WO2007066462A1 - ハニカム構造体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

　ディーゼルパティキュレートフィルター（ＤＰＦ）等の微粒子捕集フィルタなどに好適に使用可能なハニカム構造体であって、微粒子捕集フィルタに使用した場合に、簡易かつ高精度で微粒子堆積量を検知できるものを提供する。 　多孔質の隔壁によって気体の流路となる複数のセルが区画形成されたハニカム構造体であって、内部に２つ以上の電極２を有するハニカム構造体１。

Description

細 書

カム 体及びその ０００1 、ディ ゼ ティキ ト ィ タ ( P )等の微粒子 ィ

などに好適に使用 能な電極を有する 体及びその製 法に関する 背景

０００2 の 粒子を捕 して気体を する手段としては、 ィ による 過が代 表的である。 ィ の ・ 造としては、繊維 、セラ ック オ ム、金属 オ ム等があり、特に、圧力 失を低減できる材質・ 造として、 の 壁によ て 気体の となる複数の が区画 成された の にお て、 セ の 方の 、千鳥 になるよ に、互 違 に したウオ 型 のものが良 知られて る。

０００3 これら 粒子 ィ では、微粒子が 積して行 に れて ィ の まり が進行し、 ィ ダ が低下して行 ため、微粒子の 積量が ィ の 界 に達する前に、 ィ タ 体を交換する 、ある は 積した微粒子を取り除 再生 理が必要である。この 再生 理の 期を決めるためには、微粒子 積量の 必要であり、従来は、 ィ タ による ィ タ 後の の 圧を差 圧センサにより検出して微粒子 積量を検知するよ にして た( えば、特許

)。

０００4 し しながら、微粒子 ィ にお ては、微粒子の 積量に対して、 ィ の ヒステ を持 合が多 、 ィ タ による ィ タ 後の の 圧のみ ら 粒子 積量を一義的に検知することは不可能な場合が多 。 えば、ディ ゼ ンジンの 粒子を捕 するウオ 型のセラ ック フィ タ( P )では、低温で 粒子を捕 し続けた後、 ィ タ トされ た 活性となる 度に一時的に昇 すると、細孔 積した微粒子が 去され、わず な 粒子の により大幅に圧力 低下するため、 粒子 との ヒステ を示し、同一の 失でも、 粒子の量が大き 異なる状態が生じ ることになる。

０００5 したが て、このよ 粒子 ィ にお ては、圧力 失 ら一義的に微 粒子 積量を推定することは困難であり、 ィ の 再生 理の 期を決定 する際には、圧力 失の 外に、運転時間、運転 件による ンジン らの 粒子 測を併用して、 ィ の 粒子 積量を推定し、その 積量 ら ィ の 再生 理の 期を決定して るのが現状である。

０００6 また、微粒子 積量を検出するための他の手段として、前記のよ カム

を使用した微粒子 ィ の 2 上の電極を設け、

インピ ダンスを測定して、その 定値 ら 粒子 積量を推定する 法も検 討されて る( 2 )。

1 6 47937

2 際公開 W 2 5 78253 ン

明の

０００7 、このよ 来の 情に みてなされたものであり、その 的とするとこ ろは、 P 等の微粒子 ィ などに好適に使用 能な カム であ て、微粒子 ィ に使用した場合に、簡易 度で 粒子 積量を検知 できるものを提供することにある。

０００8 的を達成するため、 明によれば、以下の カム 体及び カム の 法が提供される。

０００9 の 壁によ て気体の となる複数の が区画 成された カ ム であ て、内部に2 上の電極を有する カム 。

００1０ 2 セ の 方の が日 されて る前記 に記載の カム 。

００11 3 セ の 方の 、前記 カム の にお て千鳥 にな るよ に、互 違 に されて る前記 2 に記載の カム 。

００12 4 粒子 ィ として使用され、前記 極を利用することによ て、 さ れた微粒子の量を検知することが可能な 又は に記載の カム ００13 5 の インピ ダンス、直流 抗、 アクタンス、キヤ タンス等 の電 特性を測定することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能 な 4 に記載の カム 。

