WO2001055789A3 - Resine amplifiee chimiquement et soumise a des ondes courtes - Google Patents

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Abstract

Cette résine est capable de former des images lorsqu'on la soumet à un rayonnement possédant une longueur d'onde d'environ 157 nm, et elle comprend un polymère qui forme un film pouvant se convertir en images et est substitué par au moins un groupe chimique fonctionnel de déséquençage pouvant être clivé dans des conditions de cuisson catalysée par un acide, afin de former des groupes polaires dotant le polymère déséquencé de solubilité dans un révélateur alcalin aqueux. Au moins un composé générateur de photoacide libère un acide lors de son exposition à un rayonnement et catalyse le clivage des groupes de déséquençage. On utilise une dose efficace d'au moins un composé phagocyte de radicaux pour minimiser les réactions diminuant la solubilité du polymère déséquencé dans un révélateur alcalin aqueux, un solvant, au moins, étant également utilisé.
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