WO2007010652A1 - 検査装置 - Google Patents

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WO2007010652A1
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inspection
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substrate
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Katsuhide Kubo
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Mitsubishi Electric Corp
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    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus having a barcode reader that reads a barcode provided on an object to be inspected.
  • a substrate inspection apparatus places bar code information provided on a substrate on a mounting portion of the inspection apparatus for use in history management of inspection data.
  • An operator is reading with a barcode reader in a separate process before.
  • the barcode information is read by bringing the barcode reader closer to the barcode on the substrate as the inspection object attached to the fixed position of the jig.
  • Patent Document 1 there is a technique in which a barcode reader is attached to the lower surface of the upper jig, and the barcode reader is brought close to the substrate to read the force.
  • Patent Document 1 Japanese Utility Model Publication No. 5-052958
  • the conventional inspection apparatus is configured as described above! Therefore, it is necessary to read the barcode information in a separate process from the inspection, and there is a problem that work efficiency is poor.
  • the barcode information is read before placing the substrate on the inspection apparatus, there is a problem that a substrate different from the substrate on which the barcode is read is erroneously placed on the inspection apparatus.
  • An object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of accurately reading bar code information provided on an inspection object through a transparent plate after being attached.
  • An inspection apparatus includes a placement portion for placing an inspection object having a barcode, a transparent plate covering an upper surface of the inspection object placed on the placement portion, and the barcode.
  • a barcode reader for reading information through the transparent plate, a barcode reader driving means for supporting the barcode reader and moving the barcode reader to a position facing the barcode, and reading information by the barcode reader
  • a determination processing unit that determines whether the inspection object processed and placed on the placement part is an inspection object; and the inspection object placed on the placement part from the determination processing part is the inspection object.
  • an inspection unit that performs an inspection upon receiving the determination result.
  • the substrate on which the barcode is read with good working efficiency and It is possible to reliably avoid erroneously mounting different substrates on the inspection device.
  • the barcode reader is moved to a position facing the barcode by the barcode reader driving means, and the barcode information is read through the transparent plate, so that the barcode information can be read accurately. is there.
  • FIG. 1 is a side view of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional plan view taken along line A—A in FIG.
  • ⁇ 4 It is a perspective view of an XY movement mechanism part.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram of a barcode.
  • FIG. 1 is a side view showing an inspection apparatus according to the present invention
  • FIG. 2 is a front view thereof
  • FIG. 3 is a plan view taken along the line A-A in FIG. 1
  • FIG. 4 is a perspective view of an XY moving mechanism.
  • Main unit 100 is on base 1
  • the lower base 2 is placed on the base 1, and the upper base 3 is attached to the upper ends of the pillars 101 standing at the four corners of the base 1.
  • a press cylinder 12 is attached to the lower surface of the base 1 located at the center of the lower base 2, and the lower base 2 is attached to a sliding shaft 12 a of the press cylinder 12 that penetrates the base 1.
  • a lower jig 4 is attached to the lower base 2 with a gap, and a predetermined number of prop pins 10 are provided at predetermined positions on the lower jig 4. Further, positioning pins 9 for setting the substrate 6 as an object to be inspected at the time of energization inspection are provided at predetermined locations (for example, four corners) around the lower jig 4.
  • a cutout hole 16 having substantially the same shape as the substrate 6 is formed in the central portion of the upper base 3. Further, on the lower surface of the upper base 3, a support rail 3a for exchanging and supporting an upper jig 5 (for example, a transparent athletic plate) large enough to cover the cutout hole 16 is provided. Support rods 8 are provided downward in the lower peripheral area (for example, at the four corners). In addition, a predetermined number of support pins 11 that push down the substrate 6 are provided on the lower surface of the upper jig 5. Therefore, replace and install the upper jig 5 according to the board to be inspected.
  • an upper jig 5 for example, a transparent athletic plate
  • An XY moving mechanism 17 is provided on the upper surface of the upper base 3.