００14 6 、 ジ ライト、ア ナタイタネイト、サイア ン、ムライト、

、 ン ジ ウム、ジ ア、チタ ア、ア ナ カよりなる群 ら選ば れる 以上のセラ ックス、又は焼 主成分とする材料 ら 成されて 前記 ～ 5 の れ に記載の カム 。

００15 7 、金属、 を有する 、 を有する 物及び

を有するセラ ック の内の何れ ら 成されて る前記 ～ 6 の れ に 記載の カム 。

００16 8 極の な とも一 がセラ ック体の内部に、 が配 されてな る前記 ～ 7 の ずれ に記載の カム 。

００17 9 極のセラ ック体が ジ ライトである前記 8 に記載の カム

。

００18 の 壁によ て気体の となる複数の が区画 成された カ ム であ て、表面に2 上の電極を有し、前記 極の な とも一 が セラ ック体の内部に、 が配 されてなる カム 。

００19 セ の 方の が日 されて る前記 に記載の カム 。

００2０ 2 セ の 方の 、前記 カム の にお て千鳥 に なるよ に、互 違 に されて る前記 に記載の カム 。 ００21 3 粒子 ィ として使用され、前記 極を利用することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能な 又は 2 に記載の カム 。

００22 4 の インピ ダンス、直流 抗、 アクタンス、キヤ タンス等 電 特性を測定することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能 な 3 に記載の カム 。 ００23 5 、 ジ ライト、ア ナタイタネイト、サイア ン、ムライト、 、 ン ジ ウム、ジ ア、チタ ア、ア ナ カよりなる群 ら選 ばれる 以上のセラ ックス、又は焼 主成分とする材料 ら 成されて る前記 ～ 4 の れ に記載の カム 。

００24 6 極のセラ ック体が ジ ライトである前記 ～ 5 の れ に 記載の カム 。

００25 7 に記載の カム を製造する方法であ て、最終的に得 とする カム の 状に対し、一部が切り欠 れた 状を有する カム を作製する 方で、 り欠 れた部分の 状に対応する 状を有し、側面部に電極が設けられた電極 カム を別個に作製し、 前記 り欠 れた部分に前記 カム して一体 カ ム の 。

００26 8 に記載の カム を製造する方法であ て、押出 によ り成形 、それを して得られた カム 、電極を 入するための溝を形 成し、 に電極を 入する カム の 。

００27 9 に記載の カム を製造する方法であ て、電極を 入する ための溝を有する カム を押出 により成形 、得られた成形 を焼 した後、前記 に電極を 入する カム の 。

００28 2 に記載の カム を製造する方法であ て、電極を 入する ための溝を有する カム を押出 により成形 、得られた成形 の に電極を 入した後、前記 を焼 する カム の 。 ００29 2 に記載の カム を製造する方法であ て、電極が配される 溝を有する カム 、前記 に配される電極とを、押出 により同時に 一体的に成形 、得られた成形 を焼 する カム の 。

００3０ 明の カム 、 等の微粒子 イ などに好適に使用でき るものであり、微粒子 イ に使用した場合にお て、 イ タ 部に 積した 微粒子の量を簡易 度で検知でき、 イ の 再生 理の 期の 定を容易に行 ことができる。また、 明の 、前記のよ 明の カム 較的容易に 造できる 産に適した製造 法である。 は、 明に係る カム の 態の 例を示す 面図で ある。

