WO2005078428A1 - キズ検査用基準ゲージの製造方法 - Google Patents

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    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/30—Arrangements for calibrating or comparing, e.g. with standard objects

Definitions

  • the present invention relates to nuclear power, rockets, aircraft, ships, vehicles, motorcycles, locomotives, machineries, tanks, plants, bridges, bridges, buildings, keys, objects, etc.
  • the present invention relates to a method of manufacturing a reference gauge used to determine whether or not the inspection method is correct when measuring a flaw in a flaw inspection object, and particularly to a maintenance standard determined for flaw evaluation.
  • the present invention relates to a method for manufacturing a reference gauge for flaw inspection, which can correctly judge whether the inspection object is acceptable or not.
  • VT visual inspection
  • UT ultrasonic inspection
  • ET eddy current inspection
  • a test piece reference gauge
  • EDM electric discharge machining
  • a material having a processing accuracy of 1 Z17 at least about 30 ⁇ m is required.
  • the reference flaw is about 500 m due to electric discharge machining. Yes, and does not satisfy the above conditions.
  • existing electric discharge machines and electronic beam machines cannot process flaws narrower than 500 ⁇ m.
  • RT, ET, VT various test methods
  • An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a standard gauge for flaw inspection which has a simple structure, which can be processed even if it is flawless, and which can accurately perform flaw inspection of flaw detection objects of various materials.
  • the present invention is directed to the first and second pieces made of the same or different materials such as metals, nonmetals, noble metals, alloys, ceramics, and composite materials.
  • Grooves, thin wires, and thin strips (hereinafter referred to as concave grooves) corresponding to the maintenance standards for scratches on the inspection object on the joining surface and end face of a single row, parallel, multiple layers parallel, stacked, multiple layers
  • a method of manufacturing a reference gauge for flaw inspection formed by laminating comprising: a first step of finishing a joint surface of the first piece and the second piece to a predetermined roughness; A second step of forming the concave groove or the like in a part of a joint surface or an end surface of one or both of the first piece and the second piece; and performing a process of preventing the concave groove or the like from being diffusely bonded.
  • the invention according to claim 4 is characterized in that the formation of the concave groove or the like is performed by laser, electron beam, discharge heating, water jet, etching, or arc machining.
  • the invention according to claim 5 is characterized in that the first piece and the second piece are made of the same material as the configuration of the inspection object and a combination thereof.
  • the invention according to claim 6 is characterized in that the connection between the first piece and the second piece is formed by welding, and the groove or the like is formed on a welding joint surface, a boundary surface thereof, and a base material. It is characterized by being formed.
  • a groove or the like formed in the first piece and / or the second piece can be formed into a form corresponding to the maintenance standard.
  • the reference gauge for flaw inspection can accurately hold the groove and the like integrally in the structure, and can manufacture a high-quality reference gauge.
  • the method of manufacturing the reference gauge for flaw detection according to claim 2 by performing the oxidation treatment, it is possible to prevent a groove or the like from being lost at the time of diffusion bonding, and to form a reference groove having a desired form. .
  • the means of the oxidation treatment is specifically shown, and the nickel and the like do not disappear by diffusion bonding.
  • the method of manufacturing a reference gauge for detecting a flaw according to claim 4 since the concave groove or the like is formed by laser processing or the like, it is possible to form the concave groove or the like in an extremely fine shape and accurately. it can. Also, it can be applied to pieces of any material for laser processing and the like. According to the method for manufacturing a reference gauge for a flaw inspection according to claim 5, since the reference gauge pieces are formed of the same material and material combination as the inspection object, accurate flaw determination is performed. Can be.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the overall schematic structure of a flaw inspection reference gauge according to the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line A—A in FIG.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining the first step of the method of manufacturing the reference gauge for flaw inspection according to the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic perspective view for explaining a second step of the method for manufacturing a reference gauge for scratch inspection according to the present invention.
  • FIG. 5 illustrates the third step of the method for manufacturing a reference gauge for scratch inspection according to the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic configuration diagram for explaining a fourth step of the method of manufacturing the reference gauge for flaw detection according to the present invention.
  • FIG. 7 is a flowchart for explaining a method of manufacturing the reference gauge for flaw detection according to the present invention.
  • FIG. 8 Perspective view (a) and cross-sectional views (b), (c), (d) showing a reference gauge for flaw inspection when the joint surface is a welded joint.
  • BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION an embodiment of a method of manufacturing a reference gauge for flaw inspection according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
  • Fig. 1 (a), Fig. 1 (b) and Fig. 2 show the schematic structure of the reference gauge for flaw detection.
  • the reference gauge for flaw inspection 1 is formed by combining a first piece 2 and a second piece 3, and a groove 4 or the like is formed at the joint surfaces 2a and 3a.
  • the shape and shape of the concave groove 4 correspond to the shape and shape of the flaw as a maintenance standard.
  • the material of the first piece 2 and the second piece 3 is the same as the material composition of the inspection object. That is, it is widely applied not only to the same material but also to different materials.
  • the concave groove 4 and the like are formed inside, they cannot be confirmed by ordinary visual inspection, but can be easily confirmed by a test device that can see through the interior. Since the concave groove 4 is formed by, for example, laser processing, the material of the first piece 2 and the second piece 3 is not only steel but also stainless steel, copper, aluminum, titanium, tantalum, Tungsten, molybdenum, magnesium, ceramics gold, silver, and composite materials are used.
  • This manufacturing method generally includes first to fourth steps.
  • First, the first step will be described. After forming the first piece 2 and the second piece 3 as a block having a predetermined shape, as shown in FIG. 3, the joining surfaces 2a and 3a of the first piece 2 and the second piece 3 are formed. Finish processing. In order to integrally join the first piece 2 and the second piece 3 by diffusion joining described later, it is necessary that both joining surfaces 2a and 3a be finished with high precision. is there. For example, it is desirable to finish it below ILS. Various methods are used as the finishing method, and known techniques can be applied to these methods.
  • a groove 4 or the like is formed on the joining surface 2a of the first piece 2 by laser processing or the like.
  • the concave grooves 4 correspond to the maintenance standard as described above.
  • square grooves 4 and the like 4 are formed.
  • the present invention is not limited to this, and is not limited to various shapes and single rows, but may be a parallel, multi-layer, or stacked shape.
  • the concave groove 4 is formed only on the first piece 2 side, but may be formed on the second piece 3 side, or formed on both the first piece 2 and the second piece 3. May be done.
  • the concave groove 4 and the like are formed in a form corresponding to the maintenance standard.
  • the third step will be described.
  • the main purpose of diffusion bonding is to integrate the bonding surfaces tightly without gaps, so that the concave grooves 4 and the like may be deformed or completely absent during diffusion bonding.
  • a third step is performed in order to substantially maintain the concave groove 4 or the like in a state of being laser-processed. This step is to prevent deformation of the groove 4 and the like at the time of diffusion bonding, that is, to prevent the influence of diffusion bonding.
  • the oxidation treatment may be automatically performed during the processing of the concave groove 4 in the second step.
  • fine particles of carbon 5 are introduced into the groove 4 or the like (FIG. 5 a), or a portion of the groove 4 is oxidized (FIG. 5 (6)). Then, an oxide layer 6 is formed. Thereby, the form of the concave groove 4 can be maintained.
  • the fourth step will be described with reference to FIG. This step is a diffusion bonding process.
  • Diffusion bonding is performed by a HIP (Hot I sostatie Pressing) apparatus and is a known technique. Specifically, the first piece 2 and the second piece 3 are joined together, sealed in a vacuum with a capsule 7, and put into an HIP device to perform HIP processing. Specifically, it is performed by pressing by vacuum heating or high-frequency heating. The first piece 2 and the second piece 3 are integrated by diffusion bonding by performing the HIP process appropriate for the piece shape. Here, the capsule 7 is removed and finishing processing is performed to produce a desired flaw inspection reference gauge 1.
  • the reference gauge 1 for flaw inspection is manufactured through the above steps, there is know-how that does not disclose the manufacturing process, thereby making it possible to form the reference gauge 1 for flaw inspection with any shape and high accuracy. it can.
  • FIG. 8 shows a reference gauge la ((a)) for flaw detection when the first piece 2 and the second piece 3 are welded together.
  • the reference gauge 1a for the flaw detection uses the same welded test piece as the object to be inspected as a welded portion 8 (cross section B—B (b)) and its boundary surface (cross section C—C (cross section)). c)) and the base material (cross section D-D (d)), and each cut surface is formed by performing the process shown in the flowchart of FIG. 7 described above.
  • the reference gouge for flaw inspection manufactured according to the present invention is used as a reference gauge for flaw inspection of all structures and buildings, and its use range is extremely wide. In particular, it is extremely effective for safety management of nuclear power and space development equipment, etc., which need to maintain high precision and high quality. It is widely used and is extremely useful as a tool for ensuring safety. Shall be used.
