WO2006070655A1

WO2006070655A1 - 流体制御弁

Info

Publication number: WO2006070655A1
Application number: PCT/JP2005/023460
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Chinda
Original assignee: Fujikura Rubber Ltd.
Priority date: 2004-12-28
Filing date: 2005-12-21
Publication date: 2006-07-06
Also published as: TW200628715A; JP2006183813A

Abstract

【課題】　圧力機器の一対の吸排ポートに対する圧力を一方で上昇させたとき、他方ではその上昇に応じて下降する制御が可能な流体制御弁を得る。【解決手段】　加圧空気の供給を受ける一対の供気ポート室；この一対の供気ポート室と対をなす、圧力機器に接続すべき一対の制御ポート室；各供気ポート室と制御ポート室を連通させる一対の流路絞り；一対の制御ポート室をそれぞれ大気に連通させる一対のノズル通路；この一対のノズル通路の開口端に対向する一対の開閉制御面を有し、開閉制御面を有する該一対のフラッパおよび該一対のノズル通路と開閉制御面の間を移動可能なフラッパアッシー；及びこのフラッパアッシーを移動させ、一対のノズル通路の開口端とフラッパアッシーの一対の開閉制御面との距離を一方で増加させ他方で減少させるフラッパアッシー移動機構；を有する流体制御弁。

Description

流体制御弁

技術分野

[0001] 本発明は、一対の取出圧力を対称形に制御する流体制御弁に関する。

背景技術

[0002] 往復シリンダ装置のように、一対の吸排ポートの一方の圧力を上昇させるとき他方の圧力を下降させ、荷重や位置を制御する機器が数多く存在する。

[0003] このような用途に用いる制御弁は従来、単純に一対の吸排ポートの一方に加圧空気を供給し、他方は大気に開放するものであった。しかし、往復シリンダ装置の位置制御の場合を例にとれば、移動方向の変更を滑らかに行うことができず、安定かつ精度の良い位置制御ができない。また、サーボバルブは、広い周波数範囲で高い圧力分解能を有し、高速な制御が可能である。しかし、サーボバルブは、ノズルに対して弹性体のフラッパを振り子のように揺動して、ノズルの有効開口量を制御している。そのため、一対の吸排ポートに供給する加圧空気の流量が大きくバラつき、高精度な流量 (圧力)制御が困難である。

[0004] 本発明は、圧力機器の一対の吸排ポートに対する圧力を一方で上昇させたとき他方ではその上昇に応じて下降する高精度な制御が可能な流体制御弁、すなわち例えば往復シリンダ装置に用いたとき、流量 (圧力）を高精度に制御し、移動方向の変更を滑らかに行うことができる流体制御弁を得ることを目的とする。

発明の開示

[0005] 本発明の流体制御弁は、加圧空気の供給を受ける一対の供気ポート室;この一対の供気ポート室と対をなす、圧力機器に接続すべき一対の制御ポート室;各供気ポート室と制御ポート室を連通させる一対の流路絞り；一対の制御ポート室をそれぞれ大気に連通させる一対のノズル通路；この一対のノズル通路の開口端に対向する一対の開閉制御面を有し、該一対のノズル通路の間を移動可能なフラッパアッシー;及びこのフラッパアッシーを移動させ、一対のノズル通路の開口端とフラッパアッシーの一対の開閉制御面との距離を一方で増加させ他方で減少させるフラッパアッシー移動機構；を有することを特徴とする。

[0006] フラッパアッシーの一対の開閉制御面は、例えば、周縁部を固定したフラッパの両面に設けることができる。

[0007] また、フラッパは、一対を設け、この一対のフラッパに一体にそれぞれ一対のノズル通路の開口端に対向する開閉制御面を設けることができる。

[0008] 流路絞りは、最も簡単にはオリフィス力も構成することができる。あるいは、供気ポート室側の入口穴を有する入口板；制御ポート室側の出口穴を有する出口板;及びこの入口板と出口板との間に交互に積層された複数のスぺーサ板と中間流路板；を備え、この中間流路板とスぺーサ板は、上記入口板の入口穴と出口板の出口穴との間に該中間流路板の表面に沿う曲折流路を形成する流路穴を備えている整流絞りから構成することも可能である。

