WO2003104512A1

WO2003104512A1 - 被膜の材料選定方法及び被膜

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Publication number: WO2003104512A1
Application number: PCT/JP2003/007199
Authority: WO
Inventors: 杉山　憲一; 川村　聡; 宮坂　松甫; 中浜　修平; 長坂　浩志
Original assignee: 株式会社荏原製作所
Priority date: 2002-06-07
Filing date: 2003-06-06
Publication date: 2003-12-18
Also published as: CN1668774A; AU2003242248A1; JP2004010975A; JP4081305B2

Abstract

　本発明は、溶射法を用いて基材表面を被覆するための、セラミックスと金属とを含む被膜の材料を選定する方法に関する。この材料の選定方法では、耐スラリーエロージョン性のみに影響を与える材料因子と、耐キャビテーションエロージョン性のみに影響を与える材料因子を各々独立して評価して選定する。本発明の選定方法によれば、各硬質被膜ごとの評価試験が不要となり、被膜の材料選定に時間とコストの大幅な節約することが可能となる。

Description

明細書

被膜の材料選定方法及び被膜

技術分野

本発明は耐エロ一ジョン被膜及びその材料の選定方法に関し、詳細には、耐スラリーエロージョン性及び耐キヤビテーションエロージョン性の両者を有する耐エロージョン被膜の材料を選定する方法及びそのような選定方法により選定された被膜に関し、更にはそのような被膜で被覆された羽根車及びその羽根車を有する流体機械に関する。

背景技術

粒状の土砂を含む水等の液体を扱うポンプ、水車等の流体機械では、流体内で動作するランナーすなわち羽根車等の回転部材或いは流体の流路を形成する構成部材には、流体に接する面の摩損を防止するために耐スラリーエロージョン性に優れた材料を用いる必要がある。しかしながら、このような耐スラリーエロージョンに優れた材料は高価であるだけでなく、単独で使用するには他の機械的強度に欠ける問題があり、通常は、性能、コスト、補修等を考慮し、構成部材を構成する基材の表面に硬質の溶射被膜を所望の厚さに溶着させ、そのような基材を摩損から保護している。そしてこのような硬質の溶射被膜の材料としては、セラミックスと金属の複合材料であるサ一メット材料が、従来から用いられる場合が多い。

一方、水中で回転する流体機械の回転部材、例えば羽根車では回転によって発生するキヤビテーションエロージョンも考慮に入れる必要があり、このような回転部材の表面を被覆する被膜にはキゃビテーションエロージョンに耐え得る材料が要求される。

ところで、今まで、このような目的で使用される硬質被膜の材料の選定にあたつて、耐スラリーエロージョン性、及び耐キヤビテーシヨンエロ一ジョン性について明確な選定基準に従って行われていたとは言い難く、従来からの経験に基づいて材料を選定しているのが現状である。

従来では、一般的に、硬い材料ほど耐スラリーエロージョン性に優れるため、できるだけ多量にセラミックス硬質粒子を含有させることにより、硬さを向上させる方向で材料を開発してきた。しかし、セラミックス硬質粒子の含有量が多くなると、結合剤として作用する金属部分の含有量が少なくなるため、施工性が悪くなり、割れなども発生しやすくなる。しかも、硬質被膜は、材料の種類によつてはセラミックス硬質粒子が偏在し、硬さを正確に測定することが困難な場合がある。

更に、耐スラリーエロージョン性に影響を及ぼす材料に関する影響因子、および耐キヤビテ一シヨンエロ一ジョン性に影響を及ぼす材料に関する影響因子について、それらが互いにいかなる関係にあるかが確かめられたことはなく、材料選定試験以外の方法が探られてこなかった。

発明の概要

したがって、本発明の目的は、耐スラリーエロージョン性に影響を及ぼす材料に関する影響因子、及び耐キヤビテ一シヨンエロ一ジョン性に影響を及ぼす材料に関する影響因子を明らがにして、耐エロ一ジョン性被膜の合理的な材料選定方法を提供することである。

本発明の他の目的は、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のセラミックス粒子面積率又はピツカ一ス硬さを用い、また、耐キヤビテ一シヨンエロ一ジョン性には被膜表面の単位面積当りの空孔の周囲長合計又は空孔面積率を用いて評価する被膜の材料選定方法を提供することである。

