WO2003107095A1 - Vorrichtung zur positionierung eines optischen elementes in einer struktur - Google Patents

Vorrichtung zur positionierung eines optischen elementes in einer struktur Download PDF

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WO2003107095A1
WO2003107095A1 PCT/EP2003/006015 EP0306015W WO03107095A1 WO 2003107095 A1 WO2003107095 A1 WO 2003107095A1 EP 0306015 W EP0306015 W EP 0306015W WO 03107095 A1 WO03107095 A1 WO 03107095A1
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WO
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optical element
axis
connecting elements
axes
beam splitter
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Application number
PCT/EP2003/006015
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English (en)
French (fr)
Inventor
Ulrich Weber
Hubert Holderer
Dirk Rexhaeuser
Original Assignee
Carl Zeiss Smt Ag
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70258—Projection system adjustments, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of projection system
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003—Alignment of optical elements
    • G—PHYSICS
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
    • G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports

Definitions

  • the invention relates to a device for positioning an optical element in a structure in which the optical element is connected via connecting elements with the structure, and wherein the position of the optical element is adjustable by 'Versteilglieder.
  • the invention relates to a projection objective for microlithography, a beam splitter cube being provided as the optical element.
  • optical imaging devices e.g. a projection lens for microlithography
  • manufacturing and assembly tolerances inevitably occur, which lead to aberrations in the lens.
  • a positioning device for a lens is known from WO 99/66361, there being three degrees of freedom for positioning the lens.
  • the object of the present invention is to provide a device for positioning an optical element in a structure, in particular an optical element in a lens housing of a projection lens, which enables very precise positioning and adjustments in the beam path.
  • this object is achieved in that the connection elements are arranged in such a way and the adjustment connections are adjustable that the optical element can be tilted about three independent axes (x, y, z axis) and additionally in an axial direction (z axis) is translationally displaceable.
  • the positioning device thus has a total of four degrees of freedom, with which an optical element to be positioned or adjusted can be aligned very precisely in a variety of ways.
  • a beam splitter cube in a projection lens. While the beam splitter cube is from a light source, e.g. a laser, the outgoing light beam after passing through a reticel, which represents the object, is deflected by a beam splitter cube into a cantilever arm of the lens housing, the light beam then coming back from the cantilever arm is directed through the beam splitter cube in the direction of the imaging plane, namely a wafer.
  • a light source e.g. a laser
  • the beam splitter cube Since the beam splitter layer in the beam splitter area in the beam splitter cube now functions as a deflecting mirror for the light beam coming from the reticel, the beam splitter cube must be adjustable about two tilting axes that span the plane of the beam splitter layer in order to avoid angular errors between the optical axis in the beam path reticel to the beam splitter cube and the optical one To be able to compensate for the axis in the beam path of the boom. *
  • the outer surfaces should be as perpendicular as possible to the optical axes of the beam. stand.
  • a fine adjustment around a rotation or tilt axis perpendicular to the beam splitter layer plane or beam splitter surface is necessary.
  • the beam splitter layer plane must lie exactly at the intersection of the optical axes of the reticle and boom beam paths.
  • the beam splitter cube In order to be able to position the beam splitter layer precisely at the intersection, the beam splitter cube must also be able to be finely adjusted translationally perpendicular to the beam splitter layer plane.
  • the above-mentioned positions and adjustments can be achieved with the arrangement and configuration of the connecting elements and adjusting members according to the invention.
  • connection elements block the translation along an axis, and all axes of the translations blocked by the connection elements lie in a plane spanned by the tilting axes along which the optical element is not translationally displaceable, b) the axes of the translations blocked by the connecting elements are perpendicular to the axial direction in which the optical element can be displaced translationally, and c) the axes of the translations blocked by the connecting elements intersect at one point on an axis, along which the optical element is translationally displaceable.
  • the axes of the cut translation elements blocked at a point on an axis, along which the optical element is translationally displaceable and which passes through the intersection of the two tilting axes, along which the optical element is not translationally displaceable.
  • the plane in which the axes of the translations blocked by the connecting elements advantageously lie is the beam splitter surface of the beam splitter cube.
  • the optical axis along which the translational displacement is to take place is an axis that is perpendicular to the beam splitter surface.
  • the origin of the coordinate system is also on the plane of the beam splitter surface at the intersection of the optical axis of the reticle beam path with the optical axis of the cantilever beam path.
  • the three tilt axes advantageously intersect at the origin of the coordinate system.
  • the optical element is a mirror or a lens
  • the above-mentioned plane, in which the axes of the translations blocked by the connecting elements lie advantageously contains the vertex of the surface of the mirror or the lens.
  • One possible application of the solution according to the invention would be e.g. an elliptical mirror or a kidney-shaped mirror. The same applies to mirrors or lenses that are provided with a correction sphere.
  • Figure 1 is a schematic diagram with how a Projection lenses for microlithography
  • FIG. 2 shows an enlarged perspective view of a beam splitter cube provided with an adjusting and dividing device with a holding frame from the side;
  • Figure 3 shows the beam splitter cube according to Figure 2 in a perspective view from above;
  • Figure 4 is an enlarged perspective view of a connecting element
  • Figure 5 is an enlarged perspective view of an adjustment connection
  • Figure 6 is a perspective view with a translation shift
  • FIGS. 7 to 9 show different tilting possibilities
  • FIG. 10 shows an embodiment with a supporting frame
  • FIG. 11 shows an enlarged illustration of a connecting element according to FIG. 10,
  • FIG. 12 shows an enlarged illustration of an adjustment connection according to FIG. 10.
  • FIG. 1 shows a projection exposure system with a projection objective 1 for microlithography for the production of semiconductor elements.
  • It has an illumination system 2 with a laser, not shown, as the light source.
  • a reticle 3 In the object level of the project tion exposure system is a reticle 3, the structure of which is to be imaged on a correspondingly reduced scale on a wafer 4 arranged under the projection lens 1 and located in the image plane.
