WO2004105174A1 - Frontend-modul mit geringer einfügedämpfung - Google Patents

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WO2004105174A1
WO2004105174A1 PCT/DE2004/000887 DE2004000887W WO2004105174A1 WO 2004105174 A1 WO2004105174 A1 WO 2004105174A1 DE 2004000887 W DE2004000887 W DE 2004000887W WO 2004105174 A1 WO2004105174 A1 WO 2004105174A1
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WO
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end module
module according
multilayer substrate
base body
filter
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Application number
PCT/DE2004/000887
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Christian Faistauer
Bernhard Reichel
Alexander Freising
Christian Block
Original Assignee
Epcos Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Epcos Ag filed Critical Epcos Ag
Publication of WO2004105174A1 publication Critical patent/WO2004105174A1/de

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/213—Frequency-selective devices, e.g. filters combining or separating two or more different frequencies
    • H01P1/2136—Frequency-selective devices, e.g. filters combining or separating two or more different frequencies using comb or interdigital filters; using cascaded coaxial cavities

Definitions

  • the invention relates to a front-end module with a transmission path and a reception path, which are connected to an antenna connection, comprising a multilayer substrate with a plurality of dielectric layers and metallization levels, which are arranged between the dielectric layers and are electrically connected to one another and with connection surfaces arranged on the upper side of the substrate and on the External contacts arranged on the underside of the substrate are connected, a transmission filter being arranged in the transmission path and a reception filter being arranged on the output side in the reception path.
  • the filters are each electrically connected to the connection areas of the multilayer substrate.
  • an adaptation network is arranged in the reception and / or transmission path, which comprises a delay line.
  • Such a front-end module is e.g. B. from the publication DE 19621353 known.
  • the filters connected to the common antenna connection form a duplexer.
  • a duplexer is a crossover for separating the receive and transmit signals of a certain frequency band of a data transmission system, the data being transmitted in both directions via a common antenna.
  • a duplexer has i in each signal path. d. R. a bandpass filter, e.g. For example, a filter that works with acoustic waves or a filter that consists of several electrically and mechanically interconnected dielectric resonators.
  • the duplexer ensures that the paths do not mutually influence one another and, for example, do not couple a transmission signal into the reception path.
  • duplexer is known from US 5534829, which is constructed on a base plate.
  • the bandpass filters are each composed of several individual coaxial resonators, u. a. Microwave ceramic resonators, built.
  • a known microwave ceramic filter consists of at least one resonator which is formed in a dielectric ceramic base body.
  • the base body has a central bore, the inner walls of which are metallized.
  • the outer walls of the ceramic base body are also metallized, with the exception of one end face, and are contacted with the metallized bore on the short-circuit side, which lies opposite the non-metallized end face.
  • the microwave ceramic filters have the advantage that they can be designed and manufactured comparatively easily. In addition, they have a low insertion loss.
  • a so-called monolithic duplexer is known from US Pat. No. 5,686,873.
  • a single ceramic body is provided, in which a transmission branch and a reception branch, each consisting of a plurality of coupled resonators, are arranged.
  • the advantage of such a monolithic duplexer lies in its manufacture: it only requires a ceramic body to be pressed in one piece, which simplifies the production considerably compared to the production of two ceramic bodies.
  • a disadvantage that should not be underestimated is that the ceramic bodies of such monolithic duplexers are difficult to solder because of their size, and in addition corresponding mechanical stresses often arise on the respective underlays or “boards” since the ceramic filters themselves are not flexible.
  • duplexer which consists of two ceramic filters, each with two coupled resonators, which are arranged on a printed circuit board and are connected to this printed circuit board via line structures.
  • Ceramic filters are either contained in the multilayer substrate or given by additional coils and capacitors.
  • a major disadvantage of this type of duplexer is the high cost of the coupling structures.
  • a reduction in the overall height due to the additional multilayer substrate can only be achieved at the expense of a deterioration in the electrical parameters, such as, in particular, the insertion loss.
  • the object of the present invention is to provide a front-end module which is simple and inexpensive to manufacture and which has a low insertion loss and a small space requirement.
  • the invention is based on the idea of achieving low signal losses due to the compact, modular structure of the component on a multilayer multilayer substrate with integrated passive elements of the front-end circuit and the use in such a module of low-loss microwave ceramic filters.
  • a front-end module has a transmission path and a reception path, which are connected to a common antenna connection.
  • the front-end module comprises, in particular, a multi-layer substrate with a plurality of dielectric layers and metallization planes which are arranged between the dielectric layers and are electrically connected to one another and to connection surfaces arranged on the top side of the substrate and external contacts arranged on the underside of the substrate.
  • a transmission filter is arranged in the transmission path and a reception filter is arranged in the reception path (preferably on the output side, ie on the side of the reception path opposite the antenna connection).
  • the filters are each arranged on the multilayer substrate and electrically connected to the connection surfaces thereof.
  • an adaptation network is arranged in the reception path and / or transmission path, which adapts a delay line.
  • the delay line is at least partially arranged in the multilayer substrate.
  • the transmission filter and the reception filter are implemented together in a single monolithic microwave ceramic component or each are designed as a monolithic microwave ceramic component.
  • the microwave ceramic filter consists of a ceramic base body that has several metallized holes.
  • the outer surfaces of the base body have a closed outer metallization, an end face being free of metallization and cutouts being provided on the underside of the base body. Electrical contacts which are insulated from the outer metallization and are contacted with the corresponding connection surfaces on the upper side of the multilayer substrate are arranged in the cutouts.
  • the outer metallization and the connection surfaces are preferably produced in one process step as a common large-area metallization and in a later process step, for. B. isolated from each other by a cut.
  • the dielectric layers can e.g. B. as thin ceramic or laminate layers (z. B. FR4).
  • the delay line or also other passive circuit elements e.g. resistance, capacitance, inductance, line section
  • circuits e.g. impedance converter, balun, low-pass filter, matching network
  • Another option is to use the to design the components mentioned as conductor tracks on the base body in further recesses in the outer metallization.
  • the total thickness of the multilayer substrate is preferably ⁇ 300 micrometers.
  • the metallization planes of the multilayer substrate are connected to one another and to connection pads arranged on the upper side of the substrate and external contacts arranged on the lower side of the substrate by means of plated-through holes, which are preferably designed as metallized bores.
  • the back of the front-end module which points towards the top of the filter, can be planarized in one of the later process steps (after the filter has been arranged on the multilayer substrate) in the case of separately formed filters.
  • the module including the filter is planarized, e.g. B. by potting or by arranging a (preferably electrically non-conductive) plate on the back of the filter. This plate can e.g. B. have the designation of the component.
  • Plate made of a conductive material can be used as a shield or for setting the filter properties of the component (e.g. selection in the restricted area).
  • the front-end module according to the invention advantageously combines on the one hand the advantages of vertical integration of passive component structures and on the other hand the advantages of a modular structure, parts of the module only mutually influencing the electrical properties, which is why part of the design of the overall module
  • Module can be easily replaced as needed.
  • the combination according to the invention of the modularity (by using microwave ceramic filters formed in a single base body) and the integrity (by implementing further passive circuits in the multi-layer substrate) therefore achieves for the first time the advantages not achievable in the previously known components.
  • the use of microwave ceramic filters plays a special role, the electrical properties of which - in contrast to electroacoustic filters - can be modeled and implemented particularly easily.
  • At least one further discrete component is arranged on the top of the multilayer substrate and is selected, for example, from a chip component, a transistor, a diode, a resistor, a capacitor or a coil.
  • a circuit selected from a matching network, impedance converter, low-pass filter, MEMS (Micro Electromechanical System), diplexer or balun can also be implemented in the further discrete component designed as a chip component.
  • MEMS Micro Electromechanical System
  • the further discrete component can be used as a semiconductor chip
  • Component be formed and z.
  • B. include a power amplifier, a low noise amplifier or a diode switch.
  • metallic structures applied planar or in depressions can be provided on the end face. These make it easier to set a desired capacity with the help of the additional degree of freedom.
  • the size of the capacity is mainly due to the depth and arrangement of the metallic
  • Metallic structures designed as coupling structures form a capacitance for one or more resonator bores. This means that metallic structures used as coupling structures are guided in the vicinity of a resonator bore, but are made at a defined distance and galvanically separated from it.
  • additional metallic structures for decoupling the two filters can be provided in a duplexer — in this embodiment formed in a single basic body.
  • These metallic decoupling structures like the coupling structures mentioned, are also formed as metallized depressions in the end face.
  • the metallic structures used for decoupling can be galvanically isolated or connected to the metallized bores (resonator bores) of a partial filter.
  • Decoupling structures serve to influence the natural impedance of a filter and thus to change the phase position in a suitable manner. This is done in a special case in the Smith Chart by trying to turn the receive and transmit filters to idle, which corresponds to a decoupling of the two paths. By a suitable choice of the input impedances it can thus be achieved that those of the receive and transmit paths no longer influence one another. This corresponds to a rotation in the Smith Chart and serves to decouple the receive and transmit filters so that they are not affected by one another by their signals.
  • the decoupling structures can be attached to both filters.
  • the recess for the metallic structures according to the invention only extends to a depth which is approximately 1 to 20% of the total height of the base body.
  • a front-end filter which is designed for frequencies used in mobile radio in the GHz range, therefore has metallized depressions in the end face, which have a depth of 0.1 to 1 mm.
  • the depth of the depressions in the end face which represents the spatial dimension of the coupling capacitance, can be used in a simple manner in filters according to the invention for adjusting the size of the coupling capacitance. The greater the depth of the depressions, the greater the capacity can be set.