[0009] フラッパアッシー移動機構は、手動、空気圧駆動、油圧駆動、および圧電素子駆動などが可能であるが、制御性を考慮すると電磁駆動機構が好適である。

[0010] 電磁駆動機構は、例えば、フラッパアッシーに固定した永久磁石と、この永久磁石との間で電磁作用を生じさせ該フラッパアッシーを移動させる固定コイルとから構成することがでさる。

[0011] 本発明はまた、電磁駆動機構のより好ましい態様を提案する。この電磁駆動機構は、永久磁石を円柱状とし、フラッパアッシーには開閉制御面を有する一対のフラッパを設けて、この一対のフラッパの中心部間を、該円柱状永久磁石と該円柱状永久磁石の両端部に位置するマグネットヨークとを含む接続部材によって接続する。そして、この円柱状永久磁石及び一対のマグネットヨークの外囲に、一対のフラッパの中間位置から対称に配置される一対の固定コイルと、この固定コイルの両側および外囲に位置するコイルヨークと力も構成され、コイルヨークのフラッパ側端面は、固定コイルへの非通電状態（中立位置)で、一対のマグネットヨークの外側端面より外側に位置させ、かつ、一対の固定コイルには、互いに逆方向に電流が流れるように制御する。

[0012] 上記流体制御弁のフラッパアッシーは、一対のノズル通路の開口端面に直交する直線方向に移動することが好まし、。

図面の簡単な説明 [0013] [図 1]本発明による流体制御弁の実施形態を示す縦断面図である。

[図 2]本発明による流体制御弁の圧力制御状態を示す縦断面図である。

[図 3]本発明による流体制御弁のフラッパアッシーの移動位置または電流と、一対の取出圧力との関係図である。

[図 4]本発明による流体制御弁の別の実施形態を示す、図 1に対応する縦断面図である。

[図 5]図 4の流体制御弁の整流絞り部分の拡大断面図である。

[図 6]同各板状部材の平面図を含む断面図である。

[図 7]同各板状部材の別の実施形態を示す、平面図を含む断面図である。

[図 8]図 4の整流絞りの分解斜視図である。

[図 9]整流絞りの別の実施形態を示す、平面図を含む断面図である。

[図 10]整流絞りのさらに別の実施形態を示す、分解斜視図である。

[図 11]図 4の流体制御弁を三方弁として使用する態様のポート関係を示す図である。発明を実施するための最良の形態

[0014] 本実施形態は、本発明による流体制御弁 CVを両ロッド型シリンダ 50の制御用に用いる一実施形態を示している。この流体制御弁 CVは、筒状のハウジング 11を有し、全体として筒状ハウジング 11の軸線 Oを中心とする回転対称形状をなしている。この筒状ハウジング 11には、中心部の制御ブロック 20と、この制御ブロック 20の左右に位置する一対の流路ブロック 10L、 10Rが備えられている。図 1、図 2では、左方の流路ブロック 10Lの要素にサフィックス Lを、右方の流路ブロック 10Rの要素にサフィックス Rを付す。

[0015] 流路ブロック 10L (10R)は、外側から順に、筒状ハウジング 11の端部を閉塞する端壁 12L (12R)、スぺーサリング 13L (13R)、隔壁 14L (14R)、及び制御ポート室形成ブロック 15L (15R)を有する。スぺーサリング 13L (13R)は、端壁 12L (12R)と隔壁 14L ( 14R)の間に供気ポート室 16L ( 16R)を形成する。供気ポート室 16L ( 16R) には、筒状ノヽウジング 11に穿設した供気ポート 16aL (16aR)が開口しており、この供気ポート 16aL (16aR)は、レギユレータ 40を介してポンプ (圧縮空気源) 41に接続されている。 [0016] 隔壁 14L (14R)と制御ポート室形成ブロック 15L (15R)の間には、制御ポート室 17 L (17R)が形成されている。制御ポート室 17L (17R)は、供気ポート

