WO2004008167A1 - 磁気検出装置 - Google Patents

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WO2004008167A1
WO2004008167A1 PCT/JP2003/008493 JP0308493W WO2004008167A1 WO 2004008167 A1 WO2004008167 A1 WO 2004008167A1 JP 0308493 W JP0308493 W JP 0308493W WO 2004008167 A1 WO2004008167 A1 WO 2004008167A1
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magnetic field
bias
positive
negative
magnetic
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Application number
PCT/JP2003/008493
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English (en)
French (fr)
Inventor
Takahiro Kudo
Original Assignee
Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Holdings Co., Ltd. filed Critical Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Priority to AU2003281105A priority Critical patent/AU2003281105A1/en
Publication of WO2004008167A1 publication Critical patent/WO2004008167A1/ja

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux

Definitions

  • the present invention relates to a magneto-impedance element utilizing the magneto-impedance effect, and more particularly to a magnetic detection device and an overload current protection device (also referred to as an overload relay) using such a magnetic detection device.
  • an overload current protection device also referred to as an overload relay
  • Hall elements and magnetoresistive elements have been widely used as magnetic detection devices, but they are not satisfactory in terms of detection sensitivity. Therefore, as a high-sensitivity magnetic detecting element replacing the Hall element and the magnetoresistive element, for example, a magnetic impedance element using an amorphous wire disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H06-2818712, A thin film-shaped one disclosed in Japanese Patent Application Publication No. 075853/75 is proposed.
  • the method of applying an AC bias magnetic field to a magnetic impedance element which is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-127218, is based on the sum of the positive / negative magnetic field generated by the AC bias magnetic field and the external magnetic field to be measured.
  • a linear output with respect to the magnetic field can be obtained from the difference in the amount of change of the magnetic impedance element resulting from the above.
  • a magnetic impedance element exhibiting a target impedance characteristic with respect to the positive and negative polarities of the magnetic field has also been developed: the magnetic impedance element has a magnetic field impedance characteristic as shown in FIG.
  • FIG. 20 is an explanatory diagram of an operation when a bias magnetic field is applied with no external magnetic field.
  • FIG. 20 (a) is a diagram schematically showing characteristics when a bias magnetic field having uniform positive and negative magnetic field strengths is applied to the magnetic impedance element without a sensed external magnetic field to be measured.
  • the impedance characteristic near the external magnetic field strength of around zero does not show a smooth curve, but in the case of a point where the polarity of the magnetic field changes, it is generally an unstable characteristic region. .
  • the white circles shown on the impedance characteristics are the impedance values obtained from the maximum positive and negative bias magnetic field values due to the bias magnetic field that periodically oscillates the positive magnetic field and the negative magnetic field with a rectangular wave.
  • the output voltage is obtained from the relationship with the driving high-frequency current applied to the magneto-impedance element. The output voltage difference between these two points is detected.
  • FIG. 21 is an explanatory diagram of an operation at the time of applying a bias when an external magnetic field to be measured exists.
  • FIG. 21 (a) is a schematic diagram showing characteristics when a positive magnetic field of ⁇ 4 is detected as an external magnetic field to be measured.
  • the white circles shown on the impedance characteristics indicate the impedance obtained by the maximum values of the positive and negative bias magnetic fields. It is the value of the dance and moves to the position of the black circle due to the external magnetic field ⁇ 4.
  • the voltage polarity is defined by the indicated direction.
  • the resulting output voltage difference (differential output) is a positive voltage AV4, and when the external magnetic field to be measured ⁇ ⁇ 4 is sensed, the measured output after differential amplification is as shown in Fig. 21 (b As shown in), if the gain of the differential amplifier is A, Ax mu V4 is obtained.
  • the amount of change of the magnetic impedance element with respect to the external magnetic field must be the target characteristic on the positive magnetic field side and the negative magnetic field side. This is due to the characteristics of the magnetic impedance element.
  • the magnitude of the measurable magnetic field in a prototype device using an AC bias magnetic field is the maximum rated value that can be detected up to about 50 times the minimum value of the detection rating.
  • a current detector for an overload protection device which is an application example, it is necessary to measure the current more than 10 times the rated current, so if a detection range of several hundred times is required for magnetic detection, There is a problem.
  • an object of the present invention is to solve the above problems and provide a magnetic detection element having a simple configuration and a wide magnetic field measurement range. Disclosure of the invention
  • the present invention has the following features to attain the object mentioned above.
  • a magnetic detection device comprises: a magnetic impedance element having a magnetic impedance effect; current applying means for applying a high-frequency drive current to both ends of the magnetic impedance element; A bias coil wound around the impedance element; and a bias current applying means for applying a low-frequency bias current to the bias coil; a bias magnetic field whose magnetic field intensity changes due to the low-frequency bias current; and an external magnetic field to be measured.
  • the bias current applying means can set a variable bias magnetic field in which magnetic fields having different intensities change with time, select the variable bias magnetic field according to the polarity of the external magnetic field to be measured, and apply the selected variable bias magnetic field to the magnetic impedance element.
  • the variable bias magnetic field having different types of magnetic field strength applied to the magneto-impedance element includes a positive / negative uniform bias magnetic field, a positive magnetic field type bias magnetic field, and a negative magnetic field.
  • a bias magnetic field of a magnetic field type, a bias magnetic field of a positive magnetic field side enhancement type, and a bias magnetic field of a negative magnetic field side enhancement type is a magnetic field that periodically and alternately generates a magnetic field having the same strength on the positive magnetic field side and the negative magnetic field side.
  • a positive magnetic field type bias magnetic field is a magnetic field having the polarity of the positive magnetic field and periodically and alternately generating different magnetic field strengths within the positive magnetic field range.
  • the bias field of the positive magnetic field side enhancement type is a magnetic field having different degrees of enhancement of the magnetic field polarity formed by periodically generating a strong positive magnetic field having a different magnetic field strength and a weak negative magnetic field alternately.
  • a negative magnetic field type bias magnetic field is a magnetic field having a negative polarity and periodically and alternately generating different magnetic field strengths within a negative magnetic field range.
  • the biasing magnetic field of the negative magnetic field side enhancement type is a magnetic field having different degrees of enhancement of the magnetic field polarity formed by generating a strong negative magnetic field and a weak positive magnetic field alternately periodically.
  • variable bias magnetic field applied to the magnetic impedance element is one of a positive magnetic field type bias magnetic field and a positive magnetic field side bias magnetic field, and a negative magnetic field type bias magnetic field.
  • At least two types of variable bias magnetic fields one of the magnetic field and the negative magnetic field side emphasizing Pierce magnetic field, can be set at least.
  • One type of variable bias magnetic field is selected according to the polarity of the external magnetic field to be measured. Is selected and applied to the magneto-impedance element.
  • variable bias magnetic field ′ is one of a positive / negative uniform Piase magnetic field, a positive magnetic field type bias magnetic field, and a positive magnetic field side emphasized type bias magnetic field. At least three types of variable bias magnetic fields, one of the bias magnetic field of the negative type and the bias magnetic field of the negative side, can be set at least.
  • At least three variable bias magnetic fields including three types of variable bias magnetic fields can be selectively set.
  • One of the variable bias magnetic fields' is applied to the magneto-impedance element as a means for detecting the polarity of the external magnetic field to be measured, and the type of the variable bias magnetic field is selected according to the detection result. Apply.
  • a positive / negative bias magnetic field is used as the polarity detecting means of the external magnetic field to be measured.
  • an output difference corresponding to the impedance change of the magneto-impedance element is output as a voltage by the variable bias magnetic field and the external magnetic field to be measured, and this output is output when the external magnetic field to be measured is a positive magnetic field. If the magnetic field to be measured is a positive magnetic field and the magnetic field to be measured is a negative magnetic field, it is a negative voltage. Therefore, the polarity of the magnetic field to be measured can be determined from the polarity of the output voltage.
  • the bias magnetic field applied to the magneto-impedance element randomly generates a different magnetic field with time change on each of the positive magnetic field side and the negative magnetic field side,
  • a combination of the magnetic field strengths generated on the negative magnetic field side, a positive / negative uniform bias magnetic field, a positive magnetic field side-emphasized bias magnetic field, or a negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field according to claim 7 of the present invention. It is possible to set the bias magnetic field.
  • variable bias magnetic field may be of a rectangular waveform type including a pulse waveform or an AC waveform type.
  • a device for controlling supply of a polyphase current from a power supply to a load device wherein a magneto-impedance element having a magnetic impedance effect
  • the magnetic impedance element includes current applying means for applying a high-frequency driving current to both ends thereof, a bias coil wound around the magnetic impedance element, and bias current applying means for applying a low frequency bias current to the bias coil.
  • the bias magnetic field whose magnetic field strength changes due to the low-frequency bias current, and the external magnetic field to be measured
  • the measured current value that generates the measured magnetic field is in the rated current measurement area or immediately after the power is turned on, apply a positive / negative type bias magnetic field to the magneto-impedance element and set the measured current value in the overload area.
  • the bias magnetic field applied to the magneto-impedance element randomly changes a magnetic field that varies with time on each of the positive magnetic field side and the negative magnetic field side.
  • variable bias magnetic field applied to the magneto-impedance element may be a rectangular waveform type including a pulse waveform or an AC waveform type.
  • variable bias magnetic field having the above configuration to the magneto-impedance element.
  • FIG. 1 is a system configuration diagram of a magnetic detection device according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram of a positive external magnetic field in the operation of the magnetic impedance element according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of a negative external magnetic field in the operation of the magnetic impedance element according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating the operation of the magneto-impedance element according to one embodiment of the present invention, and is a characteristic explanatory diagram when a positive voltage output is obtained with a positive external magnetic field.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the operation of the magneto-impedance element according to one embodiment of the present invention, and is a characteristic explanatory diagram when a negative voltage output is obtained with a positive external magnetic field.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram showing the relationship between the external magnetic field strength and the differential output according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram of a bias magnetic field applying method according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram of the operation of the magnetic impedance element according to another embodiment of the present invention when a rectangular bias is applied.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating the operation of the magneto-impedance element according to another embodiment of the present invention when an AC bias is applied.
  • FIG. 10 is a system configuration of a magnetic detection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram of a positive external magnetic field in the operation of a magnetic impedance element for explaining another embodiment according to the present invention.
  • FIG. 12 is an explanatory diagram of a negative external magnetic field in the operation of the magnetic impedance element for explaining another embodiment according to the present invention.
  • FIG. 13 is a system configuration of a magnetic detection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a configuration diagram of an electronic overload relay according to an example of the present invention.
  • FIG. 15 is a schematic configuration diagram illustrating a current detection device according to an embodiment of the present invention. A perspective view showing a specific configuration example of such a magnetic sensing element unit.