  • the projection objective 1 is provided with a first vertical objective part 1 a and a second horizontal objective part 1 b.
  • the lens part 1b there are a plurality of lenses 5 and a concave mirror 6, which are arranged in a lens housing 7 of the lens part 1b.
  • a beam splitter cube 21 is provided to deflect the projection beam (see arrow) from the vertical objective part la with a vertical optical axis 8 into the horizontal objective part lb with a horizontal optical axis 9.
  • the ⁇ / 4 plate 13 is located in the projection lens 1 between the reticle 3 and the beam splitter cube 21 behind a lens or lens group 16.
  • the ⁇ / 4 plate 14 is located in the beam path of the horizontal lens part 1b and the ⁇ / 4 plate 15 is located in the third lens part lc.
  • the three ⁇ / 4 plates serve to completely rotate the polarization once, which minimizes radiation losses, among other things.
  • the individual optical axes of the projection lens 1 are adjusted very precisely to one another when the lens is being built, so that they are parallel with sufficient accuracy or run perpendicular to one another, but due to tolerance inaccuracies or also due to errors still occurring during operation, alignment of the optical elements with the accuracy required for the intended applications is not always achievable, which leads to a corresponding deterioration in the imaging quality.
  • the beam splitter cube 21 is suitable for this purpose, which for this purpose is provided with an adjusting and adjusting device 17, which is described in more detail below.
  • FIGS. 2 to 9 show the beam splitter cube 21 provided with the adjusting and setting device 17 from FIG. 1 in an enlarged illustration with connecting elements 22 and adjusting connections 23.
  • the beam splitter cube 21 should now be able to be tilted relative to the fixed holding frame 24 about three mutually independent axes and be translationally or linearly displaceable in one direction.
  • the origin 25 of the coordinate system x, y, z lies on v the beam splitter surface or beam splitter plane 26.
  • the x-axis 27 is parallel to the longitudinal axis of the beam splitter cube 21 in the beam splitter plane 26, the y-axis 28 perpendicular to the x-axis 27, also in the beam splitter plane 26, and the z-axis 29 perpendicular to the beam splitter plane 26.
  • it In order to be able to adjust the beam splitter cube 21, it must be tiltable about the x-axis 27, the y-axis 28 and the z-axis 29 and be displaceable along the z-axis 29.
  • the beam splitter cube 21 is provided with two connecting elements 22 which are located in the corner regions of a longitudinal edge of the beam splitter cube 21.
  • the two Verstellanitatien 23 are located in corner regions of the longitudinal edge of the beam splitter cube 21, which is opposite to the longitudinal edge with the two 'connection elements 22nd.
  • the arrangement of the connecting elements 22 and the adjusting members 23 is only to be regarded as an example. In particular, the adjusting members 23 can also be provided elsewhere.
  • each connecting element 22 has two translational mobilities 30a and 30b and three rotational mobilities 31a, 31b and 31c. Due to the design of the connecting element 22 with a longitudinal rod 32 and a ball joint 33a and 33b attached to the rod end, the third linear displacement or translation possibility 30c, which runs in the direction of the longitudinal axis of the longitudinal rod 32, is recorded.
  • the two ball joints 33a and 33b result in an articulated connection or suspension of the beam splitter cube 21.
  • the connections with the ball joints 33a and 33b are only to be seen as examples. If necessary, solid joints such as e.g. Provide leaf spring-like devices with appropriate elasticity.
  • connection elements 22 are arranged such that the direction of the recorded translation option 30c is oriented perpendicular to the z-axis 29 (see Figure 2).
  • the fixed translation possibilities 30c of all connecting elements 22 must lie in the plane spanned by the x-tilting axis 27 and the y-tilting axis 28. Since the plane spanned by the x-axis 27 and the y-axis 28 is identical to the beam splitter plane 26 in the present exemplary embodiment, the fixed translation options 30c of the connecting elements 22 are also in the beam splitter plane 26.
  • the adjustment connections 23 have a translational mobility 34a and three rotational mobilities 35a, 35b, 35c, while the translational options 34b and 34c have adjusting elements to be discussed (in FIG 5, for example, by the set screws 40a, 40b, 40c, 40d) are held in the adjustment connections 23 in the idle state.
  • the adjustment connections 23 can be adjusted in the translation directions 34b and 34c, whereby the beam splitter cube 21 can be moved and tilted in the desired manner.
  • FIG. 5 also shows such an example Adjustment connection 23 shown. It has a ball joint 36 which connects the beam splitter cube 21 to a triangular plate 37. At the base of the triangular plate 37 there is a hinge 38 with an attached sliding block 39 which is guided in the holding frame 24 in one direction.
  • the sliding block 39 can be displaced linearly or translationally with adjusting members in the form of adjusting screws 40a, 40b, 40c, 40d relative to the holding frame 24 in the mutually perpendicular translational mobility 34c and 34b.
  • each adjustment connection 23 with two adjustment members can alternatively be used, in which case each adjustment connection must then have two translational mobility and three rotational mobility and the third translational mobility can be adjusted by an adjustment member (not shown).
  • the beam splitting cubes 21 can move in two degrees of freedom with respect to the holding frame 24 without actuation of the adjusting members in the adjusting connections 23.
  • the adjustment connections 23 must be arranged in such a way that these two degrees of freedom are not associated with the tilting around the x-axis 27, the y-axis 28 and the z-axis 29 and the translational displacement along the z-axis 29 or with a combination of these Movements coincide so that forces and moments that act in these directions of movement can be supported.
  • Adjustment connections 23 with the adjustment members namely the Adjusting screws 40a and 40c can be moved in the same direction in direction 34b.
  • the adjusting screws 40a and 40c must be adjusted accordingly.
  • the beam splitter cube 21 tilts about the y-axis 28, as can be seen from FIG.
