WO2004013621A1 - Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination - Google Patents

Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination Download PDF

Info

Publication number
WO2004013621A1
WO2004013621A1 PCT/EP2003/007838 EP0307838W WO2004013621A1 WO 2004013621 A1 WO2004013621 A1 WO 2004013621A1 EP 0307838 W EP0307838 W EP 0307838W WO 2004013621 A1 WO2004013621 A1 WO 2004013621A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
variable filter
linear variable
reflection element
detector
reflection
Prior art date
Application number
PCT/EP2003/007838
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Camiel Heffels
Peter Lindmüller
Dick Scholten
Dirk STEINMÜLLER
Original Assignee
Endress + Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE10316514A external-priority patent/DE10316514A1/de
Application filed by Endress + Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg filed Critical Endress + Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg
Priority to EP03766222A priority Critical patent/EP1523669B1/de
Priority to AU2003258523A priority patent/AU2003258523A1/en
Priority to DE50309085T priority patent/DE50309085D1/de
Priority to US10/522,158 priority patent/US7428051B2/en
Publication of WO2004013621A1 publication Critical patent/WO2004013621A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3577—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing liquids, e.g. polluted water
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G01N21/552—Attenuated total reflection

Definitions

  • the invention relates to a device for IR spectrometric analysis of a solid, liquid or gaseous medium by means of an optical probe.
  • the probe can have an ATR, a transmission or a reflection arrangement.
  • the optically thinner medium can be, for example, an IR-absorbing, powdery substance or a liquid medium with which the ATR probe is in direct contact.
  • ATR probes are preferred today in IR spectroscopy or in the UV-VIS range.
  • An essential element of an ATR probe is a reflection element, which consists of a material with a high refractive index that is transparent in the IR range.
  • the known probes are designed in such a way that multiple reflections occur within the reflection element.
  • US Pat. No. 5,459,316 describes an ATR probe for the IR range, which can be used in powdery or liquid media. Light is guided from a light source via a measuring tube to the ATR crystal or away from the ATR crystal. The side face of the ATR crystal facing the medium and the side face of the ATR crystal facing away from the medium are, seen in cross section, wedge-shaped.
  • the configurations of the ATR crystal disclosed in this patent are preferably rotationally symmetrical with respect to their longitudinal axis.
  • the double-conical shape of such an ATR crystal or of such an ATR reflection element for avoiding interfering interference in the Fourier Transform (FT-IR) spectrometer is complex and can be avoided by using the spectrometer proposed in this document.
  • the reflection element presented in US Pat. No. 5,459,316 in combination with an FT-IR spectrometer is too large to be manufactured inexpensively from the ideal material diamond.
  • probes have become known from transmission spectroscopy, in which the measuring section is defined by the distance between two optical windows. This leads to a probe body with a relatively large number of components (windows, mirrors, brackets).
  • a transmission arrangement has become known in which the reflection element has a slot. The measuring gap is defined by the width of the slot.
  • all known types of reflection elements can be used in connection with the present invention.
  • systems have also become known in gas measurement technology in which the reflected and wavelength-dependent attenuated light reaches a pixel line detector via a linear variable filter that is specially adapted to the respective application. A corresponding arrangement is described in US Pat. No. 5,920069.
  • the intensity values measured in each detector element of the pixel line detector are then evaluated in order to generate the spectrum of the measurement sample.
  • the disadvantage of this configuration in which the measured value acquisition runs in parallel, is the high number of pixel detectors. Furthermore, only a fraction of the total intensity is measured in each of the pixel detectors, this fraction being smaller the larger the number of pixel detectors. As a result of an unfavorable signal / noise ratio, this results in a relatively poor signal resolution.
  • a further disadvantage of the known embodiment is that specially designed pixel row detectors which are matched to the respective application cause high manufacturing costs and nevertheless have one or more defective pixel detectors or even non-linear characteristic curves.
  • the invention has for its object to provide an inexpensive device for spectrometric analysis of a measuring medium.
  • the object is achieved by a device which has a process probe with a reflection element, a linear variable filter, at least one detector element and a control / evaluation unit.
  • the device according to the invention also includes at least one light source, the light of which, for. B. is coupled via a collimating optics or an ellipsoid play either with or without an optical waveguide in the reflection element and at least one optical waveguide with an input section and an output section.
  • the light is transmitted through the output section of the waveguide into defined areas of the linear Variable filters directed; the detector element and the linear variable filter are arranged to be movable relative to one another over approximately the length of the linear variable filter.
  • the control / evaluation unit determines the spectrum of the medium on the basis of the measured values supplied by the detector element.
  • the radiation can be coupled out of the reflection element without loss by means of a focusing unit via the input section of the waveguide.
  • the waveguide which is usually an optical waveguide bundle, guides the light attenuated in the reflection element via the linear variable filter for wavelength-selective detection.
  • the detector element and the output section of the waveguide face each other and are both arranged to be movable relative to the linear variable filter over approximately the length thereof, the linear variable filter being located between the detector element and the output section of the waveguide.
  • the relative movement and thus the scanning of the spectrum of the measuring medium takes place in that the radiation source and the linear variable filter are moved relative to one another. With this solution, monochromatic radiation is thus already coupled into the reflection element.
  • the optical waveguide is a waveguide or an optical fiber that is transparent in the IR range.
  • the fiber is made from silver halides.
  • a fiber made of this polycrystalline material is characterized by the fact that it is very flexible, vibration-stable, freely shapeable in cross-section and suitable for high temperatures.
  • the optical waveguide can also be designed as a fiber bundle depending on the application. Have the individual fibers in the bundle either a round or an angular one, e.g. B. a rectangular cross-sectional area. The arrangement of the individual fibers in the bundle determines the optimal adaptation to the spectrometer.
  • control / evaluation unit controls the relative movement between the detector element and the linear variable filter step by step.
  • the detector element, the output section of the optical waveguide and the linear variable filter can also be continuously moved past one another.
  • An embodiment of the device according to the invention provides that the detector element is fixedly mounted and that the control / evaluation unit moves the linear variable filter step by step or continuously past the detector element.
  • the linear variable filter be permanently mounted and that the control / evaluation unit move the detector element past the linear variable filter step by step or continuously.
  • a fork-shaped holding device is provided in both variants, in which the detector element and the output section of the optical waveguide are mounted.
  • either the holding device or the detector element or the linear variable filter is arranged on a guide rail.
  • the optical waveguide separating the measuring light from the Reflection element to which the linear variable filter directs is a cross-sectional converter.
  • a linear row of individual optical fibers in the output section of the optical fiber can be used to increase the light throughput through the linear variable filter.
  • an embodiment of the device according to the invention provides a second input section of the waveguide, via which the radiation or the light from the radiation / light source is coupled in as a internal reference beam by a partially mirrored reflection element.
  • a partially mirrored reflection element In particular, an alternating radiation source with one or two emitters is provided, by means of which the detector enables the sequential measurement of the measurement and reference light.
  • the waveguide is designed according to an embodiment as a fiber switch with two input sections and one output section.
  • the light can also be directed to the linear variable filter and subsequently the detector element via another optical system.
  • the detector element is preferably a single element detector, possibly also a pixel line detector.
  • the use of pyroelectric detectors is inexpensive since they do not require additional cooling and are inexpensive in comparison to semiconductor detectors.
  • the reflection element consists of a high-purity semiconductor material. Silicon or germanium, which are both transparent in the IR range, are preferred here.
  • the reflection element can be produced very inexpensively from a wafer made of high-purity semiconductor material.
  • cylindrical disks are drilled out of a wafer.
  • a cylindrical disk has a thickness, for example from 2 to 5 mm. Facets are ground on both sides of the cylindrical disks, so that the reflection element has the shape of a roof.
  • the reflection element in the probe tube is then in z. B. fitted a retractable fitting or in a process connection for the process probe, so that the measuring medium cannot escape from the process when the probe is removed.
  • At least the area of the reflection element which comes into contact with the measurement medium is provided with a thin diamond layer.
  • the diamond layer is preferably a monocrystalline coating. This diamond layer makes the reflection element inert even against aggressive and corrosive media.
  • an internal reflection angle can be set by applying the diamond layer, whereby the ATR effect can be exploited.
  • a special geometry of the reflection element allows a highly compact design, in which two reflections in contact with the product occur in the coated reflection element due to an intermediate reflection on the coupling / decoupling surface.
  • an examination of a reference beam is carried out in parallel.
  • the reference beam takes an analog path through the ATR probe like the measuring beam, but with the appropriate coatings the impact points in the reflection element ensures that no reference light can escape into the optically thinner medium, i.e. into the actual measuring medium. Total reflection is achieved without the weakening effect, for example by partially applying a metallic layer.
  • the points of incidence of the reference light on the side surface of the reflection element facing the measuring medium are therefore preferably vapor-coated with a metal layer.
  • the surface of the reflection element facing away from the measuring medium preferably has an anti-reflection layer.
  • the reflection element is dimensioned and designed in such a way that the measuring light or the reference light has up to seven reflections in the
  • the actual number of reflections can be determined by the length of the reflection element.
  • weak absorption bands in particular are better detected by the measuring medium than is possible with a lower number of reflections.
  • reference light is preferably in the wavelength range from 5 to 14 ⁇ m.
  • the reflection element is a microprism.
  • the microprism is preferably made of diamond; however, other materials can also be used.
  • the structure of an infrared micromeasuring probe is described in detail in DE 100 34 220 A1.
  • the probes described in this laid-open specification can be used in connection with the present invention, however, in contrast to DE 100 34 220 A1, the use of conical mini prisms is preferred and special importance is attached to the arrangement of the optical waveguides in the bundle.
  • the embodiments of the reflection element according to the invention have the decisive advantage that the incident beam and the emerging beam of measurement light, but also of reference light, have mutually parallel beam paths. If the different reflection elements (ATR and transmission) on the coupling and decoupling sides are dimensioned in the same way, the probe can be adapted to the respective measurement task by replacing the reflection element.
  • the at least one radiation or light source in the immediate vicinity of the reflection element and thus to use no optical waveguides on the coupling-in side.
  • the radiation source is preferably an electronically pulsed light source without moving components.
  • a mechanical chopper can also be used.
  • 2a a schematic representation of a cross-sectional converter with a fiber switch
