WO2000061475A1 - Vorrichtung zum berührungslosen transportieren von bauteilen und system zum handhaben und lagern derselben - Google Patents

Vorrichtung zum berührungslosen transportieren von bauteilen und system zum handhaben und lagern derselben Download PDF

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Josef Zimmermann
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Definitions

  • the present invention relates to a device for the contactless transport of touch-sensitive components along a transport path.
  • the invention relates to a uniform system for the contactless horizontal and vertical transport of components in connection with the contactless storage and handling of these components.
  • the device according to US Pat. No. 5,810,155 has a conveyor rail, to whose initial section a vibration generator (source) is coupled, which excites the initial section of the conveyor rail in such a way that a traveling wave arises.
  • the traveling wave initiated in this way spreads in the direction of conveyance along the conveyor track.
  • a device (sink) for converting the mechanical energy of the traveling wave into electrical energy is provided at the end section of the conveyor rail. This device thus prevents reflection and thus a running back of the traveling wave.
  • Another disadvantage is that the amplitude of the traveling wave is lower at the end section than at the start section of the conveyor rail, i. that is, it must be ensured by constructive measures in the design of the conveyor rail that the amplitude of the traveling remains constant over its length.
  • This disadvantage is serious if a transport path is required that has curves and / or extends three-dimensionally in space, such as. B. a roller coaster.
  • the construction of a conveyor rail according to US 5,810,155 is no longer economically justifiable and in individual cases it is no longer technically solvable.
  • sound generating means that emit sound pressure waves are arranged along a transport path, the sound pressure waves striking the surface of the component to be transported and causing the component to float.
  • the sound pressure waves are stationary, ie they do not run in the conveying direction of the component, which leads to the component floating in place in the present invention.
  • a force is applied to the component, which also acts without contact.
  • This force can be generated by different non-contact principles.
  • the same construction as in claim 1 is used.
  • the components in a vibration node of the sound wave i.e. H. at a greater distance from the sound exit surface, while the components are held in the invention according to claim 1 by the so-called near-field sound pressure.
  • the near-field sound pressure makes it possible to transport larger masses with the same amount of energy.
  • the particular advantage of the device according to the invention according to claims 1 and 2 is that the device for generating the suspended state is completely decoupled from the means for generating the feed of the components to be transported.
  • the transport tracks can have any shape, ie, almost any three-dimensional and multi-curved space curves can be generated, such as z. B. from a "roller coaster" (rolier coaster) are known.
  • This possibility is completely ruled out if a transport path according to the conventional traveling wave principle according to US 5,810,155 should be used, since the transport path must have a predetermined natural frequency, by means of which a predetermined design is defined.
  • Another advantage is that the components and materials to be transported can be moved at an adjustable speed.
  • the components on the device according to the invention can also be stopped or transported backwards, which is possible both for all components floating on the transport rail and for an individually selected component.
  • sound pressure generating devices are used as accelerators. These acceleration means can be controlled almost without delay, so that very precise regulation of the transport speed of the components is possible.
  • air blowing nozzles or gas nozzles are used as the accelerating means.
  • These accelerators are very inexpensive and can be used where there is no undesirable side effect from escaping air or gas.
  • suction nozzles can also be used as accelerating means. These have the advantage that the surrounding air is not whirled up as strongly as is the case with blowing nozzles.
  • accelerators are used which act on the principle of electrostatic attraction or repulsion. These accelerators can be regulated well and are also inexpensive.
  • acceleration means are used which act on the principle of electromagnetic attraction or repulsion.
  • This Accelerators are also easy to regulate and inexpensive. However, they can only be used for parts or substances that can be influenced by magnetic forces.
  • accelerating means are used which act on the principle of the "eddy current linear motor". These accelerating means generate an eddy current with a magnetic field in electrically conductive parts according to principles known to the person skilled in the art A propelling force is applied to the component, which causes the component to be propelled in the desired transport direction.
  • the transport path is sloping, so that the gravitational force is used as the accelerating means, so that a particularly cost-effective transport device can be constructed.
  • Limiting devices are preferably provided laterally, which prevent the parts to be transported from sliding sideways.
  • the limiting agents can act in two fundamentally different ways:
  • the limiting means If the limiting means generate a compressive force, they are arranged outside the transport path in such a way that the compressive forces generated by them press on the parts to be transported from the outside in order not to let them slide off the transport path.