  • the beam splitter cube 21 is tilted about the x-axis 27 when both adjustment connections 23 are shifted in the same direction in the direction 34c.
  • the adjusting elements namely the adjusting screws 40b and 40d, are actuated accordingly.
  • the two adjustment connections 23 In order to tilt the beam splitter cube 21 about the z-axis 29, the two adjustment connections 23 have to be displaced in opposite directions in the direction 34c, as is shown by the arrows in FIG.
  • the adjustment connections 23 or the adjustment elements can be adjusted manually, by motor, pneumatically, hydraulically, electromagnetically, piezoelectrically or agnetostrictively
  • Figure 10 shows an embodiment of the device with a support frame 41 and connecting elements 22 and adjustment connections 23, in which the joints are designed as solid or spring joints.
  • the beam splitter cube 21 is contained in the support frame 41, which is carried by the connection elements 22 and the adjustment connections 23 in the holding frame 24.
  • the beam splitter layer 26 can be recognized as a line on the beam splitter cube 21.
  • FIG. 11 shows a connection element 22 according to FIG. 10 in an enlarged representation. It connects the support frame 41, in which the beam splitter cube 21 is held, to the holding frame 24.
  • the contact of the connecting element 22 with the support frame 41 has translational mobility along the axis 30a and rotational mobility about the axis 31b.
  • a leaf spring hinge 43 of the contact By bending a leaf spring hinge 43 of the contact has the 'connection element 22 a translatory movement along the axis 30b, and a rotation movement along the axis 31a.
  • the torsion of the leaf spring joints 42 and 43 results in a rotational mobility about the axis 31c for the contact of the connecting element 22 with the support frame 41, so that the connecting element with the leaf spring joints 42 and 43 has the same mobility as that from the longitudinal rod 32 and the two ball joints 33a and 33b (see Figure 4) has composite connecting element.
  • the connecting element 22 is translationally rigid only along the axis 30c.
  • FIG. 12 an adjustment connection 23 according to FIG. 10 with solid-state joints is shown in an enlarged representation.
  • a leaf spring 44 By bending a leaf spring 44, the contact of the adjustment link 23 with the support frame 41 is given translational mobility along the axis 34a and rotational mobility about the axis 35c.
  • the triangular plate 37 and the hinge 38 formed adjustment connection (see FIG. 5), a block 45 adjoining the leaf spring 44 (the analog component to the sliding block 39 of the already described embodiment) via leaf springs 46a and 46b on actuating levers 47a and 47b mounted, so that when the adjusting levers 47a and 47b are held in the intersection of the extensions of the leaf springs 46a and 46b, there is a momentary rotation pole with the axis of rotation 35a.
  • An adjusting lever 47a is supported by a leaf spring 48a in the part of the adjustment connection 23 which is firmly connected to the holding frame 24.
  • the adjusting lever 47a can be adjusted with the adjusting screws 40a and 40b, the leaf spring 46a transmitting the adjustment to the block 45 and thereby triggering a movement of the support frame 41 or of the beam splitter cube 21.
  • an adjusting lever 47b is mounted via a leaf spring 48b in the part of the adjustment connection 23 which is firmly connected to the holding frame 24.
  • the adjusting lever 47b can be adjusted with the adjusting screws 40c and 40d (adjusting screw 40d is not visible because it is covered. It presses the adjusting lever 47b with respect to the adjusting screw 40c.), The leaf spring 46b transmitting the adjustment to the block 45 and thereby one Movement of the support frame 41 or the beam splitter cube 21 is triggered.
  • both actuating levers 47a and 47b together with the leaf spring joints 46a, 46b, 48a, 48b are rotated by 45 ° with respect to the displacement directions 34b and 34c, both actuating levers must be actuated at the same time in order to achieve a pure displacement along the direction of 34b or get 34c.
  • the adjusting levers 47a and 47b To move the block 45, the adjusting levers 47a and 47b must be moved inwards or outwards at the same time.

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Abstract

In einer Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Ele­mentes (21) in einer Struktur, insbesondere in einem Objektivgehäuse eines Projektionsobjektives (1) für die Mikrolithographie, ist das optische Element (21) über Anbindungselemente (22) mit der Struktur verbunden. Die Position des optischen Elementes (21) wird durch Verstellanbindungen (23) eingestellt. Die Anbindungselemente (22) sind derart angeordnet und die Verstellanbindungen (23) derart betätigbar, dass das optische Element (21) in drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.

Description

Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Elementes in einer Struktur
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Elementes in einer Struktur, wobei das optische Element über Anbindungselemente mit der Struktur verbunden ist, und wobei die Position des optischen Elementes durch' Versteilglieder einstellbar ist. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie, wobei als optisches Element ein Strahlteilerwürfel vorgesehen ist.
Beim Zusammenbau von optischen Abbildungsvorrichtungen, z.B. einem Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie, treten zwangsläufig Fertigungs- und Montagetoleranzen auf, die zu Abbildungsfehlern im Objektiv führen. Zum Ausgleich dieser Toleranzen ist es bekannt, ein oder mehrere optische Elemente in dem Objektiv entsprechend neu zu positionieren. Gleiches gilt auch für optische Elemente, die sehr exakt im Strahlengang justiert sein müssen.
Aus der DE 199 01 295 AI ist es z.B. bekannt, zum Ausgleich von Fertigungs- und Montagetoleranzen sowie zur Korrektur von Abbildungsfehlern ein oder mehrere optische Elemente zur optischen Achse zu verschieben.
Aus der WO 99/66361 ist eine Positioniereinrichtung für eine Linse bekannt, wobei drei Freiheitsgrade zur Positionierung der Linse vorhanden sind.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Elementes in einer Struktur zu schaffen, insbesondere einem optischen Element in einem Objektivgehäuse eines Projektionsobjektives, das sehr genaue Positionierungen und Justierungen im Strahlengang ermöglicht. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Anbindungselemente derart angeordnet und die Verstellanbindungen derart verstellbar sind, daß das optische Element um drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.
