WO2005123242A1 - 構造体ならびにこれを用いたチップ、および親/疎液性の制御方法 - Google Patents

構造体ならびにこれを用いたチップ、および親/疎液性の制御方法 Download PDF

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WO2005123242A1
WO2005123242A1 PCT/JP2005/010913 JP2005010913W WO2005123242A1 WO 2005123242 A1 WO2005123242 A1 WO 2005123242A1 JP 2005010913 W JP2005010913 W JP 2005010913W WO 2005123242 A1 WO2005123242 A1 WO 2005123242A1
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WO
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chip
area
line
regular
addition
Prior art date
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PCT/JP2005/010913
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English (en)
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Inventor
Wataru Hattori
Original Assignee
Nec Corporation
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Publication date
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    • B01L2400/084Passive control of flow resistance
    • B01L2400/086Passive control of flow resistance using baffles or other fixed flow obstructions

Definitions

  • Japanese Patent Publication No. 20030328836 describes a method of obtaining a property by partially treating a surface of ikutara formed on hydrophilic glass with kuoctara or the like.
  • the area of the Teflon () -based liquid is obtained above, and the water is obtained by irradiating the water after being put on the hydrophilic area.
  • a technique using surface treatment or ting is generally a target surface state, and it is technically inferior to have anisotropy on a surface exhibiting a target surface state. It is possible.
  • an object of the present invention is to provide a technique for controlling the material surface with a simple configuration.
  • Another object of the present invention is to provide a technique for providing anisotropy to or in addition to the control of or in certain areas of the material surface.
  • a further purpose of Ming is to apply these techniques to provide a technique for keeping the body stable.
  • the body is placed on the surface of the chip on that side,
  • the structure is characterized by this.
  • the structure is formed on the surface of the chip, so that the surface area of the structure is equivalent to that of the surface.
  • the area of the area where the structure is formed is configured to increase more than the area.
  • the ratio of the area of the area where the structure is formed to the area is the ratio of the surface area by forming the structure, and is called the area.
  • the result of this area can further enhance the case where the surface constituting the structure is a desired body.
  • the structure shall be made clear, the structure shall be made regular, and the structure shall be tightly controlled in the area where the structure has been formed.
  • the rate of surface area can be different in two directions on a surface with a regular structure, so that it can be in-plane or anisotropic.
  • the area in this direction is defined as the ratio of the surface area in a small area with a small width along the direction in the two directions defined on the chip surface.
  • the disclosed structure is formed by a regular structure, and cannot be obtained simply by planarizing the chip surface.
  • the method of this regular construction will be described later.
  • the regular structure means that the structure, the arrangement, and the predetermined structure are provided, and that the structure is a radam structure.
  • a row in which a plurality of shapes having a shape are arranged on a straight line has a configuration in which a plurality of are arranged in parallel with each other
  • the structure according to the present invention there is a configuration in which a plurality of rows having a plurality of shapes having a shape are arranged on a straight line, and a plurality of rows are arranged in parallel with each other.
  • the surfaces in the direction perpendicular to the line direction may be different from each other.
  • the width of the surface portion may be a direction parallel to a straight line and a direction perpendicular to the straight line. If generalized further, in the direction parallel to the above-mentioned line and in the direction perpendicular to the above-mentioned line, a different configuration is selected according to the two directions of the line formed by the structural surface composed of a plurality of shapes per unit.
  • the area of the direction of is selected so that they are not arranged in a straight line.
  • the area in the direction perpendicular to the line becomes. Therefore, by selecting this opposite position, it is possible to hold the body even more when having a structural surface,
  • the plurality of arrangements arranged on the line in parallel with each other may be arranged adjacent to each other.
  • the opposite positions arranged above are
  • the movement width varies.
  • a configuration in which the number is arranged in a zigzag shape can be adopted.
  • the chip that is revealed is
  • the body is a chip in that respect
  • a part of the surface of the chip is a chip characterized by being constituted by the structure described above having the above composition. Also, the state of the chip revealed is
  • the body is a chip in that respect
  • the chip is characterized in that a part of the surface of the body in the form of a spoiler is constituted by the structure described above having the above composition.
  • a control method disclosed is a method of controlling the body with respect to the body with respect to a part of the surface of the chip on the surface of the body with respect to the chip.
  • the degree of liquefaction in the region can be closely controlled by controlling the area of the region in which the structure is provided with respect to the region in which the structure is formed. This satisfies the following () described below and corresponds to the roughness factor.
  • the antennae of a surface made of the same chemical substance as the antennae 0 placed on a smooth solid surface and having a structure more than the surface has the following ():
  • the nesting factor represents what the product of the surface having the structure is compared with when the surface is flat.
  • equation (2) by forming a structure in a region where the quality of the surface indicates or of the contact angle, if the area of the area is doubled with respect to the area when the surface is flat, it is proportional to the force The value of the antennae string is doubled.
  • an intentional structure in a desired area on the chip surface it is possible to increase or increase the strength as compared with the case where the surface is flat.
  • the antennae of the sample placed on a smooth solid surface is 900.
  • the surface of the structure constituted by this number indicates the parent, it can be shaped such that the upper surface is narrower than the bottom and the upper surface is wider than the bottom. The upper surface is wider than this surface.
  • the oblique angle of the shape is 90.
  • the antennae of the antenna placed on a smooth solid surface is. .
  • the antenna 9 described above has an upper surface portion that extends from the bottom surface portion.
  • the bevel of the shape it is preferable to select the bevel of the shape so that (0) of the bevel of the shape is (0) 80.
  • the upper surface is narrower than this surface.
  • the angle of the bevel of the shape is the angle formed by the side wall of the bottom part, which is 90, and the screaming of the antenna and the bevel of the shape is 0 (.
  • a surface extending in a predetermined direction may be provided on the surface, and the surface may be formed at one end.
  • the surface is formed along the side of the end, and that the surface is provided with a stop which extends in a predetermined direction.
  • An area may be formed in the surrounding area.
  • the structure is formed on the chip surface and the chip surface is flat.
  • the addition rate of the structure line is formed differently in the direction on the chip surface, it is possible to control the height of the structure line differently in the direction on the chip surface.
  • the anisotropic force due to this direction the interfacial force when the body comes into contact with the surface on which the structure is provided, the line of the structure along a specific direction shows In particular, the effect varies depending on the surface area and direction in which the body comes into contact. You.
  • the structure of the structure is a key.
  • a radiation structure having an anisotropic structure can be manufactured.
  • the rate of addition of the lines in the case of a flat surface differs depending on the direction. Therefore, the force can also be set to be different depending on the direction, or the length can be set to be different depending on the direction on the chip surface.
  • the material structure is controlled with a simple configuration.
  • the art of doing is realized.
  • a technique of having anisotropy in or is realized. According to Ming, they say that the area of interest is
  • the technique of controlling the body By applying the technique of controlling the body, the technique of holding the body in a certain area of the material surface is realized.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of the structure according to the first embodiment.
  • FIG. 22 is a plan view schematically showing the composition of a chip having the following formulas.
  • FIG. 33 is a plan view schematically showing the structure of the structure according to the second embodiment.
  • FIG. 44 is a plan view schematically showing the composition of a chip according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 66 is a plan view schematically showing the composition of a chip according to the present invention.
  • [99 is a plan view showing the structure of the chip according to the second embodiment according to the light. [100 is 9, the square within the square.
  • [122] is a plan view schematically showing the structure of the structure of the third embodiment.
  • FIG. 14 is a view showing surfaces 4 and 3.
  • 155 is a plan view schematically showing the configuration of the fuel cell according to the fourth embodiment of the present invention.
  • a method for tightly controlling the surface of the material is as follows.
  • the area of the structure is larger than that of the structure
  • the area of the area is larger than that of the area. For this reason, if the surface of the structure in the structure is relative to the predetermined body, it can be further increased. In addition, if the surface of the structure is relative to the predetermined body, it is possible to further enhance the structure. Also, Since the structure has a regular structure, the structure and the arrangement of the structure are controlled, so that the structure or the structure can be reliably adjusted.
  • the area of the structure is larger than the area of the structure
  • the area provided above is a regular structure.
  • the area is larger than the area. In this way, by increasing the area of the other region, the object is made more suitable for a given body than for a flat one. For this reason, the body can be held selectively.
  • the structure according to the present invention has a different structure, it cannot be obtained by simply planarizing the base surface. This point will be described later.
  • the surface may be provided with a plurality of members, and each of the plurality of members may hold a body.
  • a configuration in which a plurality of rows in which the plurality of shapes having the shape are arranged in a straight line are arranged in parallel with each other, and the direction of the surface in the direction described above is defined in the direction. And in the direction perpendicular to the plane can be different from each other. By doing so, it is possible to have anisotropy in the characteristics of the object.
  • the body can be held even more and the removal of the surface can be suppressed. Can be.
  • a plurality of shapes have a shape. Make sure that your body is securely held, and that your body is leaking from a specific location, and that you maintain the same degree of uniformity.
  • the ratio of the width of the structure to the width of the portion on the plane perpendicular to the plane may be different on a plurality of planes.
  • a surface extending in a predetermined direction may be provided on the surface, and the surface may be formed at one end.
  • the above-mentioned may be provided over the side of the above-mentioned end.
  • a configuration can be provided in which the body is securely held by the body.
  • a plurality of columns each having the shape having the shape are arranged in parallel with each other in the direction, and the rows are arranged in parallel with each other in the direction.
  • the line of the structure in the plane with respect to the plane in the plane perpendicular to the plane is larger than the line of the structure in the plane with respect to the plane in another cross section perpendicular to the plane. it can. By doing so, it is possible to form a structure having anisotropy.
  • the direction can be parallel to the direction. By doing so, it is possible to make a configuration that is more dependent on the direction of the object. For this reason, it is possible to securely hold the body inside and to suppress lateral protrusion.
  • the width of the surface in the direction may be larger than the width of the surface in a direction perpendicular to the direction.
  • a plurality of can be checkered. By doing so, it is possible to more reliably suppress the body's outflow.
  • a plurality of gaps in the perpendicular direction may be constituted more than the plane in the perpendicular direction.
  • the area of the device can be increased to a minute compared to the case where the device is flat.
  • the liquid is more liquefied than the
  • the body By increasing the area of the sloping area, the spills out of the plane for a given body. For this reason, the body can be selectively excluded.
  • the structure according to the present invention is a structure having the following structure, and thus cannot be obtained simply by planarizing the base surface. In this regard Will be described later.
  • the line of the structure in the plane with respect to the above in a perpendicular plane may be larger than the line of the structure in the plane with respect to the plane in another cross section perpendicular to the plane. .
  • anisotropy in the object it is possible to have anisotropy in the object.
  • a configuration in which a plurality of rows having a shape are arranged in a straight line and a plurality of rows are arranged in parallel with each other allows the body to be held more effectively.
  • a plurality of shapes have a uniform shape to a degree that they are protruded from a flat portion at a specific location. Clearly, it can be shaped.
  • the above may be formed so as to satisfy the above. By doing so, it is possible to obtain a stable and stable configuration. Note that, in the embodiment to be described, the same flat structure can be used.
  • a chip comprising the above-mentioned body.
  • a control method characterized in that the surface is controlled by using the above.
  • the surface is controlled by using the above.
  • the degree of conversion in the structure by controlling the area of the structure with respect to the structure, it is possible to control the degree of conversion in the structure. Note that this satisfies the above-described equation (), and corresponds to a roughness factor.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the configuration of the structure according to the present embodiment.
  • (a) to (c) are diagrams schematically showing the structure of structure 00.
  • (a) is a plan view of the structure 00
  • (b) is a plan view of (a), one point bb
  • (c) is a plan view of (a), one point c.
  • 0067 03 is a regular structure provided on the 0 plane.
  • a square pillar-shaped 02 is added to a plurality of 0's, which is a regular structure.
  • the number 02 is a plurality of shapes having a shape, which are arranged in the same shape.
  • “a plurality of shapes have a shape” means that the shape has such a uniformity that a body from which a body leaks from a certain area of 03 is held.
  • a pyramid, a cone, or the like can be used.
  • the pyramid may be R (o).
  • the area of 03 is larger than the area of 03. Also,
  • the structure 00 which is less than the outer circumference 04 consisting of a flat surface.
