WO2000008642A1 - Catadioptric lens, optical head, and optical recording/reproducing apparatus - Google Patents

Catadioptric lens, optical head, and optical recording/reproducing apparatus Download PDF

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Description

明 細 書 カタディオプトリ ックレンズ、 光学へッ ド及び光記録再生装置 技 術 分 野 本発明は、 エバネッセント光を利用する際に好適なカタディオプ トリ ックレンズに関する。 また、 本発明は、 そのようなカタディォ プトリ ック レンズを用いた光学へッ ド及び光記録再生装置に関する。 背 景 技 術 光記録媒体の高記録密度化を達成する手法として、 エバネッセン ト光を利用することで、 回折限界以下の微小な記録ピッ トでの記録 再生を可能とする手法が考案されている。 エバネッセント光を利用 して光ディスクの記録再生を行う際は、 レンズに対する入射光束が レンズ端面にて結像し、 その大部分が当該レンズ端面で全反射され るようにする。 このとき、 レンズ端面と光記録媒体との間隔を十分 に狭めておけば、 エバネッセント光の一部が光記録媒体と結合して レンズ外に取り出され、 当該エバネッセント光を利用した記録再生 が可能となる。
なお、 空気中でエバネッセン ト光が結合可能な距離は、 例えばレ ンズの開口数 N Aが 1 . 5の場合、 1 0 0 n mのオーダーである。 したがって、 エバネッセント光を利用して光記録媒体の記録再生を 行う際は、 レンズ端面と光記録媒体との間隔を、 l O O n mのォー ダー以下に保つ必要がある。 これは、 例えば、 磁気ディスクにおい て使用されているフライングへッ ドの技術を用いることで実現可能 である。
すなわち、 例えば、 磁気ディスクにおいて使用されるているフラ イングへッ ドの技術を用いて、 レンズ端面と光記録媒体との間隔を 1 0 0 n mのオーダー以下に保てば、 エバネッセント光の一部が光 記録媒体と結合することとなり、 回折限界以下の微小な記録ピッ ト での記録再生が可能となる。
そして、 このようなエバネッセン ト光を利用した記録再生に、 力 タディォプトリ ックレンズを用いる手法が、 1 9 9 8年 5月、 米国 ォプティカル ' データ ' ス ト レージ ♦ ミーティングにて、 サムソン ' エレク トロニクス社の C . W. リー氏により提案されている。 ところが、 C . W. リー氏が提案しているカタディオプトリ ック レンズのレンズデータを解析すると、 コマ収差の補正が不完全であ り、 このカタディオプトリ ックレンズを使用するには、 以下のよう な問題点があった。
エバネッセント光を利用する際は、 入射光束をレンズ端面に小さ いスポッ ト径で結像させる必要がある。 しかし、 上記カタディオプ トリックレンズではコマ収差の補正が不完全であるために、 当該力 タディオプトリ ックレンズを実装するときの取り付け角度誤差によ り光束の入射角が ± 1 ° を越えるような状態となると、 コマ収差が 顕著に発生してしまい、 入射光束をレンズ端面に小さいスポッ ト径 で結像させることができなくなってしまう。
しかも、 エバネッセント光を利用する近視野光学系では、 遠視野 光学系で小さいスポッ ト径で結像させる場合よりも、 コマ収差の影 響が顕著に現れることが予想される。 したがって、 上記カタディォ プトリ ックレンズを近視野光学系で用いることを考えると、 当該力 タディォプトリ ックレンズを実装するときに、 その取り付け角度誤 差を ± 1 ° よりも遙かに小さく しなければならないことが予想され る。
このように、 上記カタディオプトリ ックレンズでは、 コマ収差の 補正が不完全であるために、 その実装時に非常に精度良く取り付け ることが要求される。 特に、 近視野光学系での使用に耐え得る精度 での実装を実現することは非常に難しく、 たとえ実現したと しても、 製造コス トが大幅に上昇することは必至である。 発 明 の 開 示 本発明は、 上述したような従来の実情に鑑みて提案されたもので あり、 エバネッセント光を利用する際に好適なカタディオプトリ ツ クレンズと して、 コマ収差をほぼ完全に補正したレンズを提供する ことにある。 また、 本発明は、 そのようなカタディオプトリ ックレ ンズを用いた光学へッ ド及び光記録再生装置を提供することも目的 とする。
本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 第 1面が凹面屈折 面、 第 2面が平面ミラー、 第 3面が第 1面の凹面屈折面と同軸に配 置された凹面非球面ミラーからなり、 平行入射光が第 2面の平面ミ ラーに設けた開口を通して第 4面の全反射平面上に結像するように なされたカタディオプトリ ックレンズである。
ここで、 を第 1面の曲率半径、 r :!を第 3面の中心曲率半径、 dを第 1面から第 3面頂点までの光学長、 f u (N) , f b (N) を レンズ媒質の屈折率 Nの関数と して表される係数と して、 正弦条件 を満たす条件式を下記式 ( 1 ) で表す。
d / r:, = f (N) r ,/ r :i + f b (N) …(1)
そして、 上記式 ( 1 ) を満たすときの第 1面の曲率半径 r ,の値を R、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dの値を Dとする。
そして、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 第 1面の 曲率半径 r ,が、 R± l %の範囲内にあり、 第 1面から第 3面頂点ま での光学長 dが、 D± 0. 5 %の範囲内にあることを特徴とする。 なお、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 上記第 1面 の前段にレンズが配置されていても良い。 第 1面の前段にレンズを 配置することで、 例えば、 拡散光を平行光と して第 1面に入射させ ることができる。 なお、 カタディオプトリ ックレンズの第 1面の前 段に配置するレンズとしては、 メニスカス凸レンズが好適である。 また、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 第 1乃至第 3面を構成する第 1のレンズ媒質と、 第 4面を構成する第 2のレン ズ媒質とを備え、 第 1のレンズ媒質によって構成される第 2面を含 む平面に、 第 2のレンズ媒質が接合されて構成されていても良い。 このとき、 第 2のレンズ媒質には、 磁界発生用コイルが埋設されて いても良い。
また、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズにおいて、 第 3 面は、 面頂点からの深さを X、 光軸からの高さを Y、 中心曲率半径 を R、 円錐係数を K、 Υ 4項の非球面係数を A、 YB項の非球面係数 を B、 YH項の非球面係数を C、 Y 11 '項の非球面係数を Dとしたとき 例えば、 下記式 ( 2) で表される一般非球面とされる。 X=(YVR)/[1+{1-(1+K) (Y/R) } ,/a]+AY4+BYB+CYK+DY'0 · · · (2) また、 本発明に係るカタディオプトリ ック レンズにおいて、 レン ズ媒質の屈折率は、 使用波長領域において 1 . 4以上であることが 好ましい。 レンズ媒質と して、 屈折率が大きい媒質を用いることで、 第 4面に結像する光スポッ トの径を、 より小さなものとすることが できる。
以上のような本発明に係るカタディオプトリ ックレンズでは、 非 対称収差であるコマ収差がほぼ完全に補正され、 軸外収差は対称収 差である非点収差のみとなる。 したがって、 本発明に係るカタディ ォプトリ ックレンズでは、 非点収差の影響が許容される範囲 (およ そ光束入射角が ± 3 ° までの範囲) において、 レンズ端面に理想的 なスポッ トを形成することができる。
なお、 本発明に係る光学ヘッ ドは、 以上のような本発明に係る力 タディオプトリ ックレンズを対物レンズとして備えた光学へッ ドで ある。 この光学ヘッ ドでは、 対物レンズとして、 コマ収差がほぼ完 全に補正された本発明に係るカタディオプトリ ックレンズを用いて いるので、 カタディオプトリ ックレンズの取り付け精度を従来に比 ベて大幅に緩和できる。
また、 本発明に係る光記録再生装置は、 以上のような本発明に係 るカタディォプトリ ックレンズを対物レンズとして備えた光学へッ ドを用いて光記録媒体の記録及び/又は再生を行う。 この光記録再 生装置では、 光学ヘッ ドの対物レンズとして、 コマ収差がほぼ完全 に補正された本発明に係るカタディォプトリ ックレンズを用いてい るので、 カタディオプトリ ックレンズの取り付け精度を従来に比べ て大幅に緩和できる。 '図面の簡単な説明 図 1は、 本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズの一例を 示す図である。
図 2 A及び図 2 Bは、 図 1に示したカタディオプトリ ックレンズ の横収差図であり、 図 2 Aは半画角 1 ° の軸外での横収差を示す図、 図 2 Bは軸上での横収差を示す図である。
図 3は、 図 1に示したカタディオプトリ ックレンズと、 従来の力 タディオプトリ ックレンズとについて、 入射光の画角と、 波面収差 の R M S値との関係を示す図である。
図 4は、 正弦条件を評価してコマ収差の補正を行い、 カタディォ プトリ ックレンズの最適化を行う際の処理の流れを示す図である。 図 5は、 カタディオプトリ ックレンズの第 1面から第 3面頂点ま での光学長 dを一定に保ったときの、 第 1面の曲率半径 r ,と、 正弦 条件不満足量 O S Cとの関係を示す図である。
図 6は、 カタディオプトリ ックレンズの第 1面の曲率半径 r ,を一 定に保ったときの、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dと、 正弦 条件不満足量 O S Cとの関係を示す図である。
図 7は、 レンズ媒質の屈折率 Nが 1 . 8 1 3のとき、 正弦条件不 満足量 = 0という条件を満たす、 第 3面の曲率半径で規格化された 第 1面の曲率半径の値 r , / r 3と、 第 3面の曲率半径で規格化され た第 1面から第 3面頂点までの光学長の値 d Z r aとの関係を示す図 である。
図 8は、 本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズの他の例 を示す図である。
図 9 A及び図 9 Bは、' 図 8に示した光学系の横収差図であり、 図 9 Aは半画角 1 : の軸外での横収差を示す図、 図 9 Bは軸上での横 収差を示す図である。
図 1 0は、 本発明を適用した光学へッ ドの一例を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の実施の形態について、 図面を参照しながら詳細に 説明する。
本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズの一例を図 1に示 す。 このカタディオプトリ ックレンズ 1は、 凹面屈折面からなる第 1面 S 1 と、 平面ミラーからなる第 2面 S 2と、 凹面非球面ミラー からなる第 3面 S 3と、 全反射平面となる第 4面 S 4とを有する。 このカタディオプトリ ック レンズ 1に入射した入射光束は、 先ず, 凹面屈折面からなる第 1面 S 1で拡大されて、 平面ミラーからなる 第 2面 S 2に入射する。 次に、 第 2面 S 2で反射され、 凹面非球面 ミラーからなる第 3面 S 3に入射する。 次に、 第 3面 S 3で反射さ れ、 第 2面 S 2の中央に設けられた開口を通して第 4面 S 4の全反 射平面上に結像する。
以上のような本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズ 1の レンズデータを表 1に示す。
(以下余白) 表 1
Figure imgf000010_0001
上記カタディオプトリ ックレンズ 1について、 その横収差性能を 図 2に示す。 なお、 図 2 Aは、 半画角 1 ° の軸外での横収差を示し ており、 図 2 Bは、 軸上での横収差を示している。 ここで、 光源波 長えは 6 5 0 nmとしている。
図 2に示すように、 このカタディォプトリ ックレンズ 1の横収差 は、 入射瞳を通過する全光束に亘つて、 フルスケールの Ι μ πιに比 ベてはるかに小さく、 横収差の発生量は非常に小さくなっている。 そして、 横収差の発生量を、 波面収差の RMS値 (波面収差の射出 瞳面上での標準偏差 (Root Mean Square of Wave Front Error) ) で表すと、 軸上では 0. 00 2 え、 半画角 1 ° の軸外では 0. 00 6 えであった。 更に、 図'示していないが、 半画角 33 の軸外では、 波面収差の RMS値は、 0. 04 えであった。
一般に、 回折限界での収差性能を表すときには、 マレシャルのク ライテリオンが常用される。 そして、 マレシャルのクライテリオン は、 波面収差の RMS値で 0. 0 7 えである。 これに対して、 上記 カタディオプトリ ックレンズ 1では、 上述したように、 波面収差の RMS値が、 軸上で 0. 00 2 え、 半画角 1。 の軸外で 0. 006 え、 半画角 3° の軸外で 0. 04 えであった。 したがって、 この力 タディオプトリ ックレンズ 1では、 少なく とも軸上から半画角 3 ° の軸外に至るまで、 十分な回折限界性能を有しているといえる。 つぎに、 上記カタディオプトリ ックレンズ 1について、 その軸外 性能を図 3に示す。 なお、 図 3において、 横軸は入射光の画角 (半 画角の値) を示しており、 縦軸は波面収差の RMS値を示している。 また、 図 3では、 参考のために、 上述した C. W. リー氏によって 提案されたカタディオプトリ ックレンズ (以下、 従来のカタディォ プトリ ックレンズと称する。 ) の軸外性能も示しており、 〇で示し たのが本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズ 1の場合、 口 で示したのが従来のカタディォプトリ ックレンズの場合である。 図 3に示すように、 従来のカタディオプトリ ックレンズでは、 半 画角が 1 ° 以下の領域において、 波面収差の RMS値が、 画角に対 してほぼ直線的に増加している。 波面収差の RMS値が画角に対し て直線的に増加しているということは、 軸外収差のうちでコマ収差 が支配的であることを意味する。
一方、 本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズ 1では、 図 3に示す範囲において、 波面収差の R M S値が、 画角に対して 2次 関数的に増加している。 '波面収差の R M S値が画角に対して 2次関 数的に増加しているということは、 軸外収差のうちで非点収差が支 配的であることを意味する。
一般に、 光記録媒体の記録再生に用いられる光学へッ ド用のレン ズには、 球面収差とコマ収差が良好に補正されていることが望まれ る。 そして、 本発明を適用したカタディオプトリ ックレンズ 1では、 球面収差はやや多いものの極めてわずかであり、 且つ、 コマ収差が 良好に補正されている。 したがって、 このカタディオプトリ ックレ ンズ 1は、 光学ヘッ ド用のレンズとして、 非常に好適である。 しか も、 図 3に示したように、 本発明を適用したカタディオプトリ ック レンズ 1では、 波面収差の R M S値も、 球面収差の支配する軸上付 近を除いて、 少なく とも半画角 3 ° までの範囲において、 従来の力 タディオプトリ ックレンズに比べて常に小さくなっている。
なお、 マレシャルのクライテリオンは、 遠視野光学系で小さいス ポッ ト径で結像する際の条件であり、 エバネッセン ト光を利用する 近視野光学系では、 マレシャルのクライテリオンから予想される以 上にコマ収差の影響が顕著に現れることが予想される。 したがって、 コマ収差の発生を抑えた本発明に係るカタディオプトリ ックレンズ 1は、 エバネッセント光を利用する近視野光学系に適用する際に、 特に有用であると言える。
つぎに、 本発明において、 どのようにコマ収差の補正を行ったか について説明する。
コマ収差を評価するにはいくつかの方法があるが、 比較的容易に 実行できるのは、 3次のザイデルコマ収差係数を計算する方法であ り、 この方法については、 松井吉哉著 「レンズ設計法」 (共立出版、 昭和 4 5年) に記載されている。 しかしながら、 本発明を適用した カタディオプトリ ックレンズのように高開口数レンズの場合、 高次 のコマ収差も同時に発生するので、 評価量と して 3次のコマ収差係 数を用いる手法は必ずしも適切とはいえない。
そこで、 本発明においては、 正弦条件を評価してコマ収差の補正 を行った。 すなわち、 正弦条件を用いれば高次のコマ収差をも評価 できるので、 ここでは、 正弦条件を評価してコマ収差の補正を行う 手法を採用した。 なお、 非球面も含むレンズ系の正弦条件の計算法 は、 例えば、 R . キングスレイク著 「レンズ ' デザイン ' ファンダ メンタルズ」 (アカデミ ック ' プレス社、 1 9 7 8年) に記載され ている。
図 4に示すように、 正弦条件を評価してコマ収差の補正を行う際 は、 先ず、 第 1面の曲率半径 r ,と、 第 1面から第 3面頂点までの光 学長 dとを設定する。 なお、 このとき、 開口数 N Aが所定の値にな るように、 光束径も調整しておく。 そして、 正弦条件を近軸光線追 跡値と三角光線追跡値を用いて計算し、 正弦条件を判定する。 そし て、 正弦条件不満足量がほぼ 0となるまで、 適宣、 第 1面の曲率半 径 r ,と、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dとを設定し直して、 正弦条件の反復計算を行う。
上記反復計算により正弦条件不満足量がほぼ 0となったら、 次に、 汎用レンズ設計プログラム等を使用して、 残留球面収差が最小にな るように、 円錐係数 K及び非球面係数 A, B, C, Dの最適化を図 る。 そして、 正弦条件を再計算して正弦条件判定を行い、 正弦条件 不満足量が大きい場合には、 第 1面の曲率半径 r ,と、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 d とを設定し直して計算を繰り返す。
以上のような計算を行うことにより、 高次のコマ収差をも含めて、 コマ収差を補正することができる。
ここで、 実際に以上のような計算を行ったときの計算結果の一部 を表 2に示す。 なお、 ここでは、 第 1面から第 3面頂点までの光学 長 dを一定の保ちつつ、 第 1面の曲率半径 r ,を変化させながら、 縦 の球面収差 L Aと正弦条件不満足量 O S Cを計算した。 このとき、 開口数 N Aは、 入射光束系を調整して一定値を取るようにした。 ま た、 計算に際し、 入射瞳は第 3面の非球面反射面においた。
表 2
Figure imgf000014_0001
表 2において、 r ,は第 1面の曲率半径、 dは第 1面から第 3面頂 点までの光学長、 N Aは開口数、 L Aは縦の球面収差、 O S Cは正 弦条件不満足量である。 また、 符号の規約はキングスレイクの定義 に従って、 慣用とは反対符号とした。 また、 表 2において、 !· ,= () , 7 0が従来のカタディオプトリ ックレンズの場合である。
表 2に示すように、 !· ,= () . 7 0の従来のカタディオプトリ ック レンズでは、 正弦条件不満足量〇 S Cがおよそ 0 . 0 1 1 3である。 コンラディによれば、 望遠鏡や顕微鏡等において正弦条件不満足量 ◦ S Cは、 ± 0 . 0 0 2 5以内であるべきとされているが、 従来の カタディオプトリ ックレンズの正弦条件不満足量 O C Sは、 コンラ ディのクライテリオンを逸脱している。 一方、 第 1面の曲率半径 r ,をおよそ 5 %減じて、 r , = 0 . 6 7にすると、 正弦条件不満足量 がほぼ 0になる。 なお、 このとき、 球面収差の絶対値はやや増加す る。
ここで、 表 2に示した計算結果をプロッ トしたグラフを図 5に示 す。 図 5において、 横軸は第 1面の曲率半径 r ,、 縦軸は正弦条件不 満足量 O S Cである。 また、 図 5において、 点線は、 コンラディの クライテリオンの範囲 (± 0 . 0 0 2 5 ) を示している。
図 5に示すように、 コンラディのクライテリオンを満たす第 1面 の曲率半径 r ,の範囲は、 およそ 0 . 6 6 3 3 5力、ら 0 . 6 7 5 9 1 の範囲であり、 0 . 6 7はほぼその中央に位置している。 したがつ て、 コンラディのクライテリオンを満たす第 1面の曲率半径 r ,の範 囲は、 およそ 0 . 6 7 ± 1 %である。
ところで、 第 1面の曲率半径 r ,を一定に保ちつつ、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dを変化させても、 正弦条件不満足量 O S C は変化する。 そこで、 第 1面の曲率半径 r ,を一定に保ちつつ、 第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dを変化させて、 正弦条件不満足量 O S Cを計算した。 その計算結果を図 5と同様にプロッ トしたダラ フを図 6に示す。 図 6において、 横軸は第 1面から第 3面頂点まで の光学長 d、 縦軸は正弦条件不満足量 O S Cである。 また、 図 6に おいて、 点線は、 コンラディのクライテリオンの範囲 (± 0 . 0 0 2 5 ) を示している。
図 6に示すように、 コンラディのクライテリオンを満たす、 第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dの範囲は、 およそ— 2 . 7 1 2 2 から— 2. 6 8 3 1 2の範囲であり、 一 2. 7はほぼその中央に位 置している。 したがつで、 コンラディのクライテリオンを満たす、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dの範囲は、 絶対値で表すとお よそ 2. 7 ± 0. 5 %である。
図 5及び図 6の結果から、 正弦条件不満足量 = 0という条件を満 足する ( r ,, d ) の集合の存在が予想されるが、 事実、 この条件を 満たす点 ( r ,, d ) の軌跡はほぼ直線となる。 ここで、 直線の係数 は、 レンズ媒質の屈折率 Nの関数となる。
したがって、 正弦条件不満足量 = 0を満足するとき、 第 3面の中 心曲率半径 r :で規格化した第 1面の曲率半径 r ,と、 第 3面の中心 曲率半径 r 3で規格化した第 1面から第 3面頂点までの光学長 dとの 関係は、 下記式 ( 1一 1 ) に示す一次関数式で表される。 なお、 下 記式 ( 1— 1 ) において、 係数 f a (N) , f b (N) は、 レンズ媒 質の屈折率 Nの関数である。
d / r 3 = f a (N) r > / r n + f b (N) .·'(1— 1) 具体例として、 レンズ媒質の屈折率 Nを 1. 8 1 3 としたとき、 正弦条件不満足量 = 0を満足する d r と r ,Z r :!との関係を計算 した結果を図 7に示す。 図 7に示すように、 レンズ媒質の屈折率 N が 1. 8 1 3のとき、 正弦条件不満足量 = 0という条件を満たす点 の軌跡は、 ほぼ直線で表される。 そして、 この直線 L 1は下記式 ( 1 - 2) に示す一次関数式で表される。
d / r:» = 2. 3 2 34 r >/ r :!- l . 6 9 3 1 ··· (1-2) すなわち、 レンズ媒質の屈折率 Nが 1. 8 1 3のときには、 上記 式 ( 1 一 2) に示す一次関数式を満足するように、 第 1面の曲率半 径!" ,と、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dとを設定すれば、 正 弦条件不満足量がほぼ 0となり、 高次のものも含めてコマ収差の発 生が抑えられることと る。
なお、 図 7では、 参考と して、 従来のカタディオプトリ ックレン ズがどこに位置するかもプロッ 卜しており、 従来のカタディオプト リ ックレンズでは、 上記式 ( 1— 2 ) に示した一次関数式から外れ ることが見て取れる。 また、 図 7から、 正弦条件不満足量 = 0とい う条件を満たすとき、 第 3面の中心曲率半径 r 3で規格化した第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dは 1に近い値となることが分かる。 ところで、 上述したように、 コンラディのクライテリオンを満た すようにするには、 第 1面の曲率半径 r ,を最適値の土 1 %の範囲内 に抑え、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 dを最適値の ± 0 . 5 %の範囲内に抑えれば良い。 そこで、 本発明では、 上記式 ( 1— 1 ) を満たすときの第 1面の曲率半径 r ,の値を R、 第 1面から第 3 面頂点までの光学長 dの値を Dとしたとき、 第 1面の曲率半径 r ,を R土 1 %の範囲内と規定し、 第 1面から第 3面頂点までの光学長 d を D ± 0 . 5 %の範囲内と規定している。
すなわち、 第 1面の曲率半径 r を R ± 1 %の範囲内とし、 第 1面 から第 3面頂点までの光学長 dを D ± 0 . 5 %の範囲内とすること により、 高次のものも含めてコマ収差の発生を抑えて、 コンラディ のクライテリオンを満たすことが可能となる。
なお、 本発明は、 上述した例に限定されるものではない。 すなわ ち、 例えば、 レンズ媒質の屈折率や、 第 3面の中心曲率半径等は、 上述の例と異なっていても良い。 これらが異なっている場合も、 上 述したように正弦条件を評価量と してコマ収差を補正することによ り、 高次のものも含めてコマ収差の発生を抑制したカタディオプト リ ックレンズを得ることができる。
つぎに、 図 1に示したようなカタディオプトリ ックレンズの第 1 面の前段に、 凸レンズを配置した例を図 8に示す。
図 8に示した光学系は、 単一モード光ファイバ一等の光源から出 射された拡散光を結像するための光学系であり、 プリズム 5と、 凸 レンズ 6 と、 カタディオプトリ ックレンズ 7 とがこの順に配置され てなる。 この光学系のレンズデータを表 3に示す。 なお、 面番号は 図 8に示す通りである。
(以下余白)
表 3
Figure imgf000019_0002
: 0. 1 666 05mm して)
Figure imgf000019_0001
Y2/R
+AY4+BYfi CY8+DY'°
1+{1-(1+K) (Y/R)
'ら (^さ
A:Y4項 (^ m つぎに、 この光学系の横収差性能を図 9に示す。 図 9 Aは、 半画 角 1 ° の軸外での横収差を示しており、 図 9 Bは、 軸上での横収差 を示している。 なお、 ここでは、 入射瞳位置をプリズム 5の前面に おき、 像高 5 μ mにおいては瞳半径の 1 5 %の口径食 (ヴィグネッ ティング) を仮定している。 また、 評価は、 6 4 7 . 5 n m, 6 5 0 n m , 6 5 2 . 5 n mの 3波長において行った。
図 9に示すように、 この光学系における横収差は、 入射瞳を通過 する全光束に亘つて、 フルスケールの 1 μ ιηに比べてはるかに小さ く、 横収差の発生量は非常に小さなものとなっている。
なお、 この光学系では、 表 3に示すように、 カタディオプトリ ッ クレンズ 7の第 1面の前段に配置するレンズ 6の硝材として高分散 の S F 1 1を用い、 カタディオプトリ ックレンズ 7の硝材として低 分散の S L A H 5 3を用いている。 このように、 高分散の硝材から なるレンズと、 低分散の硝材からなるレンズとを組み合わせること で、 色収差の補正も行うことができる。
つぎに、 本発明を適用した光学ヘッ ドの一例を図 1 0に示す。 こ の光学へッ ド 1 0は、 光磁気ディスク 1 5に対して記録再生を行う ための光学ヘッ ドであり、 エバネッセン ト光を利用することで、 回 折限界以下の微小な記録ピッ トでの記録再生が可能となっている。 ここで、 記録再生の対象となる光磁気ディスク 1 5は、 ディスク 基板上に光磁気記録層が形成されてなり、 当該光磁気記録層の側が 光学ヘッ ド 1 0に対向するようになされる。 すなわち、 上記光学へ ッ ド 1 0は、 光磁気ディスク 1 5のディスク基板の側ではなく、 光 磁気記録層の側に配置される。 これは、 上記光学ヘッ ド 1 0はエバ ネッセント光を利用して記録再生を行うため、 光学へッ ド 1 0と光 磁気ディスク 1 5の光磁気記録層との間隔を十分に狭める必要があ るからである。 '
この光学へッ ド 1 0は、 ガラス基盤 2 0 と、 ガラス基盤 2 0の上 に配されたスライダー 2 5と、 スライダー 2 5を支持する弾性部材 3 0と、 レーザー光源からのレーザー光を伝搬する単一モ一ドの光 ファイバー 3 5と、 光ファイバ一 3 5から出射されたレーザ光を反 射する可動ミラー 4 0と、 可動ミラー 4 0によって反射されたレー ザ光の光軸上に配された 1 Z 4波長板 4 5と、 1 4波長板 4 5を 透過してきたレーザ光の光軸上に配置されたプリズム 5 0と、 プリ ズム 5 0から出射されたレーザ光を平行光とするためのコリメータ 一レンズ 5 5と、 コリメーターレンズ 5 5によって平行光とされた レーザ光が入射されるカタディオプトリ ックレンズ 6 0と、 カタデ ィォプトリ ックレンズ 6 0の結像点の周囲に配置された磁界発生用 コイル 6 5とを備えている。
なお、 この光学ヘッ ド 1 0の光学系は、 プリズム 5 0で光路を折 り返す形になっているが、 図 8に示した光学系と等価である。 なお、 図 1 0中の点線は、 光路を折り返さなかった場合の光学系 (すなわ ち図 8に示した光学系) を示している。
この光学へッ ド 1 0において、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0 は、 第 1面 6 0 a, 第 2面 6 0 b及び第 3面 6 0 cを構成する第 1 のレンズ媒質 6 1 と、 第 4面 6 0 dを構成する第 2のレンズ媒質 6 2とを備えており、 第 1 のレンズ媒質 6 1によって構成される第 2 面 6 0 dを含む平面に、 第 2のレンズ媒質 6 2が接合されてなる。 そして、 この第 2のレンズ媒質 6 2は、 ガラス基盤 2 0の一部によ つて構成されている。 すなわち、 ガラス基盤 2 0は、 カタディオプ トリ ックレンズ 6 0の一部を兼ねており、 カタディオプトリ ックレ ンズ 6 0は、 第 1 のレンズ媒質 6 1 を、 ガラス基盤 2 0に接合する ことにより構成されている。
そして、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0の一部を兼ねているガ ラス基盤 2 0には、 磁界発生用コイル 6 5が埋設されている。 換言 すれば、 カタディオプト リ ック レンズ 6 0を構成する第 2のレンズ 媒質 6 2には、 磁界発生用コイル 6 5が埋設されている。 この磁界 発生用コイル 6 5は、 光磁気ディスク 1 5に対する記録時に、 光磁 気ディスク 1 5に対して記録磁界を印加するためのものであり、 力 タディオプトリ ックレンズ 6 0の結像点の周囲を取り巻く ように形 成されている。 すなわち、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0に入射 したレーザ光は、 磁界発生用コイル 6 5の中央において、 ガラス基 盤 2 0の端面に結像する。 なお、 このような磁界発生用コイル 6 5 は、 例えば、 薄膜プロセスにより薄膜コイルパターンをガラス基盤 2 0に埋設することにより形成する。
この光学へッ ド 1 0を用いて光磁気ディスク 1 5に対して記録再 生を行うときは、 光磁気ディスク 1 5を回転駆動させて、 当該光磁 気ディスク 1 5上において、 光学へッ ド 1 0を浮上させる。 このと き、 弾性部材 3 0によって、 弾性を持たせた状態でスライダー 2 5 を支持することにより、 ガラス基盤 2 0と光磁気ディスク 1 5との 間隔が、 1 0 0 n mのオーダー以下に保たれるようにしておく。 そして、 光学へッ ド 1 0を光磁気ディスク 1 5上において浮上さ せた状態で、 レーザー光源からレーザー光を出射し、 当該レーザ光 を光ファイバ一 3 5によって伝搬する。 光ファイバ一 3 5によって 伝搬され、 当該光ファイバ一 3 5から出射されたレーザ光は、 可動 ミラー 4 0によって反射される。
そして、 可動ミラー 4 0によって反射されたレーザ光は、 1 / 4 波長板 4 5を介してプリズム 5 0に入射する。 ここで、 1 Z 4波長 板 4 5は、 使用波長で片道 9 0 ° のリタ一ダンスを与えるという理 由で、 光ファイバ一 3 5で発生するリターダンスを往復で補償する ために挿入している。
なお、 本例では、 プリズム 5 0に反射膜がコートされていること を前提と しており、 1 / 4波長板 4 5でリタ一ダンスを与えるよう にしている。 しかし、 プリズム斜面への入射角はほぼ 4 5。 である から、 プリズム 5 0での全反射を利用してリターダンスを発生させ ることもできる。 このリタ一ダンスは、 プリズム 5 0の屈折率で決 まり、 B A C D 1 1のようなガラスを用いると、 リタ一ダンスは、 全反射 1回でほぼ 4 6 ° となる。 したがって、 プリズム 5 0で全反 射を 2回させると、 ほぼ 9 0 ° のリタ一ダンスを与えることができ、
1 Z 4波長板 4 5の機能をプリズム 5 0に兼ねさせることができる。
1ノ4波長板 4 5を介してプリズム 5 0に入射したレーザ光は、 プリズム 5 0の内部で反射して折り返されて、 コリメータレンズ 5
5へ導かれる。 コリメータレンズ 5 5に入射したレーザ光は、 当該 コリメータレンズ 5 5によって平行光とされた上で、 カタディオプ トリ ックレンズ 6 0に入射する。
カタディォプトリ ックレンズ 6 0に入射したレーザ光は、 先ず、 凹面屈折面からなる第 1面 6 0 aで拡大されて、 平面ミラーからな る第 2面 6 0 bに入射する。 次に、 第 2面 6 O bで反射され、 凹面 非球面ミラーからなる第 3面 6 0 cに入射する。 次に、 第 3面 6 0 cで反射され、 第 2面 6 0 bの中央に設けられた開口を通して第 4 面 6 0 dの全反射平面上に結像する。
このとき、 レーザ光の大部分は第 4面 6 0 dにおいて全反射する 、 このとき、 第 4面 6 0 dと光磁気ディスク 1 5との間隔を 1 0 0 n mのオーダー以下に保つようにしているので、 エバネッセント 光の一部が光磁気ディスク 1 5と結合してレンズ外に取り出される。 そして、 この光学ヘッ ド 1 0では、 このエバネッセント光を利用し て光磁気ディスク 1 5に対する記録再生を行う。
なお、 記録時には、 上述のようにエバネッセン ト光を光磁気ディ スク 1 5に結合させるとともに、 磁界発生用コイル 6 5に電流を流 して磁界を発生させて、 エバネッセント光が光磁気ディスクと結合 している部分に当該磁界を印加する。 これにより、 光磁気ディスク 1 5に対して光磁気記録を行う。 ここで、 光磁気記録の方式は、 記 録する情報信号に対応させて光磁気ディスク 1 5に印加する磁界の 強度を変調する磁界強度変調方式であっても、 記録する情報信号に 対応させて光磁気ディスク 1 5に照射する光の強度を変調する光強 度変調方式であっても良い。
ところで、 この光学ヘッ ド 1 0において、 可動ミラー 4 0には、 図示しないァクチユエ一タを取り付けておき、 当該ァクチユエ一タ を駆動することにより、 可動ミラー 4 0によるレーザ光の反射角を 変化させることができるようにしておく。 可動ミラー 4 0によるレ 一ザ光の反射角を変化させると、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0 に入射する入射光束の傾き角が変化する。 その結果、 カタディオプ ト リ ック レンズ 6 0の第 4面 6 0 dにおける結像点が、 可動ミ ラー 6 0の動作方向に移動する。
すなわち、 この光学へッ ド 1 0では、 可動ミラ一 4 0によるレ一 ザ光の反射角を変化させることで、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0の第 4面 6 0 dにおける結像点を、 可動ミラー 4 0の動作方向に 走査することが可能となっている。 これを利用することで、 この光 学へッ ド 1 0では、 例えば、 いわゆる視野内アクセスや視野内トラ ッキングを行うようなことが可能となっている。
なお、 従来のカタディオプトリ ックレンズでは、 入射光束の傾き 角が変化するとコマ収差が発生するので、 入射光束の傾き角を変化 させて用いるようなことは不可能であった。 一方、 上記光学ヘッ ド 1 0に搭載されているカタディオプトリ ックレンズ 6 0は、 コマ収 差の捕正がほぼ完全になされている。 したがって、 上記光学ヘッ ド 1 0では、 カタディオプトリ ックレンズ 6 0に入射する入射光束の 傾き角を変化させて、 視野内アクセスや視野内トラッキングを行う ようなことが可能となっている。
なお、 本発明を適用した光学ヘッ ド 1 0のポイントは、 カタディ ォプトリ ックレンズ 6 0にあるので、 以上の説明では、 光磁気ディ スク 1 5に照射するレーザ光を集光するカタディオプトリ ックレン ズ 6 0を含む光学系の部分を中心に説明し、 その他の光学系の詳細 については説明を省略した。 しかし、 実際には、 光学ヘッ ド 1 0に は、 光磁気ディスク 1 5によって反射されて戻ってきた戻り光を検 出する光学系も設けられることは言うまでもない。
また、 本発明は、 光磁気ディスクに対して記録再生を行うための 光学ヘッ ド以外にも適用可能であり、 対象となる光記録媒体は、 例 えば、 相変化型光ディスクや、 エンボスピッ トによって情報信号が 予め書き込まれた再生専用光ディスク等であってもよい。 ただし、 対象となる光記録媒体が、 相変化型光ディスクや、 エンボスピッ ト によって情報信号が予め書き込まれた再生専用光ディスク等のよう に、 記録再生に磁界を いない記録媒体の場合には、 磁界発生用コ ィルは不要となる。 産業上の利用可能性 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 軸外収差のうちコ マ収差がほぼ完全に補正されており、 入射光束の入射角の範囲とし て、 少なく とも ± 3 ° 程度までは十分に許容可能となる。
このように、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズは、 コマ 収差がほぼ完全に補正されており、 入射光束の入射角の許容範囲を 広く とれるので、 レンズ取り付け精度を従来に比べて大幅に緩和で きる。 したがって、 カタディオプトリ ックレンズを光学ヘッ ド等に 実装するようなときに、 組み立てプロセスが容易になり、 短時間で 正確な組み立てを完了することが可能となる。
更に、 本発明に係るカタディオプトリ ックレンズでは、 コマ収差 がほぼ完全に補正されているので、 可動ミラ一等を用いて入射光束 の傾き角を高速で変化させて、 可動ミラーの動作方向に結像点を走 査するようなことも可能となる。 これを利用することで、 例えば、 光学へッ ドにおける、 いわゆる視野内アクセスや視野内トラツキン グが可能になる。
また、 本発明に係る光学ヘッ ド及び光記録再生装置は、 軸外収差 のうちコマ収差がほぼ完全に補正されたカタディオプトリ ック レン ズを用いるようにしているので、 当該カタディオプトリ ックレンズ の取り付け精度を従来に比べて大幅に緩和できる。 したがって、 力 タディオプトリ ックレンズを実装するときの組み立てプロセスが容 易になり、 短時間で正確な組み立てを完了することが可能となる。 更に、 本発明に係る光学ヘッ ド及び光記録再生装置では、 軸外収 差のうちコマ収差がほぼ完全に補正されたカタディオプトリ ックレ ンズを用いるようにしているので、 カタディオプトリ ックレンズに 入射する入射光束の傾き角を可動ミラー等を用いて高速で変化させ て、 可動ミラーの動作方向に結像点を走査するようなことも可能と なる。 これを利用することで、 例えば、 いわゆる視野内アクセスや 視野内トラッキングを行うようなことも可能となる。

Claims

5冃 求 の 範 囲
1. 第 1面が凹面屈折面、 第 2面が平面ミラー、 第 3面が第 1面 の凹面屈折面と同軸に配置された凹面非球面ミラーからなり、 平行 入射光が第 2面の平面ミラーに設けた開口を通して第 4面の全反射 平面上に結像するようになされたカタディオプトリ ックレンズにお いて、
r ,を第 1面の曲率半径、 r を第 3面の中心曲率半径、 dを第 1 面から第 3面頂点までの光学長、 f a (N) , f b (N) をレンズ媒 質の屈折率 Nの関数として表される係数とし、 正弦条件を満たす条 件式を下記式 ( 1 ) で表し、
d / r , = f (N) r , / r :i + f b (N) …(1)
上記式 ( 1 ) を満たすときの第 1面の曲率半径 r ,の値を R、 第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dの値を Dと したとき、
第 1面の曲率半径 r ,は、 R± l %の範囲内にあり、
第 1面から第 3面頂点までの光学長 dは、 D± 0. 5%の範囲内 にめること
を特徴とするカタディオプトリ ックレンズ。
2. 上記第 1面の前段にレンズが配置されていること
を特徴とする請求の範囲第 1項記載のカタディオプトリ ックレン ズ。
3. 第 1乃至第 3面を構成する第 1のレンズ媒質と、 第 4面を構 成する第 2のレンズ媒質とを備え、
上記第 1のレンズ媒質によって構成される第 2面を含む平面に、 上記第 2のレンズ媒質が接合されてなること を特徴とする請求の範囲第 1項記載のカタディオプトリ ックレン ズ ·
4. 上記第 2のレンズ媒質には、 磁界発生用コイルが埋設されて いること
を特徴とする請求の範囲第 3項記載のカタディオプトリ ックレン ズ。
5. 上記第 3面は、 面頂点からの深さを X、 光軸からの高さを Y、 中心曲率半径を R、 円錐係数を K、 Υ4項の非球面係数を A、 Yfi項 の非球面係数を B、 YH項の非球面係数を C、 Υ '"項の非球面係数を Dと したとき、 下記式 (2) で表される一般非球面であること
X=(YVR)Z[1 + U- (1+K) (Y/R)" '/ ]+AY4+BYfi+CY8+DY10 · · · (2) を特徴とする請求の範囲第 1項記載のカタディオプトリ ックレン ズ。
6. レンズ媒質の屈折率が、 使用波長領域において 1. 4以上で あること
を特徴とする請求の範囲第 1項記載のカタディオプトリ ックレン ズ。
7. 第 1面が凹面屈折面、 第 2面が平面ミ ラー、 第 3面が第 1面 の凹面屈折面と同軸に配置された凹面非球面ミラーからなり、 平行 入射光が第 2面の平面ミラーに設けた開口を通して第 4面の全反射 平面上に結像するようになされたカタディオプトリ ックレンズを対 物レンズと して備え、
上記カタディオプトリ ックレンズは、
r ,を第 1面の曲率半径、 r を第 3面の中心曲率半径、 dを第 1 面から第 3面頂点までの光学長、 ί 。 (N) , f b (N) をレンズ媒 質の屈折率 Nの関数として表される係数とし、 正弦条件を満たす条 件式を下記式 (3) で表し、
d / r , = f . (N) r , / r , + f (N) · · · (3)
上記式 ( 3) を満たすときの第 1面の曲率半径 r ,の値を R、 第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dの値を Dと したとき、
第 1面の曲率半径 r ,が、 R± l %の範囲内にあり、
第 1面から第 3面頂点までの光学長 dが、 D± 0. 5%の範囲内 にあること
を特徴とする光学へッ ド。
8. 光学へッ ドを用いて光記録媒体の記録及び/又は再生を行う 光記録再生装置であって、
上記光学へッ ドは、
第 1面が凹面屈折面、 第 2面が平面ミラー、 第 3面が第 1面の凹 面屈折面と同軸に配置された凹面非球面ミラーからなり、 平行入射 光が第 2面の平面ミラーに設けた開口を通して第 4面の全反射平面 上に結像するようになされたカタディオプトリ ックレンズを対物レ ンズと して備え、
上記カタディオプトリ ックレンズは、
r ,を第 1面の曲率半径、 r :!を第 3面の中心曲率半径、 dを第 1 面から第 3面頂点までの光学長、 f » (N) , f „ (N) をレンズ媒 質の屈折率 Nの関数と して表される係数とし、 正弦条件を満たす条 件式を下記式 (4) で表し、
d / r , = f (N) r , / r:» + f (N) · · · (4)
上記式 (4) を満たすときの第 1面の曲率半径 r ,の値を R、 第 1 面から第 3面頂点までの光学長 dの値を Dと したとき、 第 1面の曲率半径 r iが、 R ± 1 o/。の範囲内にあり、
第 1面から第 3面頂点までの光学長 dが、 D± 0. 5 %の範囲内 にあること
を特徴とする光記録再生装置。
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