WO1997042480A1 - Noncontact inspection apparatus - Google Patents

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WO1997042480A1
WO1997042480A1 PCT/JP1997/001499 JP9701499W WO9742480A1 WO 1997042480 A1 WO1997042480 A1 WO 1997042480A1 JP 9701499 W JP9701499 W JP 9701499W WO 9742480 A1 WO9742480 A1 WO 9742480A1
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WO
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inspection
rotary table
rotary
contact type
inspection equipment
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Application number
PCT/JP1997/001499
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English (en)
French (fr)
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Heizaburo Kato
Original Assignee
Sankyo Manufacturing Co., Ltd.
Eisai Co., Ltd.
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Priority to EP97918351A priority patent/EP0837311B1/en
Priority to US08/981,154 priority patent/US6055876A/en
Priority to BR9702250A priority patent/BR9702250A/pt
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
    • G01N21/9018—Dirt detection in containers
    • G01N21/9027—Dirt detection in containers in containers after filling
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Definitions

  • the present invention relates to a non-contact type inspection apparatus which inspects a conveyed inspection object by a non-contact inspection device and automatically determines the quality of the inspection object.
  • this type of inspection apparatus uses various products such as chemicals or electronic components as inspection objects, and uses various non-contact inspection devices, such as those utilizing light transmission or reflection, to inspect these products.
  • the body is inspected with high precision to prevent inferior products from flowing through the product distribution channel (Japanese Patent Publication No. 47-10466, Japanese Patent Publication No. 50-111094, JP-B-57-11416, JP-A-57-142252, JP-B-60-20695, JP-A-60-98341, JP-A-61-282219, and JP-B-sho 62-15821, JP-A-64-31040 and JP-A-3-96841).
  • a CCD camera is used as an inspection device, and the object to be inspected is conveyed so as to pass through the imaging range of the CCD camera. Was photographed, and the image was processed by an image processing device to check the quality of the test object.
  • a non-contact type inspection device when the object to be inspected is an ampoule, a vial, a container made of glass, plastic, or the like in which a liquid such as a medicine or a beverage is sealed, a non-contact type inspection device, In particular, by transmitting light through these containers using an optical inspection device and photographing them with a CCD camera, it is possible to accurately determine whether or not foreign matter has been mixed into the liquid inside the containers.
  • Fig. 10, Fig. 11 shows the main part of the conventional non-contact type inspection device 2 when the test object is an ampoule 1, and the ampules 1, 1 ... are placed on the seats 3a, 3a ... of the rotary table 3.
  • the rotary table 3 that transports the ampoules 1, 1, ... is sandwiched. Then, the light of the light 4 placed on the inner table 8 is transmitted through the f-plane of the ampoule 1, 1 ... and the rotary table 3 is taken by the CCD camera 5 placed on the outer table 8a. .
  • the inspection device 2 is provided with caps 6, 6,... For holding the ambles 1, 1,... Conveyed by the rotation of the turntable 3 from above in order to stably hold them.
  • caps 6, 6,... For holding the ambles 1, 1,... Conveyed by the rotation of the turntable 3 from above in order to stably hold them.
  • the drum 7 is rotated together with the turntable 3 so that the caps 6, 6,... Can be rotationally moved together with the ampoules 1, 1,.
  • the caps 6, 6 ... can move up and down via slide rods 6a, 6a ... to receive and hold the ampules 1, 1 ... afterwards.
  • the cylindrical wall 7a of the drum 7 mounted on the rotary table 3 for rotating together with the rotary table 3 has the ampules 1, 1,.
  • the ampule 1, 1... was blocked from the light 4 on the back of the lamp, so that the light from the light 4 for the inspection work was radiated to the ampule 1, 1... and transmitted.
  • slits 9, 9, ... are respectively formed corresponding to the positions of the caps 6, 6, ..., and the light of the light 4 is transmitted through the slits 9, 9, ... to the ampules 1, 1, .... It was intended to irradiate the back of the camera.
  • An object of the present invention is to provide a non-contact type inspection device capable of performing inspection of an object to be inspected with an inspection device with high accuracy and in a wide range.