  • FIG. 17 is an explanatory view of a mounting form of the magnetic sensing element according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 is a perspective view of a magnetic shield configuration according to the embodiment of the present invention.
  • Fig. 19 is an illustration of the characteristics of the magnetic impedance of a conventional Dummy: Rufus wire element.
  • Fig. 20 shows the conventional example when the bias magnetic field is applied with no external magnetic field applied.
  • Figure 21 is an explanatory diagram of the operation when a bias magnetic field is applied, showing a conventional example.
  • FIG. 1 shows a system configuration of a magnetic detection device according to one embodiment of the present invention.
  • the element driving the high-frequency current generator 3 for applying a high frequency driving current is connected to t
  • the variable bias magnetic field coil 2 is wound around the magnetic impedance element 1, and the variable bias magnetic field coil 2 is driven by the variable bias coil power supply 4.
  • variable bias coil power supply 4 is normally a constant voltage power supply
  • the current flowing through the variable bias magnetic field coil 2 is changed by changing the resistance value in a closed circuit with the variable bias magnetic field coil 2.
  • the load switch 5 for changing the resistance value in a circuit composed of the variable bias magnetic field coil 2 and the variable bias coil power supply 4
  • two types of peak intensities can be obtained. It is configured to generate different variable bias magnetic fields.
  • the positive and negative current flowing through the variable bypass magnetic field coil 2 when the switch inside the load switch 5 is open When the switch in the load switch 5 is closed with respect to the current value, the resistance value decreases, and the positive and negative current values increase. Therefore, even if the output voltage value from the variable bias coil power supply 4 is constant, two types of different magnetic field intensities are provided as positive and negative equality type positive magnetic fields in which the positive and negative magnetic fields have the same intensity.
  • the positive and negative uniform bias magnetic field can be selectively generated.
  • the voltage cycle of the positive / negative equal value generated from the variable bias coil power supply 4 is synchronized via the microcomputer 11 to open and close the switches in the load switch 5 to enhance the magnetic field polarity.
  • different bias fields can be generated for the positive magnetic field side enhancement type or the negative magnetic field side enhancement type.
  • the switch in the load switch 5 is closed to reduce the resistance value
  • the switch in the load switch 5 Increase the resistance value.
  • the current flowing through the variable bias magnetic field coil 2 is such that a large positive current: and a small negative current flow periodically, and a strong positive magnetic field and a weak negative magnetic field having different magnetic field strengths are alternately generated periodically.
  • a positive magnetic field side enhancement type bias magnetic field can be applied.
  • the negative magnetic field-side emphasized bias magnetic field is applied to the above-described positive magnetic field-side emphasized bias magnetic field generating means by the voltage polarity output from the variable type coil coil power supply 4 and the switch switching in the load switch 5. This can be realized by reversing the correspondence between closed and open operation.
  • the magnetic field strength changes with time.
  • An output voltage that changes in voltage value in synchronization with the magnetic field is obtained.
  • the values held in the cages 7 and 8 are amplified by taking the output difference between the values by the differential amplifier 9, and then the analog value is converted into a digital value by the AZD converter 10. 1 Computation and control are performed by 1 etc.
  • the external magnetic field to be measured is a positive magnetic field
  • a negative-side variable bias magnetic field is applied.
  • a positive variable bias magnetic field is applied.
  • the polarity of the external magnetic field to be measured is determined by the polarity detector 12, the result is processed by the microcomputer 11, and the selected magnetic field polarity strength is determined.
  • the switch operation in the load switch 5 is controlled as described above.
  • FIGS. 20 and 21 are explanatory diagrams of the operation of the magneto-impedance element according to one embodiment of the present invention. The description of the same configuration and the same operation as described in FIGS. 20 and 21 will be omitted.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram in a case where the sensed external magnetic field to be measured is a positive magnetic field indicated by ⁇ 1.
  • the external magnetic field to be measured is a positive magnetic field
  • the variable bias magnetic field is a negative magnetic field in which a strong negative magnetic field and a weak positive magnetic field are alternately generated periodically with the application time.
  • An emphasis bias magnetic field is applied.
  • the white circle position shown on the impedance characteristic corresponding to the maximum value of each of the positive magnetic field side and the negative magnetic field side of the negative magnetic field-enhanced bias magnetic field is the position where the external magnetic field ⁇ ⁇ 1 is added.
  • the output voltage difference between the two black circles can be obtained as a positive voltage of ⁇ VI by matching in the voltage polarity direction described in FIG. 21 (a).
  • the output after differential amplification measured as the magnetic detector of FIG. 1 is as shown in FIG. 2 (b). Assuming that the amplification factor of the differential amplifier 9 is A, Ax AV 1 is obtained.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram in the case where the sensed external magnetic field to be measured is a negative magnetic field indicated by 1 ⁇ 1.
  • the external magnetic field to be measured is a negative magnetic field
  • the variable bias magnetic field is a positive magnetic field where a strong positive magnetic field and a weak negative magnetic field are generated alternately periodically with the application time.
  • An emphasis bias magnetic field is applied. Equivalent to the maximum value of the positive magnetic field side and the maximum value of the negative magnetic field side of the bias magnetic field 8493
  • the white circle position shown on the impedance characteristic moves in the negative magnetic field direction to the black circle position shown on the impedance characteristic as a position to which the negative external magnetic field 1 ⁇ 1 is added.
  • the output voltage difference between the two black dots is obtained as a negative voltage of room V1.
  • variable bias magnetic field The details of the operation when a positive magnetic field-side emphasized type or negative magnetic field-side emphasized magnetic field is used as the variable bias magnetic field are described below. If the detected external magnetic field to be measured is a positive magnetic field, the negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field This will be described with reference to FIGS. 4 to 6 as an example.
  • FIG. 4 shows the characteristics of the magnetic field strength when the measured magnetic field is a positive magnetic field and a positive magnetic field is applied as the output voltage difference as a result of applying a negative magnetic field-emphasized bias magnetic field.
  • the characteristics according to the magnetic field strength when a negative voltage is obtained as the voltage difference are shown.
  • the operation explanatory diagrams of FIGS. 5 and 6 have the same format as the diagram described in FIG.
  • FIG. 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the differential magnetic field strength and the external magnetic field strength to be measured, and shows the relationship between FIGS. 4 and 5 and the external magnetic field strength to be measured.
  • the polarity of the output voltage difference changes according to the magnetic field strength of the measured magnetic field.
  • the magnetic field strength corresponding to ⁇ ⁇ 2 of the external magnetic field to be measured shown in FIG. 4 is the output voltage difference obtained by the characteristics of the magnetic impedance element and the applied bias magnetic field (negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field) in the present embodiment. Positive voltage + ⁇ ⁇ Is what you get 2.
  • the characteristic corresponding to the position of the white circle shown on the impedance characteristic is exhibited by the negative magnetic field-emphasized bias magnetic field, but the magnetic field strength corresponding to ⁇ 2 as the external magnetic field
  • the characteristic moves from the white circle position shown on the impedance characteristic to the black circle position, and the external magnetic field becomes the difference between the two points of the positive magnetic field and the black magnetic circle located at the negative magnetic field.
  • the corresponding output is obtained as a voltage.
  • the differential output voltage obtained here is assumed to be a positive voltage as ⁇ V2. Conversely, if a measured external magnetic field having a magnetic field strength smaller than ⁇ 2 corresponding to ⁇ 3 shown in Fig.
  • the magneto-impedance element senses by the magneto-impedance element, the amount of movement from the white circle position to the black circle position on the impedance characteristic Is smaller than that in Fig. 4 and the polarity of the difference between the black circles is inverted, so that the output voltage difference is a negative voltage as one AV3.
  • the black circles on the impedance characteristics indicate the positive and negative magnetic field sides of the external magnetic field strength (horizontal axis) and the vertical axis direction. And the obtained output voltage difference becomes zero, and the external magnetic field strength to be measured exists.
  • the sensitivity to the magnetic field on the positive magnetic field side and the negative magnetic field side of the magnetic impedance element is not necessarily the same. Since this is not the case, the measurement accuracy may be degraded. Therefore, a positive / negative bias magnetic field with the same strength of the positive and negative magnetic fields may be used.
  • the operation when a negative magnetic field-side emphasized bias magnetic field or a positive magnetic field-side emphasized bias magnetic field having different degrees of enhancement of the magnetic field polarity is applied has been described. The following describes the effects that can be obtained uniquely in one embodiment of the present invention. .
  • the bias magnetic field if the magnetic field to be measured is a positive magnetic field, the bias magnetic field may be basically a negative magnetic field, but the impedance characteristic is a smooth curve without distortion in the characteristics near the zero magnetic field. This is the case of the characteristic showing
  • the impedance characteristic generally has an unstable characteristic region at the point where the magnetic field polarity changes near the external magnetic field strength of zero.
  • the impedance characteristic generally has an unstable characteristic region at the point where the magnetic field polarity changes near the external magnetic field strength of zero.
  • a bias magnetic field capable of applying a weakly strong positive magnetic field can avoid the unstable characteristic region. If the negative magnetic field side emphasis type is adopted and a positive magnetic field bias is to be applied, on the contrary, the bias magnetic field is set so that a weak magnetic field with a weak intensity can be applied to avoid the unstable characteristic region.
  • the positive field side emphasis type is adopted.
  • FIG. 7 shows a bias magnetic field applying method according to another embodiment of the present invention, in which two types of magnetic fields having different intensities are alternately generated on a positive magnetic field side and a negative magnetic field side as a variable bias magnetic field.
  • variable bias magnetic field generates a weak A magnetic field and a strong C magnetic field as a positive magnetic field, and generates a weak B magnetic field and a strong D magnetic field as a negative magnetic field.
  • the D magnetic field is generated periodically and sequentially.
  • a positive / negative uniform Piase magnetic field is obtained, and the A magnetic field and the B magnetic field are selectively combined.
  • a negative magnetic field-enhanced bias magnetic field is obtained, and when a C magnetic field and a D magnetic field are selected and combined, a positive magnetic field-enhanced bias magnetic field is obtained. Therefore, for example, the microcomputers 11 and 8 in FIG. 1 are used to control the cages 7 and 8, and when a magnetic field of the above combination is generated to obtain a required variable bias magnetic field, the output value is held and the difference is maintained. What is necessary is just to send the information to the operational amplifier 9.
  • the magnetic field to be measured is a positive magnetic field represented by ⁇ 1, and a bias magnetic field having a negative polarity is applied.
  • ⁇ V 11 a positive voltage of ⁇ V 11 is obtained as a differential output.
  • FIG. 8 is an operation diagram of a magnetic impedance element according to another embodiment when a negative magnetic field type bias magnetic field showing a rectangular wave is applied to the bias magnetic field with respect to the application time
  • FIG. FIG. 4B is an example showing a rectangular wave having a pulse shape and reaching a predetermined magnetic field intensity with rise and fall times with respect to the application time.