  • a metallization (metallic structure) arranged in depressions according to the invention has a correspondingly higher capacitance, or forms a correspondingly higher capacitance to the resonator bores.
  • a second inventive idea is to arrange the multilayer substrate between the transmit and receive filters and to connect it mechanically and firmly to them.
  • the filters are each designed as a monolithic microwave ceramic component which has a ceramic base body with a plurality of metallized bores, the base body having a closed outer metallization which, with the exception of an end face and cutouts on the underside and the side face of the base body facing the multilayer substrate, is arranged on all outer surfaces of the base body.
  • the multilayer substrate has connection surfaces on its side surfaces which are opposite one another and face the filters.
  • the multilayer substrate is otherwise constructed as explained above. In particular, the 'delay line or other circuit elements or circuits is hidden in Dahlsübstrat.
  • the multilayer substrate is preferably metallized over a large area, with the aforementioned connection surfaces being formed in this metallization by z. B. electrically isolated from the rest of the large-area metallization by grinding. The pads of the respective filter are electrically connected to them and at the same time serve as external contacts of the overall module.
  • This embodiment of the invention has the additional advantage that the overall height of the front-end module can be reduced in this way.
  • FIGS. 1-10 show various exemplary embodiments of the invention on the basis of schematic and not to scale representations. Parts that are the same or have the same effect are identified by the same reference symbols.
  • Figure 1 shows schematically a known duplexer circuit
  • Figure 2 shows the structure of a front-end module according to the invention in a schematic cross section
  • FIG. 3 shows a monolithic microwave ceramic filter on the left in a perspective top view and on the right in a schematic top view that is used in a front-end module according to the invention
  • FIG. 4a shows a schematic top view of the top of the multilayer substrate
  • Figure 4b shows a schematic plan view from above of one of the
  • FIG. 4c shows a schematic top view from above of the underside of the multilayer substrate with electrical ones
  • FIG. 5a shows a perspective top view of a monolithic microwave ceramic filter with an integrated screen structure
  • FIG. 5b shows a schematic top view of an end face of the base body of a monolithically designed microwave ceramic filter with coupling structures arranged on this end face and a delay line
  • FIG. 6 shows a schematic top view of an end face of a monolithically designed microwave ceramic duplexer which is used in a front-end module according to the invention
  • FIG. 7a shows a perspective top view of the front side of an advantageous embodiment of the front-end module according to the invention with a multilayer substrate arranged between the filters
  • FIG. 7b shows a schematic plan view of the front side of the front-end module according to FIG. 7a
  • FIG. 8a shows a schematic top view of the right side surface of the multilayer substrate according to FIG. 7a
  • FIG. 8b shows a schematic plan view from the right of one of the metallization levels of the multilayer substrate according to FIG. 7a with a delay line formed therein
  • FIG. 8c shows a schematic top view from the right of the left side surface of the multilayer substrate according to FIG. 7a
  • FIG. 9 ' shows a spatial representation of a filter used in the front-end module according to the invention
  • FIG. 9a shows a section from FIG. 9
  • FIG. E p -fangspathad RX and TX TX are each connected to an antenna connection ANT.
  • a transmission filter TXF is arranged in the transmission path TX between the antenna connection ANT and a transmission input TX-IN.
  • a reception filter RXF is arranged in the reception path RX on the side of the reception output RX-OUT.
  • a delay line TL is arranged in the reception path RX.
  • FIG. 2 shows a front-end module DU according to the invention.
  • a reception filter RXF and a transmission filter TXF are arranged on a multilayer substrate VS with a plurality of dielectric layers DS and metallization planes ME arranged between them.
  • the filters TXF, RXF are each designed as a monolithic component with a microwave ceramic basic body GK. The structure of the monolithic microwave ceramic filter is explained in more detail in FIG. 3.
  • the transmission filter TXF has a signal input TX-IN '"and a signal output TX-OUT", each of which is electrically connected to the corresponding connection areas TX-IN "and TX-OUT" provided on the top of the multilayer substrate VS.
  • a signal input RX-IN “” and a signal output RX-OUT “" of the reception filter RXF are electrically conductively connected to the connection surfaces RX-IN “and RX-OUT" provided on the top of the multilayer substrate VS.
  • connection area TX-IN is electrically connected to transmit input TX-IN of the front-end module via contact contacts DK, which are preferably formed as metallized bores in the dielectric layers DS of the multilayer substrate VS.
  • the connection area TX-OUT is analogous. electrical connected to the ANT antenna connection via vias.
  • the connection surface RX-OUT is also electrically connected to the receive output RX-OUT of the front-end module via feedthroughs.
  • connection surface RX-IN is connected to one end of a delay line TL via a via hole DK", which represents a blind hole (ie is not connected to the footprint of the front-end module), which is preferably used as a section of length ⁇ / 4 ( corresponding to the electrical wavelength) of a strip line.
  • the opposite end of the delay line TL is electrically connected at the bottom to the antenna connection ANT.
  • the length of the delay line TL is selected so that the input RX-IN "" of the reception filter RXF is almost idle due to the phase shift (of the signal in the line TL) in the pass band of the transmission filter TXF (whereby between the output TX-OUT "" of the transmission filter TXF and the input RX-IN '"of the reception filter RXF at the transmission frequency, a phase rotation of the signal is preferably achieved by 180 °.
  • the line length can deviate from ⁇ / 4, since the actual phase rotation is influenced by the plated-through holes and parasitic couplings ,
  • the delay line TL can be formed or hidden in one of the metallization levels ME in the multilayer substrate VS.
  • the delay line TL can be formed on the upper side or the lower side of the multilayer substrate VS.
  • Another possibility is to form the delay line TL at least partially on at least one of the exposed surfaces of the base body GK (the reception filter RXF and / or the transmission filter TXF), see e.g. B. Figure 5b.
  • circuit elements can partially or completely form the following circuits: diplexer, low-pass filter, matching network.
  • the multi-layer substrate serves u. a. to adapt the external connections TX-IN, ANT, RX-OUT of the front-end module to the arrangement of electrical connections required in the end device.
  • the connecting lines are preferably hidden in the multilayer substrate. This allows any arrangement of the module components on the top of the substrate and therefore high flexibility in the design of the entire front-end module.
  • the structure of the filter TXF (or RXF) is shown in FIG. 3 in a perspective top view (left) and in a schematic top view (right) from below.
  • the base body GK has a plurality of resonator bores R which are arranged between its end faces and are preferably continuous.
  • the surface, not shown here, opposite the end face SF, the upper side and both side surfaces are metallized over a large area and form the outer metallization AM.
  • the outer metallization AM is also partially arranged on the underside US of the base body GK.
  • connection surfaces of signal-carrying connections (input TX-IN “” and output TX-OUT “” of the transmission filter TXF, input RX-IN “” and output RX-OUT “” of the reception filter RXF) on the underside US of the main body GK are in a recess AU provided in the outer metallization AM and electrically isolated from the outer metallization AM.
  • the connection surface GND of a ground connection of the filter TXF is electrically connected to the corresponding ground connection of the multilayer substrate VS, not shown here.
  • the connection surface GND can be electrically connected to the external metallization AM or, as indicated in FIG. 3, can be arranged in the cutout AU.
  • the so-called ⁇ / 4 resonators formed by the metallization in bores are idle on the end face, on the other hand, on the opposite end face, not shown in FIG. 1, are short-circuited with the outer metallization.
  • the resonance frequency of the resonators can be set in a simple manner via the length of the resonator bores or the height of the ceramic base body.
  • the reception filter is constructed essentially similarly. This applies to all the embodiments described in this document.
  • the filters can be further modified in a manner known per se, for example in that the resonator bores are made with a non-rectilinear bore. It is also possible to design the resonator bores in such a way that they have different cross-sectional areas or cross-sectional shapes in different sections. It is also possible to create a discontinuity in the ceramic base body and to produce the base body divided from two ceramic partial bodies transversely to the resonator bores. The partial bodies are made from two ceramic materials with different dielectric constants.
  • a notch or chamfer F is formed on the edge of the end face SF, which borders on the underside US. It is also possible to make such notches on the opposite
  • FIGS. 4a, 4b and 4c each show a schematic top view of the upper side (FIG. 4a), the metallization level ME (FIG. 4b) hidden in the multilayer substrate VS and the lower side of the multilayer substrate VS, which is the footprint ( Figure 4c) is shown.
  • FIG. 4c corresponds to a view of the footprint from above through the substrate VS.
  • the signal-carrying connections which are electrically connected to the input and output of the filter TXF (or RXF), are arranged in the respective levels in recesses of the ground areas GND1, GND21, GND3 (or GND22) and so (through the parts in between of the ground surfaces) are shielded from one another.
  • the ground surface GND23 in FIG. 4b, together with the line TL, ensures the predetermined impedance at the respective port of the component and decouples it
  • Connections which are arranged at the opposite ends of the delay line TL and are correspondingly electrically connected to the input RX-IN "" of the reception filter or to the antenna connection ANT.
  • the crossed circles represent the "dead end" of a blind hole
  • the ground surface GND23 also serves for the electrical connection of the plated-through holes DK, DK" in the hidden metallization plane ME.
  • FIG. 5a shows a perspective top view of a monolithic filter, e.g. B. the transmission filter TXF, with two in the base body GK z. B. through a pressing process bores R and a formed on the end face SF metallized recess in which an integrated
  • Shielding structure IS1 is implemented.
  • the integrated shielding structure IS1 is galvanically connected to the external metallization AM or to reference potential.
