WO2007006298A2 - Vorrichtung zur erzeugung eines atmosphärendruck-plasmas - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung eines atmosphärendruck-plasmas Download PDF

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WO2007006298A2
WO2007006298A2 PCT/DE2006/001234 DE2006001234W WO2007006298A2 WO 2007006298 A2 WO2007006298 A2 WO 2007006298A2 DE 2006001234 W DE2006001234 W DE 2006001234W WO 2007006298 A2 WO2007006298 A2 WO 2007006298A2
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region
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regions
longitudinal direction
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Jürgen ENGEMANN
Markus Teschke
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Je Plasmaconsult Gmbh
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
    • H05H1/2481—Generating plasma using acoustic pressure discharges the plasma being activated using piezoelectric actuators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers

Definitions

  • the invention initially relates to a device for generating an atmospheric-pressure plasma according to the preamble of claim 1.
  • a plasma in the context of the invention, a plasma is referred to, which can be generated under atmospheric pressure, but optionally also at higher pressures.
  • vacuum devices such as pumps, etc.
  • Such devices therefore generally have a simple construction compared with devices for producing low-pressure or low-temperature plasmas.
  • the invention relates to devices for generating an atmospheric pressure plasma, which are used for processing a substrate.
  • a substrate u.a. a two-dimensional or three-dimensional solid understood whose surface, where appropriate, to a certain processing depth, can be processed, for example coated, activated, cleaned, modified or otherwise treated.
  • substrate in the sense of the present patent application, however, it is understood, for example, also to mean a gas stream to be treated, for example a waste gas stream to be purified.
  • Atmospheric pressure plasmas can be classified into so-called "cold", non-thermal plasmas having a gas temperature of typically less than
  • the present invention is primarily concerned with non-thermal plasmas, which have the advantage that the gas temperature in the order of the room temperature or only slightly higher, so that a longer residence time of the plasma on the substrate is possible and even very sensitive substrates, such as thin polymer films can be treated longer with this plasma without the surface of the substrate or the Substrate itself is damaged.
  • the provision for the ionization of the Working gas necessary high voltage through a separate from the excitation electrodes, external high voltage power supply, which contains a ferromagnetic electrical transformer consisting of a relatively small AC voltage, in the simplest case from a mains voltage of 230 V / 50 Hz, a high voltage in the order of 1 to 15 kV generated.
  • Suitable working gases include, for example, noble gases, oxygen, nitrogen or air.
  • a disadvantage of this known device for the production of atmospheric pressure plasmas with such a ferromagnetic electrical transformer are basically its weight, its size and the fact that in the formation of the ion-producing filaments (partial discharges) resulting electrical impulses transmitted back to the power supply via the transformer become. Although this can be suppressed by an isolation transformer, but requires additional effort. Furthermore, for reasons of electrical safety and to protect against electromagnetic interference, the cables must be isolated to the electrodes, which is the technical effort increased again. In addition there are high conversion and transmission losses.
  • the cuboid is divided into a primary area and a secondary area.
  • two electrodes are arranged, which are spaced apart at a distance which is predetermined by the thickness of the material region.
  • a low-voltage AC voltage ie an AC voltage with an amplitude of in particular less than 500 V
  • the primary region is set in vibration. These vibrations are transmitted from the primary area to the secondary area. Since the secondary region has a predetermined polarization direction which extends along the longitudinal extent of the secondary region, an electric field or potential differences occur along the longitudinal direction of the secondary region.
  • the rose type PT is preferably transversal in the primary region and preferably longitudinally polarized in the secondary region.
  • the object of the invention is to further develop the known device such that an improved plasma generation is possible.
  • Claim 1 in particular with those of the characterizing part, and is accordingly characterized in that the secondary region two
  • the principle of the invention essentially consists in providing a modified device made of piezoelectric material in the device according to the invention, in which the secondary region now comprises two different partial regions which are differently polarized. It is provided in a variant of the invention that the two subregions are components of a uniform workpiece of piezoelectric material, which have been polarized differently in the context of a polarization method to be described later. Alternatively, the two sections can also be formed by separate workpieces of piezoelectric material, and adjacent to each other, spaced or spaced apart, be arranged.
  • the two subareas consist of a common, differently polarized workpiece, it may be advantageous if the two subareas are assigned a common primary area.
  • the primary region is set in vibration by applying a low-voltage alternating voltage to the two electrodes. These vibrations are transmitted to the two subregions of the secondary region. Because of the opposite
  • Polarization directions of the two sections are generated electric fields along the surfaces of the two sections.
  • the greatest potential difference and the greatest field strengths occur between the two subregions, in particular in the region of the free ends of the secondary region, that is, in the region of the ends of the subregions remote from the primary region. In the area of these free ends can be generated with high efficiency, an atmospheric pressure plasma.
  • An excitation of the primary region means in the sense of the present patent application that the low-voltage AC voltage has a frequency corresponding to a resonant frequency of the piezoelectric material device.
  • the resonant frequency is dependent on the selected piezoelectric material, in particular on the speed of sound in the piezoelectric material, and on the geometry of the primary region and the secondary region. Typical resonance frequencies are in the range between 10 and 500 KHz.
  • An excitation of the primary region is also possible with a frequency whose wavelength is n times or n x 0.5 times the resonance wavelength. Depending on the choice of the n, these are different excitation modes.
  • the device according to the invention can be generated with a low-voltage AC power source, a high electric field at a predetermined location or at a predetermined area to generate a plasma there.
  • the high voltage is so generated directly where the plasma requires the strong electric fields.
  • Especially secure cables or lines for conducting high voltage can be dispensed with.
  • particularly compact space-saving designs can be achieved.
  • the piezo-ceramic itself is an insulator. Thus voltage differences along the surface of the secondary region can be tapped and measured. However, if, for example, one touches the outside of the secondary area with one finger, only such low charges could always flow away that the risk of electric shock does not exist. Thus, only lower security requirements to meet than conventional devices of the prior art. Very high efficiencies, greater than 0.9, can be achieved with the devices according to the invention. A structurally particular simple structure results from the presence of "natural" dielectric barriers.
  • the two subregions are arranged substantially parallel to each other. This allows a particularly efficient plasma generation.
  • an excitation of the primary region generates a potential difference between the two subregions in a direction transverse to the longitudinal direction.
  • high electric fields are also generated in an area between the two partial areas, to a particular extent near the connection area between the two partial areas.
  • This allows, in particular, the generation of a plasma in the region of the free ends of the secondary region, and thus in principle the generation of large-area plasmas, when a plurality of partial regions are arranged along a straight line or along a plane.
  • the generated fields can be determined very accurately beforehand.
  • the generation of potential differences between the two subregions along a direction transverse to the longitudinal direction means, in particular, that maximum potential differences form in the region of the free ends of the subregions.
  • maximum electric fields are generated there, which leads to a preferred plasma generation in these areas.
  • the two subregions are arranged adjacent to each other. This allows a very compact design and the achievement of high
  • the two subregions are separated from each other.
  • This embodiment allows a particularly simple construction of the device made of piezoelectric material, since the two subregions of the secondary region can be formed by a common workpiece, which is polarized differently. The polarization and the corresponding polarization method are described later in this application.
  • This embodiment of the invention allows a particularly compact and simple construction.
  • the two subregions are formed by a common workpiece, which is polarized in different directions. This allows a particularly simple design.
  • the primary area and the secondary area of a common workpiece are formed by a common workpiece, which is polarized in different directions.
  • the primary area and the secondary area and / or the partial areas are formed by different workpieces which are fastened to one another.
  • This allows a modular design that allows, for example, that the subregions and the primary area are initially polarized separately, after manufacture, with only then followed by an assembly.
  • the assembly can be done with suitable fasteners, for example with suitable adhesives.
  • the decisive factor is that the connection allows transmission of the resonance vibrations from the primary area to the secondary area. Suitable bonding agents are known in the art.
  • the two subregions are slightly spaced from each other.
  • this enables the provision of a free space between the two subregions, which is responsible for a mechanical and / or electrical
  • the open space can also have a
  • Provide gas flow channel on the one hand affects the plasma generation advantageous and on the other hand, a process or
  • Gas flow channel also lead to be treated, gaseous substrate.
  • an insulating element can also be arranged in the resulting space between the two subregions.
  • a Such Isolierrange can provide for a mechanical or possibly also electrical decoupling of the two sub-areas, so that it comes to the formation of high electric fields or potential differences only along predetermined, certain areas. This increases the accuracy with which the areas in which plasma is generated can be determined in advance.
  • each subarea is assigned its own primary area.
  • a first subarea is assigned a first primary area and a second subarea a second primary area.
  • the two primary areas may each have at least one own pair of terminal electrodes, so that each primary area is separately supplied with alternating voltage. This means that at least three electrodes are provided for the two primary areas.
  • An electrode can be assigned to both primary areas together.
  • Subareas can be stretched arbitrarily long in the linear direction
  • each subarea is a separate one
  • the number of electrode pairs can correspond to the number of subregions.
  • the polarization directions of Partitions can alternate along the row. This makes it possible to generate a plasma between two adjacent subareas, preferably in the region of their free ends.
  • the invention further relates to a device for generating an atmospheric-pressure plasma according to the preamble of claim 21.
  • the invention is again based on the aforementioned Itoh
  • the object of the invention is likewise to improve the generation of an atmospheric-pressure plasma.
  • the invention achieves this object with the features of claim 21, in particular with those of the characterizing part, and is accordingly characterized in that the secondary region is formed by two separate subregions which run along the same
  • Polarization direction are polarized, that each sub-areas a separate
  • Partial areas in a direction transverse to the longitudinal direction are Partial areas in a direction transverse to the longitudinal direction.
  • a counter clocked arrangement of the two primary regions means, for example, that both primary regions are polarized along the same direction of polarization and 180 ° out of phase, but in phase, ie excited with a constant phase.
  • the two primary regions can also be polarized along opposite polarization directions and be excited in phase, ie without phase shift, in phase.
  • a counter clocked arrangement of the two primary areas includes both described alternatives of choice
  • the two separate subareas and, for example, equally the two associated primary subregions may be spaced apart and have between them either a free space, in particular in the form of a gas flow channel, or an insulator.
  • a gas flow channel between the two Subareas may also lead to plasma generation within the gas flow channel.
  • a plasma generation preferably takes place on the free end face of the subregions, in particular along the connecting surfaces or along the boundary surfaces between the two subregions.
  • the two primary areas have a matching polarization direction and can be excited 180 ° out of phase.
  • a phase-shifted excitation means that the two primary regions are excited in a fixed constant phase with one another, wherein a phase shift of 180 ° is provided.
  • the two primary regions in this alternative can be polarized along the same direction of polarization.
  • the two primary regions have opposite polarization directions and are in phase, i. without phase shift, in phase, excitable.
  • each of the two primary areas has a pair of electrodes.
  • each primary area can have a separate pair of electrodes.
  • an arrangement may be provided, wherein one of the electrodes is assigned to the two primary areas together, and wherein this electrode is arranged between the two primary areas.
  • a primary region and a partial region are formed by a common workpiece.
  • the two subregions are arranged slightly spaced from each other. This allows the arrangement of a
  • a plurality of partial regions are arranged linearly in series, in particular transversely to the longitudinal direction. This allows the construction of a device with a plurality of plasma-generating regions, so that overall a very large-area substrate processing is possible.
  • the push-clocking of the associated primary areas alternates in an advantageous embodiment of the invention along the row of partial areas.
  • a multiplicity of partial regions are arranged, for example, directly adjacent to or spaced apart along a row, and all partial regions have an identical polarization direction.
  • the primary areas assigned to the individual subareas must oscillate synchronously, but offset 180 °.
  • two adjacent primary areas are arranged counterclockwise to each other. Again, this can be achieved by two different alternative embodiments.
  • the two adjacent primary regions are polarized along the same direction of polarization but excited 180 ° out of phase.
  • the primary regions have opposite polarization directions and become in phase, i. without phase shift, excited in phase.
  • the invention further relates to a device for generating an atmospheric pressure plasma according to the preamble of claim 37.
  • the invention is again based on a device as described in the aforementioned Itoh publication.
  • the object of the invention is equally to further develop the known device such that an improved and in particular more efficient plasma generation is possible.
  • Claim 37 in particular with the characteristics of the characterizing part, and is accordingly characterized in that a second device is provided with a second, separate primary region and with a second, separate, longitudinally extending secondary region, that the two secondary regions parallel to each other and across the Longitudinally spaced from each other, and that the two secondary regions between them form a longitudinal gas guide channel.
  • Secondary regions in a direction transverse to the longitudinal direction of Secondary areas spaced apart, but parallel to each other to arrange.
  • the two secondary regions can thus form a longitudinally extending gas guide channel between them.
  • the two secondary areas are each assigned a separate primary area.
  • the gas guide channel advantageously also extends between the two separate primary areas.
  • each of the two primary areas is provided with a pair of electrodes to which a low-AC voltage is applied.
  • Primary regions are either polarized along the same polarization directions and in phase, either in-phase or 180 ° - out of phase, are arranged. Alternatively, the primary regions can also along different, in particular along opposite
  • Gas flow can be passed, which can be influenced by the electric fields that form between the two secondary areas.
  • the electric fields may form due to potential differences that extend either along the longitudinal direction of the respective secondary regions or transversely to this longitudinal direction.
  • the spatial distribution of the electric field lines essentially depends on how the secondary regions are polarized, namely whether two opposing secondary regions are polarized along the same polarization direction or along opposite polarization directions. Both alternatives are possible.
  • Essential for the functional principle of this invention is that two opposing secondary areas are provided, so that very accurately predictable electrical field geometries result, with the electrical fields superimposed and reinforced.
  • Gas guide channels This allows the generation of large-volume or large-scale plasmas.
  • a plurality of secondary areas along a plane in particular arranged in the manner of a grid, and forms between them a plurality of longitudinally extending gas guide channels.
  • the invention further relates to an apparatus for generating an atmospheric pressure plasma according to the preamble of claim 40.
  • the invention is based in turn on the above-described Itoh publication.
  • the invention has for its object to further develop the known device such that an improved generation of plasma is possible.
  • Claim 40 in particular with those of the characteristic part, and is accordingly characterized in that the secondary region has a curved inner surface which forms a wall of a gas guide channel.
  • the principle of the invention is essentially to form the secondary region curved.
  • the inner surface according to the invention provides the wall of a gas guide channel.
  • a working or process gas can thus be guided directly along the surface of the secondary region, wherein due to the curvature of an enlarged surface is achieved.
  • a plasma generation in a larger volume or along an enlarged surface can be achieved or an improved interaction between the gas and the plasma can be achieved.
  • the electric field lines running along the curved inner surface in contrast to the prior art, favor the generation of plasma.
  • this device also offers the possibility of completely dispensing with separate containers for guiding a gas for the plasma-generating regions.
  • the container required in the prior art which adversely affects the course of the electric field lines or the alternating electric fields, can now be provided by the secondary area itself, without adversely affecting it.
  • the inner surface is preferably curved about a line of curvature that extends substantially along the longitudinal direction of the secondary region. Thus, the gas flow along the longitudinal axis can be performed.
  • the primary region is radially polarized. This means that the direction of polarization in the primary region is directed towards or away from the curvature line.
  • the curved inner surface is a boundary surface for the atmosphere ' pressure plasma.
  • the atmosphere ' pressure plasma can be dispensed with separate boundary surfaces.
  • the invention further relates to an apparatus for generating an atmospheric pressure plasma according to the preamble of claim 42.
  • the invention has for its object to further develop the known device such that an improved plasma generation is possible.
  • Claim 42 in particular with those of the characterizing part, and is accordingly characterized in that in the secondary region a longitudinally extending, continuous gas flow channel is arranged, and that the secondary region completely surrounds the gas flow channel.
  • the secondary region has a through opening which forms a gas flow channel.
  • the secondary area completely surrounds the gas flow channel.
  • the secondary area may also provide a mouth area for a plasma jet.
  • plasma can be generated, to which, depending on various parameters, such as the flow velocity of the gas, and a plasma jet in the flow direction can connect behind the mouth of the gas flow channel.
  • the mouth region may also be formed nozzle-shaped.
  • the gas flow channel also passes through the primary area.
  • a honeycomb-like structure of the device is possible, which can be made in the ideal case of a single workpiece. The production of such a honeycomb structure will be described below.
  • the primary region is preferably radially polarized. This means that the polarization direction in the primary region is directed toward or away from the center or a center line of the gas flow channel.
  • Such a polarization can be effected in a very simple way by applying electrodes to the inside of the gas guide channel and to the outside of the gas guide channel.
  • the device is substantially tubular. Such a structure allows a particularly simple construction.
  • a plurality of corresponding tubular means may e.g. in a linear arrangement or along a plane, arranged in a grid, be summarized. This will also honeycomb
  • the invention further relates to a device for generating an atmospheric-pressure plasma according to the preamble of claim 46.
  • the invention has for its object to enable an improved and more efficient generation of atmospheric pressure plasma.
  • the invention solves this problem with the features of claim 46, in particular with those of the characterizing part, and is accordingly characterized in that in the secondary area a plurality of longitudinally extending, continuous and mutually parallel gas flow channels are arranged.
  • the principle of the invention is essentially to provide a plurality of gas flow channels in the secondary region.
  • the gas flow channels extend in the longitudinal direction of the
  • Gas flow channels lead to a honeycomb structure of the secondary region. This allows a particularly simple and compact design of the device according to the invention and a particularly large-volume or large-scale plasma generation.
  • the invention further relates to a workpiece made of piezoelectric material according to the preamble of claim 47.
  • Invention is to develop the known workpiece such that it is particularly easy to work and for use in a
  • Apparatus for generating an atmospheric pressure plasma is particularly suitable.
  • the invention solves this problem with the features of claim 47, in particular with those of the characterizing part, and is accordingly characterized in that the workpiece has at least three zones of different polarization.
  • the principle of the invention is essentially to divide the workpiece into a plurality of zones of different polarizations. While the known workpiece has only two zones of different polarization, it is provided according to the invention that at least three zones of different polarization are provided.
  • a primary region can be provided which is polarized along a first polarization direction and a secondary region with two partial regions which are along the longitudinal direction of the secondary region, ie transverse to the polarization direction of the primary region, but along opposite
  • Polarization directions are polarized. Thereby, a particularly simple production of a workpiece is possible, which can be used in a device for generating an atmospheric pressure plasma.
  • the invention further relates to a method for polarizing a uniform workpiece made of piezoelectric material according to the preamble of claim 48.
  • the achievement of three different polarization zones in a single workpiece is possible.
  • a workpiece can be produced, which has two subregions of a secondary region with opposite polarization. This allows a particularly comfortable polarization of the workpiece.
  • the invention further relates to a method for producing a uniform honeycomb workpiece made of piezoelectric
  • the object of the invention is to provide a method with which a honeycomb-like workpiece can be produced in a particularly simple manner.
  • the invention solves this problem with the features of claim 51.
  • the production of the workpiece takes place in the manner of an extrusion process.
  • the piezoelectric material is discharged endlessly from a nozzle coming from an extruder device.
  • the nozzle that is, the exit device for the piezoelectric material, has a counter-honeycomb structure that is complementary to the honeycomb structure of the workpiece to be produced and that provides a plurality of thorns.
  • the workpiece with made in the longitudinal direction through holes.
  • the material may be cut to length in the desired length, which through-holes may later provide the gas flow channels of the workpiece.
  • the cut honeycomb structure of piezoelectric material may be dipped longitudinally into an electrode immersion bath. As a result, electrodes can be attached to the honeycomb structures. Thereafter, a polarization can be made. In a second polarization step, the secondary region can be polarized.
  • the passage openings may have any cross section, for example a square cross section.
  • FIG. 1 is a schematic partially sectioned view of a first embodiment of the device according to the invention with a secondary region, which is divided into two polarized in opposite directions subregions,
  • Fig. 2 shows the device of FIG. 1 in perspective
  • FIG. 1 shows a second exemplary embodiment of the device according to the invention, wherein an insulating path is arranged between the two subregions of the secondary region, and wherein each subregion of the secondary region is assigned its own associated primary region,
  • Embodiment of the device according to the invention in which the two subregions of the secondary region and the two associated primary subregions are spaced from each other by a free space
  • FIG. 5 shows a series arrangement of partial areas of the secondary area in a representation according to FIG. 1, wherein each partial area is assigned a separate primary area subdivided into primary partial areas, FIG.
  • FIG. 7 shows a further exemplary embodiment of the device according to the invention in a plan view of the plasma-generating upper side, wherein a multiplicity of partial areas of the secondary area are arranged along a straight line,
  • Fig. 8 shows a further embodiment of the device according to the invention, in which the subregions of the secondary region are formed by rod-shaped bodies with triangular cross-section,
  • FIG. 9 shows another embodiment of the device according to the invention in a representation according to FIG. 8, wherein each
  • Partial area is assigned its own primary sub-area, and wherein the sub-areas and the primary sub-areas of rod-shaped bodies with substantially square
  • each rod-shaped body is spaced from an adjacent rod-shaped body
  • FIG. 10 shows a further embodiment of the device according to the invention comparable to the device according to FIG. 9, the rod-shaped bodies being unequally spaced from each other, FIG.
  • FIG. 9 another embodiment of the device according to the invention in a representation according to FIG. 9, wherein a single, centrally arranged rod-shaped body is provided, which is surrounded by an annular body with a square cross-section, leaving an annular space.
  • FIG. 12 shows a further embodiment of the device according to the invention in a representation according to FIG. 11, wherein three concentrically arranged bodies are arranged unequally from one another,
  • Fig. 13 shows another embodiment of the invention
  • Body are spaced apart, so that form the two primary sub-areas and the two sub-areas of the secondary area between them a gas flow channel,
  • FIG. 15 shows an illustration according to FIG. 14 of a further exemplary embodiment of the invention, in which an insulating section is arranged between the two cuboidal bodies,
  • FIG. 16 shows a further embodiment of the device according to the invention with two subareas of a secondary region, which are polarized along the same direction of polarization,
  • FIG. 17 shows a further exemplary embodiment of the device according to the invention, in which a free space is arranged between the two secondary areas and the associated primary part areas,
  • FIG. 18 shows a further embodiment of the device according to the invention with a central passage opening
  • FIG. 19 is a further embodiment of the invention comparable to the embodiment of FIG. 18, 20 shows a further embodiment of the device according to the invention with a multiplicity of passage openings,
  • FIG. 21 shows a further embodiment of the device according to the invention with a substantially nearly tubular, cylindrical device for generating a plasma jet
  • FIG. 22 shows a multi-plasma jet source in a representation according to FIG. 21, FIG.