  • FIG. 9 is an operation diagram of a magnetic impedance element according to another embodiment when a negative magnetic field type bias magnetic field is applied, in which the bias magnetic field shows an AC waveform with respect to the application time.
  • FIG. 10 is a system configuration diagram of a magnetic detection device according to another embodiment of the present invention. The description of the same configuration and the same operation described in FIG. 1 will be omitted.
  • FIG. 10 three rows of resistors are arranged in the load switch 5a, and switches are added to each of two resistors. This switch is controlled via the microcomputer 11 in synchronization with a voltage cycle of a rectangular or AC bias voltage generated from the variable bias coil power supply 4.
  • the combination of opening and closing of the two switches in the load switch 5a can be two types: when both switches are open, when both switches are closed, when one of the switches is open and the other is closed. There are a total of four types, and the state of three parallel resistances, that is, the resistance value can be changed to four types. This makes it possible to set four types of currents flowing through the variable bias magnetic field coil 2 with one polarity.
  • the bias applied to the magneto-impedance element 1 As the magnetic field, four types of magnetic fields having the same strength as the positive magnetic field and the negative magnetic field can be generated.
  • FIG. 11 and FIG. 12 are explanatory diagrams of the operation of the magneto-impedance element for explaining another embodiment of the present invention, and have the same format as the diagrams described in FIG. 2 to FIG.
  • FIGS. 2 to 6 the method of generating a variable bias magnetic field having different degrees of enhancement of the magnetic field polarity and, when the measured magnetic field is a positive magnetic field, applying a negative magnetic field side enhanced bias magnetic field
  • a positive magnetic field side enhancement type bias magnetic field is applied.
  • the bias magnetic field must first be applied to the external magnetic field to be measured. By applying the bias magnetic field, the polarity of the external magnetic field to be measured can be determined.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram when a positive / negative uniform bias magnetic field is applied and ⁇ ⁇ 1, which is a positive magnetic field, exists as the magnetic field to be measured.
  • the positive magnetic field is used as the external magnetic field to be measured.
  • the characteristic moves to the positive magnetic field side to a position corresponding to the black circle on the impedance, one-dance characteristic obtained by adding the positive / negative uniform bias magnetic field and the external magnetic field to be measured.
  • the black circle moved from the white circle position on the negative magnetic field side of the impedance characteristic is located on the positive magnetic field side beyond the maximum value of the impedance characteristic, but the output due to the difference corresponding to the two black circle positions is obtained as voltage. Is the same.
  • the differential output voltage obtained here is a positive voltage of mm V12.
  • FIG. 12 shows a case where a positive / negative equal bias magnetic field is applied and a negative magnetic field of 1 ⁇ ⁇ 1 exists as a measured magnetic field.
  • the characteristic moves to the negative side to the position corresponding to.
  • the characteristic at the white circle position on the impedance characteristic on the positive magnetic field side moves to the black circle position on the impedance characteristic on the negative magnetic field side by sensing the negative external magnetic field to be measured.
  • a negative voltage of room V12 which has a polarity opposite to that when the positive external magnetic field to be measured in FIG. 11 is detected, is obtained.
  • the obtained differential output voltage is a positive voltage.
  • the external magnetic field to be measured detected is a negative magnetic field
  • the obtained differential output voltage is a negative voltage.
  • the polarity of the detected external magnetic field to be measured can be determined from the polarity of the obtained differential output voltage. Based on the result of determining the polarity of the detected external magnetic field to be measured, if the external magnetic field to be measured is a positive magnetic field, select the positive magnetic field-side-enhanced bias magnetic field in Figure 2; if the external magnetic field to be measured is a negative magnetic field, The negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field in Fig. 3 can be selected.
  • the magnetic field detection sensitivity of the magnetic impedance element from the output of the positive magnetic field side-emphasized bias magnetic field or the negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field having different degrees of enhancement of the magnetic field polarity from the positive / negative uniform bias magnetic field.
  • the difference between the output voltage value at the time of the positive / negative bias type and the output voltage value at the positive magnetic field side bias type bias is calculated to obtain the output for the known magnetic field
  • the magnetic field detection sensitivity of the magnetic impedance element is determined.
  • the force s at which the measurement current enters the overload region when the measurement current is 110 or more of the full scale of the measurement range is as follows. According to the JIS standard, it is ⁇ 5% in the rated current range of the electronic overload relay of 10 or less, and ⁇ 10% in the measured current of 110 or more of full scale. Stipulated.
  • a positive / negative bias magnetic field having a measurement error of about 12 less than that of a variable bias magnetic field having a different degree of enhancement of the magnetic field polarity is used.
  • FIG. 13 is a system configuration diagram of a magnetic detection device according to another embodiment of the present invention. 13, the same members as those in FIG. 10 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
  • the magnetic detection device system of this embodiment in FIG. 13 includes a magnetic detection element 100, a magnetic detector 101, a switch 14, a current normalizer 13, an A / D converter 10, and a microcomputer. It is composed of 1 1.
  • the switch 14 In order to detect the external magnetic field to be measured at another part, the switch 14 sends the detection results of the magnetic detection element 100 a and the magnetic detector 101 a to the microphone port computer 11 for processing. is there. Further, the switch 14 is not limited to the configuration shown in FIG.
  • the output from the differential amplifier 9 selected by 4 is amplified by the current normalizer 13 according to the current setting, connected to the analog input of the AZD converter 10, and the output is connected to the microcomputer 11 Control and measurement processing are performed.
  • the current normalizer 13 here is an amplifier whose amplification can be adjusted according to the current setting, and usually employs a configuration in which the amplification setting resistor of the operational amplifier is replaced with a variable resistor.
  • FIG. 14 shows a specific example in which the system configuration of the magnetic detection device of FIG. 13 showing the embodiment of the present invention is applied to, for example, an electronic overload relay.
  • R, S, and T which are phases of a power supply line 25 connected to a three-phase AC power supply (not shown), are connected to a motor 30 by a three-phase contactor 20 and a power supply.
  • the current detection device 103 is connected via the transformer 51 and detects the current of each of the R, S, and T phases of the power supply line 25.
  • the power supply transformer 51 has a two-phase arrangement configuration. The configuration is not limited to the example, and a configuration in which the components are arranged in each phase is also possible.
  • the three-phase contactor 20 has three sets of contacts 2 1, 2, 2, 3, and is directly connected to R, S, T, which is a different phase of the power supply line 25, or It is connected to the motor 30 through the primary winding of the supply transformer 51.
  • Each of the contacts 21, 22, and 23 in the three-phase contactor 20 is configured to be simultaneously driven by the electromagnetic coil 24.
  • the electromagnetic coil 24 is connected to the microphone computer 11 in the control circuit 41 and is controlled.
  • the electronic overload relay (electronic thermal relay) 40 includes a current detection device 103, a control circuit 41, and a power supply transformer 51.
  • the magnetic sensing elements 100 arranged in each of the phases R, S, and T of the power supply line 25 have impedance change characteristics proportional to the current flowing through the power supply line 25. It is converted to electric output by the magnetic detector 101.
  • the voltage output by the magnetic detector 101 obtained from each of the phases R, S, and T of the power supply line 25 is sequentially switched and selected by the switch 14, and the current normalizer 1 3.
  • the information is sent to the micro computer 11 via the AZD converter 10 as information.
  • the power supply transformer 51 has a first capacitor 54 connected through a rectifier diode 52 to a secondary winding disposed opposite to a primary winding which is a part of the power supply line 25, and is provided with a rectifier.
  • a protection diode 53 is connected between the anode side of the diode 52 and the circuit ground.
  • the first capacitor 54 is connected between the positive input of the voltage regulator 50 and the circuit ground, and a second capacitor 55 is connected between the positive input of the voltage regulator 50 and the circuit ground. It is configured to output a constant voltage VCC by the voltage regulator 50.
  • FIG. 15 is a schematic configuration diagram showing the current detection device 103 in FIG. 14 which is an embodiment of the present invention.
  • the configuration is such that the fixed substrate 61 is arranged at a position perpendicular to the direction of the current flowing through the wiring 60, and at a position on the fixed substrate 61 at which a magnetic field generated around by the current flowing through the wiring 60 can be detected.
  • the magnetic sensing element 100 is arranged and fixed. Information detected by the magnetic detection element 100 is sent to the magnetic detector 101 for processing, and a detection result is output.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a specific configuration example of the magnetic sensing element section, and is an embodiment using a thin film magnetic sensing element as a magnetic sensing element.
  • the device configuration is such that a thin-film magnetic impedance element 1 a is provided, and a resin bobbin 63 is manufactured by insert molding or the like on the outside.
  • the coil pobin is provided with pobin flanges 63a on both sides, and the coil 2a is wound around a winding frame portion 63b between the pobin flanges 63a.
  • the coil 2a is composed of a variable bias magnetic field coil 2 for applying a bias magnetic field to the thin film magnetic impedance element 1a and a negative feedback magnetic field coil 15 for applying a negative feedback magnetic field. I have. Further, in order to protect the thin film-shaped magneto-impedance element 1a, the coil 2a, and the like from the surrounding environment, components are housed in a resin case 64 manufactured by insert molding or the like.
  • the resin case 64 has three terminals 62 on one side (a total of six terminals on both sides), each of which has a terminal 62 for applying a high-frequency current to both ends of the thin-film magneto-impedance element 1a. There are a total of six terminals, two terminals 62 for passing current through the variable bias magnetic field coil 2 and two terminals 62 for passing current through the negative feedback magnetic field coil 15. The whole configured as described above is the magnetic sensing element 100.
  • the thin-film magnetic impedance element 1a can be manufactured to be about 1 mm square, the outer shape of the magnetic sensing element 100 can be manufactured to be about 5 mm square, so that the thin-film magnetic impedance element 1a can be manufactured.
  • the reluctance of the coil 2a can be greatly reduced.
  • the magnetic sensing element 100 having a total of six terminals is shown as an example. However, normally, two terminals 62 for applying a high-frequency current to the magneto-impedance element and a variable type
  • the basic configuration is a four-terminal configuration with two terminals 62 for flowing a current through the bias magnetic field coil 2. From the above, The configuration is not limited to the total of six terminals shown in 16 and may be any configuration as long as the total number of terminals is four or more. ..
  • FIG. 17 is an explanatory view of a mounting form of the magnetic sensing element 100 shown in FIG. 16 based on the schematic configuration diagram of FIG. 15.
  • FIG. 17 (a) is a perspective view, and FIG. It is a top view.
  • a magnetic sensing element 100 is mounted on a fixed substrate 61 having a wiring 60 for conducting current, as shown by a broken line in Fig. 17 (b).
  • the output sensitivity of the magnetic sensing element 100 is determined by the arrangement of the magnetic sensing element 100 with respect to the magnetic flux. The output sensitivity of the detection element 100 can be adjusted.
