WO2006041058A1 - 超音波診断装置 - Google Patents

超音波診断装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2006041058A1
WO2006041058A1 PCT/JP2005/018698 JP2005018698W WO2006041058A1 WO 2006041058 A1 WO2006041058 A1 WO 2006041058A1 JP 2005018698 W JP2005018698 W JP 2005018698W WO 2006041058 A1 WO2006041058 A1 WO 2006041058A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
ultrasonic
signal
diagnostic apparatus
probe
bias voltage
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/018698
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hiroshi Kanda
Mitsuhiro Oshiki
Ryuichi Shinomura
Original Assignee
Hitachi Medical Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Medical Corporation filed Critical Hitachi Medical Corporation
Priority to JP2006540933A priority Critical patent/JP5179058B2/ja
Priority to EP05793047A priority patent/EP1806098A4/en
Priority to US11/577,334 priority patent/US8465430B2/en
Publication of WO2006041058A1 publication Critical patent/WO2006041058A1/ja

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/89Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • G01S15/8906Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
    • G01S15/8979Combined Doppler and pulse-echo imaging systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/52017Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00 particularly adapted to short-range imaging
    • G01S7/52023Details of receivers

Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic diagnostic apparatus that acquires diagnostic information relating to a subject.
  • An ultrasonic diagnostic apparatus transmits ultrasonic waves by an ultrasonic probe, receives ultrasonic waves formed by reflection of the ultrasonic waves in a living body, and receives the reflected echo signals. To provide a tomographic image in vivo.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus can provide a velocity or velocity distribution at which a reflection source in a living body such as a blood cell moves based on the Doppler effect generated in the reflected ultrasonic signal.
  • the processing flow of the reception system for the reflected ultrasonic signal is as follows: reception by an ultrasonic probe ⁇ signal processing unit by a preamplifier Amplification up to the input level ⁇ Beam forming and Doppler demodulation in the signal processor ⁇ Image formation and display.
  • the performance of the profitable device is governed by the signal-to-noise ratio of the Tsubasa reception system, because the magnitude of the transmitted signal is regulated to prevent hazards such as thermal effects in the living body.
  • the performance of the demodulator that detects the Doppler effect is effectively defined by the performance of the preamplifier.
  • the ultrasonic diagnostic equipment handles a wide bandwidth of 60% to 90%, which makes it difficult to improve the signal-to-noise ratio of the preamplifier.
  • the thermal noise of the probe is buried in the noise generated by the preamplifier.
  • Patent Document 1 proposes a capacitive probe that can be manufactured by a thin film manufacturing technique.
  • Patent Document 1 USP6,246,158B1
  • the signal-to-noise ratio of the reception system of the conventional ultrasonic diagnostic apparatus is virtually dominated by the thermal noise of the preamplifier of the signal processing unit. Improvement is desired. If the signal-to-noise ratio can be improved, in-vivo information contained in the ultrasound reflected signal received by the probe can be detected without being buried in the thermal noise of the preamplifier. This is because it is possible to display a weak signal, detect a weaker contrast agent, and detect a slower blood flow velocity of, for example, a peripheral blood vessel.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus can be brought closer to the ideal form of an ultrasonic diagnostic apparatus called an “ultrasound stethoscope”.
  • Patent Document 1 describes that a capacitive probe can be used in an ultrasonic diagnostic apparatus! Although a conventional piezoelectric ceramic vibrator is changed to a capacitive vibrator. It merely proposes to replace, and does not disclose improving the signal-to-noise ratio of the receiving system.
  • An object of the present invention is to provide a highly sensitive ultrasonic diagnostic apparatus that improves the signal-to-noise ratio of a receiving system.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic probe that transmits and receives ultrasonic waves to and from a subject, and a drive signal to the ultrasonic probe.
  • Transmitting means for supplying a signal for supplying a signal
  • receiving means for processing a signal output from the ultrasound probe for processing a signal output from the ultrasound probe
  • diagnostic information for example, blood flow
  • the ultrasonic probe is a vibration whose transmission and reception sensitivity changes according to the magnitude of the bias voltage applied by superimposing the drive signal.
  • a DC bias means for applying a DC bias to the vibrator and a modulation bias means for applying a bias voltage signal modulated based on a drive signal to the vibrator are provided.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic probe that transmits and receives ultrasonic waves to and from a subject, and a transmission that supplies a drive signal to the ultrasonic probe. And a receiving unit that processes a signal output from the ultrasound probe and calculates diagnostic information related to the subject.
  • the ultrasonic probe includes a plurality of transducers whose reception sensitivity changes according to the magnitude of an applied bias voltage.
  • the receiving unit includes a modulation bias supply unit that applies a bias voltage signal whose amplitude is modulated to the vibrator.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus when the ultrasonic wave reflected by the subject is received by the vibrator, the modulated bias voltage signal is applied to the vibrator and the sensitivity is modulated.
  • certain demodulation processing for example, phasing processing or Doppler demodulation
  • probe mixing in which a complicated demodulation electronic circuit is mounted on the probe even though the demodulation electronic circuit is not mounted on the probe.
  • the demodulation processing in the probe of the present invention is not affected by, for example, thermal noise caused by the signal processing circuit of the subsequent receiving unit, even a weak signal can be configured as diagnostic information.
  • a sensitive ultrasonic diagnostic apparatus can be provided.
  • the frequency band of the modulated bias voltage signal is set, for example, within the frequency band of the drive signal supplied to the ultrasonic probe by the transmission unit, or the same as the frequency band of the drive signal.
  • the modulation bias supply unit may be configured to shift the phase of the modulated bias voltage signal by a predetermined phase amount for each of the plurality of transducers according to the focus position at the time of reception. it can.
  • an effect equivalent to performing the phasing process in the receiving process of the vibrator can be obtained, and the phases of the output signals of the plurality of vibrators can be matched.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus transmits and receives ultrasonic waves to and from the subject.
  • the ultrasonic probe includes a vibrator. This vibrator has a pair of electrodes arranged with a gap in between, and at least one of the pair of electrodes can be displaced.
  • the pair of electrodes includes a bias voltage between the output terminal and the pair of electrodes. This is a configuration in which a bias terminal for applying is connected.
  • the receiving unit includes a modulation bias supply unit that applies a bias voltage signal, the amplitude of which is modulated, as a bias voltage to the vibrator.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic probe that transmits and receives ultrasonic waves to and from a subject, and a transmission that supplies a drive signal to the ultrasonic probe. And a receiving unit that processes a signal output from the ultrasound probe and calculates diagnostic information relating to the subject.
  • the ultrasonic probe has a vibrator for receiving ultrasonic waves, and the vibrator performs Doppler recovery processing at the time of reception. For example, the transducer modulates the reception sensitivity with time, and performs the Doppler demodulation process in the process of converting an ultrasonic signal into an electric signal.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic probe that transmits and receives ultrasonic waves to and from a subject, and a transmission that supplies a drive signal to the ultrasonic probe. And a receiving unit that processes a signal output from the ultrasound probe and calculates diagnostic information relating to the subject.
  • the ultrasonic probe includes a plurality of transducers that receive ultrasonic waves, and the plurality of transducers perform a phasing process during reception. For example, each of the plurality of transducers modulates the reception sensitivity with a predetermined phase over time, and performs the phasing process in the process of converting an ultrasonic signal into an electric signal.
  • the receiving vibrator for example, one having a characteristic that the receiving sensitivity changes according to the magnitude of the applied bias voltage is used.
  • the receiving unit can be configured to include a modulation bias supply unit that applies a bias voltage signal, the amplitude of which is modulated, to the receiving transducer as a bias voltage.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus of the present invention since the ultrasonic signal can be demodulated at the time of reception by the vibrator, a weak ultrasonic reflected signal that is not buried in the thermal noise of the amplifier is generated. It is possible to provide an ultrasonic diagnostic apparatus that detects and significantly improves the sensitivity. In addition, it is possible to contribute to a significant downsizing of the ultrasonic diagnostic apparatus by shifting the demodulation process by the electronic circuit, which has been conventionally performed in the signal processing unit, to the receiving process of the vibrator.
  • the present invention is not a probe ⁇ preamplifier ⁇ signal processing unit like a reception system of a conventional ultrasonic diagnostic apparatus, but a probe having a signal processing function instead of a signal flow ⁇ amplifier ⁇ signal processing.
  • the structure is called a part. This improves the signal-to-noise ratio of the receiving system and provides a highly sensitive ultrasonic diagnostic apparatus.
  • the signal processing function performed by the probe is beam forming Ny Doppler demodulation processing. Therefore, the main processing of the signal processing unit continued to the amplifier is limited to the sample process such as AD conversion.
  • the powering configuration uses an ultrasonic probe having a transducer whose reception sensitivity changes according to the magnitude of the bias voltage, and is received by the probe by modulating the bias voltage. This is realized by demodulating the reflected ultrasonic signal in the function of the probe itself.
  • the continuous wave Doppler method for example, when a 2 MHz ultrasonic wave is irradiated into a living body, the ultrasonic signal reflected from a moving object such as a blood flow is frequency-shifted by the Doppler effect according to the moving speed.
  • the signal of ⁇ which is a low-frequency component, can be easily extracted by the subsequent filter, and the Doppler demodulation process can be substantially executed in the probe. Since the demodulation process in this probe is performed before the amplifier, the weak noise that would have been buried by the thermal noise of the amplifier in the related art, which is not related to the thermal noise of the amplifier, is greatly improved. The noise ratio can be extracted.
  • a probe using a piezoelectric ceramic vibrator that has been used has a fixed reception sensitivity that is determined by its electromechanical coupling coefficient and geometric shape.
  • Providing means for demodulating the received signal in the receiving process of the powerful probe I can't.
  • the inventor has focused on an ultrasonic transducer that can control the sensitivity at the time of reception by the magnitude of the bias voltage. This is because in a probe including such a transducer, if the magnitude of the bias voltage itself is modulated, the received signal can be demodulated by the probe during the reception process.
  • a powerful ultrasonic transducer one using an electrostrictive material instead of piezoelectric ceramics can be used.
  • cMUT Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer
  • a vibrator using an electrostrictive material or a vibrator using a cMUT has been conventionally used with a predetermined steady noise voltage applied, and modulates the bias voltage itself. It has not been disclosed conventionally.
  • Patent Document 1 using these probes describes “DC bias voltage” or the like. In the present invention, it is important to modulate the magnitude of the bias voltage itself that determines the sensitivity of the probe, to generate a demodulation function for the probe, and to demodulate the ultrasonic reflected signal in the probe receiving process.
  • the probe is not limited to the one provided with the above-mentioned electrostrictive material vibrator or cMUT.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a schematic structure of the array-type probe 10.
  • the probe 10 has a structure of a one-dimensional array in which m strips of transducers 11-1 to 11-m (m: natural numbers such as 64 and 192) are arranged, and transducers 11-1 ⁇ : Backing layer 12 is arranged on the back of L l-m. Further, a matching layer 13 is disposed on the ultrasonic wave transmission side (upper side in FIG.
  • the transducers 11-1 to 11-m convert the transmitted electric signal into ultrasonic waves and send the ultrasonic waves into the living body, and receive the ultrasonic waves reflected in the living body and convert them into electric signals. , Form a reflection signal.
