WO2001059829A2 - Procede de montage de circuits integres sur un support conducteur et support en resultant - Google Patents

Procede de montage de circuits integres sur un support conducteur et support en resultant Download PDF

Info

Publication number
WO2001059829A2
WO2001059829A2 PCT/FR2001/000368 FR0100368W WO0159829A2 WO 2001059829 A2 WO2001059829 A2 WO 2001059829A2 FR 0100368 W FR0100368 W FR 0100368W WO 0159829 A2 WO0159829 A2 WO 0159829A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
frame
conductors
internal
conductor
support
Prior art date
Application number
PCT/FR2001/000368
Other languages
English (en)
Other versions
WO2001059829A3 (fr
Inventor
Patrick Courant
Jean Joly
Daniel Lambert
Original Assignee
Bull S.A.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bull S.A. filed Critical Bull S.A.
Publication of WO2001059829A2 publication Critical patent/WO2001059829A2/fr
Publication of WO2001059829A3 publication Critical patent/WO2001059829A3/fr

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49572Lead-frames or other flat leads consisting of thin flexible metallic tape with or without a film carrier
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • H01L23/49548Cross section geometry
    • H01L23/49551Cross section geometry characterised by bent parts
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49575Assemblies of semiconductor devices on lead frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Definitions

  • the invention relates to a method for mounting integrated circuits on a support, for example of the ribbon type, using the technology commonly called TAB (Tape Automated Bonding).
  • TAB Tape Automated Bonding
  • the integrated circuits form thin wafers of semiconductor material, for example made of silicon, of square or rectangular shape and provided with aluminum connection pads.
  • the integrated circuits are generally mounted on one face of a ceramic, for example of alumina, which is crossed by copper conductors to lead to connection pads on the face of the ceramic opposite to that supporting the integrated circuits.
  • the junction between the pads of an integrated circuit and the conductors passing through the ceramic is done by wire connection technology, called "Wire Bonding", making it possible to connect the connection pads of the integrated circuit to the connection pads of the supporting ceramic the integrated circuit and forming with the cover which protects the assembly forming a case of integrated circuits.
  • the housing thus formed is then connected to a printed circuit by TAB technology by establishing electrical connections using a structure of conductors of a TAB support between the connection pads passing through the ceramic and the conductive tracks provided on the printed circuit board.
  • TAB technology This type of technology is shown in connection with FIG. 4A and is also known from the applicant's patent EP 0 812237.
  • thermocompression technique In general to weld the conductive tapes on the integrated circuit without additives, the thermocompression technique is used which makes it possible to diffuse the materials at a temperature of approximately 500 ° and to link them together.
  • This soldering technology can be used on the printed circuit or on the integrated circuit box having connection balls (bumps) in gold, gilded copper or nickel-gold, equipped with its alumina ceramic. It is also used directly on integrated circuits but it may damage the circuits when there is excess heating.
  • US Pat. No. 5,612,259 proposes a method for fixing TAB tape to a semiconductor package.
  • This welding technology does not support a difficult environment. Indeed, experience has shown that this bonding technology subjected to operating temperatures of 175 ° for several years and vibrations generated failures in the operation of the material resulting from the breaks in the welds caused by the mass of the ceramic.
  • connection pads require a predetermined fixed potential contact, usually ground, on their face opposite to the active face which carries the connection pads.
  • An object of the invention is to be able to make the desired mass contact simply by TAB technology.
  • Another object of the invention is to be able to form, by TAB technology, an assembly forming a housing of several integrated circuits.
  • Another object of the invention is to provide a link of integrated circuits with the printed circuit supporting a difficult environment in which the circuits are subjected to temperatures of the order of 175 ° and to vibrations.
  • the subject of the invention is a method of mounting at least one integrated circuit on a support, the integrated circuit having an active face provided with connection pads and an opposite face having an electrical contact surface, the method comprising the formation of '' a support including an insulating substrate forming at least one frame supporting a plurality of first conductors extending outside the frame, in at least one area internal to the frame designed to receive at least the integrated circuit, by internal ends having a dimension adapted to said studs, and the connection by welding of the internal ends of the first conductors to the studs of at least the integrated circuit, the method being characterized in that the formation of the support further comprises the formation of at least one second conductor extending outside the frame by an end internal to the frame having a larger area than those of the internal ends of the first conductors and in that the method further comprises the connection of the internal end of at least the second conductor to said contact surface of at least the integrated circuit and the folding of the internal end at least the second conductor to allow said connections of the internal ends of the first conductors and at
  • the invention also relates to a support for at least one integrated circuit having an active face provided with connection pads and an opposite face having an electrical contact surface, the support comprising an insulating substrate forming at least one frame supporting first conductors extending outside the frame and inside it by internal ends connected to the studs of at least the integrated circuit, characterized in that the frame also supports at least one second conductor extending outside the frame by an internal end having a larger surface than those of the internal ends of the first conductors and connected to said contact surface of at least the integrated circuit.
  • Another subject of the invention is a support for several integrated circuits each having an active face provided with connection pads, the support comprising an insulating substrate forming at least one frame supporting first conductors extending outside the frame and inside this by internal ends connected to the pads of at least the integrated circuit, characterized in that a part of the first conductors is disposed between at least two of the integrated circuits inside the frame so that their internal ends are divide into zones corresponding to the locations of the integrated circuits inside the frame.
  • FIG. 1 shows a sectional view of the mounting tool for integrated circuits according to the method of the invention
  • - Figure 2 shows a top view of the support used in the mounting method according to the invention
  • - Figure 3 shows a sectional view of the integrated circuits assembled on the TAB tape according to the invention, itself assembled to a printed circuit
  • FIG. 4A shows a sectional view of a semiconductor package of the prior art
  • - Figure 4B shows a top view of the integrated circuits on the alumina ceramic once the cover removed in the housing of Figure 4A;
  • FIG. 4C shows a schematic plan of the arrangement of integrated circuits constituting the housing of Figure 4A; and - Figure 5 shows an alternative embodiment of the connection of the external conductors of the support according to the invention to a printed circuit.
  • integrated circuits for example made of silicon, (1 1, 1 1 a, 1 1 b, 1 1 c, 1 1 d, 1 1 e, 1 1f) are mounted on a ceramic (10) at the locations (a, b, c, d, e, f) shown in Figure 4C.
  • This ceramic (10) is provided at its periphery with connection pads (15, 13), which pass through the thickness of the ceramic and are made of gold.
  • the integrated circuits (1 1 a to 1 1 e, FIG. 4B) each have aluminum contact pads which are connected to the contact pads (15, 13) of the ceramic. (10) by wire bonding technology, as shown in FIG. 4B, by conductive wires (14, 12) for each integrated circuit (11 a to 11f).
  • the integrated circuit package is then connected by its external connection pads (15, 13) to a spider formed in a ribbon, which is itself connected to a printed circuit (7).
  • spider By spider, the skilled person includes a conventional TAB support whose copper conductors having a thickness of about 17 to 70 microns and a variable width as required are called spider legs and form ribbons. Part of these tapes is supported by an electrically insulating substrate made of a flexible organic material such as for example a polyimide.
  • the ends of the conductive tapes located outside the frame are made free after cutting and removal of a peripheral frame used to position the assembly during the mounting operations.
  • the free ends towards the inside of the conductors are represented in FIG. 4A by the reference (22i), the free ends on the outside by the reference (22e); between these two ends of the same conductor is formed the area (22) in which the conductor rests on the polyimide substrate (21) generally in the form of a frame.
  • the conductors (22) are extended by a part which, at the start, is made integral with a second frame made of insulating substrate and which, after cutting, makes it possible to obtain the free external legs (22e) of the spider.