  • Figure 18 shows an example of a magnetic shield configuration.
  • FIG. 18 shows a case where a magnetic shield 70 is added to the mounting form of the magnetic detection element shown in FIG. 17 (a), and the shape is shown as an elliptical shape in the present embodiment. It is desirable to optimize according to the size, and the shape is not limited to this shape, but a circle, a rectangle, or a corner is an arc. A rectangle or a polygon may be used. Industrial potential
  • the bias magnetic field of the positive magnetic field or the positive magnetic field side enhancement type (mainly the positive magnetic field side) and the negative magnetic field or the negative magnetic field side enhancement type (mainly the negative magnetic field side) bias magnetic field are provided.
  • Two or more types of variable bias magnetic fields can be set, including the type. If the external magnetic field to be measured is a positive magnetic field, a negative magnetic field or negative magnetic field side-emphasized bias magnetic field is applied, and conversely, the external magnetic field to be measured is negative.
  • a device having a means for applying a positive magnetic field or a positive magnetic field side-emphasized bias magnetic field applies a conventional positive / negative uniform bias magnetic field to counteract the magnetic field.
  • variable bias magnetic field applying means capable of applying a positive / negative uniform bias magnetic field having a positive / negative uniform magnetic field range.
  • the sensitivity of the magnetic impedance element can be obtained by switching the three types of variable biases described above, so that changes in the sensitivity of the magnetic impedance element detection due to ambient environment characteristics and changes over time are detected. Correcting them can provide stable characteristics and provide an excellent magnetic detector with a long life.
  • the electronic overload relay when the measured current value is in the rated current measurement area or immediately after the power is turned on, a positive / negative uniform bias magnetic field is applied, and when the constant current value is in the overload area, On the other hand, a variable bias magnetic field with one magnetic field polarity or a different degree of magnetic field polarity enhancement was applied, so when the measurement current was small, or in the small current region immediately after the power was turned on and the measurement current was large.
  • the current measurement range can be expanded with a simple configuration without deteriorating the measurement accuracy in any of the current regions.

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Abstract

 磁気インピーダンス効果を利用した磁気インピーダンス素子を利用した磁気検出素子は、線形な出力を得るための条件と、線形な出力が得られる磁界の大きさは、磁気インピーダンス素子の特性に起因する。このため、限られた動作範囲内で検出感度を上げるために、交流バイアス磁界を磁気インピーダンス素子に印加する方法がとられているが、サーマルリレー等の過負荷電流保安装置への応用を考えた場合、電流検出範囲は狭く、実用に適していないといった欠点がある。そこで本発明は磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界としては、先ず正負均等のバイアス磁界を印加することにより、得られた出力の極性から被測定磁界の磁界極性を判断し、その判断された外部磁界極性に有効な磁界極性で、磁界強調程度が異なる可変型バイアス磁界を発生する構成とした。

Description

明細書
磁気検出装置 技術分野
この発明は、 磁気インピーダンス効果を利用した磁気インピーダンス 素子、 特にこのような磁気検出素子を用いた磁気検出装置および過負荷 電流保安装置 (過負荷継電器とも言う) に関する。 背景技術
従来、 磁気検出装置としてはホール素子や、 磁気抵抗素子が広く用い られているが、 検出感度の観点で満足できない。 そこで、 ホール素子や 磁気抵抗素子に代わる高感度な磁気検出素子として、 例えば特開平 0 6 - 2 8 1 7 1 2号公報に開示されているアモルファスワイヤによる磁気 インピーダンス素子や、 特開平 0 8— 0 7 5 8 3 5号公報に開示されて いる薄膜形状のものなどが提案されている。
しかしながら、 いずれの形状の磁気インピーダンス素子を用いる場合 でも、 高感度な磁気検知特性を示すが、 素子自身の磁気検知特性は、 例 えばアモルファスワイヤ素子の磁界に対するインピーダンス変化が、 図 1 9に示すように非線形性を有するため、 線形出力を得る,ことができな レ、。 このため、 特開平 9 - 1 2 7 2 1 8号公報に開示されそいる、 磁気 インピーダンス素子に交流バイアス磁界を印加する方法は、 交流パイァ ス磁界による正負発生磁界と被測定外部磁界との和から生ずる磁気イン ピーダンス素子の変化量の差から、 磁界に対する線形出力を得ることが できる。 磁界の正負極性に対して、 対象なインピーダンス特性を示す磁気ィン ピーダンス素子も開発されてお:,り、 図 2 0に示すような磁界に対するィ ンピーダンス特性を有している。
図 2 0は、 外部磁界ゼロでのバイアス磁界印加時動作説明図である。 図 2 0 ( a ) は、 感知される被測定外部磁界が無く、 磁気インピーダ ンス素子に正負磁界強度が均等なバイアス磁界を印加した場合の特性を 模式的に示した図である。
図 2 0 ( a ) 中には、 外部磁界強度の変化に対するインピーダンスの 変化と、 磁気インピーダンス素子に印加しているバイアス磁界の磁界強 度と印加時間による変化を表している部分を併記している。
. 外部磁界強度がゼロ付近でのインピーダンス特性は、 滑らかな曲線を 示す特性になっていないが、 磁界の極性が変化するボイントにあっては、 不安定な特性領域となることが一般的である。
また、 インピーダンス特性上に示されている白丸は、 正磁界と負磁界 を矩形波で周期的に振動するバイアス磁界による、 正と負の最大バイァ ス磁界値から得られるィンピーダンスの値であり、 磁気インピーダンス 素子に印加されている駆動用高周波電流との関係から出力としての電圧 が得られる。 この二点の出力電圧差を検出する。
このため、 感知される被測定外部磁界が無い場合には、 二点の出力電 圧は同一電圧であるため、 差はゼロであり、 差動増幅後の出力は図 2 0 ( b ) に示す通り、 ゼロとなる。
これに対し、 図 2 1は、 被測定外部磁界が存在する場合のバイアス印 加時動作説明図である。
図 2 1 ( a ) は、 被測定外部磁界として、 Δ Η 4の正磁界が感知され た場合の特性を示す模式図である。 インピーダンス特性上に示されてい る白丸は、 バイアスの正磁界と負磁界の最大値により得られるインピー ダンスの値であり、 外部磁界 Δ Η 4により、 黒丸の位置に移動する。 こ の振動するバイアス磁界の正磁 側と負磁界側とで得られる二点の黒丸 に対し、 負磁界側黒丸に相当する電圧値から正磁界側黒丸に相当する電 圧値を減じたことで表される方向により電圧極性を定義する。
従って、 得られる出力電圧差 (差動出力) は、 正電圧の A V 4となり、 被測定外部磁界 Δ Η 4が感知された時、 測定された差動増幅後の出力は、 図 2 1 ( b ) に示す通り、 差動増幅器の増幅率を Aとすると、 Ax厶 V 4が得られる。
また、 これらの技術の応用例として、 三相電動機に接触器を介して流 れる電流が、 安全な閾値を超えた時の状態を検出して電流を遮断する、 過負荷電流保安装置への展開が検討されている。 '
従来は、 パイメタルスィッチを用いた方式を使用していたが、 スイツ チが開放状態になる時点での電流調整が困難であり、 長時間の調整に誤 りが発生する可能性があった。
これらの問題を解決する方法として、 電子式回路を採用した電流検出 変圧器やホール素子あるいは磁気抵抗素子による用法があった。 しかし、 電流検出感度が低い上にセンサ部の大型化が避けられないといった問題 があった。
ところで、 前記した磁気ィンピーダンス素子を用いた方式において、 次に記すような問題点がある。
まず、 線形な出力を得るためには、 外部磁界に対する磁気インピーダ ンス素子の変化量が、 正磁界側と負磁界側とで対象の特性である必要が あり、 線形な出力が得られる磁界の大きさは、 磁気インピーダンス素子 の特性に起因する。 発明者によると、 交流バイアス磁界を用いた試作装 置での測定可能な磁界の大きさは、 検出定格の最小値に対して 5 0倍程 度までが検出可能な最大定格値である。 しかし、 応用例である過負荷電镩保安装置に対する電流検出器として は、 定格電流の 1 0倍.以上の電流計測の必要があることから、 磁気検出 として数百倍の検出範囲が必要となるとの問題点がある。
すなわち、 前述のように磁気インピーダンス素子の電流検出範囲は狭 く、 実用に適していないといった欠点があった。
そこで、 本発明の課題は、 上記問題点を解決し、 簡単な構成で磁界測 定範囲の広い磁気検出素子を提供することにある。 発明の開示