  • FIG. 2b a top view of the input and output sections of the cross-sectional converter shown in FIG. 2a;
  • 3a shows a plan view of a first embodiment of the ATR reflection element according to the invention
  • 3b a cross section through the embodiment shown in FIG. 3a according to the identification AA;
  • FIG. 3c a perspective view of the embodiment shown in FIG. 3a;
  • FIG. 4b a side view of the embodiment shown in FIG. 4a according to the identification A-A;
  • Fig. 4c a cross section according to the identification A-A in Fig. 4b;
  • FIG. 4d perspective views of the embodiment shown in FIG. 4a;
  • FIG. 5b a side view of the embodiment shown in FIG. 5a according to the identification A-A,
  • Fig. 5d a perspective view of that shown in Fig. 5a embodiment.
  • FIG. 7 shows a schematic representation of a third embodiment of the device according to the invention.
  • FIGS. 6 and 7 shows a schematic illustration of a cross-sectional converter which is preferably used with the configurations shown in FIGS. 6 and 7;
  • Fig. 9 a schematic representation of the connector for mounting the
  • Fig. 10 a schematic representation of the measuring tip of an ATR probe with a micro prism.
  • the ATR probe 2 consists of the
  • the process fitting 25 is, for example, a retractable fitting, as sold by the applicant under the name 'CLEANFIT'.
  • An interesting aspect of the invention is directed - as will be described in more detail below - to different geometries of the reflection element 15. Regardless of the geometry selected, the reflection element 15 is mechanically protected by the process fitting 25, but nevertheless comes into direct contact with the measuring medium.
  • the measuring light and the reference light which preferably originate from two light sources 5, are coupled to the ATR probe 2 via the optical waveguide 4.
  • the optical waveguide 4 As well as with the optical waveguide 3 it is preferably an optical fiber bundle.
  • Corresponding configurations are shown in FIGS. 2a (side view) and 2b (top view). Any other coupling is of course also possible.
  • the light source 5 can also be positioned directly in front of the reflection element 15, as a result of which the optical waveguide 4 can be omitted.
  • a cross-sectional converter 22 is located in the area of the light output section 12 of the optical waveguide 3.
  • the individual light fibers for the measuring light and the reference light are guided via the cross-sectional converter 22 onto a plurality of fibers arranged one above the other.
  • the intensity of the measurement or reference light guided via the linear variable filter 7 is then detected by the detector element 8.
  • the cross-sectional converter 22 and the detector element 8 are fastened on a holding device 26 which is arranged movably on a guide rail 6.
  • the holding device 26 is successively guided past the linear variable filter 7 via the drive 9.
  • Linear variable filters are known; Reference is made here to US Pat. No. 5,920,069.
  • the drive 9 is e.g. around a stepper motor which moves the holding device 26 via a spindle (not shown separately in FIG. 1).
  • the detector element 8 measures the intensity values of measuring light and reference light in each position approached. Based on these values, the control / evaluation unit 10 creates the spectrum of the measurement medium that is in contact with the reflection element 15. The spectral distribution provides
  • reflection element 15 of the ATR probe 2 Variants of the reflection element 15 of the ATR probe 2 according to the invention are shown. It goes without saying that this reflection element 15 is not can only be used in connection with the device 1 according to the invention described in FIG. 1. Rather, the reflection element 15 in the process probe 2 can be connected to any spectrometer / spectrograph that has an optical fiber coupling.
  • the reflection element 15 consists of a material that is highly transparent in the IR range.
  • the material is preferably a semiconductor material, e.g. high-purity silicon or germanium.
  • a diamond layer 21 In order to increase the resistance of the semiconductor material to aggressive or corrosive measurement media, at least the areas of the reflection element 15 that come into contact with the measurement medium are provided with a diamond layer 21.
  • a corresponding embodiment is shown in Fig. 3d. 3d shows the reflection element 15 by the way in cross section.
  • the reflection elements 15 according to the invention or the ATR prisms are preferably drilled out of a semiconductor wafer as cylindrical disks. Subsequently, facets 16, 17 are ground on both sides of the cylindrical disk, so that the reflection element 15 has the shape of a saddle roof on the side facing the measuring medium.
  • the corresponding design of the reflection element 15 is, for. B. in Figures 3a, 3b and 3c.
  • the beam path 18 of the measuring light is also shown.
  • the collimated light bundle coming from the light source 5 is reflected in the region of the facet 16 of the reflection element 15.
  • the measuring light experiences a first weakened total reflection upon contact with the measuring medium; a second weakened total reflection takes place on the facet 17.
  • the total reflection on the coupling / decoupling surface of the reflection element 15 facing away from the measuring medium takes place approximately unattenuated. This is a consequence of the angle of incidence or the angle of exit, which in the case shown is approximately 60 ° is.
  • the coupling / decoupling surface can be provided with an anti-reflective layer 24.
  • the facets 16, 17 are ground in such a way that the angle of incidence and the angle of reflection for the total reflection when the measuring light is incident perpendicularly on the coupling / decoupling surface is approximately 30 °. Furthermore, in the case shown, the diameter of the reflection element 15 is dimensioned such that the measuring light within the reflection element 15 only experiences three reflections. The associated short travel of the measuring light within the reflection element 15 means that the absorption losses in the material of the prism are kept very low.
  • Embodiments of the reflection element 15 according to the invention suggest that further weakened and un weakened total reflections of the measuring light or the reference light can occur at the interfaces of the reflection element 15.
  • an optimization in the direction of light output and, on the other hand, an optimization in the direction of measurement accuracy (number of reflections) are targeted.
  • the embodiment of the reflection element 15 shown in FIGS. 4 and 5 differs from that shown in FIG. 3
  • the ATR reflection element 15 shown in FIG. 4 has a higher number of reflections at an internal reflection angle of 45 °.
  • the number of reflections can be increased over the extension distance 30 of the prism.
  • FIG. 5 shows a reflection element 15 with a lateral measuring gap 31.
  • This embodiment thus corresponds to a transmission arrangement.
  • the two bores 27 in the coupling / decoupling surface (FIGS. 4 and 5) are part of an anti-rotation device, not shown separately, which fixes the reflection element 15 in the correct position relative to the collimation optics 29 after it has been fixed in the process probe 2.
  • B appropriately shaped pins introduced into the bores 27. It goes without saying that any other type of anti-rotation device can also be used as long as it does not disturb the beam path 18, 28 of measuring light and reference light.
  • the beam path 28 of the reference light is also stylized. While the measuring light in the areas of the facets 16, 17 each experiences a weakened total reflection, the corresponding areas for the reference light are designed such that the reference light does not experience any weakening when reflected on the facets 16, 17. For this purpose, the corresponding areas are provided, for example, with a metallic coating that is impermeable to IR radiation.
  • FIG. 6 shows a schematic illustration of a second embodiment of the device according to the invention.
  • Radiation source / light source 5 is focused on the light input section of the waveguide 3 via an ellipsoid mirror 33.
  • a chopper 34 which is rotated by a chopper motor 35, is used to modulate the measurement light and the reflection light.
  • the light is guided to the reflection element 15 via the optical waveguide 3.
  • the reflection element 15 is a microprism 48 which is made of diamond.
  • the micro prism 48 preferably has that shown in FIG. 6 Cone shape.
  • the radiation which contains the information about the composition of the measuring medium, is then conducted via the waveguide 4 in the direction of the linear variable filter 7 and the detector element 8.
  • the detector element 8 is fixedly mounted, while the linear variable filter is moved past the detector element 8 stepwise or quasi-continuously via the drive 9 and the spindle 36. In this way, the spectrum of the radiation is successively scanned. The spectrum is evaluated via the control / evaluation unit 10, which is not shown separately in FIG. 6.
  • the linear variable filter 7 shows a preferred third embodiment of the device according to the invention.
  • This embodiment like the embodiment shown in FIG. 6, is distinguished by a particularly simple and therefore inexpensive construction.
  • the light emitted by the light source 5 and pulsed via the chopper 34 is focused on the input section of the waveguide 3 via the ellipsoid mirror 33.
  • the linear variable filter 7 is positioned between the radiation source 5 and the input section of the waveguide 3.
  • the linear variable filter is moved step by step via the drive 9 and the spindle 36 between the radiation source 5 and the input section of the waveguide 3 or the reflection element 15.
  • the light is monochromatic. This monochromatic light is fed to the reflection element 15 via the optical waveguide 3.
  • the light reflected in the reflection element 15 is guided into the detector element 8 via the optical waveguide 4.
  • the optical waveguide 4 can be attached directly to the detector element 8 and thus without losses.
  • the coupling is preferably via so-called pig tailing. This enables a higher luminous efficiency to be achieved. Consequently, the signal-to-noise ratio of the spectra provided can be further expanded increase, which further reduces the detection limit for substances in the measuring medium at the reflection element 15.
  • the reflection element 15 is preferably also an ATR crystal.
  • a microprism 48 made of diamond is preferably used as the ATR crystal.
  • a prism made of diamond is shown in FIG. 10, which is attached to the tip of a process probe 2.
  • the probe 2 is designed such that it takes into account the hygiene requirements of the pharmaceutical and food industries.
  • the probe has 2 rounded edges.
  • the probe tube 46 with the probe tip 47 is preferably made of titanium, Hastelloy or PEEK.
  • the diamond or microprism 48 is soldered or glued into the probe body.
  • the probe 2 is manufactured so that it can be used in existing retractable fittings which are offered and sold by the applicant.
  • FIG. 8 shows a schematic illustration of a cross-sectional converter 22, which is preferably used with the configuration shown in FIG. 7.
  • the cross-sectional converter 22 is composed of three sub-elements 37, 38, 39.
  • the cross-sectional converter 37 is arranged in the direction of the linear variable filter 7 and consists of four fibers 40 arranged in series, which guide the monochromatic light in the direction of the microprism 48.
  • the cross-sectional converter 38 which is arranged in the direction of the detector element 8, likewise consists of four fibers 41 which are positioned in a square shape.
  • the cross-section converter 39 which can be found directly in front of the circular end face of the preferably conical microprism 48, has, for example, the configuration shown in FIG. 8.
  • the fibers 40, 41 of the optical waveguides 3, 4 preferably have the rectangular cross section shown in FIG. 8.
  • fibers 40, 41 with a round cross section can also be used in connection with the invention.
  • the reflection element 15 preferably has the conical shape shown. This has the advantage that the orientation of the square cross-sectional converter 39 is rotationally invariant.
  • a square or polygonal, for example octagonal, base shape of the internal reflection element 48 is also possible; however, the square cross-sectional converter 39 must then be aligned with the base of the reflection element 48.
  • the input section and the output section of the process probe 2 are integrated in one plug. It is therefore possible to easily connect the probe 2 to the linear variable filter 7.
  • the input or output section of the waveguides 3, 4 is preferably attached to the LVF spectrometer via ferrules 43, 44.
  • Apparatus process probe first waveguide / fiber (bundle) second waveguide / fiber (bundle) radiation source / light source guide rail linear variable filter detector element drive control / evaluation unit input section / optical waveguide output section / optical waveguide first coupling / optical waveguide second coupling / optical waveguide reflection element facet facet beam path of the Measuring light Incident light beam Outgoing light beam Diamond coating Cross-section converter Sealing ring Anti-reflective layer Retractable fitting Holding device Bore (for dowel pins) Beam path of the reference light Collimating optics Extension distance measuring gap