  • the technology of the prior art poses the problems that we have seen previously and particularly when the housing consists of an alumina substrate (10) on which different integrated circuits provide different functionalities. In this case, the technology of the prior art is not directly applicable on integrated circuits because these can include honeycomb structures which are very fragile and would not resist soldering at temperatures of 500 °. .
  • the box has six integrated circuits (11a to 11f) and the example taken to illustrate the invention uses a method of mounting of these integrated circuits using the TAB bumpless technique to withstand a difficult environment in temperature and vibration.
  • the invention consists, as shown with the aid of FIGS. 1 to 3, of placing the integrated circuits (1 1 a to 11 f) on a support plate (6) provided with suction channels (61 to 64) intended to maintain in place by suction each integrated circuit (11a to 11f) during the soldering operation of the internal ends of the spider's conductors, ends which have the letter i at the end of their references.
  • suction channels 61 to 64
  • known means make it possible to ensure precise relative positioning of the spider and of the internal ends of its conductors with respect to the integrated circuits mounted on the plate.
  • the outer ends, as shown in Figure 2 have the letter e in their references.
  • the first letter following the reference number indicates the integrated circuit to which the reference relates and to which the referenced conductor of the spider is connected.
  • Figures 1 and 3 show a sectional view respectively of the mounting tool for Figure 1 and the circuits assembled on the tape for Figure 3, along the cutting axis AA of Figure 2.
  • Figure 2 shows a top view of the support constituting the spider once the peripheral strip of substrate supporting the conductors is cut so as to release the ends of the conductors constituting the external ends relative to the frame (21) of the substrate constituting the body of the spider .
  • the ends which, at the start, are not free and are not external are represented in FIG. 2 and in the other figures with the reference e so as to make the reader understand that these, at the end mounting, are external and are connected to the conductive tracks (71, 72) of the printed circuit (7) of Figure 3.
  • the substrate (21) is, as shown in Figure 2, divided into as many areas as integrated circuits elementary and comprises, for example, six zones in which the six integrated circuits will be successively implanted (11a- 11 f). In each of the respective zones, the internal free ends of the conductor structure (22) open towards the interior of the zone. Thus, in zone a, it can be seen that there is a first internal conductor (221 ai), a second internal conductor (222ai) and an internal area (223ai) for connection to the ground of the integrated circuit.
  • Each of the inner ends is extended on the substrate (21) by parts of conductors bearing the respective references (221 a, 222a, 223a) and which extend outside the substrate (21) by respective outer ends (221 ae , 222ae, 223ae).
  • the conductor (222ai) is also common to a conductor (222bi) coming from a zone b and which is extended by the conductor (222ab) to lead into zone b by the internal conductor (222bi).
  • This common part is supported by a strip of substrate (212), which is L-shaped and delimits in the lower left corner of the frame a square surface area within which will be positioned the integrated circuit a.
  • This strip (212) also makes it possible to support between the integrated circuits 11a and 11c a conductor (221c) which ends inwards by the end (221 ci) and outwards by the end (221 ce ).
  • the inner end (221 ci) of this conductor is oriented in a direction perpendicular to the direction corresponding to the end (221 ce).
  • the inner ends (222ai and 222bi) of the conductors are oriented perpendicular to the common outer end (222abe).
  • the adjacent areas c and e are separated from the two adjacent areas d and f using a strip of insulating substrate (210) in the shape of a T, the central leg of which is connected, in the area adjacent to the integrated circuits 11c and 11 e, at the longitudinal side (21 L) of the frame (21) oriented downwards with respect to the figure orientation of the sheet and the horizontal bar is connected on its right to the vertical lateral side (21 LV) of the frame (21) when the latter is viewed in accordance with the orientation of the reference in the figure.
  • the T-shaped insulating strip (210) thus delimits a closed quadrilateral in which the zone e is situated, an open quadrilateral in which the zone c is located and a large rectangle open on the side opening into the zone b and successively constituting the zones d and f.
  • zone c two internal conductors (222ci, 223ci) open perpendicular to the lower longitudinal side and are extended on the substrate (21) by a single conductor (222c) to terminate outside the substrate by a single external conductor ( 222ce).
  • a conductor (224ci) On the horizontal bar of the T opposite the longitudinal side (21 L) opens, perpendicular to this bar, a conductor (224ci), which is extended on this bar of the T on the central bar by a conductor (224c) which opens towards the outside by the free conductor (224ce).
  • a first conductor (221 ei) emerges inside this zone and is extended on the substrate by the conductor (221 e) to finish outside by the conductor (221 ee).
  • the interior conductors have a width at least 2 to 3 times smaller than the portion of conductor traversing the substrate or emerging outside the substrate, and constituting the external conductors.
  • the only exception is the conductive pads (223ai, 223di, 223fi, 223ei) which open into the central parts of the respective zones (a, d, f, e,) and which make it possible to constitute the grounding contacts of the components. integrated circuits.
  • a conductive pad (223ei) opens onto the substrate by the conductor (223e) and outside of it by the conductor (223ee).
  • This conductive pad (223ei) is framed, on the one hand by the first internal conductor (221 ei), and on the other hand by a second internal conductor (222ei), which is arranged perpendicular to the right lateral side of the insulating frame (21 ).
  • zone f is also constituted an internal conductive pad (223fi), which is connected to a conductor (223f) of the substrate which opens out through an external conductor (223fe) outside the substrate.
  • the internal conductor (221 fi) opens perpendicular to the T bar (210) and extends onto the T bar connected to the right lateral side of the frame by a conductor (221 f), which opens outside the insulating frame (21) by an external conductor ( 221 fe).
  • This conductive pad (223fi) is surrounded by a first internal conductor (221 fi) and by a second internal conductor (222fi), which opens perpendicular to the upper longitudinal side of the frame (21).
  • This or these conductors (221 fi, 222fi) can initially be integral with the adjacent conductive pad and cut to make the pad independent of the adjacent conductors so as to allow the conductive pad to be folded.
  • This second internal conductor (222fi) extends over the upper lateral side of the frame by a conductor (222f) and ends outside by the conductor (222fe).
  • a range inside the zone d constituted by the conductor (223di) bypasses the second internal conductor (222di) and comes to open on the upper longitudinal side of the insulating frame (21) by a conductor (223d) which ends at the outside by the conductor (223de).
  • the second internal contact (222di) is extended on the substrate by the conductor (222d) and outside of it by the conductor (222de).
  • the first internal conductor (221 di) of the zone d is extended by the conductor (221 d) and ends with the conductor (221 de).
  • the internal ends of the spider constituting the conductive areas (223ai, 223di, 223ei, 223fi) for connection to the ground are bent and the inner ends of the conductors forming narrow ends of dimension smaller than that of the external conductors and of the connection conductors between the exterior and the interior are connected, as shown in FIG. 1, to the aluminum connection pads (111 a) of the respective integrated circuit (11a-11f).
  • the internal conductors (221 bi, 222bi) are connected to the aluminum studs (1 13b, 111 b) of the integrated circuit (11 b) and the connection pad (114b) of gold-coated aluminum formed on the integrated circuit (11 b) is connected by soldering thermosonic at the internal end (224bi) of the copper conductor (224b), the external end (224be) of which will then be connected, by thermocompression welding, to the conductive pad (71) of the printed circuit (7, FIG. 3) .
  • the pads for connection to the ground of the integrated circuits (11 a, 11d, 11 e, 1 1f) are bent so as to be applied to the face of the integrated circuit which is opposite to the face comprising the connection pads of the internal conductors.
  • These ranges (223ai, 223ei, 223fi and 223di) are electrically connected by an adhesive on the back of the semiconductor and make it possible to provide the connection to the ground of the integrated circuit.
  • FIG. 5 represents an alternative embodiment of the connection of the external conductors to the conductive tracks (72, 71) of the printed circuit (7).
  • This connection can be made by welding with a ball (8), as shown in this figure.
  • This connection with ball (8) can be used to superimpose several spiders according to the invention, each being connected to several integrated circuits.
  • a part (2) of the external frame (23) of the insulating substrate will be kept and this part of the frame (23) will be pierced with holes (230) of sufficient size to ensure electrical contact between the ball (8) and the end (223ae) of the respective conductor.
