WO2006070881A1 - マイクロ波化学反応装置 - Google Patents

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microwave
circular
chemical reaction
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Tadashi Okamoto
Eiji Matsuo
Masahiro Yasuda
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Kabushiki Kaisha Idx
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Definitions

  • the present invention relates to a chemical reaction device that promotes a chemical reaction by irradiating an object to be subjected to a chemical reaction with a microwave, and without using a cavity resonator, the liquid, gas, powder
  • the present invention relates to a microwave chemical reaction apparatus capable of heating an object to be subjected to a chemical reaction such as high efficiency almost uniformly.
  • Microwaves are widely used as a heat source for industrial heating furnaces including microwave ovens. Microwaves can directly and selectively heat a dielectric material with polarity just by heating water contained in the material, so that the reaction target can be heated from the outside like conventional heating means. Compared to the equipment that performs this, it has the feature that the target can be heated efficiently in a short time.
  • Microwave heating experimental equipment can be roughly classified into a matching waveguide type with a matching load connected to the end, a short-circuited waveguide type with a shorted end, and a cavity resonator type using a cavity resonator. .
  • a chemical reaction is performed by placing a reaction target in these apparatuses.
  • the matching waveguide type experimental apparatus can be normally used without adjustment.
  • V only works when microwaves pass through the position of the reaction target, and therefore, there is a property that part of the transmitted microwave power cannot be used. And has the disadvantage of not being very efficient. Even if there is such a problem, it has the ability to greatly accelerate chemical reactions, so it is widely used because of its ease of use.
  • microwaves reflected and returned are also used for the reaction. Adjust the phase of the traveling wave and reflected wave so that they are exactly in phase at the target position
  • the short-circuit position must be adjusted according to the difference in the dielectric characteristics of the reaction target and changes in the characteristics.
  • a cavity resonator-type device is designed to irradiate a reaction target many times with multiple reflections of microwaves on the cavity wall, and has the advantage of extremely high efficiency. It has the disadvantage that it is necessary to always adjust the resonance frequency according to the change.
  • reaction uniformity Another important requirement for chemical reactors is reaction uniformity. Satisfying this requirement is to irradiate the reaction object with microwaves of at least an average and cumulatively uniform intensity.
  • the power of using microwaves for chemical reactions Currently, devices that cannot be heated uniformly are used experimentally.
  • Patent Document 1 JP 2002-079078
  • the present invention has been made based on the background and requirements as described above, and an object thereof is to provide a novel means for promoting a chemical reaction using microwaves.
  • the above-described problem is isolated from the space in the waveguide by a rectangular waveguide or circular waveguide that transmits a microwave of a specific mode based on the present invention, and a microwave low-loss partition wall.
  • a microwave chemical reactor comprising a flow passage arranged to extend along the central axis of the wave tube.
  • the reaction target to cause a chemical reaction is accommodated inside the flow path, and the microwave acts on the reaction target in the flow path. I'm damned.
  • a TE10 mode microwave is transmitted to the rectangular waveguide, and a TM01 mode or TE01 mode microwave is transmitted to the circular waveguide. Since the action of the microwave is continued for a long distance along the transmission direction, the microwave can be used effectively.
  • a circular waveguide that transmits a microwave of TM01 mode is arranged so as to extend along the central axis thereof, and a flow passage having a circular cross section is formed in the circular tube.
  • This flow path can also be formed by an inner circulation space communicating with each other on one end side of the double circular pipe and an annular outer circulation space surrounding the inner circulation space.
  • a rectangular waveguide that transmits microwaves in TE10 mode is disposed so as to extend along the central axis thereof, and a flow passage having a rectangular cross section is formed in the rectangular tube.
  • the rectangular tube forming the flow path has a short side parallel to the long side of the rectangular waveguide and a long side parallel to the short side of the rectangular waveguide.
  • One end of a rectangular waveguide is coupled to one end of a square waveguide transmitting TE10 mode microwaves via a mode converter, and the TE10 mode microwaves in the rectangular waveguide are transformed by mode change. It is converted to TM01 mode microwave and transmitted to the circular waveguide.
  • a flow path for accommodating a reaction target is provided in the circular waveguide.
  • One end of the downstream side of the rectangular waveguide is short-circuited by a short-circuit piece, and the circular waveguide is orthogonal to the tube axis of the rectangular waveguide on the upstream side of the rectangular waveguide near the short-circuit piece.
  • a mode change ⁇ is formed by combining one end. The microwave wave mode-converted TM01 mode microwave is transmitted to the circular waveguide.
  • the downstream side of the circular tube forming the flow path can penetrate the rectangular waveguide along the tube axis of the circular waveguide and extend to the outside, or the circular waveguide and the rectangular waveguide In the vicinity of the coupling portion of the circular waveguide, it can be bent to be almost perpendicular to the tube axis of the circular waveguide and extended to the outside.
  • the other end of the circular waveguide can be short-circuited so as to reflect almost all electromagnetic waves, and the TM01 mode microwave can be absorbed by the reaction target while reciprocating in the circular waveguide.
  • One end of the downstream side of the first rectangular waveguide transmitting the TE10 mode microwave is short-circuited by the first short-circuit piece, and upstream of the first rectangular waveguide near the short-circuit piece.
  • the first A mode change is configured.
  • a second rectangular waveguide is coupled to the other end of the circular waveguide in a direction orthogonal to the tube axis of the circular waveguide, and the second rectangular waveguide is coupled to the circular waveguide.
  • the second mode converter is configured by short-circuiting one end near the portion by the second short-circuit piece. The other end of the second rectangular waveguide is blocked by a nonreflective terminal.
  • a TM01 mode microwave in which the TE10 mode microwave force of the first rectangular waveguide is also converted, is transmitted to the circular waveguide, and a reaction channel is provided in the circular waveguide.
  • the microwave power of the TM01 mode in the circular waveguide and the mode-converted TE10 mode microwave is transmitted again and consumed at the non-reflective terminal.
  • the rectangular flow passage that forms the flow passage in the rectangular waveguide can be opened upward in the waveguide.
  • the waveguide is provided with an exhaust device for discharging the gas vaporized from the reaction target in the flow path by chemical reaction to the outside.
  • the action of the microwave on the reaction object is continued over a long distance in the same direction or in the opposite direction along the transmission direction, so that the electric field in the waveguide can be generated with high efficiency.
  • 1 is a rectangular waveguide
  • 2 is a circular waveguide.
  • the circular waveguide 2 is coupled to the rectangular waveguide 31 so that the tube axis is orthogonal.
  • Reference numeral 3 denotes a short-circuit piece provided to close the downstream end of the rectangular waveguide 31.
  • the short-circuit piece 3 has a rectangular parallelepiped shape with an appropriate thickness for short-circuiting the waveguide on a plane orthogonal to the tube axis of the rectangular waveguide 31, and electrically short-circuits the rectangular waveguide 31.
  • the dimension of the long side of the square in the cross section perpendicular to the tube axis is a.