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums mit einer Prozeßsonde (2), welche ein Reflexionselement (15) aufweist, mit einem Linear-Variablen Filter (6), zumindest einem Detektorelement (8) und einer Regel-/Auswerteeinheit (10), wobei zumindest eine Lichtquelle (5) vorgesehen ist, deren Licht über eine Kollimieroptik (29) in das Reflexionselement (15) eingekoppelt wird, wobei zumindest ein Lichtwellenleiter (3) mit einem Lichteingangsabschnitt (11) und einem Lichtausgangsabschnitt (12) vorgesehen ist, wobei das Licht über den Lichtausgangsabschnitt (12) des Lichtwellenleiters (3) in einen definierten Bereich des Linear-Variablen Filters (7) geleitet wird, wobei das Detektorelement (8) und das Linear-Variable Filter (7) über näherungsweise die Länge des Linear-Variablen Filters (7) relativ zueinander bewegbar angeordnet sind und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) anhand der von dem Detektorelement (8) gelieferten Meßwerte das Spektrum des Mediums bestimmt.

Description

VORRICHTUNG ZUR IR-SPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES FESTEN , FLUSSIGEN ODER
GASFÖRMIGEN MEDIUMS
SEMINATION
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums mittels einer optischen Sonde. Die Sonde kann eine ATR-, eine Transmissions- oder eine Reflexionsanordnung aufweisen.
In der ATR (Attenuated Total Reflectance)-Spektroskopie wird der Effekt ausgenutzt, daß ein Lichtstrahl an der Grenzfläche zwischen einem optisch dichteren Medium mit dem Brechungsindex nλ und einem optisch dünneren Medium mit dem Brechungsindex n2 - also wenn gilt: nx > n2 - total reflektiert wird, wenn der Einfallswinkel des Lichtstrahls den Grenzwinkel für die Totalreflexion überschreitet. Der Sinus dieses Grenzwinkels entspricht dem Quotienten n2I nλ . Bei der Totalreflexion tritt das Phänomen auf, daß der
Lichtstrahl an der Auftreffstelle A in das dünnere Medium austritt, dann bis zu einer Stelle B als Oberflächenwelle an dem dichteren Medium vorbeiläuft und anschließend wieder in das optisch dichtere Medium zurückkehrt. Erfolgt keine Absorption in dem optisch dünneren Medium, so wird der Lichtstrahl ungeschwächt total reflektiert. Absorbiert das optisch dünnere Medium jedoch die eindringende Strahlung, so tritt eine Schwächung des total-reflektierten Lichtstrahls auf. Diese Schwächung ist abhängig von der Wellenlänge und kann zur sog. Internen Reflexionsspektroskopie herangezogen werden: Bestimmt man das Transmissions- oder Extinktionsspektrum der total- reflektierten Strahlung, so erhält man Aufschluß über die Zusammensetzung des optisch dünneren Mediums. Bei dem optisch dünneren Medium kann es sich beispielsweise um eine IR-absorbierende, pulverförmige Substanz oder um ein flüssiges Medium handeln, mit dem die ATR-Sonde in direktem Kontakt steht. ATR-Sonden werden heute bevorzugt in der IR-Spektroskopie oder im UV- VIS-Bereich eingesetzt. Wesentliches Element einer ATR-Sonde ist ein Reflexionselement, das aus einem im IR-Bereich transparenten Material mit einem hohen Brechungsindex besteht. Die bekannten Sonden sind derart ausgestaltet, daß innerhalb des Reflexionselements Vielfach-Reflexionen auftreten.
In der US-PS 5,459,316 ist eine ATR-Sonde für den IR-Bereich beschrieben, die in pulverförmigen oder flüssigen Medien eingesetzt werden kann. Licht wird von einer Lichtquelle über ein Meßrohr zu dem ATR-Kristall hin bzw. von dem ATR-Kristall weggeführt. Die dem Medium zugewandte Seitenfläche des ATR-Kristalls und die vom Medium abgewandte Seitenfläche des ATR- Kristalls sind - im Querschnitt gesehen - keilförmig ausgestaltet. Bevorzugt sind die in dieser Patentschrift offenbarten Ausgestaltungen des ATR-Kristalls rotationssymmetrisch bezüglich ihrer Längsachse. Die doppelkonische Form eines derartigen ATR-Kristalls bzw. eines derartigen ATR-Reflexionselements zur Vermeidung von störenden Interferenzen im Fourier Transform (FT-IR) Spektrometer ist aufwendig und kann durch die Verwendung des in dieser Schrift vorgeschlagenen Spektrometers vermieden werden. Außerdem ist das in der US-PS 5,459,316 vorgestellte Reflexionselement in Kombination mit einem FT-IR Spektrometer zu groß, um aus dem idealen Material Diamant kostengünstig hergestellt zu werden.
Aus der Transmissionsspektroskopie sind weiterhin Sonden bekannt geworden, bei denen die Meßstrecke durch den Abstand zweier optischer Fenster definiert wird. Dieses führt zu einem Sondenkörper mit relativ vielen Bauteilen (Fenster, Spiegel, Halterungen). Analog zu dem Reflexionselement einer ATR-Sonde ist eine Transmissionsanordnung bekannt geworden, bei der das Reflexionselement einen Schlitz aufweist. Durch die Breite des Schlitzes ist der Meßspalt definiert. Wie bereits erwähnt, können alle bekannten Arten von Reflexionselementen in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden. Auf der Seite des Strahlungsempfängers sind in der Gasmeßtechnik darüber hinaus Systeme bekannt geworden, bei denen das reflektierte und wellenlängenabhängig geschwächte Licht über ein speziell auf den jeweiligen Anwendungsfall abgestimmtes Linear-Variables Filter auf einen Pixelzeilendetektor gelangt. Eine entsprechende Anordnung ist in der US-PS 5920069 beschrieben. Anschließend werden die in jedem Detektorelement des Pixelzeilendetektors gemessenen Intensitätswerte zwecks Erstellung des Spektrums der Meßprobe ausgewertet. Als Nachteil dieser Ausgestaltung, bei der die Meßwerterfassung parallel abläuft, ist einmal die hohe Anzahl der Pixeldetektoren zu nennen. Weiterhin wird in jedem der Pixeldetektoren nur ein Bruchteil der Gesamtintensität gemessen, wobei dieser Bruchteil um so kleiner ist, je größer die Anzahl der Pixeldetektoren ist. Infolge eines ungünstigen Signal-/Rauschverhältnisses erhält man hierdurch eine relativ schlechte Signalauflösung. Nachteilig bei der bekannten Ausgestaltung ist darüber hinaus, daß speziell ausgestaltete, auf den jeweiligen Anwendungsfall abgestimmte Pixelzeilendetektoren hohe Herstellungskosten verursachen und trotzdem eine oder mehrere defekte Pixeldetektoren oder sogar nicht-lineare Kennlinien aufweisen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine kostengünstige Vorrichtung zur spektrometrischen Analyse eines Meßmediums vorzuschlagen.
Die Aufgabe wird gemäß einer ersten Variante durch eine Vorrichtung gelöst, die eine Prozeßsonde mit einem Reflexionselement, ein Linear-Variables Filter, zumindest ein Detektorelement und eine Regel-/Auswerteeinheit aufweist. Zu der erfindungsgemäßen Vorrichtung gehören desweiteren zumindest eine Lichtquelle, deren Licht z. B. über eine Kollimieroptik oder einen Ellipsoidspiel entweder mit oder ohne Lichtwellenleiter in das Reflexionselement eingekoppelt wird und zumindest ein Lichtwellenleiter mit einem Eingangsabschnitt und einem Ausgangsabschnitt. Das Licht wird über den Ausgangsabschnitt des Wellenleiters in definierte Bereiche des Linear- Variablen Filters geleitet; das Detektorelement und das Linear-Variable Filter sind über näherungsweise die Länge des Linear-Variablen Filters relativ zueinander bewegbar angeordnet . Die Regel-/Auswerteeinheit bestimmt anhand der von dem Detektorelement gelieferten Meßwerte das Spektrum des Mediums.
Insbesondere kann die Strahlung verlustfrei mittels einer Fokussiereinheit über den Eingangsabschnitt des Wellenleiters aus dem Reflexionselement ausgekoppelt werden. Der Wellenleiter, bei dem es sich üblicherweise um einen Lichtwellenleiterbündel handelt, führt das im Reflexionselement abgeschwächte Licht über das Linear-Variable Filter zum wellenlängenselektiven Nachweis. Das Detektorelement und der Ausgangsabschnitt des Wellenleiters stehen sich gegenseitig gegenüber und sind beide über näherungsweise die Länge des Linear-Variablen Filters relativ zu diesem bewegbar angeordnet, wobei sich das Linear-Variable Filter zwischen dem Detektorelement und dem Ausgangsabschnitt des Wellenleiters befindet.
Gemäß einer alternativen Variante erfolgt die Relativbewegung und damit das Abscannen des Spektrums des Meßmediums dadurch, daß die Strahlungs- quelle und das Linear-Variable Filter relativ zueinander bewegt werden. Bei dieser Lösung wird also bereits monochromatische Strahlung in das Reflexionselement eingekoppelt.