  • a metallized depression can e.g. B. can be produced in the following process. First, the resonator bores R as well as the depressions in the base body GK are pressed. After sintering the base body GK, all of its exposed surfaces are metallized. A suitable minimum layer thickness for the metallization is, for example, 5-20 ⁇ m. If the layer thickness is too high, however, avoided because it is disadvantageous for the component properties. The outer metallization AM is then mechanically ground in the area of the end face SF, the metallization remaining in the depressions.
  • FIG. 5b shows a schematic plan view of the end face SF of a further exemplary embodiment, the arrangement of coupling structures AK, AK "and resonator bores Rl to R3 of a filter, here the reception filter RXF.
  • This has the connection areas RX-OUT", RX-IN "of the signal-carrying connections and a connection surface GND connected to the external metallization AM or to the ground 'of the multilayer substrate.
  • connection surface RX-IN "of the filter input is with the
  • Resonator bore R3 via a delay line TL '(which for example forms part of the delay line TL) and capacitively couples the coupling structure AK.
  • the connection surface RX-OUT "" of the filter output is capacitively coupled to the resonator bore R1 via a coupling structure AK ".
  • the phase position and input impedance of the filter can be advantageously influenced by suitably designing coupling structures AK, position, diameter and length of the resonator bore coupled therewith.
  • the resonator bore can serve to provide a pole in the transmission curve of the filter at which the filter has particularly good damping.
  • a metallic structure arranged in the vicinity of a resonator bore can also be designed as a decoupling structure.
  • a decoupling structure is galvanically connected to the inner metallization of a resonator bore. This can be advantageous in order to adapt the filter to a given circuit environment with regard to impedance.
  • FIG. 6 shows a detail in a schematic plan view of an end face SF of a base body GK, in which both the transmission filter TXF and the reception filter RXF are formed (a monolithic microwave ceramic duplexer).
  • the delay line TL is preferably hidden in the multilayer substrate VS, not shown here.
  • the multilayer substrate also serves to design the footprint of the duplexer module (on the underside of the multilayer substrate VS) as desired.
  • FIGS. 7a, 7b show an advantageous embodiment of a duplexer according to the invention in a perspective view of the individual parts shown separately from one another (FIG. 7a) and in a top view of the end face SF (FIG. 7b).
  • a multilayer substrate VS which includes the delay line TL or other matching elements, is arranged between the side surfaces of the filters TXF and RXF.
  • the multilayer substrate VS has a closed outer metallization AM "which, with the exception of the cutouts AU, on the side surfaces of the filter facing the TXF or RXF
  • Multi-layer substrate VS preferably on all outer surfaces of the multi-layer substrate VS (at most on the outer surfaces facing the respective filter) is arranged.
  • connection surface RX-IN which is electrically connected to the connection surface RX-IN” "of the reception filter input, is arranged in the cutout AU facing the reception filter RXF.
  • connection surface TX- OUT is arranged, which in the finished duplexer is electrically connected to the connection surface TX-OUT" "of the transmission filter output.
  • the outer metallization AM "of the multilayer substrate VS is preferably electrically connected to the outer metallization AM of the respective filter.
  • the connection areas TX-IN “", TX-OUT “" of the transmission filter TXF and the connection areas RX-IN “", RX-OUT “” of the reception filter RXF serve as external contacts of the overall module.
  • the connection surfaces TX-OUT “, RX-IN” of the multilayer substrate VS that can be connected to the connections of the two filters are not arranged on only one surface, but on both opposite surfaces or side surfaces of the multilayer substrate VS.
  • connection surfaces TX-IN “”, TX-OUT “”, RX-IN “”, RX-OUT “'of the filter TXF or RXF at least partially on the one facing the multilayer substrate VS. Side surface are formed.
  • FIG. 8 shows an exemplary structure of the multilayer substrate VS presented in FIGS. 7a, 7b in a schematic plan view seen from the right or from the side of the RX filter RXF.
  • FIG. 8a shows the one facing the reception filter RXF
  • FIG. 8b shows, from the same viewing direction, a metallization level (ME) hidden in the multilayer substrate VS, in which the delay line TL and a ground plane GND23 are formed.
  • ME metallization level
  • FIG. 8c shows the (left) side face of the lot facing the transmission filter TXF from the same viewing direction (through the substrate) - VS layer substrates.
  • FIG. 9 shows a three-dimensional representation of a monolithic microwave ceramic filter which is used in the front-end module according to the invention. This is made up of a dielectric, ceramic base body GK. Resonator bores R are arranged approximately parallel to one another in the ceramic base body in such a way that they connect the two end faces SF to one another. The cross section of the resonator bores can be chosen as desired, for example round or rectangular. The resonator bores R in the invention preferably have a step-changing cross section.
  • the cross section is round in a lower area, for example, but rectangular in an upper part. This creates an impedance jump that further improves the characteristics of the filter.
  • the central axes of the round and rectangular cross-sectional area are preferably not congruent but offset from one another, which brings further advantages for the filter properties.
  • the lower part of the resonator bore is partially covered or undercut by the offset of the upper bore section.
  • An outer metallization AM is applied to all outer surfaces with the exception of the end face SF shown.
  • the resonator bores R are also metallized in their interior, but are not filled with metal.
  • depressions V are also arranged, the inner surfaces of which are also metallized.
  • electrical connection surfaces AF are provided which are galvanically separated from the outer metallization with the aid of an insulating strip IS in which the outer metallization AM is removed.
  • the pads AF are electrically connected to the metallization in the depressions V.
  • FIG. 9a shows such a depression V in the end face SF of the ceramic base body GK in an enlarged representation.
  • the metallic structure shown in FIG. 9 in the end face is designed as a capacitive coupling structure AK. forms, the metallization of which forms a capacitance to the resonator on the left in the figure or to the metallization in the left resonator bore R.
  • the insulation strips IS which are produced, for example, by grinding or have been freed from the outer metallization, can be ground in partially beveled, as shown.
  • the filter is contacted via the two connection surfaces AF.
  • the filter with its connection surfaces AF is fastened in a suitable manner on a circuit board.
  • a chamfer F is provided on the front and rear edge of the upper end face SF, which is metallized “inside”, that is to say on all surfaces below the level of the end face.
  • a filter according to the invention is also not limited to the specified materials, to the number of bores shown or to certain frequency ranges.

Landscapes

  • Transceivers (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

In einem Frontend-Modul werden als monolithische Mikrowellen-keramik-Bauelemente ausgebildete Filter verwendet, die auf der Oberseite eines mehrlagigen Vielschichtsubstrats angeordnet und mit diesem elektrisch verbunden sind. Im Vielschichtsubstrat sind passive elektronische Schaltungselemente verborgen, die z. B. die Funktionalität eines Tiefpaßfilters, eines Anpassungsnetzwerks oder eines Baluns erfüllen. Ein Frontend-Modul mit monolithischen Mikrowellenkeramik-Bauelementen hat den Vorteil einer niedrigen Einfügedämpfung und ist besonders kostengünstig verglichen mit bekannten Duplexern. Die erfindungsgemäße Kombination der Vorteile eines einerseits modular und andererseits mit vertikaler Integration aufgebauten Frontend-Moduls bietet Flexibilität und geringen Aufwand bei Anpassung der Eigenschaften des Bauelements an jeweiliges Endgerät.

Description

Beschreibung
Frontend-Modul mit geringer Einfügedämpfung
Die Erfindung betrifft ein Frontend-Modul mit einem Sendepfad und einem Empfangspfad, die mit einem Antennenanschluß verbunden sind, umfassend ein Vielschichtsubstrat mit mehreren dielektrischen Schichten und Metallisierungsebenen, die zwischen den dielektrischen Schichten angeordnet und elektrisch miteinander sowie mit auf der Substratoberseite angeordneten Anschlußflächen und auf der Substratunterseite angeordneten Außenkontakten verbunden sind, wobei im Sendepfad ein Sendefilter und im Empfangspfad ausgangsseitig ein Empfangsfilter angeordnet ist. Die Filter sind jeweils mit den Anschlußflä- chen des Vielschichtsubstrats elektrisch verbunden. Im Empfangs- und/oder Sendepfad ist antennenseitig ein Anpassungsnetzwerk angeordnet, das eine Verzögerungsleitung umfaßt. Ein solches Frontend-Modul ist z. B. aus der Druckschrift DE 19621353 bekannt.
Die mit dem gemeinsamen Antennenanschluß verbundene Filter bilden einen Duplexer.
Ein Duplexer ist eine Frequenzweiche zur Trennung der Emp- fangs- und Sendesignale eines bestimmten Frequenzbandes eines Datenübertragungssystems, wobei die Datenübertragung in beide Richtungen über eine gemeinsame Antenne erfolgt. Ein Duplexer weist in jedem Signalpfad i. d. R. ein Bandpaßfilter, z. B. ein mit akustischen Wellen arbeitendes Filter oder ein Fil- ter, das aus mehreren elektrisch und mechanisch miteinander verbundenen dielektrischen Resonatoren besteht. Der Duplexer gewährleistet dabei, daß sich die Pfade wechselseitig nicht beeinflussen und beispielsweise ein Sendesignal nicht in den Empfangspfad hineinkoppelt .
Bekannt sind z. B. aus der Druckschrift DE 19621353 AI Duplexer, die auf der Basis von Oberflächenwellen-Komponenten und eines mehrlagigen Vielschichtsubstrats mit integrierten Schaltungen aufgebaut sind. Die Oberflächenwellen-Komponenten haben jedoch den Nachteil, daß deren Herstellung kostspielige Materialien und einen hohen Aufwand erfordert und daß sie bei hohen Sendeleistungen eine geringe Lebensdauer haben.