  • the reference gauge for flaw detection according to the present invention is sold to users and used, it is necessary to perform sales management on the manufacturing side. Therefore, the mark required for management of the material, serial number, etc., is displayed on the reference gauge for flaw detection by engraving, etching, etc., and is managed by the manufacturer using IT methods based on this.

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Abstract

検査対象物の内部キズが維持基準を満足するものか否かを正確に検査し得るキズ検査用基準ゲージを高品質で製作し得るキズ検査用基準ゲージの製造方法を提供する。キズ検査用基準ゲージ1は第1のピースと第2のピース3とを拡散接合により一体化し、その内部に維持基準に対応する凹溝等を封止形成したものからなり、このキズ検査用基準ゲージは、第1のピース2又は第2のピース3の接合面2a,3aや端面に予めレーザ加工等により凹溝等4を加工し両者を合体しHIP装置により拡散接合して形成される。

Description

明細書 キズ検査用基準ゲージの製造方法 技術分野 本発明は、 原子力， ロケット， 航空機， 船舶， 車両， 二輪車， 機関車， マシー ン， タンク， プラント， 橋梁， 橋， 建造物， 鍵， 铸物等のキズ検査対象物のキズ 測定時において、 その検查方法の正否を決めるために使用される基準ゲージの製 造方法に係り、 特に、 キズの評価のために決められている維持基準に対してキズ 検查対象物の合否を正しく判断し得るキズ検査用基準ゲージの製造方法に関する。
背景技術 表面キズの確認方法には、 目視試験 （V T) や超音波探傷試験 （U T) 及ぴ渦 電流探傷試験 （E T) 等がある。 これらの試験方法を適用する場合、 各々の試験 方法の校正を行うための試験片 （基準ゲージ） が必要になる。 特に、 超音波探傷 試験や渦電流探傷試験の場合にはキズの深さを評価する必要があるため、 人工キ ズとしては表面から深さを変えての模擬欠陥の加工が必要になる。 従来これらの キズの加工方法としては放電加工 （E DM) が一般に採用されている。 しかしこ の加工方法では、 加工に電極を使用するため電極の厚さよりも幅の狭いキズの加 ェは不可能であり、 キズ幅としては 0 . 5 mm ( 5 0 0 μ m) が限度であり、 こ れ以下の幅の加工はできない。 一方、 目視の確認精度として、 アメリカの規格で 採用されているミルワイヤ （ 1ダ1 0 0 0 mm : 0 . 0 2 5 mmの線） の識別が 求められているが、 現実にミルワイヤの入手は困難であり、 これに相当する目視 基準ゲージが必要となり、 これを手軽に社会に供給することが必要となるが、 今 の所、 このような基準ゲージは存在していない。 また、 キズを評価するために維 持基準が決められているが、 キズ検査対象物がこの維持基準を満足しているか否 かを正確に決められるもので ない。 発明の開示 前記のように、 これからのキズ検査の場合には、 自然キズに近い幅の狭い人工 キズを有するものが必要であり、 維持基準が良否判定の基準となる。 具体的には、 例えば、 少なくとも 3 0 μ m程度で 1 Z l 7の加工精度を有するものが必要であ る。 前記特許文献 1の特開 2 0 0 2— 2 5 0 6 9 4の 「非接触式目視検查方法及 ぴ装置」 の場合は基準となるキズは放電加工による 5 0 0 m程度のものであり、 前記の条件を満足するもので ない。 また、 現存している放電加工機や電子ビー ム加工機では 5 0 0 μ mよりも狭幅のキズ加工はできない。 次に、 原子力機器やロケット等の機器点検に適用される各種試験方法 （R T， E T， V T) では、 その評価精度を向上させるため、 より幅の狭い自然キズに近 いキズ加ェが求められている。 