WO2000061473A1 - Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten transportieren von bauteilen - Google Patents

Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten transportieren von bauteilen Download PDF

Info

Publication number
WO2000061473A1
WO2000061473A1 PCT/DE2000/001151 DE0001151W WO0061473A1 WO 2000061473 A1 WO2000061473 A1 WO 2000061473A1 DE 0001151 W DE0001151 W DE 0001151W WO 0061473 A1 WO0061473 A1 WO 0061473A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sound
component
level
holding
plane
Prior art date
Application number
PCT/DE2000/001151
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jürgen HÖPPNER
Josef Zimmermann
Robert Klingel
Original Assignee
Technische Universität München Institut Für Werkzeugmaschinen Und Betriebswissenschaften
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universität München Institut Für Werkzeugmaschinen Und Betriebswissenschaften filed Critical Technische Universität München Institut Für Werkzeugmaschinen Und Betriebswissenschaften
Priority to AU52067/00A priority Critical patent/AU5206700A/en
Publication of WO2000061473A1 publication Critical patent/WO2000061473A1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/20—Reflecting arrangements
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning

Definitions

  • the present invention relates to a device for the contactless transport of touch-sensitive components and substances along a vertical transport path.
  • pneumatic conveying devices cannot be used.
  • a typical application for touch-sensitive objects is wafers, which are to be transported from a first processing station to a second, higher or lower processing station.
  • the wafers are placed in a transport container, which is then transported to the second processing station.
  • microparticles are detached from the wafer or from the support surface or from the mechanical tweezers used.
  • the object is achieved with a transport device according to claim 1.
  • a device for the contactless transport of a flat component on a vertical transport path.
  • Levitation sound waves are generated by means of sound generating means, which are suitable for keeping the components to be conveyed suspended in a predetermined holding plane.
  • sound generating means which are suitable for keeping the components to be conveyed suspended in a predetermined holding plane.
  • Lierke, E. G . Comparative analysis of the contactless positioning of individual drops in aerodynamic, acoustic and electrical force fields.
  • Research in engineering
  • the sound generating means are controlled by means of a regulating and control device in such a way that the holding plane and thus the component held on it can be raised or lowered within predetermined limits.
  • a regulating and control device works in such a way that the components are raised from level to level. In order to ensure the transfer from one level to the next, an overlap must be provided. Thus, a component that is on a lowered lower level is also lifted by lifting the level. In the upper position of the lower level, the lower position of an overlying level is provided. If the sound sources for generating the lower level are switched off, the component remains on the next higher level, which is now moved to an upper position by means of the regulating and control device.
  • each sound source arrangement can in principle generate several holding levels at the same time, which can be used for transport using the method described above.
  • the particular advantage of the invention is that, for the first time, components can be raised or lowered vertically in a completely contactless manner.
  • the invention is preferably used in systems in which the components are already horizontally contactless from one work station to the next. be ported. Since the workstations cannot all lie on one level for technological reasons, the invention enables the necessary lowering and raising.
  • the device is advantageously further developed in that sound reflectors are arranged opposite to the sound-radiating surfaces. These sound reflectors increase the holding power of the holding levels and thus enable the transport of heavier components.
  • the device is advantageously further developed in that second sound sources are arranged opposite the sound-radiating surfaces. These sound reflectors increase the holding power of the holding levels even more. Furthermore, the mutually acting sound sources make it possible to set the position of the holding planes very precisely, which is preferably done by changing the phase position.
  • different wavelengths are used for each of the oscillator groups. This means that the radiation areas of all vibrator groups can lie on one level.
  • the same wavelength is used for each of the oscillator groups, i. that is, in order to generate holding levels of different heights, the radiation surfaces of the oscillator groups must be at different levels.
  • the component is transferred from level to level by switching off the next higher or next lower level.
  • the device according to the invention is attached to a height-adjustable holding device, that is, the holding device is on a Rail arranged and slides along this. This device enables transport with larger differences in height.
  • Fig. 1 shows a schematic diagram of a standing wave levitator with phase shift according to a first embodiment of the invention.
  • Fig. 2 shows the principle of operation of another embodiment of the invention.
  • the reference symbol S denotes sound sources which are opposed in pairs. Each of the sound sources S emits sound in the direction of the opposite sound source. Levitation standing waves with energy nodes are formed, which are able to keep components BT in suspension. When the sound frequency changes, the energy nodes move in the vertical direction, so that the component BT hovers at different distances above the lower sound source, as shown in FIG. 1 to A, B and C.
  • FIG. 2a shows three sound sources 1, 2, 3 which vibrate in different phase positions. As already mentioned, energy nodes form at different heights.
  • the sound source 3 is active.
  • a component BT is held in the energy node of the sound source 3.
  • a force F acts on the component BT in the direction of the arrow and forces it into the higher energy nodes of the sound source 2.
  • the sound source 2 is active.
  • the component BT is held in the energy node of the sound source 2. If the sound source 2 is switched off and the sound source 1 is switched on, as shown in FIG. 3d, a force F acts on the component BT in the direction of the arrow and pushes it into the higher energy nodes of the sound source 1.
  • the sound source 1 is active.
  • the component BT is held in the energy node of the sound source 1.
  • a force F acts on the component BT in the direction of the arrow and forces it into the nearest and higher energy nodes of the sound source 3.
  • the component is a wafer W with a circular cross section.
  • the arrangement of the rod-shaped sound sources is also circular and directed towards the edge section of the wafer W.
  • the active transducers are marked with a black face.
  • the oscillator 3 is active and holds the wafer W in its first energy node.
  • the oscillator 2 is active and holds the wafer W in its first energy node.
  • the oscillator 1 is active and holds the wafer W in its first energy node.
  • the oscillator 1 is active again and holds the wafer W in its second energy node.
  • the wafer W is thus gradually raised.
  • the same wavelength is used for each oscillator group. turns, that is, the radiation surfaces of the individual groups of vibrators must have a predetermined height difference from each other.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von berührungsempfindlichen Bauteilen und Stoffen entlang einer senkrechten Transportbahn, wobei die Vorrichtung nachfolgende Merkmale aufweist: Erste Schallerzeugungsmittel (1, 2, 3) zum Erzeugen von Levitationsschallwellen, die geeignet sind, ein Bauteil BT im Bereich der Schallabstrahlfläche der Schallerzeugungsmittel (1, 2, 3) in einer vorbestimmten Halteebene in der Schwebe zu halten, wobei mehrere übereinanderliegende Halteebenen erzeugbar sind, und eine Regel- und Steuervorrichtung, die bewirkt, dass die horizontale Lage der Halteebenen in vorbestimmten Grenzen zueinander verschiebbar sind, wobei sich die Verschiebungsbereiche überlappen, und die Regel- und Steuervorrichtung bewirkt, dass ein Bauteil auf seinem senkrechten Transportweg von einer unteren Position einer unteren Ebene zu einer oberen Position der unteren Ebene angehoben wird und dort von einer unteren Position einer oberen Ebene übernommen und bis zur oberen Position der oberen Ebene befördert wird.