Durch die beiden zuvor genannten erfindungsgemäßen Kombinationen läßt sich ein sehr kompaktes und kostengünstiges Spektrometermodul herstellen. Bei dem Lichtwellenleiter handelt es sich um einen Hohlleiter oder um eine im IR-Bereich transparente Lichtleitfaser. Beispielsweise ist die Faser aus Silberhalogenide gefertigt. Eine Faser aus diesem polykristallinen Material zeichnet sich dadurch aus, daß sie sehr biegsam, vibrationsstabil, im Querschnitt frei formbar und geeignet für hohe Temperaturen ist. Es versteht sich von selbst, daß der Lichtwellenleiter je nach Anwendungsfall auch als Faserbündel ausgebildet sein kann. Die einzelnen Fasern im Bündel haben entweder eine runde oder eine eckigen, z. B. eine rechteckige Querschnittsfläche. Die Anordnung der einzelnen Fasern im Bündel bestimmt die optimale Anpassung an das Spektrometer.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung steuert die Regel-/Auswerteeinheit die Relativbewegung zwischen dem Detektorelement und dem Linear-Variablen Filter schrittweise. Selbstverständlich können das Detektorelement, der Ausgangabschnitt des Lichtwellenleiters und das Linear-Variable Filter auch kontinuierlich aneinander vorbeibewegt werden.
Eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß das Detektorelement fest montiert ist und daß die Regel-/Auswerteeinheit das Linear-Variable Filter schrittweise oder kontinuierlich an dem Detektorelement vorbeibewegt. Alternativ wird vorgeschlagen, daß das Linear-Variable Filter fest montiert ist und daß die Regel-/Auswerteeinheit schrittweise oder kontinuierlich das Detektorelement an dem Linear-Variablen Filter vorbeibewegt.
In beiden Varianten ist gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine gabelförmige Haltevorrichtung vorgesehen, in der das Detektorelement und der Ausgangsabschnitt des Lichtwellenleiters montiert sind. Zwecks der vorgeschlagenen Relativbewegung ist entweder die Haltevorrichtung bzw. das Detektorelement oder das Linear-Variable Filter auf einer Führungsschiene angeordnet. Insbesondere wird es im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung als vorteilhaft angesehen, das Linear-Variable Filter oder das Detektorelement bzw. die Haltevorrichtung für das Detektorelement schrittweise oder kontinuierlich über einen Schrittmotor zu bewegen.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung schlägt vor, daß es sich bei dem Lichtwellenleiter, der das Meßlicht von dem Reflexionselement zu dem Linear-Variablen Filter leitet, um einen Querschnittswandler handelt. So kann beispielsweise durch eine lineare Reihe von einzelnen Lichtwellenleitern im Ausgangsabschnitt des Lichtwellenleiters eine Erhöhung des Lichtdurchsatzes durch das Linear-Variable Filter erreicht werden.
Darüber hinaus sieht eine Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung einen zweiten Eingangsabschnitt des Wellenleiters vor, über den die Strahlung bzw. das Licht von der Strahlungs- / Lichtquelle durch ein teilverspiegeltes Reflexionselement als interner Referenzstrahl eingekoppelt wird. Insbesondere ist eine alternierende Strahlungsquelle mit ein oder zwei Strahlern vorgesehen, über die mit Hilfe des Detektors die sequenzielle Messung des Meß- und Referenzlichtes ermöglicht wird. Zu diesem Zweck ist der Wellenleiter gemäß einer Ausgestaltung als Faserweiche mit zwei Eingangsabschnitten und einem Ausgangsabschnitt ausgebildet.
Selbstverständlich kann das Licht auch über ein anderweitiges optisches System auf das Linear-Variable Filter und nachfolgend das Detektorelement geführt werden.
Bevorzugt handelt es sich bei dem Detektorelement um einen Einzelelementdetektor, eventuell auch um einen Pixelzeilendetektor. Günstig ist der Einsatz von pyroelektrischen Detektoren, da diese keine zusätzliche Kühlung erforderlich machen und im Vergleich zu Halbleiterdetektoren kostengünstig sind.
Gemäß einer günstigen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht das Reflexionselement aus einem hochreinen Halbleitermaterial. Bevorzugt sind hier Silizium oder Germanium zu nennen, die beide im IR- Bereich transparent sind. Erfindungsgemäß läßt sich das Reflexionselement sehr kostengünstig aus einem Wafer aus hochreinem Halbleitermaterial fertigen. Hierzu werden aus einem Wafer zylinderförmige Scheiben herausgebohrt. Eine zylinderförmige Scheibe hat beispielsweise eine Dicke von 2 bis 5 mm. An die zylinderförmigen Scheiben werden beidseitig Facetten geschliffen, so daß das Reflexionselement die Form eines Daches aufweist. Das Reflexionselement im Sondenrohr wird anschließend in z. B. eine Wechselarmatur bzw. in einen Prozeßanschluß für die Prozeßsonde eingepaßt, so daß das Meßmedium beim Ausbau der Sonde nicht aus dem Prozeß entweichen kann. Bekannte und im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung verwendbare Wechselarmaturen werden übrigens von der Anmelderin unter der Bezeichnung 'CLEANFIT' angeboten und vertrieben (siehe auch DE 19948990 A1). Es versteht sich von selbst, daß der Wafer bzw. das Reflexionselement im Prinzip aus jedem beliebigen im IR-Bereich durchlässigen Material gefertigt sein kann.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen ATR-Sonde bzw. des erfindungsgemäßen Reflexionselements ist zumindest der Bereich des Reflexionselements, der mit dem Meßmedium in Kontakt kommt, mit einer dünnen Diamantschicht versehen. Bevorzugt handelt es sich bei der Diamantschicht um eine monokristalline Beschichtung. Diese Diamantschicht macht das Reflexionselement selbst gegen aggressive und korrosive Medien inert. Bei geeigneter Wahl des internen Reflexionswinkels vom Grundkörper (der z.B. aus einem Halbleitermaterial besteht) läßt sich durch das Aufbringen der Diamantschicht ein interner Reflexionswinkel einstellen, wobei der ATR-Effekt ausgenützt werden kann. Eine spezielle Geometrie des Reflexionselements erlaubt eine in hohem Maße kompakte Ausgestaltung, in dem durch eine Zwischenreflexion an der Ein-/Auskoppelfläche zwei produktberührende Reflexionen in dem beschichteten Reflexionselement auftreten.
Um systematische Meßfehler auszuschließen, wird neben der spektro- metrischen Untersuchung des Meßstrahls parallel eine Untersuchung eines Referenzstrahls durchgeführt. Der Referenzstrahl nimmt einen analogen Weg durch die ATR-Sonde wie der Meßstrahl, allerdings wird hierbei durch entsprechende Beschichtungen der Auftreffstellen im Reflexionselement sichergestellt, daß kein Referenzlicht in das optisch dünnere Medium, sprich in das eigentliche Meßmedium, austreten kann. Erreicht wird die Totalreflexion ohne den Abschwäch ungseffekt beispielsweise durch das partielle Aufbringen einer metallischen Schicht. Bevorzugt werden daher die Auftreffstellen des Referenzlichts auf der dem Meßmedium zugewandten Seitenfläche des Reflexionselements mit einer Metallschicht bedampft.
Um Intensitätsverluste des Meßlichts bzw. des Referenzlichts möglichst bei der Ein-/ und Auskopplung des Lichtes im Reflexionselement weitgehend zu vermeiden, trägt die dem Meßmedium abgewandte Fläche des Reflexionselements bevorzugt eine Anti-Reflexschicht.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist das Reflexionselement derart dimensioniert und ausgestaltet, daß das Meßlicht bzw. das Referenzlicht bis zu sieben Reflexionen in dem
Reflexionselement erfährt. Die tatsächliche Anzahl Reflexionen läßt sich bei dieser Ausführungsform durch die Länge des Reflexionselements festlegen. Hierdurch werden insbesondere schwache Absorptionsbanden vom Meßmedium besser erfaßt, als dies bei einer niedrigeren Anzahl von Reflexionen möglich ist. Die Wellenlänge des Meßlichts bzw. des
Referenzlichts liegt übrigens vorzugsweise im Wellenlängenbereich von 5 - 14 μ m .
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung handelt es sich bei dem Reflexionselement um ein Mikroprisma. Bevorzugt ist das Mikroprisma aus Diamant gefertigt; jedoch sind auch andere Materialien verwendbar. Der Aufbau einer Infrarot-Mikromeßsonde wird übrigens in der DE 100 34 220 A1 ausführlich beschrieben. Die in dieser Offenlegungsschrift beschriebenen Sonden sind in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung einsetzbar, allerdings wird im Gegensatz zu DE 100 34 220 A1 die Verwendung von kegelförmige Miniprismen bevorzugt und besonderen Wert auf die Anordnung der Lichtwellenleiter im Bündel gelegt. Die erfindungsgemäßen Ausführungsformen des Reflexionselements haben den entscheidenden Vorteil, daß der einfallende Strahl und der ausfallende Strahl von Meßlicht, aber auch vom Referenzlicht, zueinander parallele Strahlengänge aufweisen. Bei entsprechender gleichartiger Dimensionierung der unterschiedlichen Reflexionselemente (ATR und Transmission) auf der Ein- / und Auskoppelseite kann die Sonde schon durch Austausch des Reflexionselements an die jeweilige Meßaufgabe angepaßt werden.