  • the structure 00 is a simple structure excellent in manufacturing and stabilization, and the structure is such that 03 can be selectively parented and the body can be securely held at 03.
  • the area of the structure where the 03 was formed By controlling, it is possible to control the degree of liquefaction at 03 or. By increasing the size, 03 can be further increased. Therefore, the body can be selectively held at 03.
  • the surface area is a Uzne's equation, that is, funesfac in the above-described equation (2), and is a child that represents what the product of the surface having the structure is compared to when the surface is flat.
  • the antennae of a predetermined body which is made of the same material as the surface 03 and placed flat. Also, is the antennae of the object placed on the made 03. In this case, 0 is the antenna of the outer circumference 04.
  • the antennae on the surface of the subject's body the effective antennae on the actual surface having the structure,
  • SS is set. Especially, said:
  • the apparent area S is (2) X (2)
  • the area S of the actual surface having the structure is 2) X (2) 2 X () X,
  • the desired value can be adjusted by adjusting the size of 00 and its 22.
  • semiconductor material for example, silicon
  • the value of can be refined by deepening the switch.
  • precise control can be achieved by changing the skew ears used at the time of crafting.
  • the outer circumference 04 is usually made of one substance, but for example, the outer circumference 04 can be changed. Further, the surface of the outer periphery 04 may be made of a chemical substance indicating a machine. By doing this, the body of 03 20
  • the method of the structure 00 shown in () to (c) will be described.
  • the material of zero elastic materials such as glass, quartz, various plastic materials, and rubber can be used.
  • 00 can be obtained by forming a structure at the same time with a crafting and a cutting technique used in the case of the 0 construction. In this case, it is necessary to have a good affinity with these processes and to be able to control the area of the structure and its product with the product area.
  • Changing the difference of 00763 is, for example, that the tan to be formed is the same in a class that forms a distant such as an okra electron club or an imp. It is only necessary to control the pitch in the subsequent pitching process such as dry etching.
  • the structure 00 is more suitable for the process operation, and is capable of controlling the addition rate of the surface area due to the structure. Also, it is suitable for controlling, for example, every 0 or every time.
  • the area of the structure of the structure 03 is controlled by controlling the tangent to be formed and the field viewed from the upper surface of the unit area. it can.
  • the same etching is performed in a subsequent etching process such as a switching operation, since the formed data is different, it is possible to change the case of the area of 03 to the area of 03, or Can be controlled.
  • the addition of the surface area can be simultaneously changed in the same group by one switching step, it can be suitably used for controlling each of the same groups.
  • embossing is used.
  • the addition rate of the surface area can be changed for each different value within the same same zero.
  • it can be suitably used when controlling the same base or each other.
  • it can be obtained by forming a resistor corresponding to the composition of O2 arranged on the surface of 0, and by etching the surface of 0.
  • it is also possible to remove the etching and the zigzag, for example, to form the high surface on 0C on the 0 surface.
  • the 0 plane can be made hydrophilic.
  • the formation due to the structure can be further remarkable. Therefore, it is possible to reliably hold water.
  • 03 of the structure 00 is particularly suitable for satisfying the condition for holding the body.
  • the position and the position of 02 can be, for example, as follows.
  • the hand direction of 02 is, for example, 0.0
  • the value of 2 on the 02 plane in the longitudinal direction can be reduced by 0.050 /.
  • 02 The direction can be, for example, less than 0.50.
  • 2 of the 02 plane in the direction can be filled with 0.050.
  • the value of 02 can be reduced by 0.50.
  • the area is increased by the structure, compared to the area of 03 when the surface of 0 is flat.
  • 03 is in the range of 20 and 45
  • 02 is a cube with: 2.5,: 7.5 and height: 5 /
  • 02 is placed 4X32 in the range
  • 0 in 03 The area of this is 2X (2575) X2X5 (20X45) 2.3, which can be increased by a factor of 2 to 3 when it is flat.
  • the base surface is made of such a quality that the antennae 0 when the surface is flat is 65 degrees
  • the antennae dv to the body is 9 due to the surface area by this structure. ⁇ It has dropped to 5 degrees, and an extremely high state has been realized.
  • the base surface is made of such a quality that the antennal angle 0 is 30 degrees when the surface is flat
  • the structure 00 shown in (a) to (c) can have a structure exceeding Cos, so that 03 can be made water-based, for example. It is possible to securely hold the body in the made 03. It can be suitably used as a structure in which 00 and 03 are useless.
  • In 03 may be different depending on the direction.
  • a plurality of rows in which a plurality of 02 having a shape are arranged in a straight line are arranged in parallel with each other at 03, and a plane perpendicular to the direction of the plane of 02 in the extending direction of the rows is provided.
  • the planes of the 02 in the direction may be different from each other.
  • the width of the surface 02 in the right direction that is, the extension direction of the row, is equal to the width of the surface 02 in the vertical direction. It is bigger than.
  • the structure 00 shown in the drawing can be formed in a predetermined area by using micro-surgery in manufacturing a chip or the like. For this reason, the structure 00 has a configuration excellent in manufacturing and manufacturability. In addition, it is possible to control the zero plane or the degree in a familiar manner. Then, at 03, the body can be stably held.
  • the structure 00 it is possible to control the surface of the substrate 0 at a high degree with a simple configuration. For example, even when the same treatment or tinning is performed on the body of 0, by adjusting the difference or pitch of the structure formed by the structure 00, the surface or the surface of the structure can be adjusted to 0. It is possible to set a different area.
  • the addition rate of the line of the structure is different.
  • the force when the liquid comes into contact with the surface having the structure composed of structure 00, the force also increases in the vertical direction indicated by one point bb, and in the horizontal direction indicated by one point c.
  • (2) can be expressed by adding the ratio of the surface area in the left-right direction () shown at one point c to the length of the straight line in that direction, and can be expressed as (2X) (2).
  • (2X) (2) For example, by making constant the value of 02, which constitutes a regular structure, and selecting the tan (2) (2), it is possible to make a difference between the specific surface area along the two directions. Can be. It is desirable that the effective surface area along the two directions be equal to the average surface area of the surface body, and if (2) (2) is selected, (2) () (2) ), That is, 22 cases should be satisfied.
  • the structure 00 shown in () to () can be used, for example, by being provided on a chip, for example, by using it.
  • an example in which the structure 00 is used will be described below.
  • the configuration in which 00 is applied to will be described in detail in an embodiment described later.
  • FIG. 9 is a plan view schematically showing the structure of a chip having the structure 00 shown in FIG.
  • the chip 0 shown in FIG. 2 has a configuration in which a plurality of 00 eyes are arranged in multiple rows on the 0 surface.
  • 00 is the area indicated by the dotted line in.
  • 03 in 00 is a region larger than the outer periphery 04 consisting of 0 planes of 03, and 03 and its body are retained. As described above, a plurality of 03s are provided on the surface of the chips 0, 0, and the body is held by each 03.
  • the manufacturing method of the structure 00 shown in FIG. Physically it is achieved using, for example, the described microsurgery.
  • the chip 0 shown in 0092 for example, can be suitably used as a chip for detecting a chip or the like.
  • the vertical direction and the horizontal direction are the distances between the two.
  • the gin can be used effectively even if it is wide, and the maximum design is possible. can do.
  • 0100 When water or buffer is held in 03 of the chip 0 shown in the structure 00 or 2 shown in the above, 02 is formed in order to prevent particles such as tanks from sticking to the surface of the base 0. It is possible to te the surface of 0.
  • the tagging material include a substance having a structure similar to the quality of cells. Further, by attaching the surface of the “0” surface with a fat such as grease or an aqueous substance such as an avenue, it is possible to prevent the particles of the “0” surface from adhering to the surface of the substrate “0”.
  • a hydrophilic molecular material such as PC (2-takioki) or a hydrophilic ramping agent can be used to make the surface of the surface zero.
  • Jia Japan
  • the dia () set this to 0. It is possible to dissolve the (suvoy) buffer or the like, fill the solution with the solution of 02 in the base 0, and let it stand for a few minutes.
  • the body By making the surface of 0 hydrophilic, the body can be reliably introduced into 03 by utilizing capillary phenomena, in addition to the structure and properties of the structure.
  • the above-mentioned method of forming an aqueous solution of the acid is exemplified.
  • the surface may be made of a hydrophilic material such as P (polymethacrylate).
  • P polymethacrylate
  • the zero plane may be made hydrophilic by forming a zero plane and irradiating this plane with outside light.
  • the surface of 0 is upset with plasm.
  • FIG. 3 is a plan view schematically showing the structure of the structure 20 according to the present embodiment. 20 and a row composed of a number of 02 arranged on one straight line, and a plurality of such rows are arranged. And the checkered structures are staggered in two adjacent rows. In the direction of O2, a plurality of O2 are arranged in a shape such that they are formed between O2 but are not arranged on a straight line.
  • the tip of the liquid reaches the position indicated by the line segment d d, and the displacement of 02 does not occur.
  • d d When the tip of the liquid reaches the position shown, the antennae observed in a certain state is substantially flat and the antennae substantially observed.
  • the tip of the liquid exists at the position indicated by the line segment c, the liquid comes into contact with the O 2 numbers arranged in a straight line.
  • the antennae observed at the tip of the liquid present at the position indicated by the line segment c becomes the effective antennae in the structure.
  • the structure composed of 02 which is a child-like arrangement of ()
  • a large angle occurs in the antennae indicated by, which is observed locally. In other words, localization may occur due to the lattice-like arrangement.
  • the frequency of occurrence of a state with a deviation of 02 is much less, as in the case of the checkerboard shown in FIG. 3 and the checkerboard shown in FIG.
  • the effective antennae that is observed locally is the effective antennae d in the structure.
  • the checkered place shown in 3 The likelihood of unevenness, locality, and unevenness is greatly reduced.
  • FIG. 5 (a) and FIG. 5 are diagrams illustrating a comparison with a structure 20 shown in FIG. 5
  • 02 is a checkered structure 20, which is arranged so that 02 that touches in the direction of 02 (vertical direction) overlaps, so that a linear groove cannot be formed in the direction. .
  • the emergence of the bodies of 03 in the direction (vertical direction) is even more suppressed.
  • 01074 is a plan view schematically showing the composition of a chip having the structure 20 shown in FIG.
  • the chip 30 shown in FIG. 4 has a configuration in which a plurality of 20 eyes are arranged in a plurality of rows on a 0 plane.
  • a predetermined body can be securely held at the number of 20 03 arranged in the plane.
  • FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the structure according to the present embodiment.
  • the body is more securely held at 03 and the protrusion is suppressed. .
  • This for example, It can be suitably used for no use.
  • a structure having a structure can be obtained by providing a structure on a surface of the body with respect to a predetermined body. At this time, it is possible to selectively hold the body for the purpose of collecting the blood. Further, if the above equation (2) is satisfied, it is possible to achieve a super-high value. In the description below, a structure in which is provided on the 0 plane will be described.
  • 01153 is a plan view schematically showing the configuration of the fuel cell electrode according to the embodiment.
  • the electrode 200 shown in FIG. 3 is provided at the end of the carbon 20, the carbon 205 provided on the carbon 20, and the fuel supply holes 208, 205 that penetrate the carbon 20. 209, which penetrates the fuel.
  • the fuel is supplied to the fuel supply 208 to 205, and is led out of the fuel 2009 to the electrode 200.
  • FIG. 4 the carbon 20 in the electrode 205 at 205 is arranged in this order with 206 provided on the side of 206 and 206.
  • a quadrangular prism-shaped 202 is provided on the carbon 20. It has a rectangular shape of 202 and is located along the direction of 205 where gas flows, which corresponds to the direction of travel at 4.
  • 204 on the surface of 2022 can be selected according to the type of fuel in 204, or it can be platinum or gold such as a reserve. In addition, the contact of the surface of 204 is fixed ().
  • the electrode 200 shown in FIG. 1 is the electrode 200 shown in FIG. 1
  • the difference may be different depending on the direction as described above in 206.
  • a plurality of 202 having a shape are arranged in parallel with each other, and are arranged in parallel with each other, and between the surface of 202 in the row extending direction and the surface of 202 in the direction perpendicular to the direction. You may be different.
  • 202 may be arranged in a child shape in 206, or may be arranged in a zigzag child shape.