この自然キズに近いキズ加工が可能となれば、 原 子力機器は勿論、 原子力機器以外の産業分野での各種試験方法の評価精度を向上 させることが可能となり、 製品の安全性が大幅に向上し、 社会全般における信頼 性を大きく向上させることができる。 本発明は、 以上の事情に鑑みて発明されたものであり、 維持基準に対するキズ 検查対象物の良否が正確にわかり、 かつ比較的容易に加工でき、 更に鋼以外の各 種の材質に対しても加工可能であり、 各種材質のキズ検查対象物のキズ検査が正 確にできる簡便構造のキズ検査用基準ゲージの製造方法を提供することを目的と する。 本発明は、 以上の目的を達成するために、 請求項 1の発明は、 金属， 非金属， 貴金属， 合金， セラミックス， 複合材等の同一材料又は異種材料からなる第 1及 ぴ第 2のピースの接合面や端面に検査対象物のキズに関する維持基準に対応する 凹溝や細線， 細条 （以下、 凹搆等という） を単列， 並列， 複層並列， 重ね， 複層 重ねに形成してなるキズ検査用基準ゲージの製造方法であって、 該製造方法は、 前記第 1のピース及ぴ第 2のピースの接合面を所定粗さに仕上げる第 1のステツ プと、 前記第 1のピース及ぴ第 2のピースの一方又は双方の接合面や端面の一部 に前記凹溝等を形成する第 2のステップと、 前記凹溝等を拔散接合しにくい処理 を施す第 3のステップと、 前記第 1のピースと第 2のピースの接合面を接合せし めてこれ等を H I P装置内に入れて拡散接合又は高周波加熱接合を行う第 4のス テツプとからなることを特徴とする。 また、 請求項 2の発明は、 前記第 3のステップにおける前記凹溝等の拡散接合 しにく 、処理が、 前記凹溝等内を酸化処理するものからなることを特徴とする。 また、 請求項 3の発明は、 前記酸化処理が、 炭素， コゥミヨウタン， 鉛， 薬剤， 火力, 水， 油等の処理を行うものからなることを特徴とする。 また、 請求項 4の発明は、 前記凹溝等の形成が、 レーザ， 電子ビーム， 放電加 ェ， ウォータジェット， エッチング， アーク加工によることを特徴とする。 また、 請求項 5の発明は、 前記第 1のピース及ぴ第 2のピースは検査対象物の 構成と同一の材料及ぴその組み合わせからなることを特徴とする。 また、 請求項 6の発明は、 前記第 1のピースと第 2のピースとの結合が溶接結 合により形成されたものであり、 前記囬溝等が溶接接合面， その境界面， 母材に 形成されるものであることを特徴とする。 本発明の請求項 1のキズ検査用基準ゲージの製造方法によれば、 第 1のピース 及び/又は第 2のピースに形成される凹溝等を維持基準に対応する形態にするこ とができ、 かつキズ検査用基準ゲージは前記囬溝等を一体的に構造体の内部に正 確に保持することができ、 高品質の基準ゲージを製造することができる。 また、 請求項 2のキズ検查用基準ゲージの製造方法によれば、 酸化処理を行う ことにより拡散接合時に凹溝等が無くなることが防止され、 所望の形態の基準溝 を形成することができる。 また、 請求項 3のキズ検査用基準ゲージの製造方法によれば、 酸化処理の手段 が具体的に示され、 搆等は拡散接合により消滅することがない。 また、 請求項 4のキズ検查用基準ゲージの製造方法によれば、 凹溝等がレーザ 加工等により形成されるため、 極めて微細な形状に、 かつ正確に凹溝等を形成す ることができる。 また、 レーザ加工等のため、 任意の材質のピースに対しても加 ェ可能である。 また、 請求項 5のキズ検査用基準ゲージの製造方法によれば、 基準ゲージのピ 一スは検查対象物と同一の材料及ぴ材料組み合わせから形成されるため、 正確な キズ判定を行うことができる。 また、 請求項 6のキズ検查用基準ゲージの製造方法によれば、 溶接による接合 面にも凹溝等を作ることができ、 従来不可能とされたキズ検査用基準ゲージを作 ることができる。 図面の簡単な説明 図 1本発明に係るキズ検査用基準ゲージの全体概要構造を示す斜視図。
図 2図 1の A— A線断面図。
図 3本発明のキズ検査用基準ゲージの製造方法の第 1のステップを説明するた めの模式的斜視図。
図 4本発明のキズ検査用基準ゲージの製造方法の第 2のステップを説明するた めの模式的斜視図。
図 5本発明のキズ検査用基準ゲージの製造方法の第 3のステップを説明するた めの模式的断面図 （a ) ， ( b ) 。
図 6本発明のキズ検查用基準ゲ一ジの製造方法の第 4のステツプを説明するた めの模式的構成図。
図 7本発明のキズ検查用基準ゲージの製造方法を説明するためのフローチヤ一 卜。
