JP2001006928A

JP2001006928A - 流量調節弁

Info

Publication number: JP2001006928A
Application number: JP11171537A
Authority: JP
Inventors: Tokio Sugi; 時夫杉; Kunio Okumura; 邦夫奥村
Original assignee: TOKYO MAGNET ENG KK; Tokyo Keiso Co Ltd
Current assignee: TOKYO MAGNET ENG KK; Tokyo Keiso Co Ltd
Priority date: 1999-06-17
Filing date: 1999-06-17
Publication date: 2001-01-12
Anticipated expiration: 2019-06-17
Also published as: JP3426160B2

Abstract

(57)【要約】【課題】流量の制御範囲が大で、大流量用にも使用で
き、応答が速くて、流量の高速制御ができ、弁体を駆動
する力は小なる電流で強力に得ることができ、したがっ
て省エネルギー化に資することができ、かつ、構造が簡
単で製造コストの低減を期せる流量調節弁を提供する。【解決手段】或る間隔で対峙する第１電磁石４Ａと第２
電磁石４Ｂを備え、両電磁石の相い対する側に対向する
面どうしが異極となるよう着磁された第１不動磁石５
Ａ、第２不動磁石５Ｂを設け、前記第１、第２電磁石の
中心部及び第１、第２不動磁石の中心部を通る軸線部を
フリー移動できる被駆動体たる弁棒６の第１、第２不動
磁石間に当たる部位に、第１、第２の不動磁石と相対す
る面がそれぞれ同極となるよう着磁された従動磁石５Ｃ
を固定してなり、第１及び第２の電磁石もしくは一方の
電磁石へ任意の極性及び強さの直流電流を供給すること
により、弁棒６が従動磁石５Ｃに与えられる磁力によっ
て軸線方向に所要量正逆移動させられて、弁棒と一体を
なす弁体１６によって流路の一部の流路面積が設定され
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は新規な駆動装置を備
える流量調節弁に関する。

【０００２】

【従来技術とその問題点】コイルに電流を供給して磁力
を発生させ、この磁力を磁性体からなる従動体に作用さ
せて可動部を駆動するいわゆる電磁式駆動装置がさまざ
まな用途に利用されており、その代表的な例にソレノイ
ド（電磁石）がある。

【０００３】ソレノイドは、図１２のようにコイル５
４、鉄心（ヨーク）５１、被駆動体５２および復帰バネ
（リターンスプリング）５３によって構成され、コイル
５４に直流電流を流すと鉄心５１に磁力が発生し、磁性
体で作られた被駆動体５２が磁気吸引力によって駆動さ
れる。コイル５４の直流電流をＯＦＦにすると鉄心５１
の磁力が無くなり、被駆動体５２は復帰バネ５３の復元
力によって元の位置に戻る。

【０００４】通常のソレノイドの被駆動体は、コイルに
電流が流れているとき、流れていないときの二つの安定
位置の何れかで静止するように作られ、被駆動体の位置
を連続的に制御することはできないが、鉄心が発生する
磁力と復帰バネの復元力を釣り合わせることによって、
被駆動体の位置を限られた範囲内において連続的に制御
することも可能である。

【０００５】図１３はこの連続的に位置制御のできるソ
レノイドの適用例で、コイル５４の電流値を増減させる
ことによってバルブ５５の流路の間隙を変え、通過する
流体の流量を制御する流量調節弁である。

【０００６】同図において、コイル５４に電流を流さな
いときには、被駆動体である弁棒５６の弁体５７は皿バ
ネ（ダイヤフラム）５８の力で流路を塞いでおり、流量
は０であるが、コイルに電流を流すとコイルと鉄心５１
よりなるソレノイドの吸引力によって弁体５７に上向き
の力が作用し、弁体が上方に変位して弁坐５９と弁体の
間が開き、流体が流れる。このときの流量は弁体の変位
が大きくなるにつれて増加する。一方、弁体５７が上方
に変位すると、弁体には皿バネ５８による下向きの復元
力が働き、この復元力は弁体の変位量にほぼ比例して大
きくなる。