  • the circular waveguide 2 has a diameter b substantially equal to the length a of the long side of the rectangular waveguide 31 and has a tube axis perpendicular to the tube axis of the rectangular waveguide.
  • the circular tube 4 is coaxially arranged in the circular waveguide 2 and accommodates the reaction object 5 to be chemically reacted.
  • the circular tube 4 is made of a dielectric material with a low microwave loss.
  • the reaction target 5 moves along the tube axis from the top to the bottom of the figure.
  • Rui starts to flow from the bottom up! /
  • the TE10 mode microwave that has been transmitted through the rectangular waveguide 31 also in the direction of the arrow in the figure is converted to the TM 01 mode of the circular waveguide 2 through the circular waveguide 2 at the coupling part.
  • the short piece 3 serves to determine the matching of the microwave and the mode conversion rate. If the short-circuit location is appropriate and the circular waveguide 2 and circular tube 4 structures are properly designed, the TE10 mode microphone mouth wave will be converted to TM01 mode at a rate of almost 100 percent.
  • the short-circuit piece 3 can be moved and adjusted in the direction of the tube axis within the rectangular waveguide 31. Unnecessary mode is TE11 mode, but its occurrence is small enough to be ignored. Note that higher-order modes higher than the TE21 mode are designed to enter the cutoff region of the circular waveguide 2.
  • the distance c between the tube axis of the circular waveguide and the short-circuit surface of the short-circuit piece is set smaller than the inner radius d of the circular waveguide. This optimizes the matching of mode conversion.
  • An electromagnetic wave in TM01 mode acts on the reaction target 5 to promote a chemical reaction.
  • TM01 mode electromagnetic waves are absorbed by 5 tons of the reaction target and gradually attenuated.
  • the magnitude of this absorption is proportional to the square of the electric field in the reaction object.
  • the relative permittivity of the reaction target is 1 or more. However, if the electric field outside the reaction target and the boundary surface of the reaction target are orthogonal to each other, the electric field is equal to the relative permittivity within the reaction target. The effect on the reaction target 5 becomes smaller.
  • the electric field outside the reaction target and the boundary surface of the reaction target are parallel to each other over most of the axial distance, and satisfy the boundary condition. Therefore, the electric field is continuous inside and outside the reaction target, and is efficiently absorbed by the reaction target 5 having the same strength. If the length of the circular waveguide 2 is appropriate, almost all of the electromagnetic wave energy in the TM01 mode is absorbed by the reaction object 5. As a result, extremely efficient heating and chemical reactions are performed. Since it is not a resonator type, it can achieve the same efficiency as a resonator type, even though it does not need to be tuned.
  • the strength of the electric field in the circular waveguide 2 in the TM01 mode micro does not change along the circumferential direction, and the change in the radial direction is relatively small. 5 is heated uniformly along the circumference. Also, radial heating is fairly uniform. Since the microwaves are transmitted in the axial direction and the reaction target 5 also flows in the axial direction, the reaction targets 5 all absorb substantially the same microwave energy. Therefore, the microwave It can be expected that the reaction of the reaction target 5 that is affected will be almost the same.
  • an inner and outer double circular tube 4 having an inner tube 11 is introduced into the circular waveguide 2.
  • An annular channel 4 a is formed on the outer periphery of the inner tube 11 in the circular tube 4.
  • the reaction target 5 flowing in the circular tube 4 changes its direction in the vicinity of the coupling portion of the waveguides 31 and 2 and reverses coaxially.
  • the reaction target that is sent downward in the inner pipe 11 reaches the closed end of the circular pipe 4 and then flows out to the annular flow path 4a and is sent upward, or vice versa.
  • the counter object sent downward in the flow path 4a flows into the inner pipe 11 at the closed end and is sent upward.
  • the microwave electric field transmitted through the circular waveguide 2 is parallel to the boundary surface over most of the boundary surface along the axial direction of the reaction target and satisfies the boundary condition.
  • the electric field becomes continuous, and the reaction target is efficiently heated.
  • the strength of the electric field follows the TM01 mode distribution and is slightly larger in the inner tube 11 than in the outer tube 4, so the flow direction of the reaction target is set to the desired heating schedule. Therefore, it is selected appropriately.
  • the circular tube 4 that accommodates the reaction target is directed in the vertical direction and penetrates the rectangular waveguide 31.
  • the circular tube 4 is terminated at the waveguide coupling portion, and the flow path to be reacted is turned inside.
  • the structure of the circular tube 4 is not limited to this.
  • it may be a structure that bends at an appropriate angle in the vicinity of the waveguide coupling portion and goes out of the apparatus.
  • the circular tube 4 may have a structure penetrating the rectangular waveguide 31 as shown in FIG. 1, or may be bent and go out of the apparatus as shown in FIG.
  • the circular tube 4 may be a cylindrical body that can accommodate the reaction target therein.
  • an upper rectangular waveguide 6 is coupled to the upper end of the circular waveguide 2 on the drawing.
  • the axes of the upper and lower rectangular waveguides 31 and 6 are parallel to each other, but it is sufficient if the axes of both waveguides are orthogonal to the axis of the circular waveguide. The axes of both waveguides need not be parallel.
  • the coupling structure of the upper rectangular waveguide 6 and the circular waveguide 2 is equivalent to the lower coupling structure.
  • Microwaves reach the upper part of the lower rectangular waveguide 31 through the circular waveguide 2 and are further guided to the rectangular waveguide 6.
  • a non-reflective terminal 7 is connected to the terminal of the rectangular waveguide 6.
  • the microwave is converted from TE10 to TM01, then converted back to TE10 and the rest not used for heating
  • the microwave part is consumed at the non-reflective terminal 7.
  • the length of the circular waveguide 2 is appropriately determined, most of the microwave energy can be absorbed by the reaction target.
  • the length of the circular waveguide 2a is determined considering the balance between the space provided for the device and the allowable efficiency.
  • the upper end of the circular waveguide 2 is electrically short-circuited by a short-circuit plate 8.
  • the microwave transmitted upward in the drawing in the circular waveguide 2 is reflected here and travels downward.
  • Microwave energy is absorbed during the reciprocation by the reaction target that flows or stays in the circular tube 4. If the microwave returning to the rectangular waveguide 31 is designed to be sufficiently small, the purpose of high efficiency can be achieved.
  • a non-reflective terminal is connected to the rectangular waveguide downstream of the microwave. If this part is a short-circuited waveguide, the same effect as in Fig. 5 can be expected.
  • FIG. 7 shows a partition wall 10 that separates a space S1 in which strong microwaves are present from a space S2 in which almost no microwaves are present. That is, above the partition wall 10, there is a space S2 where microwaves should be weak.
  • the inner diameter of the microwave shielding tube 9 is determined so that the microwave enters the shielding region.
  • the length of the shielding tube 9 is set to a value that can sufficiently attenuate the microwave leaking from the hole 10a through which the circular tube 4 that accommodates the reaction object passes.
  • the upward force of the circular waveguide 2 is also transmitted downward in the TE01 mode.
  • a hollow concentric circular tube 4 whose tube axis coincides with the circular waveguide 2 is provided.