Die erfindungsgemäße Positionierungsvorrichtung besitzt somit insgesamt vier Freiheitsgrade, womit sich ein zu positionierendes bzw. zu justierendes optisches Element auf vielfältige Weise sehr präzise ausrichten läßt.
Dies gilt z.B. unter anderem für einen Strahlteilerwürfel in einem Projektionsobjektiv. Während der Strahlteilerwürfel einen von einer Lichtquelle, z.B. einem Laser, ausgehenden Lichtstrahl nach Durchgang durch ein Reticel, das das Objekt darstellt, durch einen Strahlteilerwürfel (beam splitter cu- be) in einen Auslegerarm des Objektivgehäuses umlenkt, wird der anschließend aus dem Auslegerarm zurückkommende Lichtstrahl durch den Strahlteilerwürfel in Richtung auf die Abbildungsebene, nämlich einem Wafer, hindurchgelassen.
Da nun die Strahlteilerschicht in der Strahlteilerfläche im Strahlteilerwürfel für den vom Reticel kommenden Lichtstrahl als Umlenkspiegel fungiert, muß der Strahlteilerwürfel um zwei Kippachsen justiert werden können, die die Ebene der Strahlteilerschicht aufspannen, um Winkelfehler zwischen der optischen Achse im Strahlengang Reticel zu Strahlteilerwürfel und der optischen Achse im Strahlengang des Auslegers ausgleichen zu können. *
Damit dabei der Lichtstrahl an den Außenflächen, z.B. der 0- berseite, Vorderseite und der Hinterseite, des Strahlteiler- würfeis nicht zu stark abgelenkt wird, sollen die Außenflächen möglichst senkrecht zu den optischen Achsen des Strah- lenganges stehen. Um nun auch die Außenflächen auf die optischen Achsen einjustieren zu können, ist eine Feinjustage um eine Dreh- bzw. Kippachse senkrecht zur Strahlteilerschichtebene bzw. Strahlteilerfläche notwendig.
Damit nun der vom Retikel auf den Strahlteilerwürfel auftreffende Lichtstrahl exakt auf die optische Achse des Strahlenganges in den Ausleger umgelenkt wird, muß die Strahlteilerschichtebene genau im Schnittpunkt der optischen Achsen von Reticel- und Auslegerstrahlengang liegen. Um die Strahlteilerschicht genau auf den Schnittpunkt positionieren zu können, muß zusätzlich der Strahlteilerwürfel translatorisch senkrecht zur Strahlteilerschichtebene feinjustiert werden können.
Erfindungsgemäß lassen sich die vorstehend genannten Positionierungen und Justierungen mit der erfindungsgemäßen Anordnung und Ausgestaltung der Anbindungselemente und Versteilglieder erreichen.
In einer bevorzugten Ausgestaltung kann dabei vorgesehen sein, daß a) die Anbindungselemente jeweils die Translation entlang einer Achse sperren, und alle Achsen der von den Anbindungs- elementen gesperrten Translationen in einer Ebene liegen, die von den Kippachsen aufgespannt ist, entlang derer das optische Element nicht translatorisch verschiebbar ist, b) die Achsen der von den Anbindungselementen gesperrten Translationen senkrecht zu der Achsrichtung liegen, in der das optische Element translatorisch verschiebbar ist, und c) die Achsen der von den Anbindungselementen gesperrten Translationen sich in einem Punkt auf einer Achse schneiden, entlang der das optische Element translatorisch verschiebbar ist.
Zusätzlich können sich dabei die Achsen der von den Anbin- dungs-elementen gesperrten Translationen in einem Punkt auf einer Achse schneiden, entlang der das optische Element translatorisch verschiebbar ist und die durch den Schnittpunkt der beiden Kippachsen geht, entlang derer das optische Element nicht translatorisch verschiebbar ist.
Bei einem Strahlteilerwürfel als optischem Element ist dabei die Ebene, in der günstigerweise die Achsen der von den Anbindungselementen gesperrten Translationen liegen die Strahl- teilerfläche des Strahlteilerwürfels. Die optische Achse, längs der die translatorische Verschiebung erfolgen soll, ist dabei eine Achse, die senkrecht zur Strahlteilerfläche steht. Der Ursprung des Koordinatensystems befindet sich dabei ebenfalls auf der Ebene der Strahlteilerfläche im Schnittpunkt der optischen Achse vom Retikelstrahlengang mit der optischen Achse des Auslegerstrahlengangs. Dabei schneiden sich die drei Kippachsen günstigerweise im Ursprung des Koordinatensystems .
Wenn das optische Element ein Spiegel ist oder eine Linse, dann enthält die vorstehend genannte Ebene, in der die Achsen der von den Anbindungselementen gesperrten Translationen liegen, günstigerweise den Scheitelpunkt der Oberfläche des Spiegels bzw. der Linse. Eine Einsatzmöglichkeit der erfin- dungsgemäßen Lösung wäre z.B. ein elliptischer Spiegel oder ein nierenförmiger Spiegel. Gleiches gilt für Spiegel oder Linsen, die mit einer Korrekturasphäre versehen sind.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfin- dung ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen und aus dem nachfolgend anhand der Zeichnung prinzipmäßig beschriebenen Ausführungsbeispiel .
Es zeigt:
Figur 1 eine Prinzipdarstellung mit Funktionsweise eines Projektionsobjektives für die Mikrolithographie;
Figur 2 eine vergrößerte perspektivische Darstellung eines mit einer Verstell- und Einsteileinrichtung verse- henen Strahlteilerwürfels mit einem Haltegestell von der Seite;
Figur 3 den Strahlteilerwürfel nach der Figur 2 in perspektivischer Darstellung von oben;
Figur 4 eine vergrößerte perspektivische Darstellung eines Anbindungselementes ;
Figur 5 eine vergrößerte perspektivische Darstellung einer Verstellanbindung;
Figur 6 eine perspektivische Darstellung mit einer Translations erschiebung;
Figuren 7 bis 9 Darstellung verschiedener Kippmöglichkeiten,
Figur 10 eine Ausführungsform mit einem Tragrahmen,
Figur 11 eine vergrößerte Darstellung eines Anbindungsele- mentes nach Figur 10, und
Figur 12 eine vergrößerte Darstellung einer Verstellanbindung nach der Figur 10.