  • the backing layer 12 is sent to the back side of the transducers 11-1 to 11-m. It is arranged to absorb unnecessary ultrasonic waves and suppress unnecessary vibrations of the transducers 111-11m.
  • the matching layer 13 improves the transmission efficiency of ultrasonic waves into the living body by matching the acoustic impedance between the transducers 11-1 to: LI-m and the living body. In FIG.
  • a matching layer 13 having a two-layer structure is shown as a commonly used structure.
  • the acoustic lens 14 converges the ultrasonic beam in a so-called short axis direction orthogonal to the arrangement direction of the transducers 11-1 to Lm.
  • each of the vibrators 11-1 to 11-m is composed of a large number of, for example, hexagonal minute drums 18.
  • FIG. 2 for convenience of illustration, only three elements of the vibrators 11 3 to 115 are shown.
  • FIG. 2 it can be considered as a capacitor electrically
  • the upper electrode 18a is connected to each other by the wiring 18g
  • the lower electrode 18b is a common electrode. Therefore, it works electrically with many parallel capacitors.
  • the structure of one drum 18 will be described with reference to FIG.
  • the drum 18 is formed by a microfabrication technique of a semiconductor process, and includes a substrate 18c that is a semiconductor substrate such as silicon, a lower electrode 18b formed thereon, and an insulator film 18d that serves as a support portion.
  • a vacuum (or a predetermined gas pressure) hole 18e formed by etching the insulator film 18d is provided.
  • the semiconductor thin film 18f made of a compound semiconductor or the like is supported by the insulator film 18d and has a shape that is suspended in the space just like a drum of a musical instrument.
  • a DC bias voltage is applied between the upper and lower electrodes 18a and 18b, a Coulomb force is generated, and an appropriate tension is generated in the semiconductor thin film 18f.
  • transmitting an ultrasonic wave if a drive AC signal is applied between the upper and lower electrodes 18a and 18b superimposed on the DC bias voltage, the ultrasonic wave is emitted from the drum 18 in the same way that the drum of the instrument is struck and emits sound. appear.
  • each of the transducers 11 1 to 11 111 has a configuration in which a large number of drums 18 are arranged in parallel. Or can be received simultaneously by multiple drums 18 to form a reflected signal.
  • the magnitude of the ultrasonic wave that is transmitted with respect to the drive AC signal having a constant amplitude (that is, the transmission sensitivity indicating the conversion efficiency from the electric signal to the acoustic signal)
  • the magnitude of the electrical signal obtained for ultrasonic waves with a constant amplitude (that is, the reception sensitivity indicating the conversion efficiency from the acoustic signal to the electrical signal) is the bias voltage when the bias voltage is DC. It is known to be proportional to twice the magnitude of the voltage (see the right column of p682 in IEEE Transactions On Ultrasonics, Ferroelectric, Ana Frequency control, Vol 45 pp. 678-690 May 1998).
  • the magnitude of the ultrasonic signal T ( t) is expressed by the following formula (1). Also, assuming that the magnitude of the DC bias voltage at the time of reception is dc and the received ultrasonic signal is g (t), the output voltage R (t) of the probe 10 is expressed by the following equation (2).
  • Kt and Kr are constants that depend on the material and geometric dimensions of the vibrator.
  • an ultrasonic signal T (t) that is proportional to the magnitude of the DC bias voltage dc and similar to the transmitted signal f (t) can be transmitted and received. It can be seen that a voltage signal R (t) similar to the received ultrasonic signal g (t) is sometimes output in proportion to the DC bias voltage dc.
  • the present inventors have confirmed through experiments that the relationship of equation (2) holds even when the magnitude of the noise voltage is changed with time t. That is, the voltage signal R (t) caused by the received ultrasonic signal when the magnitude of the bias voltage is F (t) that changes with time t can be expressed by the following equation (3). Therefore, by applying F (t) that modulates the magnitude of the bias voltage itself, the voltage signal R (t) in the receiving process of the probe 10 can be modulated by F (t). Demodulated by the probe 10 in the process of receiving the received signal by the probe Is possible.
  • FIG. 1 a circuit configuration for realizing a transmission and reception operation by applying a bias voltage during transmission and reception of the transducers 11 1 to: L 1 m is shown in FIG. I will explain.
  • the upper electrode 18a, the lower electrode 18b, and the semiconductor thin film 18f, which are the main parts, of the drum 18 of FIG. 3 are schematically shown.
  • the adder 103 and the resistor 102 are used, and the DC bias voltage from the bias voltage generation source 104 and the drive signal waveform from the drive signal generation source 105 are superposed by the adder 103 and are passed through the resistor 102. Applied to the upper electrode 18a.
  • the resistor 102 and a capacitance detector for example, the amplifying unit 31
  • a modulated bias voltage waveform in the same band as the drive signal is supplied from the bias voltage generation source 104 via the resistor 102 to the upper electrode 18a.
  • the amplifying unit 31 detects the capacitance between the upper and lower electrodes 18a and 18b.
  • the capacitance of the upper electrode 18a and the lower electrode 18b is modulated by the magnitude and waveform of the incident ultrasonic wave, and is also modulated by the modulation bias.
  • a capacitor 101 is inserted between the impedance 111 of the amplifying unit 31 and the upper electrode 18a so that the bias voltage applied to the upper electrode 18a does not become an excessive input of the amplifying unit 31.
  • the lower electrode 18b can be at a ground potential.
  • a three-terminal or four-terminal element configuration can be used.
  • the transducer 10a constituting the transmission probe is shown in FIG.
  • a three-terminal device having a bias voltage input terminal B, a transmission terminal T for inputting a drive signal, and a ground terminal G is obtained.
  • the lower electrode 18b is connected to the ground terminal G.
  • the transducer 10b constituting the receiving probe is This is a three-terminal device consisting of a bias voltage input terminal B, a reception terminal R that outputs the converted voltage signal, and a ground terminal G.
  • the modulation bias voltage is supplied to the upper electrode 18a via the resistor 102b. Apply to.
  • the potential of the upper electrode 18 a is output from the receiving terminal R via the capacitor 101.
  • the lower electrode 18b is connected to the ground terminal G.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus 1 of this embodiment is an apparatus that acquires diagnostic information (for example, blood flow velocity) related to a subject by a continuous wave Doppler method.
  • diagnostic information for example, blood flow velocity
  • the ultrasonic diagnostic apparatus 1 includes an array probe 10, a continuous wave transmission unit 20, a transmission phase rotation unit 21, a DC bias supply unit 23, and a reception unit 60.
  • the receiving unit 60 includes an amplifying unit 31, a low-pass filtering unit 41, an adding unit 51, and a diagnostic information calculating unit 80.
  • the array-type probe 10 here has N transducers, which are divided into a plurality (NZ2) of transmitting transducers 10a and a plurality (NZ2) of receiving transducers 10b.
  • NZ2 transmitting transducers
  • NZ2 + 1 to N receives the signals from the array-type probe 10
  • the structures of the transmitting transducer 10a and the receiving transducer 10b are as described above. In FIG. 6, for the sake of illustration, the transmitting probe 10A and the receiving probe 10B are shown with only one transmitting transducer and one receiving transducer.
  • the continuous wave transmission unit 20 generates a continuous sine wave (frequency ⁇ , for example, 2 MHz).
  • the phase rotation unit 21 rotates the continuous sine wave of the continuous wave transmission unit 20 by a predetermined phase amount for each transmission transducer 10a, and uses this as a drive signal for the transmission array transducer 10a.
  • the DC bias supply unit 23 supplies a DC bias having a predetermined magnitude to the bias terminal B of the transmitting resonator 10a in order to define the sensitivity of the transmitting resonator 10a.
  • continuous wave ultrasonic waves are radiated from the arranged transducers 10a for transmission to a predetermined focus position in the living body.
  • the demodulation process is performed simultaneously with the conversion into the electric signal.
  • the receiving phase rotation unit 22 rotates the phase of the continuous sine wave signal output from the continuous wave transmission unit 20 by a predetermined amount for each receiving transducer 10b, thereby modulating bias.
  • Supply to amplifier 24 The modulation bias amplifier 24 amplifies the amplitude of the phase-rotated continuous sine wave signal to a predetermined amplitude (for example, 100 V), thereby generating a continuous wave voltage signal having a predetermined amplitude at the same frequency as the drive signal. Is supplied as a modulation bias signal to the bias terminal B of the receiving transducer 10b.
  • the ultrasonic wave reflected in the living body and received by the kth transducer is g (t, k) using the phase ⁇ (k) determined by the distance between the focal position in the living body and the kth transducer 10b.
  • g (t, k) G'cos (co t + 0 (k) ⁇ ' ⁇ (4)
  • ⁇ (k) is not included, and the phase is the same regardless of the element number k. This indicates that the phasing process of the electronic focus is also realized at the same time.
  • the output waveform of the receiving terminal R of the receiving transducer 10b is a signal equivalent to the signal subjected to Doppler demodulation and phasing. Therefore, the receiving unit 60 can obtain the Doppler frequency ⁇ ⁇ ( ⁇ ) simply by removing the harmonic component (4.001 MHz) generated when receiving by the transducer 10b by the low-pass filtering unit 41. . Also
  • the amplifying unit 31 amplifies the signal to a predetermined level necessary for signal processing before the low-pass filtering unit 41.
  • the adder 51 adds the signals from the receiving transducers arranged in the subsequent stage of the low-pass filtering unit 41.
  • the output signal of each receiving transducer force is assigned to the number k as shown in Equation (6). Therefore, the adder 51 does not need a phasing process as in the prior art, and only performs addition.
  • the output of the adder 51 becomes a Doppler frequency, here, an audio frequency band of ⁇ , and is input to the diagnostic information calculator 80.
  • the diagnostic information calculation unit 80 performs calculations necessary for generating diagnostic information of the subject (for example, the moving speed of the moving object and its two-dimensional distribution image) by performing known calculations such as autocorrelation processing.
  • the diagnostic information is displayed on the display unit 90. Note that the function of the present invention is not impaired even if the order of the low-pass filtering unit 41 and the amplifying unit 31 is exchanged within a range where the harmonic components do not cause saturation of the amplifying unit 31 or saturation of the adding unit 51.
  • System control unit 300 outputs a control command to each unit such as continuous wave transmission unit 20, transmission phase rotation unit 21, reception phase rotation unit 22, DC bias supply unit 23, and modulation bias amplification unit 24. .
  • the system control unit 300 is configured by a DSP (Digital Signal Processor), for example.
  • the system control unit 300 has a function of calculating and supplying data necessary for calculation of phase rotation and diagnostic information, and a function of controlling a bias voltage.
  • a diagram showing the flow of commands from the system control unit 300 is omitted in FIG.
  • the display unit 90 displays diagnostic information relating to the subject obtained by the receiving unit 60 from the Doppler frequency.
  • the present inventor uses the probe 10 whose sensitivity is determined by the bias voltage as described above, Diagnostic device 1 was created and the performance was confirmed.
  • One transducer composing the probe 10 has a hole 18e of drum 18 having a height of 0.3 micron, a drum 18 having a size of 50 m (diameter), and the arrangement of drums 18 is shown in FIG.
  • the horizontal and vertical rows are 200 and 200, respectively, and the probe 10 has a structure in which transducers 111 to 11m are arranged as shown in Fig. 1.
  • the magnitude of the DC bias voltage applied to the transmitting array transducer was 100 volts, and the amplitude of the modulation bias voltage applied to the receiving transducer was 100 volts (peak-to-peak). With this structure and conditions, good Doppler demodulation sensitivity was obtained at an ultrasonic frequency of 2 to 5 MHz.
  • a probe 170 having N array transducers is divided into a transmission probe 170A and a reception transducer 170B each consisting of NZ2 transducers.
  • the probes 170A and 170B are configured using a general piezoelectric element type vibrator.
  • a demodulator 140 having a phasing function and a Doppler demodulation function is arranged in the signal processing unit.
  • the output signal of the reception phase rotation unit 22 is input to the demodulation unit 140.
  • reception probe 170B does not have a demodulation function as in the present embodiment, its output voltage waveform has a frequency ⁇ .
  • the demodulator 140 multiplies the frequency component ⁇ of the received signal by the output ⁇ of the receiving phase rotation unit 22 to form ⁇ ⁇ and 2 ⁇ t + ⁇ ⁇ . Receive at the same time