本発明の別の目的は、上記のような選定方法によって選定された材料により構成される溶射法用の被膜を提供することである。

本発明の更に別の目的は、上記被膜により被覆された羽根車及びそのような羽根車を有する流体機械を提供することである。

本願発明によれば、溶射法を用いて基材表面を被覆するための、セラミックスと金属とを含む被膜の材料を選定する方法であって、耐スラリーエロ一ジョン性のみに影響を与える材料因子と、耐キヤビテーシヨンエロージョン性のみに影響を与える材料因子を各々独立して評価して選定することに特徴を有する被膜材料の選定方法が提供される。

上記発明による被膜の材料選定方法の一実施態様において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のセラミックス粒子面積率を用い、耐キャビテ一シヨンェ口一ジョン性には被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 1 111以上）の周囲長合計を用いて評価しても良い。また、上記発明による被膜の材料選定方法の他の実施態様において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のピツカ一ス硬度を用い、耐キヤビテ一ションエロージョン性には被膜表面の単位面積当りの空孔 (平均径 1 m以上）の周囲長合計を用いて評価しても良い。

上記発明による被膜の材料選定方法の別の実施態様において、耐スラリーエロ —ジョン性には被膜表面のセラミックス粒子面積率を用い、耐キヤビテ一ションエロージョン性には被膜表面の空孔面積率を用いて評価しても良い。また、上記発明による被膜の材料選定方法の更に別の実施態様において、耐スラリーエロ一ジョン性には被膜表面のピツカ一ス硬度を用い、耐キヤピテーシヨンエロージョン性には被膜表面の空孔面積率を用いて評価しても良い。

本発明によれば、また、金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と、金属とから構成される被膜であって、被膜表面のセラミツクス粒子面積率が 2 5〜5 0 %であり、かつ被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径以上〉の周囲長合計が 6 0 0 0 0 mZmm²以下である点に特徴を有する被膜が提供される。

本発明によれば、更に、金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と、金属とから構成される被膜であって、被膜表面のピツカ一ス硬度が 9 0 0 k g Zmm²以上であり、かつ被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 l ^ m以上）の周囲長合計が 6 0 0 0 0 z mZmm²以下である点に特徴を有する被膜が提供される。

本発明によれば、更に、金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と、金属とから構成される被膜であって、被膜表面のセラミツクス粒子面積率が 2 5〜5 0 %であり、かつ被膜表面の空孔面積率が 3 %以下である点に特徴を有する被膜が提供される。

本発明によれば、更にまた。金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と、金属とから構成される被膜であって、被膜表面のビッカース硬度が 9 0 0 k g Zmm²以上であり、かつ被膜表面の空孔面積率が 3 % 以下である点に特徴を有する被膜が提供される。本発明によれば、更に、ハブと、前記ハブの周りに円周方向に隔てて取り付けられた複数の翼とを備た羽根車であって、前記羽根車の表面の少なくとも一部に前記被膜が溶射法により、被覆されている点に特徴を有する羽根車が提供される。本発明によれば、更にまた、八ブと、前記ハブの周りに円周方向に隔てて取り付けられた複数の翼とを備た羽根車と、前記羽根車を回転可能に収容する室を画定するケーシングと、を備えた流体機械であって、前記羽根車の表面の少なくとも一部に前記被膜が溶射法により、被覆れている点に特徴を有する。