In der Figur 1 ist prinzipmäßig eine Projektionsbelichtungs- anlage mit einem Projektionsobjektiv 1 für die Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen dargestellt.
Es weist ein Beleuchtungssystem 2 mit einem nicht dargestell- ten Laser als Lichtquelle auf. In der Objektebene der Projek- tionsbelichtungsanlage befindet sich ein Retikel 3, dessen Struktur auf einen unter dem Projektionsobjektiv 1 angeordneten Wafer 4, der sich in der Bildebene befindet, in entsprechend verkleinertem Maßstab abgebildet werden soll.
Das Projektionsobjektiv 1 ist mit einem ersten vertikalen Objektivteil la und einem zweiten horizontalen Objektivteil lb, versehen. In dem Objektivteil lb befinden sich mehrere Linsen 5 und ein Konkavspiegel 6, welche in einem Objektivgehäuse 7 des Objektivteiles lb angeordnet sind. Zur Umlenkung des Projektionsstrahles (siehe Pfeil) von dem vertikalen Objektivteil la mit einer vertikalen optischen Achse 8 in das horizontale Objektivteil lb mit einer horizontalen optischen Achse 9 ist ein Strahlteilerwürfel 21 vorgesehen.
Nach Reflexion der Strahlen an dem Konkavspiegel 6 und einem nachfolgenden Durchtritt durch den Strahlteilerwürfel 21 treffen diese auf einen Umlenkspiegel 10. An dem Umlenkspiegel 10 erfolgt eine Ablenkung des horizontalen Strahlengangs 9 wiederum in eine vertikale optische Achse 11. Unterhalb des Umlenkspiegels 10 befindet sich ein drittes vertikales Objektivteil lc mit einer weiteren Linsengruppe 12. Zusätzlich befinden sich im Strahlengang noch drei λ/4-Platten 13, 14 und
15. Die λ/4-Platte 13 befindet sich in dem Projektionsobjek- tiv 1 zwischen dem Retikel 3 und dem Strahlteilerwürfel 21 hinter einer Linse oder Linsengruppe 16. Die λ/4-Platte 14 befindet sich im Strahlengang des horizontalen Objektivteiles lb und die λ/4-Platte 15 befindet sich in dem dritten Objektivteil lc. Die drei λ/4-Platten dienen dazu die Polarisation einmal vollständig zu drehen, wodurch unter anderem Strahlenverluste minimiert werden.
Die einzelnen optischen Achsen des Projektionsobjektives 1 sind zwar beim Aufbau des Objektives sehr exakt zueinander justiert, so daß sie mit ausreichender Genauigkeit parallel bzw. senkrecht zueinander verlaufen, aber durch Toleranzunge- nauigkeiten oder aber auch durch im Betrieb noch auftretende Fehler ist eine Ausrichtung der optischen Elemente mit der für die vorgesehenen Anwendungsfälle geforderten Genauigkeit nicht immer erreichbar, was zu einer entsprechenden Verschlechterung der Abbildungsqualität führt.
Zur Erhöhung der Abbildungsqualität sind deshalb Maßnahmen zu treffen, um in entsprechender Weise hierfür geeignete opti- sehe Elemente in dem Projektionsobjektiv 1 exakt zu positionieren und zu justieren. Hierfür ist unter anderem der Strahlteilerwürfel 21 geeignet, welcher hierzu mit einer Verstell- und EinStelleinrichtung 17 versehen ist, welche nachfolgend näher beschrieben ist.
In den Figuren 2 bis 9 ist der mit der Verstell- und Einstell-einrichtung 17 versehene Strahlteilerwürfel 21 aus der Figur 1 in vergrößerter Darstellung mit Anbindungselementen 22 und Verstellanbindungen 23 ersichtlich. Die Anbin- dungselemente 22 und die Verstellanbidnungen 23, welche auf einer Seite mit dem Strahlteilerwürfel 21 verbunden sind, stellen die Verbindung des Strahlteilerwürfels 21 zu einem feststehenden Haltegestell 24 her, welches in nicht näher dargestellter Weise mit dem Objektivgehäuse des Projektions- objektives 1 verbunden ist.
Der Strahlteilerwürfel 21 soll nun gegenüber dem feststehenden Haltegestell 24 um drei voneinander unabhängige Achsen gekippt und in eine Richtung translatorisch bzw. linear ver- schoben werden können. Hierzu liegt der Ursprung 25 des Koordinatensystems x, y, z auf vder Strahlteilerfläche bzw. Strahlteilerebene 26. Dabei befindet sich die x-Achse 27 parallel zur Längsachse des Strahlteilerwürfels 21 in der Strahlteilerebene 26, die y-Achse 28 senkrecht zur x-Achse 27, ebenfalls in der Strahlteilerebene 26, und die z-Achse 29 senkrecht zur Strahlteilereebene 26. Um den Strahlteilerwürfel 21 justieren zu können, muß er um die x-Achse 27, die y-Achse 28 und die z-Achse 29 gekippt und entlang der z-Achse 29 verschoben werden können.
Wie ersichtlich, ist der Strahlteilerwürfel 21 mit zwei An- bindungselmenten 22 versehen, die sich in den Eckbereichen einer Längskante des Strahlteilerwürfels 21 befinden. Die beiden Verstellanbindungen 23 befinden sich in Eckbereichen der Längskante des Strahlteilerwürfels 21, die der Längskante mit den beiden 'Anbindungselementen 22 gegenüberliegt. Selbstverständlich ist die Anordnung der Anbindungselemente 22 und der Versteilglieder 23 nur als Beispiel anzusehen. Insbesondere die Verstellglieder 23 können auch an anderer Stelle vorgesehen sein.