Ferner ist aus der Druckschrift US 5534829 ein Duplexer bekannt, der auf einer Basisplatte aufgebaut ist. Dabei sind die Bandpaßfilter jeweils aus mehreren zusammengefügten ein- zelnen koaxialen Resonatoren, u. a. Mikrowellenkeramik- Resonatoren, aufgebaut.
Ein bekanntes Mikrowellenkeramik-Filter besteht aus zumindest einem Resonator, der in einem dielektrischen keramischen Grundkörper ausgebildet ist . Dazu weist der Grundkδrper eine zentrale Bohrung auf, deren Innenwände metallisiert sind. Auch die Außenwände des keramischen Grundkörpers sind mit Ausnahme einer Stirnfläche metallisiert und an der Kurzschlußseite, die der nicht metallisierten Stirnfläche ge- genüberliegt , mit der metallisierten Bohrung kontaktiert.
Galvanisch von der Außenmetallisierung getrennt befinden sich an einer Seitenfläche elektrische Anschlußflächen, die zur kapazitiven Ankopplung an die metallisierte Bohrung, die den eigentlichen Resonator darstellt, dienen.
Die Mikrowellenkeramik-Filter haben den Vorteil, daß sie vergleichsweise einfach entworfen und günstig hergestellt werden können. Darüber hinaus weisen sie eine geringe Einfügedämpfung auf .
Aus US 5 686 873 ist ein sogenannter monolithischer Duplexer bekannt. Bei monolithischen Duplexern ist ein einziger Keramikkörper vorgesehen, in welchem ein Sendezweig und ein Empfangszweig aus jeweils mehreren gekoppelten Resonatoren ange- ordnet ist. Der Vorteil eines solchen monolithischen Duplexers liegt in dessen Herstellung: es braucht nur ein Keramik- kδrper in einem Stück gepreßt zu werden, was die Fertigung erheblich gegenüber der Herstellung von zwei Keramikkörpern vereinfacht. Ein nicht zu unterschätzender Nachteil liegt a- ber darin, daß die Keramikkörper solcher monolithischer Duplexer wegen ihrer Größe schwer zu löten sind, wobei überdies oft entsprechende mechanische Spannungen auf den jeweiligen Unterlagen bzw. "Boards" entstehen, da die Keramikfilter selbst nicht flexibel sind. Außerdem ist bei monolithischen Duplexern das Oberwellenverhalten tendenziell gegenüber Duplexern aus getrennten Filtern schlechter, da die grundsätzlich immer auftretenden Rechteckhohlleitermoden schon bei niedrigen Frequenzen ausbreitungsfähig werden, was sich bei einem monolithischen Duplexer besonders nachteilhaft auswirkt .
Weiterhin ist in der genannten Druckschrift ein Duplexer beschrieben, der aus zwei keramischen Filtern mit je zwei gekoppelten Resonatoren besteht, die auf einer Leiterplatte angeordnet sind und über Leitungsstrukturen auf dieser Leiter- platte verbunden sind.
Bei einer anderen Art von Duplexern, die beispielsweise aus US 5 789 998 bekannt sind, werden zu verkoppelnde Keramikfilter bzw. keramische Leitungsresonatoren auf einem Viel- schichtsubstrat montiert. Die KoppelStrukturen zwischen den
Keramikfiltern sind entweder im Vielschichtsubstrat enthalten oder durch zusätzlich vorgesehene Spulen und Kondensatoren gegeben. Ein wesentlicher Nachteil dieser Art von Duplexern liegt in dem hohen Aufwand für die KoppelStrukturen. Auch ist eine Reduzierung der Bauhöhe wegen des zusätzlichen Vielschichtsubstrats nur auf Kosten einer Verschlechterung der elektrischen Parameter, wie insbesondere der Einfügungsdämpfung, zu realisieren. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Frontend-Modul anzugeben, das einfach und kostengünstig herzustellen ist und dabei eine niedrige Einfügedämpfung und einen geringen Platz- bedarf aufweist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Frontend-Modul mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind aus weiteren Ansprüchen zu ent- nehmen.
Der Erfindung liegt die Idee zugrunde, durch den kompakten odularen Aufbau des Bauelements auf einem mehrlagigen Viel- schichtsubstrat mit integrierten passiven Elementen der Frontendschaltung und die Verwendung in einem solchen Modul verlustarmer Mikrowellenkeramik-Filter niedrige Signalverluste zu erzielen.
Ein erfindungsgemäßes Frontend-Modul weist einen Sendepfad und einen Empfangspfad auf, die mit einem gemeinsamen Antennenanschluß verbunden sind. Das Frontend-Modul umfaßt insbesondere ein Vielschichtsubstrat mit mehreren dielektrischen Schichten und Metallisierungsebenen, welche zwischen den dielektrischen Schichten angeordnet und elektrisch miteinander sowie mit auf der Substratoberseite angeordneten Anschlußflächen und auf der Substratunterseite angeordneten Außenkontakten verbunden sind.
Im Sendepfad ist ein Sendefilter und im Empfangspfad (vor- zugsweise ausgangsseitig, d. h. auf der dem Antennenanschluß gegenüberliegenden Seite des Empfangspfades) ein Empfangsfilter angeordnet. Die Filter sind jeweils auf dem Vielschichtsubstrat angeordnet und mit dessen Anschlußflächen elektrisch verbunden .
Im Empfangspfad und/oder Sendepfad ist antennenseitig ein Anpassungsnetzwerk angeordnet, das eine Verzögerungsleitung um- faßt, die zur Entkopplung des Empfangspfades im Bereich der Sendefrequenz dient und - bei Anordnung im Empfangspfad - vorzugsweise eine Länge von λ/4 hat. Die Verzögerungsleitung ist zumindest teilweise im Vielschichtsubstrat angeordnet.
Das Sendefilter und das Empfangsfilter (die als Mikrowellenkeramik-Filter ausgebildet sind) sind gemeinsam in einem einzigen monolithischen Mikrowellenkeramik-Bauelement realisiert oder jeweils als ein monolithisches Mikrowellenkeramik- Bauelement ausgebildet.
Das Mikrowellenkeramik-Filter besteht aus einem keramischen Grundkörper, der mehrere metallisierte Bohrungen aufweist. Die Außenflächen des Grundkδrpers weisen eine geschlossene Außenmetallisierung auf, wobei eine Stirnfläche von Metallisierung frei ist und wobei auf der Unterseite des Grundkörpers Aussparungen vorgesehen sind. In den Aussparungen sind von der Außenmetallisierung isolierte elektrische Kontakte angeordnet, die mit den entsprechenden Anschlußflächen auf der Oberseite des Vielschichtsubstrats kontaktiert sind.
Die Außenmetallisierung und die Anschlußflächen werden vorzugsweise in einem Verfahrensschritt als eine gemeinsame großflächige Metallisierung erzeugt und in einem späteren Verfahrensschritt z. B. durch einen Schliff voneinander isoliert .
Die dielektrischen Schichten können z. B. als dünne Keramikoder Laminatschichten (z. B. aus FR4) ausgebildet sein. Die Verzögerungsleitung oder auch weitere passive Schaltungselemente (z. B. Widerstand, Kapazität, Induktivität, Leitungsabschnitt) oder Schaltungen (z. B. Impedanzwandler, Balun, Tiefpaßfilter, Anpassungsnetzwerk) können teilweise oder komplett in zumindest einer der Metallisierungsebenen des Viel- schichtSubstrats oder auf seiner Ober- und/oder Unterseite ausgebildet sein. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, die genannten Komponenten als Leiterbahnen auf dem Grundkörper in weiteren Aussparungen der Außenmetallisierung auszubilden.
Die Gesamtdicke des Vielschichtsubstrats ist vorzugsweise < 300 Mikrometer.
Die Metallisierungsebenen des Vielschichtsubstrats sind miteinander sowie mit auf der Substratoberseite angeordneten Anschlußflächen und auf der Substratunterseite angeordneten Außenkontakten mittels Durchkontaktierungen verbunden, die vorzugsweise als metallisierte Bohrungen ausgebildet sind.
Die Rückseite des Frontend-Moduls, die zur Oberseite der Filter hin zeigt, kann bei getrennt ausgebildeten Filtern in ei- nem der späteren Verfahrensschritte (nach der Anordnung der Filter auf dem Vielschichtsübstrat) planarisiert sein. Das Modul ist inklusive Filter planarisiert, z. B. durch Verguß oder durch Anordnung einer (vorzugsweise elektrisch nicht leitenden) Platte auf der Rückseite der Filter. Diese Platte kann z. B. die Bezeichnung des Bauelements aufweisen. Eine
Platte aus einem leitfähigen Material kann als Abschirmung oder zur Einstellung der Filtereigenschaften des Bauelements (z. B. Selektion im Sperrbereich) benutzt werden.
Das erfindungsgemäße Frontend-Modul verbindet in vorteilhafter Weise einerseits die Vorzüge einer vertikalen Integration passiver Bauelementstrukturen und andererseits die Vorteile eines modularen Aufbaus, wobei Teile des Moduls nur in geringem Maße die elektrischen Eigenschaften gegenseitig beein- flussen, weshalb beim Entwurf des Gesamtmoduls ein Teil des
Moduls je nach Bedarf leicht ersetzt werden kann. Die erfindungsgemäße Kombination der Modularität (durch Verwendung von in einem einzigen Grundkörper ausgebildeten Mikrowellenkeramik-Filter) und der Integrität (durch Realisierung weiterer passiver Schaltungen im Vielschichtsübstrat) erzielt daher erstmalig die in den bisher bekannten Bauelementen nicht erreichbaren Vorteile. Für die vorteilhafte Flexibilität beim Entwurf des gesamten Frontend-Moduls spielt eine besondere Rolle der Einsatz von Mikrowellenkeramik-Filtern, deren elektrische Eigenschaften - im Gegensatz zu elektroakustischen Filtern - besonders einfach modelliert und realisiert werden können.