2 2は、 明に係る カム の 置の 例を示す 面図で ある。

3(a) 3(a)は、 明に係る カム の 態の他の 例を示す 面図である。

3(b) 3(b)は、 3(a)のX X 面における 面図である。

4 4は、 明の カム に使用する 形の 極の 態を示す である。

5 5は、 4の 極を カム 入した状態を示す 面図である 6 6は、 5の 極を カム 入した状態を示す、 カム の 側 ら見た 面図である。

7 7は、 6の 部分の であり、円筒状の 極を使用した例を示す 面図である。

8 8は、 6の 部分の であり、角柱状の 極を使用した例を示す 面図である。

9 9は、 明の カム に使用する 形の 極の他の実 態を示 す 面図である。

1０ は、 9の 極を カム 入した状態を示す 面図であ る。

1 、 9の 極を カム 入した状態を示す、 カム の 側 ら見た 面図である。

12 2は、 分の であり、円筒状の 極を使用した例を示す 面図である。

13 3は、 分の であり、角柱状の 極を使用した例を示す 面図である。

4 4は、 明の カム に使用する 在な 属の 極を 使用した例を示す 面図である。

15 5は、 4のc 面図である。

16 6は、 明の カム に使用する 在な 属の 極を 使用した他の例を示す 面図である。

17 7は、 6の 面図である。

18 8は、 明の カム に電極を固定した様子を示す 面図 である。

19 9は、 明の カム に電極を固定した様子を示す他の概 面図である。

2０ 2 は、 明の カム に使用する突出 を設けた電極の 態の 用例を示す、 に収納された カム の 面図である。 21 2 は、 2 の カム の 面 ら見た正面図である。

22 22は、 2 の カム の 面図である。

23 23は、 明の カム に使用する突出 を設けた電極の他の 態の 用例を示す、 に収納された カム の 面図である。 24 24は、 明の カム の ( 一の )を示す 面図である。

25 25は、 明の カム の ( 一の )を示す 面図である。

26 26は、 明の カム の ( 一の を示す 面図である。

27 27は、 明の カム の ( 一の )を示す 面図である。

28 28は、 明の カム の ( 一の )を示す 面図である。

29 29は、 明の カム の ( 二の )を示す 面図である。

3０ 3 は、 明の カム の ( 二の )を示す 面図である。

31 3 は、 明の カム の ( 二の )を示す 面図である。

32 32は、 明の カム の ( 三及び 四の )を 示す 面図である。

33 33は、 明の カム の ( 三及び 四の )を 示す 面図である。

34 34は、 明の カム の ( 五の )を示す 面図である。

35 35は、実施 に使用した カム の 法を示す 面図で ある。

36 36は、実施 に使用した カム の 法を示す 面図で ある。

37 37は、実施 にお て、 積した微粒子の 交流インピ ダンスとの 係を示したグラ である。

号の

００32 カム 、2、2a 2b 2c 、3 り欠 れた部分、5 カム 、 7 、 セ 、 4 4a 4b 、 6 、 8 ット、2 、 22

発明を実施するための 良の

００33 下、本 明の 表的な実施 態を図面を参照しながら具体的に説明するが、 以下の 態に限定されるものではな 、 明の 旨を逸脱しな 範囲 で、当業者の 常の 識に基 て、 計の 更、改良 が加えられることが 理解される きである。

００34 は、 明に係る カム の 態の 例を示す 面図である 。この カム は、 の 壁によ て気体の となる複数の が 成された カム であ て、内部に2 上の電 2を有して る。 P 等の微粒子 イ に使用する場合には、 セ の 方の が日 されて ることが好まし 、 に示すよ に、 カム の にお て千鳥 にな るよ 、 セ の 方の が日 により 違 に されて ることが特 に好まし 。このよ な構造とすることにより、 カム に流入した ガスは、 強制的に各セ 間の多 の 壁を通過さ られることになり、その 過の際 に、 ガス中の微粒子が 上に される。

００35 カム は、 P 等の微粒子 イ に使用する場合、電極2を 利用することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能である。 体的 には、電極2 2間の交 インピ ダンス、直流 抗、 アクタンス、キヤ タンス等 の電 特性を計測することによ て、 された微粒子の量を検知する。すなわち 、この 粒子 イ にお ては、 カム の 部に設けられた電極2 2間の交 インピ ダンス等の電 特性を計測することによ て、 カム に微粒子が 積したことによる、電極2 2間の静 量、直流 の を検知することができる。 2 2間の静 、 カム 内の微粒子 の に対応して するため、交流インピ ダンス等の電 特性の デ タ カム の 粒子 積量を一義的に推定することができる。 体的に は、 積した微粒子の 交流インピ ダンス等の電 特性との 係を実測 に基 て グラ 等してお ことにより、交流インピ ダンス等の電 特性を 計測するだけで、その 測時点での 粒子の 積量を推定することができるよ にな る。