【０００７】したがって弁体５７はソレノイドの吸引力
と皿バネ５８の復元力が釣り合う位置で静止し、コイル
５４の電流が大きくなるにつれて弁体５７の変位は大き
くなり、弁坐５９と弁体５７の間を流れる流体の流量も
コイル５４の電流とともに増加する。したがってコイル
５４の電流を調節することによって流量を制御すること
ができる。

【０００８】しかしながら、ソレノイドの吸引力が図１
４に示されるように吸引される磁性体（被駆動体）との
距離の二乗に反比例するのに対し、皿バネの復元力は変
位の一乗に比例するので、両者が安定的に釣合う弁体の
位置は狭い範囲に限定され、弁体の可動範囲（ストロー
ク）の大きい流量調節弁を実現することは困難である。

【０００９】一般にストロークの小さい流量調節弁にお
いては、流体が弁坐と弁体の間を流れる際に生じる圧力
損失が大きく、流量調節弁に流入する流体の圧力（供給
圧）が十分高くないと必要な流量を得ることができな
い。通常圧力損失は流量の二乗に比例して増大するの
で、圧力損失が供給圧に達すると、それ以上の流量を得
ることは物理的に不可能になるからである。

【００１０】このことは流体が気体の場合よりも、圧縮
性がなく、供給圧を高くしにくい液体の場合に特に問題
となる。前述のソレノイドを用いた流量調節弁も、実用
例の殆どは気体用であり、液体に使用されているケース
は極めて少ない。

【００１１】ストロークの大きい流量調節弁を実現する
手段の代表例には図１５のようなモータ式がある。同図
はモータＭでネジ軸６０を回転させてめねじ体６１を上
下動させ、ねめじ体と一体に設けた弁棒６２の下端弁体
６３を上下に駆動する方式で、平板を上下させるゲート
弁や円錐状のニードル弁などに適用される。また、貫通
孔のある球を回転させるいわゆるボール弁には回転式の
駆動装置が使用されるなど、各種の弁がモータと組合わ
されて流量調節弁として実用に供せられている。

【００１２】モータ式は十分なストロークが得られる
が、前述のソレノイド式と比較すると弁の開度を変える
のに時間がかかるため、流量制御に使用する場合は応答
が遅いという問題があり、また、一般に構造が複雑でコ
ストも高く、耐用年数も比較的短い。

【００１３】これらの他に、図１６のような空心コイル
・アンド・マグネット式も小流量用の流量調節弁に使用
されている。この方式は鉄心のないコイル（空心コイ
ル）６４の内部に、長さ方向に着磁されたマグネット６
５を内蔵する弁棒６６を長さ方向に可動に支持し、コイ
ルに電流を流してマグネットに駆動力を与え、弁棒６６
を上下動させて、弁体６７と弁坐６８間を流れる流体の
流量を制御するもので、 (a) 全長の長いコイルを用いればマグネットのストロー
クを大きくできる (b) 応答が速く、かつ構造が簡単でコストが安い (c) 電流にほぼ比例した駆動力が得られるため板バネと
の組合せによる位置制御が易しいなど多くの長所を備えている。

【００１４】しかし、ソレノイドに比べて同じ駆動力を
得るのに要する電流が著しく大きく、用途は駆動力の小
さい小流量用の流量調節弁に限られるというデメリット
がある。

【００１５】以上のような現状において、特に液体の流
量調節用として、ソレノイド式に比べて大きなストロー
クが得られ、モータ式に比べて応答が速く、かつ構造が
簡単でコストが安く、空心コイル・アンド・マグネット
式に比べて駆動力が大きい流量調節弁の実現が望まれて
いる。

【００１６】

【本発明の目的】本発明の目的とするところは、ソレノ
イド式に比べて大きなストロークが得られ、モータ式に
比べて応答が速く、かつ構造が簡単でコストが安く、空
心コイル・アンド・マグネット式に比べて駆動力が大き
い新規な直線駆動装置により流量の制御範囲が大で、大
流量用にも使用でき、応答が速くて、流量の高速制御が
でき、弁体を駆動する力は小なる電流で強力に得ること
ができ、したがって省エネルギー化に資することがで
き、かつ、構造が簡単で製造コストの低減を期せる流量
調節弁を提供することにある。