本発明は、 上記課題を解決するために、 以下の構成を採用した。
すなわち、 本発明の請求の範囲第 1項に記載の磁気検出装置は、 磁気 インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、 この磁気イン ピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、 磁 気インピーダンス素子に卷き回しされたバイァスコイルと、 バイアスコ ィルに低周波パイァス電流を印加するパイァス電流印加手段とを有し、 低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、 被測定 外部磁界とにより、 磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応 じた出力差から外部磁界を検出する装置において、
バイアス電流印加手段は、 強度の異なる磁界が時間変化する可変型パ ィァス磁界を設定でき、 被測定外部磁界の極性に応じて、 可変型バイァ ス磁界を選択して磁気インピーダンス素子に印加する。
この際に、 本発明の請求の範囲第 2項では、 磁気インピーダンス素子 に印加する磁界強度の種類が異なる可変型バイアス磁界は、 正負均等型 のバイアス磁界と、 正磁界型のバイアス磁界と、 負磁界型のバイアス磁 界と、 正磁界側強調型のバイアス磁界と、 負磁界側強調型のバイアス磁 界とであって、 正負均等型のバイアス磁界は、 正磁界側と負磁界側とが同一の強度で ある磁界を周期的に交互に発生する磁界であり、
正磁界型のバイァス磁界は、 正磁界の極性を持ち正磁界範囲内での異 なる磁界強 を周期的に交互に発生する磁界であり、
正磁界側強調型のバイアス磁界は、 磁界強度の異なる強い正磁界と弱 い負磁界を周期的に交互に発生することで構成された磁界極性の強調程 度が異なる磁界であり、
負磁界型のバイアス磁界は、 負の極性を持ち負磁界範囲内での異なる 磁界強度を周期的に交互に発生する磁界であり、
負磁界側強調型のバイアス磁界は、 強い負磁界と弱い正磁界を周期的 に交互に発生することで構成された磁界極性の強調程度が異なる磁界で める。
本発明の請求の範囲第 3項において、 磁気ィンピーダンス素子に印加 する可変型バイアス磁界は、 正磁界型のバイアス磁界と正磁界側強調型 のバイアス磁界のいずれか一方と、 負磁界型のバイアス磁界と負磁界側 強調型のパイァス磁界のいずれか一方との、 二種類の可変型バイアス磁 界が少なくとも設定可能であり、 被測定外部磁界の極性に応じて、 一方 の種類の可変型バイアス磁界を選択して磁気インピーダンス素子に印加 する。
また、 本発明の請求の範囲第 4項では、 可変型バイアス磁界'として、 正負均等型のパイァス磁界、 正磁界型のバイアス磁界と正磁界側強調型 のバイアス磁界とのいずれか一方、 負磁界型のバイアス磁界と負磁界側 強調型のバイアス磁界とのいずれか一方である三種類の可変型バイアス 磁界が少なく とも設定可能であり、
三種類の可変型バイアス磁界を含む少なく とも三つの可変型バイアス 磁界が選択的に設定でき、 この少なく とも三つの可変型バイアス磁界の うちの一つの可変型バイアス磁界'を、 被測定外部磁界の極性検知手段と して磁気インピーダンス素子に印加し、 検出結果に応じて可変型バイァ ス磁界の種類を選択して、 磁気インピーダンス素子に印加する。
この際、 本発明の請求の範囲第 5項では、 被測定外部磁界の極性検知 手段として正負均等型のバイアス磁界を用いることにする。 この場合、 可変型バイアス磁界と、 被測定外部磁界とにより、 磁気インピーダンス 素子のィンピーダンス変化に応じた出力差を電圧として出力し、 この出 力は、 被測定外部磁界が正磁界の場合には正電圧で、 逆に被測定磁界が 負の磁界の場合には、 負電圧であるため、 出力電圧の極性で被測定磁界 の極性を判断すること できる。
さらに、 本発明の請求の範囲第 6項では、 磁気インピーダンス素子に 印加するバイアス磁界は、 正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、 時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、 正磁界側と負磁界側 に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、 正負均等型の バイアス磁界、 正磁界側強調型のバイアス磁界、 あるいは本発明の請求 の範囲第 7項では、 負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定す ることが可能である。
さらに本発明の請求の範囲第 8項において、 可変型バイアス磁界は、 パルス波形を含む矩形波形式または交流波形式であっても良い。
また、 本発明の請求の範囲第 9項に記載の過負荷継電器において、 電 源から負荷装置への多相電流の供給を制御する装置であって、 磁気イン ピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、 この磁気インピー ダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、 磁気ィ ンピーダンス素子に卷回したバイァスコイルと、 バイアスコイルに低周 波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有し、 低周波パイ ァス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、 被測定外部磁界と により、 磁気ィンピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差 から外部磁界を検出する磁気検出器を備え、
被測定磁界を発生する被測定電流値が定格電流測定領域の場合または 装置の電源投入直後の場合には、 磁気インピーダンス素子に正負均等型 のバイアス磁界を印加し、 被測定電流値が過負荷領域の場合には、 正磁 界、 または負磁界のいずれか一方の極性を持つ正磁界型もしくは負磁界 型、 または磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型もしくは負磁界 側強調型のバイアス磁界のいずれかを磁気インピーダンス素子に印加す ることにする。
また、 本発明の請求の範囲第 1 0項に記載の過負荷継電器において、 磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、 正磁界側と負磁界 側のそれぞれにおいて、 時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、 正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することに より、 正負均等型のバイアス磁界、 '正磁界側強調型のバイアス磁界、 あ るいは負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定することが可能 な磁気検出素子を用いることにする。
さらに本発明の請求の範囲第 1 1項に記載の過負荷継電器において、 磁気インピーダンス素子に印加する可変型バイアス磁界は、 パルス波形 を含む矩形波形式または交流波形式であつても良い。
以上の構成による可変型バイアス磁界を磁気インピーダンス素子に印 加することで、 課題を解決す ものとしている。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の一実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図 図 2は、 本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で 正外部磁界の説明図 図 3は、 本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で 負外部磁界の説明図
図 4は、 本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説 明図で正外部磁界で正電圧出力を得る場合の特性説明図
図 5は、 本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説 明図で正外部磁界で負電圧出力を得る場合の特性説明図
図 6は、 本発明の一実施例に係る外部磁界強度と差動出力との関係 を示す説明図
図 7は、 本発明の別の実施例に係るバイアス磁界印加方法説明図 図 8は、 本発明の別の実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作 で矩形型バイアス印加時の説明図
図 9は、 本発明の別の実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作 で交流型バイアス印加時の説明図
図 1 0は、 本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成 図
図 1 1は、 本発明に係る別の実施例について説明する磁気インピー ダンス素子の動作で正外部磁界の説明図
図 1 2は、 本発明に係る別の実施例について説明する磁気インピーダ ンス素子の動作で負外部磁界の説明図
図 1 3は、 本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成 図
図 1 4は、 本発明の実施例に係る電子式過負荷継電器の構成図 図 1 5は、 本発明の実施形態に係る電流検出装置を示す概略構成図 図 1 6、 本発明の実施形態に係る磁気検出素子部の具体的構成例を示 す斜視図
図 1 7は、 本発明の実施形態に係る磁気検出素子の実装形態説明図 図 1 8は、 本発明の実施形態に係る磁気シールド構成斜視図
図 1 9は、 従来例を示すァモ:ルファスワイヤ素子の磁気インピーダン ス特牲説明図
図 2 0は、 従来例を示す外部磁界ゼロでのバイアス磁界印加時の動作 説明図
図 2 1は、 従来例を示すバイアス磁界印加時の動作説明図
(符号の説明)
1 · 磁気インピーダンス素子、
2 · 可変型バイアス磁界用コイル、
4 · 可変型パイァスコイル用電源、
5 · 負荷切換器、
5 a 負荷切換器、
1 1 マイクロコンピュータ、
1 2 極性検出器、
1 3 電流規格化器、
1 4 切換器、
4 0 電子式過負荷継電器、
1 0 0 磁気検出素子、
1 0 1 磁気検出器、
1 0 3 電流検出装置 発明を実施するための最良の形態
以下、'本発明に係る実施例の形態を図面に基づいて説明する。
図 1は本発明の一実施例に係る磁気検出装置のシステム構成である。 図 1においては、 磁気インピーダンス素子 1の両端には、 高周波駆動 電流を印加するための素子駆動用高周波電流発生器 3が接続されている t また、 磁気インピーダンス素子 1には、 可変型バイアス磁界用コイル 2が巻回され、 可変型バイアス.コイル用電源 4により、 可変型バイアス 磁界用コイル 2を駆動する。
可変型バイアスコイル用電源 4は、 通常は定電圧電源のため、 可変型 バイアス磁界用コイル 2との閉回路内の抵抗値を変化することで、 可変 型バイアス磁界用コイル 2に流れる電流値を容易に変化できる。 このた め、 抵抗値を変化させる負荷切換器 5を、 可変型バイアス磁界用コイル 2と可変型バイアスコイル用電源 4とで構成される回路内に配置するこ とで、 二種類のピーク強度が異なる可変型バイアス磁界を発生する構成 としている。
可変型バイアスコイル用電源 4からの出力が、 正負均等の電圧値を周 期的に発生される場合、 負荷切換器 5内スィツチが開状態での可変型パ ィァス磁界用コイル 2に流れる正負の電流値に対して、 負荷切換器 5内 スィッチを閉にすると、 抵抗値は小さくなるため、 正負の電流値が大き くなる。 従って、 可変型バイアスコイル用電源 4からの出力電圧値が一 定であっても、 正磁界側と負磁界側とが同一の強度である正負均等型パ ィァス磁界として、 二種類の異なる磁界強度の正負均等型バイアス磁界 を選択的に発生することができる。
また、 可変型バイアスコイル用電源 4から発生する正負均等値の電圧 周期に対し、 マイクロコンピュータ 1 1を介して、 負荷切換器 5内スィ ツチの開閉を同期動作きせることで、 磁界極性の強調程度が異なる正磁 界側強調型もしくは負磁界側強調型バイアス磁界を発生できる。