Description

VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN SENKRECHTEN TRANSPORTIEREN VON BAUTEILEN
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von berührungsempfindlichen Bauteilen und Stoffen entlang einer senkrechten Transportbahn.
Um Teile, Stoffe oder Behälter, nachfolgend Gegenstände genannt, entlang einer senkrechten Transportbahn nahezu berührungslos aufwärts gerichtet zu transportieren, sind aus dem Stand der Technik z. B. pneumatische Fördereinrichtungen bekannt. Derartige Einrichtungen arbeiten jedoch nicht vollständig berührungslos, da die Teile, Stoffe oder Behälter innerhalb eines Rohres gefördert werden, so daß eine Berührung mit der Rohrwandung praktisch unvermeidbar ist. Falls die Förderstrecke Kurven aufweist, treten geschwindigkeitsabhängige Zentrifugalkräfte auf, die zu einer starken Reibung an der Rohrwandung führen.
Wenn besonders fragile und/oder berührungsempfindliche Gegenstände zu transportieren sind, können pneumatische Fördereinrichtungen nicht eingesetzt werden.
Ein typischer Anwendungsfall für berührungsempfindliche Gegenstände sind Wafer, die von einer ersten Bearbeitungsstation zu einer zweiten, höher oder tiefer gelegenen Bearbeitungsstation zu transportieren sind. Bei diesem Anwendungsfall werden die Wafer in einem Transportbehälter abgelegt, der danach zu der zweiten Bearbeitungsstation transportiert wird. Durch das Ablegen der Wafer werden Mikropartikel vom Wafer oder von der Auflagefiäche oder auch von der benutzten mechanischen Pinzette abgelöst.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Technologie zum senkrechten Fördern von Gegenständen bereitzustellen, bei der die Gegenstände mit der Transportbahn nicht in Berührung gelangen.
Die Aufgabe wird mit einer Transportvorrichtung nach Anspruch 1 gelöst.
Bereitgestellt wird eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren eines flächigen Bauteils auf einer senkrechten Transportbahn. Mittels Schallerzeugungsmittel werden Levitationsschallwellen erzeugt, die geeignet sind, die zu befördernden Bauteile in einer vorbestimmten Halteebene in der Schwebe zu halten. Den prinzipiellen Aufbau von dazu geeigneten Vorrichtungen kann der Fachmann aus der einschlägigen und nachfolgend genannten Fachliteratur entnehmen.
Lierke, E. G.: Vergleichende Betrachtung zur berührungsiosen Positionierung von Einzeltropfen in aerodynamischen, akustischen und elektri- sehen Kraftfeldern. In: Forschung im Ingenieurwesen,
Bd. 61(1995) 7/8, S. 201-216. Lierke E. G.: Akustische Positionierung - Ein umfassender Überblick über Grundlagen und Anwendungen. In: Acustica 82(1996), S. 220- 237.
Weitere Hinweise sind aus den Ausführungsbeispielen entnehmbar.
Mittels einer Regel- und Steuervorrichtung werden die Schallerzeugungsmittel so angesteuert, daß die Halteebene und somit das auf ihr gehaltene Bauteil in vorbestimmten Grenzen anheb- oder absenkbar ist. Es sind mehrere Schallerzeugungsmitte! vorgesehen, so daß mehrere übereinanderliegende Halteebenen erzeugbar sind, die jeweils in vorbestimmten Grenzen verschiebbar sein können. Das Wesen der Erfindung liegt darin, daß die Regel- und Steuervorrichtung so arbeitet, daß die Bauteile von Ebene zu Ebene angehoben werden. Um die Übergabe von einer Ebene zur nächsten zu gewährleisten, ist eine Überlappung vorzusehen. Somit wird ein Bauteil, das sich auf einer abgesenkten unte- ren Ebene befindet, durch die Hebung der Ebene mit angehoben. In der oberen Position der unteren Ebene ist die untere Position einer darüberiiegenden Ebene vorgesehen. Wenn die Schallquellen zur Erzeugung der unteren Ebene abgeschaltet werden, verbleibt das Bauteil auf der nächsthöher gelegenen Ebene, die nunmehr mittels der Regel- und Steuervorrichtung in eine obere Position gefahren wird.