Auf der Oberseite des Vielschichtsubstrats ist in einer Weiterbildung der Erfindung zumindest ein weiteres diskretes Bauelement angeordnet, das beispielsweise aus einem Chip- Bauelement, einem Transistor, einer Diode, einem Widerstand, einem Kondensator oder einer Spule ausgewählt ist .
In dem als Chip-Bauelement ausgebildeten weiteren diskreten Bauelement kann auch eine Schaltung, ausgewählt aus Anpassungsnetzwerk, Impedanzwandler, Tiefpaßfilter, MEMS (Micro Electromechanical System) , Diplexer oder Balun, realisiert sein.
Das weitere diskrete Bauelement kann als Halbleiterchip-
Bauelement ausgebildet sein und z. B. einen Leistungsverstärker, einen rauscharmen Verstärker oder einen Diodenschalter umfassen.
Auf der Stirnfläche können in einer Variante der Erfindung planar oder in Vertiefungen aufgebrachte metallische Strukturen vorgesehen sein. Diese ermöglichen es in einfacherer Weise, mit Hilfe des zusätzlichen Freiheitsgrades eine gewünschte Kapazität einzustellen. Die Größe der Kapazität ist dabei überwiegend durch die Tiefe und Anordnung der metallischen
Strukturen bestimmt .
Verkoppelt man zwei Resonatoren geeignet, so entsteht ein Filterverhalten. Zur Einstellung gewünschter Spezifikationen sind also zumindest zwei Resonatorbohrungen erforderlich. Als AnkoppelStrukturen ausgebildete metallische Strukturen bilden dabei eine Kapazität zu einer oder mehreren Resonatorbohrun- gen. Dies bedeutet, daß als AnkoppelStrukturen verwendete metallische Strukturen in die Nähe einer Resonatorbohrung geführt sind, aber in definiertem Abstand und galvanisch getrennt zu dieser ausgeführt sind.
Zusätzlich zu den Ankoppelkapazitäten können in einem - in dieser Ausführungsform in einem einzigen Grundkδrper ausgebildeten - Duplexer zusätzliche metallische Strukturen zur Entkopplung der beiden Filter (Sende- bzw. Empfangsfilter) vorgesehen sein. Auch diese metallischen Entkopplungs- Strukturen sind wie die genannten AnkoppelStrukturen als metallisierte Vertiefungen in der Stirnfläche ausgebildet. Die zur Entkopplung dienenden metallischen Strukturen können galvanisch isoliert sein oder mit den metallisierten Bohrungen (Resonatorbohrungen) eines Teilfilters verbunden sein. Die
Entkoppelstrukturen dienen dazu, die Eigenimpedanz eines Filters zu beeinflussen und somit die Phasenlage in geeigneter Weise zu verändern. Dies geschieht in einem Spezialfall im Smith Chart, indem man versucht, das Empfangs- und Sendefil- ter jeweils in den Leerlauf zu drehen, was einer Entkopplung der beiden Pfade entspricht. Durch geeignete Wahl der Eingangsimpedanzen kann somit erreicht werden, daß sich die des Empfangs- und Sendepfads nicht mehr gegenseitig beeinflussen. Dies entspricht einer Drehung im Smith Chart und dient dazu, das Empfangs- und das Sendefilter zu entkoppeln, so daß sie gegenseitig von ihren Signalen nicht beeinflußt werden. Die Entkopplungsstrukturen können an beiden Filtern angebracht werden.
Während die Resonatorbohrung eines erfindungsgemäßen Filters in der Regel über die gesamte Höhe des Grundkörpers verläuft, reicht die Vertiefung für die erfindungsgemäßen metallischen Strukturen nur bis eine Tiefe, die zirka 1 bis 20 % der gesamten Höhe des Grundkörpers aufweist. Ein Frontend-Filter, das für im Mobilfunk verwendete Frequenzen im GHz-Bereich ausgelegt ist, weist daher metallisierte Vertiefungen in der Stirnfläche auf, die eine Tiefe von 0,1 bis 1 mm besitzen. Die Tiefe der Vertiefungen in der Stirnfläche, die die räumliche Dimension der Ankoppelkapazität darstellt, läßt sich in einfacher Weise bei erfindungsgemäßen Filtern für die Einstellung der Größe der Ankoppelkapazitäten ausnutzen. Mit größerer Tiefe der Vertiefungen läßt sich eine höhere Kapazität einstellen. Bei ansonsten gleichbleibendem Flächenbedarf, bezogen auf die Stirnseite, weist eine erfindungsgemäß in Vertiefungen angeordnete Metallisierung (metallische Struktur) eine entsprechend höhere Kapazität auf, bzw. bildet eine entsprechend höhere Kapazität zu den Resonatorbohrungen aus.
Eine zweite erfinderische Idee liegt darin, das Vielschichtsübstrat zwischen dem Sende- und Empfangsfilter anzuordnen und es mechanisch fest mit diesen zu verbinden.
Die Filter sind jeweils als ein monolithisches Mikrowellenkeramik-Bauelement ausgebildet, das einen keramischen Grundkörper mit mehreren metallisierten Bohrungen aufweist, wobei der Grundkörper eine geschlossene Außenmetallisierung aufweist, welche, mit Ausnahme einer Stirnfläche und Aussparungen auf der Unterseite und der zum Vielschichtsübstrat gewandten Seitenfläche des Grundkörpers, auf allen Außenflächen des Grundkörpers angeordnet ist.
Das Vielschichtsübstrat weist auf seinen einander gegenüberliegenden und den Filtern zugewandten Seitenflächen Anschlußflächen auf. Das Vielschichtsübstrat ist ansonsten wie oben erläutert aufgebaut. Insbesondere ist im Vielschichtsübstrat die' Verzögerungsleitung oder auch weitere Schaltungselemente oder Schaltungen verborgen. Das Vielschichtsübstrat ist vorzugsweise großflächig metallisiert, wobei in dieser Metallisierung die schon genannten Anschlußflächen ausgebildet werden, indem sie z. B. durch Schliffe elektrisch vom Rest der großflächigen Metallisierung isoliert werden. Die Anschlußflächen des jeweiligen Filters sind elektrisch mit diesen verbunden und dienen gleichzeitig als Außenkontakte des Gesamtmoduls.
Diese Ausführungsform der Erfindung hat zusätzlich den Vorteil, daß sich auf diese Weise die Gesamthöhe des Frontend- Moduls reduzieren läßt .
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei- spielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert. Die
Figuren zeigen anhand schematischer und nicht maßstabsgetreuer Darstellungen verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung. Gleiche oder gleich wirkende Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
Figur 1 zeigt schematisch eine bekannte Duplexer-Schaltung
Figur 2 zeigt den Aufbau eines erfindungsgemäßen Frontend- Moduls im schematischen Querschnitt
Figur 3 zeigt links in perspektivischer Draufsicht und rechts in schematischer Draufsicht von unten ein monolithisches Mikrowellenkeramik-Filter, das in einem erfindungsgemäßen Frontend-Modul eingesetzt wird
Figur 4a zeigt in schematischer Draufsicht die Oberseite des Vielschichtsubstrats
Figur 4b zeigt in schematischer Draufsicht von oben eine der
Metallisierungsebenen des Vielschichtsubstrats mit einer darin ausgebildeten Verzögerungsleitung
Figur 4c zeigt in schematischer Draufsicht von oben die Un- terseite des Vielschichtsubstrats mit elektrischen
Außenkontakten des Frontend-Moduls Figur 5a zeigt in perspektivischer Draufsicht ein monolithisch ausgebildetes Mikrowellenkeramik-Filter mit einer integrierten Schirmstruktur
Figur 5b zeigt in schematischer Draufsicht eine Stirnseite des Grundkörpers eines monolithisch ausgebildeten Mikrowellenkeramik-Filters mit auf dieser Stirnseite angeordneten AnkoppelStrukturen und einer Verzögerungsleitung
Figur 6 zeigt in schematischer Draufsicht eine Stirnseite eines monolithisch ausgebildeten Mikrowellenkera- mik-Duplexers, der in einem erfindungsgemäßen Frontend-Modul eingesetzt wird
Figur 7a zeigt in perspektivischer Draufsicht auf die Stirnseite eine vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Frontend-Moduls mit einem zwischen den Filtern angeordneten Vielschichtsübstrat
Figur 7b zeigt in schematischer Draufsicht auf die Stirnseite das Frontend-Modul gemäß Figur 7a
Figur 8a zeigt in schematischer Draufsicht die rechte Sei- tenflache des Vielschichtsubstrats gemäß Figur 7a
Figur 8b zeigt in schematischer Draufsicht von rechts eine der Metallisierungsebenen des Vielschichtsubstrats gemäß Figur 7a mit einer darin ausgebildeten Verzö- gerungsleitung
Figur 8c zeigt in schematischer Draufsicht von rechts die linke Seitenfläche des Vielschichtsubstrats gemäß Figur 7a
Figur 9' zeigt ein im erfindungsgemäßen Frontend-Modul verwendetes Filter in räumlicher Darstellung Figur 9a zeigt einen Ausschnitt aus Figur 9
In Figur 1 ist eine bekannte Duplexer-Schaltung gezeigt. E p- fangspfad RX und Sendepfad TX sind jeweils mit einem Antennenanschluß ANT verbunden. Im Sendepfad TX ist zwischen dem Antennenanschluß ANT und einem Sendeeingang TX-IN ein Sendefilter TXF angeordnet . Im Empfangspfad RX ist auf der Seite des Empfangsausgangs RX-OUT ein Empfangsfilter RXF angeordnet. Antennenseitig ist im Empfangspfad RX eine Verzögerungsleitung TL angeordnet .