すなわち、 正磁界側強調型バイアス磁界を発生する場合においては、 可変型バイアスコィル用電源 4からの出力が正電圧の時に、 負荷切換器 5内スィッチを閉にして抵抗値を小さく し、 可変型バイアスコイル用電 源 4からの出力が負電圧の時には、 負荷切換器 5内スィツチを開にして 抵抗値を大きくする。 この動作により、 可変型バイアス磁界用コイル 2 に流れる電流は、 大きい正電流:と小さい負電流が周期的に流れ、 磁界強 度の異なる強い正磁界と弱い負磁界とを周期的に交互に発生する正磁界 側強調型バイアス磁界を印加できる。
また、 負磁界側強調型バイアス磁界は、 上記した正磁界側強調型パイ ァス磁界の発生手段に対して、 可変型パイァスコイル用電源 4から出力 される電圧極性と、 負荷切換器 5内スィツチ切換動作の閉と開の対応を 逆にすることで実現できる。
磁気インピーダンス素子 1に、 測定される外部磁界を感知すると、 磁 界強度が時間的変化をするバイアス磁界値と外部磁界値の和である磁界 値に対する、 磁気インピーダンス素子 1のインピーダンス変化から、 パ ィァス磁界に同期した電圧値変化をする出力電圧が得られる。
この出力電圧は、 ピーク値が重要であるため、 整流器 6により上限と 下限のピーク値のみを検出し、 その上限と下限の 2つの検出値を、 保持 器(上限値) 7と保持器 (下限値) 8に、 バイアス磁界に同時したタイミン グで保持する。
保持器 7 , 8に保持された値は、 差動増幅器 9により、 それぞれの値 の出力差を取って増幅し、 次いで AZ D変換器 1 0によりアナログ値を デジタル値に変換した後、 マイクロコンピュータ 1 1等で演算と制御と を行う。
詳細は後述するが、 本発明においては、 測定精度を高くするために、 被測定外部磁界が正磁界の場合には負側の可変型バイアス磁界を印加し、 逆に被測定外部磁界が負の場合には正側の可変型バイアス磁界を印加す る。 このため、 極性検出器 1 2により、 被測定外部磁界の極性を判断し、 この結果をマイクロコンピュータ 1 1で処理して、 選択した磁界極性強 調型バイアス磁界を発生させるために、 上述した通り負荷切換器 5内の スィツチ動作を制御する。
図 2および図 3は、 本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子 の動作説明図である。 なお、 図 2 0およぴ図 2 1で説明した同一の構成 および同一の作用に関してはその説明は省略する。
図 2は、 感知された被測定外部磁界が Δ Η 1で示される正磁界である 場合の説明図である。
図 2 ( a ) では、 感知された被測定外部磁界が正磁界のため、 可変型 バイアス磁界は、 強い負磁界と弱い正磁界とを印加時間に対して周期的 に交互に発生する負磁界側強調型バイアス磁界を印加する。 負磁界側強 調型バイアス磁界の正磁界側と負磁界側のそれぞれの最大値に相当する インピーダンス特性上に示されている白丸位置は、 外部磁界 Δ Η 1が加 算された位置としての、 インピーダンス特性上に示されている黒丸位置 に、 正磁界方向へ移動する。 この 2点の黒丸間の出力電圧差は、 図 2 1 ( a ) で記述した電圧極性方向の整合を図ると、 Δ V Iの正電圧として 得られる。
従って、 被測定外部磁界が正磁界の Δ Η 1 として感知された時、 例え ば図 1の磁気検出装置として測定された差動増幅後の出力は、 図 2 ( b ) に示す通り、 図 1の差動増幅器 9での増幅率を Aとすると、 Ax A V 1が得られる。
図 3は、 感知された被測定外部磁界が一 Δ Η 1で示される負磁界であ る場合の説明図である。
図 3 ( a ) では、 感知された被測定外部磁界が負磁界のため、 可変型 バイアス磁界は、 強い正磁界と弱い負磁界とを印加時間に対して周期的 に交互に発生する正磁界側強調型バイアス磁界を印加する。 正磁界側強 調型バイアス磁界の正磁界側と負磁界側のそれぞれの最大値に相当する 8493
13
インピーダンス特性上に示されている白丸位置は、 負の外部磁界一 Δ Η 1が加算された位置としての、 :インピーダンス特性上に示されている黒 丸位置に、 負磁界方向へ移動する。 この 2点の黒丸間の出力電圧差は、 —厶 V 1の負電圧として得られる。
従って、 被測定外部磁界が負磁界の— Δ Η 1 として感知された時、 例 えば図 1の磁気検出装置として測定された差動増幅後の出力は、 図 3
( b ) に示す通り、 図 1 の差動増幅器 9での増幅率を Aとすると、 Ax
( - A V 1 ) が得られる。
可変型バイアス磁界として、 正磁界側強調型あるいは負磁界側強調型 の磁界を用いた場合の動作の詳細を、 感知された被測定外部磁界が正磁 界の場合、 負磁界側強調型バイアス磁界を例として図 4から図 6にて説 明する。
図 4は、 被測定磁界が正磁界で、 負磁界側強調型バイアス磁界を印加 した結果、 出力電圧差として正電圧で得られる場合の磁界強度による特 性を示し、 図 5は、 逆に出力電圧差として負電圧で得られる場合の磁界 強度による特性を示す。 図 5およぴ図 6の動作説明図は、 図 2で説明し た図と同一形式である。
また、 図 6は、 被測定の外部磁界強度に対する差動出力の関係を示す 特性図であり、 図 4および図 5と被測定外部磁界強度との関係を表して いる。
'すなわち、 被測定磁界が正磁界であり、 負磁界側強調型バイアス磁界 を印加する場合であっても、 被測定磁界の磁界強度により出力電圧差の 極性が変化する。
図 4に示す被測定外部磁界の Δ Η 2に相当する磁界強度は、 本実施例 における磁気インピーダンス素子の特性および印加バイアス磁界 (負磁 界側強調型バイアス磁界) で得られる出力電圧差として、 正電圧 + Δ Υ 2を得るものである。 被測定外部磁界強度がゼロの場合には、 負磁界側 強調型バイアス磁界により、 インピーダンス特性上に示されている白丸 位置に相当する特性を示すが、 外部磁界として Δ Η 2に相当する磁界強 度の被測定外部磁界を感知すると、 インピーダンス特性上に示されてい る白丸位置から黒丸位置に特性が移動し、 外部磁界が正磁界と負磁界の それぞれに位置する黒丸の 2点間の差に相当する出力が、 電圧として得 られる。 ここで得られる差動出力電圧を Δ V 2として正の電圧とする。 逆に、 図 5に示す Δ Η 3に相当する Δ Η 2よりも小さな磁界強度の被 測定外部磁界が磁気インピーダンス素子により感知されると、 インピー ダンス特性上の白丸位置から黒丸位置への移動量は図 4に比べて小さく なり、 黒丸間の差に対する極性が反転するため、 出力電圧差は一 A V 3 としての負の電圧となる。
図 4または図 5のィンピーダンス特性図において、 被測定外部磁界の 磁界強度によっては、 インピーダンス特性上の黒丸が、 外部磁界強度 (横軸) の正磁界側と負磁界側とで、 縦軸方向の同位置となり、 得られ る出力電圧差がゼロになる、 被測定外部磁界強度が存在する。
この被測定外部磁界の強度を境界にして、 小さい磁界強度の被測定外 部磁界の場合には、 出力電圧差から得られる差動出力は負の電圧が得ら れ、 逆に大きい磁界強度の被測定外部磁界の場合には、 差動出力として 正の電圧が得られる。 この関係を図 6に示した。
したがって、 負磁界側強調型バイアス磁界あるいは正磁界側強調型パ ィァス磁界である磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアスを印加し た場合に得られる差動出力は、 図 6に示す通り、 負から正の電庄として 直線性のある出力が得られる。
しかしながら、 被測定外部磁界が非常に小さい場合には、 磁気インピ 一ダンス素子の正磁界側と負磁界側とで磁界に対する感度が必ずしも同 一ではないため、 測定精度が悪くなることがあるので、 正磁界と負磁界 の強度が同一である正負均等型バイアス磁界を使用する場合もある。 磁界極性の強調程度が異なる負磁界側強調型バイアス磁界あるいは正 磁界側強調型バイァス磁界を印加した場合の動作について説明したが、 以下に本発明の一実施例で特有に得られる効果を記述する。
バイアス磁界としては、 被測定磁界が正磁界の場合、 基本的にはパイ ァス磁界は負磁界であれば良いが、 インピーダンス特性で、 ゼロ磁界付 近の特性に歪が生じずに滑らかな曲線を示す特性の場合である。
しかし、 インピーダンス特性は、 図 2 0で説明した通り、 外部磁界強 度がゼロ付近の磁界極性が変化するポイントにあっては、 不安定な特性 領域となることが一般的であるため、 図 2においても一般的なインピー ダンス特性として記載した。
このため、 バイアス磁界としては、 インピーダンス特性の不安定領域 を避けるため、 負磁界バイアスを印加したい場合には、 不安定特性領域 を回避できるだけの、 弱い強度の正磁界も印加できるようなバイアス磁 界範囲とした、 負磁界側強調型を採用し、 逆に正磁界バイアスを印加し たい場合には、 不安定特性領域を回避できるだけの、 弱い強度の負磁界 も印加できるようなバイアス磁界範囲とした、 正磁界側強調型を採用し ている。
図 7には、 本発明の別の実施例に係るバイアス磁界印加方法であり、 可変型バイアス磁界として正磁界側と負磁界側で強度の異なる各 2種類 の磁界を交互に発生した場合の説明図である。
可変型バイアス磁界は、 正磁界としては、 強度の弱い A磁界と強度の 強い C磁界を発生し、 負磁界としては、 強度の弱い B磁界と強度の強い D磁界とを発生して、 本実施例においては、 A磁界、 B磁界、 C磁界、
D磁界を周期的に順番に発生している。 磁気インピーダンス素子に印加が必要な本発明による可変型バイアス 磁界としては、 B磁界と C磁界-とを選択して組み合わせると、 正負均等 型パイァス磁界となり、 A磁界と B磁界とを選択して組み合わせた場合 には、 負磁界強調型バイアス磁界であり、 C磁界と D磁界とを選択して 組み合わせた場合には、 正磁界強調型バイアス磁界となる。 したがって、 例えば、 図 1におけるマイクロコンピュータ 1 1により保持器 7、 8の 制御を行い、 必要な可変型バイアス磁界が得られるような上記組み合わ せの磁界が発生した時に、 出力値を保持して差動増幅器 9に情報を送れ ば良い。
図 8およぴ図 9は、 本発明の別の実施例に係る磁気インピーダンス素 子の動作説明図である。.本実施例においては、 インピーダンス特性に不 安定領域の無い滑らかな曲線を示す特性の場合、 被測定磁界が Δ Η 1で 表される正の磁界であり、 負の極性を示すバイアス磁界が印加され、 差 動出力として Δ V 1 1の正電圧が得られた場合の例である。
図 8は、 バイアス磁界が、 印加時間に対して、 矩形波を示す負磁界型 バイアス磁界を印加した場合の別の実施例に係る磁気インピーダンス素 子の動作図であり、 同図 (a ) はパルス状の矩形波、 同図 (b ) は印加 時間に対して立上がりと立下り時間を有して所定の磁界強度に到達する 矩形波を示す例である。
図 9は、 バイアス磁界が、 印加時間に対して交流波形を示す、 負磁界 型バイアス磁界を印加した場合の別の実施例に係る磁気インピーダンス 素子の動作図である。
図 1 0は、 本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図 である。 なお、 図 1.で説明した同一の構成および同一の作用に関しては、 その説明は省略する。 図 1 0においては、 負荷切換器 5 a内に抵抗が 3列配置されており、 そのうち 2個の抵抗のそれぞれにスィツチが付加されている。 このスィ ツチは、 可変型バイアスコイル用電源 4から発生するバイアス用の矩形 波形あるいは交流波形である電圧の周期に同期して、 マイクロコンピュ ータ 1 1を介して制御する。
負荷切換器 5 a内の 2つのスィツチの開閉の組み合わせは、 スィツチ が両方とも開の場合、 スィッチが両方閉の場合、 スィ ッチの一方は開で もう一方は閉の場合が 2種類とで、 合計 4種類あり、 3個の並列した抵 抗の状態、 すなわち抵抗値が 4種類に変化できる。 これにより、 可変型 バイアス磁界用コイル 2に流れる電流を一方の極性で 4種類設定するこ とが可能となる。
このため、 可変型バイアスコイル用電源 4からの出力電圧が、 正負均 等な電圧値を矩形波あるいは交流で周期的に発生されている場合にあつ ては、 磁気インピーダンス素子 1に印加されるバイアス磁界としては、 正磁界と負磁界とにそれぞれの強度が等しい 4種類の磁界を発生するこ とができる。
