Verfahren und Vorrichtungen zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers
Die Erfindung betrifft Verfahren zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers, bei dem der Prüfkörper in einem Belichtungsbereich mit Belichtungsstrahlung während einer Belichtungsdauer beaufschlagt und von dem Prüfkörper aus einem Erfassungsbereich abgegebene Wärmestrahlung zeitaufgelöst erfaßt wird, wobei aus dem zeitlichen Verlauf der durch eine Emissionskurve mit einem Aufheizteil mit zunehmender Amplitude und einem Abkühlteil mit abnehmender Amplitude repräsentierbaren Wärmestrahlung Eigenschaften des Prüfkörpers bestimmt werden.
Die Erfindung betrifft weiterhin Vorrichtungen zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers, mit einer Beleuchtungseinrichtung, mit der ein Prüfkörper in einem Belichtungsbereich mit Belichtungsstrahlung während einer Belichtungsdauer beaufschlagbar ist, mit einer Detektionseinrichtung, mit der von dem Prüf- körper aus einem Erfassungsbereich abgegebene Wärmestrahlung zeitaufgelöst erfaßbar ist, und mit einer Steuer- und Auswerteeinrichtung, mit der aus dem zeitlichen Verlauf der durch eine Emissionskurve mit einem Aufheizteil mit zunehmender Amplitude und einem Abkühlteil mit abnehmender Amplitude repräsentierbaren Wärmestrahlung Eigenschaften des Prüfkörpers bestimmbar sind.
Derartige Verfahren und Vorrichtungen sind aus der DE 38 20 862 A1 bekannt. Ein Prüfkörper ist mittels einer Beleuchtungseinrichtung mit Belichtungsstrahlung in einem Belichtungsbereich während einer Belichtungsdauer beaufschlagt. Zum zeitaufgelösten Erfassen von von dem Prüfkörper aus einem Erfassungsbereich abgegebener Wärmestrahlung dient eine Detektionseinrichtung. Die erfaßte Wärmestrahlung ist bei Abtragung einer Temperatur gegen die Zeit durch eine Emissionskurve mit einem Aufheizteil mit zunehmender Amplitude und mit einem Abkühlteil
mit abnehmender Amplitude repräsentierbar, wobei aus zeitlichen Korrelationen zwischen der Beaufschlagung des Prüfkörpers mit Belichtungsstrahlung und dem Verlauf der Emissionskurve Eigenschaften des Prüfkörpers bestimmt werden. Bei den gattungsgemäßen Verfahren und Vorrichtungen werden zum Erfassen von Fehlerstellen Abweichungen von Emissionsmeßkurven gegenüber anhand von Vorgabeparametern wie Wärmeleitfähigkeit, Ab- sorptions- und/oder Emissionskoeffizient berechneten Emissionsmodellkurven bestimmt.
Aus der US-A-4,679,946 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen sowohl einer Schichtdicke als auch von Materialparametern eines schichtartig aufgebauten Prüfkörpers bekannt, bei denen der Prüfkörper mit Belichtungsstrahlung beaufschlagt und von ihm abgegebene Wärmestrahlung erfaßt wird. Hierzu werden zwei voneinander unabhängig arbeitende Meßverfahren verwendet, wobei zum einen einer Oberflächentemperatur zugeordnete thermische Signale und zum anderen einer hauptsächlich als Funktion der Temperatur unterhalb der Oberfläche vor- liegende Signale erfaßt und verarbeitet werden. Durch die Verwendung eines zweisegmentigen Detektors sind diese beiden Signaltypen zugleich unabhängig voneinander erfaßbar. Allerdings werden bei dieser Vorrichtung zwei als Laser ausgebildete Strahlungsquellen sowie das speziell ausgeführte Detektorelement benötigt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Verfahren und Vorrichtungen der eingangs genannten Art anzugeben, mit denen in apparativ wenig aufwendiger Weise Materialeigenschaften des Prüfkörpers auch bei Unkenntnis exakter Schichtdicken verhältnismäßig genau bestimmt werden können.
Diese Aufgabe wird bei dem eingangs genannten Verfahren in einer Ausgestaltung eines ersten Typs dadurch gelöst, daß eine impulsartige Belichtungsdauer eingestellt wird, die kleiner als der
Quotient aus dem Quadrat eines Schätzwertes einer durch den Abstand von Grenzflächen gebildeten Schichtdicke und eines Schätzwertes für die Diffusivität zwischen den Grenzflächen ist, und daß aus wenigstens einem in dem Aufheizteil oder einem sich unmittelbar an den Aufheizteil anschließenden Abschnitt des Abkühlteiles mit einer hohen, einer Aufheizrate des Aufheizteiles entsprechenden Abkühlrate gelegenen Meßwert die Effusivität des Prüfkörpers bestimmt wird.
Diese Aufgabe wird bei der eingangs genannten Vorrichtung in einer Ausgestaltung eines ersten Typs dadurch gelöst, daß mit der Beleuchtungseinrichtung wenigstens eine Belichtungsdauer einstellbar ist, die kleiner als der Quotient aus dem Quadrat eines Schätzwertes einer durch den Abstand von Grenzflächen gebilde- ten Schichtdicke und eines Schätzwertes für die Diffusivität zwischen den Grenzflächen ist, und daß eine Recheneinheit vorgesehen ist, mit der aus wenigstens einem in dem Aufheizteil oder einem sich unmittelbar an den Aufheizteil anschließenden Abschnitt des Abkühlteiles mit einer hohen, einer Aufheizrate des Aufheizteiles entsprechenden Abkühlrate gelegenen Meßwert die Effusivität des Prüfkörpers bestimmbar ist.
Dadurch, daß bei dem Verfahren und der Vorrichtung des ersten Typs wenigstens ein Meßwert innerhalb des sehr kurzen Aufheiz- teiles oder in dem sich unmittelbar an das Ende der impulsartigen Belichtung anschließenden Teilabschnitt der Emissionskurve nach einer der Erfindung zugrundeliegenden Erkenntnis, daß bei impulsartiger Belichtung in diesem Bereich der Emissionskurve der Einfluß der Schichtdicke auf die Messung von Materialeigenschaf- ten vernachlässigbar ist, erfaßt wird, lassen sich Materialeigenschaften auch bei Unkenntnis der Schichtdicke sehr genau aus wenigstens einem Meßwert bestimmen.
Diese Aufgabe wird weiterhin bei dem eingangs genannten Ver- fahren in einer Ausgestaltung eines zweiten Typs dadurch gelöst,
daß wenigstens zwei Belichtungsdauern eingestellt werden, die kleiner als der Quotient aus dem Quadrat eines Schätzwertes für eine Schichtdichte der Beschichtung und eines Schätzwertes für die Diffusivität der Beschichtung sind, daß der Belichtungsbereich und der Erfassungsbereich mit einem Diffusionsabstand voneinander beabstandet werden, daß die sich für jede Belichtungsdauer im Erfassungsbereich einstellenden Maximalamplituden jeder Emissionskurve mit zugehörigen Einstellzeiten bestimmt werden und daß aus dem Verhältnis wenigstens zweier Maximalamplituden, dem Diffusionsabstand und den zugehörigen Einstellzeiten die Diffusivität bestimmt wird.
Diese Aufgabe wird bei der eingangs genannten Vorrichtung in einer Ausgestaltung eines zweiten Typs dadurch gelöst, daß mit der Beleuchtungseinrichtung wenigstens zwei Belichtungsdauern einstellbar sind, die kleiner als der Quotient aus dem Quadrat eines Schätzwertes einer durch den Abstand von Grenzflächen gebildeten Schichtdicke und eines Schätzwertes für die Diffusivität zwischen den Grenzflächen ist, daß der Belichtungsbereich und der Erfassungsbereich mit einem Diffussionsabstand voneinander beabstandet sind, daß mit einer Emissionsmaximumssucheinheit sich für jede Belichtungsdauer im Erfassungsbereich einstellenden Maximalampiituden jeder Emissionskurve mit zugehörigen Einstellzeiten bestimmbar sind und daß mit einer Diffusivitätsrechen- einheit aus dem Verhältnis zweier Maximalamplituden, dem Diffusionsabstand und den zugehörigen Einstellzeiten eine Diffusivität bestimmbar ist.
Dadurch, daß bei dem Verfahren und der Vorrichtung des zweiten Typs nach einer verhältnismäßig kurzen, impulsartigen Aufheizung die Ausbreitung der Wärmewellen über die Maximalamplituden von Emissionskurven nach unterschiedlich langer Belichtung erfaßt wird, läßt sich die Diffusivität bei Kenntnis des Diffusionsabstandes unabhängig von der Leistungsdichte der Belichtungsstrahlung bestimmen.
In zweckmäßigen Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtung des ersten Typs wird nach ermittelter Effusivität auch die Schichtdicke bestimmt, die aus dem Langzeitverlauf der Emissionkurve ermittelbar ist.
Zur Steigerung der Meßgenauigkeit der Effusivität ist in Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtung des ersten Typs vorgesehen, in dem Aufheizteil oder in dem sich unmittelbar an den Aufheizteil anschließenden Abkühlteil der Emissionskurve eine Anzahl von Emissionsmeßwerten zu erfassen und mit der Vorgabe von anhand Modellparametern berechneten Emissionsmodellkurven zu vergleichen, wobei aus der Emissionsmodellkurve mit den geringsten Abweichungen gegenüber den Meßwerten die Materialeigenschaften ableitbar sind.
Bei zweckmäßigen Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtung des zweiten Typs sind zwei Belichtungen mit vorzugsweise um einen Faktor zwei verschiedenen Belichtungsdauern vorgesehen, wobei die längere Belichtungsdauer der Hälfte des Quotienten aus dem Quadrat des Schätzwertes für eine Schichtdicke einer Beschichtung und dem Schätzwert für die Diffusivität der Beschichtung ist. Dadurch ist sichergestellt, daß der Einfluß der Schichtdicke vernachlässigbar ist.
Zur Erläuterung der physikalischen Zusammenhänge bei dem Verfahren und der Vorrichtung des ersten Typs seien nachfolgend einige Bestimmuηgsgleichungen angegeben.
Die Effusivität ist die Wurzel aus dem Produkt der Wärmeleitfähig- keit, der Dichte und der spezifischen Wärmekapazität. Unter Diffusivität versteht man den Quotient aus der Wärmeleitfähigkeit und der mit der Dichte multiplizierten spezifischen Wärmekapazität.
Aus der instationären Wärmeleitungstheorie ergibt sich beispielsweise folgender, eine Emissionskurve repräsentierender Temperaturverlauf an der Oberfläche eines Prüfkörpers für den Aufheizteil und den frühen Abkühlteil nach Ende der Belichtung mit einem kurzen Rechteckimpuls:
wobei T (z = 0, t) die Temperatur an der Oberfläche des Prüfkörpers ist, F0 für die eingebrachte Leistungsdichte in W/cm2 steht, E die Effusivität bezeichnet, tP die Belichtungsdauer repräsentiert und t die Zeit nach Beginn der Belichtung bezeichnet. Bei Erfassen eines oder mehrerer Emissionsmeßwerte zu bekannten Zeiten t„ die im Aufheizteii oder in dem sich unmittelbar an den Aufheizteil anschließenden frühen Abkühlteil der Emissionskurve liegen, sowie der zugehörigen Temperaturen T, läßt sich aus obiger Glei- chung bei Kenntnis der Leistungsdichte F0 die Effusivität unabhängig von der Schichtdicke bestimmen.
Bei dem Verfahren und der Vorrichtung des zweiten Typs liegt der Bestimmung der Diffusivität folgende Gleichung zugrunde:
eifc-
Α - ^ (2) r2 erfc- r ^ 2
wobei T T2 für die sich nach Belichtung mit Belichtungsdauern t t2 in einem Diffusionsabstand r von dem Belichtungsbereich einstellenden Temperaturen, a für die Diffusivität und "erfc" für die sogenannte komplementäre Gauß'sche Fehlerfunktion der Gestalt
erfc (x) = ι—2- f *e -yi dy (3 )
Jπ -O
steht. Durch Variation der Diffusivität a läßt sich die aufgrund der Temperaturmessung, der Kenntnis des Diffusionsabstandes und der Belichtungsdauern eindeutige Gleichung (2) bei einer Diffu- sivität a erfüllen.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die Figu- ren der Zeichnung. Es zeigen:
Fig. 1 in einer schematischen Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung beim Untersuchen eines Prüfkörpers mit einer eine Infrarot- kamera aufweisenden Detektionseinrichtung,
Fig. 2 in einem Blockschaltbild die Vorrichtung gemäß Fig. 1 ,
Fig. 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungs- gemäßen Vorrichtung mit einer einen einzelligen Infrarotdetektor aufweisenden Detektionseinrichtung,
Fig. 4 in einem Blockschaltbild die Vorrichtung gemäß Fig. 3,
Fig. 5 Emissionskurven von Prüfkörpern mit Beschichtungen gleicher Materialzusammensetzung, jedoch unterschiedlicher Schichtdicke,
Fig. 6 Emissionskurven von Prüfkörpern mit Beschichtungen unterschiedlicher Materialzusammensetzungen, jedoch gleicher Schichtdicke,
Fig. 7 in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers mit einer in einem punktförmigen Belichtungsbereich fokussierenden Be- leuchtungseinrichtung und einer Detektionseinrichtung mit einem punktförmigen, von dem Belichtungsbereich beabstandeten Erfassungsbereich beim Untersuchen eines Prüfkörpers und
Fig. 8 in einem Blockschaltbild die Vorrichtung gemäß Fig. 7.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers 1 , der aus einem mit einer dünnen Beschichtung 2 versehenen Substrat 3 aufgebaut ist. Die Beschichtung 2 weist eine Schichtdicke auf, die durch den Abstand von zwei Grenzflächen der Beschichtung 2 gebildet ist. Die Vorrichtung gemäß Fig. 1 verfügt über eine Beleuchtungseinrichtung 4, die als Beleuchtungseinheit mit einer einstellbaren Belich- tungsdauer tP eine Blitzlampe 5 aufweist. Mit der Blitzlampe 5 sind kurze, impulsartige Lichtblitze mit vorzugsweise intensiven Spektralkomponenten im sichtbaren Spektralbereich emittierbar, wobei die Belichtungsdauer tP kleiner als die Laufzeit von Wärmewellen durch die Beschichtung 2 zu der dem Prüfkörper 1 benachbarten Grenzfläche ist. Diese entspricht dem Quotienten aus dem Quadrat eines Wertes einer durch den Abstand von Grenzflächen gebildeten Schichtdicke der Beschichtung 2 und eines Wertes für die Diffusivität zwischen den Grenzflächen. Die Lichtblitze beaufschlagen als Belichtungsstrahlung 6 den Prüfkörper 1 nach Durch- gang durch ein Infrarotfilter 7 zum Absorbieren von infraroten Spektralanteilen im wesentlichen mit ihren Spektralkomponenten im sichtbaren Spektralbereich in einem in diesem Ausführungsbeispiel flächenhaft ausgedehnten Belichtungsbereich 8 unter Auftreffen auf die Beschichtung 2.
Die Energie der Belichtungstrahlung 6 wird in Abhängigkeit des Absorptionskoeffizienten mit einem Wert vorzugsweise nahe eins im Belichtungsbereich 8 absorbiert, wobei ein Teil der absorbierten Energie wieder als Wärmestrahlung im infraroten Spektralbereich abgegeben wird. Zum Erfassen von aus einem innerhalb des Belichtungsbereiches 8 in einem Erfassungsbereich 9 gelegenen Teiles der Wärmestrahlung 10 verfügt die Vorrichtung gemäß Fig. 1 über eine Detektionseinrichtung 1 1 mit einer ortsauflösenden Infrarotkamera 1 2.
Weiterhin ist die Vorrichtung gemäß Fig. 1 mit einer als Arbeitsplatzrechner 13 ausgestalteten Steuer- und Auswerteeinrichtung 1 4 ausgestattet, an die die Blitzlampe 5 und die Infrarotkamera 1 2 angeschlossen sind.
Fig. 2 zeigt in einem Blockschaltbild insbesondere die Steuer- und Auswerteeinrichtung 14 bei der beispielhaften Vorrichtung gemäß Fig. 1 . Die Steuer- und Auswerteeinrichtung 1 4 verfügt über eine Steuereinheit 1 5, an die die Blitzlampe 5, eine mit der Infrarot- kamera 1 2 verbundene Echtzeitbildaufnahmeeinheit 1 6 mit einer Dynamik von 1 2 Bit und einer Zeitauflösung von typischerweise besser einigen Millisekunden sowie ein Grenzzeitwertgeber 17 angeschlossen sind. Mittels des Grenzzeitwertgebers 1 7 sind der Steuereinheit 1 5 die Belichtungsdauer tP, eine Bildauf nahmezeit- dauer als Endzeitpunkt tE und ein Effusivitätsauswertezeitpunkt tA einspeisbar, wobei über die Bildaufnahmezeitdauer die Gesamtdauer der Aufnahme einer Emissionskurve und mit dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA der Zeitpunkt nach dem Beginn der Belichtung festgelegt wird, der die Grenze der sich unmittelbar an einen Aufheizteil anschließenden frühen Abkühlteil der Emmis- sionskurve zum Bestimmen der Effusivität festlegt. Die Belichtungsdauer tP entspricht zweckmäßigerweise etwa der Hälfte der Zeit von dem Beginn der Belichtung bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA. Als Bildaufnahmezeitdauer ist beispielsweise das Zehnfache des Wertes vorgesehen, der sich aus dem Quotien-
ten des Quadrates eines Schätzwertes für eine Schichtdicke und einem Schätzwert für eine Diffusivität der Beschichtung 2 ergibt. Als Effusivitätsauswertezeitpunkt tA ist es zweckmäßig, die Hälfte dieses Quotienten zu wählen.
Die Ausgangsdaten der Echtzeitbildaufnahmeeinheit 1 6 sind einer Bildspeichereinheit 18 einspeisbar, in der eine Anzahl von Bildern des Erfassungsbereiches 9 in einer zeitlichen Abfolge abspeicherbar sind, wobei die Anzahl der abspeicherbaren Bilder für eine hohe zeitliche Auflösung möglichst hoch ist. Zweckmäßige Bilderanzahlen liegen zwischen einigen 1 0 bis wenigen 1000 Bildern bei einer typischen Ortsauflösung von beispielsweise 1 28 x 1 28 Bildpunkten. An die Bildspeichereinheit 1 8 ist eine Bildprozessoreinheit 19 angeschlossen, mit der die der aus dem Erfassungs- bereich 9 abgegebenen Wärmestrahlung 10 zugeordneten Daten vorzugsweise für alle Bildpunkte, aber beispielsweise auch für Bildausschnitte in dem zeitlichen Verlauf als Emissionsmeßkurven erfaßbar sind. Die Emissionsmeßkurven sind einem Emissions- meßkurvenspeicher 20 einspeicherbar.
Weiterhin weist die Steuer- und Auswerteeinrichtung 1 4 einen Modellparameterspeicher 21 auf, in dem als Parameter für eine Berechnung von Emissionsmodellkurven die Wärmeleitfähigkeit, die Dichte, die spezifische Wärmekapazität sowie die Dicke des Substrates 3 des Prüfkörpers 1 gemäß Fig. 1 sowie zweckmäßigerweise weiterhin ein Schätzwert für die Schichtdicke der Beschichtung 2 und ein Schätzwert für die Effusivität der Beschichtung 2 des Prüfkörpers 1 abspeicherbar sind. Der Modellparameterspeicher 21 ist an eine Kurzzeitemissionsmodellkurven- recheneinheit 22 angeschlossen. Die Kurzzeitemissionsmodell- kurvenrecheneinheit 22 steht mit einer Heizenergiemeßeinheit 23 in Verbindung, mit der ein der den Prüfkörper 1 beaufschlagenden Belichtungsenergie zugeordneter Heizenergiemeßparameterwert erzeugbar ist. Mit der Kurzzeitemissionsmodellkurvenrecheneinheit 22 ist bei Variation des Modellparameters für die Effusivität im
Bereich deren Schätzwertes im Zeitbereich bis zu dem in dem Grenzzeitwertgeber 17 abgelegten Effusivitätsauswertezeitpunkt tA unter Einschluß des Heizenergiemeßparameterwertes eine Anzahl von Emissionsmodellkurven berechenbar. Die mit der Kurzzeitemissionsmodellkurvenrecheneinheit 22 berechneten Kurzzeitemissionsmodellkurven sind einem Kurzzeitemissions- modellkurvenspeicher 24 einspeicherbar.
Die Steuer- und Auswerteeinrichtung 1 4 weist weiterhin eine Kurzzeitemissionskurvenvergleichseinheit 25 auf, die mit den in den Emissionsmeßspeicher 20 abspeicherbaren Emissionsmeßkurven und den in dem Kurzzeitemissionsmodellkurvenspeicher 24 abspeicherbaren Kurzzeitemissionsmodellkurven beaufschlagbar ist. Mit der Kurzzeitemissionskurvenvergleichseinheit 25 sind mittels einer Vergleichsprozedur beispielsweise nach der Methode der kleinsten Quadrate in dem Zeitbereich bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt diejenigen Kurzzeitemissionsmodellkurven bestimmbar, die innerhalb des Zeitbereiches bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt mit den Emissionsmeßkurven der erfaßten Bildpunkte des Erfassungsbereiches 9 die jeweils beste Übereinstimmung aufweisen. Die der Berechnung der am besten angepaßten Kurzzeitemissionsmodellkurven zugrundeliegenden Effusivitäts- werte sind einem Effusivitätsbildspeicher 26 als Effusivitätsbild des Erfassungsbereiches 9 einspeicherbar.
An den Effusivitätsbildspeicher 26 ist eine Ableitrecheneinheit 27 angeschlossen, mit der aus dem Wert für die Effusivität und einem Wert für die Diffusivität, der beispielsweise gemäß dem weiter unten anhand Fig. 7 erläuterten Ausführungsbeispiel ermittelbar ist, an einem Punkt der Beschichtung 2 die Wärmeleitfähigkeit und das Produkt aus der Dichte und der spezifischen Wärmekapazität an diesem Punkt der Beschichtung 2 des Prüfkörpers 1 bestimmbar sind. Weiterhin ist der Effusivitätsbildspeicher 26 an einen Effusivitätswertgeber 28 angeschlossen, mit dem das Minimum und das Maximum der in dem Effusivitätsbildspeicher 26 abge-
speicherten Effusivitätswerte bestimmbar ist und eine Anzahl von vorzugsweise einen gleichen Abstand aufweisenden Effusivi- tätszwischenwerten zwischen dem minimalen Effusivitätswert und dem maximalen Effusivitätswert berechenbar sind.
Der Effusivitätswertgeber 28 ist an eine Langzeitemissions- modellkurvenrecheneinheit 29 angeschlossen, der weiterhin die Modellparameter der Modellparameterspeichereinheit 21 einspeis- bar sind. Mit der Langzeitemissionsmodellkurvenrecheneinheit 29 sind im Zeitbereich zwischen dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA und dem Endzeitpunkt der Bildaufnahmezeitdauer bei Variation der Schichtdicke im Bereich deren Schätzwertes für jeden Effusivitats- zwischenwert sowie den minimalen und den maximalen Effusivitätswert Langzeitemissionsmodellkurven berechenbar, die in einem der Langzeitemissionsmodellkurvenrechenemheit 29 nachgeord- neten Langzeitemissionsmodellkurvenspeicher 30 abspeicherbar sind.
Der Speicherinhalt des Langzeitemissionsmodellkurvenspeichers 30 ist in eine Langzeitemissionskurvenvergieichseinheit 31 ausgebbar, die weiterhin mit dem Emissionsmeßkurvenspeicher 20 sowie einem Effusivitätsbildwandler 32 verbunden ist. Der Effusivitätsbildwandler 32 wiederum ist an den Effusivitätsbildspeicher 26 sowie den Effusivitätswertgeber 28 angeschlossen. Mit dem Effusivitätsbildwandler 32 ist dem Effusivitätswert an jedem Bildpunkt des Erfassungsbereiches 9 derjenige Zwischenwert beziehungsweise der minimale oder maximale Effusivitätswert des Effusivitätswertgebers 28 zuweisbar, der diesem Effusivitätswert an dem betreffenden Bildpunkt am nächsten liegt.
Mit der Langzeitemissionskurvenvergleichseinheit 31 ist mittels einer Vergleichsprozedur beispielsweise nach der Methode der kleinsten Quadrate für jeden Bildpunkt derjenige Schichtdickenwert bestimmbar, mittels dem sich die beste Übereinstimmung zwischen der betreffenden Emissionsmeßkurve dieses Bildpunktes
und den entsprechenden Langzeitemissionsmodellkurven auf der Grundlage des gewandelten Effusivitätswertes aus dem Effusivitätsbildwandler 32 ergibt. Die mit der Langzeitemissionskurvenver- gieichseinheit 31 bestimmten Schichtdicken werte an den je- weiligen Bildpunkten des Erfassungsbereiches 9 sind in einem Schichtdickenbildspeicher 33 abspeicherbar.
Die Speicherinhalte des Effusivitätsbildspeichers 26 sowie des Schichtdickenbildspeichers 33 sind beispielsweise grafisch in einer Grauwert- oder Farbcodierung über eine in Fig. 1 nicht dargestellte Ausgabeeinheit der Steuer- und Auswerteeinrichtung 14 beispielsweise in Gestalt eines Bildschirmes oder Druckers ausgebbar.
Die anhand Fig. 1 und Fig. 2 erläuterte beispielhafte Vorrichtung eignet sich insbesondere zu einer im wesentlichen justagefreien ortsaufgelösten, aufgrund der Vergleichsprozedur von Emissionsmeßkurven mit Emissionsmodellkurven im Kurzzeitbereich bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA besonders präzisen Bestimmung der Effusivität und durch Vergleich von Emissionsmeß- kurven und Emissionsmodellkurven im Langzeitbereich zwischen dem Effusivitätsauswertezeitpunkt und dem Ende der Bildaufnahmezeitdauer zu einer sehr exakten ortsaufgelösten Bestimmung der Schichtdicke der Beschichtung 2 des Prüfkörpers 1 .
Fig. 3 zeigt in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers 1 , das bis auf die Detektionseinrichtung 1 1 ähnlich dem anhand Fig. 1 erläuterten Ausführungsbeispiel aufgebaut ist. Dementsprechend sind die sich bei den Ausfüh- rungsbeispielen gemäß Fig. 1 und Fig. 3 entsprechende Bauelemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen und im weiteren nicht näher erläutert. Die Detektionseinrichtung 1 1 bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist als einzelliger Infrarotpunktdetektor 34 ausgebildet, mit dem Wärmestrahlung 10 aus einem innerhalb des Belichtungsbereiches 8 gelegenen, sehr kleinen,
gegenüber dem Belichtungsbereich 8 quasi punktförmigen Erfassungsbereich 35 zeitaufgelöst erfaßbar ist.
Fig. 4 zeigt in einem Blockschaltbild die Vorrichtung gemäß Fig. 3, wobei sich bei den Ausführungen der Steuer- und Auswerteeinrichtungen 14 gemäß Fig. 2 und Fig. 4 entsprechende Bauelemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen und im weiteren nicht näher erläutert sind.
Der Infrarotpunktdetektor 34 ist an einen Meßsignalwandler 36 angeschlossen, der wiederum von der Steuereinheit 1 5 angesteuert ist. Die mittels des Infrarotpunktdetektors 34 aus dem punktförmigen Erfassungsbereich 35 erfaßte Wärmestrahlung 10 ist zeitaufgelöst als Einzelemissionsmeßkurve in einem an den Meß- signalwandler 36 angeschlossenen Einzelemissionsmeßkurven- speicher 37 abspeicherbar.
Der Modellparameterspeicher 21 ist an eine Kurzzeitemissions- modellwertrecheneinheit 38 angeschlossen, die selbst wiederum mit dem Grenzzeitwertgeber 1 7 und der Heizenergiemeßeinheit 23 in Verbindung steht. Mit der Kurzzeitemissionsmodellwertrechen- einheit 38 sind an einem Bestimmungszeitpunkt tB unter Berücksichtigung der den Prüfkörper 1 beaufschlagenden Heizenergie sowie der Modellparameter aus dem Modellparameterspeicher 21 bei Variation der Effusivität im Bereich des Effusivitätsschätz- wertes die an diesem Bestimmungszeitpunkt tB herrschenden Temperaturen in Abhängigkeit der Effusivität als Emissionsmodellwerte berechenbar, wobei der Bestimmungszeitpunkt tB kleiner als der Effusivitätsauswertezeitpunkt tA ist. Beispielsweise liegt der Be- Stimmungszeitpunkt tB etwa bei der Hälfte der Zeit, die seit Beginn der Belichtung des Prüfkörpers 1 bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA verstrichen ist. Der Kurzzeitemissionsmodellwert- recheneinheit 38 ist ein Kurzzeitemissionsmodellwertespeicher 39 nachgeschaltet, in dem die zu dem Bestimmungszeitpunkt tB berechneten Emissionsmodellwerte abspeicherbar sind.
Die Steuer- und Auswerteeinrichtung 14 gemäß Fig. 4 weist weiterhin eine an den Kurzzeitemissionsmodellwertspeicher 39 und den Einzelemissionsmeßkurvenspeicher 37 angeschlossene Kurzzeitemissionswertvergleichseinheit 40 auf, mit der ent- sprechend der Funktionsweise der Kurzzeitemissionskurvenver- gleichseinheit 25 gemäß Fig. 2 aus dem Emissionsmodellwert mit der geringsten Abweichung zu dem Emissionsmeßwert der Einzel- emissionsmeßkurve zu dem Bestimmungszeitpunkt tB ein einzelner Effusivitätsmodellwert für den Erfassungsbereich 35 bestimmbar und in einem Einzeleffusivitätswertspeicher 41 abspeicherbar ist.
Der Einzeleffusivitätswert des Einzeleffusivitätswertspeichers 41 ist einer Einzelableitrecheneinheit 42 zur Berechnung der Wärmeleitfähigkeit und des Produkts aus der Dichte und der spezifischen Wärmekapazität entsprechend der Funktionsweise der Ableitrecheneinheit 27 einspeisbar.
Dem Einzeleffusivitätswertspeicher 41 und dem Modellparameterspeicher 21 ist eine Langzeitemissionsmodellkurvenrecheneinheit 43 nachgeschaltet, mit der bei Variation der Schichtdicke der Beschichtung 2 im Bereich deren Schätzwertes und dem in dem Einzeleffusivitätswertspeicher 41 abgespeicherten Effusivitätswert Langzeitemissionsmodellkurven in einem Zeitbereich zwischen dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA und dem Endzeitpunkt tE der Meßdauer berechenbar sind. Die mittels der Langzeitemissions- modellkurvenrecheneinheit 43 berechneten Langzeitemissionsmodellkurven sind einem Langzeitemissionsmodellkurvenspeicher 44 einspeisbar, dem eine Langzeitemissionskurvenvergleichs- einheit 45 nachgeschaltet ist.
Mit der auch an den Einzelemissionsmeßkurvenspeicher 37 angeschlossenen Langzeitemissionskurvenvergleichseinheit 45 ist in einer Vergleichsprozedur beispielsweise nach der Methode der kleinsten Quadrate innerhalb des Zeitbereiches zwischen dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA und dem Endzeitpunkt tE der
Meßdauer die Schichtdicke der Beschichtung 2 an dem betreffenden Bildpunkt aufgrund der besten Übereinstimmung einer Lang- zeitemissionsmodellkurve mit der Emissionsmeßkurve in dem entsprechenden Zeitbereich bestimmbar. Der mittels der Langzeit- emissionskurvenvergleichseinheit 45 bestimmte Schichtdickenwert ist in einem nachgeschalteten Schichtdickenwertspeicher 46 abspeicherbar und beispielsweise über einen in Fig. 4 nicht dargestellten Bildschirm oder einen Drucker der Steuer- und Auswerteeinrichtung 14 ausgebbar.
Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 und Fig. 4 ist insbesondere dann zweckmäßig verwendbar, wenn eine besonders schnelle Bestimmung der Effusivität und der Schichtdicke in einem punktförmigen Erfassungsbereich 35 erfolgen soll.
Fig. 5 zeigt in einem Schaubild' beispielhaft eine erste Emissionsmodellkurve 47 und eine zweite Emissionsmodellkurve 48, wie sie sich in einem Teilbereich des Erfassungsbereiches 9 oder in einem punktförmigen Erfassungsbereich 35 nach Belichtung mit kurzen Lichtblitzen 49 aus der als Blitzlampe 5 ausgebildeten Beleuchtungseinheit gemäß numerischen Modellrechnungen ergeben. In dem Schaubiid gemäß Fig. 5 ist der zeitliche Verlauf der Amplitude der Emissionsmodellkurven 47, 48 in dieser Darstellung als Temperatur "T" entlang einer Zeitachse "t" abgetragen. Die Belichtungsdauer tP des Lichtblitzes 49 ist gleich der Aufheizzeitdauer des bis zu einer Maximaltemperatur ansteigenden Aufheizteiles 50 beider Emissionsmodellkurven 47, 48. Neben dem sich an den Aufheizteil 50 anschließenden Abschnitt 51 der Abkühlteile 52, 53 bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA ist auch der Aufheizteil 50 zur Bestimmung der Effusivität verwendbar.
Aus Fig. 5 ist ebenfalls ersichtlich, daß der sich unmittelbar an den Aufheizteil 50 anschließende Abschnitt 51 der Abkühlteile 52,
53 der unterschiedlichen Schichtdicken von Beschichtungen 2 zu- geordneten Modellemissionskurven 47, 48 im wesentlichen
deckungsgleich ist, so daß bei einer Auswertung von Emissionsmeßkurven bis zu dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA wenigstens anhand eines Meßwertes sowie wenigstens einem zugeordneten Emissionsmodellwert die Effusivität unabhängig von der Schichtdicke der Beschichtungen 2 bestimmbar ist.
Weiterhin ist bei einer Auswertung der Emissionsmeßkurven zwischen dem Effusivitätsauswertezeitpunkt tA bis zu dem Endzeitpunkt tE der Bildaufnahmezeitdauer bei einem zuvor bestimm- ten Effusivitätswert aus dem dann voneinander abweichenden Verlauf der Abkühlteile 52, 53 der Emissionsmodellkurven 47, 48 mittels Vergleich mit der Emissionsmeßkurve die Schichtdicke der Beschichtung 2 des Prüfkörpers 1 genau bestimmbar.
Fig. 6 zeigt in einem Schaubild die zweite Emissionsmodellkurve 48 gemäß Fig. 5 im Vergleich mit einer dritten Emissionsmodellkurve 54, wobei den in Fig. 6 dargestellten Emissionsmodellkurven 48, 54 jeweils ein Prüfkörper 1 mit gleichem Substrat 3 und gleicher Schichtdicke einer Beschichtung 2 aus jedoch ver- schiedenen Materialien zugrunde liegen. Aufgrund der unterschiedlichen Materialien der Beschichtungen 2 und der in der Regel unterschiedlichen zugehörigen Effusivitäten ist ein Aufheizteil 55, ein sich unmittelbar an den Aufheizteil 55 anschließender Abschnitt 56 und auch der übrige Verlauf eines Abkühlteiles 57 der dritten Emissionsmodellkurve 54 von dem Verlauf der zweiten Emissionsmodellkurve 48 verschieden. Dadurch lassen sich unterschiedliche Materialien einer Beschichtung 2 eines Prüfkörpers 1 über deren unterschiedliche Effusivitäten bestimmen.
Fig. 7 zeigt in einer schematischen Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum photothermischen Untersuchen eines Prüfkörpers 58, der aus einem mit einer Beschichtung 59 versehenen Substrat 60 aufgebaut ist. Die Vorrichtung gemäß Fig. 7 verfügt über eine Beleuchtungseinrichtung 61 , die als Strahlungsquelle über einen vorzugsweise im sichtbaren Spek-
tralbereich kontinuierlich emittierenden Laser 62 verfügt. Dem Laser 62 ist eine Verschlußeinheit 63 sowie eine Fokussieroptik 64 nachgeordnet, mit der bei geöffneter Verschlußeinheit 63 von dem Laser 62 emittierte Belichtungsstrahlung 65 in einem punkt- förmigen Belichtungsbereich 66 auf die Beschichtung 59 des Prüfkörpers 58 fokussierbar ist.
Weiterhin weist die Vorrichtung gemäß Fig. 7 eine Detektionseinrichtung 67 mit einem einzelligen Infrarotpunktdetektor 68 auf. Der Infrarotpunktdetektor 68 ist mit einem punktförmigen Erfassungsbereich 69 in einem mit einem Pfeil angedeuteten Mittenabstand r als Abstand von dem punktförmigen Belichtungsbereich 66 zum Erfassen aus von dem Erfassungsbereich 69 emittierter Wärmestrahlung 70 ausgerichtet.
Die Vorrichtung gemäß Fig. 7 ist mit einer beispielsweise als Arbeitsplatzrechner 71 ausgestalteten Steuer- und Auswerteein- πchtung 72 ausgestattet, an die der Laser 62, die Verschlußeinheit 63 und der Infrarotpunktdetektor 68 zur Steuerung der Belichtung und Erfassung von Wärmestrahlung 70 sowie zur Auswertung angeschlossen sind.
Fig. 8 zeigt in einem Blockschaltbild die Vorrichtung gemäß Fig. 7 insbesondere mit dem Aufbau der Steuer- und Auswerteeinπch- tung 72. Die Steuer- und Auswerteeinrichtung 72 weist eine Steuereinheit 73 auf, der zur Steuerung einer Belichtungsdauer aus einem Belichtungszeitgeber 74 wenigstens zwei Belichtungsdauern zugeordnete Steuerdaten einspeisbar sind. Beispielsweise entspricht eine kürzere erste Belichtungsdauer einem Viertel des Quotienten aus dem Quadrat eines Schätzwertes für eine Schichtdicke der Beschichtung 59 und einem Schätzwert für eine Diffusivität der Beschichtung 59 sowie eine längere zweite Belichtungsdauer der Hälfte dieses Quotienten. Mit den aus dem Belich- tungszeitgeber 74 übergebenen Belichtungsdauern ist die Ver- Schlußeinheit 63 entsprechend betätigbar. Weiterhin ist der Laser
62 zur Funktionsüberwachung an die Steuereinheit 73 angeschlossen.
Dem Infrarotpunktdetektor 68 ist zur digitalisierten Datenauf- nähme ein Meßsignalwandler 75 nachgeschaltet, der zur getakteten Signalwandlung ebenfalls mit der Steuereinheit 73 verbunden ist. Die jeweils einer Belichtungsdauer zugeordneten Ausgangsdaten des Meßsignalwandlers 75, die dem zeitlichen Verlauf der typischerweise durch einen zugeordneten Temperaturwert gekennzeichneten Intensität der Wärmestrahlung 70 aus dem in einem Diffusionsabstand r von dem Belichtungsbereich 66 angeordneten Erfassungbereich 69 entsprechen, sind als Emissionsmeßkurven in einem Emissionsmeßkurvenspeicher 76 abspeicherbar.
Die in dem Emissionsmeßkurvenspeicher 76 abspeicherbaren Emissionsmeßkurven sind an eine Emissionsmaximumssucheinheit 77 übergebbar, mittels der für jede Emissionsmeßkurve eine dem Maximum der Emission zugeordnete Maximaltemperatur nach Beginn der Belichtung sowie über direkte Auswertung der Emissionsmeßkurve oder alternativ über Eingabe einer Belichtungsdauer der Zeitpunkt der maximalen Emission bestimmbar ist. Die Steuer- und Auswerteeinrichtung 72 verfügt weiterhin über eine Diffusivitätsrecheneinheit 78, die zum einen mit der Emissions- maximumssucheinheit 77 und zum anderen mit einem Modellparameterspeicher 79 verbunden ist. In dem Modellparameterspeicher 79 sind der Mittenabstand r zwischen dem punktförmigen Belichtungsbereich 66 und dem punktförmigen Erfassungsbereich 69 sowie ein Schätzwert für die Diffusivität abspeicher- bar. Mit der Diffusivitätsrecheneinheit 78 ist mit einem numerischen Verfahren, beispielsweise dem Newton-Verfahren, durch Variation des Schätzwertes der Diffusivität in der oben angegebenen Gleichung (2) die Diffusivität der Beschichtung 59 bestimmbar.
Weiterhin verfügt die Steuer- und Auswerteeinrichtung 72 über eine Ableitrecheneinheit 80, die mit der Diffusionsrecheneinheit 78 verbunden ist. Mittels der Ableitrecheneinheit 80 sind außer der ermittelten Diffusivität und der beispielsweise mittels einer der vorgenannten Vorrichtungen gemäß Fig. 1 und Fig. 2 beziehungsweise Fig. 3 und Fig. 4 ermittelten Effusivität die Wärmeleitfähigkeit sowie das Produkt aus der Dichte und der spezifischen Wärmekapazität der Beschichtung 59 bestimmbar.
Es versteht sich, daß die Detektionseinrichtung 67 gemäß Fig. 7 auch mit einer Infrarotzeilenkamera oder einer flächig detektieren- den Infrarotkamera ausgestattet sein kann.