  • the coaxial circular tube 4 is a coaxial double tube having two internal and external flow spaces 4a and 4b that communicate with each other at the tip, and is configured by an dielectric that transmits microwaves with low loss.
  • the two circulation spaces 4a and 4b of the coaxial circular tube 4 are disposed in the vicinity where the electric field of the TE01 mode is maximum, that is, at a position away from the center of the waveguide 2 and its side wall force by an appropriate distance.
  • the reaction object 5 is irradiated with microwaves in the process of flowing through the circulation spaces 4 a and 4 b of the circular tube 4.
  • the reaction object 5 reaches the tip through one of the circulation spaces 4a or 4b of the coaxial circular tube 4, changes direction, and flows down through the other of the circulation spaces 4b or 4a.
  • the arrows in the figure indicate the flow direction when the reaction object 5 flows from the inner circulation space 4a to the outer circulation space 4b.
  • the chemical reaction of reaction target 5 is promoted by the action of microwaves in TE01 mode. If the lengths of the circular waveguide 2 and the coaxial circular tube 4 are adjusted, most of the electromagnetic wave energy can be absorbed by the reaction object 5.
  • the electric field of the circular waveguide 2 is along the circumference, and the intensity is constant in the circumferential direction and zero on the central axis in the radial direction. After the diameter increases, the intensity increases and shows a maximum value. It becomes zero at the waveguide wall. Therefore, the reaction target 5 should flow in the part close to this maximum value.
  • the electric field of the circular waveguide is along the boundary surface of the reaction target, the electric field strength is equal inside and outside the reaction target, and the chemical reaction proceeds efficiently due to the action of this strong electric field ⁇
  • the electric field in the TE01 mode is a force that propagates while gradually changing in a sinusoidal shape according to the wavelength in the tube in the axial direction and gradually attenuates.
  • the energy of microwaves since the microwave intensity is close to zero at the end of the circular waveguide 2 (lower end in the figure), it is necessary to carefully consider the structure of the end portion and the shape of the piping of the reaction target 5 There is no. Even if the terminal reaches the end without being sufficiently attenuated, it is sufficient that the reflected microwave attenuates to a negligible level when it reaches the upper end of the coaxial circular tube 4.
  • FIG. 11 there is a rectangular tubular flow passage 32 at substantially the center of a rectangular waveguide 31, in which the reaction object 5 flows.
  • the flow path 32 is made of a dielectric material that absorbs less microwaves, and is long in the short side direction (left-right direction in FIG. 11) of the rectangular waveguide 31 and short in the long side direction (vertical direction in FIG. 18). It has a cross section.
  • the electromagnetic wave mode transmitted inside is TE10, and the electric field of this mode is directed toward the short side of the rectangular waveguide 31 and the intensity is long. It changes in a sine wave shape with respect to the side direction, and takes zero at the side walls 31c and 31d and a maximum at the center.
  • the intensity does not change with respect to the short side direction.
  • the electric field distribution usually changes slightly.
  • the upper and lower boundary surfaces of the reaction object 5 that is a dielectric that is, Since the upper and lower surfaces of the flow path 32 are parallel to the electric field, the magnitude of the electric field inside and outside the dielectric is the same. Since the electric field distribution in the reaction target 5 is almost uniform, it is important that a uniform chemical reaction can be expected. When the boundary conditions are inappropriate, the electric field distribution inside and outside the dielectric is greatly disturbed, and the strength of the electric field inside the dielectric is also reduced.
  • the intensity of the microwave electric field inside the reaction target 5 is almost uniform in the direction perpendicular to the plane of the paper in FIG. Although it changes in a sine wave shape in the downward direction, the thickness 5 in the vertical direction is compared with the vertical dimension of the waveguide 31 because the reaction target 5 is located almost in the center of the waveguide 31 near the maximum value. If it is small enough, it is almost uniform.
  • the center of the flow path 32 does not necessarily need to be geometrically coincident with the center of the rectangular waveguide 31, and a sufficient electric field strength can be obtained. Just do it. That is, the upper and lower side walls 2c and 2d of the flow path 32 are required to be parallel to the electric field and to be in the vicinity of the central axis of the waveguide 31 where the majority of the force electric field in the axial direction of the flow path 32 is maximized.
  • the reaction target 5 flowing in the flow path 32 moves to the left in FIGS. Microwaves are also transmitted in this direction, so they both flow in a downstream direction while translating with each other. Since the propagation speed of the microwave is much faster than the moving speed of the reaction target 5, the reaction target 5 receives microwave irradiation of the same intensity on the average in the flow direction, and the chemical reaction is uniform in the flow direction. Proceed to one. The energy of the microwave is consumed by the reaction target 5 as it advances in the axial direction, and most of the energy is consumed when the outflow part of the reaction target 5 is reached.
  • a short-circuit plate that blocks and reflects the microwave may be provided near the outflow portion so that most of the microwave energy is consumed before the microwave is reflected and returned to the upstream end.
  • the reaction object 5 flows into the upstream end of the flow passage 32 via the inflow pipes 34 and 35.
  • the inflow pipes 34 and 35 have an oval shape whose cross section is flat in the vertical direction. In the case of such an inflow pipe, there is no possibility that the reaction object 5 stays at the upstream end of the flow passage 32.
  • the cross-sectional shape of the inflow pipes 34 and 35 is not limited to this.
  • the part of the inflow pipes 34 and 35 located in the waveguide 31 is usually made of a dielectric material with low microwave loss, while the part located outside the waveguide 31 is made of metal or micro force. It is covered with a tubular metallic part shaped so that the waves are cut off.
  • FIG. 1 An example of the outflow part of the reaction object 5 is shown in FIG. While the microwave is translating with the reaction target, Most of it is consumed, and the force at the end is weak.
  • the waveguide 31 is short-circuited by a flat short-circuit plate 36 at the terminal end.
  • the short-circuit plate 36 has a rectangular opening 36a through which the flow passage 32 passes in the center. Since the microwave is cut off, the leakage of the microwave can be suppressed to a level that does not cause any safety problem if the thickness of the short-circuit plate 36 is appropriate.
  • Microwave reflected by the short-circuit plate 36 is propagating upstream. The energy is absorbed by the reaction object even in this process, and when reaching the upstream end, it becomes a weak value without any problem. . In other words, it is extremely efficient and means that a chemical reaction apparatus can be provided.
  • the flow path 32 is led out from the waveguide 31 through the short-circuit plate 36, and guides the reaction target 5 that has finished the reaction to a
  • the reaction target object that travels straight may be configured such that the lateral force is also applied with microwaves to refract the path and translate in the same direction as the reaction target object or in the opposite direction.
  • FIG. 14 shows another embodiment of the flow passage 32.
  • the flow passage 32 has a groove-type cross section having an open top and a width dimension larger than the depth dimension. It should be noted that most of the bottom surface is placed parallel to the electric field due to the boundary conditions. Unnecessary products such as reaction water are often generated in the course of chemical reactions. The generated reaction water becomes steam and is discharged from the upper part of the flow path 32 into the waveguide 31.
  • an exhaust pipe (not shown) is provided so as to penetrate the short-circuit plate 36 or, for example, the waveguide upper wall 31 c, and is connected to an exhaust pump for suction. .
  • the exhaust pipe and its penetrating part are designed to satisfy the cutoff condition for microwaves.
  • the liquid level rises. Therefore, as shown in FIG. 15, the upper part of the groove-shaped flow passage 32 is covered with a lid 37. As a result, the downstream side (arrow tip side) end of the flow passage 32 has a tubular shape that is closed vertically and horizontally. Suction is performed by a pump so that the reaction target flows out together at the downstream end. If balanced well, the reaction object with increased viscosity can be removed without stagnation by this method.
  • FIGS. 16 and 17 show another embodiment in which the reaction object 5 flows at a speed that should flow.
  • the reaction target 5 having increased viscosity is mechanically pushed away by a spatula-shaped blade by the delivery device 38.
  • the delivery device 38 is composed of a plurality of water wheels 39.
  • the delivery device 38 is constituted by an endless belt 40 with vanes that are wound around pulleys.
  • the reaction target 5 that has been pushed out flows into the storage tank 41.
  • the endless belt 40 is set to such a size that the force opening 36a penetrating the short-circuit plate 36 of the waveguide 31 can cut off the microwave, so that the thickness of the short-circuit plate 36 is effectively increased.
  • the problem of electromagnetic wave leakage will not occur.
  • Most of the delivery device 38 located in the waveguide 31 is made of a dielectric material with low microwave loss and low dielectric constant. In the vicinity of the downstream end of the waveguide 31 to which the delivery device 38 is attached, the microwave is considerably weakened.
  • the blade plate and its main support mechanism are made of quartz, and a part of the bearing is Even if metal is used, there is no problem.
  • the present invention can be used in a chemical reaction apparatus for industrially efficiently performing a chemical reaction of a relatively large amount of fluid.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment of a microwave chemical reaction device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of an embodiment of a microwave chemical reaction device according to the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating another example of a reaction target channel.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a non-reflective terminal-type microwave chemical reaction device.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing an embodiment of a short-circuit type microwave chemical reaction device.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating another example of a reaction target flow path.
  • ⁇ 7 It is an explanatory view showing a radio wave leakage prevention structure.
  • FIG. 8 is a sectional view showing a basic structure of another embodiment of the microwave chemical reaction device according to the present invention.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line XX in FIG.
  • FIG. 11 is a sectional view taken along line XI—XI in FIG.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along the line XII-XII in FIG.
  • FIG. 13 is a sectional view taken along line XIII—XIII in FIG.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing another embodiment of a flow path to be reacted.
  • FIG. 16 is an explanatory view showing an embodiment of a delivery device to be reacted.

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Abstract

 【課題】マイクロ波を伝送する導波管内の中心軸に沿って反応対象の流路を配置し、反応対象に対するマイクロ波照射の作用により、化学反応等を高効率かつ均一に行わせる新しい手段を提供する。  【解決手段】 マイクロ波化学反応装置は、TE10モードのマイクロ波が伝送される方形導波管又はTM01モード若しくはTE01モードのマイクロ波が伝送される円形導波管と、マイクロ波低損失の隔壁により導波管内の空間と隔絶され、導波管の中心軸に沿ってほぼ同軸的に伸びるように配置された流通路とを具備する。流通路の内部に化学反応を生じさせるべき反応対象を収容し、流通路内の反応対象にマイクロ波が作用せしめられる。マイクロ波の作用は、その伝送方向に沿って長い距離にわたって継続されるから、マイクロ波が有効に利用できる。

Description

マイクロ波化学反応装置
技術分野
[0001] この発明は、化学反応を生じさせるべき対象物にマイクロ波を照射することにより、 化学反応を促進する化学反応装置に係り、空胴共振器を用いないで、液体、気体、 粉体等の化学反応させるべき対象物を高効率でほぼ均一に加熱できるマイクロ波化 学反応装置に関する。
背景技術
[0002] マイクロ波は、電子レンジをはじめ、産業用加熱炉の熱源として広く利用されている 。マイクロ波は、物質に含まれる水を加熱するだけでなぐ極性を持った誘電物質に 作用してこれを直接、かつ選択的に加熱できるので、従来の加熱手段のように外部 から反応対象を加熱する装置に比較して、短時間で効率よく対象物を加熱できる特 徴を持っている。
近年、化学反応を行わせたい物質にマイクロ波を照射すると、化学反応を大幅に 促進できる現象が見出され、マイクロ波の単なる加熱装置への適用に留まらず、短時 間で化学反応を行わせる化学反応装置としての適用の途が注目されている。このた め、、くつかの実験装置が開発されて 、る。
マイクロ波加熱実験装置には、大別して、終端に整合負荷を接続した整合導波管 型、終端を短絡した短絡導波管型、および、空胴共振器を用いる空胴共振器型があ る。一般に化学反応は、これらの装置内に反応対象を置いて行われる。
整合導波管型の実験装置は、通常、無調整で使用できるようになつている。しかし、 装置の構成上の問題力 マイクロ波が反応対象の位置を透過するときしか作用しな V、ことから、伝送されるマイクロ波電力の一部し力利用できな 、と 、う性質があって、 効率があまり高くないという欠点を持っている。そのような問題があっても、化学反応 を大幅に早める能力を持つので、使用上の簡便さから、利用が広まっている。
短絡導波管型の実験装置では、反射して戻ってくるマイクロ波も反応に利用する。 進行波および反射波の位相を反応対象の位置でちょうど同相になるように調整する ことにより効率を改善できる特徴を持つが、反応対象の誘電体特性の差やその変化 に応じて短絡位置を調整しなければならな 、と!、う欠点を持って 、る。
これらの導波管型の装置は、いずれも方形導波管を使用するものである(例えば特 許文献 1参照)。この方式の大きい問題は、マイクロ波電力の一部し力利用していな V、ので、化学反応プラントで使用する反応装置の重要な要件である高効率性能を満 たしていない。
空胴共振器型装置は、マイクロ波を空胴壁で多重反射させて反応対象に何度も照 射させるもので、効率が極めて高くなるという利点を持つが、反応対象の特性差やそ の変化に応じて共振周波数を調整して常に同調を取る必要があるという欠点を持つ ている。
化学反応装置のもうひとつの重要な要件は反応の均一性である。この要件を満た すには、反応対象に少なくとも平均的、累積的に均一な強さを持つマイクロ波を照射 することである。マイクロ波をィ匕学反応に用いることが広まっている力 現状は、均一 加熱できない装置が実験的に利用されている。
したがって、空胴共振器型の高効率特性を持ち、均一加熱が可能で、整合導波管 型のような簡便な方法で調整が可能なマイクロ波化学反応装置の開発要求が高まつ ている。
特許文献 1 :特開 2002— 079078
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] この発明は、上記のような背景と要求のもとになされたものであり、マイクロ波によつ て化学反応を促進する新 ヽ手段を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0004] 上記課題は、この発明に基づぐ特定モードのマイクロ波を伝送する方形導波管又 は円形導波管と、マイクロ波低損失の隔壁により導波管内の空間と隔絶され、導波管 の中心軸に沿って伸びるように配置された流通路とを具備するマイクロ波化学反応 装置により解決される。このマイクロ波化学反応装置における流通路の内部に化学 反応を生じさせるべき反応対象を収容し、流通路内の反応対象にマイクロ波が作用 せしめられる。方形導波管には、 TE10モードのマイクロ波が伝送され、円形導波管に は、 TM01モード若しくは TE01モードのマイクロ波が伝送される。マイクロ波の作用は 、その伝送方向に沿って長い距離にわたって継続されるから、マイクロ波が有効に利 用できる。
[0005] TM01モードのマイクロ波を伝送する円形導波管には、その中心軸に沿って伸びる ように円管が配置され、この円管内に断面円形の流通路が形成される。この流通路 は、二重円管の一端側において相互に連通する内側流通空間と、この内側流通空 間を包囲する環状の外側流通空間とにより形成することもできる。
[0006] TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管には、その中心軸に沿って伸びる ように方形管が配置され、この方形管内に断面方形の流通路が形成される。流通路 を形成する方形管は、方形導波管の長辺と平行な短辺と、方形導波管の短辺と平行 な長辺を持つ。
[0007] TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管の一端にモード変換器を介して円 形導波管の一端が結合され、方形導波管内の TE10モードのマイクロ波が、モード変 により TM01モードのマイクロ波に変換されて円形導波管に伝送される。この円 形導波管内に反応対象を収容する流通路が設けられる。方形導波管の下流側の一 端部が短絡片により短絡され、この方形導波管における短絡片近くの上流側に、当 該方形導波管の管軸と直交方向に円形導波管の一端が結合されことにより、モード 変^^が構成される。円形導波管には、 TE10モードのマイクロ波力 モード変換され た TM01モードのマイクロ波が伝送される。流通路を形成する円管の下流側は、円形 導波管の管軸に沿って矩形導波管を貫通し、外部に延出させることができ、あるいは 円形導波管と矩形導波管との結合部の近傍で円形導波管の管軸とほぼ直角に曲が つて外部に延出させることができる。円形導波管の他端が、電磁波を殆ど反射するよ うに短絡され、 TM01モードのマイクロ波が円形導波管内を往復する途上で前記反応 対象に吸収されるように構成することができる。
[0008] TE10モードのマイクロ波を伝送する第 1の矩形導波管の下流側の一端部が第 1の 短絡片により短絡され、この第 1の矩形導波管における短絡片近くの上流側に、当該 矩形導波管の管軸と直交方向に円形導波管の一端が結合されることにより、第 1の モード変 が構成される。さらにこの円形導波管の他端に、当該円形導波管の管 軸と直交方向に第 2の矩形導波管が結合され、この第 2の矩形導波管における円形 導波管との結合部付近の一端部が第 2の短絡片によって短絡されることにより、第 2 のモード変換器が構成される。第 2の矩形導波管の他端は、無反射終端により閉塞 される。円形導波管には、第 1の矩形導波管の TE10モードのマイクロ波力もモード変 換された TM01モードのマイクロ波が伝送され、この円形導波管内に反応対象の流通 路が設けられる。第 2の方形導波管には、円形導波管内の TM01モードのマイクロ波 力 再度モード変換された TE10モードのマイクロ波が伝送されて無反射終端で消費 される。