  • the low-pass filtering unit 41 has ⁇ ⁇ out of ⁇ ⁇ and 2 ⁇ t + ⁇ ⁇
  • the preamplifier 131 with a large thermal noise is amplified by the preamplifier 131 to a level that can be processed by the demodulator 140.
  • the performance of 1 31 effectively limits the performance of demodulator 140.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus of the comparative example in FIG. 8 the thermal noise in the living body (such as the running state of the blood flow) that is diagnostic information may be buried in the noise of the preamplifier 131.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus 1 of the present invention uses the ultrasonic probe 10 whose sensitivity is determined by the bias voltage and modulates the bias voltage, thereby receiving the signal at the probe 10.
  • the demodulation process is not affected by the thermal noise of the amplification unit 31. Therefore, even a weak signal that would be buried in thermal noise if demodulated after the amplification unit 31 can be detected with a greatly improved signal-to-noise ratio. Further, since demodulation processing is performed by the probe 10, the receiving unit 60 that performs signal processing does not require the demodulating unit 140 of the conventional electronic circuit, and the device is greatly reduced in size and cost. be able to.
  • the amplification unit Since a saturation phenomenon does not occur, it is not necessary to arrange a so-called gap element between the arranged transmitting probe 10A and the arranged receiving array probe 10B. Therefore, all elements of the array probe can be used for Doppler detection, and a so-called interleaved Doppler diagnostic apparatus in which transmitting transducers and receiving transducers are alternately arranged can be formed. As a result, it is possible to use a beam that is superior to the case where the transmitting probe and the receiving probe are arranged separately on the left and right.
  • the transmitter probe 10A and the receiver probe 10B are configured as an array transducer 10c that also uses transmission and reception as shown in Fig. 5 (c), in addition to continuous wave Doppler, B-mode imaging and M-mode It is also possible to support pulse Doppler and Doppler tomography (CFM). So far, the mode known as continuous wave Doppler has been described, but the essence of the present invention is also impaired in other modes of ultrasonic diagnostic equipment, B-mode imaging, M-mode imaging, pulsed Doppler, and Doppler tomographic imaging (CFM). Absent. In fact, in B-mode imaging, for example, the force with which a pulse waveform with a center frequency of 3 MHz is used to transmit and receive ultrasonic waves.
  • B-mode imaging for example, the force with which a pulse waveform with a center frequency of 3 MHz is used to transmit and receive ultrasonic waves.
  • a received pulse with a center frequency of 3 MHz is generated by its carrier frequency by a bias voltage modulated at 3 MHz. 3MHz is demodulated and becomes an envelope signal.
  • an envelope signal is extracted by a detection circuit, etc., and the intensity information is displayed in correspondence with luminance information, but here again in the probe receiving process.
  • the envelope signal is extracted, and a weak signal can be imaged without being buried in the noise of the subsequent amplifier.
  • FIGS. 7 (a) and 7 (b) are diagram showing the flow of ultrasonic wave transmission processing
  • Fig. 7 (b) is a diagram showing the flow of ultrasonic wave reception processing.
  • the DC bias supply unit 23 supplies a DC bias dc having a predetermined size to each transducer of the transmitting probe 10A.
  • the drive signal f (t) is supplied to the transmission phase rotation unit 21 by the continuous wave transmission unit 20.
  • the transmission phase rotation unit 21 rotates the phase of the drive signal f (t) by a predetermined phase amount ⁇ 'and delivers it to each transducer of the transmission probe 10A.
  • the phase rotation amount ⁇ ′ is predetermined for each transducer in accordance with the focus position in order to realize focusing during transmission.
  • the drive signal f (t, k) is supplied to the transmitting vibrator superimposed on the DC bias dc.
  • the drive signal f (t, k) supplied to the transmission probe 10A is expressed as in equation (8).
  • the transmitting probe 10A emits an ultrasonic transmission signal T (t, k) corresponding to the drive signal f (t, k) toward a subject (for example, a moving object such as a blood cell).
  • a subject for example, a moving object such as a blood cell.
  • the ultrasonic wave transmission signal T (t, k) emitted toward the subject is expressed as shown in Equation (9).
  • Kt is a constant determined based on the material and geometric dimensions that make up the transmitting vibrator.
  • T (t, k) (2 -Kf dc-f (t, k)) + (harmonic component) ⁇ (9)
  • the ultrasonic signal T (t, k) is reflected by the subject and received by the receiving probe 10B (
  • the drive signal f (t) generated by the continuous wave transmission unit 20 is supplied to the reception phase rotation unit 22. Based on this signal f (t), a modulation bias signal having the same frequency ⁇ as the drive signal is generated.
  • the drive signal f (t) is supplied to the reception phase rotation unit 22.
  • the reception phase rotation unit 22 rotates the phase of the modulation signal f (t) by a predetermined phase amount ⁇ in order to achieve focusing at reception.
  • the rotational phase amount ⁇ is predetermined according to the focus position during reception.
  • the phase-rotated modulation signal f ′ (t, k) is expressed as shown in Equation (10).
  • the modulation signal f ′ (t, k) is supplied to the modulation bias amplification unit 24.
  • the modulation bias amplifier 24 amplifies the modulation signal f ′ (t, k) to generate a modulation bias signal F (t, k) having the same frequency ⁇ as the drive signal, and receives the receiving probe 10B.
  • Equation (11) the modulated modulation bias signal F (t, k) after amplification is expressed as shown in Equation (11).
  • F is a constant.
  • the frequency of the modulation bias signal F (t, k) is the same frequency ⁇ as that of the drive signal f (t).
  • the frequency has a band, it can be set to such a frequency if it is within the band.
  • the modulation bias signal F (t, k) is applied to the upper electrode 18a of the cMu tl8 constituting the probe 10B via the receiving circuit 13.
  • the ultrasonic wave transmission signal transmitted in the step S706 is reflected by the subject and becomes an ultrasonic reflection signal g (t, k) and reaches each receiving transducer.
  • the frequency ⁇ of the ultrasonic reflected signal g (t, k) is the Doppler shift frequency ⁇ ⁇ corresponding to the moving speed of the reflection source such as blood cells of the subject.
  • the ultrasonic reflected signal g (t, k) is received by the receiving probe 10B whose sensitivity is modulated by the modulation bias signal F (t, k).
  • the demodulated signal R (t, k) output from the receiving probe 10B is a signal that has been subjected to Doppler demodulation processing as shown in Equation (13).
  • the Doppler shift component has the same phase regardless of the value of the number k, and is subjected to phasing processing (beam forming).
  • the demodulated signal R (t, k) output from the receiving probe 10B is transferred to the receiving unit 60, amplified by the amplifying unit 31, and then the harmonic component is removed by the low-pass filtering unit 28.
  • the signal extracted as the Doppler shift frequency component is added by the adder 51 for the receiving vibrator corresponding to the receiving aperture.
  • the signal output from the adding unit 51 is subjected to autocorrelation processing or the like in the diagnostic information calculation unit 80, thereby obtaining diagnostic information (for example, blood flow velocity or two-dimensional velocity distribution image) of the subject. It is done.
  • the obtained diagnostic information is displayed on the display unit 90.
  • Equation (3) is an equation indicating that the output voltage of the probe during reception is proportional to the modulation bias.
  • equation (2) that the output voltage at the time of reception by the cMUT is proportional to the DC bias is well known, the inventors have confirmed by experiment that this is also true when the noise is modulated, and the equation (2) 3) is obtained and used for the description of this embodiment.
  • an ultrasonic probe whose reception sensitivity changes according to the magnitude of the bias voltage is not necessarily used. Even if it is not the characteristic of 3), it can be used. Therefore, a characteristic having a second or higher order term for the ultrasonic reflected signal and the modulated bias signal It is possible to realize this using an ultrasonic probe.
  • Equation (3) can be considered as follows on the force equation that the present inventors have confirmed through experiments.
  • the output voltage signal R (t) at the time of reception of the cMUT probe can be expressed as shown in Equation (14) using a well-known square model.
  • Kr is a constant
  • dc is a DC bias voltage
  • g (t) is an ultrasonic reflection signal
  • the output signal R (t) includes a first-order term and a second-order term of the ultrasonic reflection signal g (t). Since the ultrasonic transmission signal is set to be weak so as not to damage the living body, the ultrasonic reflected signal g (t) is also weak (for example, IV), so the amplitude of the modulation bias signal F (t) is By setting for example 100 V, which is larger than the ultrasonic reflection signal g (t) (eg, about IV), the second-order term of g (t) can be ignored.
  • the quadratic term of F (t) is 2 of ⁇
  • R (t) Kr- (F 2 -cos 2 ( W t) + FG (cos (A ⁇ t + ⁇ )
  • Equation (17) is obtained, and only the Doppler shift component can be extracted as the output voltage R (t) of the probe.
  • the amplitude of the modulation bias signal F (t) is the ultrasonic reflected signal g ( If it is larger than t), it should be set to at least twice. Furthermore, it is more preferable to set it to 10 times or more.
  • the output characteristics of the cMUT probe vary depending on the material and shape of the drum, the arrangement of the drums, and the usage conditions, the output characteristics are controlled by setting and setting these parameters. Of course, it is also possible to use it in a range where the sensitivity changes according to the magnitude of the bias voltage.
  • the receiving probe is not limited to the cMUT probe as long as the receiving sensitivity changes according to the magnitude of the bias voltage, and a probe having another configuration can be used.
  • an electrostrictive material eg, Pb (Mg Nb) 0—PbTiO solid solution ceramics
  • Pb (Mg Nb) 0—PbTiO solid solution ceramics is used.
  • the transmitting probe and the receiving probe are separately provided.
  • the transmitting / receiving transducer 10c having the structure shown in Fig. 5 (c) is arranged.
  • an ultrasonic signal may be transmitted and received by the same vibrator.
  • the number of transmitting vibrators (NZ2) and the number of receiving vibrators (NZ2) are the same, but they are not necessarily the same.
  • Vibrators 11-1 to 11 constituting the probe 10 The shape of the drum 18 of the L l-m is set to another shape such as a polygon or a circle, which is the force described here for the case of a hexagon. Is also possible.
  • the ultrasonic diagnostic apparatus described above is an apparatus using a continuous wave Doppler method, but can also be applied to a pulsed doubler method and a tissue tomography method.
  • an image processing unit that configures an ultrasonic image for example, a color Doppler tomographic image or a tissue density tomographic image
  • an ultrasonic image for example, a color Doppler tomographic image or a tissue density tomographic image
  • the present invention transmits / receives ultrasonic waves to / from a subject via an ultrasonic probe, and based on a signal output from the ultrasonic probe, diagnostic information of the subject (for example, blood cells, etc.) It can be applied to ultrasonic diagnostic equipment that acquires the movement speed and velocity distribution of a reflection source, or tissue tomogram.
  • ultrasonic diagnostic equipment that acquires the movement speed and velocity distribution of a reflection source, or tissue tomogram.
  • a highly sensitive ultrasonic diagnostic apparatus having a high signal-to-noise ratio in a receiving system is provided.
  • FIG. 1 is a cutaway perspective view showing a configuration of part of the ultrasound probe 10 of the ultrasound diagnostic apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a top view of transducers 11 1 to L1 m of the ultrasonic probe in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a drum 18 that constitutes the vibrator 11-1 etc. in FIG.
  • FIG. 4 is a circuit diagram showing an electric circuit necessary for transmitting and receiving ultrasonic waves of the drum force in FIG.
  • FIG. 5 (a) is a block diagram showing a configuration of a transmitting vibrator. (b) It is a block diagram which shows the structure of the probe for reception. (C) It is a block diagram which shows the structure of a transmission / reception combined oscillator.
  • FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of an ultrasonic diagnostic apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram showing an ultrasonic wave transmission process of the ultrasonic diagnostic apparatus in FIG. (b) It is a diagram which shows the flow of the ultrasonic wave reception process of the ultrasonic diagnosing device of FIG.
  • FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of an ultrasonic diagnostic apparatus of a comparative example.
  • Modulation bias amplification unit 31 ... Amplification unit, 41 ... Low-pass filtering unit, 51 ... Addition unit, 60 ... Reception unit, 80 ... Diagnostic information calculation unit, 90 ⁇ Display unit, 1 01 ⁇ Capacitor, 102, 102a, 102b ... Resistance, 103 ⁇ Source, 111 ... impedance, 300 ... system controller.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