００36 カム の 部に電極が設けられて れば、大きなノイズは生じに 、 度で 粒子 積量を推定することができる。このとき、 2のよ に、 2 2 の 心を結ぶ直線 上における、電極2 2 との間の距離をa、 カム

面 ら電極2までの 離をb、 カム 面 ら電極2までの 離をcとすると、2b a、2c aであり、 2個の電 2 2 が平行に向 合 て 設けられることが好まし 。

００37 3 3(b)は、 明に係る カム の 態の他の 例を示 略図であり、 3 (a)は 面図、図3 ( )はそのx x 面における 面図である。この カム は、その 向及び長さ 向に、 数の 2を内蔵さ たものである。この カム にお ては、近隣の 2 2間 のそれぞれの インピ ダンス等の電 特性を計測することにより、それら電極 近の 粒子 積量を推定することができるので、 較することで、この カム の 向及び長さ 向における微粒子 積量の 布を把握するこ ともできる。

００38 明にお て、 カム ( )の 質は特に限定されな が、 、 ジ ライト、ア ナタイタネイト、サイア ン、ムライト、 、 ン ジ ウム、ジ ア、チタ ア、ア ナ カよりなる群 ら選ばれる 以 上のセラ ックス、又は焼 主成分とする材料 ら 成されて るものが好適 である。

００39 また、電極の 質も特に限定はされな が、金属、 ストの 、 を有する 化物、 を有する 物及び を有するセラ ック の内の 何れ ら 成されて るものが好適である。

００4０ なお、 カム と電極とは、両者の 膨張 数の差が5 X で以下と なるよ に の 質を選択することが好ま 。 えば、 明の カム

P に使用するよ 場合には、使用時に高温 されるため、 カム と電極との 膨張 数の差が大きすぎると、両者の 膨張 により カム が破損したり 離したりする恐れがあるが、両者の 膨張 数の差が 5 X で以下であれば、そのよ 不具合が生じる可能性が低 なる。

００4 極の 料の 、板状とな て ると め込み時の取扱 が容易であり、測定 路 の 線の もできるため 利である。また、金属 メッ 、ラス また は波板状にな て ると、熱膨張が緩和できるため更に有利である。

００42 の 料としては、ステン スまたは ッケ 等の排ガス 囲気中のよ 高 温 でも しに のが好適に用 られる。

００43 料の カム に 能な形状としても良 。セ に 能な形状の としては、所定の さの が何本も並んだ 形の の および 在な 状の 属、例えば 線を所定の さで折り返した電極が 例示できる。これらの に 能な電極を カム に 入する。 面 ら のな に 入すれば、電極 め込みのためのス ットを加工す る必要がな であり、ス ット 工により 念される カム 度の 下を 回避することができる。

００44 4は 明の カム に使用する 形の 極の 態を示す図で あり、 5および 6はこの 極を カム 入した例を示す図である。 4 の 形の 2は 5および 6に示すよ に カム に 入される。 7お よび 8は 6 、一点 で囲まれた 分の である。 形の 極の 分の 、 7に示すよ に円柱状2aでも良 し、 8に示すよ に角柱状2bで も良 。また、電極 2bは セ を避けて 入される。

００45 9は 明の カム に使用する 形の 極の他の実 態を示す図 であり、 および この 極を カム 入した例を示す図である 。 9の 形の 2を および 示すよ に カム に 入する。

2および 3は 、一点 で囲まれた 分の である。 形の 極の 分の 、 2に示すよ に円柱状2aでも良 し、 3に示すよ に 角柱状2bでも良 。また、電極2a 2bは セ を避けて 入される。