Figur 2 zeigt ein erfindungsgemäßes Frontend-Modul DU. Auf einem Vielschichtsübstrat VS mit mehreren dielektrischen Schichten DS und dazwischen angeordneten Metallisierungsebenen ME ist ein Empfangsfilter RXF und ein Sendefilter TXF eingeordnet. Die Filter TXF, RXF sind in dieser Variante jeweils als ein monolithisches Bauelement mit einem Mikrowel- lenkeramik-Grundkδrper GK ausgeführt. Der Aufbau des monolit- hischen Mikrowellenkeramik-Filters ist in Figur 3 näher erläutert .
Das Sendefilter TXF weist einen Signaleingang TX-IN'" und einen Signalausgang TX-OUT" auf, die jeweils elektrisch mit den entsprechenden auf der Oberseite des Vielschichtsubstrats VS bereitgestellten Anschlußflächen TX-IN" und TX-OUT" verbunden sind. Analog ist ein Signaleingang RX-IN"" und ein Signalausgang RX-OUT"" des Empfangsfilters RXF entsprechend mit den auf der Oberseite des Vielschichtsubstrats VS bereit- gestellten Anschlußflächen RX-IN" und RX-OUT" elektrisch leitend verbunden.
Die Anschlußfläche TX-IN" ist elektrisch über Durc kontaktie- rungen DK, die vorzugsweise als metallisierte Bohrungen in den dielektrischen Schichten DS des Vielschichtsubstrats VS ausgebildet sind, mit Sendeeingang TX-IN des Frontend-Moduls verbunden. Analog ist die Anschlußfläche TX-OUT" elektrisch über Durchkontaktierungen mit Antennenanschluß ANT verbunden. Die Anschlußfläche RX-OUT" ist ebenfalls elektrisch über Durchkontaktierungen mit Empfangsausgang RX-OUT des Frontend- Moduls verbunden.
Die Anschlußfläche RX-IN" ist über eine Durchkontaktierung DK", die ein Sackloch darstellt (d. h. mit dem Footprint des Frontend-Moduls nicht verbunden ist) , mit einem Ende einer Verzögerungsleitung TL verbunden, die vorzugsweise als ein Abschnitt der Länge λ/4 (entsprechend der elektrischen Wellenlänge) einer Streifenleitung ausgebildet ist. Das gegenüberliegende Ende der Verzögerungsleitung TL ist nach unten elektrisch mit dem Antennenanschluß ANT verbunden.
Die Länge der Verzögerungsleitung TL ist so gewählt, daß der Eingang RX-IN"" des Empfangsfilters RXF durch die Phasendrehung (des Signals in der Leitung TL) im Paßband des Sendefilters TXF annähernd im Leerlauf liegt (wobei zwischen dem Ausgang TX-OUT"" des Sendefilters TXF und dem Eingang RX-IN'" des Empfangsfilters RXF bei Sendefrequenz eine Phasendrehung des Signals vorzugsweise um 180° erreicht wird) . Dabei kann die Leitungslänge von λ/4 abweichen, da die tatsächliche Phasendrehung durch die Durchkontaktierungen und parasitäre Kopplungen beeinflußt wird.
Die Verzögerungsleitung TL kann wie in Figur 2 dargestellt in einer der Metallisierungsebenen ME im Vielschichtsübstrat VS ausgebildet bzw. verborgen sein. Alternativ kann die Verzögerungsleitung TL auf der Oberseite oder der Unterseite des Vielschichtsubstrats VS ausgebildet sein. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, die Verzögerungsleitung TL zumindest teilweise auf zumindest einer der freiliegenden Oberflächen des Grundkörpers GK (des Empfangsfilters RXF und/oder des Sendefilters TXF) auszubilden, siehe z. B. Figur 5b.
Es ist möglich, in den Metallisierungsebenen ME des Vielschichtsubstrats VS und auf seiner Ober- bzw. Unterseite wei- tere Schaltungselemente (Widerstände, Kapazitäten, Induktivitäten, Leitungsabschnitte) auszubilden. Die Schaltungselemente können teilweise oder vollständig folgende Schaltungen bilden: Diplexer, Tiefpaßfilter, Anpassungsnetzwerk.
Das Vielschichtsübstrat dient u. a. zur Anpassung der Außenanschlüsse TX-IN, ANT, RX-OUT des Frontend-Moduls an die im Endgerät erforderliche Anordnung elektrischer Anschlüsse. Dabei sind die Verbindungsleitungen vorzugsweise im Viel- schichtsubstrat verborgen. Dies gestattet eine beliebige Anordnung der Modulkomponenten auf der Substratoberseite und daher hohe Flexibilität beim Entwurf des gesamten Frontend- Moduls .
Der Aufbau des Filters TXF (oder RXF) ist in Figur 3 in perspektivischer Draufsicht (links) und in schematischer Draufsicht (rechts) jeweils von unten gezeigt. Der Grundkörper GK weist mehrere Resonatorbohrungen R auf, die zwischen seinen Stirnseiten angeordnet und vorzugsweise durchgehend sind. Die hier nicht dargestellte, der Stirnfläche SF gegenüberliegende Fläche, die Oberseite und beide Seitenflächen sind großflächig metallisiert und bilden die Außenmetallisierung AM. Die Außenmetallisierung AM ist teilweise auch auf der Unterseite US des Grundkδrpers GK angeordnet. Die Anschlußflächen sig- nalführender Anschlüsse (Eingang TX-IN"" und Ausgang TX-OUT"" des Sendefilters TXF, Eingang RX-IN"" und Ausgang RX-OUT"" des Empfangsfilters RXF) auf der Unterseite US des Grundkörpers GK sind in einer in der Außenmetallisierung AM vorgesehenen Aussparung AU angeordnet und elektrisch von der Außen- metallisierung AM isoliert. Die Anschlußfläche GND eines Masseanschlusses des Filters TXF ist elektrisch mit dem entsprechenden Masseanschluß des hier nicht dargestellten Vielschichtsubstrats VS verbunden. Die Anschlußfläche GND kann elektrisch mit der Außenmetallisierung AM verbunden oder wie in Figur 3 angedeutet in der Aussparung AU angeordnet sein. Die durch die Metallisierung in Bohrungen gebildeten sogenannten λ/4 Resonatoren (wobei die Bohrung nicht mit Metall gefüllt ist) sind auf der Stirnfläche im Leerlauf, auf der gegenüberliegenden in der Figur 1 nicht dargestellten Stirn- fläche dagegen mit der Außenmetallisierung kurzgeschlossen. Über die Länge der Resonatorbohrungen bzw. über die Höhe des keramischen Grundkörpers läßt sich in einfacher Weise die Resonanzfrequenz der Resonatoren einstellen.
Obwohl in dieser Figur nur der Aufbau des Sendefilters gezeigt ist, ist das Empfangsfilter im Wesentlichen ähnlich aufgebaut. Dies betrifft alle in dieser Schrift beschriebenen Ausführungsformen .
In weiterer Ausgestaltung können die Filter in an sich bekannter Weise weiter modifiziert werden, beispielsweise indem die Resonatorbohrungen mit nicht geradlinig durchgehender Bohrung ausgeführt werden. Möglich ist es auch, die Resonatorbohrungen so auszuführen, daß sie in verschiedenen Ab- schnitten unterschiedliche Querschnittsflächen oder Querschnittsformen aufweisen. Möglich ist es auch, eine Unstetig- keit im keramischen Grundkörper zu erzeugen und den Grundkörper quer zu den Resonatorbohrungen aufgeteilt aus zwei keramischen Teilkδrpern herzustellen. Die Teilkörper werden aus zwei keramischen Materialien mit unterschiedlicher Dielektrizitätskonstante hergestellt.
An der Kante der Stirnfläche SF, die an die Unterseite US grenzt, ist eine Einkerbung oder Fase F ausgebildet. Es ist auch möglich, solche Einkerbungen auf der gegenüberliegenden
Kante der Stirnfläche SF oder an anderen Kanten des Grundkörpers GK auszubilden.
In Figuren 4a, 4b und 4c ist jeweils in schematischer Ansicht von oben die Oberseite (Figur 4a) , die im Vielschichtsübstrat VS verborgene Metallisierungsebene ME (Figur 4b) und die Unterseite des Vielschichtsubstrats VS, welche den Footprint (Figur 4c) bildet, gezeigt. Die Figur 4c entspricht einer Ansicht des Footprints von oben durch das Substrats VS hindurch. Die signalführenden Anschlüsse, die mit dem Eingang und Ausgang des Filters TXF (bzw. RXF) elektrisch verbunden sind, sind in den jeweiligen Ebenen in Ausnehmungen der Masseflächen GND1, GND21, GND3 (bzw. GND22) angeordnet und so (durch die dazwischen liegenden Teile der Masseflächen) voneinander abgeschirmt. Die Massefläche GND23 in Figur 4b gewährleistet zusammen mit der Leitung TL die vorgegebene Impe- danz am jeweiligen Port des Bauelements und entkoppelt die
Anschlüsse, die an den einander gegenüberliegenden Enden der Verzögerungsleitung TL angeordnet und entsprechend elektrisch mit dem Eingang RX-IN"" des Empfangsfilters bzw. mit dem Antennenanschluß ANT verbunden sind. Die überkreuzte Kreise stellen das „dead end" einer als Sackloch ausgebildeten
Durchkontaktierung DK" dar. Die Massefläche GND23 dient auch zur elektrischen Verbindung der mit Masse verbundenen Durchkontaktierungen DK, DK" in der verborgenen Metallisierungsebene ME .