  • FIG. 23 shows a device according to FIG. 22 in a bottom view, for instance according to the arrow XXIII in FIG. 22, FIG.
  • 23a is a plan view of the device according to view arrow XXIIIa in Fig. 22,
  • FIG. 24 shows a further embodiment of the device according to the invention
  • Fig. 25 shows another embodiment of the device according to the invention with a nozzle-like tapered
  • 27 shows a further embodiment of the device according to the invention for illustrating the basic physical principle
  • 28 shows a further embodiment of the device according to the invention for illustrating a further basic physical principle
  • 29 shows a further embodiment of the device according to the invention with a special, internal electrode
  • FIG. 30 shows a further embodiment of the device according to the invention with a housing
  • Fig. 31 shows a further embodiment of the invention
  • FIG. 32 shows a further embodiment of the device according to the invention in a bottom view similar to the representation of FIG. 6,
  • FIG. 33 shows a further embodiment of the device according to the invention in a schematic, partially cut, perspective view in the manner of a corrugated sheet structure
  • FIG. 33a shows another embodiment of the device according to the invention with two corrugated sheet metal structures shown schematically approximately in a view according to the view arrow XXXIIIa in Fig. 33, and
  • FIG. 33b shows another embodiment similar to FIG. 33a, in which the two corrugated metal structures are parallel to one another.
  • the device according to the invention designated in its entirety by 10, for generating a plasma should first of all be explained with reference to FIG. 1, with regard to a first variant of the invention, from its basic principle. It should be noted in advance that in the following description of the figures, as far as different embodiments are concerned, the same or comparable or functionally identical parts or elements for the sake of clarity with the same reference numerals and the same letters, partially with the addition of small, appended letters are designated.
  • Fig. 1 shows a first embodiment of an inventive
  • Device 10 which comprises a device 11 made of piezoelectric material.
  • Suitable piezoelectric material are suitable materials exhibiting a piezoelectric effect, such as, for example, PXE.
  • Ceramics such as lead, zirconate titanate Pb (ZrTi) O 3 into consideration.
  • the device 11 may for example be formed by a single workpiece, which is subdivided into three zones 16a, 16b 16c of different polarization.
  • the polarization directions are indicated by arrows P.
  • a polarization direction of a piezoelectric material is generated by applying a high polarization voltage so that all of the white dipole regions in the material collapse into this direction given by the applied voltage or electrode geometry.
  • the direction of polarization is therefore dictated by the shortest geometric connection between the two applied electrodes and by their polarity.
  • the device 11 has a primary zone 12 or a primary region with a substantially transverse direction Q extending
  • the device 11 according to FIG. 1 may, for example, have the shape of a cuboid which extends perpendicularly to the plane of the paper along a distance s, the z. B. is greater than the width d of the device 11th
  • Device 11 are substantially plate-shaped in the primary region 12
  • Electrodes 17a and 17b attached.
  • the electrodes may be printed, sputtered or affixed in any other suitable manner.
  • the two electrodes 17a and 17b are connected via voltage supply lines 10a and 10b to a voltage supply source 19, which generates a low-voltage alternating voltage of a predetermined frequency and with an amplitude of less than 500 volts.
  • the primary region 12 is applied with a resonant frequency of, for example, 100 kHz to be determined, mechanical oscillations of the primary region 12 occur due to the applied alternating electrical voltage, which lead to periodic changes in the thickness d of the primary region 12 between the electrodes 17a, 17b. These mechanical vibrations are also transmitted to the secondary region 13.
  • the secondary region 13 is in erfindunbee way in two
  • connection region 21 between the two subregions 14 and 15 in particular in the free end region of the secondary region 13.
  • a plasma 20 is formed, as shown in FIG flat trained plasma cloud is indicated.
  • the device 11 provides a piezo-transformer (PT) and allows the generation of high-voltage potential differences along the secondary region 13 by a low-voltage source 19.
  • PT piezo-transformer
  • the primary region 12 and the secondary region 13 with the two subregions 14 and 15 can be formed from a single workpiece, which in the three zones 16a, 16b, 16c with different polarization directions by applying corresponding polarization voltages and can be divided by arranging suitable electrodes.
  • the primary region 12 which is not shown in Fig. 1, be formed of a separate workpiece, which with the
  • the device 11 according to FIG. 1 can be formed from one, two or three different workpieces.
  • the primary region 12 may be formed from one or a plurality of workpieces. 1 shows an arrangement in which the primary area 12 has two electrodes 12a and 12b associated therewith. However, the primary region can also be subdivided into a multiplicity of partial regions, wherein a multiplicity of electrodes with alternating voltage can be provided. Such a layer structure will be explained later.
  • the primary region 12 and the secondary region 13 with the two subregions 14 and 15 are each formed by separate elements.
  • suitable connecting means such as adhesives, which accomplish a sufficient mechanical connection and, in particular, provide for a transmission of the mechanical vibrations from the primary area 12 to the secondary area 13.
  • the primary region 12 can be polarized along different polarization directions P1, P2 or P3.
  • the polarization direction P1 according to FIG. 2 corresponds to the polarization direction P according to FIG. 1, the electrodes not being illustrated in the device according to FIG.
  • the orientation of the polarization direction P 1 does not matter at first.
  • the primary region 12 could also be polarized along the direction of polarization P 2 , in which case planar electrodes would have to be arranged on the front side V, which is shown in FIG. 2, and on the rear side, not shown in FIG. 2, so that the connecting line of the electrodes would be the polarization direction P 2 corresponds.
  • FIG. 2 shows, for the sake of completeness, a polarization direction P3 that runs essentially parallel to the polarization directions P of the secondary region.
  • This is intended to indicate that by arranging electrodes, for example in the region of the lower end of the primary region 12 and in the region of the upper end of the primary region 12, it is theoretically possible to stimulate the primary region 12 equally. Although such a design has disadvantages in terms of design, the principle according to the invention can nevertheless be achieved.
  • a primary region 12 or a primary subregion to be explained later must be brought into resonant oscillations by applying alternating electric fields.
  • two electrodes spaced apart from each other and between them the piezoelectric material region (primary region) of the thickness (D) are sufficient. can surround.
  • a multiplicity of parallel electrode plates may also be arranged, so that a layer structure, as will also be explained later on in other exemplary embodiments, is produced.
  • This layer structure is initially more complicated to construct, but may have the advantage that the transmission ratio of the excited low-voltage to the high voltage to be achieved is improved.
  • a corresponding wiring of the electrodes or a corresponding sequence of the polarization directions of the sections of the primary area is required. This will be explained in detail later.
  • FIG. 3 shows a further exemplary embodiment of the device according to the invention in a representation comparable to FIG. 1.
  • the device 10 according to the invention comprises a device 11 which has two separate primary regions 12a and 12b and two spatially separated partial regions 14 and 15 of opposite polarization. Between the two sections 14 and 15 of the secondary region 13 is in the embodiment of FIG. 3, an insulating element 23. It may be a mechanical and / or an electrical insulating element. The mechanical insulating element can at least partially decouple the two partial regions 14 and 15 from one another with regard to the mechanical vibrations.
  • the electrical insulating element 23 can ensure that the electric fields in the region of the mutually facing boundary surfaces of the two partial regions 14 and 15 do not generate any disadvantageous effects, and the plasma 20 is generated only in the region of the end face F of the device 11.
  • the two primary regions or primary subregions 12a and 12b each have their own pair of electrodes. However, it is clear from FIG. 3 that the two primary regions 12a and 12b can also have a common electrode 17b.
  • the three electrodes 17a, 17b, 17c are connected to a low-voltage source 19 and are excited in phase, namely in phase.
  • the total primary region 12 formed by the two primary regions 12a and 12b in the exemplary embodiment according to FIG. 3 therefore corresponds to the primary region 12 of the device 10 according to FIG. 1 and oscillates in total synchronously.
  • FIG. 4 shows a further exemplary embodiment of a device 10 according to the invention, in which the two primary regions 12a and 12b and the two subregions 14 and 15 of the secondary region 13 are completely separated from one another by a free space 24.
  • the clearance 24 provides a gas flow passage through which a suitable working or carrier gas can flow in the longitudinal direction L.
  • Fig. 4 illustrates the formation of the electric fields E, which illustrate the potential differences and along which a plasma can form. 4 shows that the greatest electric field strengths occur in the region between the two end faces F1 and F2 of the two partial regions 14, 15.
  • Fig. 5 shows a device 10, which is a series arrangement of a
  • the secondary region 13 is consequently formed by a series arrangement of, for example, cuboid-shaped partial regions 14a, 15a, 14b, 15b, 14c, 15c. Between two sub-areas of different polarization, z. B. between the subregions 14a and 15a, a plasma cloud 20a is formed. All partial regions designated by 14 have a polarization along a first polarization direction and all partial regions designated by 15 have a polarization in the opposite polarization direction.
  • the primary region 12 is divided into a plurality of individual primary regions.
  • the partial region 14a has an associated primary region 12a, which is subdivided into a primary partial region 12a1 and a second primary partial region 12a2 with opposite polarization.
  • the primary region 12a has three electrodes 17a, 17b and 17c connected to the power supply 19 via power supply lines.
  • the two primary subregions 12a1 and 12a2 are excited in phase, that is, in phase, so that the entire primary region 12 oscillates resonantly and can transmit its oscillations to the corresponding subarea 14a.
  • the other primary regions 12b as well as the primary regions shown in FIG. 5, but not labeled, all oscillate synchronously so that there is between each two adjacent partial regions of different polarization in the region of the upper side F to form a plasma cloud 20a, 20b, 20c.
  • FIG. 6 illustrates, in a bottom view in accordance with arrow VI in FIG. 5, the geometric structure of the primary region 12 and shows that the primary region 12 extends from several in the direction S
  • Primary portion (eg 12a1) is formed by a disc-like element, and between each two primary sub-areas, for. B. between the primary sub-areas 12a1 and 12a2, there is an electrode.
  • Subareas 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f, 14g, 15a, 15b, 15c, 15d, 15e, 15f of the secondary region 13 along a plane, like a grid, may be arranged.
  • the partial regions 14, 15 can thus also alternate along the direction S with respect to their polarization direction.
  • the illustration selected in FIG. 7 shows the upper side F of a device 10 in plan view. It is clear that a large number of clover-shaped plasma clouds 20a, 20b, 20c, 20d are generated.
  • Fig. 7 illustrates that a very large-scale plasma generation and thus also a large-area substrate processing is possible.
  • a substrate to be processed may be moved along the surface F or the device 10 may be moved relative to a stationary substrate.
  • FIGS. 8 to 15 fundamentally different geometries of exemplary embodiments of devices according to the invention for producing a plasma will now be explained. It should be noted at this point that in FIGS. 8 to 15, for reasons of clarity, the electrodes which are arranged on the primary region or on the primary subregion are not shown.
  • Fig. 8 shows a device 11 with a primary region 12 and a secondary region 13.
  • the secondary region 13 is subdivided into a plurality of subregions 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 15a, 15b, 15c, 15d which are of rod-shaped, in cross-section triangular bodies are formed.
  • subregions 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 15a, 15b, 15c, 15d which are of rod-shaped, in cross-section triangular bodies are formed.
  • z. B. between the subregions 14a and 15a
  • the primary area 12 and the secondary area 13 are each formed by a plurality of partial areas.
  • the primary region 12 of primary subregions 12a 12b, 12c, 12d, 12e and the secondary region 13 are formed by respective secondary subregions 13a, 13b, 13c, etc., with nine secondary subregions and nine primary regions shown but not all designated.
  • Adjacent partial regions 14a, 14b, 14c, 15a, 15c are in turn polarized in opposite directions, so that high electric fields can be formed in each case between two partial regions 14a, 15a of different polarization. Between each two subregions 14a, 15a extends a gas flow channel 24 therethrough, which extends in the longitudinal direction L.
  • the arrows G shown in FIG. 9 illustrate the gas flow. All primary sub-regions 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, etc. are in a fixed phase relationship to each other, that is excited in particular in phase, so that the generation of electrical
  • FIG. 10 shows a further alternative embodiment of a device 10 according to the invention, in a representation according to FIG. 8, which comes relatively close to the geometric structure shown there.
  • Fig. 1 1 shows a further embodiment of the device 10 according to the invention, in which two separate units are provided, each having a primary region 12 and a secondary region 13.
  • a first unit is in the form of a rod-shaped body and correspondingly has a primary part region 12a with a square cross section, which merges into a part region 14 of the same cross section.
  • a second unit is formed in the manner of a cylindrical tube with a square cross section and surrounds the first unit concentric.
  • the second, radially polarized primary sub-area 12b belonging to the second unit merges into a sub-area 15 of the secondary area 13, which has the same geometric structure as the second primary sub-area 12b.
  • Free space 24 which forms a gas flow channel. Within the gas flow channel 24, a plasma can form between the two subregions 14 and 15.
  • the two subregions 14 and 15 are oppositely polarized, so that in the region of the gas flow channel 24 along the outer surface of the subregion 14 or along the inner surface of the partial area 15 can form a plasma.
  • Fig. 12 shows a further variant of an inventive
  • the primary region 12 and the secondary region 13 is formed by concentric rings spaced apart from one another in the radial direction.
  • a substantially rod-shaped body with a square cross section is arranged centrally, which has a primary part region 12a and merges into a secondary part region 14a.
  • the primary subarea 12a is surrounded concentrically by a second primary subarea 12b, which merges into a subarea 15a of the secondary area, wherein the subarea 15b has a polarization direction opposite to the subarea 14a.
  • a third primary section 12c is provided, which concentrically surrounds the two primary sections 12a and 12b.
  • the third subregion 14b of the secondary region 13 has the same polarization direction as the subregion 14a.
  • annular plasma clouds can be formed along the connecting regions of the partial regions 14a, 15b and 14b.
  • Primary portions 12a, 12b and 12c are provided, may be disposed between the annular portions 12c and 12b along the connecting line 22b, a tubular electrode. Between the primary part regions 12b and 12a, an insulator can be arranged along the associated connecting line 22b, which surrounds the rod-shaped primary part body 12a like a jacket.
  • the insulating member has on its inside, for example, two plate-like electrodes, which are opposite to each other and take into account the illustrated primary polarization direction PP.
  • a further tubular electrode assigned to the annular region 12e could in turn be arranged.
  • the region of the primary region 12 denoted by 12 b is formed by an insulating section. Then, the primary region 12 would have only two primary subregions 12a and 12c that would be separated from an insulator.
  • FIG. 13 shows a further variant of the device 10 according to the invention in a representation similar to FIG. 11, the essential difference with respect to FIG. 11 being that the primary part region 12a is not formed by a substantially rod-shaped cylindrical body with a square cross section, but by a hollow ring body, which provides in its center an opening 25, which can equally form a gas flow channel. Looking at this figure, it is clear that the secondary region 13 has a geometric structure corresponding to the primary region 12.
  • FIG. 14 shows a further exemplary embodiment of a device according to the invention, in which the primary region 12 and the secondary region 13 are each formed by separate partial regions.
  • the primary part region 12a has the shape of a cuboid with a rectangular cross section and merges into a corresponding partial region 14 of the secondary region 13.
  • the primary subregion 12b has an identical cross section and merges into a subregion 15 of the secondary region 13.
  • the partial regions 14 and 15 are oppositely polarized in the longitudinal direction L.
  • FIG. 15 shows a further variant of the device according to the invention in a representation similar to FIG. 14, wherein, unlike FIG.
  • Embodiment is the embodiment of FIG. 3 is relatively similar.
  • Electrodes are shown. Instead of a Isolierrange could between the two primary subregions 12a and 12b also electrodes may be arranged. Corresponding counterelectrodes could then be arranged on the outer sides of the primary subregions 12a and 12b.
  • Exemplary embodiment of a device 10 according to the invention explains:
  • the device 10 comprises a primary region 12 which can be excited resonantly via a low-voltage AC voltage and a secondary region 13 which can be excited thereby to generate high voltage.
  • the secondary region 13 is subdivided into two partial regions 14 and 15, which are polarized in the same polarization direction P and between which an insulating element 23 is located.
  • Each subregion 14, 15 is connected to a corresponding primary subregion 12a, 12b in a vibration-connected manner, which means that resonant oscillations can be transmitted between a primary subregion 12a, 12b and the associated subregion 14, 15 of the secondary region 12.
  • the first primary portion 12a has an electrode 17a and an opposite electrode 17b.
  • the second primary part region 12b has an electrode 17c and the previously mentioned electrode 17b.
  • Both primary sections 12a and 12b are along the same Polarization direction P polarized. Due to the wiring of the electrodes shown in Fig. 16, the same potential is applied to the electrodes 17a or 17c at each time point. Thus, the two primary subregions 12a and 12b excited 180 ° phase-shifted. The arrangement of the two primary subregions 12a and 12b is thus counter clocked.
  • the insulating member 23 serves to mechanically and electrically decouple the two portions 14 and 15 from each other. This increases the efficiency of the device described.
  • a portion 14, 15 and an associated primary portion 12a, 12b each formed from a single workpiece by different polarization or be made of separate, fixed to each other workpieces.
  • opposite polarization directions can also be provided for the two primary subregions 12a and 12b, with an in-phase excitation then taking place.
  • Fig. 17 shows a schematic representation of the
  • Fig. 17 illustrates that it is insignificant along which of the three polarization directions P1, P2 or P3 an excitation of the
  • Primary sections 12a and 12b comes.
  • the counter-clocked excitation leads to the formation of electric fields, which are schematically indicated in FIG. 17 by the illustrated field lines E. Due to the synchronous excitation of the two primary subregions 12a and 12b, the field located in the free space 24 can be optimally amplified.
  • FIGS. 18 to 26 A further group of exemplary embodiments of the device according to the invention will now be explained with reference to FIGS. 18 to 26:
  • Fig. 18 shows a substantially cuboidal inventive
  • FIG. 18 illustrates that the primary region is polarized in the radial direction and the secondary region is polarized in the longitudinal direction L.
  • the passage opening 24 can the
  • the primary region 12 is excited resonantly by electrodes, not shown in FIG. 18, in the region of the passage opening 24 along the inner surface IF of the secondary region 13, electric fields are formed due to electrical potential differences along the longitudinal direction L. In that regard, in the through-channel 24 form a plasma.
  • the electrodes required for exciting the primary region are located on the inside and on the outside of the primary region 12.
  • FIG. 19 shows an arrangement similar to FIG. 18, in which the
  • Through-channel 24 has a circular cross-section, and wherein the device 11, the primary portion 12 and the secondary area
  • the primary region 12 is polarized in the radial direction PP, with an electrode located on the inner peripheral surface IF of the primary region 12 and an opposite electrode located on the outer surface AF of the primary region 12, not shown in FIG Operation of the device 10 are provided.
  • Fig. 20 illustrates a further embodiment of a device 10 according to the invention, in which the device 11 is formed in the manner of a square in cross-section cuboid, the is in turn subdivided into a primary sub-area 12 and a secondary area 13.
  • the device 11 is traversed in the longitudinal direction of cross-sectionally square passageways.
  • each of the through-channels 24a, 24b, 24c, etc. has an electrode, not shown.
  • the electrode thus forms in each case the wall of the gas channel 24 in the primary region 12.
  • the primary region 12 is polarized in accordance with the illustrated polarization arrows PP.
  • the secondary region 13 is uniformly polarized along the polarization direction PS.
  • atmospheric plasmas are formed in the secondary region 13 within the through-channels 24a, 24b, 24c, etc.
  • the device 11 is formed by a tubular circular-cylindrical body whose primary region 12 is polarized in the radial direction and whose secondary region 13 is opposite to the longitudinal direction L is polarized.
  • Fig. 21a shows that the two electrodes 17a and 17b are formed substantially in the manner of an axially held relatively short tube.
  • the electrodes 17a and 17b shown in Figs. 21 and 21a are exaggerated in size. It is clear to the observer that the electrodes are actually only very thin, for example only a few ⁇ m thick. Incidentally, this also applies to all other embodiments shown in this patent application.
  • the inner electrode 17b of the primary region 12 and the inner peripheral surface IF of the secondary region 13 constitute the wall a gas flow channel 24 ready.
  • the gas flow is indicated by the arrow G.
  • an atmospheric pressure plasma 20 which extends in the form of a Plasmajets 26 from the mouth M of the secondary region 13 out.
  • the substrate to be processed which the observer of FIG. 21 has to imagine approximately above the upper side F of the device 10, can be detected and processed by the plasma jet 26.
  • the length of the plasma jet 26 in the longitudinal direction L depends inter alia on the
  • FIG. 22 makes it clear that a plurality of plasma jets 26a, 26b, 26c can be generated if a plurality of tubular devices 11 are arranged in series or, as FIG. 23 further clarifies, along a plane in the manner of a grid.
  • a series arrangement according to FIG. 22 which extends in the transverse direction Q, an elongated plasma strip can be generated when the plasma jets 26a, 26b, 26c overlap or come close.
  • the devices 1 1a, 11b, 11c extend in a device 10 according to FIG. 23 along a plane arranged to form a grid, a planar plasma or at any rate an arbitrarily large number of juxtaposed plasma devices may be used. Jets are generated.
  • the operation of a multijet device according to FIG. 22 or FIG. 23 is effected in that the individual primary subregions 12a, 12b, 12c are operated in phase, ie in phase.
  • Each inner electrode of a device 11 a at the same time provides the outer electrode of an adjacent device 1 1 b ready.
  • the inner electrode 17a of the device 11a at the same time provides the outer electrode 17a of the device 11b.
  • the subregions 14a, 14b, 14c, 14d of the secondary region 13 are all polarized along the same direction of polarization P.
  • Each two adjacent primary partial regions 12a, '12b, 12c of the apparatus 10 are arranged against clocked they ie 180 ° - phase-shifted operated.
  • the wall between the gas flow channels 24a and 24b is formed jointly by primary sections 12a and 12b.
  • the gas flow channel 24a is a first primary portion 12a and the gas flow channel 24b is associated with a second primary portion 12b.
  • the primary portion 12a at a particular vibration time has just made a radially inwardly directed maximum motion with which the gas flow channel 24a is constricted (albeit imperceptibly)
  • the adjacent gas flow channel 24b is maximally radially expanded at the same time (unnoticeable).
  • the primary subregion 12b which belongs to the gas flow channel 24b, is therefore equally maximally expanded.
  • the two primary sub-region 12a, 12b are just 180 ° - phase-excited. In this way, electric fields are formed in the gas flow channels 24a, 24b, 24c of the three devices 11a, 11b, 11c along the secondary region 13.