００46 4および 5は屈曲 在な 状の 所定の さで折り返した電極の

態を カム 入した例を示す図である。 在な 状の 属 ら なる電極2cは、 4および 5に示すよ に、 セ を避けて のな に 入されて る。

００47 6および 7は屈曲 在な 状の 所定の さで折り返した電極の

態を カム 入した他の例を示す図である。 6および 7に示 すよ に、 セ を避けて のな に め方向に 入しても良 。 ００48 カム との間に間隙が生じる場合には、電極 カム との 間に接着 を充填することができる。この 的で使用される 、熱膨張 数が 電極の 膨張 数と カム の 膨張 数の 間の値である が 好ま 。 8は電極の カム 体 の 定の 子を示す一例を示す図であ 。 8 、 カム 電極2との間には接着 4が充填されて て、電極 2が好適に カム に固定されて る。

００49 料と カム の 膨張 数の差が大き 場合は2 上の 接 を使用することも可能である。 9は電極の カム 体 の 定の 子 を示す別の例を示す図である。 9 、電極2の りには、電極2の 膨張 数に 比較的 膨張 数を持 4aが充填され、そのさらに周りに カム 熱膨張 数が比較的 4bが充填されて、 カム に電 極2が固定されて る。

００5０ または側面の 部 ら 線を取り出 るよ に、電極に突出 を設けても良 。 を設けた電極を埋め込むと、 カム を圧 する際に 渉 がな 、 ン の 線の り出し 端子の 容易にできるため 利で ある。さらに取り出し口が出口 であれば 体 らの れの 配もほとんどな 。 また、取り出し 端子と電極 の 線を長めにして や に固定することで、電 極または カム の 動に対する 性が上がる。 接続 線とは 接に より固定 能である。

００51 2 ～22は、突出 を設けた電極を備えた 明の カム の

態を示す図である。 2 2 に示すよ に、 カム は、 ット 8を介して 6に収納されて る。 カム にはス ットが形成され、 ス ットに電 極2が 入されて る。 2は一端に突出 22が設けられて て、配線2 接 続されて る。 2 22に示すよ に、 ット 8 6には、前記 2の 22の 対応する 置に切れ込みが設けられており、この れ込み ら突出 2 2の 6の 部に露出されて る。

００52 23は、突出 を設けた電極を備えた 明の カム 体の他の実 態 を示す図である。 23に示すよ に、 カム は、 ット 8を介して 6 に収納されて る。 カム にはス ットが形成され、 ス ットに電極2が 入されて る。 2は一端に突出 22が設けられて て、配線2 接続されて る。

００53 また、 明にお ては、少な とも一 の 極をセラ ック体の内部に導電 を配 して構成してもよ 。このよ に、 セラ ック体で に構成することによ て、 が直接 ガス 接触することがな 、 の 食や を有効に 防止することが可能となる。

００54 また、 明にお ては、全ての 極を、セラ ック 、その 部に配 された とで構成してもよ 。

００55 セラ ック体の主成分としては、例えば、 窒化ア ウム、

ジ ライト等、酸 、窒化物、炭 、棚 の ( ンポ 、 ) 料が挙げら れる。 体的には、セラ ック体の主成分が、 、 ア ウム、

ジ ライト、 ア ウム 料、炭 料、 ムライト 料 らなる群 ら選ばれる少な とも一種の 物であることが好ま 。特に、 熱伝導 が高 素の 気抵抗を上げることができる ( ) 子を添 加した 、誘電 として機能する電極 料に適して る。また、 熱膨張が 、さ が熱伝導が低 ムライトに熱伝導を高 する目的で、 素粒子 を分散さ たムライト 料も主成分に適して る。 料の 膨張

ので、内部に発生する 。 困難であるが、電極 単純 板であるため、加圧 が容易に適用できる。なお、本実施の 態にお て、主成分とは、成分の6 上を占めるもの 。

００56 また、電極は平板状であ ても良 し、円筒状の 状に形成されてなる電極であ てもよ 。 板状の 極の 合には、テ プ 形、押出し成形、プ ス 形、射出 形、鋳込み の 法で、電極を構成するセラ ック体を成形して 成することが 好ま 。