室 16L (16R)と対をなしており、制御ポート室 17L (17R)には、筒状ノヽウジング 11に穿設した制御ポート 17aL (l 7aR)が開口して、る。

[0017] 隔壁 14L (14R)には、軸線 O上に位置させて、供気ポート室 16L (16R)と制御ポート室 17L ( 17R)を連通させるオリフィス (流路絞り） 18L ( 18R)が穿設されて!/、る。

[0018] 制御ポート 17aL (17aR)は、両ロッド型シリンダ (圧力機器） 50の一対の対向圧力室 52L (52R)にそれぞれ接続されている。すなわち、両ロッド型シリンダ 50は、シリンダ 51に嵌められ一対の対向圧力室 52L (52R)を画成するピストン 53を有していて、このピストン 53の両側に固定したロッド 54がシリンダ 51の外部に導かれて固定されている。シリンダ 51は、リニアモーションベアリング 55を介してガイドロッド 56に直線移動自在に支持されており、シリンダ 51には移動テーブル 57が固定されている。

[0019] 制御ポート室形成ブロック 15L (15R)には、同じく軸線 O上に位置させて、ノズル通路 19L (19R)が穿設されている。このノズル通路 19L (19R)は、制御ポート室 17L ( 17R)を排気ポート室 21L (21R)に連通させており、排気ポート室 21L (21R)は、筒状ノヽウジング 11に穿設した排気ポート 15aL ( 15aR)を介して大気に連通して！/、る。ノズル通路 19L (19R)は、制御ポート室形成ブロック 15L (15R)に制御ブロック 20 側に突出させて形成した円錐状突出部の中心に穿設されて!/、る。オリフィス 18L ( 18 R)が、供気ポート室 16L ( 16R)から制御ポート室 17L ( 17R)へ流入する流量を制限しているため、ノズル通路 19L (19R)力も流出する流量を変えたときに、制御ポート室 17L ( 17R)の圧力を制御することができる。

[0020] 制御ポート室形成ブロック 15Lと 15Rの間の筒状空間には、制御ブロック 20が配置されている。この制御ブロック 20は、ノズル通路 19L (19R) (円錐状突出部）に対向する開閉制御面 32L (32R)を有するフラッパアッシー 30と、フラッパアッシー 30を軸線方向に移動させてノズル通路 19L (19R)と開閉制御面 32L (32R)との距離を一方で増カロさせ他方で減少させるフラッパアッシー移動機構を備えて、る。この実施形態では、このフラッパアッシー移動機構は、電磁駆動機構 22からなつている。

[0021] フラッパアッシー 30の開閉制御面 32L (32R)は、円形の弾性変形可能な左右のフラッパ 31L (31R)に設けられており、この左右のフラッパ 31L (31R)の軸部間は、中心の円柱状永久磁石 25と左右のマグネットヨーク 26及びフラッパ接続片 27 (左右対称形の接続部材)を介して結合されている。フラッパ 31L (31R)は、その周縁部が筒状ハウジング 11に固定されており、円柱状永久磁石 25、ヨーク 26及び接続片 27を筒状ハウジング 11 (固定コイルヨーク部 24)の中心部に浮動状態で保持している。フラッパ 31L (31R)は勿論穴あきとすることができる。

[0022] 電磁駆動機構 22は、フラッパアッシー 30の円柱状永久磁石 25と、この円柱状永久磁石 25の外囲に位置する固定コイルヨーク部 24とによって構成されている。

[0023] 全体として筒状をなす固定コイルヨーク部 24は、中心コイルヨーク 28aと、その両側に位置する一対のコイル 29と、このコイル 29の外側に位置する一対の端部コイルョーク 28bとを有する左右対称形をしており、これら中心コイルヨーク 28a、コイル 29、端部コイルヨーク 28bの外周にはさらに、周囲コイルヨーク 28cが設けられている。一対のコイル 29は同一方向に巻かれ、互いに逆方向に電流が流れるように制御回路に接続されている。