  • the TAB tape must include the routing between the various integrated circuits and the conductive tracks provided on the printed circuit corresponding to the arrangement of the contacts on a final box.
  • the assembly thus produced on a flexible tape makes it possible to keep, for the whole, dimensions corresponding to those of the ceramic casing originally provided, without this having the drawbacks mentioned above.
  • the accessibility of the conductors makes it possible to test each of the circuits formed on the integrated circuits and at each circuit location. whose rear face must be connected, there is a connection pad which is cut and then folded, so as not to interfere with the transfer to the active face.
  • the assembly is protected by embedding the connections and the unprotected parts of the conductors in a resin (30), as shown in FIG. 4A.
  • the widths of the internal ends of the conductors are of the order of 50 microns and allow ILB (Inner Lead Bonding) fixation while the widths of the external ends allowing the OLB (Outer Lead Bonding) fixation are of the order of 130 microns, that is to say 2 to 3 times wider than the internal ends.
  • the copper layer constituting the conductors has a thickness of 25 microns with a gold finish with a thickness of about 1 micron.
  • the substrate (21) is made of polyimide and has a thickness of 50 microns.
  • the welding points are made by applying the electrode transmitting thermosonic energy with a force of 60 grams for a time of 60 milliseconds for a displacement of 1 to 2 ⁇ m, and a power of 70 Volt-Amperes which allows to produce local heating of the order of 80 ° ensuring the connection between aluminum, gold and copper.
  • the assembly is delivered in the form of a ribbon replacing a ceramic circuit and allows, for example, to perform a folding to provide circuits in the form of an accordion integrating the most diverse functions in a folded and overmolded manner, thus making it possible to associate microcontroller and memory functions or blocks of multiple memories together.
  • the device in its simplest form allows placement as close as possible to the measurement points and associated amplifiers or in places requiring great compactness.
  • the support tool (6) in the form of a plate can be made integral with the integrated circuits that it supports.
  • the support tool is provided with openings or cutouts allowing the passage and placement of the conductors ending in the pads conductive (223ai, 223di, 223ei, 223fi) for grounding the respective components (11 a, 1 1d, 11 e, 11f).
  • the assembly according to the invention can make it possible to assemble the components on a flexible insulating support which can be folded in the form of an accordion or sheaf with other flexible assemblies to make a 3D assembly using BGA technology ( Bail Grid Array).
  • mounting integrated circuits on a flexible ribbon-type support comprises the following steps:
  • a step of forming a spider consisting of an insulating frame supporting a plurality of conductors having ends internal to the frame and ends external to the frame;
  • the method comprises a step of folding an internal conductor, the end of which defines a larger surface than that of the other internal conductors and a step, after removal of the plate, of connection of the range of this internal conductor. to the face of the integrated circuit which is opposite to the face provided with studs for connection with the other internal conductors.
  • the steps of moving the weld head bring it into zones adjacent to two components.
  • the internal ends of the conductors have a width two to three times less than the width of the conductors supported by the insulating frame or external ends.
  • the external ends after having been cut to be released from a second frame surrounding the first frame are connected by thermocompression welding to the conductive tracks of a printed circuit.
  • the ultrasonic welding of the ends of the internal conductors of gilded copper is carried out metal on metal by soldering this end of gilded copper with the connection pads of aluminum formed directly on the integrated circuits.
  • the semiconductor components are mounted on a plate made integral with the integrated circuits, the plate being provided with openings or cutouts allowing the passage and the positioning of the conductors ending in the conductive pads (223ai, 223di , 223ei, 223fi) to earth the respective components (1 1 a, 1 1 d, 1 1 e, 1 1f).
  • the support comprises extensions of the insulating material forming the frame of the spider, these extensions extending towards the inside of the frame and having the purpose of supporting the internal conductor (s) passing in an area adjacent to the minus two semiconductor components.
  • the extensions can be in the form of L and / or T and / or cross.
  • the invention therefore relates to a method of mounting at least one integrated circuit (1 1 a-1 1f) on a support, the integrated circuit having an active face provided with connection pads and a opposite face having an electrical contact surface, the method comprising forming a support including an insulating substrate (21) forming at least one frame supporting a plurality of first conductors (22) extending out of the frame, in at least one area internal to the frame designed to receive at least the integrated circuit, by internal ends (221 ai-221fi) having a dimension adapted to said studs, and the connection by welding the ends internal of the first conductors to the pads of at least the integrated circuit.
  • the formation of the support further comprises the formation of at least a second conductor extending out of the frame by an end internal to the frame having a surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) larger than that of the ends internal of the first conductors and in that the method further comprises connecting the internal end of at least the second conductor to said contact surface of at least the integrated circuit and bending the internal end of at least minus the second conductor to allow said connections of the internal ends of the first conductors and at least the second conductor.
  • the first conductors and at least the second conductor are formed from a conductive layer.
  • the internal end of at least the second conductor is integral with the internal end of at least one of the first conductors and the internal end at least the second conductor is detached from the internal end of at least one of the first conductors to allow folding of the internal end of at least the second conductor.
  • the support being intended for mounting several integrated circuits inside the frame
  • the method can also comprise the arrangement of a part of the first conductors so that their internal ends are distributed in zones (af) corresponding to the locations of the circuits. integrated inside the frame and the arrangement of at least the second conductor so that the internal end corresponds to a zone (af) provided for one of said integrated circuits in the frame.
  • the invention also relates to a support for at least one integrated circuit (1 1 a-1 1f) having an active face provided with connection pads and an opposite face having an electrical contact surface, the support comprising an insulating substrate.
  • the frame further supports at least one second conductor extending outside the frame by an internal end having a surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) larger than that of the internal ends of the first conductors and connected to said contact surface of at least the integrated circuit.
  • the first conductors when several integrated circuits are mounted inside the frame, a portion of the first conductors is disposed between at least two of the integrated circuits inside the frame so that their internal ends are distributed in corresponding zones (af) at the locations of the integrated circuits inside the frame and at least the second conductor is arranged so that its internal end corresponds to a zone (af) provided for one of said integrated circuits in the frame.
  • the internal end of at least the second conductor comprises a tab which is wider than the internal end of the first conductors and ending in an even wider contact area provided for connection to the contact surface of an integrated circuit.
  • the conductors carried by the frame have external ends intended for the external connection of the support on a plate, to a printed circuit for example.
  • the invention also relates to a support for several integrated circuits (1 1 a-1 1f) each having an active face provided with connection pads, the support comprising an insulating substrate (21) forming at least one frame supporting first conductors (22) extending out of the frame and inside of it by internal ends (221ai-221fi) connected to the pads of at least the integrated circuit.
  • a portion of the first conductors is disposed between at least two of the integrated circuits inside the frame so that their internal ends are distributed in zones (af) corresponding to the locations of the integrated circuits inside the frame.
  • Part of the inner ends of the first conductors can extend inside the frame, being supported by at least one extension (210, 212) of the substrate inside the frame.
  • the inner ends of the first conductors may have a width two to three times greater than the width of the parts of these conductors which are supported by the frame.
  • the internal ends of the first conductors can be connected to the studs by ultrasonic welding.
  • the conductors carried by the frame may have external ends intended for the external connection of the support, to a printed circuit for example.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