Selbstverständlich ist es möglich in der ersten Ausgestaltungsform des Gerätes, die zumindest eine Strahlungs- bzw. Lichtquelle in unmittelbarer Nähe des Reflexionselements zu plazieren und somit keine Lichtwellenleiter auf der Einkoppelseite zu verwenden. Bevorzugt handelt es sich bei der Strahlungsquelle übrigens um eine elektronisch gepulste Lichtquelle ohne bewegliche Bauteile. Verwendet werden kann natürlich auch ein mechanischer Chopper.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1: eine schematische Darstellung einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 2a: eine schematische Darstellung eines Querschnittswandlers mit Faserweiche;
Fig. 2b: eine Draufsicht auf den in Fig. 2a dargestellten Ein- und Ausgangsabschnitten des Querschnittswandlers;
Fig. 3a: eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen ATR-Reflexionselements; Fig. 3b: einen Querschnitt durch die in Fig. 3a gezeigte Ausführungsform gemäß der Kennzeichnung A-A;
Fig. 3c: eine perspektivische Ansicht der in Fig. 3a gezeigten Ausführungsform;
Fig. 3d: eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Prozeßabdichtung des erfindungsgemäßen ATR-Reflexionselements;
Fig. 4a: eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform des erfindungs-gemäßen ATR-Reflexionselements;
Fig. 4b: eine Seitenansicht der in Fig. 4a gezeigte Ausführungs- form gemäß der Kennzeichnung A-A;
Fig. 4c: einen Querschnitt gemäß der Kennzeichnung A-A in Fig. 4b;
Fig. 4d: perspektivische Ansichten der in Fig. 4a gezeigten Ausführungsform;
Fig. 5a: eine Draufsicht auf eine dritte Ausführungsform des erfindungs-gemäßen ATR-Reflexionselements;
Fig. 5b: eine Seitenansicht der in Fig. 5a gezeigte Ausführungsform gemäß der Kennzeichnung A-A,
Fig. 5c: einen Querschnitt gemäß der Kennzeichnung A-A in Fig. 5b;
Fig. 5d: eine perspektivische Ansicht der in Fig. 5a gezeigten Ausführungsform; und
Fig. 6: eine schematische Darstellung einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 7: eine schematische Darstellung einer dritten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 8: eine schematische Darstellung von einem Querschnitts- wandler, der bevorzugt mit denen in den Figuren Fig. 6 und Fig. 7 gezeigten Ausgestaltungen zum Einsatz kommt;
Fig. 9: eine schematische Darstellung des Steckverbinders zur Montage der
Lichtwellenleiter an das LVF-Spektrometer und
Fig. 10: eine schematische Darstellung der Meßpitze einer ATR-Sonde mit einem Mikroprisma.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1. Die ATR-Sonde 2 besteht aus der
Prozeßarmatur 25 und dem Reflexionselement 15. Bei der Prozeßarmatur 25 handelt es sich beispielsweise um eine Wechselarmatur, wie sie von der Anmelderin unter der Bezeichnung 'CLEANFIT' vertrieben wird. Ein interessanter Aspekt der Erfindung richtet sich - wie nachfolgend noch näher beschrieben wird - auf verschiedenen Geometrien des Reflexionselements 15. Unabhängig von der gewählten Geometrie wird das Reflexionselement 15 durch die Prozeßarmatur 25 mechanisch geschützt, kommt aber dennoch mit dem Meßmedium in unmittelbaren Kontakt.
Das Meßlicht und das Referenzlicht, welche bevorzugt von zwei Lichtquellen 5 stammen, werden über den Lichtwellenleiter 4 auf die ATR-Sonde 2 eingekoppelt. Bei dem Lichtwellenleiter 4 ebenso wie bei dem Lichtwellenleiter 3 handelt es sich bevorzugt um Lichtfaserbündel. Entsprechende Ausgestaltungen sind in den Figuren Fig. 2a (Seitenansicht) und Fig. 2b (Draufsicht) dargestellt. Jede anderweitige Einkopplung ist selbstverständlich gleichfalls möglich. Auch kann die Lichtquelle 5 unmittelbar vor dem Reflexionselement 15 positioniert werden, wodurch der Lichtwellenleiter 4 entfallen kann.
Im Bereich des Lichtausgangsabschnitts 12 des Lichtwellenleiters 3 befindet sich ein Querschnittswandler 22. Über den Querschnittswandler 22 werden die einzelnen Lichtfasern für das Meßlicht und das Referenzlicht auf eine Vielzahl übereinander angeordneter Fasern geführt. Die Intensität des über das Linear-Variable Filter 7 geführten Meß- bzw. Referenzlichts wird anschließend von dem Detektorelement 8 erfaßt.
Der Querschnittswandler 22 und das Detektorelement 8 sind auf einer Haltevorrichtung 26 befestigt, die an einer Führungsschiene 6 bewegbar angeordnet ist. Sukzessive wird die Haltevorrichtung 26 über den Antrieb 9 an dem Linear Variablen Filter 7 vorbeigeführt. Linear-Variable Filter sind bekannt; verwiesen wird hier auf die US-PS 5,920,069.
Bei dem Antrieb 9 handelt es sich z.B. um einen Schrittmotor, der über eine in der Fig. 1 nicht gesondert dargestellte Spindel die Haltevorrichtung 26 bewegt. Das Detektorelement 8 mißt in jeder angefahrenen Position die Intensitätswerte von Meßlicht und Referenzlicht. Anhand dieser Werte erstellt die Regel- /Auswerteeinheit 10 das Spektrum des Meßmediums, das mit dem Reflexionselement 15 in Kontakt ist. Die spektrale Verteilung liefert
Information darüber, welche Substanz/Substanzen in dem Meßmedium in welcher Konzentration vorhanden ist/sind. Die Auswertung erfolgt über die bekannten Algorithmen.
In den nachfolgenden Figuren Fig. 3, Fig. 4, Fig. 5 sind unterschiedliche
Varianten des erfindungsgemäßen Reflexionselements 15 der ATR-Sonde 2 dargestellt. Es versteht sich von selbst, daß dieses Reflexionselement 15 nicht nur in Verbindung mit der in Fig. 1 beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 einsetzbar ist. Vielmehr kann das Reflexionselement 15 in der Prozeßsonde 2 an jeden beliebigen Spektrometer/Spektrograph, das/der über eine Lichtwellenleiter-ankopplung verfügt, angeschlossen werden.
Wie bereits gesagt, besteht das erfindungsgemäße Reflexionselement 15 aus einem im IR-Bereich in hohem Maße transparenten Material. Bevorzugt handelt es sich bei dem Material um ein Halbleitermaterial, z.B. um hochreines Silizium oder Germanium. Um die Resistenz des Halbleitermaterials gegen aggressive oder korrosive Meßmedien zu erhöhen, sind zumindest die mit dem Meßmedium in Kontakt kommenden Bereiche des Reflexionselements 15 mit einer Diamantschicht 21 versehen. Eine entsprechende Ausführungsform ist in Fig. 3d dargestellt. Fig. 3d zeigt das Reflexionselement 15 übrigens im Querschnitt.
Die erfindungsgemäßen Reflexionselemente 15 bzw. die ATR-Prismen werden bevorzugt als zylinderförmige Scheiben aus einem Halbleiter-Wafer herausgebohrt. Anschließend werden beidseitig an die zylinderförmige Scheibe Facetten 16, 17 geschliffen, so daß das Reflexionselement 15 auf der dem Meßmedium zugewandten Seite die Form eines Satteldaches aufweist. Die entsprechende Ausgestaltung des Reflexionselements 15 ist z. B. in den Figuren Fig. 3a, Fig. 3b und Fig. 3c dargestellt.
In diesen Figuren ist darüber hinaus der Strahlengang 18 des Meßlichts dargestellt. Das von der Lichtquelle 5 kommende kollimierte Lichtbündel wird in den Bereich der Facette 16 des Reflexionselements 15 reflektiert. An der Grenzfläche zum optisch dünneren Meßmedium hin erfährt das Meßlicht bei Kontakt mit dem Meßmedium eine erste geschwächte Totalreflexion; eine zweite geschwächte Totalreflexion erfolgt an der Facette 17. Die Totalreflexion an der vom Meßmedium abgewandten Ein-/Auskoppelfläche des Reflexionselements 15 erfolgt näherungsweise ungeschwächt. Dies ist eine Folge des Einfalls- bzw. Ausfallswinkels, der im gezeigten Fall näherungsweise 60° beträgt. Darüber hinaus kann die Ein-/Auskoppelfläche mit einer Anti-Reflexschicht 24 versehen sein.
Die Facetten 16, 17 sind derart geschliffen, daß der Einfalls- und der Ausfallswinkel für die Totalreflexion bei senkrechtem Einfall des Meßlichts auf die Ein-/ Auskoppelfläche ca. 30° beträgt. Weiterhin ist im gezeigten Fall der Durchmesser des Reflexionselement 15 so dimensioniert, daß das Meßlicht innerhalb des Reflexionselements 15 lediglich drei Reflexionen erfährt. Durch den hiermit verbundenen kurzen Laufweg des Meßlichts innerhalb des Reflexionselements 15 werden die Absorptionsverluste im Material des Prismas sehr gering gehalten.
Es versteht sich von selbst, daß jede anderweitige Form des Facettenschliffs möglich ist, solange der Grenzwinkel für die Totalreflexion nicht unterschritten wird. Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Reflexionselements 15 schlagen vor, daß weitere geschwächte und ungeschwächte Totalreflexionen des Meßlichts bzw. des Referenzlichts an den Grenzflächen des Reflexionselements 15 auftreten können. Bei der konkreten Ausgestaltung des Reflexionselements 15 wird natürlich einerseits eine Optimierung in Richtung Lichtausbeute und andererseits eine Optimierung in Richtung Meßgenauigkeit (Anzahl der Reflexionen) anvisiert.