 受信系の信号対雑音比を改善し、高感度の超音波診断装置を提供する。  検体との間で超音波を送受する超音波探触子10と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信部20と、超音波探触子10から出力される信号を処理し、被検体に係る診断情報を算出する受信部60とを有する。超音波探触子10は、印加されるバイアス電圧の大きさに応じて受信感度が変化する受信用探触子(振動子)10Bを備える。受信部60は、振幅が変調されたバイアス電圧信号を受信用探触子(振動子)10Bに印加する変調バイアス増幅部24を備える。これにより、受信用振動子の受信工程で、超音波反射信号に一定の復調処理(例えば、整相処理やドプラ復調)を施すことができる。

Description

明 細 書
超音波診断装置
技術分野
[0001] 本発明は、被検体に係る診断情報を取得する超音波診断装置に関する。
背景技術
[0002] 超音波診断装置は、超音波探触子により超音波を送波し、この超音波が生体内で 反射されて形成される超音波を同じ探触子で受信し、この反射エコー信号に基づき 生体内の断層画像を提供するものである。また、超音波診断装置は、反射超音波信 号に生じるドプラ効果に基づ 、て、血球などの生体内の反射源が移動する速度ある いは速度分布を提供することもできる。
[0003] 超音波診断装置においてドプラ効果により速度情報等を取得する場合、反射超音 波信号に対する受信系の処理の流れは、超音波探触子による受信→前置増幅器に よる信号処理部の入力レベルまでの増幅→信号処理部におけるビームフォーミング やドプラ復調→画像形成とその表示という順番になる。カゝかる装置の性能は、送波信 号の大きさが生体内の熱効果などのハザード防止のために規制されて 、るので、も つばら受信系の信号対雑音比で支配される。従来の超音波診断装置においては探 触子に継続する前置増幅器の雑音レベルが大き 、ため、ドプラ効果を検出する復調 器の性能も前置増幅器の性能によって事実上規定されていた。超音波診断装置の 扱う比帯域が 60%〜90%と広いこともあって、前置増幅器の信号対雑音比の改善 が困難であるため、血流等の情報である生体内の熱雑音や探触子の熱雑音は、前 置増幅器が発生する雑音の中に埋もれて 、るのが実情と!/、える。
[0004] 超音波診断装置の探触子には、従来より圧電セラミックスを用いた素子が用いられ ている。また、特許文献 1では、薄膜製造技術によって製造可能な容量型の探触子 が提案されている。
特許文献 1 : USP6,246,158B1
発明の開示
発明が解決しょうとする課題 [0005] 上述のように、従来の超音波診断装置の受信系の信号対雑音比は、信号処理部 の前置増幅器の熱雑音によって事実上支配されているため、これを改善して感度を 向上させることが望まれている。信号対雑音比を向上させることができれば、探触子 で受信される超音波反射信号に含まれる生体内情報を前置増幅器の熱雑音に埋も れさせることなく検出することができ、従来に比べ微弱な信号まで映像ィ匕することや、 より微弱な造影剤を検出することや、より低速の、例えば末梢血管の血流速度を検出 することが可能となるからである。また、生体内の各臓器の運動や血流の走行状態な どで変調されている生体内の熱雑音そのものを検出することが出来れば、超音波診 断装置の信号対雑音比が大幅に改善され、超音波診断装置を「超音波聴診器」とい う超音波診断装置のあるべき姿に近づけることが可能となる。
[0006] 従来、前置増幅器を液体窒素などの冷却媒体に浸潤しそのノイズレベルを低減す る試みもなされているが、生体に接触される探触子部の冷却が困難であるため、所 期の効果を挙げていない。前置増幅器の熱雑音の低減そのものが困難であるとする なら、従来超音波診断装置の探触子→前置増幅器→復調処理と!/、う信号の流れそ のものを変更する必要がある。
[0007] なお、特許文献 1には超音波診断装置に容量型の探触子が使用可能であることが 記載されて!ヽるが、従来の圧電セラミックスの振動子を容量型の振動子へ単に置き 換えることを提案しているにすぎず、受信系の信号対雑音比を改善することは開示さ れていない。
[0008] 本発明の目的は、受信系の信号対雑音比を改善し、高感度の超音波診断装置を 提供することにある。
課題を解決するための手段
[0009] 上記課題を解決するため、本発明の第 1の態様の超音波診断装置は、被検体との 間で超音波を送受する超音波探触子と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信 手段と、前記超音波探触子から出力される信号を処理する受信手段と、受信手段か ら出力される受信信号に基づき構成された被検体に係る診断情報 (例えば、血流速 度、組織断層像)が表示される表示手段とを備える。超音波探触子は、駆動信号を 重畳して印加されるバイアス電圧の大きさに応じて超音波送受信感度が変化する振 動子を有している。さらに、振動子に直流バイアスを印加する直流バイアス手段と、 駆動信号に基づいた変調されたバイアス電圧信号を前記振動子に印加する変調バ ィァス手段が設けられてなることを特徴とする。
[0010] また、本発明の第 2の態様の超音波診断装置は、被検体との間で超音波を送受す る超音波探触子と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信部と、前記超音波探 触子から出力される信号を処理し、前記被検体に係る診断情報を算出する受信部と を有する。超音波探触子は、印加されるバイアス電圧の大きさに応じて受信感度が 変化する複数の振動子を備える。受信部は、振幅が変調されたバイアス電圧信号を 振動子に印加する変調バイアス供給部を備える。
[0011] 第 1および第 2の態様の超音波診断装置においては、被検体で反射した超音波を 振動子で受信する際、振動子に変調されたバイアス電圧信号を印加し、その感度を 変調させる。これにより、受信用振動子の受信工程で、超音波反射信号に一定の復 調処理 (例えば、整相処理やドプラ復調)を施すことができる。よって、探触子に復調 処理用電子回路を搭載していないにもかかわらず、探触子に複雑な復調用電子回 路を実装した、いわゆるプローブミキシングと等価となる。また、本発明の探触子にお ける復調処理は、その後の受信部の信号処理回路に起因する例えば熱雑音による 影響を受けないため、微弱な信号でも診断情報として構成できるようになり、高感度 な超音波診断装置を提供することができる。
[0012] 変調されたバイアス電圧信号の周波数帯域は、例えば、送信部が超音波探触子に 供給する駆動信号の周波数帯域内に設定するか、もしくは、駆動信号の周波数帯域 と同一にする。これにより、振動子の受信工程でドプラ復調処理を施すのと等価な効 果が得られ、駆動信号の周波数成分が除去されたドプラ周波数成分を含む出力信 号を得ることができる。
[0013] また、変調バイアス供給部は、受信時のフォーカス位置に応じて、複数の振動子ご とに、変調されたバイアス電圧信号の位相を予め定めた位相量だけずらす構成にす ることもできる。これにより、振動子の受信工程で整相処理を施すのと等価な効果が 得られ、複数の振動子の出力信号の位相を一致させることができる。
[0014] また、本発明の第 3の態様の超音波診断装置は、被検体との間で超音波を送受す る超音波探触子と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信部と、超音波探触子 から出力される信号を処理し、被検体に係る診断情報を算出する受信部とを有する。 超音波探触子は、振動子を備える。この振動子は、空隙を挟んで配置された一対の 電極を有し、一対の電極の少なくとも一方は変位可能な構成であり、一対の電極に は、出力端子と、一対の電極間にバイアス電圧を印加するためのバイアス端子とが接 続された構成である。受信部は、バイアス電圧として、振幅が変調されたバイアス電 圧信号を振動子に印加する変調バイアス供給部を備える。
[0015] また、本発明の第 4の態様の超音波診断装置は、被検体との間で超音波を送受す る超音波探触子と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信部と、超音波探触子 から出力される信号を処理し、被検体に係る診断情報を算出する受信部とを有する。 超音波探触子は、超音波を受信する振動子を有し、振動子は、受信の際にドプラ復 調処理を行う。例えば、振動子は、時間に伴い受信感度が変調し、超音波信号を電 気信号に変換する過程で前記ドプラ復調処理を行う。
[0016] また、本発明の第 5の態様の超音波診断装置は、被検体との間で超音波を送受す る超音波探触子と、超音波探触子に駆動信号を供給する送信部と、超音波探触子 から出力される信号を処理し、被検体に係る診断情報を算出する受信部とを有する。 超音波探触子は、超音波を受信する複数の振動子を備え、該複数の振動子は、受 信の際に整相処理を行う。例えば、複数の振動子は、時間に伴い受信感度をそれぞ れ所定の位相で変調し、超音波信号を電気信号に変換する過程で前記整相処理を 行う。
[0017] 第 4および第 5の態様の超音波診断装置において、受信用振動子としては、例え ば、印加されるバイアス電圧の大きさに応じて受信感度が変化する特性を有するもの を用いることができる。受信部は、バイアス電圧として、振幅が変調されたバイアス電 圧信号を受信用振動子に印加する変調バイアス供給部を備える構成にすることがで きる。
発明の効果
[0018] 本発明の超音波診断装置においては、振動子における受信の際に超音波信号を 復調することができるため、増幅器の熱雑音に埋もれない微弱な超音波反射信号を 検出して、従来より大幅に感度の改善した超音波診断装置を提供することができる。 また、従来信号処理部でなされていた電子回路による復調工程を振動子の受信ェ 程に移行したことによって、超音波診断装置の大幅な小型化に資することも可能であ る。
発明を実施するための最良の形態
[0019] 本発明の超音波診断装置の一実施の形態について説明する。
まず、本発明の原理について説明する。本発明は、従来の超音波診断装置の受信 系のように探触子→前置増幅器→信号処理部と!、う信号の流れではなく、信号処理 機能を有する探触子→増幅器→信号処理部という構成にする。これにより、受信系 の信号対雑音比を改善し、高感度の超音波診断装置を提供する。ここで探触子の担 う信号処理機能としては、ビームフォーミングゃドプラ復調処理である。よって、増幅 器に継続する信号処理部の主な処理は、 AD変換などの標本ィ匕プロセスに限定され る。
[0020] 力かる構成は、その受信感度がバイアス電圧の大きさに応じて変化する振動子を 備えた超音波探触子を用い、そのバイアス電圧を変調することによって探触子で受 信される超音波反射信号を探触子そのものの機能において復調することにより実現 される。連続波ドプラ法を行う場合を例にとると、例えば 2MHzの超音波を生体内に 照射した場合、血流など移動物体から反射した超音波信号はその移動速度に応じて ドプラ効果により周波数シフトし、例えば 2. ΟΟΙΜΗζになるから、探触子に印加する バイアス電圧を 2MHzで変調すれば、探触子の出力は両者の乗算、すなわち 0. 00 1ΜΗζ= 1ΚΗζと 4. 001MHzとなる。このうち低周波成分である ΙΚΗζの信号を後 段の濾過器で容易に抽出することができ、実質的に探触子においてドプラ復調処理 を実行できるのである。この探触子における復調工程は、増幅器よりも前段で行われ るため、増幅器の熱雑音は関係なぐ従来技術では増幅器の熱雑音で埋もれたであ ろう微弱な信号を大幅に改善された信号対雑音比で抽出することができる。
[0021] し力るに従来力 使われている圧電セラミックス型振動子を用いた探触子では、そ の電気機械結合係数および幾何学的形状によって定まる一種類の固定の受信感度 を有しており、力かる探触子の受信工程において受信信号を復調する手段を提供す ることはできない。本発明者は、受信時の感度をバイアス電圧の大きさで制御できる 超音波振動子に着目した。このような振動子を備えた探触子において、バイアス電圧 の大きさそのものを変調すれば、受信工程にぉ 、て受信信号を探触子で復調するこ とが可能となるからである。力かる超音波振動子としては、圧電セラミックスではなく電 歪材料を用いたものが使用できる。電歪材料を用いた振動子では、印加した DCバイ ァス電圧によって生じる電歪効果が、電気 機械変換を呈し、電歪効果の大きさは D Cバイアス電圧の大きさで制御できるからである。感度を制御できるさらに好適な超音 波振動子として、 DCバイアス電圧でその感度が定まる cMUT(Capacitive Micromac hined Ultrasonic Transducer:容量型マイクロマシン超音波変^^)を用いることも出 来る。