  • the electrode 200 shown in FIGS. 13 and 4 is used, for example, in a fuel cell using electrolysis as an electrolyte. At this time, electrolysis or electrolysis is carried out at 205, that is, at 4 and the oxidizing agent is placed at a position facing the electrode 200 through this decomposition.
  • the portion in the section at 202 is decomposed by 204 to generate ions.
  • the ions move through electrolysis, or electrolysis. Further, the gas is discharged to the portion of the electrode 200 via 206.
  • FIG. 5 is a plan view schematically showing an example of the configuration of a fuel cell in which the electrode 200 is used.
  • FIG. 3 an example of an addictive flow 205 is shown.
  • the structure can be replaced with, for example, the body.
  • a structure may be provided in which a surface extending in a predetermined direction is provided on a surface of the structure, and a structure is provided at one end.
  • a configuration may be provided in which a cross-section is provided beside the end.
  • a body of a body may be formed on the body, and the body may be provided with a nod consisting of the body described in the first or second aspect.
  • the structure comprising the structure according to the above-described embodiment can be suitably used for a part for introducing a material and for recovering a liquid flowing therethrough.
  • FIG. 6 is a plan view schematically showing the composition of a chip according to the present embodiment. As shown in Fig. 6, in this embodiment, the flow width of 00 was prepared on 2. Then, compare the degree of change with the degree of change.
  • FIG. 7 is a view showing an S (microscope) image of the above.
  • 01358 is a diagram showing the results of the measurement.
  • the abscissa indicates the ting corresponding to the structural difference, and indicates the degree of the road representing the parent.
  • the value is large, and the value of cos exceeds. For this reason, no water droplets were formed, and the hydrophilicity could not be evaluated at the contact angle.
  • the antennae of the two surfaces at the same time showed 6 degrees, indicating that they were hydrophilic. This indicates that the water structure increased due to the construction.
  • the ching length is set to 0 tutu
  • the degree of penetration increases as the order increases, and the hydrophilicity increases.
  • the water can be controlled by the step, and the degree of hydration can be increased by increasing the step.
  • step 6 by changing the position and the position of the chip, a chip having a different shape of the chip is manufactured.
  • the width of the surface in the direction (hand direction) of the plane is 2.5 times larger than that of the plane in the direction (direction) perpendicular to the direction of the plane.
  • the distance between adjacent surfaces in the direction is 2.54 on the swivel.
  • the surface in contact with the direction is sufficiently larger than the surface in the direction perpendicular to the direction.
  • the line of the structure in the plane parallel to the direction of the plane and perpendicular to the plane is larger than the line of the structure in the plane perpendicular to the plane perpendicular to the plane.
  • the area between two bodies adjacent in the direction is not formed on a straight line, but is arranged in a zigzag shape so as to be arranged in a checkered pattern.
  • FIG. 4 is a plan view showing an S image of a manufactured chip.
  • 0 is an enlarged view of the part of 9. Further, 0 represents an S image in the same region.
  • Fig. 6 shows an example in which the radiation tan is formed in a regular manner.
  • a step with 0 steps was formed on the glass using a drying technique.
  • This circle is located at the heart of the tan, and this is 200 kn.
  • the structure A is constant at 0 km with respect to a plane crossing the radiation tan arranged at intervals of the central angle (2), for example, aa plane.
  • the area of the step is represented by X A
  • the area of the flat is represented by XX (2) approximation in the region above and above the radius from the center.
  • the os 0 given by () cos Cos increases with increasing surface area toward the center circle.
  • the antenna of this hanging has a small angle, and the effective hydrophilicity increases toward the circle located at the center of the radiation tan.
  • a radiation tan When a radiation tan is used as a structure to be provided on the surface, it generally has a rotation with respect to the center. Therefore, in general, the surface area along the two directions defined as the origin is generally used. , Which is symmetric. Set the starting point of the axis on a point centered from the center, for example, 6, a shown on the line segment, and pass through the center, positive direction , And extending toward the opposite outer circumference, are defined as two directions defined on the surface, and the effective surface area along this direction and the negative is different. In other words, the effective surface area along the direction toward the center and the effective surface area along the direction toward the outer periphery
  • a concentrated aqueous solution that is, a water solvent
  • a drop of an aqueous solution in which the sample is dissolved as a solute is dropped.
  • a shape of a shape is formed on the tan, with the heart at the center of the center. For example, from the drop formed at this center, apply a water solvent and make it a little smaller.
  • the effect of the change in the amount of light is affected by the hydrophilic nature of the surface of the radiation tan.
  • the effective hydrophilicity is increased toward the heart, so that the effective hydrophilicity of the aqueous solution is increased toward the heart of the high radiating element. Therefore, initially, it was eccentric from the center of the radiation tank. As it dries, the outer circumference becomes smaller so that the center of the radiation tank coincides with the center of the radiation tank. In the end, however, it is a small state that satisfies the condition located in the heart of the radiator. The substance dissolved in the nucleus, that is, located in the heart of the radiating tan where this small quantity exists, comes out. Therefore, even if the liquid shape with the first diameter is centered at the center, it will still be contained at the time when it is finally settled. On, put out.
  • the solubilized protein in this part is soluted and the solution is dried over the hydrophilic region of the central diameter of the cone, and finally, from the concentrated liquid, the aqueous region is dried. Sample appears on the screen. According to this result, it is known that mass spectrometry can be performed using this anchor chip, and an extremely sensitive sample can be obtained in a hydrophilic region having a central diameter of a cone.