Der große Vorteil der verschiedenen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Reflexionselements ist - wie auch die Figuren Fig. 3, Fig. 4 und Fig. 5 verdeutlichen - darin zu sehen, daß das einfallende und das ausfallende Meßlicht (bzw. das Referenzlicht) parallel zueinander verlaufen. Hierdurch wird der mechanische Aufbau der Kollimieroptik 29 vereinfacht.
Die in den Figuren Fig. 4 und Fig. 5 dargestellte Ausführungsform des Reflexionselements 15 unterscheidet sich von der in Fig. 3 dargestellten
Ausgestaltung dadurch, daß das in Fig. 4 dargestellte ATR-Reflexionselement 15 eine höhere Anzahl Reflexionen bei einem internen Reflexionswinkel von 45° aufweist. Die Anzahl der Reflexionen kann über die Verlängerungsdistanz 30 des Prismas gesteigert werden.
Fig. 5 zeigt ein Reflexionselement 15 mit einem seitlichen Meßspalt 31. Diese Ausführungsform entspricht somit einer Transmissionsanordnung. Die zwei Bohrungen 27 in der Ein-/ Auskoppelfläche (Figuren 4 und 5) sind Teil einer nicht gesondert dargestellten Verdrehsicherung, die das Reflexionselement 15 nach Befestigung in der Prozeßsonde 2 in der korrekten Lage zur Kollimieroptik 29 fixiert. Zwecks Verdrehsicherung werden z. B. entsprechend geformte Stifte in die Borungen 27 eingebracht. Es versteht sich von selbst, daß auch jede andere Art einer Verdrehsicherung eingesetzt werden kann, solange sie den Strahlengang 18, 28 von Meßlicht und Referenzlicht nicht stört.
In Fig. 3a, 3c, 4a und 5a ist stilisiert neben dem Strahlengang 18 des Meßlichts auch der Strahlengang 28 des Referenzlichts eingezeichnet. Während das Meßlicht in den Bereichen der Facetten 16, 17 jeweils eine geschwächte Totalreflexion erfährt, sind die entsprechenden Bereiche für das Referenzlicht so ausgestaltet, daß das Referenzlicht bei der Reflexion an den Facetten 16, 17 keine Schwächung erfährt. Hierzu sind die entsprechenden Bereiche beispielsweise mit einer metallische Beschichtung versehen, die für IR-Strahlung undurchlässig ist.
Fig. 6 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Strahlung bzw. das Licht der
Strahlungsquelle / Lichtquelle 5 wird über einen Ellipsoidspiegel 33 auf den Lichteingangsabschnitt des Wellenleiters 3 fokussiert. Zur Modulation des Meßlichts und des Reflexionslichts wird ein Chopper 34 eingesetzt, der von einem Choppermotor 35 gedreht wird. Über den Lichtwellenleiter 3 wird das Licht zu dem Reflexionselement 15 geleitet. Bei dem Reflexionselement 15 handelt es sich im gezeigten Fall um ein Mikroprisma 48, das aus Diamant gefertigt ist. Bevorzugt hat das Mikroprisma 48 die in der Fig. 6 gezeigte Kegelform. Anschließend wird die Strahlung, die die Information über die Zusammensetzung des Meßmediums beinhaltet, über den Wellenleiter 4 in Richtung auf das Linear-Variable Filter 7 und das Detektorelement 8 geleitet. Im dargestellten Fall ist das Detektorelement 8 fest montiert, während das Linear-Variable Filter über den Antrieb 9 und die Spindel 36 schrittweise oder quasi-kontinuierlich an dem Detektorelement 8 vorbeibewegt wird. Auf diese Art und Weise wird sukzessive das Spektrum der Strahlung abgescannt. Die Auswertung des Spektrums erfolgt über die Regel-/Auswerteeinheit 10, die in der Fig. 6 nicht gesondert dargestellt ist.
In Fig. 7 ist eine bevorzugte dritte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung skizziert. Diese Ausgestaltung zeichnet sich ebenso wie die in Fig. 6 dargestellte Ausgestaltung durch einen besonders einfachen und daher kostengünstigen Aufbau aus. Das von der Lichtquelle 5 ausgesendete und über den Chopper 34 gepulste Licht wird über den Ellipsoidspiegel 33 auf den Eingangsabschnitt des Wellenleiters 3 fokussiert. Zwischen der Strahlungsquelle 5 und dem Eingangsabschnitt des Wellenleiters 3 ist das Linear- Variable Filter 7 positioniert. Das Linear-Variable Filter wird über den Antrieb 9 und die Spindel 36 schrittweise zwischen der Strahlungsquelle 5 und dem Eingangsabschnitt des Wellenleiters 3 bzw. dem Reflexionselement 15 hindurchbewegt. Nach Durchgang der Strahlung durch das Linear-Variable Filter 7 ist das Licht monochromatisch. Dieses monochromatische Licht wird dem Reflexionselement 15 über den Lichtwellenleiter 3 zugeführt. Das in dem Reflexionselement 15 reflektierte Licht wird über den Lichtwellenleiter 4 in das Detektorelement 8 geführt.
Als vorteilhaft ist bei dieser Ausgestaltung anzusehen, daß der Lichtwellenleiter 4 direkt und damit ohne Verluste am Detektorelement 8 angesetzt werden kann. Die Ankopplung erfolgt bevorzugt über das sog. Pig-Tailing. Hierdurch läßt sich eine höhere Lichtausbeute erreichen. Folglich läßt sich das Signal/Rausch-Verhältnis der zur Verfügung gestellten Spektren weiter steigern, wodurch sich die Nachweisgrenze für Substanzen im Meßmedium am Reflexionselement 15 weiter reduziert.
Bevorzugt handelt es sich auch bei der in Fig. 7 gezeigten Ausgestaltung bei dem Reflexionselement 15 um ein ATR-Kristall. Als ATR-Kristall wird bevorzugt ein Mikroprisma 48 aus Diamant eingesetzt. In Fig. 10 ist ein Prisma aus Diamant gezeigt, das an der Spitze einer Prozeßsonde 2 befestigt ist. Die Sonde 2 ist im gezeigten Fall so ausgestaltet, daß sie die Hygiene- Anforderungen der Pharma- und Lebensmittelindustrie berücksichtigt. Insbesondere besitzt die Sonde 2 abgerundete Kanten. Das Sondenrohr 46 mit der Sondenspitze 47 ist vorzugsweise aus Titan, Hastelloy oder PEEK gefertigt. Der Diamant bzw. das Mikroprisma 48 ist in Abhängigkeit von der zu vermessenden Substanz in den Sondenkörper eingelötet oder eingeklebt. Die Sonde 2 ist so gefertigt, daß sie in bestehende Wechselarmaturen eingesetzt werden kann, die von der Anmelderin gebotenen und vertrieben werden.
In der Fig. 8 ist eine schematische Darstellung eines Querschnittswandlers 22 zu sehen, der bevorzugt mit der in Fig. 7 gezeigten Ausgestaltung zum Einsatz kommt. Der Querschnittswandler 22 setzt sich aus drei Teilelementen 37, 38, 39 zusammen. Der Querschnittswandler 37 ist in Richtung des Linear- Variablen Filters 7 angeordnet und besteht aus vier in Reihe angeordneten Fasern 40, die das monochromatische Licht in Richtung auf das Mikroprisma 48 führen. Der Querschnittswandler 38, der in Richtung des Detektorelements 8 angeordnet ist, besteht gleichfalls aus vier Fasern 41 , die in quadratischer Form positioniert sind. Der Querschnittwandler 39, der unmittelbar vor der kreisförmigen Stirnfläche des bevorzugt kegelförmigen Mikroprismas 48 zu finden ist, hat beispielsweise die in der Fig. 8 gezeigte Ausgestaltung. Die Fasern 40, 41 der Lichtwellenleiter 3, 4 haben übrigens bevorzugt den in der Fig. 8 dargestellten rechteckigen Querschnitt. Selbstverständlich können in Verbindung mit der Erfindung auch Fasern 40, 41 mit rundem Querschnitt eingesetzt werden. Bevorzugt hat das Reflexionselement 15 übrigens die dargestellte konische Form. Diese hat den Vorteil, daß die Orientierung des quadratischen Querschnittswandlers 39 rotationsinvariant ist. Natürlich ist auch eine quadratische oder mehreckige, z.B. achteckige Basisform des internen Reflexionselements 48 möglich; allerdings muß dann der quadratische Querschnittswandler 39 nach der Grundfläche des Reflexionselements 48 ausgerichtet werden.
Wie in Fig. 9 zu sehen, sind der Eingangsabschnitt und der Ausgangs- abschnitt der Prozeßsonde 2 in einem Stecker integriert. Daher ist es möglich, die Sonde 2 auf einfache Weise mit dem Linear-Variablen Filter 7 zu verbinden. Bevorzugt erfolgt die Befestigung des Eingangs- bzw. Ausgangsabschnitts der Wellenleiter 3, 4 an dem LVF-Spektrometer über Ferrulen 43, 44.
Bezugszeichenliste
erfindungsgemäße Vorrichtung Prozeßsonde Erster Wellenleiter / Faser(bündel) Zweiter Wellenleiter / Faser(bündel) Strahlungsquelle / Lichtquelle Führungsschiene Linear-Variables Filter Detektorelement Antrieb Regel-/Auswerteeinheit Eingangsabschnitt / Lichtwellenleiter Ausgangsabschnitt / Lichtwellenleiter Erste Einkopplung / Lichtwellenleiter Zweite Einkopplung / Lichtwellenleiter Reflexionselement Facette Facette Strahlengang des Meßlichts Einfallender Lichtstrahl Ausfallender Lichtstrahl Diamant-Beschichtung Querschnittswandler Dichtungsring Anti-Reflexschicht Wechselarmatur Haltevorrichtung Bohrung (für Paßstifte) Strahlengang des Referenzlichts Kollimieroptik Verlängerungsdistanz Meßspalt
Faserweiche
Fokussiereinheit / Ellipsoidspiegel
Chopper
Choppermotor
Spindel
Anordnung der Fasern im Querschnittswandler (LVF-Ende)
Anordnung der Fasern im Querschnittswandler (Detektor- bzw.
Strahlerende)
Anordnung der Fasern im Querschnittswandler (Am Reflexionselement)
Sendestrahlung
Empfangsstrahlung
Konusspitze (abgeschliffen)
Ferrule
Ferrule
Flansch für das Spektrometergehäuse
Rohr / Sondenkörper
Sondenspitze
Mikroprisma