図 8接合面が溶接結合の場合のキズ検査用基準ゲージを示す斜視図 （a ) 及び 断面図 （b ) ， （ c ) ， （d ) 。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明のキズ検査用基準ゲージの製造方法の実施の形態を図面を参照し て詳述する。 図 1 ( a ) ， 図 1 ( b ) 及ぴ図 2はキズ検查用基準ゲージの概要構 造を示すものである。 キズ検査用基準ゲージ 1は第 1のピース 2と第 2のピース 3とを合体したものからなり、 その接合面 2 a及ぴ 3 aの箇所には凹溝等 4が形 成されている。 この凹溝等 4の形状や形態が維持基準のキズの形状， 形態に対応 するものである。 なお、 第 1のピース 2や第 2のピース 3の材質は検査対象物の 材料構成と同一のものが使用される。 即ち、 同一材料に限らず異種材料について も広く適用される。 勿論この凹溝等 4は内部に形成されているため通常の目視に よっては確認できないが、 内部を透視し得るテスト装置によって容易に確認する ことができる。 なお、 この凹溝等 4は、 例えば、 レーザ加工により形成されるた め、 第 1のピース 2や第 2のピース 3の材質としては鋼のみならず、 ステンレス， 銅, アルミニウム， チタン， タンタル， タングステン， モリプデン， マグネシュ ーム， セラミックス金， 銀， 複合材等が採用される。 また、 レーザ加工のため 5 μ m程度、 更にこれ以下の微細寸法の凹溝等 4を正確に形成することができる。 次に、 以上の構造のキズ検査用基準ゲージ 1の製造方法を図 3乃至図 6及び図 7のフローチャートを用いて説明する。 この製造方法としては概略第 1のステツ プ乃至第 4のステップからなる。 まず、 前記の第 1のステップを説明する。 第 1のピース 2及ぴ第 2のピース 3 を所定の形状のプロック体として形成した後、 図 3に示すように、 第 1のピース 2及び第 2のピース 3の接合面 2 a及び 3 aを仕上げ加工する。 後に説明する拡 散接合によって第 1のピース 2と第 2のピース 3とを一体的に接合するには、 こ の両者の接合面 2 a及ぴ 3 aが高精度に仕上げられることが必要である。 例えば、 I L S以下こ仕上げることが望ましい。 この仕上げ加工方法としては各種のもの が採用され、 これ等には公知技術が適用可能である。
次に、 第 2のステップを説明する。 図 4に示すように、 例えば、 第 1のピース 2の接合面 2 aにレーザ加工等により Μ溝等 4を形成する。 この凹溝等 4は前記 のように維持基準に対応するものである。 図 4では四角状の回溝等 4が形成され ているが、 これに限定するものではなく、 各種形状のものや単列に限らず、 並列， 複層， 重ね形状も採用される。 また、 本例では第 1のピース 2側にのみ凹溝等 4 が形成されているが第 2のピース 3側でもよく、 また、 第 1のピース 2及ぴ第 2 のピース 3の双方に形成されてもよい。 また、 前記のように凹溝等 4は維持基準 に対応する形態のものからなるが、 後に説明する拡散接合によって凹溝等 4の一 部が変形することも考えられるため、 この変形代を加味したものにすることが必 要となる場合もある。 この変形代や主に経験上求められる。 次に、 第 3のステップを説明する。 一般に、 拡散接合は接合面を隙間なく密に 合体することが主目的であるため、 凹溝等 4も拡散接合時に変形又は皆無になる 恐れがある。 凹溝等 4をレーザ加工した状態にほぼ保持するために第 3のステツ プが行われる。 このステツプは拡散接合時にお!/ヽて回溝等 4の部分が変形しない ように、 即ち、 拡散接合の影響を受けないようにするためのものである。 なお、 図 7のフロ一チヤ一トに記載するように第 2のステップと第 3のステップとの間 に酸化処理がすでにされたか否かのステップがある。 これは、 第 2のステップに おける凹溝等 4の加工時に酸化処理が自動的に行われる場合があるからである。 具体的手段としては図 5に示すようにこの凹溝等 4内に微粒子のカーボン 5を揷 入するか （図 5 a ) 、 又はこの凹溝等 4の部位を酸化処理 （図 5 ( 6 ) ) して酸 化層 6を形成する。 これにより、 凹溝等 4の形態を保持することができる。 次に、 図 6により第 4のステップを説明する。 このステップは拡散接合の工程 である。 