  • the sample is concentrated at the center of the plate and the same result as that of the Akachip is realized.
  • it is necessary to perform a ting process for separately forming a hydrophilic region and a region in the AKA chip.
  • the surface tin is weak in strength, and its state is changed by multiple uses.
  • the same effect as the anchor chip using the surface tin is realized by using the tan formed on the surface. Also, as compared with the surface tee, the tan formed on the surface is not in that state.
  • a glass chip is used as a chip material to form a radiation tag, and chemicals used for the solution from the glass, the side of the substance, or the kenning by the solution from the C side, etc. There is a sign that they have enough sex. Therefore, it was isolated on a glass chip on which radiation tan had been formed. Concentrates the solid solution into the heart of the radiator, and then drains the solid solution. After carrying out the above-mentioned process for the target that retains this kind of substance in its mind, quantitative analysis of the decomposition products present in the center is performed, and the ano and a certain C ano sequence are ken. It can be used shortly.
  • the core of the radiation tan may be made hydrophilic and the radiation tan may be made slightly hydrophilic.
  • the core of the radiation tan is not limited to a circular shape, but may be a hexagonal shape, a square shape, or the like, as long as its size is a degree. In addition, it has the same ratio as a circular or square shape, and can be shaped as desired. It is used for the purpose of increasing the surface area. Similarly, in the radiation tan which spreads out, the addition of the surface area from the peripheral part to the central part can be increased.
  • the shape of the tan body is such that the inner and outer peripheries are concentric, and the inner and outer peripheries are equivalent to a rectangular portion concentric with the inner shape.

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Abstract

 本発明は、簡素な構成で材料表面の親/疎液性を精密に制御する手法と、該手法を利用して、親/疎液性の制御がなされる材料表面において、その親液性または疎液性の強さに異方性を持たせる方法、さらには、かかる手法を応用して、材料表面の所定の領域に液体を保持させる方法を提供する。例えば、基板101の表面に、規則的な凹凸構造からなる保液部103と、保液部103の外周を取り囲む平坦面からなる外周部104とを設ける。保液部103の凹凸構造の表面積を保液部103の形成領域の面積よりも大きくするとともに、その表面積の増倍率を所望の値とするように規則的な凹凸構造の形成を行う。

Description

細 書
ならびにこれを用 たチップ、およ ,
び 吐の制御方、法 術分野
0001 、構造 ならびにこれを チップ、 の 御方法に 関する。
0002 年、 イク ク ロ メカ カ ステム( S) 術の 展に 、 イオ チップ チップ、 イク チップ、また小型 料電池の 発が盛んに行 われて 。この イスでは、 体を取 扱 合が多 、 イス内の液体 が接触する表面の または を制御するこ は極めて重要 な て 。 たとえば、燃料電池の 極を高性能な状態で長寿命 するためにほ、その 面の の 御がきわめて重要である 認識 れて 。この またほ の 、従来 理や ティン に 行われてきた。
0003 た えば、 2003 28836 報には、親水性のガラス に形成した イク に対して ク オクタ ラ 等に 表面 理を施すことに 一 部の に 性を得る方法が記載 れて 。また、 2003 85 628 報に れば、テフ ン( )系のイ クを 上で 域 を得ると もに、親水性 域に ティング後に 射して 水 性を得て 。
0004 また、 200 596 8 報には、ザ ブラス 放電 の 法に 、 イオセンサに 料が導入される の 壁をなすカ ス ペ サの 面に微細な を形成するこ が記載されて 。
明の
0005 ころが、 2003 28836 2003 85628 報に記載 の 術では、 上で親 または 面を得るために、所望とするチッ プ内の液体が接触する 表面に対して、化学修飾に 表面 理や
ティング等、表面の そのものを変化 る方法が用 られて 。このた 、たとえば または の さを作り分ける場合、その の 合に必要 れる の の または を各 立に実現する の 理や ティ を必要として た。また、 200 596 8 報に記載 の 術にお ても、 またほ の を作り分ける 点で、改善の 地 があ た。
0006 なお、表面 理や テイングを利用する手法でほ、その 、一般に、 的 な表面 態であり、 的な表面 態を示す 面の またほ の に 異方性を持た るこ は、技術的に不可能である。
0007 上記事情に みてなされたものであ 、その 、簡素な構成で材料 面の を制御する 術を提供するこ にある。特には、簡素な構成で材 料 面の の さを 密に制御する 術を提供するこ にある。また、 明の別の目的は、材料 面の 定の 域の または の の 御に 加えて、その または の に異方性を持た る 術を提供するこ に ある。 えて、 明のさらなる目的は、以上の技術を応用して、 体を安定に保持 する 術を提供するこ にある。
0008 明に る材料 面の の さを 密に制御する手法を利用する 構造 、
体をその 面で チップの 面に設ける構造 であ て、
前記 体と接触する チップの 面に設けられる規則的な 造で構成 れ、 前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 率を、
前記 則的な 造を設けるチップの 対する、前記 則的な 造 の 面 チップ 面 の 面積の 率 定義する時、
前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 、
チップ 面上にお て定義する二 の 向に沿 て て る
こ を特徴 する構造 である。
0009 明に る構造 にお てほ、チップの 面に 造を形成するこ により 、平坦な平面 て、 造の 面積は、その 面部の 相当する を示すため、 造の 成 れて る 域の 面積 、 域の よりも増加する構成 な て る。 域の 対する、 造の 成 れて る 域の 面積の 、この 造を形成することによる表面積の 率を表し、 面積の 呼ぶ。 明にお ては、この 面積の 果 により、 造を構成する の 面が所望の 体に対して であれば、そ の の 合 をさらに高めるこ ができる。 方、 造を構成する の 面が所望の 体に対して であれば、その の 合 を らに高めるこ ができる。また、 明に る構造 、規則的な 造によ 成してお 、 造の 、配置 の 密に制御するこ によ 、 造を形成し た 域の または の 合 ( 確実に、 密に調節するこ が できる。さらに、 明によれば、規則的な 造を設ける表面にお て、表面積 の 率が二 の 向によ て異なるよ にするこ で、面内にお て、 ま たは に異方性を持た るこ ができる。この 向の 面積の は、 チップ 面に定義される二 の 向に て、 向に沿 た狭 幅の微小 な 域における表面積の 率 して定義される。すなわち、 向に沿 た表面に垂直な 面を考えた場合に、 造の 成によ 増加して る、チップ 面が 体 接触する 線の さを、その 形成されて るチップ 面の 幅で除した値が、 向の 面積の に相当して る。
0010 なお、 明に る構造 、規則的な 造により 成 れるものであり、 単に、チップ 面を 面化するだけでほ ることができな 。この 則的な 造 の 法に ては後述する。ここで、規則的な 造 は、 造の 、配置 、所定の を持 て 成 れており、ラ ダム 構造でほな ことを 意味する。
0011 明に る構造 にお てほ、特にほ、 チップの 面に設けられる規則的 な 、
チップの 面上に形成されて る、複数の を規則的に配置するこ で
Figure imgf000005_0001
0012 明に る構造 、前記の 選択する際、例えば、 チップの 面に形成 れて る、前記 数の で構成 れる規則的な 、
状を有する複数の 形の が直線上に配置 れた列が、互 に 平行に複数 置 れた構成を有し、
チップ 面上にお て、 線に平行な方向と垂直な方向に定義する二 の 向にお て、
前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 、 の 向に 沿 て て るこ を特徴 する構造 するこ が好まし 。
0013 なお、 明にお て、複数の 形の 、 状に形成する場合、 その 造形成時の 度も 案し、 る構造 が親 面を有する場 合には、 造が形成されて る 域に確実に 体が保持され、 る 域 ら 体が漏出してしま こ がな 程度に の 状の 一性が保たれて るこ を 。
0014 明に る構造 にお て、 状を有する複数の 形の が 直線上に配置された列が互 に平行に複数 置された構成を有し、例えば前記 の 線方向における前記 の 面の 、前記 線方向に垂直な方向におけ る前記 の 面の が互 に異なる構成にするこ ができる。ある は、前記 の 面部の幅を直線 平行な方向と垂直な方向で なる構成にするこ もで きる。 らに一般化するならば、前記 の 線と平行な方向 垂直な方向 で、単位 あたり、複数の 形の で構成 れる 造の 面が 成する 線の 、二 の 向により異なる構成を選択する。この 択によ て、前記 造が形成 れて る 域の または の に異方性を持た るこ がで きる。また、 状を有する複数の 形の を直線上に配置した列が互 に平行に複数 置 れた構成 することにより、構造 が親 面を有する場 合には、一層 実に 体を保持 、前記 造が形成 れて る 域の 取り 域 の 体の 出を抑制することができる。
0015 明に る構造 では、複数の 形の が直線上に配置 れた列が、 互 に平行に複数 置された構成にお て、前記 、この列の直線 垂直な 向にも、直線状に配置 れ、全体として、正方 子状に配置 れる形態を選択する こ か きる。
0016 らには、 明に る構造 ては、
前記 線上に配置 れた 、互 に平行に複数 置 れた構成は、 隣接する 上に配置 れる前記 、
線に垂直な方向の 向にお て、直線状に並ふこ のな よ に、 上に配置 れる前記 互の 対的な位置か 択 れて る形態を選 択するこ もてきる。この 互の 対的な位置の ては、 構 成される前記 造を設ける 域内 、前記 線に垂直な 向の 面積の 率に て、列の直線に平行な 向に沿 て、その 動を考える 、大き 変化 するこ かな なる。 、前記 、この列の直線 垂直な方向にも、直線状 に配置され、全体 して正方 子状に配置される形態ては、前記 線に垂直な 向の 面積の 、この列の直線 垂直な方向にも前記 線上に配 置されて る行 行の間、すなわち、二 の ては、その 上ては規則的に 配置される か存在して な ため、この 上にお ては、 向の 面積 の な 、 または を強めるこ かてきな 。 方、隣接する 上に配置される前記 、 線に垂直な方向の 向にお て、直線状 に並ふことのな よ に、 上に配置 れる前記 互の 対的な位置か 択 れて る形態てほ、前記 線に垂直な 向の 面積の 、 となる確 率 質的に皆無 なる。したか て、この 対的な位置を選択するこ により、構造 面を有する場合にほ、一層 実に 体を保持 、
Figure imgf000007_0001
することか きる。
0017 この 接する 上に配置 れる前記 、 線に垂直な方向の 向に お て、直線状に並ふことのな よ に、 上に配置 れる前記 互の 対的な位置か 択 れて る形態の 型として、
前記 線上に配置 れた 、互 に平行に複数 置 れた構成は、 隣接する 上に配置される前記 に て、 上に配置 れる前記 互の 対的な位置が、
市松 子配置を構成するよ に選択 れて る態様を挙げることができる。この 子配置を選択することにより、構造 が親 面を有する場合にほ、市松 子状に配置 れる 数で構成 れる前記 造を設ける 域 らの 体 の 、 らに確実に抑制するこ ができる。また、市松 子状に配置 れる