したがって、 正磁界と負磁界の強度が同一である 4種類の正負均等型 バイアス磁界が設定できる。 さらに、 正磁界に対して絶対値が異なる磁 界強度の負磁界を 3種類選択し、 正磁界を 4種類変化させることで、 合 計 1 2種類の磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型バイアス磁界 あるいは負磁界側強調型バイアス磁界を設定することが可能である。 こ れらの種種の可変型バイアス磁界は、 マイクロコンピュータ 1 1により 選択的な制御を行うものである。
また、 可変型バイアスコイル用電源 4からの出力電圧に直流成分を加 算あるいは減算して、 正負の異なる値の矩形波形あるいは交流波形であ る鼋圧を周期的に発生させることで、 負荷切換器 5 a内の抵抗値を切り 替えなくても、 磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型バイアス磁 界あるいは負磁界側強調型バイアス磁界を設定することが可能となり、 さらに負荷切換器 5 a内の抵抗値を切り替えることで、 可変型バイアス コイル用電源 4からの出力電圧として、 一定の電圧値である矩形波形あ るいは交流波形電圧に直流電圧成分を加算あるいは減算するのみで、 正 磁界と負磁界の強度比が異なる様々な可変型バイアス磁界を発生できる さらに、 マイクロコンピュータ 1 1の制御により、 周期ごとにランダ ムに様々な強度の磁界を発生することが可能であることは、 言うまでも ない。
図 1 1および図 1 2は、 本発明に関する別の実施例について説明する 磁気インピーダンス素子の動作説明図であり、 図 2から図 5で説明した 図と同一形式である。
上述の通り、 図 2から図 6において、 磁界極性の強調程度が異なる可 変型バイアス磁界の発生方法と、 被測定磁界が正磁界の場合には、 負磁 界側強調型バイアス磁界を印加し、 逆に被測定磁界が負磁界の場合には、 正磁界側強調型バイアス磁界を印加することについて説明してきた。 これらの磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型あるいは負磁界 側強調型バイアス磁界のどちらを選択するかを決めるためには、 被測定 外部磁界に対して、 バイアス磁界として、 先ず正負均等型バイアス磁界 を印加することにより、 被測定外部磁界の極性を判断することができる。 図 1 1は、 正負均等型バイアス磁界を印加し、 被測定磁界として正磁 界である Δ Η 1が存在した場合の説明図である。
インピーダンス特性と正負均等型バイアス磁界とから、 図示した正負 それぞれの磁界範囲におけるインピーダンス特性上の白丸位置に相当す る特性を示す (出力が得られる) 1 被測定外部磁界として正磁界であ る厶 H 1を感知した場合は、 正負均等型バイアス磁界と被測定外部磁界 との加算により得られるインピ,一ダンス特性上の黒丸に相当する位置に 特性が正磁界側へ移動する。 この時、 インピーダンス特性の負磁界側の 白丸位置から移動した黒丸は、.インピーダンス特性の最大値を乗り越え て正磁界側に位置するが、 二つの黒丸位置に相当する差による出力が電 圧として得られることは、 同様である。 ここで得られる差動出力電圧は、 厶 V 1 2の正電圧となる。
図 1 1 とは逆に、 図 1 2では、 正負均等バイアス磁界を印加し、 被測 定磁界として負磁界である一 Δ Η 1が存在した場合である。
図 1 2に示すインピーダンス特性においても、 正負均等型バイアス磁 界から得られるインピーダンス特性上の白丸位置から、 正負均等型パイ ァス磁界と被測定外部磁界との加算により得られるインピーダンス特性 上の黒丸に相当する位置に特性が負 ¾界側へ移動する。 この時、 正磁界 側のインピーダンス特性上にあった白丸位置の特性は、 負の被測定外部 磁界を感知することで、 負磁界側のインピーダンス特性上の黒丸位置に 移動するが、 二つの黒丸位置に相当する差かち得る差動出力電圧として は、 図 1 1の正の被測定外部磁界が検知された場合と逆の極性である、 ー厶 V 1 2の負電圧が得られる。
以上より、 磁気インピーダンス素子に正負均等型バイアス磁界を印加 した場合にあっては、 検知された被測定外部磁界が正磁界の場合には、 得られる差動出力電圧は、 正の電圧が得られる。 また、 逆に検知された 被測定外部磁界が負磁界の場合には、 得られる差動出力電圧は、 負の電 圧が得られる。
従って、 磁気インピーダンス素子に正負均等型バイアス磁界を印加し た場合、 得られた差動出力電圧の極性により、 検知した被測定外部磁界 の極性を判断できる。 検知した被測定外部磁界の極性を判断結果により、 被測定外部磁界が 正磁界の場合は、 図 2の正磁界側強調型バイアス磁界を選択し、 被測定 外部磁界が負磁界の場合には、 図 3の負磁界側強調型バイアス磁界を選 択できる。
さらに、 正負均等型バイアス磁界と磁界極性の強調程度が異なる正磁 界側強調型あるいは負磁界側強調型バイアス磁界の出力から、 磁気ィン ピーダンス素子の磁界検出感度を求めることが可能である。
例えば、 インピーダンス特性の片側の外部磁界極性における出力につ いて、 正負均等型バイアス時の出力電圧値と、 正磁界側強調型バイアス 時の出力電圧値の差を求めることで、 既知の磁界に対する出力である磁 気インピーダンス素子の磁界検出感度を求める方法とする。
また、 例えば電子式過負荷継電器 (サーマルリ レー) の場合には、 測 定電流が測定範囲のフルスケールの 1 1 0以上で過負荷領域となる力 s、 測定精度は、 測定電流がフルスケールの 1ノ1 0以下の電子式過負荷継 電器の定格電流領域では、 ± 5 %の範囲であり、 測定電流がフルスケー ルの 1 1 0以上では ± 1 0 %の範囲であると、 J I S規格により規定 されている。
このため、 精度の厳しい定格電流領域では、 磁界極性の強調程度が異 なる可変型バイアス磁界より 1 2程度測定誤差の少ない正負均等型バ ィァス磁界を用いる。
図 1 3は、 本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図 である。 図 1 3においては、 図 1 0と同一の部材には同一の符号を付し、 説明は省略する。
図 1 3における本実施例の磁気検出装置システムは、 磁気検出素子 1 0 0と磁気検出器 1 0 1と切換器 1 4と電流規格化器 1 3と A/ D変換 器 1 0とマイクロコンピュータ 1 1により構成されている。 本実施例は、 別の部位における被測定外部磁界を検出するため、 切換器 1 4により、 磁気検出素子 1 0 0 aと磁気検出器 1 0 1 aによる検出結果をマイク口 コンピュータ 1 1に送り、 処理する構成である。 また、 切換器 1 4は、 図 1 3に示される構成に限定されるものではなく、 必要測定部位の数に 合わせて複数の切換が行える構成も可能であることは、 言うまでもない: 切換器 1 4により選択された差動増幅器 9からの出力は、 電流規格化 器 1 3で電流設定に応じた増幅がなされ、 A Z D変換器 1 0のアナログ 入力に接続され、 出力はマイクロコンピュータ 1 1に接続され、 制御と 計測処理が行われる。
ここでの電流規格化器 1 3は、 電流設定に応じて増幅度が調整可能な 増幅器であり、 通常オペアンプの増幅度設定抵抗を可変抵抗に置き換え た構成が用いられる。
図 1 4は、 本発明の実施例を示す図 1 3の磁気検出装置のシステム構 成を例えば電子式過負荷継電器へ適用した場合の具体例である。
図 1 4では、 図示されていない三相交流電源に接続された電源供給線 2 5の各相である R、 S、 Tは、 電動機 3 0に対して三相接触器 2 0お よび電力供給変圧器 5 1を介して接続されており、 電流検出装置 1 0 3 は、 電源供給線 2 5の R、 S、 Tの各相ごとの電流を検知する。 本実施 例のように、 例えば電子式過負荷継電器においては、 一相欠相のみの検 出で十分であるため、 電力供給変圧器 5 1は、 二相分の配置構成として いるが、 上記実施例のものに限定されるものでなく、 各相に配置する構 成とすることも可能である。
三相接触器 2 0は、 三組の接点 2 1、 2 2、 2 3を有し、 それぞれ異 なる電源供給線 2 5の备相である R、 S、 Tに直接接続するか、 または 電力供給変圧器 5 1の一次卷線を通じて電動機 3 0に接続する。 三相接触器 2 0内の各接点 2 1、 2 2、 2 3は、 電磁コイル 2 4によ り同時に駆動する構成である。 電磁コイル 2 4は、 制御回路 4 1内のマ イク口コンピュータ 1 1に接続されていて、 制御される。
電子式過負荷継電器 (電子式サーマルリ レー) 4 0は、 電流検出装置 1 0 3と制御回路 4 1と電力供給変圧器 5 1 とにより構成されている。 電源供給線 2 5の各相である R、 S、 Tのそれぞれに配置された磁気 検出素子 1 0 0は、 電源供給線 2 5に流れる電流に比例したインピーダ ンス変化特性を有しており、 磁気検出器 1 0 1により電庄出力に変換さ れる。 電源供給線 2 5の各相である R、 S、 Tのそれぞれから得られた 磁気検出器 1 0 1による電圧出力は、 切換器 1 4により、 順次に切換選 択され、 電流規格化器 1 3、 AZ D変換器 1 0を介してマイクロコンビ ユータ 1 1に情報として送られる。
電力供給変圧器 5 1は、 電源供給線 2 5の一部である一次卷線に対向 して配置される二次卷線に整流ダイォード 5 2を介して第一コンデンサ 5 4が接続され、 整流ダイオード 5 2のアノード側と回路アース間には、 保護ダイオード 5 3が接続されている。 また、 第一コンデンサ 5 4は、 電圧調整器 5 0の正の入力と回路アース間に接続され、 さらに、 電圧調 整器 5 0の正の入力と回路アース間には第二コンデンサ 5 5が接続され、 電圧調整器 5 0により一定電圧値の V C Cを出力する構成である。
図 1 5は、 本発明の実施形態である図 1 4における電流検出装置 1 0 3を示す概略構成図である。
構成は、 配線 6 0に流れる電流方向に垂直な位置に、 固定基板 6 1を 配置し、 固定基板 6 1上で、 配線 6 0に流れる電流により周囲に発生す る磁界が検知可能な位置に、 磁気検出素子 1 0 0を配置し固定する。 磁 気検出素子 1 0 0により検知された情報は、 磁気検出器 1 0 1に送られ て処理し、 検出結果を出力する。 図 1 6は、 磁気検出素子部の具体的な構成例を示す斜視図であり、 特 に磁気検出素子として、 薄膜状磁気検出素チを用いた実施例である。 図 1 6において装置構成は、 薄膜状の磁気インピーダンス素子 1 aが あって、 その外側に樹脂製ボビン 6 3をインサート成形等で製作する。 コイルポビンは、 図示されている通り両側にポビン鍔 6 3 aが設けられ ており、 ポビン鍔 6 3 a間の卷枠部 6 3 bにコイル 2 aが卷回されてい る。 このコイル 2 aは、 薄膜状の磁気インピーダンス素子 1 aにパイァ ス磁界を印加するための可変型バイアス磁界用コイル 2と、 負帰還磁界 を印加するための負帰還磁界用コイル 1 5から成っている。 さらに薄膜 状の磁気インピーダンス素子 1 aやコイル 2 a等を周囲環境から保護す るため、.ィンサート成形等で製作する樹脂ケース 6 4内に構成部品が収 められている。 樹脂ケース 6 4からは、 端子 6 2が片側 3本 (両側で計 6本) 出されているが、 それぞれ、 薄膜状の磁気インピーダンス素子 1 a両端に高周波電流を印加するための端子 6 2が 2本、 可変型バイアス 磁界用コイル 2に電流を流すための端子 6 2が 2本、 負帰還磁界用コィ ル 1 5に電流を流すための端子 6 2が 2本の計 6本である。 以上により 構成された全体が、 磁気検出素子 1 0 0である。
薄膜状の磁気インピーダンス素子 1 aは、 1 m m角程度に製作が可能 であるため、 磁気検出素子 1 0 0の外形を 5 m m角程度で製作できるた め、 薄膜状の磁気インピーダンス素子 1 a とコイル 2 aの磁気抵抗を大 幅に低減できる。
なお、 図 1 6においては、 合計 6端子の磁気検出素子 1 0 0を実施例 として示したが、 通常は、 磁気インピーダンス素子に高周波電流を印加 するための端子 6 2が 2本と、 可変型バイアス磁界用コイル 2に電流を 流すための端子 6 2が 2本の計 4端子構成が基本である。 以上より、 図 1 6に示した合計 6本端子に限定されるものではなく、 端子数の合計が 4本以上の構成であれば良い。 ..