Wie aus der vergrößerten Darstellung in der Figur 4 ersichtlich ist, weist jedes Anbindungselement 22 zwei Translationsbeweglichkeiten 30a und 30b und drei Rotationsbeweglichkeiten 31a, 31b und 31c auf. Aufgrund der Ausgestaltung des Anbin- dungselementes 22 mit einem Längsstab 32 und einem jeweils am Stabende angebrachten Kugelgelenk 33a und 33b ist die dritte lineare Verschiebemöglichkeit bzw. Translationsmöglichkeit 30c, die in Richtung der Längsachse des Längsstabes 32 ver- läuft, festgehalten. Durch die beiden Kugelgelenke 33a und 33b ergibt sich eine gelenkige Verbindung bzw. Aufhängung des Strahlteilerwürfels 21. Selbstverständlich sind die Anbindun- gen mit den Kugelgelenken 33a und 33b nur beispielhaft anzusehen. Hierfür lassen sich im Bedarfsfalle auch Festkörperge- lenke, wie z.B. blattfederartige Einrichtungen mit entsprechender Elastizität, vorsehen.
Da der Strahlteilerwürfel 21 entlang der z-Achse 29, welche die optische Achse zwischen dem Retikel 3 und dem Strahltei- lerwürfel 21 darstellt, verschoben werden soll, sind die An- bindungs-elemente 22 so angeordnet, daß die Richtung der festgehaltenen Translationsmöglichkeit 30c senkrecht zur z- Achse 29 orientiert ist (siehe Figur 2) .
Um Kippungen um die x-Achse 27 in der Strahlteilerebene 26 zu ermöglichen, müssen die festgehaltenen Translationsmöglichkeiten 30c aller Anbindungselemente 22 in der Ebene liegen, die von der x-Kippachse 27 und der y-Kippachse 28 aufgespannt wird. Da die von der x-Achse 27 und der y-Achse 28 aufgespannte Ebene bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel mit der Strahlteilerebene 26 identisch ist, liegen die festgehaltenen Translationsmöglichkeiten 30c der Anbindungselemente 22 ebenfalls in der Strahlteilerebene 26.
Um eine Kippung um die z-Achse 29 zu ermöglichen, müssen sich alle festgehaltenen Translationsmöglichkeiten 30c der Anbindungselemente 22 auch die z-Achse 29 schneiden. Aus der Figur 2 ist ersichtlich, daß die Verlängerungen der Längsachsen der Längsstäbe 32 der Anbindungselemente 22 sich damit im Schnittpunkt des Koordinatensystems 25, das sich in der Ebene der Strahlteilerebene 26 befindet, treffen bzw. schneiden.
Wenn wie bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel der Strahlteilerwürfel 21 über zwei Verstellanbindungen 23 bewegt bzw. manipuliert wird, weisen die Verstellanbindungen 23 eine Translationsbeweglichkeit 34a und drei Rotationsbeweglichkeiten 35a, 35b, 35c auf, während die Translationsmöglichkeiten 34b und 34c über noch zu besprechende Versteilglieder (in der Figur 5 beispielsweise durch die Stellschrauben 40a, 40b, 40c, 40d dargestellt) in den Verstellanbindungen 23 im Ruhe- zustand festgehalten werden. Durch Betätigen der Versteilglieder können die Verstellanbindungen 23 in den Translationsrichtungen 34b und 34c verstellt werden, wodurch der Strahlteilerwürfel 21 in der gewünschten Art verschoben und gekippt werden kann.
Aus der Figur 5 ist weiterhin als ein Beispiel eine derartige Verstellanbindung 23 dargestellt. Sie weist ein Kugelgelenk 36 auf, das den Strahlteilerwürfel 21 mit einer Dreiecksplatte 37 verbindet. An der Basis der Dreiecksplatte 37 befindet sich ein Scharnier 38 mit angehängtem Gleitstein 39, der in einer Richtung im Haltegestell 24 geführt wird. Der Gleitstein 39 kann mit Verstellgliedern in Form von Stellschrauben 40a, 40b, 40c, 40d gegenüber dem Haltegestell 24 in den zueinander rechtwinkligen Translationsbeweglichkeiten 34c und 34b linear bzw. translatorisch verschoben werden.
Anstelle von zwei- Verstellanbindungen 23 mit jeweils zwei Versteilgliedern können auch alternativ vier Verstellanbindungen mit jeweils einem Versteilglied eingesetzt werden, wobei in diesem Falle jede Verstellanbindung dann zwei Transla- tionsbeweglichkeiten und drei Rotationsbeweglichkeiten besitzen muß und die dritte Translationsbeweglichkeit durch ein Versteilglied verstellt werden kann (nicht dargestellt) .
Denkt man sich in dem System aus Strahlteilerwürfel 21, fest- stehendem Haltegestell 24, Verstellanbindungen 23 und Anbindungselementen 22 die Anbindungselemente 22 weg, so kann sich der Strahlteilerwürfel 21 ohne Betätigung der Versteilglieder in den Verstellanbindungen 23 gegenüber dem Haltegestell 24 in zwei Freiheitsgraden bewegen.
Die Verstellanbindungen 23 müssen so angeordnet werden, daß diese zwei Freiheitsgrade nicht mit den Kippungen um die x- Achse 27, die y-Achse 28 und die z-Achse 29 und der translatorischen Verschiebung entlang der z-Achse 29 oder mit einer Kombination aus diesen Bewegungen zusammenfallen, damit Kräfte und Momente, die in diese Bewegungsrichtungen wirken, abgestützt werden können.