００57 極を構成する 、 に優れた金属を主成分とすることが好まし 、例 えば、その 成分が、タングステン、 デン、 ンガン、ク ム、チタン、ジ ウ ム、 ッケ 、鉄、銀、 、白金、 ラジウム らなる群 ら選ばれる少な とも一 種の 好適例として げることができる。なお、本実施の 態にお て、主成分 とは、成分の6 上を占めるものを 。なお、 、上述した群の 二種類 上の金 主成分として む場合には、それら金属の 和が、成分の6 上を占めるものとする。また、この の さとしては、電極の 、 ガス等を処理する場合に、電極 を通過さ る 体の 抗を低 減さ る等の理由 ら、 ・ ～ ・ であることが好まし 、さらに、 ・ ～ ・ 3 であることが好ま 。

００58 平板状の 状であり、さらに、セラ ック体の内部に導電 が配 されてなる 場合には、セラ ック としてテ プ状のセラ ック (グ ンテ プ)を用 、 上述した 、テ プ状のセラ ック 工されて されたものである ことが好ま 。 体的な 工の 法としては、例えば、スク ン 、カ ンダ 、スプ 、静電 、ディッ 、ナイ タ、 着、物理 好適 例として げることができる。このよ な方法によれば、 の 面の に優 れ、 さの を容易に形成することができる。

００59 テ プ状のセラ ック 工する際には、 の 成分として げた金属の 末と、有機 インダ と、テ ピ オ 等の溶剤とを混合して ストを調製し、上述した方法でテ プ状のセラ ック 工することが好まし 。また、テ プ状のセラ ック との 着性及び を向上さ る 、必要 に応じて上述した ストに添加 を加えてもよ 。

００6０ また、セラ ック体をテ プ状のセラ ック 成するときのテ プ状のセラ 、 の さに ては、特に限定されることはな が、 ・ ～3 であること が好ま 。テ プ状のセラ ック の さが ・ であると、電極 の 気絶縁 を確保することができな ことがある。また、テ プ状のセラ ック の さが3 を超えると、 スペ ス の げになることがある。 ００61 カム と電極のセラ ック とを同じ 成分で 成すると好ま 。この 合、電極 きの カム を製造する際の カム と電極との 着性が 良好となる。また、 明の カム 使用時に高温 されるが、両者 の 膨張 理論上 ので、熱による 、電極の 軽減できる。

００62 カム と電極のセラ ック とを、共に ジ ライトを主成分として構成す ることができる。

００63 次に、 明の カム の 法を幾 示する。 一の

、まず、最終的に得よ とする カム の 状に対し、一部が切り欠 れた 状を有する カム を作製する。 えば、 24は、最終的に得 とする カム の 状が 形である場合にお て、外周 の 部 が切り欠 れた 状を有する カム を作製した例である。このよ カム は、通常の により作製することができる。なお、本製造 法により得られる カム 、 P 等の微粒子 イ に使用する場 合には、 24のよ に、成形 、各セ の 方の を目 により 違 に 、 が千鳥 になるよ にすることが好ま 。

００64 このよ カム を作製する一方で、 25に示すよ に、前記 カム の り欠 れた部分3の 状に対応する 状を有し、側面部に電 極2が設けられた電極 カム 5を別個に作製する。このよ 電極 カム 5は、通常の により成形した成形 の 面に 状の 2を 取り付けることにより作製することができる。なお、この カム 5に ても、 P 等の微粒子 イ に使用することを目的とする場合には、前記 カム 同様に、 セ の 方の を目 により 違 に することが好ま 。

００65 で、 26に示すよ に、前記のよ に作製した カム の り欠 れ た部分3に、電極 カム 5を して一体 、 明の カム を得る。 カム の 、切り欠 れた部分3を有する カム 電極 カム 5とが共に成形 の 態であるときに のが好まし 、 その 合、 後に焼 することで両者を一体 することができる。

００66 なお、電極 カム される、 カム の り欠 れた部分 は、 24の例のよ 外周 に限定されるものではな 、電極を設けた 意の 置に切り欠 れた部分が形成されるよ にしてよ 。 えば、 27は、断面 が切り欠 れた カム の例であり、この 合も 28に示すよ に、 カ ム の り欠 れた部分3に、電極 カム 5を して一体化し、 明の カム を得ることができる。