数で構成される前記 造を設ける 域内では、前記 線に垂直な 向 の 面積の 率に て、列の直線に平行な 向に沿 て、その 動を考える 、その 動幅はよ な て る。 明に る構造 にお て、前記 数 の ジグザグ状に配置された構成 するこ ができる。
0018 明によれば、上述する 明に る構造 を利用して、 体をその 面で チップ 面の 域の を制御するこ が可能 なる。 0019 えば、 明に るチップの の は、
体をその 面で チップであ て、
チップ 面に前記 体の を設け、
の 面の な も一部は、上記の 成を有する 明に る構造 で構成されて るこ を特徴 するチップである。また、 明に るチップの 態の は、
体をその 面で チップであ て、
チップ 面に前記 の だめを 、
体の だめ 数の 面の な とも一部 、上記の 成を有する 明に る構造 で構成 れて るこ を特徴 するチップである。
0020 らには、 明によれば、前記 を用 て、チップ 面の を制 御する方法が提供 れる。すなわち、 明に る の 御方法は、 体をその 面で チップにお て、前記チップ 面の な も一部の 域に 関して、 面の 体に対する を制御する方法であ て、 前記 面を、上記の 成を有する 明に る構造 で構成するこ によ 体に対する を制御する こ を特徴 する の 御方法である。
0021 明の にお ては、前記 造を形成する 域の 対する、前 記 造を設ける 域の 面積の 制御することにより、前記 域におけ る ある 液化の 度を 密に制御することができる。この 、後述す る下記 ( )を満たし、ラフネスファクタ に相当する。
0022 滑な固体表面上に置 れた の 触角0と、同一の 学物質で 成 れて おり、表面に よりもⅡ 造を有する表面の の 触角 は、下記 ( ) :
cos Cos ( )
で示されるウ ンゼ の式で結ばれる 、田智彦、石井淑 、小石 、角田光 雄 編集、 ぬれ ンドブック 、テクノ ステム、 25 。なお、上記 ( )に お て、 、表面が平坦な場合 比較して、 造を有する表面の 積が何 にな た を表す ネス ァクタ )である。
0023 ( )式に従 、表面の 質が接触角 の または を示す 域に 造を形成するこ によ 、表面が平坦な場合の 面積に対する 域の 面積を 倍に増加さ た場合、 力に比例する 触角 の 弦の値は 倍 になる。 て、チップ 面上の所望の 域に意図 造を形成するこ に より、表面が平坦な場合より または を強 することができる。ここで、 とは、接触角が0 以上90 満の 態を指し、 は、接触角が90 よ り大き 80 以下である状態を指す。
0024 また、上記 ( )に基 き、特定の 理や ティン を用 て平滑な表面上 に置 れた の 触角が同一の値を示す 況にお て、所望の 域に意図 に 形成 れる 造の に変更することにより、その 域の ま たほ の を 密に制御することができる。ある 、所望の 域に意図 に 形成 れる 造の 一定 する状況にお て、特定の 理や ティン を用 て平滑な表面上に置 れた の 触角0を変更することにより、 その 域の または の を 密に制御するこ もできる。
0025 明にお ては、例えば、 数で構成される 造の 体に、 とする 体が接するこ が必要である。その 、この 数で構成 れる 造の 面が を示す場合、この の 、底面部より上面部が狭ま た 形とするこ がより好まし 。この 面部より上面部が狭ま た 形の
の 斜角りは、底面部と側壁 のなす角であり、 90 となる。この を 。 示す 面にお てほ、平滑な固体表面上に置 れた の 触角 は、 90 0 。
80 とな ており、前記 の 触角0 形の の 斜角 との ( 。
、 80 の となるよ に、 形の の 斜角 を選択する 好まし 。
0026 方、この 数で構成される 造の 面が親 を示す場合、この の 、底面部よ 上面部が狭ま た のこ 、底面部よ 上面 部が拡が て る 形 するこ もできる。この 面部よ 上面部が拡が て る 。
形の の 斜角 、底面部 側壁 のなす角であ 、 90 なる。こ の を示す 面にお ては、平滑な固体表面上に置 れた の 触角 は 。 。
、 0 0 90 な てお 、前記 の 触角 9 、底面部よ 上面部が拡が 。
て る 形の の 斜角 の ( 0 )は、 ( 0 ) 80 の なるよ に、 る 形の の 斜角 を選択する 好まし 。なお、底 面部よ 上面部が狭ま た 形を選択する際には、この 面部よ 上面部が狭ま 。
た 形の の 斜角 、底面部 側壁 のなす角であり、 90 となり 、 、前記 の 触角 、 形の の 斜角 との 叫は、 0 ( 。
0) 80 の な て る。
0027 なお、これらの 成の 意の み合わ や、 明の 現を方法、装置などの 間で変換したものもまた 明の 様として有効である。
0028 た えば、 明にお て、前記 面に、所定の 向に延 する が設けられ、 前記 の な も一端の 前記 が形成 れてもよ 。また、 明に お て、前記 の 端の 傍 ら の にわた て前記 が形成 れ 0029 らには、 明にお て、前記 面に、所定の 向に延 する の だめ が設けられ、前記 だめの 囲に の 域が形成されてもよ 。その 、例え 。 、平滑な表面上に置かれた の 触角0を、 の だめでは、 0 90 と 。
し、周囲の の 域でほ、 90 なるよ に、それぞれ、 造に テイ グを施す等の方法も るこ ができる。
0030 また、 明にお て、前記 造の との 差の き を る こ により、前記チップ 面の を制御することができる。また、 明にお て、前記 造を設ける 域における前記 の の さの 和を 制御することにより、前記 域の を制御するこ ができる。これら それぞ れ、 造による 、または の 面積の 御にお て、 の 差を変化さ る場合 、 、または の 積あた のチップ 面 ら 見た の 界の さを変化さ る場合に対応する。こ すれば、チップ 面 の 望の 域の を確実に制御するこ ができる。
0031 また、 明にお て、チップ 面上に形成した 域であ て、 面の 質が親 または を示す 域にお て、チップ 面に 造を形 成し、 チップ 面が平坦な場合の た の 造の 線の さの 加率が、チップ 面上で方向によ 異なるよ に形成するこ によ て、 または の さを、チップ 面上で方向によ 異なるよ に制御するこ ができる。この 向による異方性の 、 造を設けた表面に 体が接する際の界面 力 を考慮すると、特定の 向に沿 た 造の 線の が、その 向によ て を示すこ に伴 、微視的にほ、 体が接する表面積 、方向によ て異なる結 果、上記ウ ゼ の式( )の フネスファクタ に関しても、局所 にほ、その 向によ て実効的な差 が生じることを利用して る。
0032 術を使用して 造を形成する場合、その イアウ めて キ であり、たとえば、異方性を持た た 造の 、放射 の 造 を作製できる。これらの 造にお てほ、 表面が平坦な場合の たり の 造の 線の の 加率は、方向により異なる。 て、 力も 向 により異なり、 または の さを、チップ 面上で方向により異なるよ に 設定できる。
0033 上 明したよ に、 明によれば、簡素な構成で材料 面の を制 する 術が実現 れる。その 、本 明によれば、材料 面の 定の 域の または を制御する際、その または に異方性を持た る 術 が実現 れる。 らには、 明によれば、 目的とする 域の 面の
を制御する 術を応用して、材料 面の 定の 域に 体を保持 る 術が 実現 れる。
面の 単な説明
、 明の 一の 係る構造 の 成を模式的に示す図であ る。
[ 2 2は、 の を有するチップの 成を模式的に示す 面図である。
[ 3 3は、 明の 二の 係る構造 の 成を模式的に示す 面図 である。
[ 4 4 、 明の 二の 態に係るチップの 成を模式的に示す 面図 である。
[ 5 5 、 明の 一の 態 第二の 態に係る構造 の 成を、 対比 えて 式的に示す 面図である。
[ 6 6 、 明による実施 に係るチップの 成を模式的に示す 面図であ る。
[ 7 7 、 明による実施 に係るチップの の 成を拡大して 図で ある。
[ 8 8 、 明による実施 に係る チング を変化 て の 路 の 度を 較した結果を示す図である。
[ 9 9は、 明による実施 2に係るチップの の 成を示す 面図である [ 10 0は、 9 、四角 内の 分の である。
[ 11 は、 9の を拡大して である。
[ 12 2は、 明の 三の 係る構造 の 成を模式的に示す 面 図である。
[ 13 3は、 明の 四の 係る燃料電池 極の 成を模式的に である。
[ 14 4 、 3の 面を示す図である。
[ 15 5 、 明の 四の 態に係る燃料電池の 成を模式的に示す 面図である。
[ 16 6 、表面に放射 タ ンの 造を形成する一例を示し、その 心 部と、その 囲の タ を 微鏡観察した画像イメ ジのプ アウ で ある。
0035 に付される 、下記の 味を有する。
0036 00
02
03
04
0 チップ 2
20
23
24
25
30 チッ
200
20 カ ボン
202
203 フッ
204
205
206 207
208 料供給
209
明を実施するための 良の
0037 、上で述 た形態にお て、材料 面の の さを 密に制 御する手法 して、
材料 面の の を、その 内にお て、異方性を示すよ に制御す る上で有効な手段 して、 体をその 面で チップの 面に設ける構造 を利 用し、その 、
前記 体 接触する チップの 面に設けられる規則的な 造で構成され、 前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 率を、
前記 則的な 造を設けるチップの 対する、前記 則的な 造 の 面 チップ 面 の 面積の 率 定義する時、
前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 、
チップ 面上にお て定義する二 の 向に沿 て たものとして る。 0038 述する 明の 、上記の 態の他に、下記する派生 な形態として、実 施することも可能である。
0039 明の なる形態 によれば、
、 の 面に設けられた規則的な 造 、前記 面にお て前記 造の 取り 、を有し、
前記 造の 面積は前記 造の よ も大き 、
前記 前記 よ も、 または 液化されて る
こ を特徴 する構造 が提供される。
0040 明の なる形態 の にお ては、 造が形成された 域の
た の 域の 面積が領域の よ も増加した構成 な て る。この ため、 造における の 面が所定の 体に対して であれば、その をさらに高めるこ ができる。また、 造における の 面が所定の 体に対して であれば、その をさらに高めるこ ができる。また、 の 、規則的な 造を有するため、 造の 、配置 の を制御することにおり、 造の または を確実に調節するこ ができ る。
0041 明の なる形態 によれば、
、 の 面に設けられた規則的な 造 らなる 、前記 面 にお て前記 の 取り 、を有し、
前記 の 造の 面積 の よりも大き 、 前記 が前記 よ も 化されて る
こ を特徴 する構造 が提供される。
0042 明の なる形態 にお て、 上に設けられた 域であ て、規 則的な 造 らなる。 造によ 、 の 面積は の よ も 大き 。このよ に、 の た の 域の 面積を増加さ るこ に よ て、 が平坦 よ も所定の 体に対して 化されて る。このため、 に選択的に 体を保持さ るこ ができる。
0043 なお、 明の なる に係る構造 、 なる 造を有する構 成であるため、単に基 の 面を 面化するだけでは得るこ ができな 。この点に ては後述する。
0044 明の なる形態 の にお て、前記 面に複数の が設け られ、複数の のそれぞれに 体が保持 れるよ に構成 れてもよ 。 0045 明の にお て、前記 、 状を有する複数の 形の が一直線上に配置 れた列が互 に平行に複数 置 れた構成を有し、前 記 の 方向における前記 の 面の 、前記 方向に垂直な方向に おける前記 の 面の とが互 に異なることができる。 することにより、 の の に異方性を持た ることができる。また、 状を有する複 数の 形の が一直線上に配置 れた列が互 に平行に複数 置 れた構 成とするこ により、 により一層 実に 体を保持さ 、 の 取り 面 の を抑制するこ ができる。
0046 なお、 明の なる にお て、複数の 形が 状を有する は 、 に確実に 体が保持 れ、特定の 所 ら 体が漏出してしま こ がな 程度に の 状の 一性が保たれて ることを 。
0047 明の なる形態 の にお て、前記 に垂直な の 面にお て、前記 部の幅に対する前記 の 造の 線の の 比が複数の 面に て異なる構成 してもよ 。 するこ により、大き 比 を有する 向に保 を親 化するこ ができる。このため、 の の に確実に異方性を持た るこ ができる。
0048 明の なる形態 の にお て、前記 面に、所定の 向に延 する が設けられ、前記 の な も一端の 前記 が形成された構成 するこ ができる。こ するこ によ 、 の 端 ら 体が確実に導入され、 内に保持される構成 するこ ができる。
0049 明の なる形態 の にお て、前記 の 端の 傍 ら の にわた て前記 が設けられて てもよ 。こ するこ によ 、 体にお て 体が確実に保持される構成 するこ ができる。
0050 明の なる形態 の にお て、前記 、 状を有する 複数の 形の が前記 の 方向に沿 て配置された列が互 に平 行に複数 置された構成を有し、前記 の 方向に平行で前記 に垂直な 一の 面における前記 の に対する前記 の 面における前記 造 の 線の が前記 に垂直な他の断面における前記 の に対する 前記 の 面における前記 造の 線の よりも大き 構成とするこ ができ る。 するこ により、 の が異方性を有する構成 することができる。 明細書にお て、前記 の 、前記 の 方向に平行な方向 するこ が できる。 することにより、 の 方向により 化 れた構成 することができ る。このため、 内に 体を確実に保持し、側方 らの 出を抑制するこ ができ る。なお、 明の なる形態 にお て、 線の 、所定の 面における 造の の を指す。また、 明の なる形態 にお て、前記 の 方向における前記 の 面の幅が、前記 方向に垂直な方向における 前記 の 面の よ も大き 構成 するこ ができる。 0051 明の なる形態 の にお て、複数の が市松 とな て ることができる。 するこ により、 部 らの 体の 出を らに確実に抑制 することができる。 明の なる形態 の にお て、前記 数の ジク 状に配置 れた構成とすることができる。
0052 明の なる形態 の にお て、前記 の 対する前記
の 造の 面積の 、平坦 に対する所定の 体の 触角0 の Cos 0が、
cos g
を満たすよ に前記 成されてもよ 。 するこ によ 、 化された を安定的に 能な構成 するこ ができる。なお、 明にお て、平坦 造 同一 料 するこ ができる。