[0022] なお、電歪材料を用いた振動子や cMUTを用いた振動子は、従来から所定の定 常的なノィァス電圧が印加されて使用されていて、バイアス電圧そのものを変調する ということは従来開示されていない。実際、これらの探触子を使った特許文献 1などで は、「DCバイアス電圧」などと記載されている。本発明においては、探触子の感度を 定めるバイアス電圧の大きさそのものを変調して、探触子に復調機能を生じさせ、超 音波反射信号を探触子の受信工程で復調することが重要であって、探触子が、上記 電歪材料の振動子や cMUTを備えたものに限定されるものではない。
[0023] つぎに、本実施の形態の超音波診断装置について、具体的に説明する。まず、本 発明の要である、バイアス電圧の大きさによってその感度が制御できる配列型探触 子 10の構造について説明する。ここでは、配列型探触子 10は、一例として cMUTを 用いている。図 1は、配列型探触子 10の模式的な構造を説明する図である。探触子 10は、短冊状の m個の振動子 11— 1から 11— m(m:例えば 64や 192等の自然数) が配列された一次元アレイの構造を有し、振動子 11— 1〜: L l—mの背面にはバツキ ング層 12が配置されている。また、振動子 11— 1〜: L l—mの超音波送出側(図 1の 上方)にはマッチング層 13が配置され、更にその上には音響レンズ 14が配置されて いる。振動子 11— 1〜11— mは、送波電気信号を超音波に変換して生体内に超音 波を送出するとともに、生体内で反射された超音波を受信して電気信号に変換し、反 射信号を形成する。バッキング層 12は、振動子 11— 1〜11— mの背面側に送出さ れる不要な超音波を吸収するとともに振動子 11 1〜11 mの不要な振動を抑制 するために配置されている。マッチング層 13は、振動子 11— 1〜: L I— mと生体との 音響インピーダンスを整合させることによって超音波の生体内への伝送効率を向上さ せるものである。図 1においては、良く使われる構造としてマッチング層 13が 2層構造 のものを表示してある。音響レンズ 14は、振動子 11—1〜: L l—mの配列方向と直交 する 、わゆる短軸方向に超音波ビームを収束するものである。
[0024] ここで、振動子 11— 1〜11— mは、図 2に示すように、そのおのおのが多数個の、 例えば六角形の微小なドラム 18によって構成されている。(なお、図 2においては、 図示の都合上振動子 11 3〜11 5の 3素子のみを記載して 、る。)個々のドラム 1 8は、図 3を用いてこの後説明するように、電気的にはコンデンサとして見なせるが、 振動子 11—1〜: L l—mをそれぞれ構成するドラム 18の群は、上部電極 18aが配線 18gによって相互に接続され、下部電極 18bは共通電極になっているため、多数の 並列コンデンサと電気的には同一の働きをする。
[0025] 1つのドラム 18の構造を図 3を用いて説明する。ドラム 18は、半導体プロセスの微 細加工技術で形成されたものであり、シリコン等の半導体基板である基板 18cと、そ の上に形成された下部電極 18bと、支持部となる絶縁体膜 18dと、絶縁体膜 18dの 上部に配置された半導体薄膜 18fと、さらにその上に配置された上部電極 18aとを備 えている。半導体薄膜 18fと下部電極 18bとの間には、絶縁体膜 18dをエッチングす ることによって形成された真空 (または所定のガス圧)の空孔 18eが設けられている。 化合物半導体などで構成される半導体薄膜 18fは、絶縁体膜 18dにより縁を支持さ れ、ちょうど楽器のドラムのように空間に浮いて張られた形状となっている。上部'下 部電極 18a、 18b間に DCバイアス電圧を印加するとクーロン力が生じ、半導体薄膜 18fには適度な張力が発生する。超音波送信時には、 DCバイアス電圧に重畳して 上-下部電極 18a、 18b間に駆動交流信号が印加されると、楽器のドラムが連打され て音を発するのと同様、ドラム 18から超音波が発生する。また、超音波受信時には、 このドラム 18に超音波が入射すると、その大きさと波形に比例して電極 18a、 18b間 の距離が変化するから、両電極 18a、 18bが構成するコンデンサの静電容量力 そ れに対応して変化する。静電容量の変化を両電極 18a、 18bの電気信号から検出す ることにより超音波が受信できる。図 2に示すように、振動子11 1〜11 111はそれ ぞれ、多数個のドラム 18を並列に配置した構成であるので、多数個のドラム 18から 同時に超音波信号を発生して生体内に送信し、あるいは同時に多数個のドラム 18で 同時に受信して反射信号を形成することができる。
[0026] このような cMUT構造の探触子 10において、一定振幅の駆動交流信号に対して 送出される超音波の大きさ (すなわち電気信号から音響信号への変換効率を表す送 信感度)、ならびに、一定振幅の超音波に対して得られる電気信号の大きさ(すなわ ち音響信号から電気信号への変換効率を表す受信感度)は、いずれもバイアス電圧 が直流である場合には、バイアス電圧の大きさの 2倍に比例することが知られている( IEEE Transactions On Ultrasonics, Ferroelectric, Ana Frequency control, Vol45 pp .678-690 May 1998における p682の右側カラム参照)。よって、送信時の DCバイアス 電圧の大きさを dc、これに重畳する時間 tで変化する駆動信号波形を f(t)とすると、探 触子 10から送信される超音波信号の大きさ T(t)は下式(1)で表される。また、受信時 の DCバイアス電圧の大きさを dc、受信される超音波信号を g(t)とすると、探触子 10 の出力電圧 R(t)は下式(2)で表される。
T(t) = 2 - Kt - dc -f(t)
R(t) = 2 - Kr- dc -g(t) - (2)
ただし、 Kt、 Krは、振動子を構成する材料や幾何学的寸法に依存する常数である
[0027] (1)式、(2)式より、送信時には DCバイアス電圧の大きさ dcに比例し、かつ送信信 号 f(t)に相似した超音波信号 T(t)を送信でき、受信時には DCバイアス電圧の大きさ d cに比例し、受信超音波信号 g(t)に相似した電圧信号 R(t)が出力されることがわかる。
[0028] 本発明者らは、ノ ィァス電圧の大きさを時間 tにつ 、て変化させた場合であっても ( 2)式の関係が成立することを実験により確認した。すなわち、バイアス電圧の大きさ を時間 tで変化する F(t)とした場合の受信超音波信号に起因した電圧信号 R(t)は、下 式(3)で表すことができる。よって、バイアス電圧の大きさそのものを変調した F(t)を印 加することにより、探触子 10の受信工程における電圧信号 R(t)を F(t)で変調させるこ とができるため、受信信号を探触子で受信する工程において探触子 10によって復調 することが可能である。
R(t) = 2 - Kr-F(t) -g(t) - (3)
[0029] つぎに、探触子 10において、振動子 11 1〜: L 1 mの送信時および受信時にバ ィァス電圧を印加し、送信および受信動作を実現するための回路構成について図 4 を用いて説明する。図 4においては、図 3のドラム 18のうち、主要部である上部電極 1 8a、下部電極 18b、および、半導体薄膜 18fを模式的に示している。送信時には、加 算器 103と抵抗 102とを用い、バイアス電圧発生源 104からの DCバイアス電圧と、 駆動信号発生源 105からの駆動信号波形とを加算器 103により重畳し、抵抗 102を 介して上部電極 18aに印加する。
[0030] 一方、受信時には、抵抗 102と、容量検出器 (例えば増幅部 31)とを用い、バイアス 電圧発生源 104から駆動信号と同帯域の変調バイアス電圧波形を抵抗 102を介して 上部電極 18aに印加するとともに、上下電極 18a、 18b間の容量を増幅部 31により 検出する。反射超音波信号がドラム 18に入射すると、上部電極 18aと下部電極 18b の容量は、入射超音波の大きさと波形によって変調され、同時に変調バイアスによつ ても変調されて ヽるため、透過的なインピーダンス 111を有する増幅部 31によって、 容量を検出することにより、超音波信号の受信と復調を同時に行うことができる。なお 、増幅部 31のインピーダンス 111と上部電極 18aとの間にはコンデンサ 101を挿入し 、上部電極 18aに印加されるバイアス電圧が増幅部 31の過大入力にならないように する。なお、下部電極 18bは、グランド電位にすることができる。
[0031] したがって、配列型探触子 10のうちの 1つの振動子は、具体的には図 5 (a) , (b) ,
(c)に示したように、 3端子あるいは 4端子の素子構成にすることができる。すなわち、 配列型探触子 10を送信用の探触子と受信用の探触子とに分けて用いる場合には、 送信用探触子を構成する振動子 10aは、図 5 (a)のようにバイアス電圧入力端子 Bと 、駆動信号を入力する送信端子 Tと、グランド端子 Gを備える 3端子デバイスとなる。 送信用振動子 10aは、振動子 11—L (L= l〜mのうちのいずれか)の上部電極 18a に接続された加算器 103および抵抗 102aを含み、加算器 103が重畳した駆動信号 とバイアス電圧を抵抗 102aを介して上部電極 18aに印加する構成とする。下部電極 18bは、グランド端子 Gと接続される。一方、受信用探触子を構成する振動子 10bは 、バイアス電圧入力端子 Bと、変換した電圧信号を出力する受信端子 Rと、グランド端 子 Gの 3端子デバイスとなる。受信用振動子 10bは、振動子 11— M (M= l〜mのう ちのいずれか)に接続された、抵抗 102bおよびコンデンサ 101を含み、変調バイァ ス電圧を抵抗 102bを介して上部電極 18aに印加する。また、上部電極 18aの電位は 、コンデンサ 101を介して受信端子 Rから出力される。下部電極 18bは、グランド端子 Gと接続される。
[0032] 配列型探触子 10を送受信兼用の探触子とする場合には、 1つの振動子 10cは図 5
(c)のようにバイアス電圧入力端子 Bと、送信端子 Tと、受信端子 Rと、グランド端子 G の 4端子デバイスとなる。各振動子 10cは、振動子 11— N (N= l〜mのうちのいずれ カゝ)へ印加されるバイアス電圧と駆動信号とを重畳する加算器 103と、抵抗 102と、コ ンデンサ 101とを含む構成となる。
[0033] つぎに、上述してきた本発明の配列型探触子 10を用いた超音波診断装置 1の全 体構成と動作について図 6を用いて説明する。本実施形態の超音波診断装置 1は、 連続波ドプラ法により被検体に係る診断情報 (例えば、血流速度)を取得する装置で ある。
[0034] 図 6に示すように、超音波診断装置 1は、配列型探触子 10と、連続波送信部 20と、 送信用位相回転部 21と、 DCバイアス供給部 23と、受信部 60と、受信用位相回転部 22と、変調バイアス増幅部 24と、システム制御部 300と、表示部 90とを有している。 受信部 60は、増幅部 31と低域濾波部 41と加算部 51と診断情報算出部 80とを備え ている。
[0035] 配列型探触子 10は、ここでは N個の振動子を有し、これらは複数 (NZ2個)の送信 用振動子 10aと複数 (NZ2個)の受信用振動子 10bに分けられ、それぞれが配列さ れている場合を例に説明する。例えば、セクタ配列探触子の右側半分 (1〜NZ2)の 配列振動子を送信用探触子 10Aに、左側半分 (NZ2+ 1〜N)を受信用探触子 10 Bに用いる場合と同様である。送信用振動子 10aと受信用振動子 10bの構造は、す でに説明した通りである。なお、図 6では図示の都合上、送信用探触子 10Aと受信用 探触子 10Bとを 1つの送信用振動子と 1つの受信用振動子のみで示している。