  • the XY movement mechanism 17 is composed of an X-axis slider 19 provided in parallel on both sides of the upper surface of the upper base 3, and a portal-shaped Y-axis slider 18 that moves in the X-axis direction along the X-axis slider 19.
  • the ends of both legs of the Y-axis slider 18 are engaged with the guide grooves 19a of the X-axis slider 19 and fixed with X-axis fixing screws 21.
  • the base of the camera 13 is fixed to the guide groove 18a of the Y-axis slider 18 with a Y-axis fixing screw 20 so that the camera 13 moves in the Y-axis direction. It is installed on the body.
  • a deflection filter 15 is provided in front of each of the camera 13 and the illumination device 14.
  • a bar code reader 22 that reads information on the bar code 7 on the substrate 6 is connected between the camera 13 and the processing device 23.
  • the lead wires of the plurality of probe pins 10 are connected together and connected to the processing device 23 to the measuring unit 24 that processes the inspection signal.
  • the electromagnetic valve 25 controls the press cylinder 12 in response to a processing signal from the processing device 25, and is provided integrally with the press cylinder. Next, the operation will be described.
  • the substrate 6 as the object to be inspected is positioned and fixed by the positioning pins 9 and set in the lower jig 4.
  • the camera 13 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the XY moving mechanism 17 so as to face the barcode 7 marked, printed or pasted on the substrate 6 by the laser.
  • the camera 13 is moved manually by the operator and is not shown in the figure, but the motor 13 is driven by the drive signal from the processing device 23 and the camera 13 is moved by the power. It can also be configured.
  • the information on the barcode 7 is read by the camera 13 after being illuminated with the illumination device 14 and through the cutout hole 16 of the upper base 3 and the transparent acrylic 5 as the upper jig.
  • the taken bar code information is read by the bar code reader 22 and supplied to the processing device 23.
  • the processing device 23 processes the supplied bar code information and determines that the substrate 6 set in the lower jig 4 is a substrate to be inspected, the electromagnetic valve 25 is driven, and the press cylinder 12 is driven by this driving. Operate and raise the lower base 2 to the support bar 8.
  • the lower jig 4 fixed to the lower base 2 is also lifted, and the substrate 6 is pushed into the support pins 11 of the upper jig 5 so that the electrodes on the board and the probe pins 10 are in contact with each other.
  • the measurement unit 24 starts the inspection.
  • the inspection result by the measurement unit 24 is supplied to the processing device 23, and the history of the search data is managed together with the barcode information.
  • the notch hole 16 of the upper base 3 and the upper jig as the upper jig are set in a state where the substrate 6 as the inspection object is set at the inspection position.
  • the barcode is read with the substrate 6 as the inspection object set in the inspection position.
  • the working efficiency is improved and the apparatus can be downsized.
  • the set state of the substrate 6 can be visually confirmed through the cutout hole 16 of the upper base 3 and the transparent acrylic 5 as the upper jig, the setting error of the substrate 6 can be prevented.
  • the camera 13 and the illumination device 14 can be moved along the Y-axis slider 18 and the X-axis slider 19 of the XY moving mechanism 17, they are moved in advance to a position facing the bar code 7.
  • the Y-axis fixing screw 20 and the X-axis fixing screw 21 it becomes possible to read the barcode 7 at any position on the board 6, and the marking, printing, or pasting position of the barcode 7 There are no restrictions.
  • the deflection filter 15 is attached to the camera 13 and the illumination device 14, it is possible to prevent a reading defect due to irregular reflection of ambient light.
  • the identification information of the barcode 7 read by the camera 13 is used to inquire whether the processing apparatus 23 is a substrate to be inspected via the barcode reader 22 and set a different substrate. In this case, by controlling so that the press cylinder 12 is not driven by the electromagnetic valve 25, when the different board 6 is set and the probe pin contact is made, the probe pin 10 and the support pin 11 hit the electronic component of the board 6, and eventually It is possible to prevent problems that cause damage.