[0024] この固定コイルヨーク部 24の左右の端部コイルヨーク 28bの両端面（外端面）は、円柱状永久磁石 25の左右のマグネットヨーク 26の両端面 (外端面)より、若干 (距離 dだけ)外側に位置している。

[0025] 以上の流体制御弁 CVは次のように動作する。ポンプ 41からの加圧空気は、レギユレータ 40により調圧された後供気ポート 16aL (16aR)を介して供気ポート室 16L ( 16R )に供給されている。電磁駆動機構 22の一対のコイル 29に通電しないときには、図 1 に示すように、フラッパアッシー 30は左右方向の!/、ずれにも移動しな、中立位置に保持される。すなわち、ノズル通路 19Lの開口端 19aLとフラッパ 31Lの開閉制御面 32Lとの距離と、ノズル通路 19Rの開口端 19aRとフラッパ 31Rの開閉制御面 32Rとの距離は等しい。オリフィス 18L (18R)力も制御ポート室 17L (17R)に流入する加圧空気の流量は左右で同じであり、さらにノズル通路 19L ( 19R)の開口端 19aL ( 19a R)とフラッパ 31L (31R)の距離が等しく、ノズル通路 19L ( 19R)力排気ポート 15a L (15aR)に流出する流量が等しくなる。そのため、左右の制御ポート室 17L (17R) の圧力は同じになる。したがって、制御ポート室 17Lと 17Rに連なる対向圧力室 52L と 52Rの圧力は等しぐ両ロッド型シリンダ 50は動作しない。

[0026] これに対し、電磁駆動機構 22を作動させその一対のコイル 29に正または逆に通電すると、一対のコイル 29には逆方向に電流が流れるため、左右の端部コイルヨーク 2 8bには、同一極性の磁極 (N極または S極）が発生し、中心コイルヨーク 28aには端部コイルヨーク 28bに生じる磁極と異なる磁極（S極または N極）が発生する。したがつて、円柱状永久磁石 25は、端部コイルヨーク 28bと中心コイルヨーク 28aの間で生じる、磁石同士の反発力または吸引力を受ける。

[0027] このとき、一対の端部コイルヨーク 28bの外端面は一対のマグネットヨーク 26の外端面よりも距離 dだけ外側に位置しているため、一方の端部コイルヨーク 28bと円柱状永久磁石 25の間で反発力（吸引力）が生じるとき、他方の端部コイルヨーク 28bと円柱状永久磁石 25の間では吸引力（反発力）が生じる。このため、フラッパアッシー 30 は、強い力を受け、フラッパ 31L (31R)が弾性変形しフラッパアッシー 30が左右の一方に移動する。このように、フラッパアッシー 30は、一対のノズル通路の開口端面に直交する直線 (軸線 O)方向に移動する。そのため、供給する加圧空気の流量がバラつくことなぐ高精度な流量 (圧力）制御ができる。図 2はフラッパアッシー 30が左方に移動した状態を示して!/、る。

[0028] 図 2のようにフラッパアッシー 30が左方に移動すると、フラッパ 31Lの開閉制御面 32 Lとノズル通路 19Lの開口端 19aLとの距離が縮まり、制御ポート室 17Lから排気ポート 15aLを介して大気中に逃げる空気の量が少なくなる。一方、フラッパ 31Rの開閉制御面 32Rとノズル通路 19Rの開口端 19aRとの距離は広がり、制御ポート室 17 L力も制御ブロック 20および排気ポート 15aLを介して大気中に逃げる空気の量が多くなる。このため、制御ポート室 17L内（制御ポート 17aL)の圧力が上昇し、制御ポート室 17R内（制御ポート 17aR)の圧力が下降する。オリフィス 18L (18R)は、制御ポート室 17Lと 17Rに確実に圧力差を生じさせる。