  • the accelerating means When the accelerating means generate a tensile force, they are arranged so that the tensile forces generated by them keep the parts to be transported on the transport path, i. H. preferably center on the center of the web.
  • the limiting devices can be arranged to act as acceleration devices at the same time.
  • a system for the contactless horizontal and vertical transport, storage and handling of components is claimed, the system comprising the following components:
  • the particular advantage of the system according to the invention is that the transport, handling and storage devices operate continuously without contact and using the same technology (sound pressure).
  • Fig. 1 shows a schematic diagram of a first embodiment of the
  • FIG. 2 shows a schematic diagram of a second embodiment of the
  • FIG. 3 shows a schematic diagram with a first side guide.
  • Fig. 4 shows a schematic diagram with a second side guide.
  • the arrows 3 indicate the direction of force of a contactlessly acting acceleration device (not shown). This loading acceleration device can preferably also be a sound source. The forces acting on the component cause the component to move in the direction B.
  • FIG. 2 also shows a series of sound sources 1 which direct sound vibrations against a flat component 2, so that the component hovers at a distance b above the sound sources 1 due to standing levitation sound waves.
  • the distance b is greater than the distance a according to FIG. 1.
  • This arrangement has a lower load capacity and is therefore only suitable for lighter objects. The component is accelerated or the drive is carried out analogously to FIG. 1a.
  • FIG. 3 shows an arrangement for centering the component 2 to be conveyed by means of the oscillators (sound sources) 1.
  • the conveying direction runs into the sheet plane, i. that is, four transducers 1 are arranged side by side on each rail section.
  • the inclined additional vibrators 4 center the component and thus prevent it from sliding sideways.
  • FIG. 4 shows the same arrangement as FIG. 3. Instead of the inclined additional vibrators 4 in FIG. 3, the outer vibrators 1 a are merely placed obliquely and thus also cause the component 2 to be centered.

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von berührungsempfindlichen Bauteilen entlang einer Transportbahn, wobei die Vorrichtung folgende Merkmale aufweist: Stationär-Schallerzeugungsmittel (1) zum Erzeugen von stationären Schalldruckwellen, die geeignet sind, die Bauteile (2) im Bereich der Schallabstrahlfläche der Stationär-Schallerzeugungsmittel (1) in der Schwebe zu halten, und Beschleunigungsmittel (3) oder/und Beschleunigungsmassnahmen, die auf das Bauteil (2) eine Kraft aufbringen, welche das Bauteil (2) auf einer Bahn bewegt, die durch die räumlich-konstruktive Anordnung der Schallerzeugungsmittel (1) vorbestimmt ist.

Description

VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN TRANSPORTIEREN VON BAUTEILEN UND SYSTEM ZUM HANDHABEN UND LAGERN DERSELBEN
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von berührungsempfindlichen Bauteilen entlang einer Transportbahn.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein einheitliches System zum berührungslosen waagerechten und senkrechten Transportieren von Bauteilen in Verbindung mit dem berührungslosen Lagern und Handhaben dieser Bauteile.
Um Teile oder Behälter entlang einer Transportbahn berührungslos schweben zu lassen, sind aus dem Stand der Technik verschiedene Technologien be- kannt. Weit verbreitet sind z. B. Transporteinrichtungen, die Luftpolster oder magnetische Abstoßungskräfte nutzen.
Jede dieser Technologien weist spezifische Betriebseigenschaften auf, die je nach vorgegebenen Randbedingungen einen technologischen Prozeß störend beeinflussen können.
So ist beim Transport von Wafern in Reinräumen von Bedeutung, daß die in den Reinräumen technologisch vorgeschriebene Luftströmung (Laminar-flow- Zustand) nicht beeinflußt wird. Zum berührungslosen Transport der Wafer werden sogenannte Air-tracking-Systeme eingesetzt, wobei der Wafer auf einem Luftkissen gehalten wird. Die aus den Düsen des Luftkissens ausströ- mende Luft stört den Laminar-flow-Zustand im Reinraum und erhöht somit die Gefahr, daß vagabundierende Partikel die Fertigungsqualität beeinflussen. Ein weiterer Nachteil von Air-tracking-Förderstrecken ist die starke Verwirbe- lung der aus den Düsen austretenden Luft. So können z. B. Partikel, die an der Unterseite der Wafer anhaften, unkontrolliert vagabundieren und sich auch auf der Waferoberseite absetzen.