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums mit einer Prozeßsonde (2), die ein Reflexionselement
(15) aufweist, mit einem Linear- Variablen Filter (6), zumindest einem Detektorelement (8) und einer Regel-/Auswerteeinheit (10), wobei zumindest eine Strahlungsquelle (5) vorgesehen ist, deren elektromagnetische Strahlung in das Reflexionselement (15) eingekoppelt wird, wobei zumindest ein Wellenleiter (3) mit einem Eingangsabschnitt (11) und einem Ausgangsabschnitt (12) vorgesehen ist, wobei die elektromagnetische Strahlung über den Ausgangsabschnitt (12) des Wellenleiters (3) in zumindest einen definierten Bereich des Linear-Variablen Filters (6) geleitet wird, wobei das Detektorelement (8) und das Linear- Variable Filter (7) über näherungsweise die Länge des Linear-Variablen Filters (7) relativ zueinander bewegbar angeordnet sind und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) anhand der von dem Detektorelement (8) gelieferten Meßwerte das Spektrum des Mediums bestimmt.
2. Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums mit einer Prozeßsonde (2), die ein Reflexionselement (15) aufweist, mit einem Linear-Variablen Filter (6), zumindest einem Detektorelement (8) und einer Regel-/Auswerteeinheit (10), wobei zumindest eine Strahlungsquelle (5) vorgesehen ist, deren elektromagnetische Strahlung in zumindest einen definierten Bereich des Linear- Variablen Filters (7) fokussiert wird, wobei zumindest ein Wellenleiter (4) vorgesehen ist, über den die elektromagnetische Strahlung nach Durchgang durch das Linear-Variable Filter (6) in das Reflexionselement (15) eingekoppelt wird, wobei die von der Strahlungsquelle (5) kommende, fokussierte elektromagnetische Strahlung und das Linear-Variable Filter (7) über näherungs- weise die Länge des Linear-Variablen Filters (7) relativ zueinander bewegbar angeordnet sind, wobei das Detektorelement (8) die elektromagnetische Strahlung nach Durchgang durch das Reflexionselement (15) empfängt und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) anhand der von dem Detektorelement (8) gelieferten Meßwerte das Spektrum des Mediums bestimmt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) die Relativbewegung zwischen dem Detektorelement (8) und dem Linear-Variablen Filter (7) bzw. zwischen der Strahlungsquelle (5) und dem Linear-Variablen Filter (7) schrittweise oder kontinuierlich steuert.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Detektorelement (8) fest montiert ist und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) das Linear-Variable Filter (7) schrittweise an dem Detektorelement (8) vorbeibewegt, bzw. wobei die Strahlungsquelle (5) fest montiert ist und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) das Linear-Variable Filter (7) schritt- weise oder kontinuierlich an dem Detektorelement (8) vorbeibewegt
5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Linear-Variable Filter (7) fest montiert ist und wobei die Regel-/Auswerteeinheit (10) schrittweise das Detektorelement (8) an dem Linear-Variablen Filter (7) vorbeibewegt, bzw. wobei das Linear-Variable Filter (7) fest montiert ist und wobei die Regel- /Auswerteeinheit (10) das Linear- Variable Filter (7) schrittweise oder kontinuierlich an der Strahlungsquelle (5) vorbeibewegt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Haltevorrichtung (26) vorgesehen ist, in der das Detektorelement (8) und der Lichtausgangsabschnitt (12) bzw. die Strahlungsquelle (5) und der Lichteingangsabschnitt oder das Linear-Variable Filter (7) montiert sind/ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Haltevorrichtung (26) bzw. das Detektorelement (8) bzw. die Strahlungsquelle (5) oder das Linear-Variable Filter (7) auf einer Führungsschiene (6) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 7, wobei es sich bei dem Ausgangsabschnitt (12) und/oder dem Eingangsabschnitt um einen Querschnittswandler (22) handelt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 3, 4, 5 oder 6, wobei ein Antrieb (9) vorgesehen ist, über den das Linear- Variable Filter (7) oder das Detektorelement (8) bzw. die Strahlungsquelle (5) bzw. die Haltevorrichtung (26) für das Detektorelement (8) bzw. die Strahlungsquelle (5) schrittweise oder kontinuierlich bewegt wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1 , wobei der erste Lichtwellenleiter (3) eine Faserweiche (32) ist, über die die Meßstrahlung und eine Referenzstrahlung zum Reflexionselement (15) geführt werden und wobei der Meßstrahl und der Referenzstrahl zum Linear- Variablen Filter (7) geleitet werden.
11. Vorrichtung nach Anspruch 1 , wobei es sich bei dem Detektorelement (8) um einen pyroelektrischen Detektor, bevorzugt um einen Thermopile- oder einen MCT- Detektor, oder um eine Detektorzeile handelt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Reflexionselement (15) aus einem hochreinen Halbleitermaterial gefertigt ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Reflexionselement (15) aus einem hochreinen Halbleitermaterial oder anderem IR-transmitiven Material gefertigt ist, auf dem eine dünne Diamantschicht (21) aufgebracht ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei es sich bei dem Reflexionselement (15) um ein Mikroprisma (48) handelt, das bevorzugt aus Diamant gefertigt ist.
16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Reflexionselement (15) derart dimensioniert und ausgestaltet ist, daß der Strahlengang (18) des Meßlichts bzw. Referenzlichts eine Vielzahl Reflexionen in dem Reflexionselement (15) erfährt, wobei die Anzahl der Reflexionen über die Länge des Reflexionselementes (15) festlegbar ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, wobei das Reflexionselement (15) eine runde, quadratische oder polygonale Querschnittsfläche aufweist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, wobei der erste Wellenleiter (3) aus mehreren Fasern (40; 41) besteht und auf der Seite des Linear-Variablen Filters (7) einen bevorzugt linearen
Faserquerschnittswandler (37) und auf der Seite des Reflexionselements (15) einen bevorzugt L-förmigen Querschnittswandler (39) aufweist, wobei der zweite Wellenleiter (4) aus mehreren Fasern (41; 40) besteht und auf der Seite des Reflexionselements (15) einen bevorzugt L-förmigen Faserquerschnittswandler (39) und auf der Seite des Detektors (8) einen bevorzugt quadratischen Faserquerschnittswandler (38) aufweist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, wobei die beiden Faserquerschnittswandler (39) auf der Seite des Reflexionselements (15) bzw. des Mikroprisms (48) in zumindest eine Halterung (43, 44) bzw. in zumindest einen Stecker integriert sind und in unmittelbarer Nähe der Querschnittsfläche des Reflexionselements (15; 48) angeordnet sind bzw. auf der Querschnittsfläche des Reflexionselements (15; 48) aufsitzen.
20. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei es sich bei der Prozeßsonde (2) um eine ATR-Sonde, eine Reflexionssonde oder eine Transmissionssonde handelt.
PCT/EP2003/007838 2002-07-24 2003-07-18 Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination WO2004013621A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03766222A EP1523669B1 (de) 2002-07-24 2003-07-18 Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination
AU2003258523A AU2003258523A1 (en) 2002-07-24 2003-07-18 Device for the ir-spectrometric analysis of a solid, liquid or gaseous medium
DE50309085T DE50309085D1 (de) 2002-07-24 2003-07-18 Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination
US10/522,158 US7428051B2 (en) 2002-07-24 2003-07-18 Device for the IR-spectrometric analysis of a solid, liquid or gaseous medium