Le support comprend un substrat (21) formant un cadre porteur de conducteurs (22) dont une partie sont disposés entre au moins deux des circuits intégrés (11a-11f) placés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes (22 ai-221fi) se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés pour être connectées à leurs plots respectifs. Lorsque des circuits intégrés ont une surface de contact de masse sur leur face opposée à la face présentant les plots de connexion, le montage comprend la formation, sur le substrat du support TAB, de conducteurs additionnels pourvus d'extrémités internes respectives (223ai, 223di, 223fi) plus larges que celles des autres conducteurs et pliées pour permettre la connexion des autres conducteurs aux plots des circuits intégrés et pour être connectées aux surfaces de contact de masse des circuits intégrés respectifs.

Description

Procédé de montage de circuits intégrés sur un support et support en résultant
L'invention se rapporte à un procédé de montage de circuits intégrés sur un support, par exemple de type ruban, utilisant la technologie communément appelée TAB (Tape Automated Bonding).
Les circuits intégrés forment de fines plaquettes de matériau semiconducteur, par exemple en silicium, de forme carrée ou rectangulaire et pourvues de plots de connexion en aluminium. Les circuits intégrés sont généralement montés sur une face d'une céramique, par exemple en alumine, laquelle est traversée par des conducteurs en cuivre pour aboutir à des plages de connexion sur la face de la céramique opposée à celle supportant les circuits intégrés. La jonction entre les plots d'un circuit intégré et les conducteurs traversant la céramique se fait par la technologie de liaison par fils, dite "Wire Bonding", permettant de relier les plots de connexion du circuit intégré aux plages de connexion de la céramique supportant le circuit intégré et formant avec le capot qui vient protéger l'ensemble formant un boîtier de circuits intégrés. Le boîtier ainsi constitué est ensuite relié à un circuit imprimé par la technologie TAB en établissant des liaisons électriques à l'aide d'une structure de conducteurs d'un support TAB entre les plages de connexion traversant la céramique et les pistes conductrices prévues sur le circuit imprimé. Ce type de technologie est représenté en liaison avec la figure 4A et est également connu par le brevet EP 0 812237 du demandeur.
En général pour souder sans additif les rubans conducteurs sur le circuit intégré, on utilise la technique de thermocompression qui permet de faire diffuser les matériaux à une température d'environ 500° et de les lier entre eux. Cette technologie de soudure est utilisable sur le circuit imprimé ou sur le boîtier de circuits intégrés possédant des boules de connexion (bumps) en or, cuivre doré ou nickel-or, équipé de sa céramique en alumine. Elle est aussi utilisée directement sur les circuits intégrés mais elle risque d'endommager les circuits quand il y a excès d'échauffement.
De même, le brevet US 5 612 259 propose un procédé de fixation de ruban TAB sur un boîtier semi-conducteur. Cette technologie de soudure ne supporte pas un environnement difficile. En effet, l'expérience a démontré que cette technologie de liaison soumise à des températures de fonctionnement de 175° pendant plusieurs années et des vibrations générait des défaillances dans le fonctionnement du matériel résultant des ruptures des soudures provoquées par la masse de la céramique.
D'autre part, des circuits intégrés actuels nécessitent un contact de potentiel fixe prédéterminé, ordinairement la masse, sur leur face opposée à la face active qui porte les plots de connexion.
Un but de l'invention est de pouvoir faire simplement par la technologie TAB le contact désiré de masse.
Un autre but de l'invention est de pouvoir former par la technologie TAB un ensemble formant boîtier de plusieurs circuits intégrés.
Un autre but de l'invention est de proposer une liaison de circuits intégrés avec le circuit imprimé supportant un environnement difficile dans lequel les circuits sont soumis à des températures de l'ordre de 175° et à des vibrations.
L'invention a pour objet un procédé de montage d'au moins un circuit intégré sur un support, le circuit intégré ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le procédé comprenant la formation d'un support incluant un substrat isolant formant au moins un cadre supportant une pluralité de premiers conducteurs se prolongeant hors du cadre, dans un moins une zone interne au cadre prévue pour recevoir au moins le circuit intégré, par des extrémités internes ayant une dimension adaptée auxdits plots, et la connexion par soudage des extrémités internes des premiers conducteurs aux plots d'au moins le circuit intégré, le procédé étant caractérisé en ce que la formation du support comprend en outre la formation d'au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne au cadre présentant une surface plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et en ce que le procédé comprend en outre la connexion de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré et le pliage de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur pour permettre lesdites connexions des extrémités internes des premiers conducteurs et d'au moins le second conducteur.
L'invention a aussi pour objet un support d'au moins un circuit intégré ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le support comprenant un substrat isolant formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes connectées aux plots d'au moins le circuit intégré, caractérisé en ce que le cadre supporte en outre au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne présentant une surface plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et connectée à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré.
L'invention a encore pour objet un support de plusieurs circuits intégrés ayant chacun une face active pourvue de plots de connexion, le support comprenant un substrat isolant formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes connectées aux plots d'au moins le circuit intégré, caractérisé en ce qu'une partie des premiers conducteurs est disposée entre au moins deux des circuits intégrés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre.
D'autres particularités et avantages de la présente invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description ci-après faite en référence aux dessins annexés dans lesquels :
- la figure 1 représente une vue en coupe de l'outillage de montage de circuits intégrés selon le procédé de l'invention ;
- la figure 2 représente une vue de dessus du support utilisé dans le procédé de montage selon l'invention ; - la figure 3 représente une vue en coupe des circuits intégrés assemblés sur le ruban TAB selon l'invention, lui-même assemblé à un circuit imprimé ;
- la figure 4A représente une vue en coupe d'un boîtier semiconducteur de l'art antérieur ; - la figure 4B représente une vue de dessus des circuits intégrés sur la céramique en alumine une fois le capot enlevé dans le boîtier de la figure 4A ;
- la figure 4C représente un plan schématique de la disposition des circuits intégrés constituant le boîtier de la figure 4A ; et - la figure 5 représente une variante de réalisation de la liaison des conducteurs extérieurs du support conforme à l'invention à un circuit imprimé.
Comme expliqué précédemment dans la technologie antérieure en référence à la figure 4A, les circuits intégrés, par exemple en silicium, (1 1 , 1 1 a, 1 1 b, 1 1 c, 1 1 d, 1 1 e, 1 1f) sont montés sur une céramique (10) aux emplacements (a, b, c, d, e, f) représentés sur la figure 4C. Cette céramique (10) est pourvue à sa périphérie de plages de connexion (15, 13), lesquelles traversent l'épaisseur de la céramique et sont constituées d'or. Les circuits intégrés (1 1 a à 1 1 e, figure 4B) disposent chacun de plots de contact en aluminium qui sont reliés aux plages de contact (15, 13) de la céramique (10) par la technologie de liaison par fils (Wire Bonding), comme représenté à la figure 4B, par des fils conducteurs (14, 12) pour chaque circuit intégré (11 a à 11f). Le boîtier de circuits intégrés est ensuite relié par ses plages de connexion extérieure (15, 13) à une araignée formée dans un ruban, laquelle est elle-même connectée à un circuit imprimé (7).