Aus dem Patentdokument US 5,810,155 ist eine Transportvorrichtung bekannt, die nach dem Schalldruckprinzip arbeitet. Weitere Hinweise zu den Themen Schalldruck und akustische Levitation sind aus der nachfolgend genannten Literatur entnehmbar:
Lierke, E. G.: Vergleichende Betrachtung zur berührungslosen Positionierung von Einzeltropfen in aerodynamischen, akustischen und elektri- sehen Kraftfeldern. In: Forschung im Ingenieurwesen,
Bd. 61(1995) 7/8, S. 201-216. Lierke E. G.: Akustische Positionierung - Ein umfassender Überblick über
Grundlagen und Anwendungen. In: Acustica 82(1996), S. 220-
237.
Die Vorrichtung nach US 5,810,155 weist eine Förderschiene auf, an deren Anfangsabschnitt ein Schwingungserzeuger (Quelle) angekoppelt ist, der den Anfangsabschnitt der Förderschiene so anregt, daß eine Wanderwelle entsteht. Die so initiierte Wanderwelle breitet sich in Förderrichtung entlang der Förderschiene aus. Am Endabschnitt der Förderschiene ist eine Vorrichtung (Senke) zur Umwandlung der mechanischen Energie der Wanderwelle in elektrische Energie vorgesehen. Diese Vorrichtung verhindert somit eine Reflexion und damit ein Zurücklaufen der Wanderwelle.
Wenn auf der Förderschiene Gegenstände liegen, werden diese durch das von der Wanderwelle erzeugte wandernde Luftpolster zwischen der Förderschiene und der Grundfläche des zu befördernden Gegenstandes entlang der Förderschiene in Richtung der Senke bewegt. Versuche haben ergeben, daß es prinzipiell möglich ist, mit dieser Vorrichtung Gegenstände zu transportieren. Von Nachteil ist jedoch, daß die an dem Anfangsabschnitt eingetragene Energie zur Erzeugung der Wanderwelle der Förderschiene am Endabschnitt wieder entzogen, d. h. vernichtet, werden muß.
Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß die Amplitude der Wanderwelle am Endabschnitt geringer ist als am Anfangsabschnitt der Förderschiene, d. h., es muß durch konstruktive Maßnahmen bei der Auslegung der Förderschiene sichergestellt werden, daß die Amplitude der Wanderweile über ihre Länge konstant bleibt. Dieser Nachteil ist gravierend, wenn eine Transportbahn benötigt wird, die Kurven aufweist und/oder sich dreidimensional im Raum erstreckt, wie z. B. eine Achterbahn. In diesem Fall ist der Aufbau einer Förderschiene nach US 5,810,155 wirtschaftlich nicht mehr vertretbar und im Einzelfall auch technisch nicht mehr lösbar.
Ein weiteres Problem wird nachfolgend erläutert: Bauteile oder Stoffe, die einen Prozeß weitgehend berührungslos durchlaufen sollen, müssen an bestimmten Stellen z. B. senkrecht nach oben oder nach unten transportiert und/oder mittels eines Greifers in eine bestimmte Position gebracht werden. Weiterhin kann es erforderlich sein, die Bauteile oder Stoffe in einem Lager zwischenzulagem.
Nach dem derzeitigen Stand der Technik ist kein System bekannt, das eine durchgängig berührungsiose Technologie ermöglicht, in deren Rahmen die Teile oder Stoffe waagerecht und/oder senkrecht transportiert werden können und/oder auch positioniert und gelagert werden können.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Technologie bereitzustellen, die die Nachteile der vorstehend aufgeführten Technologien vermeidet.
Die Aufgabe wird mit Vorrichtungen nach den Ansprüchen 1 und 2 und einem System nach Anspruch 11 gelöst. Nach Anspruch 1 werden entlang einer Transportbahn Schallerzeugungsmittel angeordnet, die Schalldruckwellen abstrahlen, wobei die Schalldruckwellen senkrecht auf die Oberfläche des zu befördernden Bauteils auftreffen und das Bauteil schweben lassen. Die Schalldruckwellen sind im Gegensatz zu der Vorrichtung aus der US 5,810,155 stationär, d. h., sie laufen nicht in der Förderrichtung des Bauteils, was dazu führt, daß das Bauteil bei der vorliegenden Erfindung auf der Stelle schwebt.