0053 明の なる形態 にお て、前記 直な方向における複数の の の 隔が、前記 直な方向における前記 の 面の よ も 構 成 するこ ができる。こ すれば、 の 面積を平坦 である場合に比 て 分に大き するこ ができる。
0054 明の なる形態 によれば、
、 の 面に設けられた規則的な 造 らなる 、前記 面 にお て前記 の 取り 、を有し、
前記 の 造の 面積 の よりも大き 、前記 が前記 よりも 液化 れて る
こ を特徴 する構造 が提供 れる。
0055 上に設けられた 域であ て、規則的な 造 らなる。
造により、 の 面積 の よりも大き 。このよ に、領域の
たりの 域の 面積を増加 るこ によ て、 が所定の 体に対 して平坦 よりも れて る。このため、 部 ら 体を選択的に排除する こ ができる。
0056 なお、 明の なる形態 に係る構造 、 となる 造を有する構 成であるため、単に基 の 面を 面化するだけでは得るこ ができな 。この点に ては後述する。
0057 明の なる形態 の にお て、前記 、 状を有する 複数の が所定の 向に沿 て配置 れた列が互 に平行に複数 置 れた 構成を有し、前記 の 方向に平行で前記 に垂直な一の 面における前 記 の に対する前記 の 面における前記 造の 線の が前記 に垂直な他の断面における前記 の に対する前記 の 面におけ る前記 造の 線の よりも大き 構成 することができる。 するこ により 、 の の に異方性を持た るこ ができる。また、 状を有す る複数の が一直線上に配置された列が互 に平行に複数 置された構成 するこ によ 、 によ 一層 実に 体を保持さ 、 の 取
面 の 出を抑制するこ ができる。
0058 なお、 明の なる にお て、複数の 状を有する は 、特定の 所にお て平坦部 ら 出してしま こ がな 程度に の 状の 一性が保たれて るこ を 。 明にお て、 形 するこ ができる。
0059 明の なる形態 の にお て、前記 の 対する前記
の 造の 面積の ひ 、平坦 に対する所定の 体の 触角 の Cos 0が、
Figure imgf000018_0001
を満たすよ に前記 成 れてもよ 。 するこ により、 化 れた を安定的に 能な構成とするこ ができる。なお、 明の なる形態 にお て、平坦 造 同一 料とすることができる。
0060 明の なる形態 によれば、前記 体 らなる を備えるこ を特徴 す るチップが提供 れる。
0061 また、 明の なる形態 によれば、前記 体 らなる だめを えるこ とを特徴とするチップが提供 れる。
0062 また、 明の なる形態 によれば、前記 を用 て前記 の 面 の を制御するこ を特徴 する の 御方法が提供 れる。 0063 明にお て、前記 の 対する前記 の 造の 面 積の 制御するこ により、前記 における 化の 度を制御するこ が できる。なお、この 、上で述 た式( )を満たし、ラフネスファクタ に相当す る。
0064 下、本 明の 施の 態に て 面を参照して説明する。なお、す ての 面にお て、共通する構成 素には同じ 号を付し、 明を する。
0065 ( 一の )
は、本実施 係る構造 の 成を模式的に示す図である。 (a)~ (c)は、構造 00の 成を模式的に示した図である。 (a)は構造 00の 面 図であ 、 (b)は、 (a) 、一点 b b 分の 面図であ 、 (c)は 、 (a) 、一点 c 分の 面図である。
0066 (a)~ (c)に示したよ に、構造 00は、 0 の 面に保 03
Figure imgf000019_0001
る。
0067 03は、 0 の 面に設けられた規則的な 造 らなる。
00では、 0 に四角柱状の 02が複数 けられて 則的な 造 な て る。 数の 02は、 状を有する複数の 形 な てお 、これらは同じ きで 子配置 れて る。ここで、複数の 形が 状を有 する は、 03の 定の 域 ら 体が漏出するこ な 体が保持 れる程 度の 一性を有する形状であることを 。また、 02の 、たとえば、角 錐 形、円錐 形、 するこ ができる。また、角錐の 、R ( o ) れて てもよ 。
0068 03の 面積は、 03の 域の よりも大き 。また、
03 、平坦面 らなる外周 04よりも れて る。このため、構造 00 、製造 および製 定性にすぐれた簡素な構成であり 、 03を 選択的に親 化し、 03に確実に 体を保持するこ ができる構成 な て る。
0069 03が形成された 域の 対する の 造の 面積 制御することにより、 03における または 液化の 度を制御 能である。この 大き するこ により、 03をより一層 化することが できる。このため、 03に選択的に 体を保持 るこ ができる。なお、表面 積の 、ウ ゼ の式、すなわち、上述した ( )式における フネスファク であり、表面が平坦な場合と比較して、 造を有する表面の 積が何 にな た を表す 子である。
0070 Cos Cos ( )
なお、上記 ( )にお て、 は、 03の 面 同じ 料 らなる平坦 に置 れた所定の 体の の 触角である。また、 は、 造 らなる 03に置 れた の 触角である。この 合、 0は、外周 04における の 触角である。
0071 えば、 明にお ては、 または の 面 する手段 し て、
見掛けの 面積 S 、 造を有する実際の 面の 面積 S の比
S S 、
対象の 体の 面上での 触角 、 造を有する実際の 面における実 効的な 触角 の して、
S・cos ( )
「 cos0 (0)の な 式 ら、 れた式( ) :
Figure imgf000020_0001
に基 き、
実効的な 触角 に関して、
0 、すなわち、 cos ・ 98 なる を達成できる条件に相当 する、
Cos >0 98
70 、すなわち、 cos 0 98 なる を達成できる条件に相 当する、
Cos < 98
をそれぞれ 足するよ に、対象の 体の 面上での 触角 0に対して、 S S を設定して る。特にほ、前記 :
Cos >0 98
Cos 0 98
すなわち、
Figure imgf000021_0001
Cos 0・ 98 を上回る基準 して、
上述の および が、下記 (2):
Figure imgf000021_0002
を満たす 成とするこ がより好まし 。
0072 えば、 ( )~ 示した構造 00で 成される 造にお ては、 見掛けの 面積 S は、 ( 2) X ( 2) であ 、
造を有する実際の 面の 面積 S は、 2) X( 2) 2 X( ) X な てお 、
その比 S Sは、
( 2) X( 2 2X( ) X ( 2) X(
2)
2X( ) X ( 2) X( 2)
なる。 00のサイズ 、 その 2 2を調節するこ で 、この 所望の値に調整するこ ができる。その 、例えば、半導体
術を使用すれば、 ッチ グ を深 することにより、 の値を精 きな とするこ ができる。また、 2 2の 、 クラフ 時に用 る ス ク・ イアウ を変更するこ により、精密に制御できる。
0073 Cos 0の を超える構成とするこ により、 03を またほ とするこ が可能である。このため、所定の 体に対して の 0 の 面に設けられた 03にお て、上記 (2)を満たす 成とするこ により 、 03を とするこ ができる。このため、 造 らなる 0 3に 体を確実に保持してお こ ができる。
00 4 なお、 03 外周 04とは通常 一の 物質で 成されるが、たとえば 、外周 04の 、 するこ ができる。また、外周 04の 面が機 を示す化学物質で構成されて てもよ 。こ すれば、 03 らの 体の 20
出を らに確実に抑制するこ ができる。
0075 次に、 ( )~ (c)に示した構造 00の 法を説明する。 0 の 料として、 ン、ガラス、石英、各種プラスチック 料、また ム等の弾性 料 を用 るこ ができる。 00は、 0 の 工の際に使用 れる クラ フ 術 ッチング 術で同時に 造を形成することにより得るこ ができる 。この 合、これらのプ セス 術と親和 がよ こと、および 造による 03の 面積およびその 積との 度よ 制御できることが必要 れる。 0076 03の の 差を変 さ るこ は、た えば、 オ クラ ィ 電子 クラ ィ 、または インプ ン 等の ジス タ ンを形成する ク ラ ィ 程にお て、形成する タ ンは同一でよ 、その後のドライ ッチング等 の ッチング 程にお て ッチング さを制御すればよ 。このため、構造 00 はプ セス 術 の がよ 、 造による表面積の 加率を 度よ 制御 能である。また、この 、た えば 0 ご に または の を 制御する場合に適して る。
0077 また、 クラ ィ 程にお ては、形成する タ ンを さ て、単位 面 積あた の 上面 ら見た の 界の さを さ るこ によ て、 03の 造の 面積を 度よ 制御できる。この 合、その後のドライ ッ チ グ等の ッチング 程にお て ッチ グ を同一にしても、形成する タ が異なるため、 03の 域の 対する 03の 面積の 合を変化 るこ ができ、 または の を制御することができる。この ため、一 の ッチング 程で同時に同一基 の なる ご に表面積の 加 率を変化 るこ ができるため、この 、同一基 の なる ご に または の を制御する場合に好適に用 ることができる。
0078 また、構造 00の 法 して、 ンボッ ングが挙げられる。この 法でほ、 段差と タ を同時に変化 た ドを用 るこ により、同じ 同一の 0 内の異なる ご に表面積の 加率を変化さ ることができる。このため、同一 基 の なる ご に または の を制御する場合に好適に用 るこ ができる。 0079 00 、具体的には、たとえば、 0 の 面に配置する 02の 成に対応する ジス タ を形成し、 0 の 面を ッチングすることによ り得ることができる。また、 0 として ン を用 る場合にほ、 ッチング 、 ジス を除去し、た えば 0C 上の高 表面を 、 0 の 面に ン 形成してもよ 。 ン 形成するこ により、 0 の 面を親水 するこ ができる。このため、 造の 成による 化をさら に顕著なもの することができる。よ て、確実に水を保持 てお こ ができる。 0080 ただし、構造 00の 03は、 体を保持できる条件を満たす 殊な
状を有するため、このよ な 造を基 0 形成する必要がある。このた め、単に基 0 の 面を 面化した 、 0 上に複数の 02を設けた するだけでは、このよ な構造 00を得るこ が困難である。
0081 00にお て、 02を表面積の き 形状 し、これを 03の 域内に密に配 するこ によ 、 造 らなる 03が充分に親 化し、 確実に 体が保持される。 体的には、 ( )に示す 02の 態にお て 、外周 04 平行な所定の 向にお て、複数の 02の の ( 2 2)が、 02の 面の ( )よ も小さ 構成 する。また、 03における 02の の さの (2X( ) 制御 、長 の (2X ( ) 充分に大き する。また、単位 たりの 造の 線の (( 2 2 ) ( 2)、ならびに( 2 2X ) ( 2))、すなわち所定の 向における 03の 線の 線の を制 御 、 当する 造の (( 2)、ならびに( 2))に対する、 線の (( 2 2X )、ならびに( 2 2X ))の 率を充分に大き する 。また、これらによ て、前述した Cos の を超えるよ に 03の 面 対する 造からなる 03の 面積の 増加 る。
0082 体的には、 02の および 置をたとえば 下のよ にするこ ができ る。 (a)~ )にお て、 02の 手方向の は、たとえば、0・0
50 下 することができる。また、長手方向における 02 面の 2は0・0 50/ 下 するこ ができる。また、 02の 方向の は、た えば、0・0 50 満 することができる。また、 方向における 02 面の 2は、0・0 50 満とす ることができる。また、 02の 、0・ 50 下 すること ができる。
0083 (a)~ (c)に示した構造 00で 、 02が設けられた面にお て、 0 の 面が平坦な場合の 03の 面積に対して、 造の 成に より 面積が増加する。た えば、 03を 20 、 45 の 域内とし、 02が、 :2・ 5 、 :7・ 5 、高さ :5/ の 方体であ 、 02を 域内に4X3 2 置した場合、保 03における 0 の 面積は、 2X(2 5 7 5) X2X5 (20X45) 2・ 3であ 、 平坦 である場合の2・ 3倍に増加さ るこ ができる。この 成にお て、た えば 面が平らな場合の 触角 0が65度であるよ な 質で基 0 面ができて た 場合には、この 造による表面積の 果で当 体に対する 触角 dvは 9・ 5度にまで低下し、極めて の 状態が実現されて る。
0084 また、この き、表面が平らな場合の 触角 0が30度であるよ な 質で基 0 面ができて た場合には、
cos 0 2・02
とな て る。このため、このよ に、 (a)~ (c)に示した構造 00にお て ほ、 Cos の を超える構成 するこ ができるため、 03を 、た えば、 水性 することもできる。 造 らなる 03に 体を確 実に保持してお ことができるよ にな て る。 00 、 03を だめ とする構造 して好適に用 ることができる。
0085 また、 03にお て、 が方向により異な て てもよ 。た えば、 に示したよ に、 03に、 状を有する複数の 02が一直線 上に配置 れた列が互 に平行に複数 置 れており、列の延 方向における 02の 面の 、 方向に垂直な方向における 02の 面の が 互 に異な て てもよ 。 にお てほ、 右方向すなわち列の延 方向 における 02の 面の幅が、 上下方向における 02の 面の よりも大き な て る。
0086 また、上述の 線の 線の が、 02の列の延 方向 当 方 向に垂直な方向 で なるよ に 02を することにより、 03の に異方性を持た るこ ができる。
0087 次に、 に示した構造 00の 果を説明する。
0088 示した構造 00 、チップ等の作製における微細 術を用 て、所 定の 域に形成することができる。このため、構造 00は、製造 および製 定性に優れた構成 な て る。また、チップ 術 なじみがよ 方法で、 0 面の または 度よ 制御するこ ができる。そして、 03に、 体を安定的に保持さ るこ ができる。
0089 また、構造 00を用 るこ によ 、簡素な構成で基 0 の 面の また は を高 度で制御するこ ができる。た えば、 0 の 体に同 一の 理や ティン が行われて る場合にお ても、構造 00で 成さ れる 造の 差の さやピッチ等を調節するこ によ 、 0 に表面の または の の なる 域を設けるこ ができる。
0090 まず、構造 00で 成される 造にお て、 (a)中に一点 b b 示した 面上では、 表面が平坦な場合の た の 造の 線の の 加率 、 ( 2 2X ) ( 2)であり、上記の : 2 (45 3) 、 :7・ 5 、高 :5 を当てはめると、 ( 2 2X ) ( 2) ( 5 0) 5 ・ 67f となる。 方、図 (a)中に一点 c 示した 面上でほ、 表面が平坦な場合の たりの 造の 線 の の 加率は、 ( 2 2X ) ( 2)であり、上記のサイズ:
2 (20 4) 、 :2 54 、高 :5 を当てはめると、 ( 2 2 ) ( 2) (5 0) 5 3 となる。 て、この 00で 成 れる 造にお て、その 向によ て、 表面が平坦な場合の
たりの 造の 線の の 加率が異な て る。 応して、構造 00で 成 れる 造を有する表面に液が接する際、その 力も、一点 b b 示される上下方向では、 ・ 67 、また、一点 c 示される左右方向 では、 3 なり、 または の を、 造を有する 表面上にお 、上下方向と左右方向により異なるよ に設定できる。
0091 すなわち、 ( )中に示す 造を有する表面にお 、この 体で平均 した表面積の 、 t2X ( ) X ( 2) X( 2) であるが、一点 b b 示 れる上下方向( )の な表面積 の 、その 向の な 線の の 加率を し 、
( ) ( 2) 表すことができ、一点 c 示 れる左右方向( )の な表面積の 、その 向の な 線の さの 加率を し 、 (2X ) ( 2) 表すこ ができる。 えば、規則 的な 造を構成する 02の を一定 し、その タ ンを、 ( 2) ( 2) 選択するこ で、 な 、二 の 向に沿 た 的な表面積の の間に差 を設けるこ ができる。その 、表面 体で平均した表面積の 、二 の 向に沿 た実効的な表面積の ひ が、 の 足するこ が望まし 、 ( 2) ( 2)に選択する場合、 ( 2) ( ) ( 2)の 件、すなわ ち、 2 2の 件を満足するこ が望まし 。また、上述するよ に、 ( )に示す 02の にお 、外周 04 平行な所定の 向にお 、複数の 02の の ( 2 2)が、 02の 面の ( )よりも 成 するこ 、すなわち、 2 2とするこ が好まし 。これら二 の 足する上では、 2 2の 足するよ に、規則的な 造を構成する 02の 、配置を規定する、 2 2を選択することが好ま 。
0092 なお、 2 2 選択する場合、比 2 2 、通常、 0 ( 2) 、 0 ( 2) の 、好まし ほ、 5 ( 2) 、 5 ( 2) の 囲に選択することが望まし 。また、 2 2の 件を満足するよ に選択する場合、比 2 2は、通常、通常、 0 ( 2 2) 、好まし は、 5 ( 2 2)
Figure imgf000026_0001
0093 述した 2003 28836 報、特 2003 85628 報、特 200 596 8 報に記載の 来の 術では、材料 面の またほ 表面 の 質の 化により一意的に決まるため、 表面上で 的であり、一方向に親 が強 と た異方性を有した または を実現するこ は困難であ た。これに対し、本実施 態によれば、同一の 理や ティ を用 て
Figure imgf000027_0001
もに、方向により の なる構成を容易に実現可能である。また、このよ
の 方性を有する構成にお て、所定の 向における またほ の さを確実に制御するこ ができる。このため、簡素な構成で親 の さに異方 性が生じて る 03を安定的に得るこ ができる。
0094 また、構造 00では、 02の 手方向( 右方向)の 、 方向の ( 上下方向)よ も強 設計されて るため、 03にお て 、 の 度に異方性が存在し、 02の 方向 らの の 出を確 実に抑制するこ ができる。よ て、構造 00を一 の 0 複数 ける場 合、短 方向の を向上さ るこ ができる。
0095 ( )~ 示した構造 00は、た えば、チップの 上に設けるこ に よ 、た えば、 だめや して るこ ができる。なお、本実施 では、構 造 00を だめに適用する例に て以下 明する。 00を に適用 する構成に ては、後述する実施 にお て詳細に説明する。
0096 2 、 に示した構造 00を有するチップの 成を模式的に示す 面図であ る。 2に示したチップ 0は、 0 の 面に、複数の 00のア イが複 数列 けられた構成である。 00は、 に点線で示した 域である。
0097 この 成にお て、 00における 03は、 03の 取り な 0 面 らなる外周 04よりも の 領域 な ており、 03およびその 体が保持 れる。このよ に、チップ 0 、 0 の 面に複数の 03が設けられ、それぞれの 03に 体が 保持 れるよ に構成 れて る。
0098 2に示したチップ 0の 成にほ、 に示した構造 00の 製方法を用 る こ ができる。 体的には、た えば 述した微細 術を使用して 成される。 0099 2に示したチップ 0 、たとえば、 チップ等の検 チップ して好適に利 用 能である。このよ に、複数の 00を平面内に複数 置した構成にお てほ、 にして だめ間の 、上下方向 左右方向で なる。 て、 だめに した液体が だめの 域 らほ 出して広が てもよ ジ 、 上下方向と左右方向で なる。このよ な場合に、 に示した構造 00のよ に、 左右方向と上下方向で親 を変 さ てお と、広が てもよ ジンを有効に 使用することができ、 能な を最大に設計することができる。
0100 なお、 に示した構造 00または 2に示したチップ 0の 03に水や 緩衝 保持さ る場合、基 0 の 面に タン ク質などの 子が粘 着するこ を防ぐために、 02が形成された 0 の 面を テイングす るこ ができる。 テイ グ 料 しては、た えば、細胞 構成する 質に類 似した構造を有する物質 が挙げられる。また、 0 の 面を ッ 脂など の 脂、ある は ア ブ ンなどの 水性物質によ テイングする こ によ て、 などの 子が基 0 の 面に粘着するこ を防止するこ もで きる。また、 PC (2 タク イ オキ ) 等の親水 性 分子 料や、親水性の ラン プ ング剤によ 、 0 の 面を テイ
Figure imgf000028_0001
0101 PC を用 て、 0 の 面の を行 場合、具体的にほ、たとえ ば、 ジ ア( 、 日本 )などを用 ることができる。 ジ ア( )を用 る場合、た えば、これを0・ 。 なるよ に ( スボ イ ) ッファ などの 溶解 、この 液を基 0 における 02 の に満たし、数分間放置するこ によ て テイ グするこ ができる。
0102 また、 0 の 面を親水 するこ により、 造の 成による ,性 に加えて、毛細管 象を利用して 03に確実に 体を導入するこ ができる。
0 の 面を親水 する方法として、前述した ン の 水性 形成する方法 が挙げられる。また、 0 の な とも表面を、 P (ポ チ メタク )等の親水性 分子 料で構成してもよ 。これにより、 0 の 面 の 分の な 着を抑制するこ ができる。このため 、試料が微量であ ても、確実に分析 の 定の 作を行 ことができる。また、 0 の 面を 構成し、この 面に 外線照射を行 こ により、 0 の 面を親水 してもよ 。また、 0 の 面を プラズ によりアッ グ
Figure imgf000029_0001
0103 ( 二の )
実施 態でほ、第一の 態と異なる点を中心に説明する。 3 、本実施 態に係る構造 20の 成を模式的に示す 面図である。 20 、一直 線上に配置された 数の 02 らなる列を有し、この列が複数 置され た構成 な て る。そして、隣接する二 の列にお て 造の が 互 違 に配置された市松 な て る。 02の 方向にお ては、 02間に形成される が一直線上に配置されな よ に複数の 0 2が 状に配置されて る。
0104 えば、 ( )の 子状の 置では、線分d d 示される 置に液の先 が 達する 、この 、 02の ずれ も しな なる。 d d 示される 置に液の先 が達する 、 る状態で観測 れる 触角は、平坦 で観測 れる 触角 実質的に し なる。 方、線分c 示される 置に 液の先 が存在する際には、この 、一直線状に並んで る 0 2 数と接する状態 なる。その 、線分c 示 れる 置に存在する液の先 で観測 れる 触角は、 る 造における実効的な 触角 に し なる。すなわち、 ( )の 子状の 置を る 02で構成 れる 造 では、局所 に観測する 、 が示す 触角に大きな が生じて る。 言する 、格子状の 置をとるこ に由来して、局所 には、 らが生じるこ ともある。
0105 方、図3に示す市松 置でほ、 ( )中の線 d d 示 れる 置のよ に、 、 02の ずれとも しな 状態 なる頻度は格段に少な な て る。 て、 置によ て 、 が接触する 02の 数に若干の 在するものの、局所 に観測 れる実効的な 触角ほ、 る 造に おける実効的な 触角 d に し なる。 言する 、 3に示す市松 置では 、局所 、 にむらが生じる可能性は大幅に少な な て る。
0106 このため、 3に示した構造 20 、第一の 態に記載の 00( )に加えて、以下の 果を有する。 5(a)および 5 、 に示した構造 0 0 3に示した構造 20とを 較して説明する図である。 5 示したよ に、 02が市松 置 れた構造 20で 、 02の 方向( 上下 方向)でほ 接する 02が重なるよ に配置してあり、 方向に直線状の溝 ができな よ に構成 れて る。このため、 02が 子配置 れた 5(a)に 示した構成に比 て、 方向( 上下方向)における 03 らの 体の 出がよ 一層 実に抑制 れた構成 な て る。
0107 4は、 3に示した構造 20を有するチップの 成を模式的に示す 面図であ る。 4に示したチップ 30は、 0 の 面に、複数の 20のア イが複 数列 けられた構成である。チップ 30にお ては、平面内に配置された 数の 20の 03に所定の 体を確実に保持さ るこ ができる。 0108 ( 三の )
一または第二の 記載の にお て、平坦 04の 取 をさらに設けてもよ 。 2は、本実施 係る構造 の 成を模式 的に示す 面図である。
0109 2に示した構造 にお て、 03の 、表面 ティング膜である
24により被覆 れて る。また、平坦 04の 面にお て、 08 の側は親 24により被覆 れており、 09の側は疎 25により 被覆 れて る。このため、 08に試料 液を確実に保持し、 24 が設けられた 域の 側に 料が漏出するこ を抑制できる。
0110 また、 09 、平坦 04の 取り むよ に設けられて る。
09 、 23 らなり、 料 の の 領域である。 09 の 、表面 ティ グ膜である 25により被覆 れて る。
0111 2に示した 面構成を有する構造 、 03の 平坦面 らなる 外周 04および 09がこの順に設けられて るため、 03に らに 確実に 体を保持し、 出が抑制される構成 な て る。この 、た えば だめや に好適に用 ることができる。
0112 なお、 09に ても、上記 ( )および上記 (2)が適用 能であり、
23の 面積を制御するこ により、 液化の 度を調節することができる。 また、
Figure imgf000031_0001
Cos0 するこ により、 09の 液化が可能である。 0113 上の実 態にお ては、 造の 成により平坦 より 化 れた
を形成したが、所定の 体に対して の の 面に 造を設けるこ により、 造 らなる を有する構造 を得るこ もできる。このとき、 の 取 に選択的に 体を保持さ るこ ができる。また、上述し た式(2)を満たす 成 すれば、 を超 の 面 するこ ができる。 下 の にお ては、 0 の 面に して が設けられた構造 に て説明する。
0114 ( 四の )
態では、 を有する構造 、電解質 して電解 を用 た 料電 池 の 適用する場合を例に説明する。
0115 3は、 態に係る燃料電池 極の 成を模式的に示す 面図である 。 3に示した電極200は、 の カ ボン 20 、 カ ボン 20 に設けられた の 205 、 205の 端に設けられ、 カ ボ 20 を貫通する燃料供給? 208 、 205の に設けられ、 カ ボ 20 を貫通する燃料 ? 209 、を有する。 、燃料供給 208 ら 205に供給 れ、燃料 209 ら電極200の 部に導出 れる。 0116 4 、 3の 面図である。 4に示したよ に、電極200の 205 における カ ボン 20 に、 206および 206の 側に設けら れた 207がこの順に配置 れて る。 206にお て、 カ ボン 20 上に 造 して四角柱状の 202が設けられて る。 202 の 長方形であり、 4にお て 行き方向に当たる、気体 料が流れる 205の 方向に沿 て 配置された構造 な て る。
0117 また、 202の 面を除 域にお て、 カ ボン 20 の
ン の 定の 対して を示す ッ 203で われ 30
て る。したか て、 202と もに極めて強 機 を導電 ホ 20 。これにより、電解 206に入り込 ことによる気体の 路の 抑制し、効率の 下を防 ことか きる。
0118 方、流 205の よりも 202の ほ 、 202の 面には
203 けられて な 。このため、 4にお て柱状 202の ては 、 205の 方向に沿 た方向の 弱 、電解 易に流 205 向に流れ、 てきるよ にな て る。
0119 202の 面には、 204 されて る。 204の 燃料 の 分の 類に応して 択されるか、た え 金等の 白金 ウ ム 金等 するこ か きる。また、 204の 面に接触して ン の 定の ( ) されて る。
0120 3 4に示した電極200は、微細 術を使用して ホン
20 に 205 202を形成するこ によ 得られる。たたし、 206は、 体を確実に排除てきる条件を満たす 殊な 状を有するため、こ のよ 造を導電 ホン 20 形成する必要かある。このため、卓 に導電 ホン 20 の 面を した 、 ホン 20 複 数の 202を設けた するたけてはこのよ な構成を得るこ か てある。 0121 200にお て、 202を表面積の き 形状とし、これを 206の 域内に密に配 することにより、 造 らなる 206 分に機 化し、確 実に 体か 除 れる。 206における 202の およ 、たと えは、第一~ 三の およ 述する実施 に係る態様を適用するこ か きる。これにより、平坦 207 ら 206 の 体の を確実に抑制すること か きる。
0122 た えは、 206にお て、上述したよ に 向により異な て ても よ 。た えは、 206に、 状を有する複数の 202 一直線上 に配置 れた に平行に複数 置 れており、列の延 方向における 202の 面の 、 方向に垂直な方向における 202の 面の か に異な て てもよ 。 0123 また、 206に 202が 子状に配置 れて てもよ し、千鳥 の 子状に配置 れて てもよ 。
0124 また、 206に ても、上記 ( )および上記 (2)が適用 能であり、 造の 面積を制御するこ により、 またほ の 度を調節するこ が できる。また、
Figure imgf000033_0001
Cos することにより、 206の 化が可能であ る。