図面の簡単な説明

図 1は、スラリーエロージョン試験用の試験片及び試験片用の基板の斜視図である。

図 2は、本実施例で使用する耐スラリーエロ一ジョン性を評価する試験装置の概略構成図である。

図 3は、試験結果を示すグラフ図である。

図 4は、試験結果を示すグラフ図である。

図 5は、キヤビテーシヨンエロージョン試験用の試験片及び試験片用の基板の斜視図である。

図 6は、本実施例で使用する耐キヤビテーシヨンエロージョン性を評価する試験装置の概略構成図である。

図 7は、図 6に示される装置の回転体の一部分の平面図である。

図 8は、試験結果を示すグラフ図である。

図 9は、試験結果を示すグラフ図である。

図 1 0は、本発明の被膜が形成される羽根車の一例を示す断面図である。

図 1 1は、図 1 0の羽根車を備えるポンプの断面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

最初に耐スラリーエロージョン性に影響を及ぼす影響因子の評価について説明する。まず、図 1 [A] に示されるような扇形（半径 R = 1 8 0 mm、厚さ T

= 6 mm) の平板状の試験片用の基板 1を多数作成した。一方、（A) 高速フレ

—ム溶射用としては 7種類の被膜材料を用意して、それぞれの基板 1にはその 7 種類の被膜材料をそれぞれ別個に溶射し、厚さ t = 500 の、下記の表 1に示される A 1ないし A 7の 7種類の組成を有する被膜 2 aをそれぞれ形成し、試験片 3 a (図 1 [B]) をつくった。また、（B) フレーム溶射用としては 10種類の被膜材料を用意して、それぞれの基板 1にはその 10種類の被膜をそれぞれ別個に溶射し、厚さ t = 500 mの、表 1に示される B 1ないし B 10の 10 種類の組成を有する被膜 2 bをそれぞれ形成し、試験片 3 b (図 1 [B]) をつくった。その後、被膜を加熱処理し、被膜の組織の緻密化を図った。更に、（C) アーク溶射用としては 5種類の被膜材料を用意して、それぞれの基板 1にはその 5種類の被膜材料をそれぞれ別個に溶射し、厚さ t = 500 /xmの、表 1に示される C 1ないし C 5の 5種類の組成を有する被膜 2 cをそれぞれ形成し、試験片 3 c (図 1 [B]) をつくった。なお、表中で同じ組成であっても、炭化物平均粒径、溶射条件等が異なっており、全て特性の異なる被膜である。また、表中の C r_mC_nの表記は、 C r₃C₂、 C r ₇C₃、 C r ₂₃C₆、などのクロム炭化物の混合したものを表す。

このようにして被膜が形成された複数（この試験例では 22枚）の試験片を、図 2に概略図示する試験装置 10にそれぞれセッ卜して試験を行った。同図において、 1 1はチャンバ 12を画定する試験槽、 1 3は試験槽 1 1内で回転可能に支持されていて、一方の表面（図 2では左面）に試験片 3 a、 3 b、 3 cが着脱可能に取り付けられるようになつている回転体、 14は回転体 13を回転させる電動モータ、 1 5及び 1 6は試験槽 1 1に取り付けられた圧力計及び温度計、 1 7はスラリータンク、 1 8はスラリータンク 1 7内のスラリーを導管 1 9を介してチャンバ 1 2内に送るスラリーポンプ、 2 0は水を導管 2 1を介して導管 1 9 内に供給するポンプである。更に、 2 3 aないし 2 3 eは導管に接続された開閉弁、 2 4は排出管 2 5に接続された開閉弁、 2 6はスラリータンク 1 7内を通つて伸び水でスラリータンク内を冷却する熱交換管である。上記試験槽及ぴ Z又は回転板の試験片取り付け面は、回転ディスク 1 3が回転しているとき、スラリーが試験片の表面に所望の角度で当たるように作られている。

上記構成の試験装置において、回転ディスク 1 4の片面（図 2で左面）に試験片 3 a、 3 b、 3 cを取付け、これを試験槽 1 1内のスラリー中に没した状態でモータ 1 4により回転させる方法で実施した。試験槽内の圧力が 0 . l M p a、温度が 2 5〜 3 0 °Cとなるように調整した。実験条件は実際の河川濁水の状況に基づき、スラリー衝突速度が 5 5 m/ sとなるように回転ディスクの回転速度を調節し、スラリー中の土砂濃度 1 w t . %とした。このような条件の実験を硬質の被膜が形成された上記各試験片にっき試験を行い、損耗速度を求めた。その結果をグラフで表せば図 3及び図 4に示されるようになる。図 3は被膜を構成する被膜のセラミックス硬質粒子の面積率と損耗速度との関係を示し、図 4は被膜の硬質被膜の硬度と損耗速度との関係を示す。

本実験では硬質粒子であるセラミックス粒子の面積率が 5〜 5 0 %の範囲で実験を行った。その理由は、面積率が 5 0 %を超えた場合には基材に対する被膜の接着力が低下して被膜に亀裂が多発するため、実用上無意味な範囲だからである。