  • a non-contact type inspection apparatus according to the present invention comprises an annular rotary table which is driven to rotate and conveys an object to be inspected, and which is disposed inside and outside the rotary table so as to inspect the object to be inspected.
  • An inspection equipment mounting table on which a non-contact type inspection equipment is mounted; and an upper part of the rotary table, rotatably supported around a rotation center of the rotary table, and holding an upper part of the inspection object conveyed by the rotary table. And a link mechanism for rotating the rotary head in synchronization with the rotary table.
  • the mouth head is supported up and down freely.
  • the interlocking mechanism is coupled to a pair of first and second internal gears respectively provided on the rotary table and the rotary head, and to the first and second internal gears, respectively.
  • a planetary gear device comprising: a pair of first and second planetary gears; and a connecting shaft rotatably supported by the inspection equipment mounting table and integrally connecting the first and second planetary gears to each other.
  • the first and second internal gears are gears of the same module, and are formed integrally with the inner circumference of the rotary table and the inner circumference of the low-speed head, respectively.
  • the first and second planetary gears are also gears of the same module, and the connecting shaft connecting them is rotatably supported by a bearing provided on the inspection equipment mounting table.
  • the rotatable head is supported so as to be able to move up and down, and the second planetary gear coupled to the second internal gear of the rotatable head is connected to the rotatable head. It is formed long in the axial direction corresponding to the amount of elevation.
  • a holding frame disposed above the rotary table and having a vertical slide groove formed therein; an annular lifting frame provided on the holding frame so as to be able to move up and down via the slide groove; A bearing provided on an inner peripheral portion of the opening and rotatably supporting an outer peripheral portion of the opening and closing head.
  • the opening and closing head is provided with the lifting frame with respect to the holding frame. It is suspended and supported so as to be able to move up and down and rotate.
  • the lifting frame provided on the holding frame so as to be non-rotatably and vertically movable via the slide groove; a bolt rotatably supported by the holding frame and screwed to the lifting frame; and a bolt provided on the bolt.
  • the sprocket and the sprocket And a power transmission mechanism for transmitting a driving force.
  • the inspection device mounting table is rotatably provided around the rotation center of the rotary table, and a continuous [! 11 rotation drive cam and a swing rotation drive cam are provided in the axial direction thereof and driven to rotate.
  • the rotary table is provided with an input gear, the input gear is combined with an output gear provided on a continuous rotation output shaft, and the continuous rotation output shaft is provided with the circular evening let.
  • a cam follower that is in sliding contact with the continuous rotation driving cam is rotatably provided on the outer periphery of the evening let.
  • the inspection equipment mounting table is provided with a support shaft at a rotation center position thereof, the swing rotation output shaft is connected to the support shaft, and the fan-shaped turret is provided on the swing rotation output shaft.
  • a cam follower is provided on the outer periphery of the dinner rotatably so as to be in sliding contact with the oscillating rotary drive cam.
  • the cam curves of the continuous rotary drive cam and the oscillating rotary drive cam which determine the rotational movement speed of the rotary table and the inspection equipment mounting table, are as follows. At the timing of moving in the same direction as the above, the moving speed of the inspection equipment mounting table and the rotation table are set to be equal, and the timing at which the inspection equipment mounting table moves in the opposite direction to the rotation direction of the rotary table. Is set so that the movement speed of the inspection equipment mounting table is faster than the movement speed of the rotary table.
  • the rotating table is formed in an annular shape, and the inspection equipment mounting table sandwiches the rotating table, an inner table disposed in an inner space thereof, and an outer surface of the rotating table facing the inner table.
  • the inner table is provided with a support shaft integrally with the center of rotation of the inner table,
  • the support shaft is provided integrally with an arm extending outside the rotary table, and the arm is integrally attached with the outer table.
  • the non-contact type inspection device is arranged on the inner table and the outer table, which are arranged to face each other with the rotary table interposed therebetween, with the apricot body to be conveyed by the rotary table interposed therebetween.