0125 3および 4に示した電極200は、たとえば、電解質 して電解 を用 た 料電池の して られる。この き、 205の すなわち 4の に電解 、ある は電解 を含 ック が され、この 解質を介して電 極200に対向する 置に酸化剤 される。
0126 このよ に構成された 料電池の 200にお て、 205に、た えば
ガスが供給される 、 202の 部にお て の 分が 204に よ 分解 れて イオンが生成される。 イオンは電解 、または電解 を含む ック 移動する。また、ガスは 206を経由して、電極200の 部に放 出される。
0127 4に示した 料電池 の 、気体 料の 路を確保する もに、気 体の 動が 体によ ふさがれるこ が抑制された構成 な て る。このため、た えば 料電池 の として好適に用 るこ ができる。 5は、電極200 が用 られる燃料電池の 成の 例を模式的に示す 面図である。
0128 また、 3で 、 ア ダ状の流 205を例示したが、 205の 、
択できる。
0129 上、図面を参照して 明の 態に て述 たが、これらは 明の 示であり、上記以外の 構成を採用することもできる。
0130 た えば、第一および 二の 態にお ては、 を有する構造 だ め して る場合を例に説明したが、 をたとえば 体の することもでき る。たとえば、構造 、 の 面に所定の 向に延 する が設けられ、 の な も一端の が設けられた構成 することができる。また、 の 端の 傍 ら の にわた て が設けられて る構成 してもよ 。 0131 また、 上に 体の が形成 れており、その 、 に連 、第一ま たほ 二の 態に記載の 体 らなる だめが設けられて てもよ 。この き、以上の実 態に係る構造体 らなる だめは、 料を導入する 、流 を流れてきた液体を回収する 部などに好適に用 るこ が できる。
0132 また、以上の実 態に記載の を用 て の 面の を制御 することにより、 の 対する構造体 らなる の 面積の 率を 制御するこ ができるため、簡素な構成で確実に親 を制御するこ ができる。
0133 ( )
6 、本実施 に係るチップの 成を模式的に示す 面図である。 6に示した よ に、本実施 では、 イオチップで 使用 れる 00 幅の流
Figure imgf000034_0001
を 2上に作製した。そして、 の を変化 て の の 度を 較して る。
0134 2としては および石英 を用 て る。なお、 2 して と用 る場合は、 チ グ 、基 2の 面を熱 化して 形成し、表面 面を親水化して る。 2・ 5 のドッ の んだ ス ク タ を用 て、 となる 域の チング ともに、 7に示 れる円錐 形 らなる突起 状の 造を流 の 体にわた て 成して る。なお 、 7 、 のS ( 子顕微鏡)像を示す図である。
0135 8は、 の の 度の 果を示す図である。 8にお て、横軸 は 造の 差に当たる チング さを示し、 に親 を代表する の 路 の 度を示した。なお、この 合、 造が十分 、 値が大き 、 cos の値が を超える 水性の 況ができて る。このため、水滴が形成さ れず、接触角では親水性を評価できな た。また、 の の にお ける 2 面の 触角は 6度を示し、親水性であ た。これは 造の 成 によ 水性が増加したこ を示して る。
0136 また、 ン の 合、 チング さを0・ tu 、 ・ 、 2・ 、 3・ 0 の順に増加 るに れて進入 度が高 なり、親水性が増加して る。すなわ ち、段差の き により 水性を制御するこ が可能であり、段差を大き するこ によ り 水化の 度を増加 ることができて る。
0137 また、石英ガラス の 合にも、 ・04 ら2・0 と 差が大き なるに れて 水性が増加して る。 ガラスも 質 しては酸化 だが、作製 件 の により の 合より大き 親水性を示して る。し し、その 加の きは同じ構造による違 であることを反映して、ほぼ平行に推移して る。 0138 これらの 、 の 端の 傍 ら の にわた て 造 らなる を形成するこ によ 、同一の 理や ティン を用 た状況にお て も、チップ内の基 表面の または の さの なる 域を制御 、 内に選択的に 体を導入し、また 入された液体を保持さ るこ ができるこ を示 して る。
0139 ( 2)
では、 6にお て、 の および 置を変えるこ によ 、 の 状が異なる構成のチップを作製して る。 の の 方向( 手方向)における 面の幅は、 の 方向に垂直な方向( 方向)における 面の 、 ス イアウ 上で2・ 5 、よ も大き 構成 して る。また、 方向における隣接する の 面における間隔 、 ス イアウ 上で2・ 5 4 である。 接する の 、 方向の よりも充分 0140 また、 の 方向における の 面の 、 方向に垂直な方向に おける の 面の よりも大き 構成 して る。また、 の 方向に平行 で平坦 に垂直な 面における の に対する 面における 造 の 線の が、平坦 に垂直な 面における の に対する 面に おける 造の 線の よりも大き 構成として る。また、 方向に隣接す る二 の 体の間の領 、一直線上に形成 れず、ジグザグ状に配置 れるよ に、 を市松 置 れて る。
0141 このよ チップは、 チングによ 高 歩留ま で安定的に 能である。 9 、作製したチップのS 像を示す 面図である。 0は、 9の 内の 分 を拡大して 図である。また、 は、 0 同じ 域のS 像を示す で ある。 られたチップに を導入したところ、速や に導入が行われるとともに、 の 方 らの 体の 出が好適に抑制 れて る。
0142 ( 3)
実施 では、図 6に示す おり、規則的な 造 して、放射 タ ンを 形成した例を示す。 実施 でほ、ガラス 上にドライ チ グ 術を用 て段 差が 0 ク ンの タ ンを形成した。 タ ンの 心に位置する円の直 ぶこ ができるが、この 200 ク ンである。この タ ンの 合 、中心角(2 )の間隔で配置される放射 タ ンを横切る 面、例えば、a a 面に対して、 造の A が 0 ク ンで一定 な て る。その 、各 タ ンにお て、中心 ら半径の 上、 の 域では、段差 の 面積は、 X A 、平坦 の 面積は、 X X(2 ) 近似 に表 る。 部 ら中心部 向 向では、中心 ら半径が減少するため、平坦 の 面積: X X(2 )は減少するが、段差 の 面積: X A は一定 な て る。 言する 、外周部 ら中心部 向 方向では、この 定高さの 差を 有する 造による表面積の (A 「X (2 )))が高 な て る。
0143 ガラス 表面は親水性であるため、平坦な表面における、水の接触角 は、0 。
0 90 であり、この タ ンでは、中心に位置する円に向 て、表面積 の 増大する 、 ( )cos Cos で与えられる os 0 大する 。すなわち、この 掛けの 触角 少しており、放射 タ ンの 心に位置 する円に向 て、実効的な親水性の 合 が高 なるこ になる。
0144 なお、表面に設ける 造として、 る放射 タ ンを利用する際には、 、中心 に対して、一般に、回転 を有するため、一般に、この 起点 して定義される二 の 向に沿 た表面積の 、その 足するよ 対称 を示す。 方、中心 より 心した点、例えば、 6 、 a 示される線分上に、軸の起点を設定して、中心 通過する、正方向 と、それ 対向する外周 向に伸びる、 を、表面上に定義する二 の 向とする 、この 方向 と負 とに沿 た実効的な表面積の 、相 違するものとなる。すなわち、中心 に向 方向 に沿 た実効的な表面積の 、外周 向に伸びる に沿 た実効的な表面積の
十 一 を 較すると、 とな て る。また、中心 より 心した 点における実 一 効 的な表面積の 、それぞれ、 ・ の 向に れる 置における、 局所 な表面積の 率に相当する、 、 値に対して、 の関
0
なる。 えて、二 の 向に れる 置の 離が増す も、その ( )は増大して 。
0145 この タ ンを設けた表面を利用するこ によ 、 る放射 タ ンの 心部分 の 中を行 、水溶液 料の 縮が可能 なる。この タ ン上に 、濃縮した 水溶液 料、すなわち、水溶媒 、試料が溶質 して溶解さえて る 水溶液を一滴、 する。 タ ンの 心を狙 て するが、多 の 合、 その 心 ら ら の 心した位置に の 心が 置する状態で、 タ ン上 に、 形の を示す 形成される。 えば、この 心した位置に 形成された 滴 ら、水溶媒を さ て 、 の 少によ 分の 小さ な て 。その 、 の 少に伴 て変化する の 分の 、 る放射 タ ンの 面の 造に由来する親水性の 方 性の 響を受ける。この 合、放射 タ の 面では、その 心に向 て、実 効的な親水性が高 な て るため、水溶液の の 分ほ、実効的な親水性 が高 放射 タ の 心に向 て する。したが て、当初、放射 タ の 心 ら偏心して た 、乾燥するにしたが て、放射 タ ンの 心に、 の 心が一致するよ に外周 分が小 なる。 が らに 、 最終的には、放射 タ の 心に位置する を満たす 態の 小な の となる。その 、 に溶解して た 質、すなわち 、この 小な の 存在する放射 タ ンの 心に位置する 、 出する。したが て 、最初の きな径の液 形状は、中心 ら た位置を中心 して ても、最終 的に される時点では、 に含有されて る 、中心の され 上で、 出する。
0146 際、図 6に示した タ で実験した ころ、 の 心が若干 心す るよ に した後、水の蒸散に伴 形状の 化を観察する 、 進 むと、残る の 放射 タ ンの 心に位置する たす な り、最終的に することが確認 れた。このよ 水溶媒の 散に伴 形状の タ は、例えば、ブ カ ダ ト クス社で販売されて るアンカ チップ 同様の 果を有して る。このア カ チップ は、 ザ イオン 行時間 量分析 置のタ ゲッ プ して られてお 、特に、チップ上に し た やたんぱ の 溶液 料の 果を有して る。そのアンカ チ ップの 部分は、中心に数百 ク ン径の親水性 域を有し、その 辺 を 性の 域で囲んだ 造 な て る。この 部分に された や たんぱ 質を溶質 して 溶液は、中央の ク ン径の親水性 域を覆 形 状で乾燥して き、最終的には、濃縮された 液 ら、この 水性 域の 面に試 料が 出する。この 果によ 、このアンカ チップを用 て質量分析を行 、 中央の ク ン径の親水性 域に ザ こ で、きわめて感度 試料の 出を行 こ できるこ が知られて る。
0147 の タ ンを用 ても、中心の に集中した試料の 出がなさ れ、ア カ チップ 同様の 果が実現 れる。 方、本実施 の タ ンで 、ア カ チップの に親水性 域と 域 を作り分ける ティング 理 をする必要がな なる。 般に、表面 ティン 、強度的に弱 、複数回の 用 により、その 態が 化する。 方、本実施 の タ では、表面に 形成 れる タ ンを利用して、表面 ティン を利用するアンカ チップ 同様の 果が実現 れて る。また、表面 ティ 比較して、表面に形成 れ る タ ンは、その 態の な 。 らに、放射 タ を形成 するチップ 料 して、ガラス製のチップを利用する 、そのガラス 、ボ タ ク質の 側 らの ド 解、ある はC 側 らの 解による ケン ングなどに用 られる薬品にも十分な 性を有すると 徴を持 。したが て、放射 タ ンを形成したガラス製チップ上に、単離した ク質のサ プ 溶液を 、 、乾燥 理を 、放射 タ の 心に ク質を濃縮、 出 る。この みの ク質を、その 心に保持するタ ゲッ プ ご 、上記 の 理を行 た後、中心に存在する分解 物の 量分析を行 て、 ア ノ 、ある C ア ノ 列を ケン グする た 途にも 使用 能となる。
0148 もちろん、本実施 の タ の 合でも、より高 濃縮 果を得るため、 放射 タ ン 心部の 部を親水性 し、放射 タ ン 分を弱 親水性 しても良 。なお、放射 タ ンの 心部は、円形 状に限らず、その サイズ が 度であれば、六角形や 角形など、 角形 状でも良 。また、円形 、 角形 状 同等の 率を示す 、所望の 状 するこ もできる 0149 方、表面積の 加を図る目的で利用される、放射 タ ンの 、 の タ ン 外に、例えば、 タ ン 巻き状に拡が て る放射 タ ンにお ても、同様に、周辺部 ら中心部 向 、表面積の 加率ひ が増す 達成できる。
0150 また、 タ ン 体の 状も、 のよ に、内周 外周 が同心 の 相当するもの 外に、内周 外周とが同心の 角形の の 部に相当するも の、ある 、 タ ン 体の 状が、台形に相当するものなど、 の 状を選択 することが可能である。

Claims

求の
体をその 面で チップの 面に設ける構造 であ て、
前記 体 接触する チップの 面に設けられる規則的な 造で構成され、 前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 率を、
前記 則的な 造を設けるチップの 対する、前記 則的な 造 の 面 チップ 面 の 面積の 率 定義する時、
前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 、
チップ 面上にお て定義する二 の 向に沿 て て る こ を特徴 する構造 。
2 に記載の にお て、
チップの 面に設けられる規則的な 、
チップの 面上に形成 れて る、複数の を規則的に配置するこ で 成 れて
こ を特徴 する構造 。
3 2に記載の にお て、
チップの 面に形成 れて る、前記 数の で構成 れる規則的な 、
状を有する複数の 形の が直線上に配置 れた列が、互 に 平行に複数 置 れた構成を有し、
チップ 面上にお て、 線に平行な方向 垂直な方向に定義する二 の 向にお て、
前記 則的な 造を設けたこ による表面積の 、 の 向に 沿 て て る
こ を特徴 する構造 。
4 3に記載の にお て、
前記 が直線上に配置された列が、互 に平行に複数 置された構成は、 隣接する 上に配置 れる前記 、 線に垂直な方向の 向にお て、直線状に並ぶこ のな よ に、 上に配置 れる前記 互の 対的な位置が選択 れて る こ を特徴 する構造 。
4に記載の にお て、
前記 が直線上に配置 れた列が、互 に平行に複数 置 れた構成は、 隣接する 上に配置 れる前記 に て、
上に配置 れる前記 互の 対的な位置が、
市松 子配置を構成するよ に選択されて る
こ を特徴 する構造 。
体をその 面で チップであ て、
チップ 面に前記 体の を設け、
の 面の な も一部は、請求 ~5の ずれ に記載の で構成されて る
こ を特徴 するチップ。
体をその 面で チップであ て、
チップ 面に前記 体の だめを 、
体の だめ 数の 面の な も一部は、請求 ~5の ずれ に記載 の で構成 れて る
こ を特徴 するチップ。
体をその 面で チップにお て、前記チップ 面の な も一部の 域に 関して、 面の 体に対する を制御する方法であ て、 前記 面を、請求 ~5の ずれ に記載の で構成することにより、 前記 体に対する を制御する
こ を特徴 する の 御方法。
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