図 3から明らかなように、セラミックス硬質粒子面積率について着目すると、その値が 2 5〜 5 0 %の範囲で、スラリーエロージョンによる損傷速度は小さくなり、ほぼ一定になる。従って、硬質粒子の面積率が好ましくは 2 5 %ないし 5

0 %の範囲となるように被膜を形成することによって、ポンプ部材の耐スラリーエロ一ジョン性を向上させることができる。更に好ましくは 3 0 %ないし 4 0 % の範囲となる被膜を形成するとよい。

また、図 4から明らかなように、被膜を構成する硬質被膜表面のピッカース硬度（測定荷重 500 g) について着目すると、その値が 900 k g/mm²より小さいときはピツカ一ス硬度が大きくなるにしたがつて損耗速度が減少するが、略 900 k g/mm²超えると損耗速度は略一定になることがわかる。このように、セラミックス硬質粒子面積率と硬質被膜硬度は、それぞれ耐スラリ一エロ一ジョン性にのみ影響を及ぼすことがわかる。

次に、耐キヤビテーシヨンエロ一ジョン性に影響を及ぼす影響因子の評価について説明する。キヤビテーシヨンエロージョン試験は「エロージョン 'コロージヨンと利用技術、発行者：（株） I PC」に記載されている回転円板法に準じて行った。ただし、円板、試験片等の寸法は異なる。

キヤビテ一シヨンエロージョンについては、図 5 [A] に示されるような円形 (直径 D=25mm、厚さ T=6mm) の平板状の試験片用の基板 1 ' を多数作成し、前記図 1の試験片と同じ種類の被膜材料を使用して同じように溶射し、図 5 [B〕に示されるような、同じ被膜厚さを有する試験片 3 a' 、 3b' 及び 3 c ' をつくった。そしてそれらの試験片を図 6及び図 7に示す試験装置 10' にセットして行った。同図において、 11' はチャンバ 12' を画定する試験槽、 13' は試験槽11' 内で回転可能に支持されていて、一方の表面（図 6では左面）に試験片 3 a、 3 b、 3 cが着脱可能に取り付けられるようになつている回転体、 14 ' は回転体 13 ' を回転させる電動モータ、 17 ' は水タンク、 18 ' は水タンク 17 ' 内の水を導管 19 ' を介して試験槽 11 ' 内に送るポンプ、 2 0 ' は水を試験槽から水タンク 17' 戻す導管である。回転体 13' には、試験片の取付け位置よりも回転体の回転方向に見て上流側に、所望の大きさ（本実施形態では直径 15mm) の円形穴 15' (非貫通穴）が形成されている。この穴 15' は、回転体が回転するときに回転体表面にキヤビテーシヨンを発生させるものである。

試験は、回転ディスク 13' の片面に前記試験片を取付け、これを水中に没した状態でモータ 14' により回転させ、回転体の回転によって発生したキヤビテーシヨンが試験片側に向かって流れるようにして行った。試験槽内の水圧は 0.

1 M p a、水温は 15 °Cに調整した。

上記試験により得た結果をグラフで表せば図 8及び図 9に示されるようになる。図 8は単位面積あたりの空孔（平均径 1 i m以上）の周囲長合計と損耗速度の関係を示し、図 9は空孔面積率と損耗速度の関係を示す。単位面積当りの空孔面積率及び周囲長合計は、硬質被膜表面の拡大写真をコンピュー夕に取り込み、デジタル画像処理を行い求めた。なお、硬質被膜表面の拡大写真をコンピュータに取り込むに先だって、表面を平坦面に沿って研磨して空孔部分（凹み部分）を分かり易くし、空孔の面積は硬質被膜表面の単位面積についてその凹み部分の面積及び凹み部分の周囲長を測定することによって求めた。