００67 二の 、まず、 29のよ 、押出 により成形 、それを し て得られた カム に、 3 のよ に電極を 入するための 7を形成する 。なお、本製造 法により得られる カム 、 P 等の微粒子 ィ に使用する場合には、 29のよ に、成形 、各セ の 方の を目 によ り 違 に 、 が千鳥 になるよ にすることが好ま 。 7の 、 ンドソ 等の加 置を使用し、 入しよ とする電極の 法に合わ て機械 することにより ことができる。このとき、微粒子 ィ に使用する場合の 粒子の れを防ぐため、 7は隔壁に沿 て、又は隔壁と平行に形成することが好ま 。 で、 3 に示すよ に、 7が形成された カム の 7に 電極2を 入し、更に必要であれば、微粒子の れを防ぐために 7の 入 されて な 部分を目 して、 明の カム を得る。

００68 三及び 四の 、まず、 32に示すよ に、電極を 入するための 7を有する カム を押出 により成形する。すなわち、前記 二の 法のよ に電極を 入するための溝を後 ら加工 成するのではな 、 7の 状 に対応する部位を有する の 金を用 て、最初 ら 7を有した状態の カム を押出 する。なお、本製造 法により得られる カム 、 P 等の微粒子 ィ に使用する場合には、 32のよ に、成形 、各 セ の 方の を目 により 違 に 、 が千鳥 になるよ にすることが好ま 。

００69 で、第三の 法にお ては、この を焼 した後に、 33に示すよ に、 カム の 7に電極2を 入し、更に必要であれば、微粒子 ィ に使用する場合の 粒子の れを防ぐために 7の 入されて な 部分を目 して、 明の カム を得る。また、第四の 法に お ては、この を焼 する前に、 33に示すよ に、 カム の 7に電極2を 入し、更に必要であれば、微粒子 ィ に使用する場合の 粒子の れを防ぐために 7の 入されて な 部分を目 、その こ の を焼 して、 明の カム を得る。

００7０ 五の 、まず、 34に示すよ に、電極2が配される 7を有する カム 、前記 7に配される電極2とを、押出 により同時に一体的に成 形する。すなわち、押出 の 金の 7 部に対応する部位には電極 の 料が送り込まれ、その他の部位には カム 形成 の 料が送り込まれ るよ にし、最初 ら 7内に電極2が配された状態の を押出 する。なお、 本製造 法により得られる カム 、 P 等の微粒子 ィ に使用 する場合には、 34のよ に、成形 、各セ の 方の を目 により 違 に 、 が千鳥 になるよ にすることが好ま 。 で、この を焼 することにより、 明の カム を得る。

００71 これら第一～ 五の 、 れも 明の カム 較的容易に 造できる 産に適した製造 法である。 ００72 下、本 明を実施 に基 て更に詳細に説明するが、 はこれらの

に限定されるものではな 。

００73 ( )

ク( 2 4 、粒径7 上の粉 4 )、 カ( 35 x 、粒径75u 上の粉 ・ 5 )、水酸 ア ウム( 2 、粒径75 上の粉 )を、タ ク37 、 カ 9 、水酸 ア ウム44 合で混合して ジ ライト 料を調整し た。

００74 で、この ジ ライト に対して、グラ ァイト2 、ポ チ ンテ タ ト7 、ポ メタク メチ 7 、ヒド プ ピ メチ セ ス4 、ラウ ン カ ・ 5 、水3 を投入、混 して 塑性とし、この 塑性の 料を、真空 ンダ 状の杯 を成形 、押出し成形 に投入して カム状に成形した。

００75 して得られた成形 、誘電 燥の 、熱風 、両端 にお て千 鳥 となるよ に、 セ の 違 に じした。 の 料には、 同様の 成の ジ ライト 料のスラ を用 、これを す き の に充填して を形成した。