Par araignée, l'homme de métier comprend un support TAB classique dont les conducteurs en cuivre ayant une épaisseur d'environ 17 à 70 microns et une largeur variable selon les besoins sont appelés pattes de l'araignée et forment des rubans. Une partie de ces rubans est supportée par un substrat électriquement isolant réalisé dans un matériau organique souple tel que par exemple un polyimide. Les extrémités des rubans conducteurs situées à l'extérieur du cadre sont rendues libres après découpe et enlèvement d'un cadre périphérique servant à positionner l'ensemble pendant les opérations de montage. Les extrémités libres vers l'intérieur des conducteurs sont représentés à la figure 4A par la référence (22i), les extrémités libres à l'extérieur par la référence (22e) ; entre ces deux extrémités du même conducteur est formée la zone (22) dans laquelle le conducteur repose sur le substrat en polyimide (21 ) en général en forme de cadre. Les conducteurs (22) se prolongent par une partie qui, au départ, est rendue solidaire d'un deuxième cadre en substrat isolant et qui, après découpe, permet d'obtenir les pattes externes libres (22e) de l'araignée. La technologie de l'art antérieur pose les problèmes que l'on a vus précédemment et particulièrement lorsque le boîtier est constitué d'un substrat en alumine (10) sur lequel reposent différents circuits intégrés apportant différentes fonctionnalités. Dans ce cas, la technologie de l'art antérieur n'est pas applicable directement sur les circuits intégrés car celles- ci peuvent comporter des structures en nid d'abeille qui sont très fragiles et ne résisteraient pas aux soudures à des températures de 500°. Ainsi, dans l'exemple pris comme art antérieur, le boîtier comporte six circuits intégrés (11 a à 11f) et l'exemple pris pour illustrer l'invention utilise un procédé de montage de ces circuits intégrés selon la technique sans boule (bumpless) TAB pour supporter un environnement difficile en température et en vibration.
L'invention consiste, comme représenté à l'aide des figures 1 à 3, à disposer les circuits intégrés (1 1 a à 11 f ) sur une plaque de support (6) pourvu de canaux (61 à 64) d'aspiration destinés à maintenir en place par aspiration chaque circuit intégré (11 a à 11f) pendant l'opération de soudure des extrémités internes des conducteurs de l'araignée, extrémités qui comportent la lettre i à la fin de leurs références. De même, des moyens connus permettent d'assurer un positionnement relatif précis de l'araignée et des extrémités internes de ses conducteurs par rapport aux circuits intégrés montés sur la plaque. Les extrémités externes, comme représenté sur la figure 2, comportent la lettre e dans leurs références. La première lettre qui suit le chiffre de référence indique le circuit intégré auquel se rapporte la référence et sur lequel vient se connecter le conducteur référencé de l'araignée. Les figures 1 et 3 représentent une vue en coupe respectivement de l'outillage de montage pour la figure 1 et des circuits assemblés sur le ruban pour la figure 3, selon l'axe de coupe AA de la figure 2. La figure 2 représente une vue de dessus du support constitutif de l'araignée une fois la bande périphérique de substrat supportant les conducteurs est découpée de façon à libérer les extrémités de conducteurs constitutives des extrémités externes par rapport au cadre (21) du substrat constituant le corps de l'araignée. Pour ces raisons, les extrémités qui, au départ, ne sont pas libres et ne sont pas externes, sont représentées sur la figure 2 et sur les autres figures avec la référence e de façon à faire comprendre au lecteur que celles-ci, en fin de montage, sont externes et sont reliées aux pistes conductrices (71 , 72) du circuit imprimé (7) de la figure 3. Le substrat (21 ) est, comme représenté à la figure 2, partagé en autant de zones que de circuits intégrés élémentaires et comporte, à titre d'exemple, six zones dans lesquelles seront implantés successivement les six circuits intégrés (11a- 11 f). Dans chacune des zones respectives, les extrémités libres internes de la structure de conducteurs (22) débouchent vers l'intérieur de la zone. Ainsi, dans la zone a, on peut constater qu'il y a un premier conducteur intérieur (221 ai), un deuxième conducteur intérieur (222ai) et une plage intérieure (223ai) de connexion à la masse du circuit intégré. Chacune des extrémités intérieures se prolonge sur le substrat (21 ) par des parties de conducteurs portant les références respectives (221 a, 222a, 223a) et qui se prolongent à l'extérieur du substrat (21 ) par des extrémités externes respectives (221 ae, 222ae, 223ae). En fait, le conducteur (222ai) est également commun à un conducteur (222bi) provenant d'une zone b et qui se prolonge par le conducteur (222ab) pour déboucher dans la zone b par le conducteur interne (222bi). Ceci permet de constituer entre les deux zones a et b, un conducteur commun (222ab) qui se sépare pour terminer au niveau de la zone a sous forme du conducteur interne (222ai) et au sein de la zone b sous forme du conducteur interne (222bi). Cette partie commune est supportée par une bande de substrat (212), laquelle est en forme de L et délimite dans l'angle inférieur gauche du cadre une zone de surface carrée au sein de laquelle viendra se positionner le circuit intégré a. Cette bande (212) permet également de supporter entre les circuits intégrés 11 a et 1 1c un conducteur (221c) qui se termine vers l'intérieur par l'extrémité (221 ci) et vers l'extérieur par l'extrémité (221 ce). L'extrémité intérieure (221 ci) de ce conducteur est orientée selon une direction perpendiculaire à la direction correspondant à l'extrémité (221 ce). De même, les extrémités intérieures (222ai et 222bi) des conducteurs sont orientées perpendiculairement à l'extrémité extérieure commune (222abe). Les zones adjacentes c et e sont départagées des deux zones adjacentes d et f à l'aide d'une bande de substrat isolant (210) en forme de T dont la jambe centrale est reliée, dans la zone adjacente aux circuits intégré 11c et 11 e, au côté longitudinal (21 L) du cadre (21) orienté vers le bas par rapport à l'orientation de figure de la feuille et la barre horizontale est reliée sur sa droite au côté latéral vertical (21 LV) du cadre (21 ) lorsque celui-ci est regardé conformément à l'orientation de la référence de la figure. La bande isolante en forme de T (210) délimite ainsi un quadrilatère fermé dans lequel se situe la zone e, un quadrilatère ouvert dans lequel se situe la zone c et un grand rectangle ouvert sur le côté débouchant dans la zone b et constituant successivement les zones d et f. Dans la zone c, deux conducteurs internes (222ci, 223ci) débouchent perpendiculairement au côté longitudinal inférieur et se prolongent sur le substrat (21 ) par un seul conducteur (222c) pour se terminer à l'extérieur du substrat par un conducteur unique externe (222ce). Sur la barre horizontale du T opposée au côté longitudinal (21 L) débouche, perpendiculairement à cette barre, un conducteur (224ci), lequel se prolonge sur cette barre du T sur la barre centrale par un conducteur (224c) qui débouche vers l'extérieur par le conducteur libre (224ce). Dans la zone e, un premier conducteur (221 ei) débouche à l'intérieur de cette zone et se prolonge sur le substrat par le conducteur (221 e) pour finir à l'extérieur par le conducteur (221 ee).
On remarquera que les conducteurs intérieurs ont une largeur au minimum 2 à 3 fois plus faible que la portion de conducteur parcourant le substrat ou débouchant à l'extérieur du substrat, et constituant les conducteurs externes. Une seule exception est constituée par les plages conductrices (223ai, 223di, 223fi, 223ei) venant déboucher dans les parties centrales des zones respectives (a, d, f, e,) et permettant de constituer les contacts de mise à la masse des composants circuits intégrés. Ainsi, une plage conductrice (223ei) débouche sur le substrat par le conducteur (223e) et à l'extérieur de celui-ci par le conducteur (223ee). Cette plage conductrice (223ei) est encadrée, d'une part par le premier conducteur interne (221 ei), et d'autre part par un deuxième conducteur interne (222ei), lequel est disposé perpendiculairement au côté latéral droit du cadre isolant (21 ). Dans la zone f est également constituée une plage conductrice (223fi) interne, laquelle est reliée à un conducteur (223f) du substrat qui débouche par un conducteur externe (223fe) à l'extérieur du substrat. Le conducteur interne (221 fi) débouche perpendiculairement à la barre du T (210) et se prolonge sur la barre de T reliée au côté latéral droit du cadre par un conducteur (221 f), lequel débouche à l'extérieur du cadre isolant (21 ) par un conducteur extérieur (221 fe). Cette plage conductrice (223fi) est entourée par un premier conducteur interne (221 fi) et par un deuxième conducteur interne (222fi), lequel débouche perpendiculairement au côté longitudinal supérieur du cadre (21). Ce ou ces conducteurs (221 fi, 222fi) peuvent au départ être solidaires de la plage conductrice adjacente et découpés pour rendre la plage indépendante des conducteurs adjacents de façon à permettre le pliage de la plage conductrice Ce deuxième conducteur interne (222fi) se prolonge sur le côté latéral supérieur du cadre par un conducteur (222f) et se termine à l'extérieur par le conducteur (222fe). De même, une plage intérieure à la zone d constituée par le conducteur (223di) contourne le deuxième conducteur interne (222di) et vient déboucher sur le côté longitudinal supérieur du cadre isolant (21 ) par un conducteur (223d) qui se termine à l'extérieur par le conducteur (223de). Le deuxième contact interne (222di) se prolonge sur le substrat par le conducteur (222d) et à l'extérieur de celui-ci par le conducteur (222de). De même, le premier conducteur interne (221 di) de la zone d se prolonge par le conducteur (221 d) et se termine par le conducteur (221 de).
Le montage de l'araignée décrite en liaison avec la figure 2 s'effectue de la façon suivante.