Zur Erhöhung der Klarheit sei bereits hier erwähnt, daß der gleiche Übergabemechanismus auch durch ein wechselseitiges Zu- und Abschalten benachbarter Ebenen erfolgen kann, was als Speziatfall im Anspruch 6 beansprucht wird.
Dem Fachmann ist bekannt, daß sich bei einem Stehwelienlevitator mehrere übereinanderliegende Energieknoten ausbilden, d. h., jede Schallquellenanordnung kann prinzipiell mehrere Halteebenen gleichzeitig erzeugen, die für den Transport nach der vorstehend beschriebenen Methode nutzbar sind.
Es ist für den Fachmann klar, daß die geometrische Form und das Material der zu transportierenden Bauteile bei der konstruktiven Auslegung der Schallerzeugungsmittel zu berücksichtigen sind. In der einleitend zitierten Literatur werden hinreichende Hinweise gegeben, die der Fachmann lediglich unter Berücksichtigung der vorgegebenen, zu transportierenden Bauteile umsetzen muß, ohne daß dazu eine erfinderische Tätigkeit erforderlich ist.
Der besondere Vorteil der Erfindung liegt darin, daß erstmalig Bauteile völlig berührungslos definiert senkrecht angehoben bzw. abgesenkt werden können.
Die Erfindung wird bevorzugt in Systemen eingesetzt, in denen die Bauteile bereits berührungslos waagerecht von einer Arbeitsstation zur nächsten trans- portiert werden. Da die Arbeitsstationen aus technologischen Gründen nicht alle auf einer Ebene liegen können, ist mit der Erfindung somit das erforderliche Absenken und Anheben möglich.
Nach Anspruch 2 wird die Vorrichtung vorteilhaft weitergebildet, indem in Gegenüberlage zu den schallabstrahlenden Flächen Schallreflektoren angeordnet sind. Diese Schallreflektoren verstärken die Haltekraft der Halteebenen und ermöglichen somit den Transport schwererer Bauteile.
Nach Anspruch 3 wird die Vorrichtung vorteilhaft weitergebildet, indem in Gegenüberlage zu den schallabstrahlenden Flächen zweite Schallquellen angeordnet sind. Diese Schallreflektoren verstärken die Haltekraft der Halteebenen noch mehr. Weiterhin wird es durch die gegeneinander wirkenden Schallquellen möglich, die Lage der Halteebenen sehr präzise einzustellen, was vor- zugsweise durch die Änderung der Phasenlage erfolgt.
Nach Anspruch 4 werden für jede der Schwingergruppen unterschiedliche Wellenlängen verwendet. Somit können die Abstrahlflächen aller Schwingergruppen in einer Ebene liegen.
Nach Anspruch 5 wird für jede der Schwingergruppen die gleiche Wellenlänge verwendet, d. h., daß zur Erzeugung von unterschiedlich hohen Halteebenen die Abstrahlflächen der Schwingergruppen auf unterschiedlichen Ebenen liegen müssen.
Nach Anspruch 6 erfolgt die Übergabe des Bauteils von Ebene zu Ebene durch Abschalten der nächsthöheren oder nächsttieferen Ebene. Diese Ausführungsform verringert den gerätetechnischen Aufwand für die Regel- und Steuervorrichtung.