  • the cross-section of the gas flow channels 24a, 24b is arbitrary in a series arrangement, and may for example be formed by a circular or rectangular cross section, alternatively also by any other desired cross section.
  • FIG. 23 shows the device scaled up to a grid in accordance with FIG.
  • each electrode is surrounded by four adjacent electrodes.
  • the electrode 17a is surrounded by four electrodes 17e, 17b, 17d and 17f.
  • Fig. 23 shows that the electrode 17a surrounds a gas flow channel 24 having a square cross section. It becomes clear to the viewer that other cross-sectional shapes are possible.
  • FIG. 23 a shows the device scaled up to a grid in accordance with FIG
  • FIG. 22 shows a plan view, that is to say in accordance with arrow XXIIIa in FIG. 22.
  • the plan view makes clear that a multiplicity of grid-like plasma jets 20a, 20b, 20c can be generated.
  • the symbols of the X in the circle illustrate that the entire honeycomb structure of the secondary region 13 along the same direction of polarization, i. in the longitudinal direction L, is polarized.
  • FIG. 24 shows a further embodiment of a device 10 according to the invention, in which the device 11 is provided with a primary region 12 and a secondary region 13.
  • the apparatus is almost identical to the apparatus shown in FIG. 19, so that reference will be made to a variety of details for avoiding repetition.
  • the special feature here is a gas flow channel 24, which has a substantially rectangular cross-section.
  • the polarization directions of the primary region 12 are designated in FIG. 24 by PP and those of the secondary region 13 by PS.
  • Fig. 24 shows that the primary region 12 can be nearly radially polarized.
  • FIG. 25 shows a further exemplary embodiment of the device according to the invention in a representation comparable to FIG. 21.
  • the device 10 according to FIG. 25 is provided with an orifice nozzle 27, whereby the formation of a plasma jet 26 advantageously influences can be.
  • the device corresponds in terms of its Structure of the device according to FIG. 21, so that reference is made to the above statements to avoid repetition.
  • FIG. 26 shows a further exemplary embodiment of a device according to the invention in the illustration according to FIG. 25, wherein the region of the mouth M of the device 10 is slightly modified.
  • corner regions E shown in Fig. 25 are omitted, so that there is a pincer-like arrangement.
  • Fig. 27 shows in a partially sectioned schematic view a section through a tubular body having a square
  • Cross section has. The illustration of FIG. 27 corresponds approximately to one
  • the illustrated tubular body forms the device 11 as part of a device 10 for generating an atmospheric pressure plasma.
  • the device 11 is made of piezoelectric material and is divided into a primary region 12 and a secondary region 13.
  • the primary region 12 is excited along any one of the three polarization directions P1, P2 and P3.
  • a radial polarization direction P1 will be selected in order to be able to attach a sleeve-like or tubular inner electrode to the inner peripheral surface IF of the primary region 12 and a corresponding outer electrode to the outer surface AF of the primary region 12. at
  • other electrode geometries, not shown, could well be considered to excite the primary region 12 along the polarization direction P2 or P3.
  • the chosen polarization direction of the primary region 12 is ultimately not important.
  • the respectively selected direction of polarization i. the polarization direction P1, P2 or P3 in each case only results in a corresponding specific arrangement of the electrodes (not shown). It is true that the primary region 12 is excited in a resonant fashion overall and can transmit its oscillations to the secondary region 13 with a predetermined, longitudinally extending polarization.
  • a resonant excitation of the primary region 12 has a transmission of the oscillation in the resonant frequency to the
  • Secondary area 13 result, so that propagates along the longitudinal direction L, an electric field.
  • the gas channel 24 can be traversed from bottom to top of gas, which forms a plasma in the field of the strongest electric fields. Characterized in that the gas channel 24 is surrounded on the opposite sides of material regions of the oscillating secondary region 13, a very advantageous field geometry can be achieved, which favors the plasma generation.
  • the secondary region 13 is polarized differently.
  • Fig. 28 again shows a schematic, partially sectioned view of a substantially tubular element.
  • the left partial region of the secondary region 13 with respect to FIG. 28 is polarized in the direction of polarization P a, and the right-hand partial region 15 of the secondary region 13 is polarized in the polarization direction P u . Since the entire secondary region 13 can also be formed by a single workpiece in the exemplary embodiment of FIG. 28, it must still be explained how the polarization directions behave in the transition region between the partial regions 14 and 15.
  • the desired polarization can be obtained, for example, by arranging a first electrode in region B1 and a second electrode having opposite polarity in region B2 during the polarization of the workpiece.
  • the polarization in the longitudinal direction L is then maximum after polarization in the region B1 and maximum in the region B2 with opposite polarization direction.
  • the polarization decreases and reaches a zero value in a region B4 or reverses its sign. It thus becomes clear that the largest potential differences and thus, as shown in FIG. 28, the largest electric fields occur in the region between the regions B1 and B2.
  • the device according to FIG. 27 primarily serves to generate a plasma in the interior of the gas flow channel 24, the device according to FIG. 28 can be used particularly advantageously in order to generate a plasma in the region of the mouth M of the gas channel 24.
  • FIG. 29 shows, in a representation according to FIGS. 27 to 28, a particularly structured electrode 17c which is located on the inner surface IF of FIG.
  • the electrode 17c has a plurality of prongs 28a, 28b, 28c on the region facing the secondary region 13.
  • the tines can favor a rapid ignition of the plasma, since here form the electric fields in a suitable manner.
  • the Electrodes are typically reachable at very high field strengths, allowing plasmas to be ignited faster or earlier.
  • FIG. 30 shows a further embodiment of the device 10 according to the invention, in which one of the previously different arrangements, for example an arrangement according to FIG.
  • the housing 22 is disposed within a housing 29.
  • the housing has a gas inlet 30, which is connected to a gas supply, not shown.
  • a pressure Pj which is greater than the external pressure P 0 , which corresponds to the atmospheric pressure.
  • the pressure difference ensures a predetermined gas flow, which is illustrated by the arrows G shown.
  • the device 10 according to FIG. 30 has a plurality of devices 11 a, 11 b, 11 c which, analogously to the device according to FIG.
  • 21 are arranged in series or along a plane in the manner of a grid.
  • four devices 11a, 11b, 11c, 11d are shown, each with its own gas flow channel 24a, 24b, 24c, 24d.
  • Each device has a front gas flow direction primary region 12a, 12b, 12c, 12d and a gas flow direction rear one
  • FIG. 31 shows a further exemplary embodiment of the device 10 according to the invention, in which a layer structure 31 of obliquely inclined layers is provided.
  • Fig. 31 shows a first one
  • Layer 31a a second layer 31b, a third layer 31c and a fourth layer 31 d.
  • Each of the layers is made of piezoelectric material and provides a primary region 12 and an associated secondary region 13.
  • the secondary regions 13 are each polarized in the longitudinal direction L or counter to the longitudinal direction L.
  • Two mutually adjacent layers each have partial regions 14a, 14b, 15a, 15b of the secondary region 13, which are polarized in the opposite direction.
  • Each primary region 12 includes a pair of electrodes
  • Primary regions 12a, 12b share a common electrode (e.g., 17b).
  • the plasmas 20a, 20b, 20c shown in FIG. 31 can be generated on the upper side.
  • the high voltages or field strengths to be achieved are dependent on the axial length I of the secondary region 13. Large axial lengths are therefore desired. Due to the inclined layer structure 31 according to FIG. 31, a small overall height BH of the device 10 can be achieved with a large axial length l of the secondary region 13, as a result of which a compact construction is possible.
  • FIG. 32 shows a further exemplary embodiment of the device according to the invention in a representation comparable to FIG. 6.
  • 32 illustrates that in each case a free space 24 can be left between two primary subareas 12a, 12b, each of which has a substantially disc-like or plate-like structure, which can provide a gas flow slot.
  • a plasma strip can emerge through the gas flow slot 24.
  • a plasma generation within the gas flow slot 24 is possible.
  • Fig. 33 shows a further embodiment of the device 10 according to the invention, in which the device 11 is formed by a corrugated sheet-like shaped element.
  • Fig. 33 makes it clear that the surfaces of the device 11 are curved.
  • a curved surface allows for improved surface-to-surface interaction between the gas passing along the surfaces and the plasma generated along the surfaces.
  • a curved surface of the primary region 13 provides a curved inner surface IF bounding, at least partially, a gas flow channel 24.
  • the gas flow is indicated in Fig. 33 by the arrow G.
  • FIG. 33a illustrates that a multiplicity of practically completely closed gas flow channels 24a, 24b results if a correspondingly offset arrangement of two corrugated sheet-like structured devices 11a and 11b is selected.
  • FIG. 33 a corresponds to a schematic cross-sectional view of the view arrow XXXIII a in FIG. 33.
  • FIG. Fig. 33b shows a parallel, non-staggered arrangement of two corrugated sheet-like structured devices 11a and 11b. This results in a meandering, continuous gas flow slot 24.
  • a piezoelectric transformer is equipped with a specially designed primary region and a specially designed secondary region.
  • Some embodiments also provide for parallel arrangements of a plurality of piezoelectric transformers. In the event that continuous openings are provided in the secondary area, and advantageously also equally in the primary area, as shown for example in FIG. 21, it is advisable to polarize the primary area in the radial direction.
  • the polarization direction of the primary region occurs in some of the embodiments described above, e.g. in which
  • Primary areas are provided, such as in the
  • the polarization directions of the secondary regions 13 or the associated subregions ultimately do not necessarily matter.
  • the embodiment of FIG. 15 are operated with the polarization directions of the secondary region 13 shown there, after which the two partial regions 14 and 15 are oppositely polarized.
  • the embodiment of FIG. 15 can also be operated with an identically clocked arrangement of the primary subregions 12a and 12b.
  • the polarization directions and the geometries of the devices 11, 11a, 11b and 11c will be chosen primarily depending on whether an atmospheric pressure plasma within a gas flow channel, a plasma Jet or a face plasma is to be generated.
  • FIGS. 1 and 3 On the basis of a comparison of FIGS. 1 and 3, it also becomes clear that it does not matter whether a primary region 12 is subdivided into a plurality of primary subregions 12a, 12b or not. While the primary region 12 according to FIG. 1 resonates as a whole because an alternating field is generated between the two electrodes 17a and 17b, it oscillates from two primary subregions 12a and 12b composite primary region 12 of the embodiment of FIG. 3 equally resonant in total, since there are provided correspondingly oppositely polarized electrodes 17a, 17b, 17c.
  • the number of electrodes may also be arbitrarily increased to achieve the same purpose, the material thickness remaining between two electrodes and the voltage applied to the electrodes being a measure of the voltage transfer ratio from the primary to the secondary region.
  • the geometry of primary region 12 and secondary region 13 in the different embodiments of the device 10 according to the invention is almost arbitrarily selectable and advantageously adaptable to the intended application.
  • the devices 11a and 11b of FIG. 14 may extend in the transverse direction Q, thus forming plate-like elongated bodies.
  • a multiplicity of further devices can follow the two illustrated devices 11a and 11b, so that ultimately a layer structure, as shown in FIG. 32, can be achieved.
  • a honeycomb structure of a series arrangement 11, as shown in FIG. 23 a can be produced particularly simply by injecting or discharging piezoelectric material through a complementary honeycomb structure in an extrusion process, and the throughflow channels 24 be generated by corresponding mandrels in the extruder die or by a corresponding honeycomb structure of the nozzle.
  • a polarization of such a honeycomb-shaped workpiece can be done by the workpiece with its first end portion, which is to form the secondary region, immersed in a metallic liquid or the like to attach electrodes along the walls of the gas flow channels.
  • the workpiece can od after attachment of the electrode, for example, on a printed circuit board or board.
  • a polarization of the primary region to obtain a polarization according to FIG. 23 can subsequently be carried out, for example, in an oil-fluid which increases the dielectric strength or an oil bath, wherein in each case two adjacent electrodes of different polarity are subjected to polarization voltage.
  • the secondary region of this honeycomb structure can be polarized, in which the upper side, i. a counterelectrode is applied to the outer region of the honeycomb structure remote from the primary region, and a polarization voltage is inserted between this counterelectrode and the aforementioned spring terminal contacts.
  • the polarization of the secondary region 13 shown in FIG. 23a is achieved.
  • FIG. 23a it is also possible to polarize a honeycomb structure according to FIG. 23a such that in each case two adjoining partial regions, e.g. the subregions 14a and 14b, not along the same polarization direction, but along opposite
  • Polarization directions are polarized. This is made possible, for example, by bringing to the upper side of the honeycomb structure for carrying out a polarization of the secondary region a corresponding counterelectrode, which is provided with corresponding electrodes.
  • means 11 which have only one segment of such a corrugated sheet structure. Conceivable, for example, segment-like sections that are particularly pronounced curved and, for example, only between the points X and Y of Fig. 33a extend. These are sections which are kept relatively short in the transverse direction Q, but which can be combined to form any desired geometric structures and because of the curved surface provide an improved interaction between the plasma and the working gas or enable improved plasma generation.
  • the devices according to the invention allow a compact design up to miniaturized designs. Such miniaturizations are not possible with conventional plasma generation devices that require separate high voltage generators and corresponding extra high voltage lines, with particular isolation distances.
  • microstructures can be processed or optionally also be generated.
  • the gas flow channels 24, and even in honeycomb structures according to, for example, Fig. 23a, are formed with almost any small diameters.

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Abstract

Beschrieben und dargestellt ist u.a. eine Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas (20, 20a, 20b, 20c, 20d), insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11, 11a, 11b, 11c) aus piezo-elektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12, 12a, 12b, 12c), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b, 17c) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden. Die Besonderheit besteht u.a. darin, dass der Sekundärbereich (13) zwei Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) umfasst, die entlang der Längsrichtung (L) entgegengesetzt polarisiert sind.

Description

Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas
Die Erfindung betrifft zunächst eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Als Atmosphärendruck-Plasma im Sinne der Erfindung wird ein Plasma bezeichnet, welches unter Atmosphärendruck, gegebenenfalls aber auch bei höheren Drücken, generiert werden kann. Bei Vorrichtungen zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas können Vakuumeinrichtungen, wie Pumpen etc., entfallen. Derartige Vorrichtungen weisen daher gegenüber Vorrichtungen zur Erzeugung von Niederdruck- oder Niedertemperatur-Plasmen grundsätzlich eine einfache Bauweise auf.
Die Erfindung betrifft insbesondere Vorrichtungen zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas, die zur Bearbeitung eines Substrates dienen. Als Substrat wird dabei u.a. ein zweidimensionaler oder dreidimensionaler Festkörper verstanden, dessen Oberfläche, gegebenenfalls auch bis zu einer bestimmten Bearbeitungstiefe, bearbeitet werden kann, beispielsweise beschichtet, aktiviert, gereinigt, modifiziert oder sonst wie behandelt werden kann. Als Substrat im Sinne der vorliegenden Patentanmeldung wird aber beispielsweise auch ein zu behandelnder Gasstrom, beispielsweise ein zu reinigender Abgasstrom, verstanden.
Atmosphärendruck-Plasmen lassen sich in so genannte „kalte", nichtthermische Plasmen mit einer Gastemperatur von typisch kleiner als
100° C sowie thermische Plasmen mit höherer Gastemperatur unterscheiden. Die vorliegende Erfindung befasst sich vornehmlich mit nichtthermischen Plasmen, die den Vorteil haben, dass die Gastemperatur in der Größenordnung der Zimmertemperatur oder nur wenig darüber liegt, so dass auch eine längere Verweildauer des Plasmas am Substrat möglich ist und auch sehr empfindliche Substrate, wie z.B. dünne Polymerfolien, länger mit diesem Plasma behandelt werden können, ohne dass die Oberfläche des Substrats oder das Substrat selbst beschädigt wird.
Sowohl bei den Barrierenentladungen, wie sie z.B. aus der US 5,637,279 B1 bekannt sind, als auch bei Vorrichtungen zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Glimmentladungsplasmas, wie sie z.B. aus der DE 102 03 543 A1 der Anmelderin bekannt sind, erfolgt die Bereitstellung der für die Ionisierung des Arbeitsgases notwendigen Hochspannung durch ein von den Anregungselektroden getrenntes, externes Hochspannungsnetzteil, das einen ferromagnetischen elektrischen Transformator enthält, der aus einer relativ kleinen Wechselspannung, im einfachsten Fall aus einer Netzspannung von 230 V/50 Hz, eine Hochspannung in der Größenordnung zwischen 1 und 15 kV erzeugt. Als Arbeitsgase kommen z.B. Edelgase, Sauerstoff, Stickstoff oder Luft in Betracht. Die im Hochspannungsnetzteil erzeugte Hochspannung wird über elektrisch isolierte Kabel den Elektroden zugeführt. Nachteilig bei dieser bekannten Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck- Plasmen mit einem solchen ferromagnetischen elektrischen Transformator sind grundsätzlich dessen Gewicht, dessen Größe und die Tatsache, dass die bei der Bildung der ionenerzeugenden Filamente (Teilentladungen) entstehenden elektrischen Impulse über den Transformator in die Spannungsversorgung zurück übertragen werden. Dies kann zwar durch einen Trenntransformator unterdrückt werden, erfordert jedoch zusätzlichen Aufwand. Weiterhin müssen aus Gründen der elektrischen Sicherheit und zum Schutz vor elektromagnetischen Beeinflussungen die Kabel zu den Elektroden isoliert sein, was den technischen Aufwand nochmals erhöht. Hierzu kommen hohe Umwandlungs- und Übertragungsverluste.
Aus der DE 101 29 041 A1 ist es bekannt, die erforderliche Hochspannung durch einen geregelten piezoelektrischen Transformator (PT) zu erzeugen. Dies hat einen wesentlich kompakteren Aufbau zur Folge. Diese Lösung geht vom bekannten piezoelektrischen Effekt aus, wobei balkenförmige piezoelektrische Keramiken bei mechanischer Verformung eine Spannung abgeben; dies wird technisch z.B. bei Zündgeräten ausgenutzt. Das Prinzip des piezoelektrischen Transformators besteht darin, dass die in Resonanz betriebene piezoelektrische Keramik durch Anlegen einer im Resonanzpunkt betriebenen elektrischen Niedervolt-Wechselspannung in ihrem Primärbereich in Schwingungen versetzt wird und andererseits an ihrem anderen Ende, dem so genannten Sekundärbereich, die erzeugten mechanischen Schwingungen wieder in eine elektrische Hochvolt- Wechselspannung zurückverwandelt. Bei der in der DE 101 29 041 A1 beschriebenen Lösung ist der piezoelektrische Transformator ein separates Bauteil, d.h. die erzeugte Hochspannung wird über die bereits beschriebenen isolierten Zuleitungen zu den Elektroden geführt.
Aus der Veröffentlichung (K. Teranishi, S. Suzuki, H. Itoh: „High Efficiency Ozon Production by a Compact Ozoniser Using Piezoelectric Transformer", Chiba Institute of Technology), im Folgenden Itoh- Veröffentlichung, ist es zur Erzeugung von Ozon unter Zuhilfenahme eines Plasmas bereits bekannt, zur Erzeugung der Hochspannung einen piezoelektrischen Transformator zu verwenden, der gleichzeitig die Funktion der Hochspannungselektrode übernimmt. Dazu wird ein flacher, traditioneller sogenannter „Rosentyp" PT verwendet. Als Rosentyp PT wird eine Einrichtung aus piezoelektrischem Material bezeichnet, die im Wesentlichen die Form eines flachen, lang gestreckten Quaders besitzt. - A -
Der Quader ist in einen Primärbereich und in einen Sekundärbereich unterteilt. An dem Primärbereich sind zwei Elektroden angeordnet, die unter einem Abstand, der von der Dicke des Materialbereiches vorgegeben ist, voneinander beabstandet sind. Durch Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung, also einer Wechselspannung mit einer Amplitude von insbesondere weniger als 500 V, wird der Primärbereich in Schwingungen versetzt. Diese Schwingungen werden von dem Primärbereich auf den Sekundärbereich übertragen. Da der Sekundärbereich eine vorgegebene Polarisationsrichtung aufweist, die sich entlang der Längserstreckung des Sekundärbereiches erstreckt, kommt es zur Ausbildung eines elektrischen Feldes bzw. von Potentialdifferenzen entlang der Längsrichtung des Sekundärbereiches.
Der Rosentyp PT ist im Primärbereich vorzugsweise transversal und im Sekundärbereich vorzugsweise longitudinal polarisiert.
Bei der Vorrichtung gemäß der Itoh-Veröffentlichung sind, bedingt durch die vorgegebene Bauart, nur flächige Entladungen in kleinen Spalten möglich. Der Sauerstoff wird entlang der Breitseiten des Sekundärbereiches geführt, und zwar innerhalb eines Ringraumes, der außen von einem Kühlgehäuse begrenzt ist. Mit der in der Itoh- Veröffentlichung beschriebenen Vorrichtung sind über die Ozonerzeugung hinausgehende Anwendungen nicht realisierbar. Die Ozonerzeugung selbst ist mit der Vorrichtung gemäß der Itoh-Veröffentlichung nicht besonders effizient. Die Vorrichtung gemäß der Itoh-Veröffentlichung besitzt noch weitere Nachteile, die ihre Anwendung stark einschränken: Zunächst ist keine Feldsteuerung möglich. Des Weiteren treten parasitäre Entladungen an verschiedenen Stellen auf, die keine örtliche bzw. räumliche Steuerung der Plasmaentladung gestatten. Ferner ist eine Skalierung aus mechanischen Gründen nicht möglich. Damit scheiden großflächigen Anwendungsmöglichkeiten aus. Auch ist die beschriebene Vorrichtung für die „Plasma-Jet"-Technik nicht geeignet, bei der ein Plasma aus einem Mündungsrohr herausgetragen wird und über die Kontur der plasmaerzeugenden Vorrichtung hinaus vorsteht.
Ausgehend von einer Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des
Anspruches 1 , wie sie in der angegeben Itoh-Veröffentlichung beschrieben ist, besteht die Aufgabe der Erfindung darin, die bekannte Vorrichtung derartig weiterzubilden, dass eine verbesserte Plasmagenerierung möglich wird.
Die Erfindung löst diese Aufgabe zunächst mit den Merkmalen des
Anspruches 1 , insbesondere mit denen des Kennzeichenteils, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich zwei
Teilbereiche umfasst, die entlang der Längsrichtung entgegengesetzt polarisiert sind.
Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine modifizierte Einrichtung aus piezoelektrischem Material vorzusehen, bei der der Sekundärbereich nunmehr zwei unterschiedliche Teilbereiche umfasst, die unterschiedlich polarisiert sind. Dabei ist bei einer Variante der Erfindung vorgesehen, dass die beiden Teilbereiche Bestandteile eines einheitlichen Werkstückes aus piezo-elektrischem Material sind, welche im Rahmen eines später noch zu beschreibenden Polarisationsverfahrens unterschiedlich polarisiert worden sind. Alternativ können die beiden Teilbereiche auch von gesonderten Werkstücken aus piezo-elektrischem Material gebildet sein, und einander benachbart, beabstandet oder unbeabstandet voneinander, angeordnet sein.
Für den Fall, dass die beiden Teilbereiche aus einem gemeinsamen, unterschiedlich polarisierten Werkstück bestehen, kann es vorteilhaft sein, wenn den beiden Teilbereichen ein gemeinsamer Primärbereich zugeordnet ist. Der Primärbereich wird durch Anlegen einer Niedervolt- Wechselspannung an die beiden Elektroden in Schwingungen versetzt. Diese Schwingungen übertragen sich auf die beiden Teilbereiche des Sekundärbereiches. Aufgrund der entgegengesetzten
Polarisationsrichtungen der beiden Teilbereiche werden elektrische Felder entlang der Oberflächen der beiden Teilbereiche generiert. Die größte Potentialdifferenz und die größten Feldstärken treten dabei zwischen den beiden Teilbereichen, und zwar insbesondere im Bereich der freien Enden des Sekundärbereiches, das heißt, im Bereich der dem Primärbereich fernen Enden der Teilbereiche auf. Im Bereich dieser freien Enden kann mit einem hohen Wirkungsgrad ein Atmosphärendruck-Plasma generiert werden.
Eine Anregung des Primärbereiches bedeutet im Sinne in der vorliegenden Patentanmeldung, dass die Niedervolt-Wechselspannung eine Frequenz aufweist, die einer Resonanzfrequenz der Einrichtung aus piezo-elektrischem Material entspricht. Die Resonanzfrequenz ist abhängig von dem gewählten piezo-elektrischen Material, insbesondere von der Schallgeschwindigkeit in dem piezo-elektrischen Material, und von der Geometrie des Primärbereiches und des Sekundärbereiches. Typische Resonanzfrequenzen liegen im Bereich zwischen 10 und 500 KHz. Eine Anregung des Primärbereiches ist auch mit einer Frequenz möglich, deren Wellenlänge das n-fache oder das n x 0,5-fache der Resonanzwellenlänge beträgt. Es handelt sich je nach Wahl des n um unterschiedliche Anregungsmoden.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann mit einer Niedervolt- Wechselspannungsquelle ein hohes elektrisches Feld an einer vorher bestimmten Stelle oder an einem vorher bestimmten Bereich generiert werden, um dort ein Plasma zu erzeugen. Die Hochspannung wird also unmittelbar dort erzeugt, wo das Plasma die starken elektrischen Felder erfordert. Auf besonders gesicherte Kabel oder Leitungen zur Leitung von Hochspannung kann verzichtet werden. Außerdem werden besonders kompakte platzsparende Bauformen erzielbar.
Die Piezo-Keramik selbst ist ein Isolator. Damit können zwar Spannungsunterschiede entlang der Oberfläche des Sekundärbereiches abgegriffen und gemessen werden. Würde man allerdings beispielsweise mit einem Finger die Außenseite des Sekundärbereiches berühren, so könnten hier nur immer derartig geringe Ladungen abfließen, dass die Gefahr von elektrischen Schlägen nicht besteht. Somit sind nur geringere Sicherheitsanforderungen zu erfüllen als bei herkömmlichen Vorrichtungen des Standes der Technik. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtungen sind sehr hohe Wirkungsgrade, größer als 0,9 erreichbar. Ein in konstruktiver Hinsicht besonderes einfacher Aufbau ergibt sich aufgrund der vorhandenen „natürlichen" dielektrischen Barrieren.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Teilbereiche im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet. Dies ermöglicht eine besonders effiziente Plasma-Erzeugung.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung generiert eine Anregung des Primärbereiches eine Potentialdifferenz zwischen den beiden Teilbereichen in einer Richtung quer zur Längsrichtung. Damit werden auch hohe elektrische Felder in einem Bereich zwischen den beiden Teilbereichen, und zwar in besonderem Maße nahe dem Verbindungsbereich zwischen den beiden Teilbereichen, generiert. Dies ermöglicht insbesondere die Erzeugung eines Plasmas im Bereich der freien Enden des Sekundärbereiches, und damit grundsätzlich die Erzeugung von großflächigen Plasmen, wenn mehrere Teilbereiche entlang einer Geraden oder entlang einer Ebene angeordnet sind. Außerdem können die erzeugten Felder sehr genau vorher bestimmt werden.
Die Erzeugung von Potentialdifferenzen zwischen den beiden Teilbereichen entlang einer Richtung quer zur Längsrichtung bedeutet insbesondere, dass sich maximale Potentialdifferenzen im Bereich der freien Enden der Teilbereiche bilden. Damit werden dort maximale elektrische Felder generiert, was in diesen Bereichen zu einer bevorzugten Plasmagenerierung führt.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Teilbereiche einander benachbart angeordnet. Dies ermöglicht eine sehr kompakte Bauweise und die Erzielung hoher
Potentialdifferenzen und damit die Erzielung hoher elektrischer Feldstärken zwischen den beiden Teilbereichen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Teilbereiche voneinander unbeabstandet. Diese Ausführung ermöglicht eine besonders einfache Bauweise der Einrichtung aus piezo- elektrischem Material, da die beiden Teilbereiche des Sekundärbereiches von einem gemeinsamen Werkstück gebildet sein können, welches unterschiedlich polarisiert ist. Die Vornahme der Polarisierung und das entsprechende Polarisationsverfahren sind an einer späteren Stelle dieser Anmeldung beschrieben. Diese Ausgestaltung der Erfindung ermöglicht eine besonders kompakte und einfache Bauweise.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Teilbereiche von einem gemeinsamen Werkstück gebildet, welches in unterschiedliche Richtungen polarisiert ist. Dies ermöglicht eine besonders einfache Bauweise. Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind der Primärbereich und der Sekundärbereich von einem gemeinsamen
Werkstück gebildet, welches in wenigstens drei unterschiedliche
Richtungen polarisiert ist. Dies ermöglicht eine besonders einfache und kompakte Bauweise.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind der Primärbereich und der Sekundärbereich und/oder die Teilbereiche von unterschiedlichen Werkstücken gebildet, die aneinander befestigt sind. Dies ermöglicht eine modulartige Bauweise, die es beispielsweise zulässt, dass die Teilbereiche und der Primärbereich zunächst gesondert, nach der Herstellung, polarisiert werden, wobei erst anschließend eine Montage erfolgt. Die Montage kann mit geeigneten Verbindungsmitteln, beispielsweise mit geeigneten Klebemitteln, erfolgen. Entscheidend ist, dass die Verbindung eine Übertragung der Resonanzschwingungen von dem Primärbereich auf den Sekundärbereich zulässt. Geeignete Verbindungsmittel sind im Stand der Technik bekannt.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Teilbereiche voneinander geringfügig beabstandet. Dies ermöglicht einerseits die Bereitstellung eines Freiraumes zwischen den beiden Teilbereichen, der für eine mechanische und/oder elektrische
Entkopplung der Teilbereiche sorgen kann. Der Freiraum kann auch einen
Gasströmungskanal bereitstellen, der einerseits die Plasma-Erzeugung vorteilhaft beeinflusst und der andererseits auch ein Prozess- oder
Arbeitsgas zur Plasma-Erzeugung bereitstellen kann. Schließlich kann der
Gasströmungskanal auch das zu behandelnde, gasförmige Substrat führen.
Des Weiteren kann in dem entstehenden Freiraum zwischen den beiden Teilbereichen auch ein Isolatorelement angeordnet werden. Eine derartige Isolierstrecke kann für eine mechanische oder gegebenenfalls auch elektrische Entkopplung der beiden Teilbereiche sorgen, so dass es zur Ausbildung von hohen elektrischen Feldern oder Potentialdifferenzen nur entlang vorgegebener, bestimmter Bereiche kommt. Dies erhöht die Genauigkeit, mit der die Bereiche, in denen Plasma erzeugt wird, im Vorfeld festgelegt werden können.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist jedem Teilbereich ein eigener Primärbereich zugeordnet. Dies bedeutet, dass einem ersten Teilbereich ein erster Primärbereich und einem zweiten Teilbereich ein zweiter Primärbereich zugeordnet ist. Die beiden Primärbereiche können über jeweils wenigstens ein eigenes Paar von Anschlusselektroden verfügen, so dass jeder Primärbereich gesondert mit Wechselspannung beaufschlagt wird. Dies bedeutet, dass für die beiden Primärbereiche wenigstens drei Elektroden vorgesehen sind. Eine Elektrode kann beiden Primärbereichen gemeinsam zugeordnet sein.
Von wesentlicher Bedeutung ist, dass die beiden Primärbereiche entweder phasengleich oder 180°-phasenversetzt angeregt werden, jedenfalls in Phase angeregt werden. Dies ermöglicht die effiziente und kontrollierte Generierung von hohen elektrischen Feldern und großen
Potentialdifferenzen.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist eine Vielzahl von Teilbereichen linear in Reihe, insbesondere quer zur
Längsrichtung, angeordnet. Eine derartige Reihenanordnung von
Teilbereichen kann eine in Linearrichtung beliebig lang gestreckte
Bauform erlauben. Vorteilhafterweise ist jedem Teilbereich ein eigener
Primärbereich zugeordnet, so dass jeweils zwischen zwei Teilbereichen ein Freiraum verbleiben kann. Die Zahl der Elektrodenpaare kann der Zahl der Teilbereiche entsprechen. Die Polarisationsrichtungen der Teilbereiche können entlang der Reihe alternieren. Damit wird jeweils zwischen zwei benachbarten Teilbereichen, vorzugsweise im Bereich ihrer freien Enden, die Erzeugung eines Plasmas möglich.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist eine
Vielzahl von Teilbereichen entlang einer Ebene nach Art eines Rasters angeordnet. Dies ermöglicht eine besonders großflächige Plasma- Erzeugung und entsprechend eine besonders großflächige Substratbearbeitung.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 21.
Die Erfindung geht wiederum aus von der zuvor erwähnten Itoh-
Veröffentlichung. Die Aufgabe der Erfindung besteht gleichermaßen darin, die Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas zu verbessern.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 21 , insbesondere mit denen des Kennzeichenteils, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich von zwei gesonderten Teilbereichen gebildet ist, die entlang der gleichen
Polarisationsrichtung polarisiert sind, dass jedem Teilbereiche ein eigener
Primärbereich zugeordnet ist, und dass die beiden Primärbereiche gegengetaktet angeordnet sind. Auf diese Weise generiert eine Anregung der beiden Primärbereiche eine Potentialdifferenz zwischen den beiden
Teilbereichen in einer Richtung quer zur Längsrichtung.
Das Prinzip dieser Erfindung versteht sich am Besten in Analogie zur Betrachtung der oben geschilderten Funktionsweise einer Vorrichtung gemäß Anspruch 1. Während gemäß Anspruch 1 zwei entgegengesetzt polarisierte Teilbereiche des Sekundärbereiches vorgesehen sind, verwendet die vorliegende Erfindung zwei gesonderte Teilbereiche, die entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert sind. Diese werden allerdings gegengetaktet angeregt, was auf unterschiedliche Weisen erfolgen kann. Eine gegengetaktete Anordnung der beiden Primärbereiche bedeutet z.B., dass beide Primärbereiche entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert sind und 180° phasenversetzt, aber in Phase, d.h. mit konstanter Phase, angeregt werden. Alternativ können die beiden Primärbereiche auch entlang entgegengesetzter Polarisationsrichtungen polarisiert sein und gleichphasig, d.h. ohne Phasenverschiebung, in Phase angeregt werden. Entscheidend ist, dass die Primärbereiche synchron, aber mit 180°-Phasenverschiebung schwingen, so dass die beiden gesonderten Teilbereiche des Sekundärbereiches ebenfalls mit konstanter Phase, aber zueinander entgegengesetzt, schwingen. Hierdurch werden gleichermaßen hohe elektrische Feldstärken zwischen den beiden Teilbereichen generiert, die die Erzeugung von Atmosphärendruck- Plasmen begünstigen.
Eine gegengetaktete Anordnung der beiden Primärbereiche beinhaltet beide beschriebenen Alternativen der Wahl der
Polarisationsrichtungen der Primärbereiche und die entsprechende, zugehörige Elektrodengeometrie sowie die zugehörigen Spannungsversorgungsleitungen.
Die beiden gesonderten Teilbereiche und z.B. gleichermaßen auch die beiden zugehörigen Primär-Teilbereiche können voneinander beabstandet sein und zwischen sich entweder einen Freiraum, insbesondere in Form eines Gasströmungskanals, oder einen Isolator aufweisen. Im Falle eines Gasströmungskanals zwischen den beiden Teilbereichen kann es auch zu einer Plasmaerzeugung innerhalb des Gasströmungskanals kommen. Falls sich zwischen den beiden Teilbereichen ein Isolator befindet, erfolgt eine Plasmaerzeugung vorzugsweise an der freien Stirnseite der Teilbereiche, insbesondere entlang der Verbindungsflächen oder entlang der Grenzflächen zwischen den beiden Teilbereichen.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weisen die beiden Primärbereiche eine übereinstimmende Polarisationsrichtung auf und sind 180°-phasenversetzt anregbar. Eine phasenversetzte Anregung bedeutet, dass die beiden Primärbereiche in einer festen konstanten Phase zueinander angeregt werden, wobei eine Phasenverschiebung von 180° vorgesehen ist. Die beiden Primärbereiche können bei dieser Alternative entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert sein.
Alternativ weisen die beiden Primärbereiche entgegengesetzte Polarisationsrichtungen auf und sind phasengleich, d.h. ohne Phasenverschiebung, in Phase, anregbar.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung verfügt jeder der beiden Primärbereiche über ein Paar von Elektroden. Dies bedeutet, dass jeder Primärbereich über ein gesondertes Paar von Elektroden verfügen kann. Alternativ kann auch eine Anordnung vorgesehen sein, wobei eine der Elektroden den beiden Primärbereiche gemeinsam zugeordnet ist, und wobei diese Elektrode zwischen den beiden Primärbereichen angeordnet ist.
Vorteilhafterweise sind jeweils ein Primärbereich und ein Teilbereich von einem gemeinsamen Werkstück gebildet. Dies ermöglicht eine besonders einfache Bauweise. Weiter vorteilhaft sind die beiden Teilbereiche voneinander geringfügig beabstandet angeordnet. Dies ermöglicht die Anordnung eines
Isolierelementes zwischen den beiden Teilbereichen oder alternativ die
Anordnung eines Gasströmungskanals zwischen den beiden Teilbereichen.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist eine Vielzahl von Teilbereichen linear in Reihe, insbesondere quer zur Längsrichtung, angeordnet. Dies ermöglicht die Konstruktion einer Vorrichtung mit einer Vielzahl von plasmaerzeugenden Bereichen, so dass insgesamt eine sehr großflächige Substratbearbeitung möglich wird.
Die Gegentaktung der zugehörigen Primärbereiche alterniert bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung entlang der Reihe der Teilbereiche. Dies bedeutet, dass eine Vielzahl von Teilbereichen beispielsweise unmittelbar benachbart oder unter Beabstandung entlang einer Reihe angeordnet ist, und sämtliche Teilbereiche eine gleiche Polarisationsrichtung aufweisen. Um Potentialdifferenzen quer zur Längsrichtung erzeugen zu können, müssen die den einzelnen Teilbereichen zugeordneten Primärbereiche synchron, aber 180°- p h äsen versetzt schwingen. Dies bedeutet, dass jeweils zwei benachbarte Primärbereiche zueinander gegengetaktet angeordnet sind. Wiederum kann dies durch zwei unterschiedliche alternative Ausführungen erreicht werden. Bei einer ersten Alternative sind die beiden benachbarten Primärbereich entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert, aber 180°-phasenversetzt angeregt. Bei einer zweiten Alternative weisen die Primärbereiche entgegengesetzte Polarisationsrichtungen auf und werden phasengleich, d.h. ohne Phasenverschiebung, in Phase angeregt.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist eine
Vielzahl von Teilbereichen entlang einer Ebene nach Art eines Rasters angeordnet. Hierdurch kann eine besonders großflächige Substratbearbeitung ermöglicht werden. Die Gegentaktung zugehöriger Primärbereiche kann bei dieser Ausführung der Erfindung entlang einer ersten und entlang einer zweiten Richtung alternieren. Damit wird die bezüglich Anspruch 33 und 34 beschriebene Vorrichtung aus der beschriebenen eindimensionalen Anordnung in eine zweidimensionale Anordnung überführt.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 37.
Die Erfindung geht wiederum aus von einer Vorrichtung, wie sie in der vorerwähnten Itoh-Veröffentlichung beschrieben ist.
Die Aufgabe der Erfindung besteht gleichermaßen darin, die bekannte Vorrichtung derartig weiterzuentwickeln, dass eine verbesserte und insbesondere effizientere Plasmaerzeugung möglich wird.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des
Anspruches 37, insbesondere mit den Merkmalen des Kennzeichenteils, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Einrichtung mit einem zweiten, gesonderten Primärbereich und mit einem zweiten, gesonderten, sich in Längsrichtung erstreckenden Sekundärbereich vorgesehen ist, dass die beiden Sekundärbereiche parallel zueinander und quer zur Längsrichtung voneinander beabstandet angeordnet sind, und dass die beiden Sekundärbereiche zwischen sich einen in Längsrichtung verlaufenden Gasführungskanal bilden.
Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, zwei
Sekundärbereiche in einer Richtung quer zur Längsrichtung der Sekundärbereiche voneinander beabstandet, aber parallel zueinander, anzuordnen. Die beiden Sekundärbereiche können auf diese Weise zwischen sich einen in Längsrichtung verlaufenden Gasführungskanal bilden. Den beiden Sekundärbereichen ist jeweils ein gesonderter Primärbereich zugeordnet. Der Gasführungskanal erstreckt sich vorteilhafterweise auch zwischen den beiden gesonderten Primärbereichen hindurch.
Die beiden Primärbereiche werden in fester Phase zueinander phasengleich oder alternativ 180°-phasenversetzt, angeregt. Hierzu ist jeder der beiden Primärbereiche mit einem Paar von Elektroden versehen, an die eine Nieder-Wechselspannung angelegt wird. Die beiden
Primärbereiche werden synchron angeregt, was bedeutet, dass die beiden
Primärbereiche entweder entlang der gleichen Polarisationsrichtungen polarisiert sind und in Phase, entweder phasengleich oder 180°- phasenversetzt, angeordnet sind. Alternativ können die Primärbereiche auch entlang unterschiedlicher, insbesondere entlang entgegengesetzter
Richtungen polarisiert sein.
Entscheidend ist, dass zwischen den beiden Sekundärbereichen ein
Gasstrom hindurchgeführt werden kann, der von den elektrischen Feldern, die sich zwischen den beiden Sekundärbereichen ausbilden, beeinflusst werden kann. Die elektrischen Felder können sich aufgrund von Potentialdifferenzen bilden, die sich entweder entlang der Längsrichtung der jeweiligen Sekundärbereiche oder quer zu dieser Längsrichtung erstrecken. Die räumliche Verteilung der elektrischen Feldlinien hängt im Wesentlichen davon ab, wie die Sekundärbereiche polarisiert sind, nämlich ob zwei einander gegenüberliegende Sekundärbereiche entlang der gleichen Polarisationsrichtung oder entlang entgegengesetzter Polarisationsrichtungen polarisiert sind. Beide Alternativen sind möglich. Wesentlich für das Funktionsprinzip dieser Erfindung ist, dass zwei einander gegenüberliegende Sekundärbereiche vorgesehen sind, so dass sich sehr genau vorherbestimmbare elektrische Feldgeometrien ergeben, wobei sich die elektrischen Felder überlagern und verstärken. Durch die synchrone Anregung der zugehörigen Primärbereiche und durch eine entsprechende synchrone Erzeugung elektrischer Felder entlang der sich einander gegenüberliegenden Sekundärbereiche wird die Plasmaerzeugung in dem Bereich zwischen den beiden Teilbereichen des Sekundärbereichs begünstigt.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist eine
Vielzahl von Sekundärbereichen linear in einer Reihe angeordnet und bildet zwischen sich eine Vielzahl von in Längsrichtung verlaufenden
Gasführungskanälen. Dies ermöglicht die Erzeugung großvolumiger oder großflächiger Plasmen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist eine Vielzahl von Sekundärbereichen entlang einer Ebene, insbesondere nach Art eines Rasters angeordnet, und bildet zwischen sich eine Vielzahl von in Längsrichtung verlaufenden Gasführungskanälen. Dies ermöglicht die Erzeugung eines besonders großvolumigen bzw. eines besonders großflächigen Plasmas und gleichermaßen die Bearbeitung großflächiger oder großvolumiger Substrate.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 40. Die Erfindung geht wiederum von der vorbeschriebenen Itoh- Veröffentlichung aus. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannte Vorrichtung derartig weiterzubilden, dass eine verbesserte Generierung von Plasma möglich wird.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des
Anspruches 40, insbesondere mit denen des Kennzeichenteils, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich eine gekrümmte Innenfläche aufweist, die eine Wandung eines Gasführungskanals ausbildet.
Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, den Sekundärbereich gekrümmt auszubilden. In Folge der Krümmung erhält der Sekundärbereich eine gekrümmte Innenfläche. Die Innenfläche stellt erfindungsgemäß die Wandung eines Gasführungskanals bereit. Ein Arbeits- oder Prozessgas kann also unmittelbar entlang der Oberfläche des Sekundärbereiches geführt werden, wobei aufgrund der Krümmung eine vergrößerte Oberfläche erzielt wird. Damit kann eine Plasmaerzeugung in einem größeren Volumen bzw. entlang einer vergrößerten Oberfläche erzielt werden bzw. eine verbesserte Wechselwirkung zwischen dem Gas und dem Plasma erreicht werden. Die entlang der gekrümmten Innenfläche verlaufenden elektrischen Feldlinien begünstigen im Gegensatz zum Stand der Technik die Generierung von Plasma.