Aus der Figur 6 ist ersichtlich, wie der' Strahlteilerwürfel 21 entlang der z-Achse 29 verschoben werden kann, wenn die
Verstellanbindungen 23 mit den Verstellgliedern, nämlich den Stellschrauben 40a und 40c, gleichsinnig in Richtung 34b verschoben werden. Hierzu müssen jeweils entsprechend die Stellschrauben 40a und 40c verstellt werden.
Werden die beiden Verstellanbindungen 23 gegensinnig in Richtung 34b (siehe Pfeile) verschoben, ergibt sich für den Strahlteilerwürfel 21 ein Kipp um die y-Achse 28, wie dies aus der Figur 7 ersichtlich ist.
Aus der Figur 8 ist ersichtlich, daß der Strahlteilerwürfel 21 um die x-Achse 27 gekippt wird, wenn beide Verstellanbindungen 23 gleichsinnig in Richtung 34c verschoben werden. Hierzu werden die VerStellglieder, nämlich die Stellschrauben 40b und 40d, entsprechend betätigt.
Um einen Kipp des Strahlteilerwürfels 21 um die z-Achse 29 zu erreichen, müssen die beiden Verstellanbindungen 23 gegensinnig in Richtung 34c verschoben werden, wie dies durch die Pfeile in der Figur 9 dargestellt ist.
Die Verstellanbindungen 23 bzw. die Verstellglieder können von Hand, motorisch, pneumatisch, hydraulisch, elektromagnetisch, piezoelektrisch oder agnetostriktiv verstellt werden
Figur 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung mit einem Tragrahmen 41 und Anbindungselementen 22 und Verstellanbindungen 23, bei denen die Gelenke als Festkörper- oder Federgelenke ausgeführt sind.
Der Strahlteilerwürfel 21 ist in dem Tragrahmen 41 gefaßt, der von den Anbindungselementen 22 und den Verstellanbindungen 23 in dem Haltegestell 24 getragen wird.
Die Strahlteilerschicht 26 ist als Linie am Strahlteilerwür- fei 21 erkennbar. Aus Figur 11 ist ein Anbindungselement 22 gemäß Figur 10 in vergrößerter Darstellung ersichtlich. Es verbindet den Tragrahmen 41, in dem der Strahlteilerwürfel 21 gefaßt ist, mit dem Haltegestell 24.
Durch Biegung eines Blattfedergelenkes 42 besitzt der Kontakt des Anbindelementes 22 mit dem Tragrahmen 41 eine Translationsbeweglichkeit entlang der Achse 30a und eine Rotationsbeweglichkeit um die Achse 31b.
Durch Biegung eines Blattfedergelenkes 43 besitzt der Kontakt des ' Anbindungselementes 22 eine Translationsbeweglichkeit entlang der Achse 30b und eine Rotationsbeweglichkeit entlang der Achse 31a.
Durch Torsion der Blattfedergelenke 42 und 43 ergibt sich eine Rotationsbeweglichkeit um die Achse 31c für den Kontakt des Anbindungselementes 22 mit dem Tragrahmen 41, womit das Anbindungselement mit den Blattfedergelenken 42 und 43 die gleichen Beweglichkeiten wie das aus dem Längsstab 32 und den zwei Kugelgelenken 33a und 33b (siehe Figur 4) zusammengesetzte Anbindungselement aufweist. Nur entlang der Achse 30c ist das Anbindungselement 22 translatorisch steif.
In Figur 12 wird in vergrößerter Darstellung eine Verstellanbindung 23 gemäß Figur 10 mit Festkörpergelenken gezeigt. Durch Biegung einer Blattfeder 44 erhält der Kontakt der Verstellanbinbung 23 zum Tragrahmen 41 eine Translationsbeweglichkeit entlang der Achse 34a und eine Rotationsbeweg- lichkeit um die Achse 35c.
Durch Torsion der Blattfeder 44 bekommt der Kontakt der Verstellanbindung 23 mit dem Tragrahmen 41 eine Rotationsbeweglichkeit um die Achse 35b.
Um eine Rotationsbeweglichkeit um die Achse 35a wie der aus dem Kugelgelenk 36, der Dreiecksplatte 37 und dem Scharnier 38 gebildeten Verstellanbindung (siehe Figur 5) zu bekommen, wird ein sich an die Blattfeder 44 anschließende Block 45 (dem analogen Bauteil zum Gleitstein 39 des schon beschriebenen Ausführungsbeispiels) über Blattfedern 46a und 46b an Stellhebeln 47a und 47b gelagert, so daß sich bei festgehaltenen Stellhebeln 47a und 47b im Schnittpunkt der Verlängerungen von den Blattfedern 46a und 46b ein Momentandrehpol mit der Rotationsachse 35 a ergibt.
Ein Stellhebel 47a ist über eine Blattfeder 48a in dem mit dem Haltegestell 24 fest verbundenen Teil der Verstellanbindung 23 gelagert.
Mit den Stellschrauben 40a und 40b kann der Stellhebel 47a verstellt werden, wobei die Blattfeder 46a die Verstellung auf den Block 45 überträgt und dadurch eine Bewegung des Tragrahmens 41 bzw. des Strahlteilerwürfels 21 auslöst.
Analog ist ein Stellhebel 47b über eine Blattfeder 48b in dem mit dem Haltegestell 24 fest verbundenen Teil der Verstellanbindung 23 gelagert.
Mit den Stellschrauben 40c und 40d (Stellschraube 40d nicht sichtbar, da sie verdeckt ist. Sie drückt gegenüber der Stellschraube 40c auf den Stellhebel 47b.) kann der Stellhebel 47b verstellt werden, wobei die Blattfeder 46b die Verstellung auf den Block 45 überträgt und dadurch eine Bewegung des Tragrahmens 41 bzw. des Strahlteilerwürfels 21 ausgelöst wird.