図 8から明らかなように、硬質被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 1 m 以上）の周囲長合計増加するにしたがって被膜の損耗速度が増加することが明らかである。本発明では損耗速度が 0 . 5 mm³Z h以内に収まるように選定すると、周囲長合計が 6 0 0 0 0 /x m/mm²以下となる。また、図 9から明らかなように、硬質被膜表面の空孔面積率が増加すると被膜の損耗速度がそれに応じて増加することも明らかである。本発明では、空孔の周囲長合計の場合と同じように損耗速度が 0 . 5 mm ³Z h以内に収まるように選定すると、空孔面積率は 3 % 以下となる。このように、単位面積あたりの空孔（平均径 1 m以上）の周囲長合計と空孔面積率は、それぞれ耐キヤビテーシヨンエロージョン性にのみ影響を及ぼす。なお、損耗速度の上限を 0 . 5 mm³ / hより小さい値（例えば 0 . 2 mmV h ) にしようとすれば、空孔面積率も小さな値（例えば 2 %) となる。本発明による被膜で耐スラリーエロージョン化及び耐キヤビテーションエロジョン化を図った流体機械用の構成部材の一例としてポンプのランナすなわち羽根車 3 0が図 1 0で断面図で示されている。

図 1 0において、羽根車 3 0は、回転軸を受ける軸穴 3 1が形成されたハブ 3 2と、そのハブ 3 2から半径方向外側に放射上に広がる円板状の主板 3 3と、主板 3 3から軸方向（図 2において上下方向）に隔てられた環状の側板 3 4と、主板 3 3と側板 3 4との間において円周方向（軸穴の軸線〇一〇回りの円周方向）に等間隔に隔てて配置され所望の曲面に沿って湾曲して側板及び主板と一体的に形成された複数の翼 3 5とで構成されていて、主板 3 3、側板 3 4及び翼 3 5により流体の流れる流路 3 6を画定している。流路 3 6の半径方向内側の部分 3 7 が入口部となり、半径方向外側の部分 3 8が出口部となる。また、環状の側板 3 4は、円周方向内側の軸方向に伸びる部分 3 4 aと、半径方向外側に伸びる部分 3 4 bとを有し、軸方向伸長部分 3 4 aによって羽根車 3 0の入口 3 9を画定している。このような羽根車 3 0を回転させて流体を送り出す場合、'例えば、羽根車を土砂を含む水中で回転させると、水中の土砂の粒子が羽根車 3 0の表面、特に羽根車 3 0内の流路 3 6を画定する主板 3 3の内面 4 1、側板 3 4の内面 4 2 及び翼 3 5の両面、すなわち圧力面 4 3、負圧面 4 4に当たってこれを擦り、それらの表面が摩擦により極端に摩耗することになる。

そこで、羽根車 3 0の上記流路 3 6を画成する内面 4 1及び 4 2、圧力面 4 3 及び負圧面 4 4、入口 3 9の内面 4 5、側板 3 4の外側面 4 6及び主板 3 3の裏面 4 7のうち所望する面に、上記溶射法 Aないし Cのうち適当な溶射法を適宜選んで前述の耐スラリーエロ一ジョン溶射被膜を形成する。この場合、溶射を行う面の条件、溶射法の施工条件等を考慮して一つの羽根車に対して溶射する場所により異なる溶射方法を採用することも可能である。

上記のように耐スラリーエロージョン溶射被膜形成された本発明の羽根車 3 0は、水車或いはポンプのような流体機械に使用される。図 1 1において、このような流体機械の一例として立形ポンプ 5 0が断面で示されている。同図において、ポンプ 5 0は、本発明による羽根車 3 0を収容するポンプ室 5 2を画成するケーシング 5 1と、軸線を鉛直にして配置されていて下端に羽根車 3 0が固定された主軸 5 7と、ケーシングの上方に取り付けられたていて主軸 5 7をケーシングに関して回転自在に支持する主軸受け 5 8と、ケ一シング 5 1と主軸 5 7との間からの流体の漏れを防止するシ一ル装置 5 9と、を備えている。ケーシング 5 1は管状の支持台 6 0の上に公知の方法で固定されている。ケーシング 5 1は、上側の円盤状の端板 5 3と、渦巻き状の出口室 5 5を画成するケ一シング本体 5 4と、管状のカバー 5 6とを備えている。カバー 5 6の下端には筒状の吸出し管 6 1が接続されている。

上記ポンプにおいて、主軸 3 7を回転させることによってその下端に固定された羽根車 3 0を回転させると、流体が吸出し管 6 1内で矢印 Xで示されるように羽根車の入口 3 9に吸い込まれ、羽根車 3 0の流路 3 6を通って出口 3 8側から半径方向に押し出され、出口室 5 5内に流入する。出口室内の流体は、図示しない出口から吐き出される。