  • the non-contact type inspection device includes a projector that is provided on the inner table and the outer table, respectively, and irradiates a light beam reflected by the object to be inspected, and a CCD camera for capturing an image. The image of the reflected light emitted from the projector and reflected by the object is photographed by the CCD camera to inspect the object.
  • the non-contact type inspection device includes a backlight which is provided on the inner table and the outer table, respectively, which irradiates a light beam transmitted through the object to be inspected, and a transmission type detector which detects transmitted light.
  • the inspection of the inspection object is performed by detecting the transmitted light emitted from the backlight and transmitted through the inspection object by the transmission type detector.
  • the non-contact type inspection device may be an inspection device using X-rays or electromagnetic waves.
  • the mouth-opening head includes a stem inserted therein so as to be vertically slidable, and a spring for urging the stem downward, and a lower end of the stem is provided with an upper portion of the inspection object.
  • a cap is provided for holding.
  • a supply line for carrying the test object into the rotary table, and for discharging the test object from the rotary table. Discharge line.
  • a mouth head is disposed above the turntable so as to be rotatably supported around the rotation center of the turntable,
  • the road head is rotated synchronously with the rotary table by an interlocking mechanism.
  • the mouth head that holds the upper part of the test object is supported above the rotary table, it is above the rotating table and below the mouth head.
  • an open space without any obstruction is formed over the entire circumference of the rotary table and the mouth head. Therefore, when a non-contact type inspection device is used to inspect an object to be transported mounted on a rotary table while its upper part is held by a rotatable head, a non-contact inspection device is used. Since there is no obstacle between them, it is possible to fully exert the inspection capability of the inspection equipment to the inspected object without any loss, and to inspect the inspected object.
  • the equipment can be freely laid out, and the inspection of the object to be inspected by the inspection equipment can be performed with high precision and in a wide range.
  • the upper part of the rotary table is also the upper part of the transport path of the device to be inspected, and there is a dead space where there is no obstacle to the equipment structure.
  • the device is configured.
  • the holding position of the object to be inspected by the mouth head changes vertically, and a plurality of different kinds of inspected objects having different heights are obtained. Can be inspected with the same device.
  • the interlocking mechanism is respectively coupled to the first and second internal gears provided on the rotary table and the rotary head, respectively, and connected to each other. It comprises a pair of first and second planetary gears, and these first and second planetary gears are supported by the inspection equipment mounting table.
  • first internal gear is rotated together with the rotary table.
  • the first planetary gear connected to this and the second planetary gear connected to it are rotated, and the second gear connected to this second planetary gear is also rotated.
  • the overnight head is rotated in synchronization with the rotary table.
  • first and second planetary gears are supported by an inspection equipment mounting table, even if the inspection equipment mounting table is fixed, Even in the case of a rotary type that rotates relative to each other as needed, it is possible to rotate the first internal gear and the second internal gear at the same speed, and the rotary table and the mouth It is always rotated synchronously with the head.
  • the non-contact type inspection apparatus of the present invention when the rotary input shaft is rotationally driven to rotate the continuous rotary drive cam and the oscillating rotary drive cam, the evening let and the continuous rotary output shaft are rotated.
  • the rotary table is continuously rotated by the former continuous rotary drive cam, and the inspection equipment mounting table is rotated by the latter rotary drive cam via the evening rotation and the rotary output shaft. Forward and backward in the same and opposite directions.
  • the continuously rotating rotary table continuously transports the test object.
  • the inspection equipment mounting table that rotates and rotates rotates in the same direction as the rotary table, it is rotated and driven in synchronization with the rotary table.
  • the non-contact type inspection equipment attached to the inspection equipment mounting table is moved integrally with the object to be inspected conveyed by the rotary table. Synchronous rotation of the two tables creates a state in which the non-contact type inspection device inspects the test object at this time, and the stationary test device is inspected by the stationary test device. I do.
  • the rotary table that rotates continuously transports the inspected object without interruption even while the inspection of the inspected object is being performed by the non-contact inspection device.
  • the inspection equipment mounting table which is oscillatingly driven, rotates in the same direction as the rotary table, moves the non-contact type inspection equipment together with the object to be inspected, and then performs the inspection. It is rotated and returned to its original position, ready for the next inspection.