[0036] 連続波送信部 20は、連続正弦波 (周波数 ω 、例えば 2MHz)を生成する。送信用 位相回転部 21は、送信時のフォーカシングのために、連続波送信部 20の連続正弦 波を各送信用振動子 10aごとに所定の位相量ずつ回転させ、これを駆動信号として 送信配列振動子 10aの送信端子 Tに供給する。一方、 DCバイアス供給部 23は、送 信用振動子 10aの感度を規定するために所定の大きさの直流バイアスを送信用振動 子 10aのバイアス端子 Bに供給する。これにより、配列された送信用振動子 10aから、 生体内の所定フォーカス位置に対して連続波超音波が放射される。
[0037] 生体内の血流などの移動物体で反射された超音波は、移動物体の移動速度に応 じて、周知のごとく周波数シフトし、周波数 ω (= ω t+ Δ ω 、例えば 2ΜΗζ+ 1Κ
1 0 0
Hz)となって、配列された受信用振動子 10bに入射する。入射した超音波信号は、 受信用振動子 10bにおいて電気信号に変換されるが、本実施の形態では、上述した ように電気信号への変換と同時に、復調処理が実施される。
[0038] 受信用位相回転部 22は、受信時のフォーカシングのために、連続波送信部 20の 出力する連続正弦波信号の位相を各受信用振動子 10bごとに所定量ずつ回転させ て変調バイアス増幅部 24に供給する。変調バイアス増幅部 24は、位相回転された 連続正弦波信号の振幅を予め定めた振幅 (例えば 100V)まで増幅することにより、 駆動信号と同じ周波数で所定振幅の連続波電圧信号を生成し、これを変調バイアス 信号として受信用振動子 10bのバイアス端子 Bに供給する。
[0039] 配列された受信用振動子 10bのうち、 k番目の振動子 10bの受信工程について数 式を用いて具体的に説明する。生体内で反射し、 k番目の振動子で受信される超音 波は、生体内の焦点位置と k番目の振動子 10bとの距離で決まる位相 Θ (k)を用いて g(t,k) = G'cos(co t+ 0 (k》 · '·(4)
と表される。受信用位相回転部 22により位相を Θ (k)だけ回転させることにより、 k番目 の受信用振動子 10bのバイアス端子 Bに供給される変調バイアス信号は、
F(t、 k) = F'cos( co t— 0 (k)) · '· (5)
ο
と表される。このとき k番目の受信用振動子 10bの受信端子 Rから出力される電圧信 号 R(t)は、上述した式 (3)より F(t,k)'g(t、 k)に比例するが、その高調波成分 (例えば 4 . 001MHz)を除いて、 R(t,k) = 2-Kr-F-G-cos( A ω t) · '· (6)
o
となり、周波数 Δ ω (例えば ΙΚΗζ)のみが抽出され、ドプラ復調が実現されている。
0
しかも、 Θ (k)の項が含まれておらず、素子番号 kによらず同位相となっており、このこ とは電子フォーカスの整相処理も同時に実現されて 、ることを示して 、る。
[0040] すなわち、本実施の形態では受信用振動子 10bの受信端子 Rの出力波形は、ドプ ラ復調および整相が施された信号と同等の信号になっている。よって、受信部 60で は、振動子 10bで受信する際に生じる高調波成分 (4. 001MHz)を低域濾波部 41 によって取り除くだけで、ドプラ周波数 Δ ω (ΙΚΗζ)を求めることが可能となる。また
0
、増幅部 31は、低域濾波部 41の前段で信号処理に必要な所定レベルまで増幅する 。加算部 51は、低域濾波部 41の後段で、配列された各受信用振動子からの信号を 加算するが、各受信用振動子力もの出力信号は式 (6)のように番号 kによらないから 、加算部 51において従来のような整相処理は不要であり、単なる加算のみを行う。こ れにより、加算部 51の出力は、ドプラ周波数、ここでは ΙΚΗζのオーディオ周波数帯 となり、診断情報算出部 80に入力される。診断情報算出部 80は、自己相関処理など の周知の演算を行うことにより、被検体の診断情報 (例えば移動物体の移動速度や、 その 2次元分布画像)の生成に必要な演算を行う。診断情報は、表示部 90に表示さ れる。なお、低域濾波部 41と増幅部 31の順番は、高調波成分が増幅部 31の飽和、 あるいは加算部 51の飽和を惹起しない範囲で交換しても、本発明の機能は損なわ れない。
[0041] システム制御部 300は、連続波送信部 20、送信用位相回転部 21、受信用位相回 転部 22、 DCバイアス供給部 23、変調バイアス増幅部 24などの各部に制御指令を 出力する。システム制御部 300は、例えば DSP (Digital Signal Processor)によ り構成される。具体的には、システム制御部 300は、位相回転や診断情報の演算な どに必要なデータを演算して供給する機能や、バイアス電圧の制御機能を有する。 なお、図面上の煩雑さを避けるため、図 6においてはシステム制御部 300からの指令 の流れを示す線図を省略している。表示部 90は、受信部 60がドプラ周波数から求め た被検体に係る診断情報を表示する。
[0042] 本発明者は、上記のバイアス電圧でその感度が定まる探触子 10を用いて超音波 診断装置 1を作成し、性能を確認した。探触子 10を構成する振動子 1個は、ドラム 18 の空孔 18eの高さを 0. 3ミクロン、 1つのドラム 18の大きさを 50 m (直径)で、ドラム 18の配列は図 2に示す構成で横 4列、縦 200列とし、探触子 10の構造は図 1のよう に振動子 11 1〜11 mがー配列された構造とした。送信用配列振動子に印加す る DCバイアス電圧の大きさは 100ボルト、受信用振動子に印加する変調バイアス電 圧の振幅は 100ボルト (ピーク対ピーク)とした。この構造および条件により、超音波 周波数 2— 5MHzで良好なドプラ復調感度を得ることができた。
[0043] つぎに、比較例として、従来の連続波ドプラ機能を提供する超音波診断装置の構 成を図 8を用いて説明する。図 8の超音波診断装置は、 N個の配列振動子を有する 探触子 170が各々 NZ2個の振動子から成る送信用探触子 170Aと受信用振動子 1 70Bに分けられている。探触子 170Aと 170Bは、一般的な圧電素子型振動子を用 いて構成されている。信号処理部には、整相機能とドプラ復調機能とを有する復調部 140が配置されている。比較例の図 8の装置では、復調部 140に受信用位相回転部 22の出力信号が入力される。その他、本実施の形態の超音波診断装置と同じ構成 部分には同じ符号を付し、説明を省略する。送信用探触子 170Aから生体内へ送波 された連続波超音波は、生体内の血流などの移動物体で反射され、周波数 ω (= ω t+ Δ ω 、例えば 2ΜΗζ+ 1ΚΗζ)となって、受信用探触子 170Bに入射する。
0 0
受信用探触子 170Bには本実施の形態のように復調機能はないため、その出力電圧 波形は、周波数 ωである。復調部 140は、受信信号の周波数成分 ω と、受信用位 相回転部 22の出力 ω とを乗算し、 Δ ω と 2 ω t+ Δ ω を形成する。同時に、受信
0 0 0 0
信号に含まれる 0 (k)を整相する。低域濾波部 41は、 Δ ω と 2 ω t+ Δ ω のうち Δ
0 0 0
ω成分 (例えば ΙΚΗζ)、すなわちドプラ周波数のみを取り出す。システム制御部 13
0
00は、これらの処理を制御する。
[0044] 図 8の比較例の構成では、復調部 140が処理可能なレベルまで前置増幅部 131に より超音波探触子 170Bの受信信号を増幅するため、熱雑音の大きな前置増幅部 1 31の性能によって復調部 140の性能が事実上制限される。その結果、図 8の比較例 の超音波診断装置では、診断情報となる生体内の熱雑音 (血流の走行状態等)が、 前置増幅部 131の雑音に埋もれる場合があつた。 [0045] これに対し、本発明の超音波診断装置 1は、その感度がバイアス電圧で定められる 超音波探触子 10を用い、バイアス電圧を変調することにより、探触子 10において受 信と同時に復調することができるため、復調処理は、増幅部 31の熱雑音の影響をう けない。よって、増幅部 31の後段で復調したならば熱雑音に埋もれたであろう微弱な 信号であっても、大幅に改善された信号対雑音比で検出できる。また、復調処理を 探触子 10で行うため、信号処理を行う受信部 60には、従来の電子回路の復調部 14 0は不要であり、装置の大幅な小型化と低価格ィ匕を図ることができる。
[0046] また、従来は、配列された探触子の隣接探触子間のクロストークにより、前置増幅部 131の飽和現象が生じていた力 本発明の超音波診断装置では、増幅部の飽和現 象が発生しないため、配列された送信探触子 10Aと配列された受信配列探触子 10 Bとの間にいわゆるギャップ素子を配置する必要がない。よって、配列探触子の全素 子をドプラ検出に使用できる他、送信用振動子と受信用振動子とを交互に配列した いわゆるインターリーブ方式のドプラ診断装置の形成が可能である。これにより、左右 に送信用探触子および受信用探触子を分割配置した場合よりも優れたビームを利用 することが併せて可能である。なお、送信用探触子 10Aおよび受信用探触子 10Bは 、図 5 (c)のように送受信を兼用する配列振動子 10cの構成とすると、連続波ドプラの 他に Bモード撮像、 Mモード、パルスドプラやドプラ断層撮像 (CFM)へ対応すること も可能である。ここまでは連続波ドプラとして知られるモードについて説明してきたが 、超音波診断装置の他のモード、 Bモード撮像、 Mモード撮像、パルスドプラ、ドプラ 断層撮像 (CFM)においても本発明の骨子は損なわれない。実際、 Bモード撮像に おいては、例えば、中心周波数 3MHzのパルス波形が超音波の送受信に用いられ る力 受信された中心周波数 3MHzのパルスは、 3MHzで変調されたバイアス電圧 により、そのキャリア周波数 3MHzが復調され、包絡線信号となるのである。周知のよ うに Bモード撮像においては、検波回路などにより包絡線信号を抽出してその強度情 報を輝度情報に対応させて画像表示するのであるが、ここでも探触子の受信工程に おいて包絡線信号の抽出が行われ、後続する増幅器の雑音に埋もれることなく微弱 な信号を映像ィ匕することができる。
[0047] つぎに、上述の図 6の超音波診断装置 1の超音波送信および受信時の動作につい て、図 7 (a)、(b)を用いて補足説明する。図 7 (a)は、超音波の送波処理のフローを 示すダイアグラムであり、図 7 (b)は、超音波の受波処理のフローを示すダイアグラム である。
[0048] まず、送波処理について図 7 (a)を用いて説明する。
<直流バイアスの印加(S700) >
操作者は、超音波探触子 10を被検体の体表に接触させる。システム制御部 300の 制御下で、 DCバイアス供給部 23により、所定の大きさの直流バイアス dcが送信用探 触子 10Aの振動子のそれぞれに供給される。
[0049] <駆動信号の生成(S702) >
システム制御部 300の制御下で、連続波送信部 20により駆動信号 f(t)が送信用位 相回転部 21に供給される。駆動信号 f(t)は連続正弦波(例えば、周波数 ω = 2ΜΗ
0 ζ)であり、式(7)のように表される。なお、式(7)の Fは常数である。
0
f(t) = F -cos(W t) - -- (7)
0 0
[0050] <駆動信号の位相回転(S704) >
システム制御部 300の制御下で、送信用位相回転部 21は、駆動信号 f(t)の位相を 所定の位相量 Θ 'だけ回転させ、送信用探触子 10Aのそれぞれの振動子に受け渡 す。位相回転量 Θ 'は、送信時フォーカシングを実現するためにフォーカス位置に応 じて振動子ごとに予め決められたものである。具体的には、配列探触子 10A内の基 準振動子力 k番目(k=自然数)の振動子に供給される駆動信号 f(t,k)は、位相 Θ (k )だけ回転される。駆動信号 f(t,k)は、直流バイアス dcに重畳して送信用振動子に供 給される。送信用探触子 10Aに供給される駆動信号 f(t、 k)は、式 (8)のように表され る。