  • the present invention can be widely applied to an inspection apparatus having a bar code reader used for substrate management, a substrate transfer system, and the like.

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Abstract

　バーコードを有する被検査物を載置する載置部と、前記載置部に載置した被検査物の上面を覆う透明板と、前記バーコードの情報を読み取るためのバーコードリーダと、前記バーコードリーダを支持し該バーコードリーダを前記バーコードと対向する位置に移動させ、前記透明板を通して前記バーコードの情報を読み取るバーコードリーダ駆動手段とを備え、検査部は前記被検査物の検査を行い、処理部は検査部の検査結果を処理するものである。

Description

明 細 書
検査装置
技術分野
[0001] この発明は、被検査物に設けられたバーコードを読み取るバーコードリーダを有す る検査装置に関するものである。
背景技術
[0002] 従来、この種の検査装置としての基板検査装置は、検査データの履歴管理に用い るために、基板上に設けたバーコード情報を、基板を検査装置の載置部に載置する 前に別工程で作業者がバーコードリーダで読み取つている。この読み取りは、治具の 固定位置に取り付けられている被検査物としての基板のバーコードに対してバーコ 一ドリーダを近づけてバーコード情報を読み取つている。また、特許文献 1に記載さ れるように、上治具の下面にバーコードリーダを取り付け、このバーコードリーダを基 板に近づけて力も読み取る技術もある。
[0003] 特許文献 1 :実開平 5— 052958号公報
[0004] 従来の検査装置は以上のように構成されて!、るので、検査とは別工程でバーコード 情報を読み取る必要があり、作業効率が悪いという課題があった。また、基板を検査 装置に載置する前にバーコード情報を読み込むため、バーコードを読み込んだ基板 とは異なる基板を間違って検査装置に載置してしまうという課題があった。
[0005] また、特許文献 1に記載されたように、バーコードリーダに基板を近づけて、この基 板に設けたバーコード情報に近づけて読み取るものでは、バーコードリーダと基板上 の電子部品が干渉する場合は該バーコードリーダを治具に取り付けることができない 。また、異なる基板を載置しプローブピンコンタクトした際はプローブピンやサポート が電子部品に当たり、いずれかが破損する課題があった。さらに、バーコードリーダ は治具の固定位置に取り付けられているため、基板上のバーコード位置も限定され るという課題があった。
発明の開示
[0006] この発明は上記のような課題を解消するためなされたもので、被検査物を治具に取 り付けた後、透明板を通して被検査物に設けられたバーコード情報を正確に読み取 ることのできる検査装置を提供することを目的とする。
[0007] この発明に係る検査装置は、バーコードを有する被検査物を載置する載置部と、前 記載置部に載置した被検査物の上面を覆う透明板と、前記バーコードの情報を前記 透明板を通して読み取るバーコードリーダと、前記バーコードリーダを支持し該バー コードリーダを前記バーコードと対向する位置に移動させるバーコードリーダ駆動手 段と、前記バーコードリーダによる読み取り情報を処理して、前記載置部に載置した 被検査物が検査対象物であるかを判断する判断処理部と、前記判断処理部から前 記載置部に載置した被検査物が検査対象物であるとの判断結果を受け検査を行う 検査部とを備えたものである。
[0008] この発明によれば、被検査物を検査装置に取り付けた後、透明板を通して被検査 物に設けられたバーコード情報を読み取るので、作業効率がよぐバーコードを読み 込んだ基板とは異なる基板を間違って検査装置に載置することも確実に回避するこ とができる。また、バーコードリーダ駆動手段によってバーコードリーダをバーコードと 対向する位置に移動させ、透明板を通してバーコード情報を読み取るようにしたこと により、そのバーコード情報を正確に読み取ることができるという効果がある。
図面の簡単な説明
[0009] [図 1]この発明の実施の形態による検査装置の側面図である。
[図 2]この発明の実施の形態による検査装置の正面図である。
[図 3]図 1の A— A線に沿う横断平面図である。
圆 4]XY移動機構部の斜視図である。
[図 5]バーコードの説明図である。
発明を実施するための最良の形態
[0010] 以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための最良の形 態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態 1.