Nach Anspruch 7 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung an einer höhenverstellbaren Haltevorrichtung befestigt, d. h., die Haltevorrichtung wird an einer Schiene angeordnet und gleitet auf dieser entlang. Diese Vorrichtung ermöglicht den Transport bei größeren Höhenunterschieden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbin- düng mit beigefügten schematischen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Prinzipdarstellung eines Stehwellenlevitators mit Phasenverschiebung nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 zeigt die prinzipielle Funktionsweise einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.
In der Fig. 1 sind mit dem Bezugszeichen S jeweils Schallquellen bezeichnet, die paarweise gegenüberstehen. Jede der Schallquellen S sendet Schallweilen in Richtung der gegenüberliegenden Schallquelle aus. Es bilden sich Levi- tationsstehwellen mit Energieknoten aus, die in der Lage sind, Bauteile BT in der Schwebe zu halten. Bei einer Änderung der Schallfrequenz verschieben sich die Energieknoten in vertikaler Richtung, so daß das Bauteil BT in ver- schiedenen Abständen über der unteren Schallquelle schwebt, wie in Fig. 1 zu A, B und C gezeigt ist.
In der Fig. 2 zeigt die Fig. 2a drei Schallquellen 1, 2, 3 die in unterschiedlichen Phasenlagen schwingen. Wie bereits erwähnt, bilden sich Energieknoten in unterschiedlichen Höhen aus.
in der Fig. 2b ist die Schallquelle 3 aktiv. Demzufolge wird ein Bauteil BT, wie ersichtlich, im Energieknoten der Schallquelle 3 gehalten. Wenn die Schallquelle 3 abgeschaltet und die Schallquelle 2 zugeschaltet wird, wie in Fig. 2c gezeigt, wirkt auf das Bauteil BT eine Kraft F in Pfeilrichtung und drängt es in den höheriiegenden Energieknoten der Schallquelle 2. In der Fig. 2c ist die Schallquelle 2 aktiv. Demzufolge wird das Bauteil BT, wie ersichtlich, im Energieknoten der Schallquelle 2 gehalten. Wenn die Schallquelle 2 abgeschaltet und die Schallquelle 1 zugeschaltet wird, wie in Fig. 3d gezeigt, wirkt auf das Bauteil BT eine Kraft F in Pfeilrichtung und drängt es in den höherliegenden Energieknoten der Schallquelle 1.
In der Fig. 2d ist die Schallquelle 1 aktiv. Demzufolge wird das Bauteil BT, wie ersichtlich, im Energieknoten der Schallquelle 1 gehalten. Wenn die Schallquelle 1 abgeschaltet und wieder die Schallquelle 3 zugeschaltet wird, wie in Fig. 2e gezeigt, wirkt auf das Bauteil BT eine Kraft F in Pfeilrichtung und drängt es in den nächsten und höherliegenden Energieknoten der Schallquelle 3.
Dieses Prinzip ist in einer in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung umgesetzt. Das Bauteil ist ein Wafer W mit kreisförmigem Querschnitt. Demzufolge ist die Anordnung der stabförmigen Schallquellen ebenfalls kreisförmig und auf den Randabschnitt des Wafers W gerichtet. Die jeweils aktiven Schwinger sind mit einer schwarzen Stirnfläche gekennzeichnet.
In Fig. 3a ist der Schwinger 3 aktiv und hält den Wafer W in seinem ersten Energieknoten.
In Fig. 3b ist der Schwinger 2 aktiv und hält den Wafer W in seinem ersten Energieknoten.
In Fig. 3c ist der Schwinger 1 aktiv und hält den Wafer W in seinem ersten Energieknoten.
In Fig. 3d ist wieder der Schwinger 1 aktiv und hält den Wafer W in seinem zweiten Energieknoten.
Es ist zu erkennen, daß der Wafer W somit stufenweise angehoben wird. In diesem Beispiel wird für jede Schwingergruppe die gleiche Wellenlänge ver- wendet, d. h., die Abstrahlflächen der einzelnen Schwingergruppen müssen zueinander einen vorbestimmten Höhenunterschied aufweisen.
Abschließend sei darauf hingewiesen, daß der Wafer in den Energieknoten sicher gehalten wird und daher nicht seitlich abkippen kann.