００76 これを、 42 Cで4 した後、図35のよ に、長さ25 の 7を3 の 間隔を開けて機械 工により2 成し、その 、図36のよ に、 7に白金製の 2を 入して、電極を有する カム ( 44 X 壁厚さ 3 、セ 数 3 c ) を得た。

００77 カム に、微粒子( ティキ ト)を含むディ ゼ ンジン ガ スを流し カム に微粒子を 積さ ながら、電極2 2間の交 インピ ダンスの 測を行 たところ、 積した微粒子の 計測した交流インピ ダンスと の 、 37のよ になり、交流インピ ダンスの より微粒子の 積量が推定で きることを確認した。

上の ， ００78 、 P 等の微粒子 ィ に使用 能な カム 体及びその 製 法として好適に利用することができるものである。

Claims

求の

の 壁によ て気体の となる複数の が区画 成された カム であ て、内部に2 上の電極を有する カム 。

2 セ の 方の が日 されて る に記載の カム 。

3 セ の 方の 、前記 カム の にお て千鳥 になるよ に、互 違 に されて る 2に記載の カム 。

4 粒子 ィ として使用され、前記 極を利用することによ て、 された 微粒子の量を検知することが可能な 2又は3に記載の カム 。

5 の インピ ダンス、直流 抗、 アクタンス、キヤ タンス等の電 特性を測定することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能な 4に記載の カム 。

6 、 ジ ライト、ア ナタイタネイト、サイア ン、ムライト、窒化 、 ン ジ ウム、ジ ア、チタ ア、ア ナ カよりなる群 ら選ばれる 以上のセラ ックス、又は焼 主成分とする材料 ら 成されて る ～5の れ に記載の カム 。

7 、金属、 を有する 、 を有する 物及び を 有するセラ ック の内の何れ ら 成されて る ～6の れ に記 載の カム 。

8 極の な とも一 がセラ ック体の内部に、 が配 されてなる ～7の ずれ に記載の カム 。

9 極のセラ ック体が ジ ライトである 8に記載の カム 。 ０ の 壁によ て気体の となる複数の が区画 成された カム であ て、表面に2 上の電極を有し、

前記 極の な とも一 がセラ ック体の内部に、 が配 されてなる カム 。

セ の 方の が日 されて る に記載の カム 2 セ の 方の 、前記 カム の にお て千鳥 になるよ 、互 違 に されて る 記載の カム 。

3 粒子 ィ として使用され、前記 極を利用することによ て、 された 微粒子の量を検知することが可能な 2に記載の カム 。 4 の インピ ダンス、直流 抗、 アクタンス、キヤ タンス等の電 特性を測定することによ て、 された微粒子の量を検知することが可能な 3に記載の カム 。

5 、 ジ ライト、ア ナタイタネイト、サイア ン、ムライト、 、 ン ジ ウム、ジ ア、チタ ア、ア ナ カよりなる群 ら選ばれる 以上のセラ ックス、又は焼 主成分とする材料 ら 成されて る ～ 4の れ に記載の カム 。

6 極のセラ ック体が ジ ライトである ～ 5の れ に記載 の カム 。

7 に記載の カム を製造する方法であ て、最終的に得 とする カム の 状に対し、一部が切り欠 れた 状を有する カム を作製する一方で、 り欠 れた部分の 状に対応する 状 を有し、側面部に電極が設けられた電極 カム を別個に作製し、前記 り欠 れた部分に前記 カム して一体 カム の 。

8 に記載の カム を製造する方法であ て、押出 により成 形 、それを して得られた カム 、電極を 入するための溝を形成し 、 に電極を 入する カム の 。

9 に記載の カム を製造する方法であ て、電極を 入するため の溝を有する カム を押出 により成形 、得られた成形 を焼 し た後、前記 に電極を 入する カム の 。

2０ に記載の カム を製造する方法であ て、電極を 入するため の溝を有する カム を押出 により成形 、得られた成形 の に電極を 入した後、前記 を焼 する カム の 。

2 に記載の カム を製造する方法であ て、電極が配される溝を する カム 、前記 に配される電極とを、押出 により同時に一体 的に成形 得られた成形 を焼 する カム の 。