【００１７】

【本発明の構成】本発明に係る流量調節弁は、或る間隔
で対峙する第１電磁石と第２電磁石を備え、両電磁石の
相い対する側に対向する面どうしが異極となるよう着磁
された第１不動磁石、第２不動磁石を設け、前記第１、
第２電磁石の中心部及び第１、第２不動磁石の中心部を
通る軸線部をフリー移動できる被駆動体たる弁棒の第
１、第２不動磁石間に当たる部位に、第１、第２の不動
磁石と相対する面がそれぞれ同極となるよう着磁された
従動磁石を固定してなり、第１及び第２の電磁石もしく
は一方の電磁石へ任意の極性及び強さの直流電流を供給
することにより、弁棒が従動磁石に与えられる磁力によ
って軸線方向に所要量正逆移動させられて、弁棒と一体
をなす弁体によって流路の一部の流路面積が設定される
ようにしてある。

【００１８】その実施態様の一例は、両端部に第１電磁
石、第２電磁石を備える支持体の両端部内側に、互いに
相い対する面が異極となるよう着磁された第１不動磁
石、第２不動磁石を設け、前記第１、第２電磁石の中心
部及び第１、第２不動磁石の中心部のガイド孔にフリー
に挿通した被駆動体たる弁棒の第１、第２不動磁石間に
当たる部位に、第１、第２の不動磁石と相対する面がそ
れぞれ同極となるよう着磁された従動磁石を固定してな
り、第１及び第２の電磁石もしくは一方の電磁石へ任意
の極性及び強さの直流電流を供給することにより、弁棒
が従動磁石に与えられる磁力によって軸線方向に所要量
正逆移動させられて、弁棒と一体をなす弁体によって流
路の一部の流路面積が設定される構成のものとしてあ
る。

【００１９】また、他の実施態様の一例は、弁箱の両端
部に流入管と流出管とが接続され、流入管の周りに第１
電磁石及び第１不動磁石を、流出管の周りに第２電磁石
及び前記第１不動磁石とは互いに相対する面が異極とな
るよう着磁された第２不動磁石を設け、弁箱内に、前記
第１、第２の不動磁石と相対する面がそれぞれ同極とな
るよう着磁された従動磁石を設け、第１及び第２の電磁
石もしくは一方の電磁石へ任意の極性及び強さの直流電
流を供給することにより、従動磁石に与えられる磁力に
よって弁体が流入管・流出管の軸線方向に所要量正逆移
動させられて、弁体によって流路の一部の流路面積が設
定される構成のものとしてある。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の流量調節弁を図１〜１１に示
す実施例により説明する。図１において符号９は本発明
に係る流量調節弁の駆動部たる直線駆動装置を示す。同
駆動装置は、上下両端部にフランジ１ａ、１ｂを有する
筒状等の支持体１の前記上下のフランジ１ａ、１ｂに、
中心にそれぞれ縦ガイド孔３ａ、３ｂを有する空心ヨー
ク（鉄心）３Ａ、３Ｂのまわりにコイル２Ａ、２Ｂを有
する上下一対の第１電磁石４Ａと第２電磁石４Ｂを設け
てある。

【００２１】支持体１の上下両端部の内側には、前記空
心ヨークの縦ガイド孔３ａ、３ｂと一致する縦ガイド孔
５ａ、５ｂをそれぞれ中心に有し、各縦ガイド孔を通る
軸線方向に着磁された上下一対の第１不動磁石５Ａと第
２不動磁石５Ｂを異極どうしが相対するように固定して
ある。

【００２２】しかして上下の電磁石のヨークのガイド
孔、上下の第１、第２不動磁石のガイド孔へ被駆動体た
る弁棒６をフリーに挿通し、この弁棒６には上下の第
１、第２不動磁石の間に位置する箇所に従動磁石５Ｃを
固定してあり、しかも従動磁石５Ｃは上下の第１、第２
不動磁石と相反発するよう上下の第１、第２不動磁石と
互いに同極が向き合うように着磁されて弁棒に固定され
ていて、従動磁石５Ｃが上下の第１、第２不動磁石間の
中点部付近の部位に保持されるようにしてある。