[0029] 図 3は、フラッパアッシー 30が左右に移動したときの制御ポート 17aLと 17aR (—対の取出圧力）の圧力変化の関係を示している。このように制御ポート 17aLと 17aRの一方の圧力が上昇すると他方の圧力がそれに伴って下降する関係となる。このため、制御ポート 17aLと 17aRに接続されている両ロッド型シリンダ 50の対向圧力室 52Lと 52Rの圧力上昇と圧力下降は、同時に対称形に生じ、このためシリンダ 51 (移動テーブル 57)を滑らかに移動させることができる。

[0030] 図 4な、し図 7は本発明による流体制御弁の別の実施形態を示して、る。この実施形態では、図 4に示すように、第 1の実施形態のオリフィス 18L (18R)に代えて、板材の積層構造からなる整流絞り 100を用いて、る。

[0031] 整流絞り 100は、図 5ないし図 8に示すように、 4種類（3種類)の外形円形板材を積層して構成されている。 4種類の円形板材は、入口板 111、出口板 112、中間流路板 113及びスぺーサ板 114である。入口板 111と出口板 112はそれぞれ、その偏心位置に入口穴 111aと出口穴 112aを有しており、入口穴 111aと出口穴 112aの平面位置は異なっている（しかし、入口穴 11 laと出口穴 112aは回転対称位置にあり、入口板 111と出口板 112は同一形状の板材を用いることができる）。中間流路板 113は、入口穴 111aと出口穴 112aと同じ平面位置に独立した一対の流路穴 113aと 113b を備えており、スぺーサ板 114は、この流路穴 113aと 113bを連通させる流路穴 (横長（小判状)流路穴） 114aを備えている（図 6)。なお、この流路穴 114aには、図 7に鎖線で示すように、流路穴 113aと 113bを結ぶ方向に延びる 1な、し複数の橋絡部 1 14bを形成して流路隙間の変化 (変形)を防ぐことができる。

[0032] これらの入口板 111、複数のスぺーサ板 114、複数の中間流路板 113及び出口板 1 12は、隔壁 14L (14R)の連通穴 115内に図 5に明らかなように積層配置され、リテーナ（不図示）を介して固定される。このとき、入口穴 11 laと流路穴 113a及び流路穴 114aの位相（平面位置）を一致させ、出口穴 112aと流路穴 113b及び流路穴 11 4aの位相（平面位置）を一致させる。曲折流路は、入口穴 11 laから複数の流路穴 1 13a (流路穴 114a)を経て出口板 112と中間流路板 113の間を通り流路穴 113bに至る流路、入口穴 11 laから入口板 111と中間流路板 113の間を通り流路穴 113bに至る流路、入口穴 11 laから隣り合う中間流路板 113の間 (スぺーサ板 114の流路穴 114a)を通り流路穴 113bに至る流路に大別され、流路穴 113bは出口穴 112aに連通している。これらの流路は、流路断面積が変化しないように、板厚及び流路穴の大きさを設定する。流路穴 114a内の橋絡部 114bは、流路断面積の変化を極小にする目的でち用いることがでさる。 [0033] 以上の整流絞り 100によると、入口板 111の入口穴 111aから出口板 112の出口穴 1 12aに至る十分長い流路 (層流流路)を確保することができ、圧力変動を小さくすることができる。そのため、第 1の実施形態のオリフィス 18L (18R)よりも安定した層流を得ることができる。すなわち、不確定うず、衝撃波、境界層剥離ポイント変動、よどみなどを抑えることができる。図示例では、入口板 111、出口板 112、中間流路板 113 及びスぺーサ板 114を平面円形とし、各板の穴形状を長円形としたが、これらの平面形状には自由度がある。各板は、金属板の他、榭脂板、セラミック板、ゴム板等の材質力形成可能である。

[0034] 以上の整流絞り 100は、入口板 111、中間流路板 113、出口板 112を各 1枚づっ用いて、最も単純な構成とすることもできる。

[0035] 図 9は、整流絞り 100の別の実施形態を示している。この実施形態の整流絞り 100A は、 3種類（2種類)の板材だけで構成されて!、る。入口板 111、出口板 112及びスぺーサ板 114は、第一の実施形態と同一であり、第一の中間流路板 111 Aと第二の中間流路板 112Aは、入口板 111と出口板 112と同一形状をなしていて、それぞれ流路穴 l l lAa、 112Aaを有している。