Damit die Bewegung des Bauteils in die gewünschte Förder- bzw. Trans- portrichtung erfolgt, wird auf das Bauteil eine Kraft aufgebracht, die ebenfalls berührungslos angreift. Diese Kraft kann durch unterschiedliche berührungslos wirkende Prinzipien erzeugt werden.
Nach Anspruch 2 wird die gleiche Konstruktion wie nach Anspruch 1 einge- setzt. Der einzige Unterschied besteht darin, daß die Bauteile in einem Schwingungsknoten der Schallwelle, d. h. in einem größeren Abstand von der Schallaustrittsfläche, schweben, während die Bauteile bei der Erfindung nach Anspruch 1 durch den sogenannten Nahfeld-Schalldruck gehalten werden.
Der Nahfeld-Schalldruck ermöglicht es, bei gleichem Energieeinsatz größere Massen zu transportieren.
Es ist für den Fachmann klar, daß die geometrische Form und das Material der zu transportierenden Bauteile bei der konstruktiven Auslegung der Schaller- zeugungsmittel zu berücksichtigen sind.
Der besondere Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2 besteht darin, daß die Vorrichtung zur Erzeugung des Schwebezustandes von den Mitteln zur Erzeugung des Vorschubs der zu transportie- renden Bauteile vollständig entkoppelt ist. Dadurch können die Transportbahnen beliebige Formen aufweisen, d. h., es können nahezu beliebige dreidimensionale und mehrfach gekrümmte Raumkurven erzeugt werden, wie sie z. B. von einer „Achterbahn" (rolier-coaster) bekannt sind. Diese Möglichkeit ist vollständig ausgeschlossen, wenn eine Transportbahn nach dem herkömmlichen Wanderwellenprinzip gemäß US 5,810,155 eingesetzt werden sollte, da die Transportbahn eine vorbestimmte Eigenfrequenz aufweisen muß, durch die eine vorbestimmte konstruktive Ausgestaltung fest- gelegt ist.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die zu transportierenden Bauteile und Stoffe mit einstellbarer Geschwindigkeit bewegt werden können. Im Gegensatz zum Wanderwellenprinzip nach US 5,810,155 können die Bauteile auf der er- findungsgemäßen Vorrichtung auch angehalten oder rückwärts transportiert werden, was sowohl für alle auf der Transportschiene schwebenden Bauteile, als auch für ein einzelnes ausgewähltes Bauteil möglich ist.
Nach Anspruch 3 werden als Beschleunigungsmittel Schalldruckerzeugungs- Vorrichtungen eingesetzt. Diese Beschleunigungsmittel sind nahezu verzögerungsfrei ansteuerbar, so daß eine sehr genaue Regelung der Transportgeschwindigkeit der Bauteile möglich wird.
Nach Anspruch 4 werden als Beschleunigungsmittel Luftblasdüsen oder Gas- düsen eingesetzt. Diese Beschleunigungsmittel sind sehr preisgünstig und können dort eingesetzt werden, wo austretende Luft oder Gas keine unerwünschten Nebeneffekte erzeugen.
Es ist für den Fachmann klar, daß auch Saugdüsen als Beschleunigungsmittel eingesetzt werden können. Diese haben den Vorteil, daß die umgebende Luft nicht so stark aufgewirbelt wird, wie es bei Blasdüsen der Fall ist.
Nach Anspruch 5 werden Beschleunigungsmittel eingesetzt, die nach dem Prinzip der elektrostatischen Anziehung oder Abstoßung wirken. Diese Be- schleunigungsmittel sind gut regelbar und ebenfalls preisgünstig.
Nach Anspruch 6 werden Beschleunigungsmittel eingesetzt, die nach dem Prinzip der elektromagnetischen Anziehung oder Abstoßung wirken. Diese Beschleunigungsmittel sind ebenfalls gut regelbar und preisgünstig. Sie können jedoch nur bei Teilen oder Stoffen eingesetzt werden, die durch Magnetkräfte beeinflußbar sind.