【００２３】このように構成された駆動装置の第１、第
２の電磁石の各コイルに、図３に示すように正逆の切替
えが可能な直流電源７Ａ、７Ｂを接続して適当な電流を
供給することにより、被駆動体たる弁棒６に以下のよう
な動作をさせることができる。

【００２４】まず、電流を全く流さないときには、従動
磁石５Ｃには第１、第２の不動磁石５Ａ、５Ｂからの反
発力が作用し、図２のように従動磁石５Ｃは可動範囲の
中間の位置に保持される。

【００２５】つぎに一方の第１電磁石４Ａのコイル２Ａ
に従動磁石５Ｃと反発する磁力を発生する電流を、他方
の第２電磁石４Ｂのコイル２Ｂに従動磁石５Ｃと吸引し
合う磁力を発生する電流を同時に供給すると、従動磁石
５Ｃには下向きの力が働き、第２不動磁石５Ｂの反発力
に打ち勝って従動磁石５Ｃは図３のように可動範囲の下
方に移動する。

【００２６】このときの第２不動磁石５Ｂの反発力は従
動磁石５Ｃが下方に移動するにつれて大きくなるので、
２つのコイル２Ａ、２Ｂの電流の大きさを加減すること
によって従動磁石５Ｃが下方に移動する量を調節するこ
とができる。なお、以上の動作は磁石の反発、吸引力に
よるものであるから、応答速度はソレノイドと同様に高
速である。

【００２７】電流の向きを逆にし、第１電磁石４Ａのコ
イル２Ａには従動磁石５Ｃと吸引し合う磁力を発生さ
せ、第２電磁石４Ｂのコイル２Ｂには従動磁石５Ｃと反
発する磁力を発生させると、従動磁石５Ｃには上向きの
力が働き、第１不動磁石５Ａの反発力に打ち勝って従動
磁石５Ｃは図４のように可動範囲の上方に移動する。こ
の場合も電流の大きさを加減することによって従動磁石
５Ｃが上方に移動する量を調節することができる。

【００２８】第１、第２の電磁石に上記のような互いに
逆向きの磁力を発生させるには、２個の電源を用い、電
磁石４Ａ、４Ｂにそれぞれ独立に電流を供給すればよい
が、図５のように電磁石４Ａ、４Ｂのコイル２Ａ、２Ｂ
を磁力が互いに逆向きになるように直列に接続し、切換
スイッチ８を有する一個の電源７で上記の動作をさせる
ことも可能である。

【００２９】但しこの場合はコストは安くなるが、２個
のコイルを流れる電流の強さは常に等しく、それぞれの
コイルに互いに強さの異なる電流を流すことはできない
ので、使用条件に応じた最適な制御を行う上では制約が
多い。

【００３０】なお、従動磁石５Ｃと電磁石のヨークの間
に働く吸引力によって従動磁石５Ｃと不動磁石５Ａ、５
Ｂが密着状態にならないように、不動磁石にはこの吸引
力より大きい反発力を発生するものを使用する。

【００３１】図６は上記駆動装置の実験データの一例で
あるが、直径４０ｍｍ、厚さ６ｍｍの従動磁石を用い、
最大駆動力２kg以上（電流１．５Ａ）、ストローク７ｍ
ｍ以上の性能が得られている。

【００３２】この実験データに示されるように、駆動装
置は電磁石４Ａ、４Ｂに十分大きな磁力を出し得るもの
を用いれば、上記の動作において、被駆動体に十分な移
動量と大きな駆動力を与えることが可能である。

【００３３】本発明の流量調節弁は上述した駆動装置を
備えるものとしてある。図１において符号１０は流量調
節弁の弁箱を、１１は弁箱カバーを示し、直線駆動装置
９は弁箱カバー１１上に固定されている。弁箱１０には
流体の流入管１２ａと同流出管１２ｂが形成されてお
り、流入管と流出管とはポート１３で接続されていて、
ポートに弁坐１４が形成されている。