Une fois que les différents composants de silicium ont été disposés sur l'outil de maintien (6), les extrémités internes de l'araignée constituant les plages conductrices (223ai, 223di, 223ei, 223fi) de connexion à la masse sont recourbées et les extrémités intérieures des conducteurs formant des extrémités étroites de dimension inférieure à celle des conducteurs externes et des conducteurs de liaison entre l'extérieur et l'intérieur sont reliées, comme représenté à la figure 1 , aux plots de connexion en aluminium (111 a) du circuit intégré respectif (11a-11f). Ainsi, les conducteurs internes (221 bi, 222bi) sont reliés aux plots d'aluminium (1 13b, 111 b) du circuit intégré (11 b) et la plage de connexion (114b) en aluminium recouverte d'or formée sur le circuit intégré (11 b) est reliée par soudure thermosonique à l'extrémité interne (224bi) du conducteur de cuivre (224b) dont l'extrémité externe (224be) sera ensuite reliée, par une soudure par thermocompression, à la plage conductrice (71 ) du circuit imprimé (7, figure 3). Une fois cette opération de soudure des extrémités internes des conducteurs effectuée, les plages de connexion à la masse des circuits intégrés (11 a, 11d, 11 e, 1 1f) sont cambrées pour venir s'appliquer sur la face du circuit intégré qui est opposée à la face comportant les plots de connexion des conducteurs internes. Ces plages (223ai, 223ei, 223fi et 223di) sont reliées électriquement par une colle au dos du semi-conducteur et permettent d'assurer la liaison à la masse du circuit intégré.
La figure 5 représente une variante de réalisation de la liaison des conducteurs extérieurs aux pistes conductrices (72, 71 ) du circuit imprimé (7). Cette liaison peut s'effectuer par une soudure avec boule (8), comme représenté sur cette figure. Cette liaison avec boule (8) peut servir à superposer plusieurs araignées selon l'invention, chacune étant reliée à plusieurs circuits intégrés. Dans ce cas, une partie (2) du cadre externe (23) du substrat isolant sera conservée et cette partie du cadre (23) sera percée de trous (230) de dimension suffisante pour assurer le contact électrique entre la boule (8) et l'extrémité (223ae) du conducteur respectif. Ainsi, on comprend que le ruban TAB doit inclure le routage entre les différents circuits intégrés et les pistes conductrices prévues sur le circuit imprimé correspondant à la disposition des contacts sur un boîtier final. Le montage ainsi réalisé sur un ruban flexible permet de conserver, pour l'ensemble, des dimensions correspondant à celles du boîtier céramique prévu originellement, sans que ceci présente les inconvénients évoqués précédemment. L'accessibilité des conducteurs permet de tester chacun des circuits formés sur les circuits intégrés et à chaque emplacement de circuits dont la face arrière doit être connectée, il existe une plage de connexion qui est coupée, puis pliée, pour ne pas gêner le report sur la face active. Après la liaison des conducteurs, on réalise la protection de l'ensemble en noyant les connexions et les parties non protégées de conducteurs dans une résine (30), comme représenté à la figure 4A.
Par exemple, les largeurs des extrémités internes des conducteurs sont de l'ordre de 50 microns et permettent la fixation ILB (Inner Lead Bonding) alors que les largeurs des extrémités externes permettant la fixation OLB (Outer Lead Bonding) sont de l'ordre de 130 microns, c'est-à- dire 2 à 3 fois plus larges que les extrémités internes. La couche de cuivre constitutive des conducteurs a une épaisseur de 25 microns avec une finition or d'une épaisseur d'environ 1 micron. Le substrat (21 ) est fait de polyimide et a une épaisseur de 50 microns. Les points de soudure sont effectués en appliquant l'électrode transmettant l'énergie thermosonique avec une force de 60 grammes pendant un temps de 60 millisecondes pour un déplacement de 1 à 2 μm, et une puissance de 70 Volt-Ampère ce qui permet de produire un échauffement local de l'ordre de 80° assurant la liaison entre l'aluminium, l'or et le cuivre. Le montage est livré sous forme de ruban remplaçant un circuit céramique et permet, par exemple, d'effectuer un pliage pour fournir des circuits sous forme d'accordéon intégrant les fonctions les plus diverses de façon pliée et surmoulée, permettant ainsi d'associer des fonctions microcontrôleurs et mémoire ou des blocs de plusieurs mémoires ensemble. Le dispositif dans sa forme la plus simple permet un placement au plus près des points de mesure et des amplificateurs associés ou dans des endroits nécessitant une grande compacité.
Dans une variante de réalisation, l'outil de support (6) en forme de plaque peut être rendu solidaire des circuits intégrés qu'il supporte. Dans ce cas, l'outil de support est pourvu d'ouvertures ou découpes permettant le passage et la mise en place des conducteurs se terminant par les plages conductrices (223ai, 223di, 223ei, 223fi) de liaison à la masse des composants respectifs (11 a, 1 1d, 11 e, 11f).
Dans une autre variante le montage selon l'invention peut permettre d'assembler les composants sur un support isolant flexible qui peut être plié sous forme d'accordéon ou gerbe avec d'autres ensembles flexibles pour en faire un ensemble 3D utilisant la technologie BGA (Bail Grid Array).
En résumé, le montage de circuits intégrés sur un support flexible du type ruban comporte les étapes suivantes :
- une étape de formation d'une araignée constituée d'un cadre isolant supportant une pluralité de conducteurs comportant des extrémités internes au cadre et des extrémités externes au cadre ;
- une étape de montage des circuits intégrés sur une plaque de positionnement et de maintien de ces circuits intégrés ;
- une étape de positionnement relatif de l'araignée par rapport aux circuits intégrés montés sur la plaque ;
- une étape de liaison par ultrasons des extrémités internes des conducteurs de l'araignée sur les plots d'un des circuits intégré ; et
- une étape de déplacement de la tête de soudure et de réitération des étapes de soudure jusqu'à ce que tous les circuits intégrés soient liés par au moins une extrémité interne de conducteurs de l'araignée.
Selon une particularité, le procédé comporte une étape de pliage d'un conducteur interne dont l'extrémité définit une surface plus importante que celle des autres conducteurs internes et une étape, après retrait de la plaque, de liaison de la plage de ce conducteur interne à la face du circuit intégré qui est opposée à la face pourvue de plots pour la connexion avec les autres conducteurs internes.
Selon une autre particularité, les étapes de déplacement de la tête de soudure amènent celle-ci dans des zones adjacentes à deux composants. Selon une autre particularité, les extrémités internes des conducteurs ont une largeur deux à trois fois inférieure à la largeur des conducteurs supportés par le cadre isolant ou des extrémités externes.
Selon une autre particularité, les extrémités externes après avoir été découpées pour être libérées d'un deuxième cadre entourant le premier cadre sont connectées par une soudure par thermocompression aux pistes conductrices d'un circuit imprimé.
Selon une autre particularité, la soudure par ultrasons des extrémités des conducteurs internes en cuivre doré est effectuée métal sur métal en soudant cette extrémité en cuivre doré avec les plots de connexion en aluminium formé directement sur les circuits intégrés.
Selon une autre particularité, les composants semi-conducteurs sont montés sur une plaque rendue solidaire des circuits intégrés, la plaque étant pourvue d'ouvertures ou découpes permettant le passage et la mise en place des conducteurs se terminant par les plages conductrices (223ai, 223di, 223ei, 223fi) de liaison à la masse des composants respectifs (1 1 a, 1 1 d, 1 1 e, 1 1f).
Selon une autre particularité, le support comporte des prolongements du matériau isolant formant le cadre de l'araignée, ces prolongements s'étendant vers l'intérieur du cadre et ayant pour but de supporter le ou les conducteurs internes passant dans une zone adjacente à au moins deux composants semi-conducteurs.
Selon une autre particularité, les prolongements peuvent être en forme de L et/ou de T et/ou de croix. D'une manière générale, l'invention a donc pour objet un procédé de montage d'au moins un circuit intégré (1 1 a-1 1f) sur un support, le circuit intégré ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le procédé comprenant la formation d'un support incluant un substrat isolant (21) formant au moins un cadre supportant une pluralité de premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre, dans un moins une zone interne au cadre prévue pour recevoir au moins le circuit intégré, par des extrémités internes (221 ai-221fi) ayant une dimension adaptée auxdits plots, et la connexion par soudage des extrémités internes des premiers conducteurs aux plots d'au moins le circuit intégré. Selon l'invention, la formation du support comprend en outre la formation d'au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne au cadre présentant une surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et en ce que le procédé comprend en outre la connexion de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré et le pliage de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur pour permettre lesdites connexions des extrémités internes des premiers conducteurs et d'au moins le second conducteur. Comme variantes possibles, les premiers conducteurs et au moins le second conducteur sont formés à partir d'une couche conductrice. De même, lors de la formation des premiers conducteurs et d'au moins le second conducteur, l'extrémité interne d'au moins le second conducteur est solidaire de l'extrémité interne d'au moins un des premiers conducteurs et l'extrémité interne d'au moins le second conducteur est détachée de l'extrémité interne d'au moins l'un des premiers conducteurs pour permettre le pliage de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur.