Da im gezeigten Ausführungsbeispiel die Stellhebel 47a und 47b mitsamt den Blattfedergelenken 46a, 46b, 48a, 48b gegenüber den Verschiebungsrichtungen 34b und 34c um 45° verdreht sind, müssen jeweils beide Stellhebel zugleich betätigt werden, um eine reine Verschiebung entlang der Richtung von 34b oder 34c zu bekommen.
Für eine Verschiebung des Blocks 45 müssen die Stellhebel 47a und 47b zugleich nach innen oder nach außen bewegt werden.
Für eine reine Verschiebung des Blocks 45 entlang der Achse 34c muß ein Stellhebel nach innen und der andere nach außen bewegt werden.

Claims

Patentansprüche :
1. Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Elementes in einer Struktur, insbesondere in einem Objektivgehäuse eines Projektionsobjektives für die Mikrolithographie, wobei das optische Element über Anbindungselemente mit der Struktur verbunden ist, und wobei die Position des optischen Elementes durch Verstellanbindungen einstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Anbindungselemente (22) derart angeordnet und die Verstellanbindungen (23) derart verstellbar sind, daß das optische Element (21) um drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß a) die Anbindungselemente (22) jeweils die Translation entlang einer Achse sperren, und alle Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen, in einer Ebene liegen, die von den Kippachsen (x-,y- Achse) aufgespannt ist, entlang derer das optische E- lement (21) nicht translatorisch verschiebbar ist, b) die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen senkrecht zu der Achsrichtung (z-Achse) liegen, in der das optische Element (21) translatorisch verschiebbar ist, und c) die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen sich in einem Punkt auf einer Achse schneiden, entlang der das optische Element translatorisch- verschiebbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen sich in einem Punkt auf einer Achse (z- Achse) schneiden, entlang der das optische Element (21) translatorisch verschiebbar ist und die durch den Schnittpunkt der beiden Kippachsen (x-, y-Achse) geht, entlang derer das optische Element nicht translatorisch verschiebbar ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element (21) mit wenigstens zwei Anbindungselementen (22) und wenigstens zwei Verstellanbindungen (23) versehen ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß für jedes Verstellelement (23) zwei Versteilglieder (23) vorgesehen sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn- zeichnet, daß die Anbindungselemente (22) und die Verstellanbindungen (23) elastisch mit dem optischen Element (21) verbunden sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Anbindungselemente (22) über Festkörpergelenke mit dem optischen Element (21) verbunden sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß _. die Verstellanbindungen (23) über Festkörpergelenke mit dem optischen Element (21) verbunden sind.
9. Vorrichtung nach dem Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anbindungselemente (22) und die Verstell-anbindungen (23) elastisch mit einem Tragrahmen (41), in dem • das optische Element (21) gefaßt ist, verbunden sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Anbindungselemente (22) über Festkörpergelenke mit dem Tragrahmen (41) , in dem das optische Element (21) gefaßt ist, verbunden sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellanbindungen (23) über Festkörpergelenke mit dem Tragrahmen (41) , in dem das optische Element (21) ge- faßt ist, verbunden sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellanbindungen (23) in zwei Achsrich- tungen (34c, 34b) steif sind und in einer aus den beiden steifen Achsrichtungen (34c, 34b) gebildeten Ebene verstellt werden können.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellanbindungen (23) mit Verstellgliedern (40a- 40d) versehen sind, über die die Verstellanbindungen (23) jeweils in die Richtungen der beiden steifen Achsen (34c, 34b) verschiebbar sind.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellglieder (40a-40d) für beide steife Achsen
(34c, 34b) unabhängig voneinander betätigbar sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element (21) ein Strahlteilerwürfel ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 2 und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebene, in der die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen liegen, die Ebene der Strahlteilerfläche (26) des Strahlteilerwürfels (21) ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Anbindungselemente (22) in den Eckbereichen des Strahlteilerwürfels (21) angeordnet sind.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellanbindungen (23) in den Anbindungselementen (22) gegenüberliegenden Eckbereichen angeordnet sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als optisches Element ein Spiegel vorgesehen ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als optisches Element eine Linse vorgesehen ist.
21. Vorrichtung nach den Ansprüchen 15, 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebene, in der die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen liegen, eine Bezugsfläche oder optisch genutzte Fläche ist.
22. Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie mit mehreren in einem Objektivgehäuse angeordneten optischen Elementen, wobei wenigstens ein optisches Element über Anbindungselemente mit dem Objektivgehäuse verbunden ist und wobei die Position des optischen Elementes durch Verstellanbindungen einstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß an dem optischen Element (21) die Anbindungselemente (22) und die Verstellanbindungen (23) derart angeordnet und betätigbar sind, daß das optische Element (21) um drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.
23. Projektionsobjektiv nach Anspruch 22, dadurch gekenn- zeichnet, daß a) die Anbindungselemente (22) jeweils die Translation entlang einer Achse sperren, und alle Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen, in einer Ebene liegen, die von den Kippachsen (x-,y-Achse) aufgespannt ist, entlang derer das optische Element (21) nicht translatorisch verschiebbar ist, b) die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen senkrecht zu der Achsrichtung (z-Achse) liegen, in der das optische Element (21) translatorisch verschiebbar ist, und c) die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen sich in einem Punkt auf einer Achse schneiden, entlang der das optische Element translatorisch verschiebbar ist.
24. Projektionsobjektiv nach Anspruch 22 und 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Achsen der von den Anbindungselementen (22) gesperrten Translationen sich in einem Punkt auf einer Achse (z-Achse) schneiden, entlang der das op- tische Element (21) translatorisch verschiebbar ist und die durch den Schnittpunkt der beiden Kippachsen (x-, y- Achse) geht, entlang derer das optische Element nicht translatorisch verschiebbar ist.
25. Projektionsobjektiv nach einem der Ansprüche 22, 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß als optisches Element (21) ein Strahlteilerwürfel vorgesehen ist.
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