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10233710.1 2002-07-24
DE10233710 2002-07-24
DE10316514.2 2003-04-09
DE10316514A DE10316514A1 (de) 2002-07-24 2003-04-09 Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2004013621A1 true WO2004013621A1 (de) 2004-02-12

Family

ID=31496728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2003/007838 WO2004013621A1 (de) 2002-07-24 2003-07-18 Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7428051B2 (de)
EP (1) EP1523669B1 (de)
CN (1) CN100582750C (de)
AT (1) ATE384944T1 (de)
AU (1) AU2003258523A1 (de)
DE (1) DE50309085D1 (de)
WO (1) WO2004013621A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006092252A2 (en) * 2005-03-01 2006-09-08 Astrazeneca Uk Limited High temperature atr probe
WO2009030812A1 (en) 2007-09-07 2009-03-12 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Spectrometer for measuring moving sample material and the method
WO2009039920A1 (de) * 2007-09-20 2009-04-02 Technische Universität München Anordnung, verfahren und sensor zur erfassung von flüssigkeitsparametern
US20210115370A1 (en) * 2018-06-26 2021-04-22 Irubis Gmbh Disposable bioreactor and use thereof

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2849194B1 (fr) * 2002-12-23 2005-01-28 Inst Francais Du Petrole Dispositif de detection de la corrosion
ATE492796T1 (de) * 2006-09-20 2011-01-15 Prad Res & Dev Nv Vorrichtung und verfahren zur optischen ermittlung der anwesenheit von kohlendioxid
US9612194B2 (en) 2011-07-07 2017-04-04 Cidra Corporate Services Inc. Spectroscopic analysis of oil sands ore face for real time ore blend management
WO2013110697A1 (de) * 2012-01-25 2013-08-01 Bayer Intellectual Property Gmbh Reflexionssonde
DE102015122995A1 (de) * 2015-12-30 2017-07-06 Blue Ocean Nova AG Vorrichtung zur Analyse von einem sich in einem Produktraum befindenden zu analysierenden Gut
CN105699323A (zh) * 2016-03-08 2016-06-22 中国科学院合肥物质科学研究院 基于傅立叶变换近红外光谱分析技术的药品检测系统
CN107870165A (zh) * 2016-09-27 2018-04-03 福州高意光学有限公司 一种特殊光纤制作的拉曼光纤探头
DE102016221860A1 (de) * 2016-11-08 2018-05-09 BSH Hausgeräte GmbH Steuereinheit, Nahrungsmitteldrucker und Verfahren zur Steuerung eines Nahrungsmitteldruckers
WO2018102171A1 (en) * 2016-11-30 2018-06-07 Corning Incorporated Spectral imaging systems and methods of generating spectral image data using the same
CN106940295B (zh) * 2017-05-16 2019-07-30 中国电子科技集团公司第四十一研究所 基于渐变滤光片的超便携式近红外光谱分析系统
CN109115716A (zh) * 2018-07-12 2019-01-01 镇江市爱威尔电子有限公司 一种多功能红外气体传感器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3669545A (en) * 1971-05-06 1972-06-13 Wilks Scientific Corp Apparatus and method for analysis by attenuated total reflection
US3733130A (en) * 1972-03-07 1973-05-15 Atomic Energy Commission Slotted probe for spectroscopic measurements
US5754722A (en) * 1995-01-30 1998-05-19 Melling; Peter J. Fiber-optic spectroscopic probe with interchangeable sampling heads
WO1999040419A1 (en) * 1998-02-06 1999-08-12 Dsquared Development, Inc. Grain quality monitor
WO2000062028A2 (en) * 1999-04-09 2000-10-19 Spectraprobe Limited Improvements in, or relating to, infra-red detection
DE10034220A1 (de) * 2000-07-13 2002-01-31 Anne Kuepper Infrarot-Mikromesssonde
US20020190213A1 (en) * 2001-03-27 2002-12-19 Kevin C. Bynum ATR crystal device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5473162A (en) * 1987-10-26 1995-12-05 Baylor University Infrared emission detection of a gas
US5185834A (en) * 1991-03-04 1993-02-09 Specac Ltd. Optical fiber probes for remote analysis
US5552604A (en) * 1994-05-13 1996-09-03 Donald W. Sting Optical sensing with crystal assembly sensing tip
US5815278A (en) * 1995-10-25 1998-09-29 University Of Washington Surface plasmon resonance light pipe sensing probe and related interface optics
US5828452A (en) * 1996-12-31 1998-10-27 Dakota Technologies, Inc. Spectroscopic system with a single converter and method for removing overlap in time of detected emissions
US20020158211A1 (en) * 2001-04-16 2002-10-31 Dakota Technologies, Inc. Multi-dimensional fluorescence apparatus and method for rapid and highly sensitive quantitative analysis of mixtures

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3669545A (en) * 1971-05-06 1972-06-13 Wilks Scientific Corp Apparatus and method for analysis by attenuated total reflection
US3733130A (en) * 1972-03-07 1973-05-15 Atomic Energy Commission Slotted probe for spectroscopic measurements
US5754722A (en) * 1995-01-30 1998-05-19 Melling; Peter J. Fiber-optic spectroscopic probe with interchangeable sampling heads
WO1999040419A1 (en) * 1998-02-06 1999-08-12 Dsquared Development, Inc. Grain quality monitor
WO2000062028A2 (en) * 1999-04-09 2000-10-19 Spectraprobe Limited Improvements in, or relating to, infra-red detection
DE10034220A1 (de) * 2000-07-13 2002-01-31 Anne Kuepper Infrarot-Mikromesssonde
US20020190213A1 (en) * 2001-03-27 2002-12-19 Kevin C. Bynum ATR crystal device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006092252A2 (en) * 2005-03-01 2006-09-08 Astrazeneca Uk Limited High temperature atr probe
WO2006092252A3 (en) * 2005-03-01 2006-10-26 Astrazeneca Uk Ltd High temperature atr probe
WO2009030812A1 (en) 2007-09-07 2009-03-12 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Spectrometer for measuring moving sample material and the method
US8159668B2 (en) 2007-09-07 2012-04-17 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Spectrometer for measuring moving sample material and the method
WO2009039920A1 (de) * 2007-09-20 2009-04-02 Technische Universität München Anordnung, verfahren und sensor zur erfassung von flüssigkeitsparametern
US20210115370A1 (en) * 2018-06-26 2021-04-22 Irubis Gmbh Disposable bioreactor and use thereof

Also Published As

Publication number Publication date
ATE384944T1 (de) 2008-02-15
DE50309085D1 (de) 2008-03-13
EP1523669B1 (de) 2008-01-23
US7428051B2 (en) 2008-09-23
CN100582750C (zh) 2010-01-20
CN1672037A (zh) 2005-09-21
US20060115201A1 (en) 2006-06-01
EP1523669A1 (de) 2005-04-20
AU2003258523A1 (en) 2004-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1152236B1 (de) Optische Messanordnung mit einem Ellipsometer
DE4343076C2 (de) Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche eines insbesondere bewegten Gegenstandes
EP1523669B1 (de) Vorrichtung zur ir-spektrometrischen analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen mediums semination
DE102018205163A1 (de) Messvorrichtung zur Messung von Reflexionseigenschaften einer Probe im extremen ultravioletten Spektralbereich
EP1845349B1 (de) Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter
EP2989445B1 (de) Bildgebung durch abgeschwächte totalreflexion (atr)
WO1996035100A1 (de) Vorrichtung zur messung der dicke transparenter gegenstände
WO2003034046A1 (de) Oberflächenplasmonen-resonanz-sensor
WO2001086262A1 (de) Plasmonenresonanzsensor
EP3084397B1 (de) Atr-infrarotspektrometer
DE102009058244A1 (de) Vorrichtung für die Untersuchung eines Gegenstands, vorzugsweise eines Wertdokuments, unter Verwendung optischer Strahlung
DE10316514A1 (de) Vorrichtung zur IR-spektrometrischen Analyse eines festen, flüssigen oder gasförmigen Mediums
DE19510034B4 (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Partikelgrößen und/oder Partikelgrößenverteilungen mittels Lichtbeugung
EP3511739A1 (de) Prüfvorrichtung für optisches messsystem
EP0043522A1 (de) Refraktometer
DE102020104386A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Topografie einer Seitenfläche einer Vertiefung
WO2006125430A1 (de) Messeinrichtung zur ramanspektrometrischen, nichtinvasiven glucosebestimmung
DE102021210443B4 (de) Tauchsonde mit variabler Pfadlänge
DE102022110651B4 (de) Kompaktes optisches Spektrometer
DE102011087978A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Bestimmung des Brechzahlgradienten eines Materials
DE19713483B4 (de) Spektrometer
EP3614130B1 (de) Vorrichtung zur ermittlung optischer eigenschaften von proben
DE102015213147B4 (de) Verfahren zur Bestimmung und Messkopf zur Erfassung einer Oberflächeneigenschaft genau einer Seite einer lichtdurchlässigen Probe
EP0800065A2 (de) Vorrichtung zur spektralen Untersuchung von Probenmaterialien
DE102022002964A1 (de) Messanordnung zur Messung des Reflexionsgrades eines Messobjekts

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NI NO NZ OM PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2003766222

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 20038174006

Country of ref document: CN

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2003766222

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2006115201

Country of ref document: US

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10522158

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 10522158

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 2003766222

Country of ref document: EP