Le support étant destiné au montage de plusieurs circuits intégrés à l'intérieur du cadre, le procédé peut comprendre en outre la disposition d'une partie des premiers conducteurs de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre et la disposition d'au moins le second conducteur de façon que l'extrémité interne corresponde à une zone (a-f) prévue pour l'un desdits circuits intégrés dans le cadre. L'invention a aussi pour objet un support d'au moins un circuit intégré (1 1 a-1 1f) ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le support comprenant un substrat isolant (21 ) formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes (221 ai-221 fi) connectées aux plots d'au moins le circuit intégré. Selon l'invention, le cadre supporte en outre au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne présentant une surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et connectée à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré.
En variante, lorsque plusieurs circuits intégrés sont montés à l'intérieur du cadre, une partie des premiers conducteurs est disposée entre au moins deux des circuits intégrés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre et au moins le second conducteur est disposé de façon que son extrémité interne corresponde à une zone (a-f) prévue pour l'un desdits circuits intégrés dans le cadre. Selon d'autres variantes, l'extrémité interne d'au moins le second conducteur comprend une patte plus large que l'extrémité interne des premiers conducteurs et se terminant par une plage de contact encore plus large prévue pour la connexion à la surface de contact d'un circuit intégré. De même, les conducteurs portés par le cadre présentent des extrémités externes destinées à la connexion extérieure du support sur une plaque, à un circuit imprimé par exemple.
L'invention a aussi pour objet un support de plusieurs circuits intégrés (1 1 a-1 1f) ayant chacun une face active pourvue de plots de connexion, le support comprenant un substrat isolant (21 ) formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes (221ai-221fi) connectées aux plots d'au moins le circuit intégré. Selon l'invention, une partie des premiers conducteurs est disposée entre au moins deux des circuits intégrés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre.
Plusieurs variantes sont possibles. Une partie des extrémités intérieures des premiers conducteurs peuvent s'étendre à l'intérieur du cadre en étant supportées par au moins un prolongement (210, 212) du substrat à l'intérieur du cadre. Les extrémités intérieures des premiers conducteurs peuvent avoir une largeur deux à trois fois supérieure à la largeur de parties de ces conducteurs qui sont supportées par le cadre. Les extrémités internes des premiers conducteurs peuvent être connectées au plots par soudure par ultrasons. Enfin, les conducteurs portés par le cadre peuvent présenter des extrémités externes destinées à la connexion extérieure du support, à un circuit imprimé par exemple.
D'autres modifications à la portée de l'homme de métier font également partie de l'esprit de l'invention.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de montage d'au moins un circuit intégré (1 1 a-11f) sur un support flexible, le circuit intégré ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le procédé comprenant la formation d'un support incluant un substrat isolant (21 ) formant au moins un cadre supportant une pluralité de premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre, dans un moins une zone interne au cadre prévue pour recevoir au moins le circuit intégré, par des extrémités internes (221 ai-221fi) ayant une dimension adaptée auxdits plots, et la connexion par soudage des extrémités internes des premiers conducteurs aux plots d'au moins le circuit intégré, le procédé étant caractérisé en ce que la formation du support comprend en outre la formation d'au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne au cadre présentant une surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et en ce que le procédé comprend en outre la connexion de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré et le pliage de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur pour permettre lesdites connexions des extrémités internes des premiers conducteurs et d'au moins le second conducteur.
2. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que, lors de la formation des premiers conducteurs et d'au moins le second conducteur, l'extrémité interne d'au moins le second conducteur est solidaire de l'extrémité interne d'au moins un des premiers conducteurs et en ce que l'extrémité interne d'au moins le second conducteur est détachée de l'extrémité interne d'au moins l'un des premiers conducteurs pour permettre le pliage de l'extrémité interne d'au moins le second conducteur.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le support étant destiné au montage de plusieurs circuits intégrés à l'intérieur du cadre, le procédé comprend en outre la disposition d'une partie des premiers conducteurs de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre et la disposition d'au moins le second conducteur de façon que l'extrémité interne corresponde à une zone (a-f) prévue pour l'un desdits circuits intégrés dans le cadre.
4. Support d'au moins un circuit intégré (11 a-11f) ayant une face active pourvue de plots de connexion et une face opposée présentant une surface de contact électrique, le support comprenant un substrat isolant (21 ) formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes (221 ai-221fi) connectées aux plots d'au moins le circuit intégré, caractérisé en ce que le cadre supporte en outre au moins un second conducteur se prolongeant hors du cadre par une extrémité interne présentant une surface (223ai, 223di, 223ei, 223fi) plus grande que celles des extrémités internes des premiers conducteurs et connectée à ladite surface de contact d'au moins le circuit intégré.
5. Support selon la revendication 4, caractérisé en ce que plusieurs circuits intégrés étant montés à l'intérieur du cadre, une partie des premiers conducteurs est disposée entre au moins deux des circuits intégrés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre et au moins le second conducteur est disposé de façon que son extrémité interne corresponde à une zone (a-f) prévue pour l'un desdits circuits intégrés dans le cadre.
6. Support selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que l'extrémité interne d'au moins le second conducteur comprend une patte plus large que l'extrémité interne des premiers conducteurs et se terminant par une plage de contact encore plus large prévue pour la connexion à la surface de contact d'un circuit intégré.
7. Support selon l'une des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que les conducteurs portés par le cadre présentent des extrémités externes destinées à la connexion extérieure du support sur une plaque, à un circuit imprimé (7) par exemple.
8. Support de plusieurs circuits intégrés (11 a-11f) ayant chacun une face active pourvue de plots de connexion, le support comprenant un substrat isolant (21 ) formant au moins un cadre supportant des premiers conducteurs (22) se prolongeant hors du cadre et à l'intérieur de celui-ci par des extrémités internes (221 ai-221fi) connectées aux plots d'au moins le circuit intégré, caractérisé en ce qu'une partie des premiers conducteurs est disposée entre au moins deux des circuits intégrés à l'intérieur du cadre de façon que leurs extrémités internes se répartissent en zones (a-f) correspondant aux emplacements des circuits intégrés à l'intérieur du cadre.
9. Support selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'une partie des extrémités intérieures des premiers conducteurs s'étendent à l'intérieur du cadre en étant supportées par au moins un prolongement (210, 212) du substrat à l'intérieur du cadre.
10. Support selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les extrémités intérieures des premiers conducteurs ont une largeur deux à trois fois supérieure à la largeur de parties de ces conducteurs qui sont supportées par le cadre.
1 1 . Support selon l'une des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que les extrémités internes des premiers conducteurs sont connectées au plots par soudure par ultrasons.
12. Support selon l'une des revendications 8 à 1 1 , caractérisé en ce que les conducteurs portés par le cadre présentent des extrémités externes destinées à la connexion extérieure du support, à un circuit imprimé (7) par exemple.
PCT/FR2001/000368 2000-02-10 2001-02-08 Procede de montage de circuits integres sur un support conducteur et support en resultant WO2001059829A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR00/01662 2000-02-10
FR0001662A FR2805083A1 (fr) 2000-02-10 2000-02-10 Procede de montage et de fabrication de circuits integres sur un support et support en resultant