  • the continuous rotation drive cam and the swing rotation drive cam are employed to obtain the continuous rotation of the rotary table and the swing rotation of the inspection equipment mounting table.
  • Such a cam configuration has a function of always reproducing an accurate operation because there is no backlash in a series of motion transmission, and the accuracy of the rotary motion of both tables is improved.
  • FIG. 1 is a cross-sectional front view of the entire apparatus showing an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view for explaining the flow of the test object according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional plan view showing a main part of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing a cam mechanism used in the embodiment of the present invention.
  • 5 ⁇ is a time chart showing the motion relationship between the rotary table and the inspection device mounting table according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part of one embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view of an essential part showing an example of an inspection mode of an object to be inspected using a non-contact inspection device.
  • FIG. 8 is a perspective view of an essential part showing another example of the inspection mode of the inspection object using the non-contact type inspection device.
  • FIG. 9 is a plan view schematically showing a mechanism for rotating the device under test.
  • FIG. 10 is a perspective view of a main part showing a conventional inspection apparatus.
  • FIG. 11 is a sectional view of a main part showing a conventional inspection apparatus. Best shape bear for carrying out the invention
  • FIG. 1 to 9 show one embodiment of the non-contact type inspection apparatus of the present invention.
  • the non-contact type inspection apparatus 10 of the present embodiment has a circular opening formed inside, and a rotating rotary table 12 that is driven to rotate, and is adjacent to the rotary table 12 so as to sandwich the rotary table 12.
  • the inner table 14 a is rotatably arranged around the rotation center of the rotary table 12, and on the outside, the outer table 14 is also rotatably arranged around the rotation center of the rotary table 12.
  • the inner table 14a and the outer table 14b constitute an inspection equipment mounting table 14.
  • the rotary table 12 has an object 18 to be inspected placed thereon and transports the object.
  • the rotary table 12 is supplied from the supply line 16 to the object to be inspected. 18 is taken in, and the rotating table 12 is rotated with the inspected object 18 placed thereon, and the inspected object 18 that has been inspected is discharged from the discharge line 20. .
  • the inner table 14a has a disk shape, as shown in FIGS. 1 and 2.
  • a support shaft 22 is suspended from the body below the center.
  • the outer table 14 b is formed in an arc-shaped band that extends over substantially 1/6 of the turntable 12, and has a fan-like shape integrally protruded from below.
  • the main part of the arm 24 is integrally fitted to the lower part of the support shaft 22 of the inner table 14a, whereby the inner table 14a and the outer table 14b are integrated.
  • the rotary table 12 has a boss 26 formed in a body from the lower surface, and the boss 26 is rotatably fitted to the upper portion of the support shaft 22 via a bearing 28. .
  • the inner table 14a is provided with a light emitter 30 and a transmission type detector 31, and the outer table 14b is provided with a CCD camera 32 and a backlight 33.
  • the projector 30, the CCD camera 32, the transmission detector 31, and the backlight 33, which are non-contact type inspection devices for inspecting the object 18, are each a rotary table.
  • the test object 18 conveyed by 12 is arranged so as to face each other with the object 18 interposed therebetween.
  • a cam mechanism 36 for driving these tables 12 and 14 is arranged below the rotary table 12 and the inspection equipment mounting table 14.
  • the cam mechanism 36 includes a rotary input shaft 38 to which a torque from a rotary drive source (not shown) is input, and the rotary input shaft 38 is separated from the continuous rotary drive cam 40 in the axial direction.
  • a swing rotary drive cam 42 is also provided.
  • a continuous rotary output shaft 44 and a swing rotary output shaft 46 are provided as shown in FIG. It is arranged orthogonal to 3 8.
  • a circular evening let 48 is fitted on the continuous rotation output shaft 44, and a cam follower 50 rotatably provided on the outer periphery of the evening let 48 is attached to the continuous rotation driving cam 40. Sliding contact.