f(t,k) = Fo 'cos(co t- Θ ' (k)) - -- (8)
o
[0051] <超音波送波信号の射出(S706)〉
送信用探触子 10Aは、駆動信号 f(t,k)に対応した超音波送波信号 T(t,k)を被検体 ( 例えば血球などの移動物体)に向けて射出する。具体的には、被検体に向けて射出 される超音波送波信号 T(t,k)は、式(9)のように表される。式(9)の Ktは、送信用振 動子を構成する材料や幾何学的寸法に基づき定められる常数である。 T(t,k)= (2 -Kf dc-f(t,k)) + (高調波成分) ·'·(9)
[0052] 超音波信号 T(t,k)は、被検体により反射され、受信用探触子 10Bにより受波される (
S806)。受波時の各部の動作につ!、て図 7 (b)を用いて説明する。
[0053] <駆動信号の供給(S800) >
システム制御部 300の制御下で、連続波送信部 20により生成された駆動信号 f(t) が受信用位相回転部 22に供給される。この信号 f(t)に基づいて、駆動信号と同じ周 波数 ω の変調バイアス信号が生成される。以下、受信処理において、駆動信号 f (t)
0
を変調信号 f (t)と称する。
[0054] <変調バイアス信号の位相回転(S802) >
受信用位相回転部 22は、受信時フォーカシングを実現するために、変調信号 f(t) の位相を所定の位相量 Θだけ回転させる。回転位相量 Θは、受信時フォーカス位置 に応じて予め定められている。受信用探触子 10Bの基準振動子力も k番目(k=自然 数)の振動子に供給される変調信号 f(t,k)は、位相 Θ (k)だけ回転される。位相回転さ れた変調信号 f' (t、 k)は、式(10)のように表される。変調信号 f' (t、 k)は、変調バイァ ス増幅部 24に供給される。
f' (t,k)=Fo -cos(W t- Θ (k)) - -- (10)
o
[0055] <変調バイアス信号の印加(S804)〉
変調バイアス増幅部 24は、変調信号 f' (t、 k)を増幅することにより、周波数が駆動 信号と同じ周波数 ω の変調バイアス信号 F(t、 k)を生成し、受信用探触子 10Bに供
0
給する。例えば、変調信号 f' (t、 k)の振幅が 10Vの場合には、変調バイアス信号 F(t 、 k)の振幅が 100V程度になるように増幅する。増幅後の変調バイアス信号 F(t、 k)は 、式(11)のように表される。ただし、 Fは常数である。なお、式(11)のように変調バイ ァス信号 F(t、 k)の周波数は、駆動信号 f (t)と同一周波数 ω としているが、駆動信号
0
の周波数が帯域を持つ場合には、帯域内の周波数であればそのような周波数に設 定することちでさる。
F(t,k) = F'cos(co t— 0 (k))
0
[0056] 変調バイアス信号 F(t、 k)は、受信用回路 13を介して、探触子 10Bを構成する cMu tl8の上部電極 18aに印加される。 [0057] <超音波反射信号の受波と復調(S806) >
上記 S706の工程で送波された超音波送波信号は、被検体で反射され、超音波反 射信号 g(t、 k)となって、各受信用振動子に到達する。超音波反射信号 g(t、 k)の周波 数 ω は、被検体の血球等の反射源の移動速度に応じたドプラシフト周波数 Δ ω を
1 0 含んでおり(ω = ω + Δ ω )、式(12)のように表される。
1 0 0
g(t,k) = G'cos(co t+ 0 (k)) - -- (12)
[0058] 超音波反射信号 g(t,k)は、変調バイアス信号 F(t,k)によって感度が変調された受信 用探触子 10Bによって受信される。これによつて、受信用探触子 10Bから出力される 復調信号 R(t,k)は、式(13)のようにドプラ復調処理が施された信号となる。また、式( 13)力もわ力るように、ドプラシフト成分は、番号 kの値にかかわらず同位相となり、整 相処理 (ビームフォーミング)も施されて 、る。
R(t,k)= (Kr-F-G-cos ( A ω t) ) + (高調波成分) 〜(13)
0
[0059] <復調信号の処理 >
受信用探触子 10Bから出力される復調信号 R(t、 k)は、受信部 60に受け渡され、増 幅部 31によって増幅された後、低域濾波部 28で高調波成分が除去される。これによ り、ドプラシフト周波数成分が抽出される。ドプラシフト周波数成分として抽出された 信号は、受信口径に対応した受信用振動子のものについて加算部 51により加算さ れる。加算部 51から出力された信号は、診断情報算出部 80において、自己相関処 理などが施されることにより、被検体の診断情報 (例えば、血流速度や二次元速度分 布画像)が求められる。求められた診断情報は、表示部 90に表示される。
[0060] つぎに、先に述べた式 (3)について補足説明をする。式 (3)は、受信時の探触子の 出力電圧が変調バイアスに比例することを示す式である。 cMUTによる受信時出力 電圧は、直流バイアスに比例するという式(2)が周知であるが、これが、ノ ィァスを変 調させた場合についても成立することを発明者が実験により確認し、式 (3)を得て、 本実施の形態の説明に用いている。し力しながら、受信用探触子において受信と同 時に復調するという本発明には、その受信感度がバイアス電圧の大きさに応じて変 化する超音波探触子であれば、必ずしも式 (3)の特性でなくても用いることができる。 よって、超音波反射信号や変調バイアス信号についての 2次以上の項を有する特性 の超音波探触子を用いて実現することが可能である。
[0061] なお、(3)式が成立することは、本発明者が実験により確認している力 数式上では 次のように考えることができる。 cMUT探触子の受信時の出力電圧信号 R(t)は、周知 の二乗モデルを用いて式(14)のように表すことができる。
R(t)=Kr-(dc+g(t))2
=Kr-(dc2+ 2dc · g(t) + g(t)2) …
ただし、 Krは常数、 dcは直流バイアス電圧、 g(t)は超音波反射信号である。
[0062] 式(14)においてバイアス電圧を F(t)で変調すると、式(15)のように表すことができ る。
R(t)=Kr- (F(t)2+2F(t)-g(t)+g(t)2) 〜(15)
[0063] 式(15)のように、出力信号 R(t)は、超音波反射信号 g(t)の一次の項と二次の項とを 含んでいる。生体にダメージを与えないために、超音波送信信号は微弱に設定され るため、超音波反射信号 g(t)も微弱 (例えば IV)であるから、変調バイアス信号 F(t)の 振幅を、超音波反射信号 g(t) (例えば IV程度)よりも大きぐ例えば 100Vに設定する ことにより、 g(t)の二次の項を無視することができる。また、 F(t)の二次の項は、 ω の 2
0 倍の周波数の高調波成分であるため、低域濾波部 41で容易に取り除くことができる 。よって、式(3)のように表すことができる。
R(t) = 2-Kr-F(t)-g(t) … )
[0064] これを周波数 ω 、ドプラ周波数 Δ ω を用いて表すと以下のようになる。
0 0
変調信号を F(t) = F'COS(co t)とし、ドプラ効果により周波数シフトした超音波受信信
0
号を g(t) = G'cos(co t+ 0)とする(ω =ω t+ Δ ω 、 θ:反射体と受信用振動子と
1 1 0 0
の距離で決まる位相回転量)と、式(15)は、以下の式(16)ように表される。
R(t)=Kr-(F2-cos2(W t) + FG(cos(A ω t+ θ)
O 0
+ cos(2co t+Δ ω t+ 0》 + G2'cos2(co t+ 0》 "-(16)
0 0 1
[0065] 式(16)において、直流成分も周波数 ω の 2倍高調波成分を濾波器で取り去ると、
0
式(17)のようになり、探触子の出力電圧 R(t)として、ドプラシフト成分のみを抽出する ことができる。
R(t)=Kr-F-G-cos(A ω t) ---(17) [0066] よって、本実施の形態においては、受信用探触子 10bの出力が式(15)で表される 場合には、変調バイアス信号 F(t)の振幅は、超音波反射信号 g(t)よりも大きぐ例え ば 2倍以上に設定することが望ましい。さらには 10倍以上に設定することがより好適 である。
[0067] ただし、 cMUT探触子の出力特性は、ドラムを構成する材料や形状、ドラムの配列 、ならびに、使用条件によって変化するため、これらを設計'設定することにより出力 特性を制御し、受信感度がバイアス電圧の大きさに応じて変化する範囲で使用する ことももちろん可能である。
[0068] なお、受信用探触子は、受信感度がバイアス電圧の大きさに応じて変化するもので あれば cMUT探触子に限られず他の構成のものを用いることができる。例えば、電 歪材料 (例えば、 Pb (Mg Nb ) 0— PbTiO系固溶体セラミックス)から形成さ
1/3 2/3 3 3
れたものを用いることができる。
[0069] なお、本実施の形態では送信用探触子と受信用探触子を別々に配設した例を説 明したが、図 5 (c)に示す構造の送受信兼用振動子 10cを配列して、同一の振動子 により超音波信号を送受する形態としてもよい。また、本実施の形態では送信用振動 子の数 (NZ2個)と受信用振動子の数 (NZ2個)を同じとしたが、必ずしも同数でな くてちょい。
[0070] 探触子 10を構成する振動子 11—1〜: L l—mのドラム 18の形状は、ここでは六角 形の場合について説明した力 多角形あるいは円形等の他の形状にすることも可能 である。
[0071] 上述してきた超音波診断装置は、連続波ドプラ法を用いる装置であるが、パルスド ブラ法や組織断層像法にも通用できる。その場合、診断情報算出部 32または加算 部 30の後段に、受信信号に基づき超音波像 (例えば、カラードプラ断層像や組織濃 淡断層像)を構成する画像処理部を配置する。
産業上の利用可能性
[0072] 本発明は、超音波探触子を介し被検体との間で超音波を送受し、超音波探触子か ら出力される信号に基づき被検体の診断情報 (例えば、血球などの反射源の移動速 度や速度分布、又は組織断層像)を取得する超音波診断装置に適用することができ 、特に、受信系の信号対雑音比が高ぐ高感度の超音波診断装置を提供する。 図面の簡単な説明
[0073] [図 1]本実施の形態の超音波診断装置の超音波探触子 10の一部の構成を示す切り 欠き斜視図である。
[図 2]図 1の超音波探触子の振動子 11 1〜: L1 mの上面図である。
[図 3]図 1の振動子 11— 1等を構成するドラム 18の断面図である。
[図 4]図 3のドラム力 超音波を発信および受信するために必要な電気回路を示す回 路図である。
[図 5] (a)送信用振動子の構成を示すブロック図である。 (b)受信用探触子の構成を 示すブロック図である。(c)送受信兼用振動子の構成を示すブロック図である。
[図 6]—実施形態の超音波診断装置の構成を示すブロック図である。
[図 7] (a)図 6の超音波診断装置の超音波の送波処理を示すダイアグラムである。 (b) 図 6の超音波診断装置の超音波の受波処理のフローを示すダイアグラムである。
[図 8]比較例の超音波診断装置の構成を示すブロック図である。
符号の説明
[0074] 10···超音波探触子、 10A…送信用探触子、 10B…受信用探触子、 10a…送信用 振動子、 10b…受信用振動子、 10c…送受信用振動子、 ll— l〜ll—m…振動子 、 12···ノ ッキング層、 13···マッチング層、 14···音響レンズ、 18···ドラム、 18a…上部 電極、 18b…下部電極、 18c…基板、 18d…絶縁体膜、 18e…空孔、 18f…半導体 薄膜、 18g…配線、 20···連続波送信部、 21···送信用位相回転部、 22···受信用位 相回転部、 23· "DCバイアス供給部、 24···変調バイアス増幅部、 31···増幅部、 41 …低域濾波部、 51···加算部、 60…受信部、 80···診断情報算出部、 90···表示部、 1 01···コンデンサ、 102、 102a, 102b…抵抗、 103···カロ算器、 104···ノ ィァス電圧発 生源、 105…駆動信号発生源、 111…インピーダンス、 300…システム制御部。