図 1はこの発明の検査装置を示す側面図、図 2はその正面図、図 3は図 1の Α— A 線に沿う平面図、図 4は XY移動機構部の斜視図である。装置本体 100は、基台 1上 に下ベース 2を載置し、この基台 1の四隅に立てた支柱 101の上端に上ベース 3を取 り付けた構成である。下ベース 2の中央に位置する基台 1の下面にはプレスシンリン ダ 12が取り付けられ、基台 1を貫通するプレスシンリンダ 12の摺動軸 12aに下ベース 2が取り付けられている。
[0011] 下ベース 2には間隔を空けて下治具 4が取り付けられており、この下治具 4にはプロ ープピン 10が所定位置に所定本数設けられている。また、通電検査時に被検査物と しての基板 6をセットする際の位置決めピン 9が下治具 4の周辺の所定箇所 (例えば 4 隅）に設けられている。
[0012] 上ベース 3の中央部には、基板 6と略同形の切り欠き穴 16が形成されている。また 、上ベース 3の下面には、切り欠き穴 16を覆う大きさの上治具 5 (例えば、透明アタリ ル板）を交換支持する支持レール 3aが設けられているとともに、この上ベース 3の下 面の周辺箇所 (例えば 4隅）に下向きに支持棒 8が設けられている。また、上治具 5の 下面には基板 6を押し下げるサポートピン 11が所定本数設けられている。従って、検 查対象基板に合わせて上治具 5を交換設置する。
[0013] 上ベース 3の上面には XY移動機構 17が設けられている。この XY移動機構 17は 上ベース 3の上面両側に平行に設けられた X軸スライダ 19と、この X軸スライダ 19に 沿って X軸方向に移動する門形をした Y軸スライダ 18とで構成されており、 Y軸スライ ダ 18の両脚端を X軸スライダ 19のガイド溝 19aに係合させて、 X軸固定ネジ 21で固 定している。
[0014] カメラ 13は Y軸方向に移動するように、その基部を Y軸固定ネジ 20で Y軸スライダ 1 8のガイド溝 18aに固定しており、そのカメラ 13の前部には照明装置 14がー体に設 けられている。そして、カメラ 13および照明装置 14の前面にはそれぞれ偏向フィルタ 15が設けられている。
[0015] 基板 6上のバーコード 7の情報を判読するバーコードリーダ 22は、カメラ 13と処理 装置 23との間に接続されている。また、検査信号を処理する計測部 24には、複数本 のプロープピン 10のそれぞれのリード線が 1本に纏められて接続されるともに処理装 置 23に接続されている。電磁バルブ 25は処理装置 25からの処理信号を受けてプレ スシリンダ 12を制御するもので該プレスシリンダと一体に設けられている。 [0016] 次に動作について説明する。
被検査物としての基板 6を位置決めピン 9で位置決め固定して下治具 4にセットする 。カメラ 13を XY移動機構 17によって X軸方向、 Y軸方向に移動させて、基板 6にレ 一ザによってマーキング、印刷もしくは貼り付けられたバーコード 7と対向させる。この 場合、カメラ 13を移動させるのは、作業者が手動で動かす他、図示を省略したが、処 理装置 23からの駆動信号でモータ等を駆動し、その動力でカメラ 13を移動させるよ うに構成することもできる。
[0017] このようにして、照明装置 14で照明してカメラ 13によって、上ベース 3の切り欠き穴 16と上治具としての透明アクリル 5を透してバーコード 7の情報を読み取り、この読み 取ったバーコード情報をバーコードリーダ 22で判読して処理装置 23に供給する。処 理装置 23は供給されたバーコード情報を処理して、下治具 4にセットされた基板 6が 検査対象基板であると判断すると、電磁バルブ 25を駆動させ、この駆動によってプレ スシリンダ 12を作動させて、下ベース 2を支持棒 8まで上昇させる。これによつて、下 ベース 2に固定された下治具 4も上昇して、基板 6は上治具 5のサポートピン 11に押 さえ込まれ、基板上の電極とプローブピン 10とがコンタクトして計測部 24によって検 查が開始される。計測部 24による検査結果は処理装置 23に供給され、バーコード情 報とともに検索データの履歴管理を行う。