Insbesondere bietet diese Vorrichtung auch die Möglichkeit, auf gesonderte Behältnisse zur Führung eines Gases für die plasmaerzeugenden Bereiche vollständig zu verzichten. Das beim Stand der Technik erforderliche Behältnis, das den Verlauf der elektrischen Feldlinien bzw. die elektrischen Wechselfelder nachteilig beeinflusst, kann nun von dem Sekundärbereich selbst bereitgestellt werden, ohne dass es zu einer nachteiligen Beeinflussung kommt. Die Innenfläche ist vorzugsweise um eine Krümmungslinie herum gekrümmt, die sich im Wesentlichen entlang der Längsrichtung des Sekundärbereiches erstreckt. Damit kann auch der Gasstrom entlang der Längsachse geführt werden.
Vorzugsweise ist der Primärbereich radial polarisiert. Dies bedeutet, dass die Polarisationsrichtung im Primärbereich auf die Krümmungslinie zu oder von dieser weggerichtet ist.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung stellt die gekrümmte Innenfläche eine Begrenzungsfläche für das Atmosphären'druck-Plasma dar. Somit kann auf gesonderte Begrenzungsflächen verzichtet werden.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 42.
Die Erfindung geht wiederum aus von der vorbeschriebenen Itoh-
Veröffentlichung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannte Vorrichtung derartig weiterzubilden, dass eine verbesserte Plasmaerzeugung möglich wird.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des
Anspruches 42, insbesondere mit denen des Kennzeichenteiles, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass in dem Sekundärbereich ein in Längsrichtung verlaufender, durchgehender Gasströmungskanal angeordnet ist, und dass der Sekundärbereich den Gasströmungskanal vollständig umrandet.
Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, dass der Sekundärbereich eine durchgehende Öffnung aufweist, die einen Gasströmungskanal bildet. Der Sekundärbereich umrandet den Gasströmungskanal vollständig. Der Sekundärbereich kann auch einen Mündungsbereich für einen Plasmajet bereitstellen. Innerhalb des Gasströmungskanals kann Plasma generiert werden, an das sich, abhängig von diversen Parametern, wie beispielsweise der Strömungsgeschwindigkeit des Gases, auch ein Plasmajet in Strömungsrichtung hinter der Mündung des Gasströmungskanals anschließen kann. Hierzu kann der Mündungsbereich auch düsenförmig ausgebildet sein.
Besonders vorteilhaft ist, dass auf gesonderte Behältnisse zur Bereitstellung eines Gasströmungskanals vollständig verzichtet werden kann. Die Wandungen der Durchgangsöffnung im Sekundärbereich können unmittelbar die Wandungen des Gasströmungskanals bereitstellen. Damit wird eine besonders vorteilhafte und optimierte Erzeugung eines Plasmas bei einfacher Bauweise der Vorrichtung möglich.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung durchgreift der Gasströmungskanal auch den Primärbereich. Damit wird eine wabenartige Struktur der Einrichtung möglich, die im Idealfall aus einem einzigen Werkstück hergestellt werden kann. Die Herstellung einer derartigen Wabenstruktur wird nachfolgend noch beschrieben.
Wenn der Gasströmungskanal auch den Primärbereich durchgreift, ist der Primärbereich vorzugsweise radial polarisiert. Dies bedeutet, dass die Polarisationsrichtung im Primärbereich auf das Zentrum oder eine Mittellinie des Gasströmungskanals hin gerichtet oder von dieser weg gerichtet ist.
Eine derartige Polarisierung kann auf denkbar einfache Weise dadurch erfolgen, dass an der Innenseite des Gasführungskanals und an der Außenseite des Gasführungskanals Elektroden angebracht werden.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Einrichtung im Wesentlichen rohrförmig ausgebildet. Eine derartige Struktur ermöglicht eine besonders einfache Bauweise.
Eine Vielzahl entsprechender rohrförmiger Einrichtungen kann z.B. in einer linearen Anordnung oder entlang einer Ebene, zu einem Raster angeordnet, zusammengefasst sein. Damit werden auch wabenartige
Strukturen möglich, die großflächige bzw. großvolumige Plasmen erzeugen können.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 46.
Die Erfindung geht wiederum aus von der vorbeschriebenen Itoh- Veröffentlichung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte und effizientere Generierung von Atmosphärendruck-Plasma zu ermöglichen.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 46, insbesondere mit denen des Kennzeichenteiles, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass in dem Sekundärbereich mehrere, in Längsrichtung verlaufende, durchgehende und zueinander parallele Gasströmungskanäle angeordnet sind.
Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, in dem Sekundärbereich eine Vielzahl von Gasströmungskanälen vorzusehen.
Die Gasströmungskanäle verlaufen in Längsrichtung des
Sekundärbereiches, so dass entlang der Richtung, entlang der sich
Potenzialdifferenzen ausbilden, auch die Gasströmung erfolgt. Die
Gasströmungskanäle führen zu einer wabenartigen Struktur des Sekundärbereiches. Dies ermöglicht eine besonders einfache und kompakte Bauweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie eine besonders großvolumige bzw. großflächige Plasmaerzeugung.
Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Werkstück aus piezoelektrischem Material gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 47.
Die Erfindung geht wiederum aus von der vorbeschriebenen Itoh- Veröffentlichung, in der ein Werkstück gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 beschrieben ist.
Ausgehend von der bekannten Vorrichtung besteht die Aufgabe der
Erfindung darin, das bekannte Werkstück derartig weiterzubilden, dass es besonders einfach bearbeitbar ist und sich zum Einsatz in einer
Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas in besonderem Maße eignet.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 47, insbesondere mit denen des Kennzeichenteiles, und ist demgemäß dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück wenigstens drei Zonen unterschiedlicher Polarisierung aufweist. Das Prinzip der Erfindung besteht im Wesentlichen darin, das Werkstück in eine Vielzahl von Zonen unterschiedlicher Polarisierungen zu unterteilen. Während das bekannte Werkstück nur zwei Zonen unterschiedlicher Polarisierung aufweist, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass wenigstens drei Zonen unterschiedlicher Polarisierung vorgesehen sind. Damit kann ein Primärbereich bereitgestellt werden, der entlang einer ersten Polarisationsrichtung polarisiert ist und ein Sekundärbereich mit zwei Teilbereichen, die entlang der Längsrichtung des Sekundärbereiches, also quer zur Polarisationsrichtung des Primärbereiches, allerdings entlang entgegengesetzter
Polarisationsrichtungen, polarisiert sind. Dadurch wird eine besonders einfache Herstellung eines Werkstücks möglich, welches in einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas eingesetzt werden kann.
Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zur Polarisation eines einheitlichen Werkstücks aus piezoelektrischem Material gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 48.
Ein solches Verfahren ist druckschriftlich nicht bekannt. In der vorbeschriebenen Itoh-Veröffentlichung ist allerdings ein Werkstück beschrieben, welches von einem Rosentyp-PT ausgebildet wird. Die Polarisation eines Werkstückes erfolgt zur Herstellung eines Rosen-PTs, in dem an einem Primärbereich zwei Elektroden angebracht werden. Eine Polarisation wird entlang einer ersten Polarisationsrichtung durchgeführt. Hierzu werden hohe Polarisationsspannungen im Kilovoltbereich zwischen den beiden Elektroden angelegt. Anschließend werden diese beiden Elektroden auf das gleiche Potential gelegt und eine dritte Elektrode an der Stirnseite des Sekundärbereiches angebracht. Sodann wird zwischen dieser Elektrode und den beiden zuvor bereits befestigten Elektroden wiederum eine Polarisationsspannung im Kilovoltbereich angelegt. Dies führt zur Erzielung einer Polarisation in einer Polarisationsrichtung im Sekundärbereich quer zu der Polarisationsrichtung des Primärbereiches, also entlang der Längsrichtung des Sekundärbereiches.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Erzielung dreier unterschiedlicher Polarisationszonen in einem einheitlichen Werkstück möglich. Hierdurch kann ein Werkstück hergestellt werden, welches zwei Teilbereiche eines Sekundärbereiches mit entgegengesetzter Polarisation aufweist. Dies ermöglicht eine besonders komfortable Polarisation des Werkstücks.
Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zur Herstellung eines einheitlichen wabenartigen Werkstücks aus piezo-elektrischem
Material, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 51. Ein solches Verfahren ist der Anmelderin im durchschnittlichen Stand der Technik nicht bekannt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem ein wabenartiges Werkstück auf besonders einfache Weise hergestellt werden kann.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruches 51.
Demnach ist vorgesehen, dass die Herstellung des Werkstückes nach Art eines Extrusionsverfahrens erfolgt. Das piezo-elektrische Material wird demnach endlos von einer Düse, von einer Extrudereinrichtung kommend, abgegeben. Die Düse, also die Austrittsvorrichtung für das piezo-elektrische Material, weist eine zu der Wabenstruktur des herzustellenden Werkstückes komplementäre Gegen-Wabenstruktur auf, die eine Mehrzahl von Dornen vorsieht. Hierdurch wird das Werkstück mit in Längsrichtung verlaufenden Durchgangsöffnungen hergestellt. Das Material kann in der gewünschten Länge abgelängt werden, wobei die Durchgangsöffnungen später die Gasströmungskanäle des Werkstückes bereitstellen können.
Zur Anbringung von Elektroden kann die abgelängte Wabenstruktur aus piezo-elektrischem Material in Längsrichtung in ein Elektroden- Tauchbad eingetaucht werden. Hierdurch können Elektroden an den Wabenstrukturen angebracht werden. Danach kann eine Polarisation vorgenommen werden. In einem zweiten Polarisationsschritt kann der Sekundärbereich polarisiert werden.
Die Durchgangsöffnungen können einen beliebigen Querschnitt, beispielsweise einen quadratischen Querschnitt, aufweisen.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der nicht zitierten Unteransprüche sowie aus der nun folgenden Beschreibung zahlreicher, in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele. In den Figuren zeigen:
Fig. 1 in einer schematischen teilgeschnittenen Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Sekundärbereich, der in zwei in entgegengesetzte Richtungen polarisierte Teilbereiche unterteilt ist,
Fig. 2 die Vorrichtung gemäß Fig. 1 in perspektivischer
Ansichtsdarstellung, wobei die Elektroden und die
Spannungsversorgungsquelle der Übersicht halber weggelassen worden sind und wobei der Primärbereich und die beiden Teilbereiche des Sekundärbereichs von gesonderten Elementen gebildet sind,
Fig. 3 in einer Darstellung gemäß Fig. 1 ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei zwischen den beiden Teilbereichen des Sekundärbereiches eine Isolierstrecke angeordnet ist, und wobei jedem Teilbereich des Sekundärbereiches ein eigener zugehöriger Primärbereich zugeordnet ist,
Fig. 4 in einer schematischen Darstellung ein weiteres
Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem die beiden Teilbereiche des Sekundärbereiches und die beiden zugehörigen Primärteilbereiche voneinander durch einen Freiraum beabstandet sind,
Fig. 5 eine Reihenanordnung von Teilbereichen des Sekundärbereiches in einer Darstellung gemäß Fig. 1 , wobei jedem Teilbereich ein in Primärteilbereiche unterteilter eigener Primärbereich zugeordnet ist,
Fig. 6 die Vorrichtung gemäß Fig. 5 in einer Unteransicht gemäß Ansichtspfeil VI in Fig. 5,
Fig. 7 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in Draufsicht auf die plasmaerzeugende Oberseite, wobei eine Vielzahl von Teilbereichen des Sekundärbereiches entlang einer Geraden angeordnet ist,
Fig. 8 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem die Teilbereiche des Sekundärbereiches von stabförmigen Körpern mit dreieckigem Querschnitt gebildet sind,
Fig. 9 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung gemäß Fig. 8, wobei jedem
Teilbereich ein eigener Primärteilbereich zugeordnet ist, und wobei die Teilbereiche und die Primärteilbereiche von stabförmigen Körpern mit im Wesentlichen quadratischem
Querschnitt gebildet sind, wobei jeder stabförmige Körper von einem benachbarten stabförmigen Körper beabstandet ist,
Fig. 10 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung vergleichbar der Vorrichtung gemäß Fig. 9, wobei die stabförmigen Körper voneinander unbeabstandet sind,
Fig. 1 1 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung gemäß Fig. 9, wobei ein einzelner, zentrisch angeordneter stabförmiger Körper vorgesehen ist, der von einem ringförmigen Körper mit quadratischem Querschnitt unter Belassung eines Ringraumes umgeben ist,
Fig. 12 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung gemäß Fig. 11 , wobei drei konzentrisch angeordnete Körper unbeabstandet voneinander angeordnet sind,
Fig. 13 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung vergleichbar der Ausführungsbeispiele der Fig. 1 1 und 12, wobei im Unterschied zu der Darstellung der Fig. 11 bei diesem Ausführungsbeispiel der zentrale Körper selbst eine Durchgangsöffnung aufweist,
Fig. 14 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem zwei im Wesentlichen quaderförmige
Körper voneinander beabstandet sind, so dass die beiden Primärteilbereiche und die beiden Teilbereiche des Sekundärbereiches zwischen sich einen Gasströmungskanal ausbilden,
Fig. 15 in einer Darstellung gemäß Fig. 14 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem zwischen den beiden quaderförmigen Körpern eine Isolierstrecke angeordnet ist,
Fig. 16 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit zwei Teilbereichen eines Sekundärbereiches, die entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert sind,
Fig. 17 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem zwischen den beiden Sekundärbereichen und den zugehörigen Primärteilbereichen ein Freiraum angeordnet ist,
Fig. 18 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer zentralen Durchgangsöffnung,
Fig. 19 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung vergleichbar dem Ausführungsbeispiel der Fig. 18, Fig. 20 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer Vielzahl von Durchtrittsöffnungen,
Fig. 21 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer im Wesentlichen nahezu rohrförmigen, zylindrischen Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmajets,
Fig. 22 eine Multi-Plasmajetquelle in einer Darstellung gemäß Fig. 21 ,
Fig. 23 eine Vorrichtung gemäß Fig. 22 in Untersicht, etwa gemäß Ansichtspfeil XXIII in Fig. 22,
Fig. 23a eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Ansichtspfeil XXIIIa in Fig. 22,
Fig. 24 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 25 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem düsenartig verjüngtem
Gasströmungskanal,
Fig. 26 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 27 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Veranschaulichung des physikalischen Grundprinzips, Fig. 28 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Veranschaulichung eines weiteren physikalischen Grundprinzips,
Fig. 29 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer besonderen, innen liegenden Elektrode,
Fig. 30 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Gehäuse,
Fig. 31 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung mit einer schräg gestellten
Schichtstrukturanordnung, wobei die einzelnen Schichten beispielsweise aus laminierten Keramikfolien mit aufgedruckten Elektroden bestehen,
Fig. 32 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Unteransicht ähnlich der Darstellung der Fig. 6,
Fig. 33 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer schematischen, teilgeschnittenen, perspektivischen Darstellung nach Art einer Wellblechstruktur,
Fig. 33a ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit zwei schematisch dargestellten Wellblechstrukturen etwa in einer Ansichtsdarstellung gemäß Ansichtspfeil XXXIIIa in Fig. 33, und
Fig. 33b ein weiteres Ausführungsbeispiel ähnlich der Fig. 33a, bei dem die beiden Wellblechstrukturen parallel zueinander sind. Die in ihrer Gesamtheit mit 10 bezeichnete erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas soll hinsichtlich einer ersten Variante der Erfindung zunächst anhand der Fig.1 von ihrem Grundprinzip her erläutert werden. Angemerkt sei vorab, dass in der nachfolgenden Figurenbeschreibung, auch soweit unterschiedliche Ausführungsbeispiele betroffen sind, gleiche oder vergleichbare oder funktionsgleiche Teile oder Elemente der Übersichtlichkeit halber mit gleichen Bezugszeichen und mit gleichen Buchstaben, teilweise unter Hinzufügen kleiner, angehängter Buchstaben bezeichnet sind.
Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung 10, die eine Einrichtung 11 aus piezo-elektrischem Material umfasst. Als piezo-elektrisches Material kommen geeignete, einen piezo- elektrischen Effekt zeigende Materialien, wie beispielsweise PXE-
Keramiken, wie Blei-, Zirkonat-Titanate Pb(ZrTi)O3 in Betracht.
Die Einrichtung 11 kann beispielsweise von einem einzigen Werkstück gebildet sein, welches in drei Zonen 16a, 16b 16c unterschiedlicher Polarisation unterteilt ist. Die Polarisationsrichtungen sind mit Pfeilen P angedeutet.
Eine Polarisationsrichtung eines piezo-elektrischen Materials wird generiert, indem eine hohe Polarisationsspannung angelegt wird, so dass die gesamten Weis'schen Dipol-Bezirke in dem Material in diese, durch die angelegte Spannung bzw. durch die Elektrodengeometrie vorgegebene Richtung umklappen. Die Polarisationsrichtung wird daher durch die kürzeste geometrische Verbindung zwischen den beiden angelegten Elektroden und durch deren Polung vorgegeben. Gemäß Fig. 1 weist die Einrichtung 11 eine Primärzone 12 oder einen Primärbereich mit im Wesentlichen in Querrichtung Q verlaufender
Polarisationsrichtung P und eine Sekundärzone 13 oder Sekundärbereich mit in und entgegen der Längsrichtung L verlaufenden Polarisationsrichtungen auf.
Die Einrichtung 11 gemäß Fig. 1 kann beispielsweise die Form eines Quaders aufweisen, der sich senkrecht zur Papierebene entlang einer Strecke s erstreckt, die z. B. größer ist als die Breite d der Einrichtung 11.
An den entsprechend gebildeten Breitseiten B1 und B2 der
Einrichtung 11 sind im Primärbereich 12 im Wesentlichen plattenförmige
Elektroden 17a und 17b angebracht. Die Elektroden können beispielsweise aufgedruckt, aufgesputtert oder auf sonstige geeignete Arten befestigt sein.
Die beiden Elektroden 17a und 17b sind über Spannungsversorgungsleitungen 10a und 10b mit einer Spannungsversorgungsquelle 19 verbunden, die eine Niedervolt-Wechelspannung einer vorgegebenen Frequenz und mit einer Amplitude von weniger als 500 Volt generiert.
Wird der Primärbereich 12 mit einer zu bestimmenden Resonanzfrequenz von beispielsweise 100KHz angelegt, kommt es aufgrund der angelegten elektrischen Wechselspannung zu mechanischen Schwingungen des Primärbereiches 12, die zu periodischen Änderungen der Dicke d des Primärbereiches 12 zwischen den Elektroden 17a, 17b führen. Diese mechanischen Schwingungen werden auch auf den Sekundärbereich 13 übertragen.
Der Sekundärbereich 13 ist auf erfindungemäße Weise in zwei
Teilbereiche 14 und 15 unterteilt, die unterschiedliche, und zwar entgegengesetzte Polarisationsrichtungen P aufweisen. Schwingt nun der Sekundärbereich 13 ebenfalls in Resonanz, so kommt es zur Ausbildung von elektrischen Feldern bzw. von Potentialdifferenzen entlang der Länge I des Sekundärbereiches 13 in Längsrichtung L.
Die größten Potentialdifferenzen und damit die größten elektrischen Feldstärken treten allerdings im Verbindungsbereich 21 zwischen den beiden Teilbereichen 14 und 15 auf, und zwar insbesondere im freien Endbereich des Sekundärbereichs 13. Dort kommt es zur Ausbildung eines Plasmas 20, wie es in Fig. 1 durch eine flach ausgebildete Plasmawolke angedeutet ist.
Mit der in Fig. 1 beschriebenen Vorrichtung kann daher ein Stirnflächenplasma mit hoher Effizienz generiert werden.
Die Einrichtung 11 stellt einen Piezo-Transformator (PT) bereit und ermöglicht die Erzeugung von Hochspannungspotentialdifferenzen entlang des Sekundärbereiches 13 durch eine Niederspannungsquelle 19. Damit kann eine besonders kompakt und einfach aufgebaute erfindungsgemäße Vorrichtung realisiert werden.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 sei angemerkt, dass der Primärbereich 12 und der Sekundärbereich 13 mit den beiden Teilbereichen 14 und 15 aus einem einzigen Werkstück gebildet sein kann, welches in die drei Zonen 16a, 16b, 16c mit unterschiedlichen Polarisationsrichtungen durch Anlegen entsprechender Polarisationsspannungen und durch Anordnung geeigneter Elektroden unterteilt sein kann.
Alternativ kann der Primärbereich 12, was in Fig. 1 nicht dargestellt ist, aus einem gesonderten Werkstück gebildet sein, das mit dem
Sekundärbereich 13 verbunden ist. Schließlich besteht auch die Möglichkeit, die beiden Teilbereiche 14 und 15 des Sekundärbereiches 13 von unterschiedlichen Werkstücken bereitzustellen, die, was in Fig. 1 nicht dargestellt ist, ebenfalls miteinander mechanisch verbunden sein können. Zusammenfassend bleibt festzustellen, dass die Einrichtung 11 gemäß Fig. 1 aus ein, zwei oder drei unterschiedlichen Werkstücken gebildet sein kann.
Angemerkt sei an dieser Stelle, dass der Primärbereich 12 aus einem oder aus einer Vielzahl von Werkstücken gebildet sein kann. Fig. 1 zeigt eine Anordnung, bei der dem Primärbereich 12 zwei Elektroden 12a und 12b zugeordnet sind. Der Primärbereich kann aber auch in eine Vielzahl von Teilbereichen unterteilt sein, wobei eine Vielzahl von Elektroden mit alternierender Spannung vorgesehen sein kann. Ein solcher Schichtaufbau wird später noch erläutert werden.
Anhand der Fig. 2 soll nun das Funktionsprinzip der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 weiter erläutert werden. Hier sind der Primärbereich 12 und der Sekundärbereich 13 mit den beiden Teilbereichen 14 und 15 jeweils von gesonderten Elementen gebildet. Im Bereich der Grenzschichten 22a, 22b finden sich geeignete Verbindungsmittel, wie beispielsweise Klebstoffe, die eine ausreichende mechanische Verbindung bewerkstelligen und insbesondere für eine Übertragung der mechanischen Schwingungen von dem Primärbereich 12 auf den Sekundärbereich 13 sorgen.
Fig. 2 macht deutlich, dass der Primärbereich 12 entlang unterschiedlicher Polarisationsrichtungen P1 , P2 oder P3 polarisiert sein kann. Die Polarisationsrichtung P1 gemäß Fig. 2 entspricht dabei der Polarisationsrichtung P gemäß Fig. 1 , wobei die Elektroden bei der Vorrichtung gemäß Fig. 2 nicht dargestellt sind. Auf die Orientierung der Polarisationsrichtung P1 kommt es dabei zunächst nicht an. Alternativ könnte der Primärbereich 12 aber auch entlang der Polarisationsrichtung P2 polarisiert sein, wobei dann an der in Fig. 2 dargestellten Vorderseite V und an der in Fig. 2 nicht dargestellten rückwärtigen Seite flächige Elektroden angeordnet sein müssten, so dass die Verbindungslinie der Elektroden der Polarisationsrichtung P2 entspricht.
Eine in Polarisationsrichtung P2 gewählte Polarisation würde in gleicher Weise eine mechanische resonante Schwingung des
Primärbereiches 12 generieren und entsprechend eine mechanische Schwingung des Sekundärbereiches 13 hervorrufen, die letztendlich die in
Fig. 2 durch E-Pfeile angedeuteten elektrischen Felder generiert.
Der Übersichtlichkeit halber ist in Fig. 2 das generierte Plasma an der Oberseite F der Einrichtung 11 nicht dargestellt.
Fig. 2 zeigt schließlich der Vollständigkeit halber noch eine Polarisationsrichtung P3, die im Wesentlichen parallel zu den Polarisationsrichtungen P des Sekundärbereiches verläuft. Dies soll andeuten, dass durch Anordnung von Elektroden beispielsweise im Bereich des unteren Endes des Primärbereiches 12 und im Bereich des oberen Endes des Primärbereiches 12 theoretisch die Möglichkeit besteht, den Primärbereich 12 gleichermaßen anzuregen. Eine derartige Bauform weist zwar in konstruktiver Hinsicht Nachteile auf, kann das erfindungsgemäße Prinzip aber dennoch erzielen.
Unter Bezugnahme auf die Figuren 1 und 2 sei angemerkt, dass jeweils ein Primärbereich 12 oder ein später noch zu erläuternder Primärteilbereich insgesamt in resonante Schwingungen durch Anlegen elektrischer Wechselfelder gebracht werden muss. Hierzu genügen grundsätzlich zwei voneinander beabstandete Elektroden, die zwischen sich den piezo-elektrischen Materialbereich (Primärbereich) der Dicke (D) einfassen können. Alternativ kann entlang der Dicke oder Breite D des Primärbereiches 12 auch eine Vielzahl paralleler Elektrodenplatten angeordnet sein, so dass eine Schichtstruktur, wie sie auch später noch an anderen Ausführungsbeispielen erläutert sein wird, entsteht. Diese Schichtstruktur ist beim Aufbau zunächst komplizierter, kann aber den Vorteil besitzen, dass das Übertragungsverhältnis der angeregten Niedervoltspannung zu der zu erzielenden Hochspannung verbessert wird. Bei Anordnung von mehr als zwei Elektroden an einem Primärbereich, der insgesamt einheitlich schwingen soll, ist eine entsprechende Beschaltung der Elektroden bzw. eine entsprechende Abfolge der Polarisationsrichtungen der Abschnitte des Primärbereiches erforderlich. Dies wird im Detail noch später erläutert werden.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung vergleichbar der Fig. 1. Die erfindungsgemäße Vorrichtung 10 umfasst bei dieser Variante eine Einrichtung 11 , die zwei gesonderte Primärbereiche 12a und 12b sowie zwei räumlich getrennte Teilbereiche 14 und 15 entgegengesetzter Polarisation aufweist. Zwischen den beiden Teilbereichen 14 und 15 des Sekundärbereiches 13 befindet sich bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ein Isolierelement 23. Es kann sich dabei um ein mechanisches und/oder um ein elektrisches Isolierelement handeln. Das mechanische Isolierelement kann die beiden Teilbereiche 14 und 15 hinsichtlich der mechanischen Schwingungen zumindest teilweise voneinander entkoppeln. Das elektrische Isolierelement 23 kann dafür sorgen, dass die elektrischen Felder im Bereich der einander zugewandten Grenzflächen der beiden Teilbereiche 14 und 15 keine nachteiligen Effekte generieren, und das Plasma 20 lediglich im Bereich der Stirnfläche F der Einrichtung 11 erzeugt wird. Die beiden Primärbereiche oder Primärteilbereiche 12a und 12b weisen jeweils ein eigenes Paar Elektroden auf. Anhand von Fig. 3 wird allerdings deutlich, dass die beiden Primärbereiche 12a und 12b auch eine gemeinsame Elektrode 17b aufweisen können.
Die drei Elektroden 17a, 17b, 17c sind mit einer Niederspannungsquelle 19 verbunden und werden in Phase, und zwar phasengleich angeregt. Der durch die beiden Primärbereiche 12a und 12b gebildete Gesamtprimärbereich 12 bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 entspricht also dem Primärbereich 12 der Vorrichtung 10 gemäß Fig. 1 und schwingt insgesamt synchron.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei der die beiden Primärbereiche 12a und 12b und die beiden Teilbereiche 14 und 15 des Sekundärbereiches 13 durch einen Freiraum 24 vollständig voneinander getrennt sind. Der Freiraum 24 stellt einen Gasströmungskanal bereit, durch den hindurch ein geeignetes Arbeits- oder Trägergas in Längsrichtung L durchströmen kann. Fig. 4 verdeutlicht die Ausbildung der elektrischen Felder E, die die Potentialdifferenzen verdeutlichen und entlang der sich ein Plasma ausbilden kann. Fig. 4 zeigt, dass die größten elektrischen Feldstärken im Bereich zwischen den beiden Stirnseiten F1 und F2 der beiden Teilbereiche 14, 15 auftreten.
Fig. 5 zeigt eine Vorrichtung 10, die eine Reihenanordnung einer
Vielzahl von Teilbereichen 14a, 14b, 14c und 15a, 15b, 15c etc. vorsieht. Der Sekundärbereich 13 ist demzufolge von einer Reihenanordnung von beispielsweise quaderförmig ausgebildeten Teilbereichen 14a, 15a, 14b, 15b, 14c, 15c gebildet. Zwischen jeweils zwei Teilbereichen unterschiedlicher Polarisation, z. B. zwischen den Teilbereichen 14a und 15a, bildet sich eine Plasmawolke 20a aus. Sämtliche mit 14 bezeichneten Teilbereiche weisen eine Polarisierung entlang einer ersten Polarisationsrichtung und sämtliche mit 15 bezeichneten Teilbereiche weisen eine Polarisierung in entgegengesetzter Polarisationsrichtung auf.
Der Primärbereich 12 ist in eine Vielzahl von einzelnen Primärbereichen unterteilt. Beispielsweise weist der Teilbereich 14a einen zugehörigen Primärbereich 12a auf, der in einen Primärteilbereich 12a1 und einen zweiten Primärteilbereich 12a2 mit entgegengesetzter Polarisation unterteilt ist. Der Primärbereich 12a weist drei Elektroden 17a, 17b und 17c auf, die über Spannungsversorgungsleitungen mit der Spannungsversorgung 19 verbunden sind. Die beiden Primärteilbereiche 12a1 und 12a2 werden in Phase, das heißt phasengleich, angeregt, so dass der gesamte Primärbereich 12 resonant schwingt und seine Schwingungen auf den entsprechenden Teilbereich 14a übertragen kann. Auch die anderen Primärbereiche 12b sowie die in Fig. 5 dargestellten, aber nicht bezeichneten Primärbereiche schwingen alle insgesamt synchron, so dass es zwischen jeweils zwei einander benachbarten Teilbereichen unterschiedlicher Polarisation im Bereich der Oberseite F zur Ausbildung einer Plasmawolke 20a, 20b, 20c kommt.
Fig. 6 verdeutlicht in einer Unteransicht gemäß Ansichtspfeil VI in Fig. 5 die geometrische Struktur des Primärbereiches 12 und zeigt, dass der Primärbereich 12 von mehreren in Richtung S lang gestreckten
Elementen nach Art einer Schichtstruktur gebildet ist. Jeweils ein
Primärteilbereich (z B. 12a1) ist von einem scheibenartigen Element gebildet, und zwischen jeweils zwei Primärteilbereichen, z. B. zwischen den Primärteilbereichen 12a1 und 12a2, befindet sich eine Elektrode.
Damit wird deutlich, dass sich die Plasmawolken 20a, 20b, 20c an der Oberseite F der Vorrichtung 10 ebenfalls in Richtung S axial erstrecken, so dass es dort zu einem streifenförmigen Muster von Plasmawolken kommen kann.
Fig. 7 macht schließlich deutlich, dass eine Vielzahl von
Teilbereichen 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f, 14g, 15a, 15b, 15c, 15d, 15e, 15f des Sekundärbereiches 13 auch entlang einer Ebene, nach Art eines Rasters, angeordnet sein kann. Die Teilbereiche 14, 15 können so hinsichtlich ihrer Polarisationsrichtung auch entlang der Richtung S alternieren. Die in Fig. 7 gewählte Darstellung zeigt die Oberseite F einer Vorrichtung 10 in Draufsicht. Es wird deutlich, dass eine Vielzahl von kleeblattartig ausgebildeten Plasmawolken 20a, 20b, 20c, 2Od generiert wird.
Jeweils zwei benachbarte Teilbereiche, z. B. die Teilbereiche 14a,
15c oder die Teilbereiche 14a und 15a weisen entgegengesetzte Polarisationsrichtungen auf, was durch die Symbole des eingekreisten x und des eingekreisten Punktes angedeutet ist. Die Polarisationsrichtungen benachbarter Teilbereiche alternieren also sowohl in Querrichtung Q als auch in Richtung des Pfeiles S.
Fig. 7 verdeutlicht, dass eine sehr großflächige Plasmaerzeugung und damit auch eine großflächige Substratbearbeitung möglich wird. Ein zu bearbeitendes Substrat kann entlang der Oberfläche F bewegt oder die Vorrichtung 10 kann relativ zu einen feststehenden Substrat bewegt werden.
Anhand der Figuren 8 bis 15 sollen nun grundsätzlich unterschiedliche Geometrien von Ausführungsbeispielen erfindungsgemäßer Vorrichtungen zur Erzeugung eines Plasmas erläutert werden. Angemerkt sei an dieser Stelle, dass in den Fig. 8 bis 15 der Übersichtlichkeit halber die Elektroden, die an dem Primärbereich oder an dem Primärteilbereich angeordnet sind, nicht dargestellt sind.
Fig. 8 zeigt eine Einrichtung 11 mit einem Primärbereich 12 und einen Sekundärbereich 13. Der Sekundärbereich 13 ist in eine Vielzahl von Teilbereichen 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 15a, 15b, 15c, 15d unterteilt, die von stabförmigen, im Querschnitt dreieckförmigen Körpern gebildet sind. Jeweils im Bereich der Begrenzungsflächen 22b zwischen zwei unterschiedlich polarisierten Teilbereichen, z. B. zwischen den Teilbereichen 14a und 15a, kommt es an der Stirnseite zur Ausbildung einer in Fig. 8 nicht dargestellten Plasmawolke.
Bei einer alternativen Ausgestaltung einer Vorrichtung 10 gemäß Fig.
9 sind der Primärbereich 12 und der Sekundärbereich 13 jeweils von einer Vielzahl von Teilbereichen gebildet. So ist der Primärbereich 12 von Primärteilbereichen 12a 12b, 12c, 12d, 12e und der Sekundärbereich 13 von entsprechenden Sekundärteilbereichen 13a, 13b, 13c, usw. gebildet, wobei neun Sekundärteilbereiche und neun Primärbereiche dargestellt, aber nicht alle bezeichnet sind.
Benachbarte Teilbereiche 14a, 14b, 14c, 15a, 15c sind wiederum entgegengesetzt polarisiert, so dass sich jeweils zwischen zwei Teilbereichen 14a, 15a unterschiedlicher Polarisierung hohe elektrische Felder ausbilden können. Zwischen jeweils zwei Teilbereichen 14a, 15a erstreckt sich ein Gasströmungskanal 24 hindurch, der in Längsrichtung L verläuft. Die in Fig. 9 dargestellten Pfeile G veranschaulichen den Gasstrom. Sämtliche Primärteilbereiche 12a, 12b, 12c, 12d, 12e etc. werden in fester Phasenbeziehung zueinander, das heißt insbesondere phasengleich angeregt, so dass sich die Erzeugung der elektrischen
Felder zwischen den Teilbereichen 14a, 14b, 14c und 15a, 15b, 15c kontrollieren lässt.
Fig. 9 macht deutlich, dass ein zwischen zwei Teilbereichen 15a, 14b entgegengesetzter Polarisation durchströmender Gasstrom durch ein Plasma hindurchgeführt werden kann, das sich nicht nur ausschließlich im Bereich der Stirnseiten der Teilbereiche 15a, 14b erzeugen lässt, sondern auch im Bereich des Strömungskanals 24. Dies ermöglicht eine verbesserte Wechselwirkung des Gasstromes mit dem Plasma.
Fig. 10 zeigt eine weitere alternative Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, in einer Darstellung gemäß Fig. 8, die der dort gezeigten geometrischen Struktur relativ nahe kommt. Hier sind die Teilbereiche 14a, 15a des Sekundärbereiches 13 von zylindrischen
Körpern mit quadratischem Querschnitt gebildet. Jeweils zwei benachbarte Teilelemente des Sekundärbereiches, z. B. die Teilbereiche 14a und 15a oder die Teilbereiche 15a und 14b weisen entgegengesetzte
Polarisationsrichtungen auf, so dass sich im Bereich der Grenzflächen 22b zwischen jeweils zwei Teilbereichen unterschiedlicher
Polarisationsrichtung nicht dargestellter Plasmawolken bilden.
Fig. 1 1 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei der zwei gesonderte Einheiten vorgesehen sind, die jeweils einen Primärbereich 12 und einen Sekundärbereich 13 aufweisen. Eine erste Einheit ist in Form eines stabförmigen Körpers ausgebildet und weist entsprechend einen Primärteilbereich 12a mit quadratischem Querschnitt auf, der in einen Teilbereich 14 gleichen Querschnittes übergeht. Eine zweite Einheit ist nach Art eines zylindrischen Rohres mit quadratischem Querschnitt ausgebildet und umgibt die erste Einheit konzentrisch. Der der zweiten Einheit zugehörige zweite, radial polarisierte Primärteilbereich 12b geht in einen Teilbereich 15 des Sekundärbereiches 13 über, der eine gleiche geometrische Struktur wie der zweite Primärteilbereich 12b aufweist.
Zwischen den beiden Primärteilbereichen 12a und 12b und zwischen den beiden Teilbereichen 14 und 15 befindet sich ein ringförmiger
Freiraum 24, der einen Gasströmungskanal bildet. Innerhalb des Gasströmungskanals 24 kann sich zwischen den beiden Teilbereichen 14 und 15 ein Plasma ausbilden.
Wenn der Primärbereich 12 mit den beiden Primärteilbereichen 12a und 12b in Phase, das heißt gleichgetaktet, angeregt wird, sind die beiden Teilbereiche 14 und 15 entgegengesetzt polarisiert, so dass sich im Bereich des Gasströmungskanals 24 entlang der Außenfläche des Teilbereiches 14 bzw. entlang der Innenfläche des Teilbereiches 15 ein Plasma ausbilden kann.
Fig. 12 zeigt eine weitere Variante einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung 10, bei der der Primärbereich 12 und der Sekundärbereich 13 von konzentrisch, voneinander in radialer Richtung unbeabstandeten Ringen gebildet ist. Zentral ist ein im Wesentlichen stabförmiger Körper mit quadratischem Querschnitt angeordnet, der einen Primärteilbereich 12a aufweist und in einen Sekundärteilbereich 14a übergeht. Konzentrisch umgeben ist der Primärteilbereich 12a von einem zweiten Primärteilbereich 12b, der in einen Teilbereich 15a des Sekundärbereiches übergeht, wobei der Teilbereich 15b eine zu dem Teilbereich 14a entgegengesetzte Polarisationsrichtung aufweist. Schließlich ist ein dritter Primärteilbereich 12c vorgesehen, der die beiden Primärteilbereiche 12a und 12b konzentrisch umgibt. Der dritte Teilbereich 14b des Sekundärbereiches 13 weist die gleiche Polarisationsrichtung auf wie der Teilbereich 14a.
An der bezüglich Fig. 12 rückwärtigen Stirnfläche F können sich entlang der Verbindungsbereiche der Teilbereiche 14a, 15b und 14b im Wesentlichen ringförmige Plasmawolken ausbilden.
Insofern, wie in Fig. 12 dargestellt, drei konzentrische Ring-
Primärteilbereiche 12a, 12b und 12c vorgesehen sind, kann zwischen den Ringbereichen 12c und 12b entlang der Verbindungslinie 22b eine rohrförmige Elektrode angeordnet sein. Zwischen den Primärteilbereichen 12b und 12a kann entlang der zugehörigen Verbindungslinie 22b ein Isolator angeordnet sein, der den stabförmigen Primärteilkörper 12a mantelartig umgibt. Das Isolierelement weist auf seiner Innenseite beispielsweise zwei plattenartige Elektroden auf, die einander gegenüberliegen und die dargestellte Primärpolarisationsrichtung PP berücksichtigen. Auf der dem Ringkörper 12b zugewandten Seite dieses Isolierelementes könnte dann wiederum eine weitere, dem Ringbereich 12e zugeordnete rohrförmige Elektrode angeordnet sein.
Alternativ ist bei einer geometrischen Struktur gemäß Fig. 12 vorstellbar, dass der mit 12b bezeichnete Bereich des Primärbereiches 12 von einer Isolierstrecke gebildet ist. Dann würde der Primärbereich 12 nur zwei Primärteilbereiche 12a und 12c aufweisen, die von einem Isolator getrennt wären.
Schließlich könnte der mit 12b bezeichnete Primärteilbereich auch entfallen und einen ringförmigen Gasströmungskanal ausbilden. Fig. 13 zeigt eine weitere Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 in einer Darstellung ähnlich Fig. 11 , wobei gegenüber Fig. 11 der wesentliche Unterschied darin besteht, dass der Primärteilbereich 12a nicht von einem im Wesentlichen stabförmigen zylindrischen Körper mit quadratischem Querschnitt gebildet ist, sondern von einem hohlen Ringkörper, der in seinem Zentrum eine Öffnung 25 bereitstellt, die gleichermaßen einen Gasströmungskanal ausbilden kann. Bei Betrachtung dieser Figur wird deutlich, dass der Sekundärbereich 13 eine dem Primärbereich 12 entsprechende geometrische Struktur aufweist.
Fig. 14 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei der der Primärbereich 12 und der Sekundärbereich 13 jeweils von gesonderten Teilbereichen gebildet werden. Der Primärteilbereich 12a weist die Form eines Quaders mit rechteckigem Querschnitt auf und geht in eine entsprechenden Teilbereich 14 des Sekundärbereiches 13 über. Der Primärteilbereich 12b weist einen identischen Querschnitt auf und geht in einen Teilbereich 15 des Sekundärbereiches 13 über. Zwischen den Primärteilbereichen 12a und 12b und zwischen den Teilbereichen 14 und 15 befindet sich ein Freiraum 24, der als Gasströmungskanal ausgebildet ist. Die Gasströmung erfolgt in Richtung der angedeuteten Pfeile G. Die Teilbereiche 14 und 15 sind in Längsrichtung L entgegengesetzt polarisiert.
Fig. 15 zeigt eine weitere Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung ähnlich Fig. 14, wobei im Unterschied zu
Fig. 14 in dem Freiraum 24 zwischen den beiden quaderförmigen
Elementen ein Isolierelement 23 angeordnet ist. Dieses
Ausführungsbeispiel ist dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 relativ ähnlich.
Angemerkt sei, dass auch in Fig. 15 im Primärbereich 12 keine
Elektroden dargestellt sind. Anstelle einer Isolierstrecke könnten zwischen den beide Primärteilbereichen 12a und 12b auch Elektroden angeordnet sein. Entsprechende Gegenelektroden könnten dann auf den Außenseiten der Primärteilbereiche 12a und 12b angeordnet sein.
Angemerkt sei, dass auch eine geometrische Anordnung nach Art einer Kombination der Ausführungsbeispiele der Figuren 3 und 15 möglich ist, bei der zwischen den beiden Primärteilbereichen 12a und 12b eine Isolierstrecke 23 angeordnet ist, wobei auf den beiden Außenseiten der Isolierstrecke 23 jeweils eine Elektrode angeordnet ist.
Entscheidend bei den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen ist es, dass die Primärteilbereiche synchron, das heißt, in Resonanz angeregt werden.
Anhand der Fig. 16 wird im Folgenden ein weiteres
Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 erläutert:
Die Vorrichtung 10 umfasst wiederum einen über Niedervolt- Wechselspannung resonant anregbaren Primärbereich 12 und einen dadurch anregbaren Sekundärbereich 13 zur Erzeugung von Hochspannung. Der Sekundärbereich 13 ist in zwei Teilbereiche 14 und 15 unterteilt, die in der gleichen Polarisationsrichtung P polarisiert sind und zwischen denen sich ein Isolierelement 23 befindet. Jeder Teilbereich 14, 15 ist mit einem zugehörigen Primärteilbereich 12a, 12b schwingungsverbunden, was bedeutet, dass zwischen einem Primärteilbereich 12a, 12b und dem zugehörigen Teilbereich 14, 15 des Sekundärbereiches 12 resonante Schwingungen übertragen werden können. Der erste Primärteilbereich 12a weist eine Elektrode 17a und eine gegenüberliegende Elektrode 17b auf. Der zweite Primärteilbereich 12b weist eine Elektrode 17c und die zuvor schon erwähnte Elektrode 17b auf. Beide Primärteilbereiche 12a und 12b sind entlang der gleichen Polarisationsrichtung P polarisiert. Aufgrund der in Fig. 16 dargestellten Beschaltung der Elektroden liegt an den Elektroden 17a oder 17c zu jedem Zeitpunkt das gleiche Potential an. Damit werden die beiden Primärteilbereiche 12a und 12b 180°-phasenversetzt angeregt. Die Anordnung der beiden Primärteilbereiche 12a und 12b ist somit gegengetaktet getroffen.
In Folge der beschriebenen 180°-phasenversetzten oder phasenverschobenen Anregung der beiden Primärteilbereiche 12a und 12b geraten die Teilbereiche 14 und 15 des Sekundärbereiches 13 in Schwingungen, wobei die Teilbereiche 14, 15 allerdings gleichermaßen phasenversetzt schwingen. Demzufolge bilden sich maximale Potentialunterschiede entlang der Verbindungsbereiche 21 zwischen den beiden Teilbereichen 14 und 15 aus, so dass es an der Stirnseite F der Vorrichtung 10 zur Ausbildung eines Plasmas 20 kommt.
Das Isolierelement 23 dient dazu, die beiden Teilbereiche 14 und 15 mechanisch und elektrisch voneinander zu entkoppeln. Dies erhöht die Effizienz der beschriebenen Vorrichtung.
Wie zuvor bei anderen Ausführungsbeispielen beschrieben, können ein Teilbereich 14, 15 und ein dazugehöriger Primärteilbereich 12a, 12b jeweils aus einem einheitlichen Werkstück durch unterschiedliche Polarisation gebildet oder von gesonderten, aneinander befestigten Werkstücken hergestellt sein. Alternativ zu der getroffenen Anordnung gemäß Fig. 16 können auch für die beiden Primärteilbereiche 12a und 12b entgegengesetzte Polarisationsrichtungen vorgesehen sein, wobei dann eine phasengleiche Anregung erfolgt.
Fig. 17 zeigt in einer schematischen Darstellung das
Funktionsprinzip der Vorrichtung gemäß Fig. 16, wobei anstelle eines zwischen den beiden Sekundärteilbereichen 14 und 15 vorgesehenen Isolierelementes 23 nunmehr ein Freiraum 24 belassen ist. Dieser Freiraum kann einen Gasströmungskanal bereitstellen.
Der Übersichtlichkeit halber sind die am Primärteilbereich 12a bzw.
12b anzuordnenden Elektroden nicht dargestellt. Auch das erzeugte Plasma ist der Übersichtlichkeit halber weggelassen worden.
Fig. 17 verdeutlicht, dass es unbedeutend ist, entlang welcher der drei Polarisationsrichtungen P1 , P2 oder P3 eine Anregung des
Primärteilbereiches erfolgt. Entscheidend ist, dass es zu einer synchronen, 180°-phasenverschobenen Anregung der beiden
Primärteilbereiche 12a und 12b kommt.
Durch die gegengetaktete Anregung kommt es zur Bildung von elektrischen Feldern, die in Fig. 17 durch die dargestellten Feldlinien E schematisch angedeutet sind. Durch die synchrone Anregung der beiden Primärteilbereiche 12a und 12b kann sich das in dem Freiraum 24 befindliche Feld optimal verstärken.
Anhand der Fig. 18 bis 26 soll nun eine weitere Gruppe von Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Vorrichtung erläutert werden:
Fig. 18 zeigt eine im Wesentlichen quaderförmige erfindungsgemäße
Vorrichtung 10, die einen Primärteilbereich 12 und einen Sekundärbereich 13 aufweist. Im Primärteilbereich 12 ist die Polarisationsrichtung mit PP und im Sekundärbereich 13 ist die Polarisationsrichtung mit PS bezeichnet. Fig. 18 verdeutlicht, dass der Primärbereich in Radialrichtung und der Sekundärbereich in Längsrichtung L polarisiert ist. Die Vorrichtung 10 ist von einer zentralen Durchtrittsöffnung 24 durchsetzt, die sich entlang der gesamten axialen Länge A = I + a der
Vorrichtung 10 erstreckt. Die Durchtrittsöffnung 24 kann den
Gasströmungskanal bereitstellen, wobei das Gas in Richtung des Pfeiles G durch die Vorrichtung hindurchströmen kann.
Wird der Primärbereich 12 durch in Fig. 18 nicht dargestellte Elektroden resonant angeregt, kommt es im Bereich der Durchgangsöffnung 24 entlang der Innenfläche IF des Sekundärbereiches 13 zur Ausbildung von elektrischen Feldern aufgrund von elektrischem Potentialdifferenzen entlang der Längsrichtung L. Insoweit kann sich in dem Durchgangskanal 24 ein Plasma ausbilden. Die zur Anregung des Primärbereiches erforderlichen Elektroden befinden sich an der Innenseite und an der Außenseite des Primärbereiches 12.
Fig. 19 zeigt eine der Fig. 18 ähnliche Anordnung, bei der der
Durchgangskanal 24 einen kreisförmigen Querschnitt aufweist, und wobei die Einrichtung 11 , die den Primärteilbereich 12 und den Sekundärbereich
13 bereitstellt, von einem zylindrischen, im Wesentlichen rohrförmigen Körper gebildet ist.
Gleichermaßen wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 18 ist der Primärbereich 12 in Radialrichtung PP polarisiert, wobei eine an der Innenumfangsfläche IF des Primärbereiches 12 und eine gegenüberliegende, an der Außenfläche AF des Primärteilbereichs 12 befindliche Elektrode, die in Fig. 19 nicht dargestellt sind, zum Betrieb der Vorrichtung 10 vorgesehen sind.
Fig. 20 verdeutlicht ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei dem die Einrichtung 11 nach Art eines im Querschnitt quadratischen Quaders ausgebildet ist, der wiederum in einen Primärteilbereich 12 und einen Sekundärbereich 13 unterteilt ist. Die Einrichtung 11 wird in Längsrichtung von im Querschnitt quadratischen Durchgangskanälen durchzogen. Im Primärbereich 12 weist jeder der Durchgangskanäle 24a, 24b, 24c, etc. eine nicht dargestellte Elektrode auf. Die Elektrode bildet also jeweils die Wandung des Gaskanals 24 im Primärbereich 12. Der Primärbereich 12 ist entsprechend den dargestellten Polarisationspfeilen PP polarisiert. Der Sekundärbereich 13 ist entlang der Polarisationsrichtung PS einheitlich polarisiert.
Entlang der Längsrichtung L bilden sich im Sekundärbereich 13 innerhalb der Durchgangskanäle 24a, 24b, 24c, etc. Atmosphären- Plasmen aus.
Fig. 21 zeigt in einer Darstellung gemäß Fig. 1 eine Vorrichtung gemäß Fig. 19. Bei diesem Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 ist die Einrichtung 11 von einem rohrförmigen kreiszylindrischen Körper gebildet, dessen Primärbereich 12 in Radialrichtung polarisiert ist und dessen Sekundärbereich 13 entgegen der Längsrichtung L polarisiert ist. Fig. 21a zeigt, dass die beiden Elektroden 17a und 17b im Wesentlichen nach Art eines axial recht kurz gehaltenen Rohres ausgebildet sind. Die in den Fig. 21 und 21a dargestellten Elektroden 17a und 17b sind übertrieben groß dargestellt. Dem Betrachter ist deutlich, dass die Elektroden tatsächlich nur sehr dünn, beispielsweise nur wenige μm dick, ausgebildet sind. Dies gilt im Übrigen auch für alle anderen in dieser Patentanmeldung dargestellten Ausführungsbeispiele.
Die innere Elektrode 17 b des Primärbereichs 12 und die Innenumfangsfläche IF des Sekundärbereiches 13 stellen die Wandung eines Gasströmungskanales 24 bereit. Die Gasströmung ist durch den Pfeil G angedeutet.
Entlang dem Gaskanal 24 bildet sich in dem Sekundärbereich 13 ein Atmosphärendruck-Plasma 20, welches sich in Form eines Plasmajets 26 aus der Mündung M des Sekundärbereiches 13 heraus erstreckt. Das zu bearbeitende Substrat, welches sich der Betrachter der Fig. 21 etwa oberhalb der Oberseite F der Vorrichtung 10 vorstellen muss, kann durch den Plasmajet 26 erfasst und bearbeitet werden. Die Länge des Plasmajets 26 in Längsrichtung L hängt unter anderem von der
Strömungsgeschwindigkeit des Gases ab.
Fig. 22 macht deutlich, dass eine Vielzahl von Plasmajets 26a, 26b, 26c generierbar ist, wenn mehrere rohrartige Einrichtungen 1 1 in Reihe oder, wie dies Fig. 23 noch besser verdeutlicht, entlang einer Ebene, nach Art eines Rasters angeordnet sind. Bei einer Reihenanordnung gemäß Fig. 22, die sich in Querrichtung Q erstreckt, kann ein lang gestreckter Plasmastreifen generiert werden, wenn sich die Plasmajets 26a, 26b, 26c überlappen oder nahe kommen. Für den Fall, dass sich die Einrichtungen 1 1a, 1 1 b, 1 1c bei einer Vorrichtung 10 gemäß Fig. 23 entlang einer Ebene, zu einem Raster angeordnet, erstrecken, kann ein flächenhaftes Plasma oder jedenfalls eine beliebig große Anzahl nebeneinander angeordneter Plasma-Jets generiert werden.
Der Betrieb einer Multijet-Vorrichtung gemäß Fig. 22 oder Fig. 23 erfolgt dadurch, dass die einzelnen Primärteilbereiche 12a, 12b, 12c in Phase, d.h. gleichphasig, betrieben werden. Jede Innenelektrode einer Einrichtung 11 a stellt zugleich die Außenelektrode einer benachbarten Einrichtung 1 1 b bereit. So stellt beispielsweise die Innenelektrode 17a der Einrichtung 11 a zugleich die Außenelektrode 17a der Einrichtung 11 b bereit. Die Teilbereiche 14a, 14b, 14c, 14d des Sekundärbereiches 13 sind sämtlich entlang der gleichen Polarisationsrichtung P polarisiert. Jeweils zwei benachbarte Primärteilbereiche 12a, ' 12b, 12c der Vorrichtung 10 sind gegengetaktet angeordnet, d.h. sie werden 180°- phasenversetzt, betrieben. Dabei ist allerdings zu beachten, dass beispielsweise die Wandung zwischen den Gasströmungskanälen 24a und 24b gemeinsam von Primärteilbereichen 12a und 12b gebildet ist. Dem Gasströmungskanal 24a ist ein erster Primärteilbereich 12a und dem Gasströmungskanal 24b ist ein zweiter Primärteilbereich 12b zugeordnet. Während der Primärteilbereich 12a zu einem bestimmten Schwingungszeitpunkt beispielsweise gerade eine radial einwärts gerichtete Maximalbewegung durchgeführt hat, mit dem der Gasströmungskanal 24a (wenn auch unmerklich) eingeschnürt ist, ist der benachbarte Gasströmungskanal 24b zu dem gleichen Zeitpunkt (unmerklich) maximal radial aufgeweitet. Der Primärteilbereich 12b, der zu dem Gasströmungskanal 24b gehört, ist daher gleichermaßen maximal expandiert. Damit sind die beiden Primärteilbereich 12a, 12b gerade 180°- phasenversetzt angeregt. Auf diese Weise bilden sich elektrische Felder in den Gasströmungskanälen 24a, 24b, 24c der drei Einrichtungen 11a, 11b, 11c entlang des Sekundärbereiches 13 aus.
Der Querschnitt der Gasströmungskanäle 24a, 24b ist bei einer Reihenanordnung beliebig, und kann beispielsweise von einem kreisförmigen oder rechteckförmigen Querschnitt, alternativ auch von einem anderen beliebigen Querschnitt gebildet sein.
Fig. 23 zeigt die zu einem Raster hochskalierte Vorrichtung gemäß
Fig. 22 in Unteransicht gemäß Ansichtspfeil XXIII in Fig. 22. Es ist ersichtlich, dass jede Elektrode von vier benachbarten Elektroden umgeben ist. So ist beispielsweise die Elektrode 17a von vier Elektroden 17e, 17b, 17d und 17f umgeben. Fig. 23 zeigt, dass die Elektrode 17a einen Gasströmungskanal 24 mit quadratischem Querschnitt umgibt. Dem Betrachter wird deutlich, dass auch andere Querschnittsformen möglich sind.
Fig. 23 a zeigt die zu einem Raster hochskalierte Vorrichtung gemäß
Fig. 22 in Draufsicht, also etwa gemäß Ansichtspfeil XXIIIa in Fig. 22. Die Draufsicht verdeutlicht, dass eine Vielzahl von rasterartig angeordneten Plasma-Jets 20a, 20b, 20c generiert werden kann. Die Symbole des X im Kreis verdeutlichen, dass die gesamte wabenartige Struktur des Sekundärbereiches 13 entlang der gleichen Polarisationsrichtung, d.h. in Längsrichtung L, polarisiert ist.
Fig. 24 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei der die Einrichtung 11 mit einem Primärbereich 12 und einem Sekundärbereich 13 versehen ist. Die Vorrichtung entspricht nahezu der in Fig. 19 dargestellten Vorrichtung, so dass auf eine Vielzahl von Einzelheiten zur Vermeidung von Wiederholungen Bezug genommen wird. Die Besonderheit besteht hier in einem Gasströmungskanal 24, der einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweist. Die Polarisationsrichtungen des Primärbereiches 12 sind in Fig. 24 mit PP und die des Sekundärbereiches 13 mit PS bezeichnet. Fig. 24 zeigt, dass der Primärbereich 12 nahezu radial polarisiert sein kann.
Fig. 25 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung vergleichbar mit Fig. 21. Die Vorrichtung 10 gemäß Fig. 25 ist im Unterschied zu der Vorrichtung gemäß Fig. 21 mit einer Mündungsdüse 27 versehen, wodurch die Ausbildung eines Plasmajets 26 vorteilhaft beeinflusst werden kann. Die Vorrichtung entspricht im Übrigen hinsichtlich ihrer Struktur der Vorrichtung gemäß Fig. 21 , so dass zur Vermeidung von Wiederholungen auf die obigen Ausführungen Bezug genommen wird.
Fig. 26 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in der Darstellung gemäß Fig. 25, wobei der Bereich der Mündung M der Vorrichtung 10 geringfügig abgeändert ist.
Hier sind die in Fig. 25 dargestellten Eckbereiche E entfallen, so dass sich eine zangenartige Anordnung ergibt.
Anhand der Fig. 27 und 28 soll nunmehr noch einmal das physikalische Prinzip der erfindungsgemäßen Plasmaerzeugung erläutert werden:
Fig. 27 zeigt in einer teilgeschnittenen schematischen Ansicht einen Schnitt durch einen rohrförmigen Körper, der einen quadratischen
Querschnitt aufweist. Die Darstellung der Fig. 27 entspricht etwa einem
Längsschnitt durch die Vorrichtung gemäß Fig. 18 entlang einer
Mittelebene, wobei der Gasströmungskanal 24 im Unterschied zu seiner
Darstellung in Fig. 18 bei der Darstellung gemäß Fig. 27 einen im Wesentlichen quadratischen Querschnitt aufweist.
Der dargestellte, rohrförmige Körper bildet die Einrichtung 11 als Bestandteil einer Vorrichtung 10 zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas. Die Einrichtung 11 besteht aus piezoelektrischem Material und ist in einen Primärbereich 12 und einen Sekundärbereich 13 unterteilt. Der Primärbereich 12 wird entlang einer beliebigen der drei Polarisationsrichtungen P1 , P2 und P3 angeregt. Vorzugsweise wird man eine radiale Polarisationsrichtung P1 wählen, um eine hülsenartige oder rohrförmige Innenelektrode an der Innenumfangsfläche IF des Primärbereiches 12 und eine entsprechende Außenelektrode an der Außenfläche AF des Primärbereiches 12 anbringen zu können. Bei anderen, nicht dargestellten Elektrodengeometrien könnte es aber durchaus auch in Erwägung gezogen werden, den Primärbereich 12 entlang der Polarisationsrichtung P2 oder P3 anzuregen.
Auf die gewählte Polarisationsrichtung des Primärbereiches 12 kommt es letztendlich nicht an. Die jeweils gewählte Polarisationsrichtung, d.h. die Polarisationsrichtung P1 , P2 oder P3 hat jeweils nur eine entsprechende bestimmte Anordnung der nicht dargestellten Elektroden zur Folge. Richtig ist, dass der Primärbereich 12 insgesamt resonant angeregt wird und seine Schwingungen auf den Sekundärbereich 13 mit vorgegebener, in Längsrichtung verlaufender Polarisation übertragen kann.
Eine resonante Anregung des Primärbereiches 12 hat eine Übertragung der Schwingung in der Resonanzfrequenz zu dem
Sekundärbereich 13 zur Folge, so dass sich entlang der Längsrichtung L ein elektrisches Feld ausbreitet. Der Gaskanal 24 kann von unten nach oben von Gas durchströmt werden, wobei sich im Bereich der stärksten elektrischen Felder ein Plasma ausbildet. Dadurch, dass der Gaskanal 24 an den gegenüberliegenden Seiten von Werkstoffbereichen des schwingenden Sekundärbereiches 13 umgeben ist, kann eine sehr vorteilhafte Feldgeometrie erzielt werden, die die Plasmaerzeugung begünstigt.
Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung gemäß Fig. 28 ist der Sekundärbereich 13 unterschiedlich polarisiert. Fig. 28 zeigt wiederum eine schematische, teilgeschnittene Ansicht eines im Wesentlichen rohrförmigen Elementes. Der bezüglich Fig. 28 linke Teilbereich des Sekundärbereiches 13 ist in Polarisationsrichtung Pa und der bezüglich Fig. 28 rechte Teilbereich 15 des Sekundärbereiches 13 ist in Polarisationsrichtung Pu polarisiert. Da der gesamte Sekundärbereich 13 auch bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 28 von einem einzigen Werkstück gebildet sein kann, muss noch erläutert werden, wie sich die Polarisationsrichtungen im Übergangsbereich zwischen den Teilbereichen 14 und 15 verhalten. Hierzu ist anzumerken, dass die gewünschte Polarisation beispielsweise dadurch erhalten werden kann, dass im Bereich B1 eine erste Elektrode und im Bereich B2 während der Polarisation des Werkstücks eine zweite Elektrode mit entgegengesetzter Polung angeordnet wird. Die Polarisation in Längsrichtung L ist dann nach erfolgter Polarisation im Bereich B1 maximal und im Bereich B2 mit entgegengesetzter Polarisationsrichtung maximal. In einem Bereich B3 nimmt die Polarisation ab und erreicht in einem Bereich B4 etwa einen Nullwert bzw. dreht ihr Vorzeichen um. Damit wird deutlich, dass die größten Potentialdifferenzen und damit, wie in Fig. 28 dargestellt, die größten elektrischen Felder, im Bereich zwischen den Bereichen B1 und B2 auftreten.
Während die Vorrichtung gemäß Fig. 27 vornehmlich dazu dient, im Innenraum des Gasströmungskanals 24 ein Plasma zu generieren, ist die Vorrichtung gemäß Fig. 28 besonders vorteilhaft einsetzbar, um im Bereich der Mündung M des Gaskanals 24 ein Plasma zu generieren.
Fig. 29 zeigt in einer Darstellung gemäß den Figuren 27 bis 28 eine besonders strukturierte Elektrode 17c die an der Innenfläche IF des
Primärbereichs 12 angeordnet ist. Wie ohne weiteres ersichtlich ist, weist die Elektrode 17c an dem dem Sekundärbereich 13 zugewandten Bereich eine Vielzahl von Zacken 28a, 28b, 28c auf. Die Zacken können eine schnelle Zündung des Plasmas begünstigen, da sich hier die elektrischen Felder auf geeignete Weise ausbilden. Im Bereich der Kanten der Elektroden sind typischerweise besonders große Feldstärken erreichbar, wodurch Plasmen schneller oder früher gezündet werden können.
Fig. 30 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei der eine der vorher verschiedenen Anordnungen, beispielsweise eine Anordnung gemäß Fig.
22, innerhalb eines Gehäuses 29 angeordnet ist. Das Gehäuse verfügt über einen Gaseinlass 30, der mit einem nicht dargestellten Gasvorrat verbunden ist. Innerhalb des Gehäuses 29 herrscht ein Druck Pj, der größer ist als der Außendruck P0, der dem Atmosphärendruck entspricht.
Die Druckdifferenz sorgt für einen vorgegebenen Gasfluss, der durch die dargestellten Pfeile G verdeutlicht ist.
Die Vorrichtung 10 gemäß Fig. 30 weist eine Mehrzahl von Einrichtungen 11a, 11b, 11c auf, die analog der Vorrichtung gemäß Fig.
21 in Reihe oder entlang einer Ebene nach Art eines Rasters angeordnet sind. Beispielhaft sind hier vier Einrichtungen 11a, 11b, 11c, 11d mit jeweils einem eigenen Gasströmungskanal 24a, 24 b, 24c, 24d dargestellt.
Jede Einrichtung weist einen in Gasflussrichtung vorderen Primärbereich 12a, 12b, 12c, 12d und einen in Gasflussrichtung hinteren
Sekundärbereich 13 auf. In den Mündungsbereichen Ma, Mb, Mc und Md bilden sich Plasmajets aus.
Mit der Vorrichtung gemäß Fig. 30 können insbesondere auch parasitäre Entladungen an den seitlichen Begrenzungen verhindert werden.
Fig. 31 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei dem eine Schichtstruktur 31 schräg geneigter Schichten vorgesehen ist. Fig. 31 zeigt eine erste
Schicht 31a, eine zweite Schicht 31b, eine dritte Schicht 31c und eine vierte Schicht 31 d. Jede der Schichten besteht aus piezoelektrischem Material und stellt einen Primärbereich 12 und einen zugehörigen Sekundärbereich 13 bereit. Die Sekundärbereiche 13 sind jeweils in Längsrichtung L oder entgegen der Längsrichtung L polarisiert. Jeweils zwei einander benachbarte Schichten weisen Teilbereiche 14a, 14b, 15a, 15b des Sekundärbereiches 13 auf, die entgegengesetzt polarisiert sind.
Die Primärbereiche 12a, 12b, 12c, 12d der einzelnen Schichten 31a,
31 b, 31c, 31d sind quer zur Polarisationsrichtung des Sekundärbereiches 13 polarisiert. Jeder Primärbereich 12 umfasst ein Paar von Elektroden
17a, 17b; 17b, 17c, wobei sich jeweils zwei einander benachbarte
Primärbereiche 12a, 12b eine gemeinsame Elektrode (z.B. 17b) teilen.
Von Bedeutung ist, dass sämtliche Primärbereiche 12a, 12b, 12c, 12d in konstanter Phase, aber ohne Phasenverschiebung, phasengleich angeregt werden. Hierdurch bilden sich besonders starke elektrische
Felder, jeweils in den Verbindungsbereichen zweier benachbarter
Teilbereiche (14a, 15a) entlang der Verbindungsbereiche an der Oberseite
F der Vorrichtung aus. Hierdurch können an der Oberseite die in Fig. 31 dargestellten Plasmen 20a, 20b, 20c generiert werden.
Wie oben bereits erläutert, sind die zu erzielenden Hochspannungen bzw. Feldstärken abhängig von der axialen Länge I des Sekundärbereiches 13. Große Axiallängen werden daher gewünscht. Durch die schräg gestellte Schichtstruktur 31 gemäß Fig. 31 kann bei großer Axiallänge I des Sekundärbereiches 13 eine geringe Bauhöhe BH der Vorrichtung 10 erzielt werden, wodurch eine kompakte Bauweise möglich wird.