発明の効果

本発明によれば次のような効果を奏することが可能である。

(ィ）耐スラリーエロージョン性のみ、あるいは耐キヤビテーシヨンエロージョン性のみに、影響をおよぼす材料因子を明らかにし、各々の因子に実質的に従属関係がないことを見出したことで、各硬質被膜ごとの試験片などによる評価試験が不要となり、被膜の材料選定に時間とコストの大幅な節約となる。

(口）河川水等に代表される、土砂と水が主成分であるスラリ一によるエロ一ジョンに対して、硬質被膜の表面の硬質粒子の面積率又はピツカ一ス硬さを所望の範囲にし、かつ被膜表面の単位面積当りの空孔の周囲長合計又は空孔面積率を所望の範囲にすることによって、高い耐スラリーエロ一ジョン性及び耐キヤビテ一シヨンエロ一ジョン性を有する被膜の被膜を溶射法により容易に形成できる。

(八）土砂を含む水を扱う流体機械の構成部材の耐スラリーエロ一ジョン特性及び耐キヤビテ一シヨンエロージョン特性を向上でき、流体機械の寿命を長くすることが可能である。

Claims

請求の範囲

1 . 溶射法を用いて基材表面を被覆するための、セラミックスと金属とを含む被膜の材料を選定する方法において、

耐スラリーエロージョン性のみに影響を与える材料因子と、耐キヤビテーションエロ一ジョン性のみに影響を与える材料因子を各々独立して評価して選定することを特徴とする被膜の材料選定方法。

2 , 請求項 1に記載の被膜の材料選定方法において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のセラミックス粒子面積率を用い、耐キヤピテーシヨンエロージョン性には被膜表面の空孔面積率を用いて評価する被膜の材料選定方法。

3 . 請求項 1に記載の被膜の材料選定方法において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のビッカース硬度を用い、耐キヤビテーシヨンエロージョン性には被膜表面の空孔面積率を用いて評価する被膜の材料選定方法。

4 . 請求項 1に記載の被膜の材料選定方法において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のセラミックス粒子面積率を用い、耐キヤビテーシヨンエロージヨン性には被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 1 m以上）の周囲長合計を用いて評価する被膜の材料選定方法。

5 . 請求項 1に記載の被膜の材料選定方法において、耐スラリーエロージョン性には被膜表面のピッカース硬度を用い、耐キヤビテ一シヨンエロージョン性には被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 1 m以上）の周囲長合計を用いて評価する被膜の材料選定方法。

6 . 金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と，金属とから構成される被膜において、被膜表面のセラミックス粒子面積率が 2 5 〜 5 0 %であり、かつ被膜表面の空孔面積率が 3 %以下であることを特徴とする溶射用被膜。

7 . 金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と, 金属とから構成される被膜において、被膜表面のピツカ一ス硬度が 9 0 0 k g /⁷ mm ²以上であり、かつ被膜表面の空孔面積率が 3 %以下であることを特徴とする溶射用被膜。

8 . 金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と- 金属とから構成される被膜において、被膜表面のセラミックス粒子面積率が 2 5 〜5 0 %であり、かつ被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 l ^ m以上）の周囲長合計が 6 0 0 0 0 mZmm²以下であることを特徴とする被膜。

9 . 金属炭化物及び金属酸化物の少なくとも 1種類を含むセラミックス粒子と. 金属とから構成される被膜において、被膜表面のビッカース硬度が 9 0 0 k g / mm²以上であり、かつ被膜表面の単位面積当りの空孔（平均径 1 m以上）の周囲長合計が 6 0 0 0 0 x m/mm²以下であることを特徴とする被膜。

1 0 . ハブと、前記ハブの周りに円周方向に隔てて取り付けられた複数の翼とを備た羽根車において、

前記羽根車の表面の少なくとも一部が前記請求項 6ないし 9のいずれかに記載の被膜が溶射法により、被覆されていることを特徴とする羽根車。

1 1 . 八ブと、前記ハブの周りに円周方向に隔てて取り付けられた複数の翼とを備た羽根車と、

前記羽根車を回転可能に収容する室を画定するケーシングと、

を備え、

前記羽根車の表面の少なくとも一部が前記請求項 6ないし 9のいずれかに記載の被膜が溶射法により、被覆されていることを特徴とする流体機械。