WO2006081888A3 - Mikromechanisches sensorelement zur messung einer beschleunigung und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Mikromechanisches sensorelement zur messung einer beschleunigung und verfahren zu seiner herstellung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensorelement (4) zur Messung einer Beschleunigung und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensorelementes, wobei das Sensorelement (4) mindestens aufweist: ein Substrat (5), eine auf dem Substrat(5) ausgebildete Membran (10), unterhalb der eine Kaverne (12) ausgebildet ist, eine in der Membran (10) ausgebildete Öffnung (25), die sich bis zu der Kaverne (12) erstreckt, eine auf oder in der Membran (10) ausgebildete Beschleunigungsmasse, vorzugsweise ein Lötbump (22), und einen in der Membran (10) ausgebildeten Piezowiderstand (14) zur Messung mindestens einer Auslenkung der Membran (10). Auf dem Substrat kann weiterhin ein Drucksensor mit entsprechender Membran, Kaverne und Piezowiderstand ausgebildet werden, so dass ein kombinierter Beschleunigungs- und Drucksensor, vorzugsweise auch eine Auswerteschaltung, kostengünstig auf einem Chip ausgebildet werden kann, der nachfolgend in Flip-Chip-Technik auf einem Montagesubstrat befestigt werden kann.
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