Claims

ANSPRUCHE
1. Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren eines Bauteils (BT) auf einer senkrechten Bahn, wobei die Vorrichtung die nachfolgenden Merkmale aufweist: - erste Schallerzeugungsmittel (1, 2, 3) zum Erzeugen von Levitations- schallweilen, die geeignet sind, das Bauteile (BT) im Bereich der Schallabstrahlfläche der Schallerzeugungsmittel (1 , 2, 3) in einer vorbestimmten Halteebene in der Schwebe zu halten, wobei mehrere übereinanderliegen- de Halteebenen erzeugbar sind, und - eine Regel- und Steuervorrichtung, die bewirkt, daß die horizontale Lage der Halteebenen in vorbestimmten Grenzen zueinander verschiebbar sind, wobei sich die Verschiebungsbereiche überlappen, und die Regel- und Steuervorrichtung bewirkt, daß ein Bauteil auf seinem senkrechten Transportweg von einer unteren Position einer unteren Ebene zu einer oberen Position der unteren Ebene angehoben wird und dort von einer unteren
Position einer oberen Ebene übernommen und bis zur oberen Position der oberen Ebene befördert wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in Gegen- Überlage zu den schallabstrahienden Flächen Schallreflektoren angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in Gegenüberläge zu den schallabstrahienden Flächen zweite Schallquellen angeord- net sind.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für jede der Schwingergruppen unterschiedliche Wellenlängen verwendet werden und die Abstrahifiächen aller Schwingergruppen in einer Ebene liegen.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß für jede der Schwingergruppen die gleiche Wellenlänge verwendet wird und die Abstrahifiächen der Schwingergruppen in unterschiedlichen Ebenen liegen.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Übergabe des Bauteils von Ebene zu Ebene durch Abschalten der nächsthöheren oder nächsttieferen Ebene erfolgt.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung an einer höhenverstellbaren Haltevorrichtung befestigt ist.
PCT/DE2000/001151 1999-04-14 2000-04-13 Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten transportieren von bauteilen WO2000061473A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU52067/00A AU5206700A (en) 1999-04-14 2000-04-13 Device for the non-contact vertical transport of components

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999116923 DE19916923B4 (de) 1999-04-14 1999-04-14 Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten Transportieren von Bauteilen
DE19916923.3 1999-04-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2000061473A1 true WO2000061473A1 (de) 2000-10-19

Family

ID=7904584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2000/001151 WO2000061473A1 (de) 1999-04-14 2000-04-13 Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten transportieren von bauteilen