[0009] 方形導波管内に流通路を形成する方形流通路は、導波管内にお 、て上方を開放 させることができる。導波管には、化学反応によって流通路内の反応対象から気化し たガスを外部に排出するための排気装置が付設される。
発明の効果
[0010] 本発明の化学反応装置においては、反応対象に対するマイクロ波の作用が、その 伝送方向に沿って同じ向き又は逆向きの長い距離にわたって継続されるから、高い 効率で導波管内の電界を利用することができる。流通炉内の反応対象に照射される マイクロ波はほぼ均一であるから、反応対象に均一にマイクロ波が照射され、化学反 応が均一に促進される。
発明を実施するための最良の形態
[0011] 図において、 1は方形導波管、 2は円形導波管である。円形導波管 2は、方形導波 管 31に対し管軸が直交するように結合されている。 3は短絡片で、方形導波管 31の 下流側端を塞ぐように設けられる。短絡片 3は、方形導波管 31の管軸に直交する平 面で導波管を短絡する適切な厚みを持った直方体状をなし、方形導波管 31を電気 的に短絡する。方形導波管 31は、管軸直交方向断面における方形の長辺の寸法が aである。円形導波管 2は、方形導波管 31の長辺の寸法 aにほぼ等しい直径 bを持ち 、方形導波管の管軸と直交する管軸を持つ。円管 4は円形導波管 2内に同軸的に配 管され、化学反応させるべき反応対象 5を収容する。円管 4は、マイクロ波低損失の 誘電体素材で構成される。この例では、反応対象 5が管軸に沿って図の上から下、あ るいは下から上に向力つて流れるようになって!/、る。図の右力も矢印方向に方形導波 管 31内を伝送されてきた TE10モードのマイクロ波は、結合部で、円形導波管 2の TM 01モードに変換されて円形導波管 2を通って図の上方、矢印方向に伝送される。短 絡片 3はマイクロ波の整合とモード変換割合を決める働きをする。短絡位置が適切で あり、円形導波管 2と円管 4の構造が適切に設計されていれば、 TE10モードのマイク 口波は、殆ど 100パーセントの割合で TM01モードに変換される。短絡片 3は、方形導 波管 31内で管軸方向に移動調整可能である。不要モードは TE11モードであるが、 その発生は無視できる程度に小さい。なお、 TE21モード以上の高次モードは、円形 導波管 2の遮断域に入るように設計されている。円形導波管の管軸と短絡片の短絡 面との距離 cは、円形導波管の内半径 dより小さく設定されている。これによりモード 変換の整合が最適化される。
[0012] TM01モードの電磁波は、反応対象 5に作用して化学反応を促進する。 TM01モード の電磁波は、円形導波管 2内を伝送される過程で、そのエネルギーを反応対象 5〖こ 吸収され、次第に減衰する。この吸収の大きさは反応対象内の電界の自乗に比例す る。通常、反応対象の比誘電率は 1以上であるが、もし、反応対象の外の電界と反応 対象の境界面が互!、に直交する場合は、電界が反応対象内で比誘電率分の 1に弱 まって、反応対象 5への作用は小さくなる。しかし、本発明の化学反応装置において は、反応対象の外の電界と反応対象の境界面が軸方向の大部分の距離に渡って互 Vヽに平行と 、う境界条件を満足して 、るので、反応対象の内外で電界が連続となり 強さが等しぐ反応対象 5に効率的に吸収される。円形導波管 2の長さが適切であれ ば、 TM01モードの電磁波エネルギーの殆どすべてが反応対象 5に吸収される。結果 として、きわめて効率のよい加熱、化学反応が行われる。共振器型でないため、同調 を取る必要がないにもかかわらず、共振器型と同程度の効率を達成できる。
[0013] TM01モードのマイクロにおける円形導波管 2内の電界の強さは、円周方向に沿つ て変化せず、径方向についても変化が比較的少ないので、円管 4内の反応対象 5は 、円周に沿って均一加熱される。また、径方向の加熱もかなり均一である。マイクロ波 は、軸方向に伝送され、反応対象 5も軸方向に流れる構成となっているので、反応対 象 5は、すべてほぼ同じマイクロ波エネルギーを吸収する。したがって、マイクロ波の 作用を受けた反応対象 5の反応も全体がほぼ同じになることが期待できる。
[0014] 図 3において、内側管 11を備えた内外 2重の円管 4が、円形導波管 2内に導入され ている。円管 4内の内側管 11の外周には、環状の流路 4aが形成される。円管 4内を 流れる反応対象 5は、導波管 31, 2の結合部の近傍で向きを変え、同軸的に逆行す る。この場合、内側管 11内を下向きに送られる反応対象が、円管 4の閉鎖された端 部に到達した後、環状流路 4aへ流出して上方へ送られ、あるいはこれと逆に、環状 流路 4a内を下向きに送られる反対象が、閉鎖された端部で内側管 11に流入して上 向きに送られる。円形導波管 2内を伝送されるマイクロ波の電界は、反応対象の軸方 向に沿う境界面の大部分に渡って、境界面で平行と 、う境界条件を満足して 、るの で電界は連続となって、反応対象は効率よく加熱される。電界の強さは、 TM01モード の分布に従っていて、内側管 11内における方が外側の円管 4内におけるより少し大 きくなつているため、反応対象の流れの向きは、所望の加熱スケジュールにしたがつ て、適切に選択される。
[0015] 反応対象を収容する円管 4は、図 1では上下方向に向かっていて、方形導波管 31 を貫通している。図 3では、円管 4は、導波管結合部で終結し、内部で反応対象の流 路が転向するようになっている。しかしながら、円管 4の構造はこれに限定されるもの ではなぐ例えば、導波管結合部の近傍で、適切なある角度で曲がって装置外に出 る構造でもよい。円管 4は、図 1のように方形導波管 31を貫通する構造になっていて も、また図 6に示すように、折れ曲がって装置外に出る構造となっていてもよい。要す るに、円管 4は、内部に反応対象を収容できる円筒体であればよい。
[0016] 図 4に示す他の実施形態では、円形導波管 2の図面上の上端に、上部方形導波管 6が、結合されている。図では上部および下部の方形導波管 31, 6の軸が互いに平 行になっているが、両導波管の軸がそれぞれ円形導波管の軸と直交するようになつ ていれば良ぐ両方形導波管の軸が平行でなくても良い。上部方形導波管 6と円形 導波管 2の結合構造は、下部の結合構造と同等である。マイクロ波は、下部の方形導 波管 31から円形導波管 2を経てその上部に達し、さらに方形導波管 6に導かれる。 方形導波管 6の終端には、無反射終端 7が接続される。全体を通して、マイクロ波は 、 TE10から TM01に変換され、再び TE10に変換され、加熱に使用されなかった残りの マイクロ波部分は、無反射終端 7で消費されるが、円形導波管 2の長さを適切に定め れば、大部分のマイクロ波エネルギーを反応対象に吸収させることができる。円形導 波管 2aの長さは装置に与えられたスペースと許容できる効率の兼ね合いを考慮して 決定される。
[0017] 図 5に示す他の実施形態では、円形導波管 2の上端が短絡板 8によって電気的に 短絡されている。円形導波管 2内を図面上、上方に向かって伝送されたマイクロ波は 、ここで反射され下方に向かう。円管 4内に流れ、あるいは滞留する反応対象により、 往復の途上でマイクロ波エネルギーが吸収される。方形導波管 31まで戻るマイクロ 波が十分小さくなるように設計すれば、高効率化の目的が達成できる。
なお、図 4でマイクロ波の下流側の方形導波管に無反射終端を接続したが、この部 分を短絡導波管とすれば、図 5と同じ効果を期待できる。
[0018] 図 7には、強いマイクロ波が存在する空間 S1と、マイクロ波が殆ど存在しない空間 S 2とを隔てる隔壁 10を示している。すなわち隔壁 10の上は、マイクロ波が微弱になる べき空間 S2である。マイクロ波遮蔽管 9の内径はマイクロ波が遮断領域に入るように 決定される。また、この遮蔽管 9の長さは反応対象を収容する円管 4を通すための孔 10aから漏れるマイクロ波を十分減衰できる値に定められる。