[0036] この整流絞り 100Aは、入口板 111の上に、スぺーサ板 114、第二中間流路板 112 A、スぺーサ板 114、第一中間流路板 111 A、スぺーサ板 114、第二中間流路板 11 2Aと交互に重ね、スぺーサ板 114上に出口板 112を重ねて配置する。入口穴 11 la と流路穴 111 Aa、出口穴 112aと流路穴 112Aaはそれぞれ平面的に同じ位置とし、入口穴 11 laと出口穴 112aの平面位置は異ならせる。この実施形態では、曲折流路は、入口穴 l l la、流路穴 112Aa、流路穴 l l lAa、の j噴にジグザグ状に形成され、最終的に出口穴 112aに至る。この実施形態では、出口穴 112aの位相（平面位置）は、入口穴 11 laと一致させてもよい。

[0037] 以上の整流絞り 100Aによると、入口板 111の入口穴 11 laから出口板 112の出口穴 112aに至るさらに十分長、流路 (層流流路）を確保することができる。

[0038] 流路断面積は、図 5ないし図 8の例では中間流路板 113とスぺーサ板 114の板厚及び流路穴 113a、 113b及び流路穴 114aの径に依存し、図 9の例では第一、第二の中間流路板 111 A、 112Aとスぺーサ板 114の板厚及び流路穴 l l lAa、 112Aa及び流路穴 114aの径に依存する。これらは、用途に応じ適宜定めることができ、本実施形態の構成によれば、スぺーサ板の板厚管理により、数 m程度の狭い隙間を安定して実現することができる。

[0039] 図 10は、さらに別の整流絞り 100Bの実施形態を示している。この整流絞り 100Bは、平板状の下ディスク 121と、円形入口穴 122aを有する上ディスク 122の間に、十字状のスぺーサ 123を挟着したもので、円形入口穴 122aの径は、十字状スぺーサ 12 3の中心十字状部の大きさより十分大きぐ円形入口穴 122aから入った空気は、十字状スぺーサ 123で周囲に拡げられ、下ディスク 121上を通って出て行く。この整流絞り 100Bによると、十字状スぺーサ 123によって形成される隙間を通る流路が急拡大されないため、不確定うず、衝撃波、境界層剥離ポイント変動、よどみなどを抑え、層流流路を確保することができる。

[0040] フラッパアッシー移動機構は、軸線 O上を直動する構成であることが良ぐ手動、空気圧駆動、油圧駆動、および圧電素子駆動などが可能である。制御性、低コスト化および省スペース化を考慮すると、電磁駆動機構が好適であり、永久磁石とコイルの位置関係は、上記実施形態の電磁駆動機構のようにフラッパアッシー側に永久磁石、固定側にコイルを配置する構成が良い。一対のコイルは、互いに逆方向に巻かれて、一連の導電線力なる複合コイルまたは 2つの独立するコイルであって、互いに電流が逆方向に流れるように配置する構成であっても良い。なお、本発明の流体制御弁に整流絞り 100、 100A、 100Bを用いると、一対の吸排ポートに供給する加圧空気の圧力変動を小さくすることができるため、高精度で安定性の良い制御が可能になる

[0041] 図 11は、図 4に示した流体制御弁を三方弁として使用する態様を示している。この使用態様では、ポート 16aLと 17aLを入口ポートとし、排気ポート室 21Lと 21Rを連通させ、排気ポート 15aLと 15aRを出口ポートとし、ポート 17aRと 16aRを大気ポートとしている。制御ポート 17aLと制御ポート 17aRは、閉じてもよい。この三方弁の使用態様によると、フラッパアッシー 30が中立位置から図の右方に移動すると、入口側ノズル通路 19Lとフラッパ 31L (開閉制御面 32L)との距離力出口側ノズル通路 19Rとフラッパ 31R (開閉制御面 32R)との距離より相対的に大きくなる結果、ポート 17aRと 16aLに流出する流量が少なくなるので、排気ポート 15aLと 15aRの圧力を上昇させることができる。フラッパアッシー 30が図の左方にフルストロークすると、入口ポートと出口ポートの圧力が等しくなる。