【００３４】しかして直線駆動装置９の被駆動体たる棒
体、すなわち弁棒６は弁箱カバー上蓋の孔１５を貫通し
て下部のテーパー状弁体１６が弁坐１４に臨んでおり、
弁体の弁坐への臨入度（嵌入度）で流入管から流出管へ
の流路の一部の流路面積（開度）が規制・設定され、流
量が制御される。なお、符号１７はポートの開口上部を
塞いでいるベローズで、下部が弁箱１０の上蓋に固定さ
れ、上部はそれを貫通する弁棒６に固着されている。

【００３５】この流量調節弁の駆動装置９の第１、第２
の電磁石に図３や図４の電源、あるいは図５のごとき切
換スイッチ８付きの電源７を接続し、第１、第２の電磁
石への電流の供給を加減することにより、弁棒の従動磁
石５Ｃへ磁力による上下方向の移動力を与えて、弁体１
６の弁坐１４への嵌入度を設定することにより流量調節
ができる。

【００３６】また、この流量調節弁は図１に示すように
流量計１８と制御ユニット１９とにより流量自動調節装
置にできる。すなわち、上記の流量調節弁の流路には、
電気的な流量信号を連続的に出力する流量計１８を設
け、この流量計による実測流量信号によって流量調節弁
を通過する流体の量を知ることができるようになってい
る。

【００３７】また、制御ユニット１９は、流量計よりの
実測流量信号Ｑと、外部から入力される設定流量信号Ｐ
とを読み取り、両者が一致するように第１、第２電磁石
への直流電源７Ａ、７Ｂに制御信号を送って流量調節弁
を制御する。

【００３８】すなわち、流量計の流量信号をＱcc／min
、設定流量信号をＰcc／min とすると、Ｑ＞Ｐのとき
には、第１電磁石４Ａのコイル２Ａに従動磁石５Ｃと反
発する磁力を発生する電流を、第２電磁石４Ｂのコイル
２Ｂに従動磁石５Ｃと吸引し合う磁力を発生する電流を
同時に供給することにより従動磁石５Ｃに下向きの力が
与えられて、弁体１６が下方に移動させられ、Ｑが減少
させられる。

【００３９】Ｑ＜Ｐのときには、第１、第２の電磁石４
Ａ、４Ｂに供給する電流の向きがそれぞれ逆になり、従
動磁石５Ｃに上向きの力が与えられて、弁体１６は上方
に移動させられ、Ｑが増加させられる。

【００４０】このとき従動磁石５Ｃに与えられる力の強
さは、２つの電磁石４Ａ、４Ｂに供給する電流の強弱に
よって調節できるので、ＱとＰの差によって最適な電流
値を選ぶことにより、速やかにＱをＰに一致させること
ができる。

【００４１】流量調節弁には図１に示すもののほかに各
種のタイプのものがあるので、その例を図７〜１１に示
すもので説明する。

【００４２】図７はダブルポートタイプの流量調節弁
で、流入管２０ａ、流出管２０ｂを有する弁箱２１内に
二つのポート２２ａ、２２ｂがあり、したがって各ポー
トの弁坐２３ａ、２３ｂに対応する二つの弁体２４ａ、
２４ｂが一本の弁棒２５に設けられている。

【００４３】しかして弁箱２１には前述した直線駆動装
置９が設けられていて、同駆動装置９により弁棒２５が
軸線方向（図では上下方向）に作動させられ、弁坐と弁
体との周隙が規制されて流量調節がなされる。このタイ
プの流量調節弁は流路に生じる圧力差が二つの弁体２４
ａ、２４ｂに互いに逆向き作用するので、弁を開くのに
必要な力が小さくてすむという利点がある。

【００４４】図８は流入管２０ａと流出管２０ｂとが直
交するダイヤフラムタイプの流量調節弁で、弁棒２５の
弁体２４をダイヤフラム２６に取り付けてあり、弁箱２
１には前述の直線駆動装置９を設けてあって、同装置に
より弁棒２５が直線移動（図では上下動）させられて流
入管２０ａ内端の弁坐２３と弁体２４間のギャップが規
制され、流路の流量調節がなされる。