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2001059829A2 true WO2001059829A2 (fr) 2001-08-16
WO2001059829A3 WO2001059829A3 (fr) 2002-03-28

Family

ID=8846857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2001/000368 WO2001059829A2 (fr) 2000-02-10 2001-02-08 Procede de montage de circuits integres sur un support conducteur et support en resultant

Country Status (2)

Country Link
FR (1) FR2805083A1 (fr)
WO (1) WO2001059829A2 (fr)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3036439A1 (de) * 1980-09-26 1982-04-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung eines rueckseitenkontaktes bei filmmontierten integrierten schaltkreisen
EP0207852A1 (fr) * 1985-06-26 1987-01-07 Bull S.A. Procédé de montage d'un circuit intégré sur un support, dispositif en résultant et son application à une carte à microcircuits électroniques
JPH01310589A (ja) * 1988-06-08 1989-12-14 Seiko Instr Inc 積重基板の表裏導通構造
US4917286A (en) * 1987-05-20 1990-04-17 Hewlett-Packard Company Bonding method for bumpless beam lead tape
EP0498446A2 (fr) * 1991-02-08 1992-08-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Dispositif encapsulé à plusieurs puces semi-conductrices et procédé pour sa fabrication
US5612259A (en) * 1993-07-29 1997-03-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Method for manufacturing a semiconductor device wherein a semiconductor chip is mounted on a lead frame
FR2749974A1 (fr) * 1996-06-13 1997-12-19 Bull Sa Procede de montage d'un circuit integre sur un support et support en resultant
US5917242A (en) * 1996-05-20 1999-06-29 Micron Technology, Inc. Combination of semiconductor interconnect

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5702527A (en) * 1995-02-22 1997-12-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Restricted flow die

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3036439A1 (de) * 1980-09-26 1982-04-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung eines rueckseitenkontaktes bei filmmontierten integrierten schaltkreisen
EP0207852A1 (fr) * 1985-06-26 1987-01-07 Bull S.A. Procédé de montage d'un circuit intégré sur un support, dispositif en résultant et son application à une carte à microcircuits électroniques
US4917286A (en) * 1987-05-20 1990-04-17 Hewlett-Packard Company Bonding method for bumpless beam lead tape
JPH01310589A (ja) * 1988-06-08 1989-12-14 Seiko Instr Inc 積重基板の表裏導通構造
EP0498446A2 (fr) * 1991-02-08 1992-08-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Dispositif encapsulé à plusieurs puces semi-conductrices et procédé pour sa fabrication
US5612259A (en) * 1993-07-29 1997-03-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Method for manufacturing a semiconductor device wherein a semiconductor chip is mounted on a lead frame
US5917242A (en) * 1996-05-20 1999-06-29 Micron Technology, Inc. Combination of semiconductor interconnect
FR2749974A1 (fr) * 1996-06-13 1997-12-19 Bull Sa Procede de montage d'un circuit integre sur un support et support en resultant

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
EDWARDS J C: "NO-BUMP BEAM TAPE" IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN,US,IBM CORP. NEW YORK, vol. 25, no. 4, 1 septembre 1982 (1982-09-01), pages 1948-1949, XP000577277 ISSN: 0018-8689 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 014, no. 112 (E-0897), 28 février 1990 (1990-02-28) -& JP 01 310589 A (SEIKO INSTR & ELECTRON LTD), 14 décembre 1989 (1989-12-14) *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2805083A1 (fr) 2001-08-17
WO2001059829A3 (fr) 2002-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0239494B1 (fr) Boîtier de circuit intégré
TWI543309B (zh) 用於具有多個微電子元件及倒裝型連接之封裝的嵌入式熱分散器
JP3935370B2 (ja) バンプ付き半導体素子の製造方法、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
EP0565391B1 (fr) Procédé et dispositif d'encapsulation en trois dimensions de pastilles semi-conductrices
EP1021792B1 (fr) Procede de fabrication de cartes a puce aptes a assurer un fonctionnement a contact, et sans contact
FR2762929A1 (fr) Boitier de semi-conducteur ayant un element semi-conducteur, une structure de fixation de boitier de semi-conducteur montee sur une plaquette de circuits imprimes, et procede d'assemblage de boitier de semi-conducteur
JP3584930B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
FR2893764A1 (fr) Boitier semi-conducteur empilable et procede pour sa fabrication
JP3447051B2 (ja) 効率のよい熱伝達のための内部構造を備えたチップ・パッケージ
FR2720190A1 (fr) Procédé de raccordement des plages de sortie d'une puce à circuit intégré, et module multipuces ainsi obtenu.
EP0593330A1 (fr) Procédé d'interconnexion 3D de boîtiers de composants électroniques, et composant 3D en résultant
KR100825793B1 (ko) 배선을 구비하는 배선 필름, 상기 배선 필름을 구비하는반도체 패키지 및 상기 반도체 패키지의 제조방법
FR2759493A1 (fr) Dispositif de puissance a semiconducteur
FR2645681A1 (fr) Dispositif d'interconnexion verticale de pastilles de circuits integres et son procede de fabrication
EP0735582B1 (fr) Boítier de montage d'une puce de circuit intégré
FR2764115A1 (fr) Dispositif semiconducteur et procede de connexion des fils internes de masse d'un tel dispositif
FR3000325A1 (fr) Dispositif d'interconnexion pour circuits electroniques, notamment des circuits electroniques hyperfrequence
EP1724712A1 (fr) Micromodule, notamment pour carte à puce
EP0446125B1 (fr) Composant semi-conducteur de puissance
JP3301985B2 (ja) 半導体装置の製造方法
WO2001059829A2 (fr) Procede de montage de circuits integres sur un support conducteur et support en resultant
EP0079265A1 (fr) Procédé de réalisation d'un socle pour le montage d'une pastille semiconductrice sur l'embase d'un boîtier d'encapsulation
JP3697926B2 (ja) 半導体装置の製造方法
EP0368741A1 (fr) Support de circuit intégré et son procédé de fabrication, circuit intégré adapté au support et boîtiers en résultant
FR2760289A1 (fr) Boitier de puce de semiconducteur ayant une structure combinee de conducteurs situes sur la puce et de conducteurs normaux standards

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): JP

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2001907734

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref country code: JP

Ref document number: 2001 559055

Kind code of ref document: A

Format of ref document f/p: F

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 2001907734

Country of ref document: EP

AK Designated states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): JP

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

122 Ep: pct application non-entry in european phase