拡散接合は H I P (Ho t I s o s t a t i e P r e s s i n g) 装置により行われ、 公知技術である。 具体的には、 第 1のピース 2と第 2のピー ス 3とを接合合体させ、 これをカプセル 7で真空封止し、 これを HI P装置に入 れて HI P処理を行う。 具体的には真空加熱又は高周波加熱による押圧によって 行われる。 ピース形状に見合った H I P処理を行うことにより第 1のピース 2と 第 2のピース 3とは拡散接合して一体化する。 ここで、 カプセル 7を除去し、 仕 上げ加工することにより所望のキズ検査用基準ゲージ 1が製作される。 以上の工程によりキズ検查用基準ゲージ 1が製作されるが、 その製造工程につ いては開示しないノウハウがあり、 これにより、 任意の形状高精度のキズ検査用 基準ゲージ 1を形成することができる。 また、 第 1のピース 2や第 2のピース 3 の形状や囬溝等 4の形状も図示のものに限定しないことは勿論である。 図 8は、 第 1のピース 2と第 2のピース 3とが溶接結合される場合におけるキ ズ検查用基準ゲージ l a ( (a) ) を示す。 このキズ検查用基準ゲージ 1 aは検 查対象物と同一の溶接結合された検査ピースを図示のように溶接部 8 (断面 B— B (b) ) とその境界面 （断面 C— C (c) ) 及び母材 （断面 D— D (d) ) で 切断し、 夫々の切断面に前記の図 7に示すフローチャートによる工程を施して形 成される。 これにより、 従来不可能とされていた溶接部におけるキズ検査が正確 に行うことができる。 産業上の利用可能性 本発明によつて製作されるキズ検查用基準グージは全ての構造物や建造物のキ ズ検査の基準ゲージとして使用され、 その使用範囲は極めて広い。 特に、 高精度， 高品質の保持を必要とする原子力関係や宇宙開発機器等の安全管理に対しては極 めて有効であり、 広い範囲で使用され、 安全性確保のツールとして極めて有用の ものとし使用される。 また、 本発明によるキズ検查用基準ゲージは使用者に販売 されて利用されるが、 製造側で販売管理する必要がある。 よってキズ検查用基準 ゲージにはその材質， シリアルナンパ等の管理に必要な表示が刻印やエッチング 等により表示され製作者側でこれを基にして I T手法等を用いて管理される。

Claims

請求の範囲 -
1 . 金属， 非金属， 貴金属， 合金， セラミックス， 複合材等の同一材料又は異種 材料からなる第 1及ぴ第 2のピースの接合面や端面に検査対象物のキズに関する 維持基準に対応する凹溝や細線， 細条 （以下、 凹溝等という） を単列， 並列， 複 層並列， 重ね， 複層重ねに形成してなるキズ検査用基準ゲージの製造方法であつ て、 該製造方法は、 前記第 1のピース及び第 2のピースの接合面を所定粗さに仕 上げる第 1のステップと、 前記第 1のピース及ぴ第 2のピースの一方又は双方の 接合面や端面の一部に前記凹溝等を形成する第 2のステップと、 前記凹溝等を拡 散接合しにくい処理を施す第 3のステップと、 前記第 1のピースと第 2のピース の接合面を接合せしめてこれ等を H I P装置内に入れて拡散接合又は高周波加熱 接合を行う第 4のステップとからなることを特徴とするキズ検查用基準ゲージの 製造方法。
2 . 前記第 3のステップにおける前記凹溝等の拡散接合しにくい処理が、 前記凹 溝等内を酸化処理するものからなることを特徴とする請求項 1に記載のキズ検查 用基準ゲージの製造方法。
3 . 前記酸化処理が、 炭素， コゥミヨウタン， 鉛， 薬剤， 火力， 水， 油等の処理 を行うものからなることを特徴とする請求項 2に記载のキズ検査用基準ゲージの 製造方法。
4 . 前記回溝等の形成が、 レーザ， 電子ビーム， 放電加工， ウォータジェット， エッチング， アーク加工によることを特徴とする請求項 1乃至 3のいずれかに記 載のキズ検査用基準ゲージの製造方法。
5 . 前記第 1のピース及ぴ第 2のピースは検査対象物の構成と同一の材料及ぴ その組み合わせからなることを特徴とする請求項 1乃至 4のいずれかに記載のキ ズ検查用基準ゲージの製造方法。
6 . 前記第 1のピースと第 2のピースとの結合が溶接結合により形成されたもの であり、 前記凹溝等が溶接接合面， その境界面， 母材に形成されるものであるこ とを特徴とする請求項 1乃至 5のいずれかに記載のキズ検査用基準ゲージの製造 方法。
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