産業上の利用可能性

本発明の流体制御弁によると、圧力機器の一対の吸排ポートに対する圧力を一方で上昇させたとき、他方ではその上昇に応じて圧力が下降するように高精度に制御することができ、各種圧力機器用の流体制御弁として好適である。

Claims

請求の範囲

[1] 加圧空気の供給を受ける一対の供気ポート室；

この一対の供気ポート室と対をなす、圧力機器に接続すべき一対の制御ポート室；各供気ポート室と制御ポート室を連通させる一対の流路絞り；

上記一対の制御ポート室をそれぞれ大気に連通させる一対のノズル通路；この一対のノズル通路の開口端に対向する一対の開閉制御面を有し、該一対のノズル通路の間を移動可能なフラッパアッシー；及び

このフラッパアッシーを移動させ、上記一対のノズル通路の開口端とフラッパアツシ一の一対の開閉制御面との距離を一方で増加させ他方で減少させるフラッパアツシ一移動機構；

を有することを特徴とする流体制御弁。

[2] 請求項 1記載の流体制御弁にぉ、て、上記フラッパアッシーは、周縁部を固定したフラッパと、このフラッパの中心部に一体に設けた上記一対の開閉制御面とを備えている流体制御弁。

[3] 請求項 2記載の流体制御弁において、上記フラッパアッシーのフラッパは該フラッパアッシーの両端部に一対が備えられており、該一対のフラッパに一体にそれぞれ一対のノズル通路の開口端に対向する開閉制御面が設けられている流体制御弁。

[4] 請求項 1ないし 3のいずれ力 1項記載の流体制御弁において、上記流路絞りはオリフイスからなって!/、る流体制御弁。

[5] 請求項 1ないし 3のいずれ力 1項記載の流体制御弁において、上記流路絞りは、供気ポート室側の入口穴を有する入口板;制御ポート室側の出口穴を有する出口板；及びこの入口板と出口板との間に交互に積層された複数のスぺーサ板と中間流路板;を備え、この中間流路板とスぺーサ板は、上記入口板の入口穴と出口板の出口穴との間に該中間流路板の表面に沿う曲折流路を形成する流路穴を備えている整流絞りからなって!/、る流体制御弁。

[6] 請求項 1な!、し 5の、ずれ力 1項記載の流体制御弁にぉ、て、上記フラッパアッシー移動機構は、電磁駆動機構力なって、る流体制御弁。

[7] 請求項 6記載の流体制御弁にぉ、て、上記電磁駆動機構は、フラッパアッシーに固定した永久磁石と、この永久磁石との間で電磁作用を生じさせ該フラッパアッシーを移動させる固定コイルと力なって、る流体制御弁。

[8] 請求項 6記載の流体制御弁において、上記永久磁石は円柱状をなし、上記フラッパアッシーは上記開閉制御面を有する一対のフラッパを備えていて、この一対のフラッパの中心部間が、該円柱状永久磁石と該円柱状永久磁石の両端部に位置するマグネットヨークとを含む接続部材によって接続されており、この円柱状永久磁石及び一対のマグネットヨークの外囲に、上記一対のフラッパの中間位置から対称に配置される一対の固定コイルと、この固定コイルの両側および外囲に位置するコイルヨークとから構成され、上記コイルヨークのフラッパ側端面は、上記固定コイルへの非通電状態で、上記一対のマグネットヨークの外側端面より外側に位置し、かつ、上記一対の固定コイルには、互いに逆方向に電流が流れるように制御される流体制御弁。

[9] 請求項 6または 7記載の流体制御弁において、上記フラッパアッシーは、上記一対のノズル通路の開口端面に直交する直線方向に移動する流体制御弁。