[0019] 図 8に示す実施形態において、円形導波管 2の上方力も TE01モードのマイクロ波 が下方に向け伝送される。この円形導波管 2内に、これと管軸が一致する中空の同 軸円管 4が設けられる。同軸円管 4は、互いに先端部で連通する内外 2つの流通空 間 4a、 4bを内部に有する同軸の二重管であり、マイクロ波を低損失で透過させる誘 電体で構成される。同軸円管 4の 2つの流通空間 4a、 4bは、 TE01モードの電界が極 大となる付近、すなわち、導波管 2の中心とその側壁力 適当距離離れた位置に配 置される。反応対象 5は、円管 4の流通空間 4a、 4bを流れる過程でマイクロ波を照射 される。この例では、反応対象 5は同軸円管 4の流通空間 4a又は 4bの一方を通って 先端部に達し、向きを変えて流通空間 4b又は 4aの他方を通って流下する。図の矢 印は内側流通空間 4aから外側流通空間 4bに反応対象 5が流れる場合の流れの方 向を示している。 TE01モードのマイクロ波の作用を受けて反応対象 5の化学反応が 促進される。 [0020] 円形導波管 2と同軸円管 4の長さを調整すれば、電磁波のエネルギーの殆どを反 応対象 5に吸収させることができる。円形導波管 2の電界は円周に沿っており、円周 方向で強さが一定で径方向では中心軸上でゼロとなり、径が大きくなるにつれて強さ が増し、極大値を示した後、導波管壁面でゼロになる。したがって、この極大値に近 い部分を反応対象 5が流れるようにしておく。この場合、円形導波管の電界は、反応 対象の境界面に沿っているので、反応対象の内外で電界強度が等しくなり、化学反 応がこの強い電界の作用により、効率よく進行する-
[0021] TE01モードの電界は、軸方向には管内波長に従って正弦波状に周期的変化をし ながら伝播し次第に減衰する力 反応対象 5は軸方向に流れているので、累積的に ほぼ同じ強さのマイクロ波のエネルギーを経験する。本発明では、円形導波管 2の終 端 (図の下端)でマイクロ波強度がゼロ近くなつて 、るので、終端部の構造や反応対 象 5の配管の形状を細力べ考慮する必要はない。なお、十分減衰しないで終端部に 達しても、そこで反射したマイクロ波が同軸円管 4の上端に達したとき無視できる程度 に減衰していれば良い。
[0022] 図 11において、方形導波管 31のほぼ中心に方形管状の流通路 32があり、その中 に反応対象 5が流れている。流通路 32は、マイクロ波の吸収が少ない誘電体で構成 され、方形導波管 31の短辺方向(図 11において左右方向)に長く長辺方向(図 18に おいて上下方向)に短い方形断面を有する。方形導波管 31内に何も挿入しない場 合に、その内部に伝送される電磁波モードは TE10であり、このモードの電界は方形 導波管 31の短辺方向に向力ぃ、強度は長辺方向に対して正弦波状に変化し、側壁 31c, 31dでゼロ、中心部で極大値をとる。短辺方向に対して強度は変化しない。方 形導波管 31内に誘電体等が挿入された場合、通常、電界の分布は若干変化するが 、図 11に示される配置では、誘電体である反応対象 5の上下の境界面、すなわち流 通路 32の上下面が電界と平行であるから、誘電体内外の電界の大きさは同じである 。反応対象 5内の電界分布はほぼ均一であるので、均一な化学反応を期待できる点 が重要である。境界条件が不適切な場合は、誘電体内外の電界分布が大きく乱れ、 誘電体内の電界の強度も低くなる。
[0023] 反応対象 5内部のマイクロ波電界の強さは、図 9の紙面の直角方向でほぼ均一、上 下方向で正弦波状に変化するが、反応対象 5が極大値の近傍である導波管 31のほ ぼ中央に位置するため、その上下方向の厚さが導波管 31の上下方向寸法に比較し て十分小さい場合、ほぼ均一である。
[0024] なお、流通路 32の中心は必ずしも方形導波管 31の中心と幾何学的に一致する必 要はなぐ十分な電界強度が得られ、均一性がそれほど阻害されない範囲で実質的 に一致すればいい。すなわち、流通路 32の上下の側壁 2c, 2dが電界と平行で、流 通路 32の軸方向の大部分力 電界が極大となる導波管 31の中心軸付近にあること を要する。
[0025] 流通路 32内を流れる反応対象 5は、図 9, 10の左方向に移動する。マイクロ波もこ の方向に伝送されるので両者は互いに並進しながら下流に向力つて流れる。マイクロ 波の伝播速度が反応対象 5の移動速度より極めて速 、ので、反応対象 5は流れの方 向に対して平均的に同じ強さのマイクロ波照射を受け、化学反応は流れの方向に均 一に進行する。マイクロ波のエネルギーは、軸方向に進むにつれ反応対象 5に消費 され、反応対象 5の流出部に達したときには殆どのエネルギーが消費されるようにす る。あるいは流出部の付近に、マイクロ波を遮断し、反射する短絡板を設け、マイクロ 波が反射して上流端に戻るまでに殆どのマイクロ波のエネルギーが消費されるように してちよい。
以上の説明は、導波管 31と流通路 32が直線状に伸びる場合を想定してなされて いるが、両者が、幾分、曲がっていても、導波管 31が、流通路 32を内蔵している限り 、問題はない。
[0026] 流通路 32の上流端には、流入管 34, 35を介して反応対象 5が流入する。図示の 実施形態において、流入管 34, 35は、断面が上下方向に扁平な長円形状をしてい る。このような形状の流入管だと、流通路 32の上流端で反応対象 5が滞留するおそ れがない。しかし、流入管 34, 35の断面形状はこれに限定されない。流入管 34, 35 の導波管 31内に位置する部分は、通常、マイクロ波損失の少ない誘電体で作られ、 一方、導波管 31外に位置する部分は金属で作られる力、またはマイクロ波がカットォ フの状態になるような形状の管状の金属性部品で覆われる。
[0027] 反応対象 5の流出部の一例を図 13に示す。マイクロ波は反応対象と併進する間に 大部分が消費され、終端部では力なり弱くなつている。導波管 31は終端部において 平板状の短絡板 36で短絡される。短絡板 36は、中心に流通路 32が貫通する方形 の開口 36aを持つ。マイクロ波はカットオフの状態になるので、短絡板 36の厚さが適 切であればマイクロ波の漏洩は、安全上まったく問題を起こさないレベルに抑えられ る。短絡板 36で反射されたマイクロ波は上流に向力つて伝播する力 この過程でもェ ネルギ一は反応対象に吸収されるので、上流端に達したときは問題なく微弱な値に なって 、る。すなわち極めて効率の良!、ィ匕学反応装置を提供できることを意味する。 流通路 32は、短絡板 36を貫通して導波管 31から導出され、反応を終えた反応対象 5を所要の場所に導く。
[0028] 以上、図 9から図 13までの説明では、またマイクロ波と反応対象が同じ方向に流れ る場合について説明しているが、マイクロ波の伝送速度は反応対象の速度に比し極 めて大き 、ので必ずしも同じ方向に流す必要はなぐ互いに逆の方向であっても力ま わないことはいうまでもない。すなわち、同じ方向か逆方向かは反応対象の反応が進 む方向の必要性に応じて選択できる。
[0029] また図 9, 10では、直進するマイクロ波に対し、横力 反応対象が流れ込み図の左 方向に互いに併進する場合を説明したが、流れの向きを右方向にして、横へ流れ出 す方式にしても力まわない。さらに、直進する反応対象物に対し、横力もマイクロ波を 加えて進路を屈折させ、反応対象物と同じ方向、あるいは逆方向に並進させる構成 であってもかまわない。
[0030] 図 14は流通路 32の他の実施形態を示す。この実施形態において、流通路 32は、 上部が開放した、深さ寸法より幅寸法が大きい溝型断面を有する。なお、境界条件 の関係で底面の大部分が電界と平行になるように配置される。化学反応の過程で、 反応水のような不要生成物が生じることが少なくない。生成された反応水は水蒸気と なって流通路 32の上部から導波管 31内に放出される。導波管 31内の水蒸気等の ガスを排出するために、短絡板 36あるいは、例えば導波管上壁 31cを貫通するように 排気管(図示せず)を設け、排気ポンプにつないで吸引する。排気管やその貫通部 は、マイクロ波に対して遮断条件を満足するように設計される。
[0031] 化学反応が進むと粘性が増す場合が少なくない。その場合、反応対象の流れに滞 留が起きる可能性があるので、強制的に流れを促進、向上させる必要が生じる。導波 管 31と流通路 32を傾斜するように配置するのもひとつの選択肢である力 それだけ では不十分の場合が多い。
滞留が起きると液面が上昇する。そこで図 15示すように、溝型の流通路 32の上部 を蓋 37で覆うようにする。これによつて、流通路 32の下流側(矢印先端側)端部は、 上下、左右が閉じた管状になる。下流端で反応対象が一体となって流出するようにポ ンプで吸引する。うまくバランスをとれば、このような方法で粘性が増した反応対象を 滞留なく取り出すことができる。
[0032] 図 16, 17は反応対象 5が本来流れるべき速度で流れるようにする他の実施例であ る。粘性の増した反応対象 5は、送出装置 38により、へら状の羽根板で機械的に押 し流される。図 16では、送出装置 38は、複数の水車 39で構成される。また、図 17で は、送出装置 38は、プーリーに掛け回された羽根板付きの無端ベルト 40で構成され る。押し出された反応対象 5は、収容槽 41に流入する。無端ベルト 40は、導波管 31 の短絡板 36を貫通する力 開口 36aがマイクロ波をカットオフ状態にできる程度の大 きさに設定されるので、短絡板 36の厚さを実効的に厚くすれば、電磁波漏洩の問題 を生じない。送出装置 38は、少なくとも導波管 31内に位置する大部分はマイクロ波 損失が少なく誘電率も小さ!ヽ誘電体で構成される。送出装置 38が付設される導波管 31の下流側端部付近では、マイクロ波がかなり弱くなつているので、例えば、羽根板 やその主要支持機構を石英で構成し、軸受けには一部、金属を使用してもカゝまわな い。
産業上の利用可能性
[0033] この発明は、比較的大量の流体の化学反応を工業的に効率よく行うための化学反 応装置に利用できる。
図面の簡単な説明
[0034] [図 1]この発明に係るマイクロ波化学反応装置の一実施形態の断面図である。
[図 2]この発明に係るマイクロ波化学反応装置の一実施形態の平面図である。
[図 3]反応対象の流路の他の一例を説明する断面図である。
[図 4]無反射終端型のマイクロ波化学反応装置の一実施形態を示す断面図である。 [図 5]短絡型のマイクロ波化学反応装置の一実施形態を示す断面図である。
圆 6]反応対象の流路の他の一例を説明する断面図である。
圆 7]電波漏れ防止構造を示す説明図である。
[図 8]この発明に係るマイクロ波化学反応装置の他の実施形態の基本構造を示す断 面図である。
圆 9]本発明に係る化学反応装置の他の実施形態の基本構造を示す側面図である。
[図 10]図 9における X— X断面図である。
[図 11]図 9における XI— XI断面図である。
[図 12]図 9における XII— XII断面図である。
[図 13]図 9における XIII— XIII断面図である。
圆 14]本発明に係る化学反応装置の他の実施形態の基本構造を示す断面図である
[図 15]反応対象の流通路の他の実施形態を示す断面図である。
圆 16]反応対象の送出装置の実施形態を示す説明図である。
圆 17]反応対象の送出装置の他の実施形態を示す説明図である。

Claims

請求の範囲
[1] TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管又は TM01モード若しくは TE01モー ドのマイクロ波を伝送する円形導波管から選ばれる一の導波管と;マイクロ波低損失 の隔壁により前記導波管内の空間と隔絶され、導波管の中心軸に沿ってほぼ同軸的 にマイクロ波の伝送方向に伸びるように配置された流通路とを具備し;この流通路は
、前記導波管より断面積が小さぐ内部に化学反応を生じさせるべき反応対象を収容 し;流通路内の反応対象にマイクロ波を作用させることを特徴とするマイクロ波化学反 応装置。
[2] 前記導波管の一端が、電磁波を殆ど反射するように短絡され、伝送されたマイクロ 波が導波管内を往復する途上で前記反応対象に吸収されるように構成されることを 特徴とする請求項 1に記載のマイクロ波化学反応装置。
[3] 前記導波管が、 TM01モードのマイクロ波を伝送する円形導波管であり;前記流通 路が、円管内の断面円形の流通空間により形成されることを特徴とする請求項 1又は
2に記載のマイクロ波化学反応装置。
[4] 前記導波管が、 TM01モードのマイクロ波を伝送する円形導波管であり;前記流通 路カ 二重円管の一端側において相互に連通する内側流通空間と、この内側流通 空間を包囲する環状の外側流通空間とにより形成されることを特徴とする請求項 1又 は 2に記載のマイクロ波化学反応装置。
[5] 前記導波管が、 TE01モードのマイクロ波を伝送する円形導波管であり;前記流通路 力 中空の二重円管の一端側において相互に連通する環状の内側流通空間と、こ の内側流通空間を包囲する環状の外側流通空間とにより形成されることを特徴とする 請求項 1又は 2に記載のマイクロ波化学反応装置。
[6] 前記導波管が、 TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管であり;前記流通路 力 方形導波管の長辺と平行な短辺と、方形導波管の短辺と平行な長辺を持つ方形 管内に形成される断面方形の流通空間により形成されることを特徴とする請求項 1又 は 2に記載のマイクロ波化学反応装置。
[7] 前記円形導波管の一端に、 TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管の一端 がモード変 ^^を介して結合され、方形導波管内の TE10モードのマイクロ波力 モ ード変^^により TM01モードのマイクロ波に変換されて円形導波管に伝送されること を特徴とする請求項 3又は 4に記載のマイクロ波化学反応装置。
[8] TE10モードのマイクロ波を伝送する方形導波管と;この方形導波管の下流側の一 端部を短絡する短絡片と;前記方形導波管における前記短絡片近くの上流側に、当 該方形導波管の管軸と直交方向に一端が結合された円形導波管とを具備し;この円 形導波管には、前記 TE10モードのマイクロ波からモード変換された TM01モードのマ イク口波が伝送され;この円形導波管内に前記流通路が設けられることを特徴とする 請求項 3又は 4に記載のマイクロ波化学反応装置。
[9] 前記流通路を形成する円管の下流側が、前記円形導波管の管軸に沿って前記方 形導波管を貫通し、外部に延出していることを特徴とする請求項 8に記載のマイクロ 波化学反応装置。
[10] 前記流通路を形成する円管の下流側が、前記円形導波管と前記方形導波管との 結合部の近傍で円形導波管の管軸とほぼ直角に曲がって外部に延出していることを 特徴とする請求項 8に記載のマイクロ波化学反応装置。
[11] TE10モードのマイクロ波を伝送する第 1の方形導波管と、この第 1の方形導波管の 下流側の一端部を短絡する第 1の短絡片と;前記第 1の方形導波管における前記第 1の短絡片近くの上流側に、当該第 1の方形導波管の管軸と直交方向に一端が結合 された円形導波管と;この円形導波管の他端に、当該円形導波管の管軸と直交方向 に結合された第 2の方形導波管と、この第 2の方形導波管における前記円形導波管 との結合部付近の一端部を短絡する第 2の短絡片と;第 2の方形導波管の他端を閉 塞する無反射終端とを具備し;前記円形導波管には、前記第 1の方形導波管の TE10 モードのマイクロ波からモード変換された TM01モードのマイクロ波が伝送され;この 円形導波管内に前記流通路が設けられ;前記第 2の方形導波管には、前記円形導 波管内の TM01モードのマイクロ波から再度モード変換された TE10モードのマイクロ 波が伝送されて前記無反射終端で消費されることを特徴とする請求項 3又は 4に記 載のマイクロ波化学反応装置。
[12] 前記流通路を形成する方形流通路が、前記導波管内の少なくとも一部において上 方に開放しており;前記導波管には、化学反応によって前記流通路内の反応対象か ら気化したガスを外部に排出するための排気装置が付設されることを特徴とする請求 項 6に記載の化学反応装置。
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