Figur 5a zeigt in perspektivischer Draufsicht ein monolithisch ausgebildetes Filter, z. B. das Sendefilter TXF, mit zwei im Grundkörper GK z . B. durch ein Preßverfahren ausgeführten Bohrungen R und einer auf der Stirnfläche SF ausge- bildeten metallisierten Vertiefung, in der eine integrierte
Schirmungsstruktur IS1 realisiert ist. In diesem Ausführungsbeispiel ist die integrierte SchirmungsStruktur IS1 galvanisch mit der Außenmetallisierung AM bzw. mit Bezugspotential verbunden .
Eine metallisierte Vertiefung kann z. B. im folgenden Verfahren hergestellt werden. Zunächst werden die Resonatorbohrungen R ebenso wie die Vertiefungen in dem Grundkörper GK hineingepreßt. Nach dem Sintern des Grundkörpers GK werden alle seine freiliegenden Oberflächen metallisiert. Eine geeignete Mindestschichtdicke für die Metallisierung beträgt beispielsweise 5 - 20 μm. Eine zu hohe Schichtdicke wird jedoch ver- mieden, da sie für die Bauelementeigenschaften nachteilig ist. Anschließend erfolgt ein mechanisches Abschleifen der Außenmetallisierung AM im Bereich der Stirnfläche SF, wobei die Metallisierung in den Vertiefungen verbleibt.
Figur 5b zeigt in schematischer Draufsicht auf die Stirnfläche SF eines weiteren Ausführungsbeispiels die Anordnung von AnkoppelStrukturen AK, AK" und Resonatorbohrungen Rl bis R3 eines Filters, hier des Empfangsfilters RXF. Dieses weist die Anschlußflächen RX-OUT", RX-IN" der signalführenden Anschlüsse und eine mit der Außenmetallisierung AM oder mit Masse' des Vielschichtsubstrats verbundene Anschlußfläche GND auf .
Die Anschlußfläche RX-IN" des Filter-Eingangs ist mit der
Resonatorbohrung R3 über eine Verzögerungsleitung TL' (welche beispielsweise einen Teil der Verzögerungsleitung TL bildet) und die AnkoppelStruktur AK kapazitiv verkoppelt. Die Anschlußfläche RX-OUT"" des Filter-Ausgangs ist kapazitiv ü- ber eine AnkoppelStruktur AK" mit der Resonatorbohrung Rl verkoppelt .
Durch geeignete Ausbildung von AnkoppelStrukturen AK, Lage, Durchmesser und Länge der damit verkoppelten Resonatorbohrung können Phasenlage und Eingangsimpedanz des Filters vorteilhaft beeinflußt werden. Die Resonatorbohrung kann dazu dienen, einen Pol in der Übertragungskurve des Filters bereitzustellen, an dem das Filter eine besonders gute Dämpfung aufweist .
Eine in der Nähe einer Resonatorbohrung angeordnete metallische Struktur kann auch als eine Entkopplungsstruktur ausgebildet sein. Eine Entkopplungsstruktur ist mit der Innenmetallisierung einer Resonatorbohrung galvanisch verbunden. Dies kann vorteilhaft sein, um das Filter an eine gegebene Schaltungsumgebung bezüglich der Impedanz anzupassen. Figur 6 zeigt ausschnittsweise in schematischer Draufsicht auf eine Stirnfläche SF einen Grundkörper GK, in dem sowohl das Sendefilter TXF als auch das Empfangsfilter RXF ausgebildet sind (ein monolithischer Mikrowellenkeramik-Duplexer) . Die Verzögerungsleitung TL ist dabei vorzugsweise in dem hier nicht dargestellten Vielschichtsübstrat VS verborgen. Das Vielschichtsübstrat dient in dieser Variante der Erfindung auch dazu, das Footprint des Duplexer-Moduls (auf der Unterseite des Vielschichtsubstrats VS) beliebig zu gestalten.
In Figuren 7a, 7b ist eine vorteilhafte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Duplexers in perspektivischer Ansicht auf die getrennt voneinander dargestellten Einzelteile (Figur 7a) und in Draufsicht auf die Stirnfläche SF (Figur 7b) gezeigt. Ein Vielschichtsübstrat VS, das die Verzögerungsleitung TL oder auch andere Anpassungselemente umfaßt, ist zwischen den Seitenflächen der Filter TXF und RXF angeordnet. Das Vielschichtsübstrat VS weist eine geschlossene Außenmetallisierung AM" auf, welche, mit Ausnahme der Aussparungen AU auf den den Filtern TXF bzw. RXF zugewandten Seitenflächen des
Vielschichtsubstrats VS, vorzugsweise auf allen Außenflächen des Vielschichtsubstrats VS (allenfalls auf den zu dem jeweiligen Filter gewandten Außenflächen) angeordnet ist.
In der dem Empfangsfilter RXF zugewandten Aussparung AU ist die Anschlußfläche RX-IN" angeordnet, die elektrisch mit der Anschlußfläche RX-IN"" des Empfangsfilter-Eingangs verbunden ist. In der dem Sendefilter TXF zugewandten, hier nicht dargestellten Aussparung ist die Anschlußfläche TX-OUT" angeord- net, die im fertigen Duplexer elektrisch mit der Anschlußfläche TX-OUT"" des Sendefilter-Ausgangs verbunden ist.
Die Außenmetallisierung AM" des Vielschichtsubstrats VS ist vorzugsweise elektrisch mit der Außenmetallisierung AM des jeweiligen Filters verbunden. Im Gegensatz zu bisher vorgestellten Varianten der Erfindung dienen hier die Anschlußflächen TX-IN"", TX-OUT"" des Sendefilters TXF und die Anschlußflächen RX-IN"", RX-OUT"" des Empfangsfilters RXF gleichzeitig als Außenkontakte des Gesamtmoduls. Die mit den Anschlüssen der beiden Filter ver- schaltbaren Anschlußflächen TX-OUT", RX-IN" des Vielschichtsubstrats VS sind nicht auf nur einer Oberfläche, sondern auf beiden gegenüberliegenden Oberflächen bzw. Seitenflächen des Vielschichtsubstrats VS angeordnet.
Für diese Variante der Erfindung ist es wesentlich, daß die Anschlußflächen TX-IN"", TX-OUT"", RX-IN"", RX-OUT"' der Filter TXF bzw. RXF zumindest teilweise auf der jeweils zum Vielschichtsübstrat VS gewandten Seitenfläche ausgebildet sind.
Figur 8 zeigt einen beispielhaften Aufbau des in Figur 7a, 7b vorgestellten Vielschichtsubstrats VS in schematischer Draufsicht von rechts, bzw. von der Seite des RX Filters RXF her gesehen. Figur 8a zeigt die zum Empfangsfilter RXF gewandte
(rechte) Seitenfläche des Vielschichtsubstrats VS . Figur 8b zeigt aus der gleichen Blickrichtung eine im Vielschichtsübstrat VS verborgene Metallisierungsebene (ME) , in der die Verzögerungsleitung TL und eine Massefläche GND23 ausgebildet ist. Die Verbindung der Leitung TL mit den Anschlußflächen
TX-OUT", RX-IN" des Vielschichtsubstrats VS über die Elemente DK, DK" ist in Figur 4b schon erläutert. Figur 8c zeigt aus der gleichen Blickrichtung (durch das Substrat hindurch) die zum Sendefilter TXF gewandte (linke) Seitenfläche des Viel- schichtsubstrats VS .
In allen Varianten der Erfindung können auch weitere passive Schaltungskomponenten (z. B. Induktivitäten, Kapazitäten) o- der Schaltungen (z. B. Balun, Anpassungsnetzwerk) im Viel- Schichtsubstrat VS ausgebildet sein. Figur 9 zeigt in dreidimensionaler Darstellung ein monolithisches Mikrowellenkeramik-Filter, das im erfindungsgemäßen Frontend-Modul verwendet wird. Dieses ist aus einem dielektrischen, keramischen Grundkörper GK aufgebaut. Annähernd parallel zueinander sind Resonatorbohrungen R so im keramischen Grundkörper angeordnet, daß sie die beiden Stirnflächen SF miteinander verbinden. Der Querschnitt der Resonatorbohrungen kann beliebig gewählt werden, beispielsweise rund oder rechteckig. Vorzugsweise weisen die Resonatorbohrungen R bei der Erfindung einen sich stufenartig ändernden Querschnitt auf. In einem unteren Bereich ist der Querschnitt z.B. rund, in einem oberen Teil dagegen rechteckig. Damit wird ein Impedanzsprung erzeugt, der die Charakteristik des Filters weiter verbessert. Vorzugsweise sind die Mittelachsen von rundem und rechteckigem Querschnittsbereich nicht deckungsgleich sondern gegeneinander versetzt, was weitere Vorteile für die Filtereigenschaften mit sich bringt . Insbesondere wird der untere Teil der Resonatorbohrung durch den Versatz des oberen Bohrungsabschnitts teilweise abgedeckt bzw. hinterschnitten.
Auf allen Außenflächen mit Ausnahme der dargestellten Stirnfläche SF ist eine Außenmetallisierung AM aufgebracht. Auch die Resonatorbohrungen R sind in ihrem Inneren metallisiert, jedoch nicht mit Metall gefüllt. Auf der Stirnfläche SF sind weiterhin Vertiefungen V angeordnet, deren Innenflächen ebenfalls metallisiert sind. Auf der dem Betrachter zugewandten Vorderseite des Grundkδrpers GK sind elektrische Anschlußflächen AF vorgesehen, die mit Hilfe eines Isolierstreifens IS, in dem die Außenmetallisierung AM entfernt ist, galvanisch von der Außenmetallisierung getrennt sind. Die Anschlußflächen AF sind mit der Metallisierung in den Vertiefungen V galvanisch verbunden.