Claims

請求の範囲
[1] 被検体との間で超音波を送受する超音波探触子と、前記超音波探触子に駆動信 号を供給する送信手段と、前記超音波探触子から出力される信号を処理する受信手 段と、該受信手段から出力される受信信号に基づき構成された前記被検体に係る診 断情報が表示される表示手段とを備え、
前記超音波探触子は、前記駆動信号を重畳して印加されるバイアス電圧の大きさ に応じて超音波送受信感度が変化する振動子を有し
前記振動子に直流バイアスを印加する直流バイアス手段と、前記駆動信号に基づ いた変調されたノ ィァス電圧信号を前記振動子に印加する変調バイアス手段が設け られてなることを特徴とする超音波診断装置。
[2] 被検体との間で超音波を送受する超音波探触子と、前記超音波探触子に駆動信 号を供給する送信部と、前記超音波探触子から出力される信号を処理し、前記被検 体に係る診断情報を算出する受信部とを有し、
前記超音波探触子は、印加されるバイアス電圧の大きさに応じて受信感度が変化 する複数の振動子を含み、
前記受信部は、振幅が変調されたバイアス電圧信号を前記振動子に印加する変調 ノ ィァス供給部を備えることを特徴とする超音波診断装置。
[3] 請求項 1に記載の超音波診断装置にお!ヽて、前記変調されたバイアス電圧信号の 周波数帯域は、前記送信部が超音波探触子に供給する前記駆動信号の周波数帯 域内であることを特徴とする超音波診断装置。
[4] 請求項 2に記載の超音波診断装置において、前記変調されたバイアス電圧信号の 周波数帯域は、前記送信部が超音波探触子に供給する前記駆動信号の周波数帯 域内であることを特徴とする超音波診断装置。
[5] 請求項 1に記載の超音波診断装置にお!ヽて、前記変調されたバイアス電圧信号の 周波数帯域は、前記送信部が超音波探触子に供給する前記駆動信号の周波数帯 域と同一であることを特徴とする超音波診断装置。
[6] 請求項 2に記載の超音波診断装置において、前記変調されたバイアス電圧信号の 周波数帯域は、前記送信部が超音波探触子に供給する前記駆動信号の周波数帯 域と同一であることを特徴とする超音波診断装置。
[7] 請求項 1に記載の超音波診断装置において、前記振動子は、超音波の受信の際 にドプラ復調処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[8] 請求項 2に記載の超音波診断装置において、前記振動子は、超音波の受信の際 にドプラ復調処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[9] 請求項 1に記載の超音波診断装置にお!、て、前記変調バイアス供給部は、受信時 のフォーカス位置に応じて、前記振動子ごとに、前記変調されたバイアス電圧信号の 位相を予め定めた位相量だけずらすことを特徴とする超音波診断装置。
[10] 請求項 2に記載の超音波診断装置にお 、て、前記変調バイアス供給部は、受信時 のフォーカス位置に応じて、前記振動子ごとに、前記変調されたバイアス電圧信号の 位相を予め定めた位相量だけずらすことを特徴とする超音波診断装置。
[11] 請求項 1に記載の超音波診断装置において、前記複数の振動子は、超音波の受 信の際に整相処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[12] 請求項 2に記載の超音波診断装置において、前記複数の振動子は、超音波の受 信の際に整相処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[13] 被検体との間で超音波を送受する超音波探触子と、前記超音波探触子に駆動信 号を供給する送信部と、前記超音波探触子から出力される信号を処理し、前記被検 体に係る診断情報を算出する受信部とを有し、
前記超音波探触子は、振動子を備え、該振動子は、空隙を挟んで配置された一対 の電極を有し、該一対の電極の少なくとも一方は変位可能な構成であり、該一対の 電極には、出力端子と、該一対の電極間にバイアス電圧を印加するためのバイアス 端子とが接続され、
前記受信部は、前記バイアス電圧として、振幅が変調されたバイアス電圧信号を前 記振動子に印加する変調バイアス供給部を備えることを特徴とする超音波診断装置
[14] 被検体との間で超音波を送受する超音波探触子と、前記超音波探触子に駆動信 号を供給する送信部と、前記超音波探触子から出力される信号を処理し、前記被検 体に係る診断情報を算出する受信部とを有し、 前記超音波探触子は、超音波を受信する振動子を有し、該振動子は、受信の際に ドプラ復調処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[15] 請求項 14に記載の超音波診断装置において、前記振動子は、時間に伴い受信感 度が変調し、超音波信号を電気信号に変換する過程で前記ドプラ復調処理を行うこ とを特徴とする超音波診断装置。
[16] 請求項 14に記載の超音波診断装置において、前記振動子は、印加されるバイアス 電圧の大きさに応じて受信感度が変化する特性を有し、
前記受信部は、前記バイアス電圧として、振幅が変調されたバイアス電圧信号を前 記受信用振動子に印加する変調バイアス供給部を備えることを特徴とする超音波診 断装置。
[17] 被検体との間で超音波を送受する超音波探触子と、前記超音波探触子に駆動信 号を供給する送信部と、前記超音波探触子から出力される信号を処理し、前記被検 体に係る診断情報を算出する受信部とを有し、
前記超音波探触子は、超音波を受信する複数の振動子を備え、該複数の振動子 は、受信の際に整相処理を行うこと有することを特徴とする超音波診断装置。
[18] 請求項 17に記載の超音波診断装置において、前記複数の振動子は、時間に伴い 受信感度をそれぞれ所定の位相で変調し、超音波信号を電気信号に変換する過程 で前記整相処理を行うことを特徴とする超音波診断装置。
[19] 請求項 17に記載の超音波診断装置において、前記振動子は、印加されるバイアス 電圧の大きさに応じて受信感度が変化する特性を有し、
前記受信部は、前記バイアス電圧として、振幅が変調されたバイアス電圧信号を前 記受信用振動子に印加する変調バイアス供給部を備えることを特徴とする超音波診 断装置。
PCT/JP2005/018698 2004-10-15 2005-10-11 超音波診断装置 WO2006041058A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006540933A JP5179058B2 (ja) 2004-10-15 2005-10-11 超音波診断装置
EP05793047A EP1806098A4 (en) 2004-10-15 2005-10-11 ultrasonograph
US11/577,334 US8465430B2 (en) 2004-10-15 2005-10-11 Ultrasonic diagnostic apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004300939 2004-10-15
JP2004-300939 2004-10-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006041058A1 true WO2006041058A1 (ja) 2006-04-20

Family

ID=36148350

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2005/018698 WO2006041058A1 (ja) 2004-10-15 2005-10-11 超音波診断装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8465430B2 (ja)
EP (1) EP1806098A4 (ja)
JP (1) JP5179058B2 (ja)
CN (1) CN100522068C (ja)
WO (1) WO2006041058A1 (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008148720A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Hitachi Medical Corp 超音波探触子及び超音波診断装置
JP2008193357A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Hitachi Medical Corp 超音波探触子
EP2091265A1 (en) * 2006-11-08 2009-08-19 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic probe and ultrasonographic device using the same
JP2009207882A (ja) * 2008-02-08 2009-09-17 Toshiba Corp 超音波プローブ及び超音波診断装置
JPWO2008114582A1 (ja) * 2007-03-20 2010-07-01 株式会社日立メディコ 超音波探触子及びその製造方法並びに超音波診断装置
JP2011098071A (ja) * 2009-11-06 2011-05-19 Canon Inc 超音波検出装置及び超音波診断装置
JP2013230233A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Olympus Medical Systems Corp 超音波観測装置および超音波内視鏡の制御方法
JP2014144376A (ja) * 2014-05-02 2014-08-14 Canon Inc 超音波検出装置及び超音波診断装置
US9089873B2 (en) 2007-07-11 2015-07-28 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus
JP2017113218A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 キヤノン株式会社 被検体情報取得装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101304691B (zh) * 2005-11-11 2011-10-26 株式会社日立医药 超声波探头及超声波诊断装置
KR101689346B1 (ko) * 2009-02-27 2016-12-23 코닌클리케 필립스 엔.브이. 기계적 붕괴 보유를 갖는 사전 붕괴된 cmut
JP5409138B2 (ja) * 2009-06-19 2014-02-05 キヤノン株式会社 電気機械変換装置、電気機械変換装置の感度ばらつき検出方法、及び補正方法
JP5578810B2 (ja) * 2009-06-19 2014-08-27 キヤノン株式会社 静電容量型の電気機械変換装置
CN102469983B (zh) * 2010-04-12 2013-04-24 奥林巴斯医疗株式会社 超声波诊断装置
EP2563043A4 (en) * 2010-04-23 2017-05-31 Hitachi, Ltd. Ultrasound probe, production method therefor, and ultrasound diagnostic equipment
JP5087722B2 (ja) 2010-12-28 2012-12-05 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 超音波観測装置
CN102176121A (zh) * 2011-01-18 2011-09-07 河海大学 数字超声经颅多普勒数字解调和信号处理方法及装置
WO2013178231A1 (en) * 2012-06-01 2013-12-05 Syddansk Universitet Ultrasonic transducer with dielectric elastomer as active layer
US9502023B2 (en) 2013-03-15 2016-11-22 Fujifilm Sonosite, Inc. Acoustic lens for micromachined ultrasound transducers
EP2818117A1 (en) 2013-06-26 2014-12-31 Canon Kabushiki Kaisha Object information obtaining system, signal processing method, and program
CN107106191B (zh) * 2014-10-17 2019-08-23 华盛顿大学 宽聚焦的超声推进探头、系统和方法
EP3067091B1 (de) * 2015-03-13 2020-07-29 BIOTRONIK SE & Co. KG Dislokationssensor
EP4358849A1 (en) * 2021-06-23 2024-05-01 Exo Imaging Inc. Systems and methods for testing mems arrays and associated asics

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294579A (ja) * 1988-09-30 1990-04-05 Hitachi Ltd 超音波振動子用電歪磁器組成物

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6605043B1 (en) 1998-11-19 2003-08-12 Acuson Corp. Diagnostic medical ultrasound systems and transducers utilizing micro-mechanical components
US6592525B2 (en) 2001-07-31 2003-07-15 Koninklijke Philips Electronics N.V. Micro-machined ultrasonic transducer (MUT) having improved sensitivity
US6795374B2 (en) 2001-09-07 2004-09-21 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Bias control of electrostatic transducers
US7087023B2 (en) 2003-02-14 2006-08-08 Sensant Corporation Microfabricated ultrasonic transducers with bias polarity beam profile control and method of operating the same
US7134343B2 (en) * 2003-07-25 2006-11-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294579A (ja) * 1988-09-30 1990-04-05 Hitachi Ltd 超音波振動子用電歪磁器組成物

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JIN XC ET AL: "Micromachined Capacitive Ultrasonic Immersion Trasducers for Medical Imaging.", PROCEEDINGS OF THE 20TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE OF THE IEEE ENGINEERING IN MEDICINE AND BIOLOGY SOCIETY., vol. 20, no. 2, 1998, pages 779 - 782, XP002984493 *
LADABAUM I ET AL: "Surface Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers.", IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS, FERROELECTRICS, AND FRECUENCY CONTROL., vol. 45, no. 3, May 1998 (1998-05-01), pages 678 - 690, XP000776108 *
See also references of EP1806098A4 *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8758253B2 (en) 2006-11-08 2014-06-24 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus using the same
EP2091265A1 (en) * 2006-11-08 2009-08-19 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic probe and ultrasonographic device using the same
EP2091265A4 (en) * 2006-11-08 2010-12-15 Hitachi Medical Corp ULTRASONIC PROBE AND ULTRASONOGRAPHIC DEVICE USING THE SAME
EP3270607A1 (en) * 2006-11-08 2018-01-17 Hitachi, Ltd. Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus using the same
JP2008148720A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Hitachi Medical Corp 超音波探触子及び超音波診断装置
JP2008193357A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Hitachi Medical Corp 超音波探触子
JPWO2008114582A1 (ja) * 2007-03-20 2010-07-01 株式会社日立メディコ 超音波探触子及びその製造方法並びに超音波診断装置
JP5049340B2 (ja) * 2007-03-20 2012-10-17 株式会社日立メディコ 超音波探触子及び超音波診断装置
US9089873B2 (en) 2007-07-11 2015-07-28 Hitachi Medical Corporation Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus
JP2009207882A (ja) * 2008-02-08 2009-09-17 Toshiba Corp 超音波プローブ及び超音波診断装置
JP2011098071A (ja) * 2009-11-06 2011-05-19 Canon Inc 超音波検出装置及び超音波診断装置
JP2013230233A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Olympus Medical Systems Corp 超音波観測装置および超音波内視鏡の制御方法
JP2014144376A (ja) * 2014-05-02 2014-08-14 Canon Inc 超音波検出装置及び超音波診断装置
JP2017113218A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 キヤノン株式会社 被検体情報取得装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20080064959A1 (en) 2008-03-13
JP5179058B2 (ja) 2013-04-10
CN100522068C (zh) 2009-08-05
CN101039626A (zh) 2007-09-19
JPWO2006041058A1 (ja) 2008-05-15
EP1806098A4 (en) 2012-08-15
EP1806098A1 (en) 2007-07-11
US8465430B2 (en) 2013-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5179058B2 (ja) 超音波診断装置
JP4625145B2 (ja) 音響振動子及び画像生成装置
JP7190590B2 (ja) プログラム可能な生体構造及びフロー撮像を有する超音波撮像デバイス
JP4192598B2 (ja) 超音波診断装置
US20050165306A1 (en) Detection of motion in vibro-acoustography
WO2006041114A1 (ja) 超音波診断装置
Pekař et al. Frequency tuning of collapse-mode capacitive micromachined ultrasonic transducer
JP7268223B2 (ja) 増大された患者安全性を持つ容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ
Wang et al. Development of dual-frequency PMUT arrays based on thin ceramic PZT for endoscopic photoacoustic imaging
Wang et al. A multi-frequency PMUT array based on ceramic PZT for endoscopic photoacoustic imaging
JP2008073391A (ja) 超音波診断装置
Cheng et al. A miniature capacitive micromachined ultrasonic transducer array for minimally invasive photoacoustic imaging
JP5476002B2 (ja) 超音波診断装置
JP2010162185A (ja) 超音波プローブ及び超音波診断装置
JP2005168667A (ja) 超音波診断装置およびその駆動方法
JP5161597B2 (ja) 超音波診断装置
JP4575014B2 (ja) 超音波診断装置
Chen et al. A monolithic three-dimensional ultrasonic transducer array for medical imaging
JP6198204B2 (ja) 超音波診断装置及び超音波診断装置の作動方法
JP4030644B2 (ja) 超音波撮像装置
JP2005125082A (ja) 超音波診断装置
JP7058727B2 (ja) 超音波システムおよび超音波システムの制御方法
Cheng et al. A miniature capacitive ultrasonic imager array
JP5439864B2 (ja) 超音波診断装置
JPS63154167A (ja) 超音波診断装置

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KM KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NG NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SM SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006540933

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200580035041.3

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11577334

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2005793047

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2005793047

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 11577334

Country of ref document: US