Fig. 32 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Darstellung vergleichbar Fig. 6. Fig. 32 verdeutlicht, dass jeweils zwischen zwei Primärteilbereichen 12a, 12b, die jeweils eine im Wesentlichen scheibenartige oder plattenartige Struktur aufweisen, jeweils auch ein Freiraum 24 belassen werden kann, der einen Gasstromschlitz bereitstellen kann. Auf der der in Fig. 32 dargestellten Unterseite gegenüberliegenden Oberseite kann durch den Gasströmungsschlitz 24 entsprechend ein Plasmastreifen austreten. Selbstverständlich ist auch eine Plasmagenerierung innerhalb des Gasströmungsschlitzes 24 möglich.
Schließlich zeigt Fig. 33 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10, bei der die Einrichtung 11 von einem wellblechartig geformten Element gebildet ist. Fig. 33 macht deutlich, dass die Oberflächen der Einrichtung 11 gekrümmt sind. Eine gekrümmte Oberfläche ermöglicht gegenüber einer planen Oberfläche eine verbesserte Wechselwirkung zwischen dem entlang der Oberflächen vorbeiströmenden Gas und dem entlang der Oberflächen erzeugten Plasma. Eine gekrümmte Oberfläche des Primärbereiches 13 stellt eine gekrümmte Innenfläche IF bereit, die einen Gasströmungskanal 24, zumindest teilweise, umgrenzt. Die Gasströmung ist in Fig. 33 mit dem Pfeil G angedeutet.
Es wird deutlich, dass mehrere der wellblechartigen Strukturen gemäß Fig. 33 auch parallel zueinander angeordnet sein können. Eine solche Anordnung skizziert Fig. 33a. Diese verdeutlicht, dass sich eine Vielzahl praktisch vollständig geschlossener Gasströmungskanäle 24a, 24b ergibt, wenn eine entsprechend versetzte Anordnung zweier wellblechartig strukturierter Einrichtungen 11a und 11b gewählt wird. Fig. 33a entspricht dabei einer schematischen Querschnittsansicht des Ansichtspfeil XXXIIIa in Fig. 33. Fig. 33b zeigt eine parallele, nicht versetzte Anordnung zweier wellblechartig strukturierter Einrichtungen 11a und 11b. Hierbei ergibt sich ein mäanderartiger, durchgehender Gasströmungsschlitz 24.
Es ist auch möglich, eine Vielzahl vergleichbarer wellblechartiger
Strukturen 11a und 11b übereinander anzuordnen.
Die Vielzahl der dargestellten und beschriebenen Ausführungsbeispiele verdeutlicht, dass es für die Erfindung darauf ankommt, dass ein piezoelektrischer Transformator mit einem besonders ausgebildeten Primärbereich und einem besonders ausgebildeten Sekundärbereich ausgestattet ist. Einige Ausführungsbeispiele sehen auch Parallel-Anordnungen mehrerer piezoelektrischer Transformatoren vor. Für den Fall, dass in dem Sekundärbereich, und vorteilhafterweise gleichermaßen auch in dem Primärbereich, durchgehende Öffnungen vorgesehen sind, wie dies beispielsweise in Fig. 21 zeigt, empfiehlt es sich, den Primärbereich in Radialrichtung zu polarisieren.
Auf die Polarisationsrichtung des Primärbereiches kommt es bei einigen der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele, z.B. bei dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 2, nicht an. Für den Fall, dass mehrere
Primärbereiche vorgesehen sind, wie beispielsweise bei dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 3, kommt es bei einigen der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele auf die Polarisationsrichtungen der Primärbereiche gleichermaßen nicht an. Wesentlich ist bei mehreren
Primärbereichen oder Primärteilbereichen lediglich, dass eine synchrone
Anregung erfolgt, d.h. dass die Primärbereiche unterschiedlicher
Einrichtungen 11a, 11b oder 11c oder die Teilbereiche einer Einrichtung
11 in Phase, also entweder phasengleich, d.h. ohne Phasenverschiebung, oder um 180°-phasenversetzt schwingen. Hierzu können die unterschiedlichen Primärbereiche oder die unterschiedlichen Primärteilbereiche mit einer gemeinsamen Spannungsversorgung 19 über gesonderte Spannungsversorgungsleitungen 19a und 19b verbunden sein.
Aus den obigen Ausführungen heraus wird auch deutlich, dass es letztendlich auch auf die Polarisationsrichtungen der Sekundärbereiche 13 bzw. der zugehörigen Teilbereiche nicht zwingend ankommt. So kann z.B. das Ausführungsbeispiel der Fig. 15 mit den dort dargestellten Polarisationsrichtungen des Sekundärbereiches 13 betrieben werden, wonach die beiden Teilbereiche 14 und 15 entgegengesetzt polarisiert sind. Gleichermaßen kommt es aber auch in Betracht, die beiden Teilbereiche 14 und 15 mit einer gleichgerichteten Polarisationsrichtung auszustatten und die zugehörigen Primärteilbereiche 12a und 12b gegengetaktet anzuregen. Schließlich kann das Ausführungsbeispiel der Fig. 15 aber auch mit einer gleichgetakteten Anordnung der Primärteilbereiche 12a und 12b betrieben werden.
Die gleichen Überlegungen hinsichtlich der Wahl der Polarisationsrichtungen gelten auch für die übrigen Ausführungsbeispiele, wobei man die Polarisationsrichtungen und die Geometrien der Einrichtungen 11 , 11a, 11b und 11c primär in Abhängigkeit davon wählen wird, ob ein Atmosphärendruck-Plasma innerhalb eines Gasströmungskanals, ein Plasma-Jet oder eine Stirnflächenplasma erzeugt werden soll.
Anhand eines Vergleichs der Figuren 1 und 3 wird des weiteren deutlich, dass es nicht darauf ankommt, ob ein Primärbereich 12 in mehrere Primärteilbereiche 12a, 12b unterteilt ist oder nicht. Während der Primärbereich 12 gemäß Fig. 1 als Ganzes resonant schwingt, weil zwischen den beiden Elektroden 17a und 17b ein Wechselfeld generiert wird, schwingt der aus zwei Primärteilbereichen 12a und 12b zusammengesetzte Primärbereich 12 des Ausführungsbeispiels der Fig. 3 gleichermaßen insgesamt resonant, da hier entsprechend gegengepolt angeordnete Elektroden 17a, 17b, 17c vorgesehen sind.
Die Zahl der Elektroden kann zur Erzielung des gleichen Zweckes auch beliebig erhöht werden, wobei die zwischen zwei Elektroden verbleibende Materialdicke und die an den Elektroden angelegte Spannung ein Maß für das Spannungsübertragungsverhältnis von dem Primär- zu dem Sekundärbereich ist.
Schließlich ist auch die Geometrie von Primärbereich 12 und Sekundärbereich 13 bei den unterschiedlichen Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 nahezu beliebig wählbar und an den vorgesehenen Anwendungszweck vorteilhaft anpassbar. So können sich beispielsweise die Einrichtungen 11a und 11b der Fig. 14 beispielsweise in Querrichtung Q erstrecken, und so plattenartige langgestreckte Körper bilden. In der Richtung S können sich an die beiden dargestellten Einrichtungen 11a und 11b noch eine Vielzahl weiterer Einrichtungen anschließen, so dass letztendlich eine Schichtstruktur, wie sie in Fig. 32 dargestellt ist, erzielbar ist.
Des Weiteren sei angemerkt, dass eine wabenartige Struktur einer Reihenanordnung 11 , wie sie in Fig. 23a dargestellt ist, besonders einfach hergestellt werden kann, in dem in einem Extrusionsverfahren piezo- elektrisches Material durch eine komplementäre Gegenwabenstruktur durchgepresst oder ausgelassen wird, und die Durchtrittskanäle 24 durch entsprechende Dorne in der Extruderdüse bzw. durch eine entsprechende Gegenwabenstruktur der Düse generiert werden. Eine Polarisation eines derartigen wabenförmigen Werkstückes kann erfolgen, indem das Werkstück mit seinem ersten Endbereich, der den Sekundärbereich ausbilden soll, in eine metallische Flüssigkeit oder dgl. getaucht wird, um entlang der Wandungen der Gasströmungskanäle Elektroden anzubringen. Das Werkstück kann nach Anbringung der Elektrode beispielsweise auf eine Leiterplatte oder Platine od. dgl. aufgesetzt werden, an der eine Vielzahl von parallelen Federklemmen oder Federkontakten angeordnet sind. Die Federklemmenkontakte werden infolge einer Annäherung der Wabenstruktur an die Platine zugleich in die entsprechenden Gasströmungskanäle eingeführt und kontaktieren so die dort vorher angebrachten Elektroden. Eine Polarisierung des Primärbereiches zur Erzielung einer Polarisation gemäß Fig. 23 kann nachfolgend beispielsweise in einer die Durchschlagsfestigkeit erhöhenden Ölflüssigkeit oder einem Ölbad durchgeführt werden, wobei jeweils zwei einander benachbarte Elektroden unterschiedlich gepolt mit Polarisationsspannung beaufschlagt werden.
Nachfolgend kann der Sekundärbereich dieser Wabenstruktur polarisiert werden, in dem an die Oberseite, d.h. an die dem Primärbereich ferne Außenseite der Wabenstruktur eine Gegenelektrode angelegt wird und zwischen dieser Gegenelektrode und den zuvor erwähnten Federklemmkontakten eine Polarisationsspannung eingelegt wird. Hierdurch wird die in Fig. 23a dargestellte Polarisation des Sekundärbereiches 13 erreicht.
Alternativ ist es auch möglich, eine Wabenstruktur gemäß Fig. 23a derart zu polarisieren, so dass jeweils zwei einander benachbarte Teilbereiche, z.B. die Teilbereiche 14a und 14b, nicht entlang der gleichen Polarisationsrichtung, sondern entlang entgegengesetzter
Polarisationsrichtungen polarisiert werden. Dies wird beispielsweise ermöglicht, indem an die Oberseite der Wabenstruktur zur Durchführung einer Polarisierung des Sekundärbereiches eine entsprechende Gegenelektrode herangebracht wird, die mit entsprechenden Elektroden versehen ist. Unter Bezugnahme auf Fig. 33 sei angemerkt, dass neben sich endlos fortsetzenden Wellblechstrukturen auch Einrichtungen 11 vorgesehen werden können, die nur ein Segment einer derartigen Wellblechstruktur aufweisen. Denkbar sind beispielsweise segmentartige Abschnitte, die besonders ausgeprägt gekrümmt sind und z.B. nur zwischen den Punkten X und Y der Fig. 33a verlaufen. Es handelt sich dabei um in Querrichtung Q relativ kurz gehaltene Abschnitte, die jedoch zu beliebigen geometrischen Strukturen zusammengesetzt werden können und aufgrund der gekrümmten Oberfläche eine verbesserte Wechselwirkung zwischen dem Plasma und dem Arbeitsgas bereitstellen bzw. eine verbesserte Plasmagenerierung ermöglichen.
Mit den oben beschriebenen, zahlreichen erfindungsgemäßen Vorrichtungen wird eine Skalierung zu beliebig großen Vorrichtungen hin möglich. Mit entsprechend groß dimensionierten Vorrichtungen könnten großflächige oder großvolumige Plasmen generiert werden.
Gleichermaßen ermöglichen die erfindungsgemäßen Vorrichtungen eine kompakte Bauform bis hin zu miniaturisierten Bauformen. Derartige Miniaturisierungen sind mit herkömmlichen Vorrichtungen zur Plasmaerzeugung, die gesonderte Hochspannungsgeneratoren und entsprechende besondere Hochspannungsleitungen, mit besonderen Isolierstrecken erfordern, nicht möglich.
Mit den erfindungsgemäßen Vorrichtungen werden Mikrostrukturen bearbeitbar oder gegebenenfalls auch generierbar. Beispielsweise können die Gasströmungskanäle 24, und zwar auch bei Wabenstrukturen gemäß beispielsweise Fig. 23a, mit nahezu beliebig kleinen Durchmessern ausgebildet werden.

Claims

A n s p r ü c h e
1. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas (20, 20a, 20b, 20c, 2Od), insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11 , 11a, 11b, 11c) aus piezoelektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12, 12a, 12b, 12c), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b, 17c) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich (13) zwei Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) umfasst, die entlang der Längsrichtung (L) entgegengesetzt polarisiert sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Anregung des Primärbereiches (12, 12a, 12b, 12c) eine
Potentialdifferenz zwischen den beiden Teilbereichen (14, 14a, 14b, 14c,
15, 15a, 15b, 15c) in einer Richtung (Q) quer zur Längsrichtung (L) generiert.
4. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) einander benachbart angeordnet sind.
5. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) voneinander unbeabstandet sind (Fig. 1).
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 15) von einem gemeinsamen Werkstück gebildet sind, welches in entgegengesetzte Richtungen polarisiert ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Primärbereich (12) und der Sekundärbereich (13) von einem gemeinsamen Werkstück gebildet sind, welches in wenigstens drei unterschiedlichen Richtungen (16a, 16b, 16c) polarisiert ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Primärbereich (12) und der Sekundärbereich (13) und/oder die Teilbereiche (14, 15) von unterschiedlichen Werkstücken gebildet sind, die aneinander befestigt sind.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 15) voneinander geringfügig beabstandet sind (Fig. 3).
10. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jedem Teilbereich (14, 15) ein eigener Primärbereich (12a, 12b) zugeordnet ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Primärbereiche (12a, 12b), gleichgetaktet angeordnet sind, und insbesondere ohne Phasenverschiebung anregbar sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11 , dadurch gekennzeichnet, dass jeder der beiden Primärbereiche (12a, 12b) ein eigenes Paar (17a, 17b; 17b, 17c) von Elektroden aufweist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass den beiden Primärbereichen (12a, 12b) wenigstens eine gemeinsame Elektrode (17b) zugeordnet ist.
14. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, soweit dieser nicht auf Anspruch 5 rückbezogen ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen (14, 15) ein Freiraum (24) (Fig. 4, Fig. 14) angeordnet ist.
15. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, soweit dieser nicht auf Anspruch 5 rückbezogen ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen (14, 15) ein Gaskanal (24) angeordnet ist.
16. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, soweit dieser nicht auf Anspruch 5 rückbezogen ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen ein Isolator (23) angeordnet ist (Fig. 3).
17. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Teilbereichen (14a, 14b, 14c, 15a, 15b,) linear in Reihe, insbesondere quer zur Längsrichtung, angeordnet ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Polarisationsrichtungen der Teilbereiche entlang der Reihe alternieren.
19. Vorrichtung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Teilbereichen (14a, 14b, 14c, 15a, 15b, 15c) entlang einer Ebene nach Art eines Rasters angeordnet ist (Fig. 7).
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Polarisationsrichtungen der Teilbereiche (14a, 14b, 14c, 15a, 15b, 15c) entlang einer ersten, quer zur Längsrichtung stehenden Richtung (Q), und entlang einer zweiten, senkrecht zur ersten Richtung und senkrecht zur Längsrichtung stehenden Richtung (S), alternieren.
21. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas (20, 20a, 20b, 20c), insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11 , 11a, 11b, 11c) aus piezoelektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12, 12a, 12b, 12c), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b, 17c) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich (13) von zwei gesonderten Teilbereichen (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) gebildet ist, die entlang der gleichen Polarisationsrichtung polarisiert sind, dass jedem Teilbereich ein eigener Primärbereich (12a, 12b) zugeordnet ist, und dass die beiden Primärbereiche (12a, 12b) gegengetaktet angeordnet sind.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21 , dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Primärbereiche (12a, 12b) eine übereinstimmende Polarisationsrichtung aufweisen und 180°-phasenversetzt anregbar sind.
23. Vorrichtung nach Anspruch 21 , dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Primärbereiche (12a, 12b) entgegengesetzte Polarisationsrichtungen aufweisen und phasengleich, d.h. in Phase und ohne Phasenverschiebung anregbar sind.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass jeder der beiden Primärbereiche (12a, 12b) über ein Paar (17a, 17b; 17b, 17c) von Elektroden verfügt.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Primärbereiche (12a, 12b) wenigstens eine gemeinsame Elektrode (17b) aufweisen.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 15, 14a, 15a, 14b, 15b,
14c, 15c) im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche (14, 14a, 14b, 14c, 15, 15a, 15b, 15c) einander benachbart angeordnet sind.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils ein Primärbereich (12a, 12b) und ein Teilbereich (14, 15) von einem gemeinsamen Werkstück gebildet ist.
29. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Teilbereiche voneinander geringfügig beabstandet sind (Fig. 17).
30. Vorrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen (14, 15) ein Freiraum (24) angeordnet ist.
31. Vorrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen ein Gaskanal (24) angeordnet ist.
32. Vorrichtung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Teilbereichen ein Isolator (23) angeordnet ist (Fig. 16).
33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Teilbereichen (14a, 14b, 14c) linear in Reihe, insbesondere quer (Richtung Q) zur Längsrichtung (L), angeordnet ist (Fig. 22).
34. Vorrichtung nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegentaktung der zugehörigen Primärbereiche (12a, 12b, 12c) entlang der Reihe der Teilbereiche (14a, 14b, 14c) alterniert.
35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 21 bis 34, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Teilbereichen (14a, 14b, 14c) entlang einer Ebene nach Art eines Rasters angeordnet ist (Fig. 23a).
36. Vorrichtung nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegentaktung der zugehörigen Primärbereiche (12a, 12b, 12c) entlang einer ersten, quer zur Längsrichtung stehenden Richtung (Q) und entlang einer zweiten, senkrecht zur ersten Richtung und senkrecht zur Längsrichtung stehenden Richtung (S), alterniert.
37. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas (20, 20a, 20b, 20c) insbesondere zur Bearbeitung eines
Substrates, umfassend eine Einrichtung (11 , 11a, 11b, 11c) aus piezoelektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12, 12a, 12b, 12c, 12d), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b, 17c) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem sich in Längsrichtung (L) erstreckenden Sekundärbereich (14), wobei sich entlang der Längsrichtung (L) infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Einrichtung (11b) mit einem zweiten, gesonderten Primärbereich (12b) und mit einem zweiten, gesonderten, sich in Längsrichtung erstreckenden Sekundärbereich (15) vorgesehen ist, dass die beiden Sekundärbereiche (14, 15) parallel zueinander ausgerichtet und quer zur Längsrichtung voneinander beabstandet angeordnet sind, und dass die beiden Sekundärbereiche zwischen sich einen in Längsrichtung (L) verlaufenden Gasführungskanal (24) bilden.
38. Vorrichtung nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Sekundärbereichen (14, 15, 14a, 15a, 14b, 15b, 14c, 15c) linear in einer Reihe angeordnet ist, und zwischen sich eine Vielzahl von in Längsrichtung (L) verlaufenden Gasführungskanälen (24a, 24b, 24c) bildet.
39. Vorrichtung nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vielzahl von Sekundärbereichen (14, 15, 14a, 15a, 14b, 15b, 14c, 15c) entlang einer Ebene, insbesondere nach Art eines Rasters, angeordnet ist und zwischen sich eine Vielzahl von in Längsrichtung (L) verlaufenden Gasführungskanälen bildet.
40. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas, insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11) aus piezo-elektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich (13) eine gekrümmte Innenfläche (IF) aufweist, die eine Wandung eines Gasführungskanals (24) ausbildet.
41. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, dass die gekrümmte Innenfläche (IF) eine Begrenzungsfläche für das Atmosphärendruck-Plasma (20) darstellt.
42. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas, insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11) aus piezo-elektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches (12) Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Sekundärbereich (13) ein in Längsrichtung (L) verlaufender, durchgehender Gasströmungskanal (24) angeordnet ist, und dass der Sekundärbereich (13) den Gasströmungskanal (24) vollständig umrandet.
43. Vorrichtung nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass der Sekundärbereich (13) mit seiner Innenfläche (IF) eine Wandung des Gasströmungskanals (24) bereitstellt.
44. Vorrichtung nach Anspruch 42 oder 43, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasströmungskanal (24) den Primärbereich (12) durchgreift.
45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 42 bis 44, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (11) im wesentlichen rohrförmig ausgebildet ist.
46. Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck- Plasmas, insbesondere zur Bearbeitung eines Substrates, umfassend eine Einrichtung (11) aus piezo-elektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches (12) Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Sekundärbereich (13) mehrere, in Längsrichtung (L) verlaufende, durchgehende und zueinander parallele Gasströmungskanäle (24) angeordnet sind.
47. Werkstück (1 1) aus piezo-elektrischem Material, mit mindestens einem Primärbereich (12), an dem wenigstens zwei Elektroden (17a, 17b) zum Anlegen einer Niedervolt-Wechselspannung angeordnet sind, und mit einem Sekundärbereich (13), entlang dessen Längsrichtung (L) sich infolge einer Anregung des Primärbereiches Potentialdifferenzen ausbilden, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück wenigstens drei Zonen (16a, 16b, 16c) unterschiedlicher Polarisierung aufweist.
48. Verfahren zur Polarisation eines einheitlichen Werkstücks (1 1) aus piezo-elektrischem Material, dadurch gekennzeichnet, dass
a) eine erste Zone (16a) des Werkstückes zur Erzielung eines
Primärbereiches (12) entlang einer ersten Richtung polarisiert wird, dass
b) danach eine zweite Zone (16b) des Werkstückes (11) zur Erzielung eines ersten Teilbereiches (14) eines Sekundärbereiches (13) entlang einer zweiten Richtung polarisiert wird, und dass
c) eine dritte Zone (16c) zur Erzielung eines zweiten Teilbereiches (15) des Sekundärbereiches (13) entlang einer dritten Richtung polarisiert wird, wobei die dritte Richtung zu der zweiten Richtung entgegengesetzt ist.
49. Verfahren nach Anspruch 48, dadurch gekennzeichnet, dass die Schritte b) und c) nacheinander erfolgen.
50. Verfahren nach einem der Ansprüche 48 bis 49, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Richtung und die dritte Richtung zu der ersten Richtung senkrecht stehen.
51. Verfahren zur Herstellung eines einheitlichen, wabenartigen Werkstücks (11) aus piezo-elektrischem Material, dadurch gekennzeichnet, dass das Material in Längsrichtung (L) kontinuierlich von einer Düse nach Art eines Extrusionsverfahren abgegeben wird, und wobei zur Erzielung einer Vielzahl von in Längsrichtung verlaufenden
Durchgangsöffnungen (24) in dem Werkstück die Düse eine der Wabenstruktur des Werkstückes entsprechende komplementäre Gegen-
Wabenstruktur aufweist.
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