【００４５】図９は流入管２０ａと流出管２０ｂとが同
一直線上にあるダイヤフラムタイプの流量調節弁で、弁
棒２５の弁体２４をダイヤフラム２６に取り付けてあ
り、弁箱２１には前述の直線駆動装置９を設けてあっ
て、同装置により弁棒２５が直線移動（図では上下動）
させられて弁坐２３と弁体２４間のギャップが規制さ
れ、流路の流量調節がなされる。

【００４６】図１０は弁棒２５先端（図では下端）の弁
体２４が上下動することにより流量調節するゲート弁
で、流路管２０の上部に前述の直線駆動装置９を設けて
あり、同装置により弁棒２５を作動させて、流入管から
流出管に至る流路内の一部の流路面積を弁体２４によっ
て規定するようにしてある。

【００４７】図１１は弁箱を上下から挟むように第１電
磁石及び第１不動磁石と第２電磁石及び第２不動磁石を
設けたタイプである。流入管２０ａは弁箱２１の下面に
接続され、流出管２０ｂは弁箱２１の上面に接続されて
おり、流入管２０ａの周りにはコイル２Ａと鉄心３Ａよ
りなる第１電磁石４Ａ及び第１不動磁石５Ａが、流出管
２０ｂの周りにはコイル２Ｂと鉄心３Ｂよりなる第２電
磁石４Ｂ及び前記第１不動磁石とは異極をなす第２不動
磁石５Ｂが設けられている。

【００４８】しかして流入管、弁箱、流出管を通る一本
の弁棒２５があり、弁箱２１内には前記上下の第１、第
２の不動磁石と相対する面の極がそれぞれ同極となるよ
う着磁された従動磁石５Ｃを弁棒に固定して設けてあ
り、弁棒の下端には流入管の上端弁坐２３に対応する弁
体２４を設けてある。また、弁棒の上側部には流出管２
０ｂの内壁に接するガイド２７を設けてある。電流の供
給手段は、図３乃至図５のものと同様である。

【００４９】なお、図７及び図１０中の符号２８はシー
ル体を、図１１中の符号２９は従動磁石のシールドカバ
ーを示し、ともに耐薬品性のある合成樹脂製とか金属製
のものとしてある。

【００５０】

【発明の効果】上述のように、本発明の流量調節弁で
は、弁棒が大きな移動範囲（ストローク）と大きな駆動
力を得ることができ、かつ電流に比例した駆動力がほぼ
瞬時に発生する。

【００５１】したがって、流量の制御範囲が大で、大流
量用にも使用でき、応答が速くて、流量の高速制御がで
き、弁体の駆動力は小なる電流で強力に得ることがで
き、したがって省エネルギー化に資することができ、か
つ、構造が簡単で製造コストの低減を期せるという利点
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る流量調節弁の一例を示す縦断面
図。