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU5206700A (de)
DE (1) DE19916923B4 (de)
WO (1) WO2000061473A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105244018A (zh) * 2015-10-22 2016-01-13 上海斐讯数据通信技术有限公司 声悬浮系统、方法及设备

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10352944A1 (de) * 2003-11-11 2005-06-23 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren, Handhaben und Lagern von Bauteilen und Materialien
DE102007016840A1 (de) * 2007-04-09 2008-10-16 Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik Gmbh Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Gegenständen und Material
EP4012358A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Mettler-Toledo Garvens GmbH Produkttransport in dynamischen inspektionssystemen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4393708A (en) * 1981-10-26 1983-07-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Acoustic system for material transport
US4736815A (en) * 1984-07-03 1988-04-12 Barmatz Martin B Single mode levitation and translation
US5036944A (en) * 1986-03-24 1991-08-06 Intersonics Incorporated Method and apparatus for acoustic levitation
US5831166A (en) * 1996-01-23 1998-11-03 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry Method of non-contact micromanipulation using ultrasound

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5890580A (en) * 1993-07-12 1999-04-06 Kaijo Corporation Object levitating apparatus, object transporting apparatus, and object levitating bearing along with an object levitating process and object transporting process

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4393708A (en) * 1981-10-26 1983-07-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Acoustic system for material transport
US4736815A (en) * 1984-07-03 1988-04-12 Barmatz Martin B Single mode levitation and translation
US5036944A (en) * 1986-03-24 1991-08-06 Intersonics Incorporated Method and apparatus for acoustic levitation
US5831166A (en) * 1996-01-23 1998-11-03 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry Method of non-contact micromanipulation using ultrasound

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105244018A (zh) * 2015-10-22 2016-01-13 上海斐讯数据通信技术有限公司 声悬浮系统、方法及设备

Also Published As

Publication number Publication date
DE19916923B4 (de) 2004-07-08
AU5206700A (en) 2000-11-14
DE19916923A1 (de) 2000-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3884655T2 (de) Eine Vorrichtung zum Transport eines elektrisch leitenden Wafers.
DE102007016840A1 (de) Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen Gegenständen und Material
DE19916922B4 (de) Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen und System zum Handhaben und Lagern derselben
DE10039482B4 (de) Handler zum Transportieren von flachen, in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden Substraten
EP1739036A1 (de) Vorrichtung zum Fördern und Drehen von Gegenständen
DE3938505A1 (de) Schwingfoerderer
WO2000061473A1 (de) Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten transportieren von bauteilen
DE102012102239B4 (de) Substrataufnahmeverfahren und Substrattrennungssystem
EP0956251A1 (de) Vorrichtung zum transportieren von produkten
WO2020200716A1 (de) Puffervorrichtung und verfahren zum puffern von behältern
WO2018068798A1 (de) System zum zuführen, sortieren und/oder palettieren von teilen
DE19749450C2 (de) Vorrichtung zum Transport von Werkstückhaltern im Kreislauf
EP1173375B1 (de) Verfahren zum berührungslosen greifen und positionieren von bauteilen
EP3250490A1 (de) Akustische vereinzelungsvorrichtung
DE3402143C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungsfreien Fördern von Gegenständen
DE132150T1 (de) Vakuum-ueberfuehrungsfoerderer.
WO2012072266A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum handhaben von werkstücken
EP2534676A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum transport von substraten
EP1435106B1 (de) Hebe- und stützvorrichtung
EP1527662B1 (de) Vorrichtung zum selektiven bewegen von haltevorrichtungen und best ckkopf zum transportieren von bauelementen
WO2018172305A1 (de) Druckvorrichtung
DE102008026294A1 (de) Belade- und Entladevorrichtung für einen Scheibenträger
EP3490916A1 (de) Transportsystem und bearbeitungssystem für substrate
US4651868A (en) Vibratory conveyor
DE2200755B2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AM AT AU AZ BB BG BR BY CA CH CN CZ DK EE ES FI GB GE HU IL IS JP KE KG KP KR KZ LK LR LS LT LU LV MD MG MK MN MW MX NO NZ PL PT RO RU SD SE SG SI SK TJ TM TR TT UA UG US UZ VN

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW SD SL SZ TZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP