WO2001040783A3 - Anordnung einer heizschicht für einen hochtemperaturgassensor - Google Patents

Anordnung einer heizschicht für einen hochtemperaturgassensor Download PDF

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Abstract

Bei bekannten Hochtemperaturgassensoren kann die Betriebstemperatur an der Funktionsschicht des Sensors weder genau eingestellt oder gemessen noch exakt geregelt werden. Die neue Anordnung soll es ermöglichen, in der Funktionsschicht des Sensors die Arbeitstemperatur flächendeckend exakt einzustellen. Zur Einstellung einer exakten Arbeitstemperatur über die ganze Funktionsschicht hinweg, wird die Heizleiterbahn, die unter der Funktionsschicht angeordnet ist, so aufgebaut, dass sie unterschiedliche partielle Heizwiderstände in den verschidenen Bereichen aufweist, indem die Pfadlänge und/oder die Breite der Heizleiterbahn von Teilabschnitt zu Teilabschnitt variiert werden. Derartige Anordnungen werden vor allem für Hochtemperaturgassensoren benötigt, die im Abgas eines Verbrennungsmotors eingesetzt werden.
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