WO2005015594A3 - Commutateur micro-mecanique bistable, methode d’actionnement et procede de realisation correspondant - Google Patents

Commutateur micro-mecanique bistable, methode d’actionnement et procede de realisation correspondant Download PDF

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Abstract

Un pont (1) suspendu déformable est rattaché à un substrat (3) par deux pieds (7) disposés de manière à subdiviser le pont (1) transversalement en un segment médian (8) disposé entre les pieds (7) et deux segments périphériques (9) faisant saillie vers l'extérieur. Des actionneurs périphériques (11) et médians (10) permettent de déformer respectivement et indépendamment, les segments périphériques (9) et le segment médian (8) perpendiculairement au substrat (3). Ainsi, un contact électrique entre un premier élément (5) conducteur formé sur le substrat (3), entre le pont (1) et le substrat (3), et un deuxième élément (6) conducteur, solidaire d'une face inférieure du pont (1), peut être établi et interrompu, le commutateur prenant deux positions mécaniquement stables.
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