Nach Anspruch 7 werden Beschleunigungsmittel eingesetzt, die nach dem Prinzip des „Wirbelstrom-Linearmotors" wirken. Diese Beschleunigungsmittel erzeugen in elektrisch leitenden Teilen nach dem Fachmann bekannten Prinzipien einen Wirbelstrom mit einem Magnetfeld. Dieses Magnetfeld wird von äußeren Magnetfeldern beeinflußt, wodurch auf das zu transportierende Bau- teil eine Vortriebskraft aufgebracht wird, die einen Vortrieb des Bauteils in die gewünschte Transportrichtung bewirkt.
Nach Anspruch 8 ist die Transportbahn abschüssig, so daß als Beschleunigungsmittel die Gravitationskraft verwendet wird, so daß eine besonders ko- stengünstige Transportvorrichtung aufgebaut werden kann.
Nach Anspruch 9 sind neben der Transportbahn, d. h. vorzugsweise seitlich, Begrenzungsvorrichtungen vorgesehen, die ein seitliches Abgleiten der zu transportierenden Teile verhindern. Die Begreπzungsmittel können auf zwei prinzipiell unterschiedliche Arten wirken:
Wenn die Begrenzungsmittel eine Druckkraft erzeugen, werden sie außerhalb der Transportbahn so angeordnet, daß die von ihnen erzeugten Druckkräfte von außen auf die zu transportierenden Teile drücken, um diese nicht von der Transportbahn abgleiten lassen.
Wenn die Beschleunigungsmittel eine Zugkraft erzeugen, werden sie so angeordnet, daß die von ihnen erzeugten Zugkräfte die zu transportierenden Teile auf der Transportbahn halten, d. h. vorzugsweise auf die Bahnmitte zentrieren.
Nach Anspruch 10 können die Begrenzungsvorrichtungen so angeordnet werden, um gleichzeitig als Beschleunigungsvorrichtungen zu wirken. Nach Anspruch 11 wird ein System zum berührungslosen waagerechten und senkrechten Transportieren, Lagern und Handhaben von Bauteilen beansprucht, wobei das System nachfolgende Komponenten aufweist:
a. eine Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2 und/oder b. eine berührungslos wirkende Vorrichtung zum senkrechten Transportieren und/oder c. eine berührungslos wirkende Vorrichtung zum Handhaben und/oder d. eine berührungslos wirkende Vorrichtung zum Lagern.
Der besondere Vorteil des erfindungsgemäßen Systems besteht darin, daß die Transport-, Handhabe- und Lagervorrichtungen durchgängig berührungslos und nach der gleichen Technologie (Schalldruck) arbeiten.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit beigefügten schematischen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Prinzipdarstellung einer ersten Ausführungsform der
Erfindung. Fig. 2 zeigt eine Prinzipdarstellung einer zweiten Ausführungsform der
Erfindung. Fig. 3 zeigt eine Prinzipdarstellung mit einer ersten Seitenführung.
Fig. 4 zeigt eine Prinzipdarstellung mit einer zweiten Seitenführung.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und beigefügten schematischen Zeichnungen näher erläutert.
Die Fig. 1 zeigt eine Reihe von Schallquellen 1, die Schallschwingungen gegen ein flaches Bauteil 2 richten, so daß das Bauteil auf Grund des erzeugten Schalldrucks über den Schallquellen 1 im Abstand a schwebt. Die Größe des Abstandes a ist von der Energie der Schallquellen und dem Gewicht des Bauteils abhängig. Mit den Pfeilen 3 ist die Kraftrichtung einer berührungslos wirkenden Beschleunigungsvorrichtung (nicht gezeigt) angegeben. Diese Be- schleunigungsvorrichtung kann vorzugsweise ebenfalls eine Schallquelle sein. Die auf das Bauteil einwirkenden Kräfte bewirken eine Bauteiiverschiebung in Richtung B.
Die Fig. 2 zeigt ebenfalls eine Reihe von Schallquellen 1, die Schallschwingungen gegen ein flaches Bauteil 2 richten, so daß das Bauteil auf Grund von stehenden Levitationsschaliwellen über den Schallquellen 1 im Abstand b schwebt. Der Abstand b ist größer als der Abstand a nach Fig. 1. Diese Anordnung weist eine geringere Tragkraft auf und ist daher nur für leichtere Ob- jekte geeignet. Die Beschleunigung des Bauteils bzw. der Antrieb erfolgt analog zu Fig. 1a.