Figur 9a zeigt in vergrößerter Darstellung eine solche Ver- tiefung V in der Stirnfläche SF des keramischen Grundkörpers GK. Die in der Figur 9 dargestellte metallische Struktur in der Stirnfläche ist als kapazitive AnkoppelStruktur AK ausge- bildet, deren Metallisierung eine Kapazität zu dem in der Figur linken Resonator bzw. zu der Metallisierung in der linken Resonatorbohrung R ausbildet. Die z.B. durch Schleifen erzeugten bzw. von der Außenmetallisierung befreiten Isolier- streifen IS können wie dargestellt teilweise abgeschrägt eingeschliffen werden. Über die beiden Anschlußflächen AF wird das Filter kontaktiert. Dazu wird das Filter mit seinen Anschlußflächen AF in geeigneter Weise auf einer Platine befestigt. An vorderer und hinterer Kante der oberen Stirnflä- ehe SF ist ein Fase F vorgesehen, die "im Inneren", also auf allen unter dem Niveau der Stirnfläche liegenden Flächen metallisiert ist.
Obwohl in den Ausführungsbeispielen nur eine beschränkte An- zahl möglicher Strukturen auf der Stirnfläche erfindungsgemäßer Filter beschrieben werden konnte, ist die Erfindung nicht auf diese beschränkt. Es ist möglich, AnkoppelStrukturen, EntkoppelStrukturen und weitere metallische Strukturen auf der Oberfläche in beliebiger Anzahl und Formgebung herzustel- len, um die Eigenschaften des Filters in einer gewünschten Weise zu verändern. Ein erfindungsgemäßes Filter ist auch nicht auf die angegebenen Materialien, auf die Anzahl der dargestellten Bohrungen oder auf bestimmte Frequenzbereiche beschränkt .

Claims

Patentansprüche
1. Frontend-Modul (DU) , mit einem Sendepfad (TX) und einem Empfangspfad (RX) , die mit einem Antennenanschluß (ANT) verbunden sind, umfassend ein Vielschichtsübstrat (VS) mit mehreren dielektrischen Schichten (DS) und Metallisierungsebenen (ME) , die zwischen den dielektrischen Schichten (DS) angeordnet und e- lektrisch miteinander sowie mit auf der Substratoberseite angeordneten Anschlußflächen (RX-OUT", RX-IN", TX-IN", TX- OUT") und auf der Substratunterseite angeordneten Außenkontakten (RX-OUT, TX-IN, ANT) verbunden sind, ein im Sendepfad (TX) angeordnetes Sendefilter (TXF) und ein im Empfangspfad (RX) ausgangsseitig angeordnetes Empfangsfilter (RXF) , die jeweils auf dem Vielschichtsübstrat (VS) angeordnet und mit dessen Anschlußflächen elektrisch verbunden sind, ein im Empfangspfad (RX) und/oder Sendepfad (TX) antennen- seitig angeordnetes Anpassungsnetzwerk, das eine Verzögerungsleitung (TL) umfaßt, wobei die Verzögerungsleitung (TL) zumindest teilweise in einer der Metallisierungsebenen (ME) des Vielschichtsubstrats (VS) realisiert ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, d a ß die Filter (TXF, RXF) gemeinsam in einem monolithischen Mikrowellenkeramik-Bauelement realisiert oder jeweils als ein monolithisches Mikrowellenkeramik-Bauelement ausgebildet sind, das einen keramischen Grundkörper (GK) mit meh- reren metallisierten Bohrungen (R) aufweist, wobei der Grundkörper (GK) eine geschlossene Außenmetallisierung (AM) aufweist, welche, mit Ausnahme einer Stirnfläche (SF) und Aussparungen (AU) auf der Unterseite des Grundkörpers (GK) , auf allen Außenflächen des Grundkörpers angeordnet ist.
2. Frontend-Modul (DU) , mit einem Sendepfad (TX) und einem Empfangspfad (RX) , die mit einem Antennenanschluß (ANT) verbunden sind, umfassend - ein Vielschichtsübstrat (VS) mit mehreren dielektrischen Schichten (DS) und Metallisierungsebenen (ME) , die zwischen den dielektrischen Schichten (DS) angeordnet und e- lektrisch miteinander sowie mit auf den einander gegenüberliegenden Substratoberseiten angeordneten Anschlußflä- chen (RX-IN", TX-OUT') verbunden sind, ein im Sendepfad (TX) angeordnetes Sendefilter (TXF) und ein im Empfangspfad (RX) ausgangsseitig angeordnetes Empfangsfilter (RXF) , wobei die Filter (TXF, RXF) jeweils e- lektrisch mit den Anschlußflächen des Vielschichtsubstrats (VS) verbunden sind, ein im Empfangspfad (RX) und/oder Sendepfad (TX) antennen- seitig angeordnetes Anpassungsnetzwerk, das eine Verzögerungsleitung (TL) umfaßt, - wobei die Verzögerungsleitung (TL) zumindest teilweise in einer der Metallisierungsebenen (ME) des Vielschichtsubstrats (VS) realisiert ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, d a ß die Filter (TXF, RXF) jeweils als ein monolithisches Mikrowellenkeramik-Bauelement ausgebildet sind, das einen ke- ramischen Grundkörper (GK) mit mehreren metallisierten Bohrungen (R) aufweist, wobei der Grundkörper (GK) eine geschlossene Außenmetallisierung (AM) aufweist, welche, mit Ausnahme einer Stirnfläche (SF) und Aussparungen (AU) auf der Unterseite und den zu dem Vielschichtsübstrat (VS) gewandten Seitenflächen des Grundkörpers (GK) , auf allen Außenflächen des Grundkörpers (GK) angeordnet ist, wobei das Vielschichtsübstrat (VS) zwischen den Filtern (TXF, RXF) angeordnet und mechanisch fest mit diesen verbunden ist.
3. Frontend-Modul nach Anspruch 1 oder 2 , bei dem die Verzögerungsleitung (TL) teilweise auf der O- berseite und/oder der Unterseite des Vielschichtsubstrats (VS) ausgebildet ist.
4. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Verzögerungsleitung (TL) teilweise auf der Stirnfläche oder in einer der auf der Unterseite oder Seitenfläche des Grundkδrpers (GK) vorgesehenen Ausspa- rungen (AU) ausgebildet ist.
5. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem in der Außenmetallisierung (AM) zumindest eine weitere Aussparung vorgesehen ist, in welcher ein Teil der Verzögerungsleitung (TL) ausgebildet ist.
6. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Länge der Verzögerungsleitung (TL) im Wesentlichen einer Viertelwellenlänge bei Sendefrequenz ent- spricht.
7. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem auf der Stirnfläche metallische Strukturen, die AnkoppelStrukturen (AK, AK") umfassen, angeordnet sind, wobei die metallischen Strukturen als metallisierte Vertiefungen der Stirnfläche (SF) ausgebildet sind.
8. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die metallischen Strukturen mit einer gegen die Außenmetallisierung (AM) elektrisch isolierten
Anschlußfläche (TX-OUT"", RX-IN"") auf der Unterseite des Grundkörpers (GK) elektrisch verbunden sind.
9. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem auf der Stirnfläche (SF) zumindest eine weitere metallische Struktur zur Entkopplung zweier nebeneinander angeordneter Resonatoren vorgesehen ist.
10. Frontend-Modul nach Anspruch 9, bei dem die zur Entkopplung ausgebildete metallische Struktur galvanisch mit einer der metallisierten Bohrungen (R) verbunden ist.
11. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem die Metallisierungsebenen (ME) miteinander sowie mit auf der Substratoberseite angeordneten Anschlußflächen (RX-OUT", RX-IN", TX-IN", TX-OUT") und auf der Substratunterseite angeordneten Außenkontakten (RX-OUT, TX- IN, ANT) mittels Durchkontaktierungen (DK) verbunden sind.
12. Frontend-Modul nach Anspruch 11, bei dem die Durchkontaktierungen (DK) als metallisierte Bohrungen ausgebildet sind.
13. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem auf der Oberseite, der Unterseite des Vielschichtsubstrats (VS) oder in zumindest einer Metallisierungsebene (ME) zumindest teilweise ein Anpassungsnetzwerk, Tiefpaßfilter, Diplexer oder Balun ausgebildet ist.
14. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem auf der Oberseite des Vielschichtsubstrats zumindest ein weiteres diskretes Bauelement angeordnet ist.
15.Frontend-Modul nach Anspruch 14, bei dem das weitere diskrete Bauelement aus einem Chip- Bauelement, einem Transistor, einer Diode, einem Widerstand, einem Kondensator oder einer Spule ausgewählt ist.
16. Frontend-Modul nach Anspruch 15, bei dem das als Chip-Bauelement ausgebildete weitere diskrete Bauelement eine Schaltung, ausgewählt aus Anpas- sungsnetzwerk, Tiefpaßfilter, MEMS, Diplexer oder Balun, realisiert .
17. Frontend-Modul nach Anspruch 15 oder 16, bei dem das weitere diskrete Bauelement als Halbleiterchip-Bauelement ausgebildet ist und einen Leistungsverstärker, einen rauscharmen Verstärker oder einen Diodenschalter umfaßt .
18. Frontend-Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 17, bei dem die Gesamtdicke des Vielschichtsubstrats (VS) den Wert von 300 Mikrometer nicht übersteigt.
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