[0018] この実施の形態は上記のように構成されて ヽるので、被検査物としての基板 6を検 查位置にセットした状態で、上ベース 3の切り欠き穴 16と上治具としての透明アクリル 5を通して、カメラ 13でバーコード 7を読み取る。通常、カメラ 13のピントを合わせてバ 一コード 7を読み取ると、バーコードは図 5 (a)のように点の集合でできているので、そ の点を読み取ることになり、誤ったバーコード情報として読み取る恐れがある。
[0019] しかし、上記のように上治具としての透明アクリル 5を通してバーコード情報を読み 取ることにより、バーコード力 の反射光が透明アクリル 5内で屈折してカメラ 13に入 射し、一種のピンボケ状態でカメラ 13で読み取られる。このため、点の集合力もなる バーコードが図 5 (b)のように線状に読み取られることになり、バーコード情報を正確 に読み取ることができる。
[0020] また、被検査物としての基板 6を検査位置にセットした状態でバーコードを読み取る ことにより、作業効率が良くなり、装置も小型化できる。し力も、上ベース 3の切り欠き 穴 16と上治具としての透明アクリル 5を透して、基板 6のセット状態を目視確認するこ とができるため、基板 6のセットミスを防止できる。
[0021] また、カメラ 13と照明装置 14は、 XY移動機構 17の Y軸スライダ 18と X軸スライダ 1 9に沿って移動させることができるから、予めバーコード 7との対向位置に移動させて 、 Y軸固定ネジ 20と X軸固定ネジ 21によって固定することにより、基板 6上の任意位 置のバーコード 7を読み取ることが可能となり、バーコード 7のマーキング、印字、もし くは貼り付け位置の制約がなくなる。また、カメラ 13と照明装置 14には偏向フィルタ 1 5を取り付けてあるので、外乱光の乱反射などによる読み取り不具合を防止できる。
[0022] また、カメラ 13で読み込んだバーコード 7の識別情報は、バーコードリーダ 22を介 して処理装置 23で被検査対象基板であるか否カゝを照会して異なる基板をセットして いた場合は電磁バルブ 25によりプレスシリンダ 12を駆動しないように制御することに よって、異なる基板 6をセットしてプローブピンコンタクトした際にプローブピン 10ゃサ ポートピン 11が基板 6の電子部品に当たり、いずれかが破損する不具合を未然に防 止することができる。
産業上の利用可能性
[0023] 以上のように、この発明は、基板管理や基板搬送システムなどに使用されるバーコ 一ドリーダを有する検査装置に幅広く適用することができる。

Claims

請求の範囲
[1] バーコードを有する被検査物を載置する載置部と、前記載置部に載置した被検査物 の上面を覆う透明板と、前記バーコードの情報を前記透明板を通して読み取るバー コードリーダと、前記バーコードリーダを支持し該バーコードリーダを前記バーコード と対向する位置に移動させるバーコードリーダ駆動手段と、前記バーコードリーダに よる読み取り情報を処理して、前記載置部に載置した被検査物が検査対象物である かを判断する判断処理部と、前記判断処理部から前記載置部に載置した被検査物 が検査対象物であるとの判断結果を受け検査を行う検査部とを備えた検査装置。
[2] バーコードリーダ駆動手段は、バーコードリーダを直交する XY2軸方向に駆動するこ とを特徴とする請求項 1記載の検査装置。
[3] バーコードリーダの読み取り面に偏向フィルタを設けたことを特徴とする請求項 1記 載の検査装置。
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