸方ァクチユエータとすることができる。

なお、上記実施の形態では、前記架設部材 15は固定部側が狭く可動部側に向かうに従って広がる構造を示したが、本発明はこれに限られるものではなぐ可動部側が狭くから固定部側に向力に従って徐々に広がる構成であってもよい。

[0057] また上記実施の形態では、可動部 30にコイルを設けたムービングコイル型のものとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなぐ可動部 30に第 1の磁石を設けたムービングマグネット型とする構成であってもよい。

[0058] 次に、上記 2軸型ァクチユエータを利用したホログラフィー装置について説明する。

図 7はホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、図 8 は図 7の矢印 7方向から見た場合に相当する正面図である。

[0059] 図 7に示すホログラフィー装置は、例えば光記録媒体再生装置に搭載されるものである。ただし、再生専用の装置に限るものではなぐ記録専用の装置、あるいは記録再生装置に搭載されるものであってもよ、。

[0060] ホログラフィー装置は、主として光源 61、コリメートレンズ 62、ミラー 31、 2軸型のァクチユエータ 10、開口フィルタ 64および光検知器 65など力もなる光学系のシステムで構成されている。

[0061] 前記光源 61は、例えば垂直共振器面発光レーザ（以下、「VCSEL (Vertical Cavit y SurfaceEmitting Laser)という」などからなるレーザ発光手段で構成されている。

[0062] 前記コリメートレンズ 62およびミラー 31は、前記光源 61から射出されるレーザ光の光路上に設けられている。前記ミラー 31は上記いずれかのァクチユエータ 10に設けられており、 2軸方向に揺動自在に支持されている。前記ァクチユエータ 10とミラー 3 1とにより、いわゆるミラーァクチユエータ (ガルバノミラー）が構成されている。

[0063] 前記コリメートレンズ 62は、前記光源 61とミラー 31との間に設けられている。前記コリメ一トレンズ 62は前記光源 61から入射したレーザ光 (発散光) LIを拡大するとともに平行な光力もなる参照光 L2に変換するものであり、前記参照光 L2はミラー 31に向けて出力されるようになって!/、る。

[0064] 前記コリメートレンズ 62で平行な光に変換された前記参照光 L2は、前記ミラー 31 にお、て反射させられ、参照光 L3として光記録媒体 70上の所定の位置を照光する

[0065] このとき、前記ァクチユエータ 10は前記ミラー 31によって反射させられた前記参照光 L2が、前記光記録媒体 70上の所定の位置および所定の角度で照光することができるように角度調整される。このような、ミラー 31の角度調整は上述のように第 1の磁気駆動部および第 2の磁気駆動部を形成する 4つのコイル C1〜C4に所定の向き及び大きさからなる駆動電流を与えることにより行うことができる。

[0066] このため、前記ミラー 31から出力された前記参照光 L3は反射層 72において反射させられ、光記録媒体 70の外部に再生光 L4として出力される。

[0067] この実施の形態に示す光記録媒体 70はいわゆる反射型記録媒体であり、干渉縞を記録することが可能な記録層 71の下部に反射層 72を有する構成である。なお、前記記録層 71内には多数のデータ情報を示すホログラムが、干渉縞（巿松模様状の 2 次元的なドットパターン）として記録角度を変えた状態で多重に記録されている。このため、前記再生光 L4には前記干渉縞によるデータ情報が含まれて!/ヽる。

[0068] 前記開口フィルタ 64と前記光検知器 65は、前記光記録媒体 70から出力される前記再生光 L4の光路上に設けられている。前記開口フィルタ 64は前記再生光 L4から不要な光を排除するものである。

[0069] 前記光検知器 65としては、例えば CCDや CMOSイメージセンサなどを用いることが可能である。前記再生光 L4が所定の入射角で前記光検知器 65に照光されると、前記光検知器 65は前記再生光 L4に含まれる多数のデータ情報のうち、前記入射角と前記再生光 L4の波長 λとによる関係が所定のブラック条件式に合致する位置に記録されたデータ情報のみを読み出すことが可能とされている。

[0070] そして、前記ァクチユエータ 10を駆動させ、前記ミラー 31の角度を微調整することにより、光記録媒体 70に入射する参照光 L3の入射角を変えることができるため、前記光記録媒体 70の記録層 71に多重に記録されている個々のデータ情報をそれぞれ読み出すことが可能とされる。

[0071] 上記実施の形態では、主として 2軸型のァクチユエータを説明した力 1軸型のァクチユエータに適用することが可能なことは、うまでもな、ことである。

図面の簡単な説明

[0072] [図 1]本発明の実施の形態としてァクチユエータを示す断面図、

[図 2]図 1の 2— 2線から見た場合におけるァクチユエータの平面図、

[図 3]磁界発生部を示す斜視図、

[図 4]磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、 Aは平面図、 Bは A の B— B線における矢視断面図、

[図 5A]架設部材の一例を示す断面図、

[図 5B]架設部材の他の一例を示す断面図、

[図 6]本発明における動作状態の主要部を示す側面図、

[図 7]ホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、

[図 8]図 7の矢印 7方向から見た場合に相当する正面図、

符号の説明

[0073] 10 ァクチユエータ

11 固定部

12 底板

13 側壁

14 開口領域

15 架設部材 (ワイヤ）

15a 非変形部

15b 変形部

15bl 変形部の一端

15b2 変形部の他端

20 磁界発生部

21 下ヨーク 22 上ヨーク

22a 腕部

22A 基部

30 可動部

31 ミラー

32 保持部材

35 付勢部材

40 磁気,駆動部

41 ボビン

42 卷回部

61 光源

62 コリメートレンズ

64 開口フィルタ

65 光検知器

70 光記録媒体

CI, C2, C3, C4 コイル

Ml 第 1の磁石

M2 第 2の磁石 (付勢部材)

Claims

請求の範囲

[1] 固定部と、可動部と、前記固定部と前記可動部との間に設けられた複数の架設部材とを有し、

前記可動部に対して、互レ、に交叉する 2軸方向への駆動力を与える駆動機構が設けられてレ、ることを特徴とする 2軸型ァクチユエ一タ。

[2] 前記可動部の重心を通り、前記固定部の表面に垂直な直線を仮想的な基準線としたときに、

前記固定部に固定された前記変形部の端部と前記基準線との距離が、全ての架設部材において同じであり、且つ前記可動部に固定された前記変形部の端部と前記基準線との距離が、全ての架設部材において同じである請求項 1記載の 2軸型ァクチユエータ。

[3] 前記架設部材は、前記変形部が合成樹脂で形成され、両変形部の中間が、前記変形部よりも変形しにくい金属製の線材で形成されて、る請求項 1または 2記載の 2 軸型ァクチユエータ。

[4] 前記架設部材は、前記変形部が合成樹脂で形成され、両変形部の中間は、前記合成樹脂が金属で部分的に被覆されて形成されており、金属で被覆された部分が、前記変形部よりも変形しにくい請求項 1または 2記載の 2軸型ァクチユエ一タ。

[5] 前記駆動機構では、前記固定部と前記可動部の一方にコイルが設けられ、他方に、磁石およびヨークを有する磁界発生部が設けられ、前記コイルの流れる電流と、前記磁石から発せられる磁界とで、前記可動部が駆動される請求項 1な、し 4の!、ずれカこ記載の 2軸型ァクチユエータ。

[6] 前記可動部を前記固定部から離す方向へ付勢する付勢部材が設けられてレヽる請求項 1ないし 5のいずれかに記載の 2軸型ァクチユエータ。

[7] 前記付勢部材は、磁気反発力を利用したものである請求項 6記載の 2軸型ァクチュ

訂正された用紙（規則 91) ェ一タ。

[8] 前記付勢部材は、前記固定部と前記可動部との間に設けられた圧縮ばねである請求項 6記載の 2軸型ァクチユエ一タ。

[9] 前記可動部には、光を反射する反射面が形成されており、前記駆動機構によって前記可動部が駆動されたときに、前記反射面の角度が変化する請求項 1ないし 8のレ、ずれかに記載の 2軸型ァクチユエータ。

訂正された用紙（規則 91) (1)前記 (k)の工程での算出値に基づき、前記第 2の基板に、前記ビアホールを、位置を補正して形成する工程と、

を有することを特徴とする配線基板の製造方法。

[10] (m)前記 (1)の工程の前または後に、前記第 2の基板の表面で前記ビアホールの開口部の周隨こ位置するビアランドを形成する工程を有しており、

前記 (m)の工程では、前記 (j)の工程で測定された変形に基づいて、前記ビアランドをパターユングすべき位置を算出し、その算出値に基づいて、前記ビアランドを、位置を補正してパターユングする請求項 9記載の配線基板の製造方法。

[11] 前記第 2の基板の表面には電子部品が設置される実装領域が設定されており、

(n)前記 (1)の工程と同時にまたはその前後の工程で、前記実装領域に、前記第 2 の配線パターンに導通し且つ前記電子部品の電極が固定される接続ランドを形成する工程を有し、

前記 (n)の工程では、前記接続ランドを、前記積層体の変形如何にかかわらず、電子部品の寸法に応じて予め決められた規定間隔でパターニングする請求項 9記載の配線基板の製造方法。

[12] 前記 (j)の工程で測定された前記積層体の変形に基づ!/、て、前記実装領域を配置すべき位置を算出し、前記 (n)の工程では、その算出値に基づいて、前記実装領域の位置を補正し、し力も前記接続ランドの間隔を、前記積層体の変形如何にかかわらず、前記規定間隔となるようにパターユングする請求項 11記載の配線基板の製造方法。

[13] 単層または多層に形成された基板の表面に、電子部品が設置される実装領域と、前記実装領域に位置して前記電子部品の電極が固定される接続ランドと、前記接続ランドに接続する配線パターンとが形成されてヽる配線基板を製造する方法にぉヽて、

(o)前記基板の変形を測定する工程と、

(P)前記 (o)の工程で測定された変形に基づ!/、て、前記実装領域を配置すべき位置を算出する工程と、

(q)前記 (P)の工程で算出された算出値に基づ、て、前記実装領域の配置位置を補正し、しかも前記接続ランドの間隔が、前記基板の変形の如何にかかわらず、前記電子部品の寸法に応じた規定間隔となるように、前記接続ランドおよび前記配線バターンをパター-ングすることを特徴とする配線基板の製造方法。

[14] 前記基板にはビアホールが形成されており、（p)の工程での算出値に基づいて、前記基板の表面に、前記ビアホールの開口部周囲に位置するビアランドを、位置を補正してパターユングする請求項 13記載の配線基板の製造方法。

[15] 前記パターニングは、

基板の表面の導電層を覆うレジスト層を形成する工程と、

前記レジスト層に、所定のパターンを描画するように光を照射して、前記レジスト層を感光させる工程と、

現像により所定のパターンを残して前記レジスト層を除去する工程と、

レジスト層を除去することで現れた前記導電層を、エッチングで除去する工程と、を有する請求項 1または 9または 13のいずれかに記載の配線基板の製造方法。