【図２】本発明の流量調節弁の駆動部たる直線駆動装置
の一例を示す縦断面図。

【図３】同直線駆動装置の作動状態の一例を示す縦断面
図。

【図４】同直線駆動装置の作動状態の他の例を示す縦断
面図。

【図５】同直線駆動装置の他の例を示す縦断面図。

【図６】電磁石への供給電流と従動磁石の駆動力及び変
位の関係を示す図。

【図７】本発明に係る流量調節弁の他の例を示す縦断面
図。

【図８】本発明に係る流量調節弁のさらに他の例を示す
縦断面図。

【図９】本発明に係る流量調節弁のさらに他の例を示す
縦断面図。

【図１０】本発明に係る流量調節弁のさらに他の例を示
す縦断面図。

【図１１】本発明に係る流量調節弁のさらに他の例を示
す、(a) は縦断面図、(b) は流出管部の拡大横断面図。

【図１２】従来の流量調節弁の駆動装置を示す縦断面
図。

【図１３】従来の流量調節弁の縦断面図。

【図１４】電磁石への供給電流と被駆動体の変位及び力
の関係、及び皿ばねの変位と復元力の関係を示す図。

【図１５】ゲート弁の従来の駆動装置を示す縦断面図。

【図１６】従来の流量調節弁の縦断面図。

【符号の説明】

１・・・支持体１ａ、１ｂ・・・フランジ２Ａ、２Ｂ・・・コイル３Ａ、３Ｂ・・・空心ヨーク（鉄心）３ａ、３ｂ・・・縦ガイド孔４Ａ・・・第１電磁石４Ｂ・・・第２電磁石５Ａ・・・第１不動磁石５Ｂ・・・第２不動磁石５Ｃ・・・従動磁石６・・・弁棒７Ａ、７Ｂ・・・直流電源８・・・切換スイッチ９・・・直線駆動装置１０・・・弁箱１１・・・弁箱カバー１２ａ・・・流入管１２ｂ・・・流出管１３・・・ポート１４・・・弁坐１５・・・弁箱カバーの孔１６・・・弁体１７・・・ベローズ１８・・・流量計１９・・・制御ユニット２０ａ・・・流入管２０ｂ・・・流出管２１・・・弁箱２２ａ、２２ｂ・・・ポート２３・・・弁坐２３ａ、２３ｂ・・・弁坐２４・・・弁体２４ａ、２４ｂ・・・弁体２５・・・弁棒２６・・・ダイヤフラム２７・・・ガイド２８・・・シール２９・・・シールドカバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3H106 DA05 DA12 DA25 DA26 DA32 DB02 DB12 DB23 DB32 DC02 DC17 DD02 DD03 EE22 5E048 AB01 AC05 AC06 AD07 BA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】或る間隔で対峙する第１電磁石と第２電磁
石を備え、両電磁石の相い対する側に対向する面どうし
が異極となるよう着磁された第１不動磁石、第２不動磁
石を設け、前記第１、第２電磁石の中心部及び第１、第
２不動磁石の中心部を通る軸線部をフリー移動できる被
駆動体たる弁棒の第１、第２不動磁石間に当たる部位
に、第１、第２の不動磁石と相対する面がそれぞれ同極
となるよう着磁された従動磁石を固定してなり、第１及
び第２の電磁石もしくは一方の電磁石へ任意の極性及び
強さの直流電流を供給することにより、弁棒が従動磁石
に与えられる磁力によって軸線方向に所要量正逆移動さ
せられて、弁棒と一体をなす弁体によって流路の一部の
流路面積が設定されるようにした流量調節弁。
【請求項２】両端部に第１電磁石、第２電磁石を備える
支持体の両端部内側に、互いに相い対する面が異極とな
るよう着磁された第１不動磁石、第２不動磁石を設け、
前記第１、第２電磁石の中心部及び第１、第２不動磁石
の中心部のガイド孔にフリーに挿通した被駆動体たる弁
棒の第１、第２不動磁石間に当たる部位に、第１、第２
の不動磁石と相対する面がそれぞれ同極となるよう着磁
された従動磁石を固定してなり、第１及び第２の電磁石
もしくは一方の電磁石へ任意の極性及び強さの直流電流
を供給することにより、弁棒が従動磁石に与えられる磁
力によって軸線方向に所要量正逆移動させられて、弁棒
と一体をなす弁体によって流路の一部の流路面積が設定
されるようにした流量調節弁。
【請求項３】弁箱の両端部に流入管と流出管とが接続さ
れ、流入管の周りに第１電磁石及び第１不動磁石を、流
出管の周りに第２電磁石及び前記第１不動磁石とは互い
に相対する面が異極となるよう着磁された第２不動磁石
を設け、弁箱内に、前記第１、第２の不動磁石と相対す
る面がそれぞれ同極となるよう着磁された従動磁石を設
け、第１及び第２の電磁石もしくは一方の電磁石へ任意
の極性及び強さの直流電流を供給することにより、従動
磁石に与えられる磁力によって弁体が流入管・流出管の
軸線方向に所要量正逆移動させられて、弁体によって流
路の一部の流路面積が設定されるようにした流量調節
弁。