図 1 7は、 図 1 6に示した磁気検出素子 1 0 0を図 1 5の概略構成図 に基づいた実装形態説明図であり、 同図 (a ) は斜視図、 同図 (b ) は 上面図である。
図 1 7 ( a ) のように、 電流を導く配線 6 0を有する固定基板 6 1に 磁気検出素子 1 0 0を実装したもので、 電流により発生する同図 (b ) の破線で示すような磁束に対する磁気検出素子 1 0 0の配置により、 磁 気検出素子 1 0 0の出力感度が決定されるので、 磁気検出素子 1 0 0の 配置を考慮することで、 電流の大きさに応じた磁気検出素子 1 0 0の出 力感度調整が可能となる。
図 1 8は、 磁気シールド構成例を示す。
図 1 8は、 図 1 7 ( a ) に示す磁気検出素子の実装形態に磁気シール ド 7 0を付加したもので、 その形状は、 本実施例において楕円形状で示 されているが、 電流の大きさに応じて最適化することが望ましく、 本形 状に限定されるものではなく、 円形や矩形もしくはコーナーが円弧にな つている.矩形、 多角形でも良い。 産業上の利用の可能性
以上のように、 この発明によれば、 正磁界または正磁界側強調型 (主 に正磁界側) バイアス磁界と、 負磁界または負磁界側強調型 (主に負磁 界側) バイアス磁界の二種類を含む、 二種類以上の可変型バイアス磁界 を設定でき、 被測定外部磁界が正磁界の場合には、 負磁界または負磁界 側強調型バイアス磁界を印加し、 逆に被測定外部磁界が負磁界の場合に は、 正磁界または正磁界側強調型バイアス磁界を印加手段を有する装置 構成により、 従来からの正負均等のバイアス磁界を印加して、 磁界に対 してインピーダンス変化が大きい点で動作させて磁界に対する高感度応 答を得る特徴を維持したままで、 磁界測定範囲の拡大が可能となる。 また、 種類の異なる可変型バイアス磁界の切換は、 バイアス磁界印加 回路内の抵抗値の切換で可能なため、 簡単な装置で実現できる。
また、 上記に記載した二種類を含む可変型バイアス磁界に加えて、.正 負均等の磁界範囲を持つ正負均等型バイアス磁界を印加できる、 少なく とも H種類以上の可変型バイアス磁界印加手段を有する装置構成により、 正負均等型バイアス磁界を感知した測定外部磁界の極性検知手段にでき ることから、 別途に用意されていた極性検出器が必要なくなり、 測定電 流に最適なバイアス磁界の設定が可能であり、 構成が簡単でかつ安価に 磁気検出装置を提供できる。
上記に記載した三種類の可変型バイアスの切換が可能なことにより、 磁気ィンピーダンス素子の感度を求めることができるため、 周囲環境特 性や経時変化による磁気インピーダンス素子検出感度変化を検出して校 正することで、 安定した特性が得られ、 さらに寿命の長い優れた磁気検 出装置としての提.供が可能である。
さらに、 電子式過負荷継電器において、 測定電流値が定格電流測定領 域の場合または装置の電源投入直後の場合に正負均等型バイアス磁界を 印加し、 瑯定電流値が過負荷領域の場合には、 一方の磁界極性かあるい は磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアス磁界を印加することとし たので、 測定電流が小さい場合や装置電源投入直後での小電流領域と測 定電流が大きい大電流領域とのいずれも測定精度を低下させることなく、 簡単な構成で電流測定範囲の拡大が可能となる。

Claims

請求の範囲
1 . 磁気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、 前記 磁気インピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手 段と、 前記磁気インピーダンス素子に卷き回しされたバイアスコイルと、 前記バイアスコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加 手段とを有し、 前記低周波バイアス電流により磁界強度が変化するパイ ァス磁界と、 被測定外部磁界とにより、 前記磁気インピーダンス素子の インピーダンス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する磁気検出装 置 ίこおレ、て、
前記バイアス電流印加手段は、 強度の異なる磁界が時間変化する可変 型バイアス磁界を設定でき、 被測定外部磁界の極性に応じて、 前記可変 型バイアス磁界の磁界強度を選択して前記磁気ィンピーダンス素子に印 加することを特徴とする磁気検出装置。
2 . 前記磁気インピーダンス素子に印加する前記可変型バイアス磁界は、 正磁界型のバイアス磁界と、 負磁界型のバイアス磁界と、 正磁界側強調 型のバイアス磁界と、 負磁界側強調型のバイァス磁界とであって、 かつ、 前記正磁界型のバイアス磁界は正の極性を持つ磁界であり、 前記正磁界側強調型のバイアス磁界は磁界強度の異なる強い正磁界と 弱い負磁界により構成され磁界極性の強調程度が異なる磁界であり、 前記負磁界型のバイァス磁界は負の極性を持つ磁界であり、
前記負磁界側強調型のバイアス磁界は強い負磁界と弱い正磁界により 構成され磁界極性の強調程度が異なる磁界であることを特徴とする請求 の範囲第 1項に記載の磁気検出装置。
3 . 前記可変型バイアス磁界は、 前記正磁界型のバイアス磁界と前記正 磁界側強調型のバイアス磁界のうちいずれか一方と、 前記負磁界型のバ ィァス磁界と前記負磁界側強調型のバイアス磁界のうちいずれか一方と である、 二種類の可変型バイアス磁界を有し、 前記二種類の可変型パイ ァス磁界を含む少なくとも二つ,の前記可変型バイアス磁界を設定でき、 被測定外部磁界の極性に応じて、 前記可変型バイアス磁界の一種類を選 択して前記磁気インピーダンス素子に印加することを特徴とする請求の 範囲第 2項に記載の磁気検出装置。
4 . 正負均等型のバイアス磁界、 前記正磁界型のバイアス磁界と前記正 磁界側強調型のバイアス磁界とのうちいずれか一方、 前記負磁界型のパ ィァス磁界と前記負磁界側強調型のバイアス磁界とのうちいずれか一方 である三種類の可変型バイアス磁界を有し、
かつ、 前記正負均等型のバイアス磁界は、 正磁界側と負磁界側とが同 一の強度である磁界であって、
前記三種類の可変型バイアス磁界を含む少なく とも三つの前記可変型 バイアス磁界を設定でき、 この少なくとも三つの前記可変型バイアス磁 界のうちの一つの前記可変型バイアス磁界を、 被測定外部磁界の極性検 知手段として前記磁気インピーダンス素子に印加し、 検出結果に応じて 前記可変型バイアス磁界の種類を選択して、 前記磁気インピーダンス素 子に印加することを特徴とする請求の範囲第 2項に記載の磁気検出装置。 5 . 前記正負均等型のバイアス磁界を被測定外部磁界の極性検知手段と して用い、 前記正磁界側強調型と前記負磁界側強調型のバイアス磁界の うちいずれか一方と、 前記正磁界型と前記負磁界型のバイアス磁界のう ちいずれか一方とである二種類の可変型バイアス磁界のうち、 前記極性 検知手段の検知結果により特定した被測定外部磁界の極性により、 いず れか一種類の前記可変型バイアス磁界を選択して外部磁界の検出手段と して用いることを特徴とする請求の範囲第 4項に記載の磁気検出装置。 6 . 前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、 正磁 界側と負磁界側のそれぞれにおいて、 時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、 正磁界側と負磁界側 に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、 前記正磁界側 強調型、 または前記負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定す ることを特徴とする請求の範囲第 2項ないし第 5項のいずれか 1項に記 載の磁気検出装置。
+ 7 . 前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、 正磁界側 と負磁界側のそれぞれにおいて、 時間変化に伴い異なる磁界をランダム に発生し、 正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択 することにより、 前記正負均等型のバイアス磁界となるように設定する ことを特徴とする請求の範囲第 4項または第 5項に記載の磁気検出装置。
8 . 前記バイアスコイルに印加する前記低周波バイアス電流に応じて発 生する前記可変型バイアス磁界は、 矩形波形式または交流波形式である ことを特徴とする請求の範囲第 2項ないし第 7項のいずれか 1項に記載 の磁気検出装置。
9 . 電源から負荷装置への多相電流の供給を制御する装置であって、 磁 気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、 前記磁気ィ ンピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、 前記磁気インピーダンス素子に卷回したバイアスコイルと、 前記バイァ スコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有 し、 前記低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、 被測定外部磁界とにより、 前記磁気インピーダンス素子のインピーダン ス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する磁気検出器を備えた過負 ' 荷継電器において、
前記磁気検出器として請求の範囲第 2項に記載の磁気検出装置を用い、 被測定磁界を発生する被測定電流値が定格電流測定領域の場合もしくは 装置の電源投入直後には、 前記磁気インピーダンス素子に前記正負均等 型のバイアス磁界を印加し、 前記被測定電流値が過負荷領域の場合には. 正磁界または負磁界のいずれか-一方の極性を持つ前記正磁界型もしくは 前記負磁界型、 または磁界極性の強調程度が異なる前記正磁界側強調型 もしくは前記負磁界側強調型のバイアス磁界のいずれかを前記磁気ィン ピーダンス素子に印加することを特徴とする過負荷継電器。
1 0 . 前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、 正磁界 側と負磁界側のそれぞれにおいて、
時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、 正磁界側と負磁界側 に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、 前記正磁界側 強調型のバイアス磁界、 前記負磁界側強調型のバイアス磁界、 または前 記正負均等型のバイアス磁界となるように設定する磁気検出装置を用い たことを特徴とする請求の範囲第 9項に記載の過負荷継電器。
1 1 . 前記バイアスコイルに印加する前記低周波バイアス電流に応じて 発生する前記可変型バイアス磁界は、 矩形波形式または交流波形式であ る磁気検出装置を用いたことを特徴とする請求の範囲第 9項または第 1 0項に記載の過負荷継電器。
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