Die Fig. 3 zeigt eine Anordnung zur Zentrierung des zu befördernden Bauteils 2 mittels der Schwinger (Schallquellen) 1. Bei dieser Vorrichtung verläuft die Förderrichtung in die Blattebene hinein, d. h., auf jedem Schienenabschnitt sind vier Schwinger 1 nebeneinander angeordnet. Die schräg angestellten Zusatzschwinger 4 bewirken eine Zentrierung des Bauteils und verhindern somit ein seitliches Abgleiten.
Die Fig. 4 zeigt die gleiche Anordnung wie Fig. 3. Anstelle der schräg angestellten Zusatzschwinger 4 in Fig. 3 werden die äußeren Schwinger 1 a lediglich schräg gestellt und bewirken somit ebenfalls eine Zentrierung des Bauteils 2.

Claims

ANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen (2) auf einer Bahn, wobei die Vorrichtung die nachfolgenden Merkmale aufweist:
Stationär-Schailerzeugungsmittel (1) zum Erzeugen von stationären Schalldruckwellen, die geeignet sind, die Bauteile (2) im Bereich der Schallabstrahlfläche der Stationär-Schallerzeugungsmittel (1) in der Schwebe zu halten, und
Beschleunigungsmittel (3) oder/und Beschieunigungsmaßnahmen, die auf das Bauteil (2) eine Kraft aufbringen, welche das Bauteil (2) auf einer Bahn bewegt, die durch die räumlich-konstruktive Anordnung der Schallerzeugungsmittel (1) vorbestimmt ist.
2. Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen (2) auf einer Bahn, wobei die Vorrichtung die nachfolgenden Merkmale aufweist:
Stationär-Schallerzeugungsmittel (1) zum Erzeugen von stationären Schall-Levitationswellen, die geeignet sind, die Bauteile (2) in einem aus- gewählten Knotenpunkt der Schallwellen in der Schwebe zu halten, und
Beschleunigungsmittel (3) oder/und Beschleunigungsmaßnahmen, die auf das Bauteil (2) eine Kraft aufbringen, weiche das Bauteil (2) auf einer Bahn bewegt, die durch die räumlich-konstruktive Anordnung der Schallerzeugungsmittel (1) vorbestimmt ist.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungsmittel (3) Schallquellen sind.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungsmittel (3) Luftdüsen oder Gasdüsen sind.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungsmittel (3) nach dem Prinzip der elektrostatischen Anziehung oder Abstoßung wirken.
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungsmittel (3) nach dem Prinzip der elektromagnetischen Anziehung oder Abstoßung wirken.
7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungsmittel (3) nach dem Wirbelstrom-Prinzip wirken.
8. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportbahn abschüssig ist und als Beschleunigungsmittel die Gravitationskraft verwendet wird.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportbahn Begrenzungsvorrichtungen (1a, 4) aufweist, die ein seitliches Abgleiten der zu transportierenden Teile (2) verhindern, wobei - die Begrenzungsvorrichtungen (4) nach den Prinzipien der Beschleunigungsvorrichtungen nach den Ansprüchen 3 bis 7 arbeiten,
- seitlich neben der Transportbahn angeordnet sind und
- eine in Richtung der Transportbahn wirkende Kraft erzeugen, die groß genug ist, um das seitliche Abgleiten der zu transportierenden Bauteile zu verhindern.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Begrenzungsvorrichtungen (1a) so angeordnet sind, um gleichzeitig als Beschieuni- gungsvorrichtungen zu wirken.
11. System zum berührungslosen waagerechten und senkrechten Transportieren, Lagern und Handhaben von berührungsempfindlichen Teilen und/oder Stoffen, wobei das System nachfolgende Komponenten aufweist:
- eine Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2 und/oder - eine Vorrichtung zum senkrechten Transportieren nach dem Prinzip der Vorrichtungen nach den Ansprüchen 1 und 2 und/oder
- eine Vorrichtung zum berührungslosen Handhaben nach dem Prinzip der Vorrichtungen nach den Ansprüchen 1 und 2 und/oder - eine Voπrichtung zum berührungslosen Lagern nach dem Prinzip der Vorrichtungen nach den Ansprüchen 1 und 2.
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