  • a fan-shaped evening let 52 is fitted to the swing rotating output shaft 46, and a cam follower 54 rotatably provided on the outer circumference of the evening let 52 is provided with the swing rotating drive cam 4.
  • the upper end of the swing rotation output shaft 46 is integrally connected to the lower end of the support shaft 22 of the inner table 14a, and the swing rotation of the swing rotation output shaft 46 is supported by the support shaft 22.
  • the inspection equipment mounting table 14 composed of the inner table 14a and the outer table 14b is oscillated and rotated.
  • the inspection equipment mounting table 14 is rotated in the same direction as the rotary table 12 on the outward path, and is rotated in the opposite direction to the rotation direction of the rotary table 12 on the subsequent return path.
  • the cam surface of the rotary driving cam 42 for reciprocatingly rotating the inspection equipment mounting table 14 is set as follows. That is, the swinging rotation of the forward movement of the apricot installation table 14 that rotates in the same direction as the rotary table 12 is set to be equal to the rotational speed of the rotary table 12 so as to synchronize with the rotary table 12. In addition, it is set to return to the original position quickly in the swinging rotation on the return path.
  • the motion relationship between the rotary table 12 and the inspection equipment mounting table 14 according to this setting is shown in the time chart of FIG. 5, and in the shaded area in FIG. ), The rotary table 12 and the inspection equipment mounting table 14 are synchronously rotated at the same speed in the same direction.
  • the CCD camera 32 and the projector 30 are combined. Then, the light beam emitted from the projector 30 is reflected by the test object 18, and the reflected light is photographed by the CCD camera 32.
  • the object 18 is a transparent container containing a liquid such as an ampoule or a vial
  • the transmission type detector 31 and the backlight 33 are combined as shown in FIG.
  • the light emitted from the light 33 is transmitted through the object 18 to be inspected, and the transmitted light is detected by the transmission detector 31.
  • the image is captured by the CCD camera 32.
  • the transmitted image is sent to the image processor, and the signal detected by the transmission detector 31 is sent to the processor.
  • the quality of the inspection object 18 is determined by detecting the quality of the appearance of the inspection object 18 and the foreign matter mixed in the contents.
  • a supply line 16 for supplying the test object 18 to the turntable 12 includes a guide 60 for moving the test objects 18 in a line and orderly as shown in FIG. 60, which is provided at the exit portion of the first wheel. Then, the test objects 18 sequentially extruded from the guide 60 are taken into the recesses 62 a formed at equal intervals on the outer periphery of the first wheel 61, one by one.
  • the first star wheel 62 rotates to move the test object 18 to a predetermined position on the rotary table 12, that is, the rotary table 12 is provided with a rotary seat 64 for rotating the test object 18 on its own axis.
  • the test objects 18 are sequentially placed on the rotating seats 64 one by one.
  • the discharge line 20 for discharging the inspected object 18 after the inspection from the rotary table 12 includes a second star wheel 66 and a sorting device connected to the second scan wheel 66. 6 and 8. Then, the test objects 18 sequentially sent out from the turntable 12 are taken into the recesses 66 a formed at equal intervals on the outer periphery of the second foil 66, one by one. By rotating the two-star wheel 66, the test objects 18 are transferred one by one to the sorting device 68.
  • the sorting device 68 includes a screw 68 a for transporting the test object 18 transferred from the second star wheel 66, and a test object sent one by one from the screw 68 a. And a pendulum type sorting mechanism 70 for sorting 18 into the first sorting passage 70a or the second sorting passage 70b.
  • the pendulum type sorting mechanism 70 is provided with a pendulum 70 f, which is reciprocally rotatable around its center of rotation 0, and is bifurcated around the center of rotation 0. It has a pair of passages 70c and 70d.
  • the entrance 70e is alternatively connected to the first sorting passage 70a via the passage 70c, or
  • the second sorting passage 7 Ob is connected to the second sorting passage 7 Ob through a passage 70d.
  • the test object 18 guided to the first sorting passage 70 a is stored in the first sorting storage section 72, and the test object 18 guided to the second sorting passage 70 Ob is the second sorting It is designed to be stored in the storage section 72a.
  • the second sorting storage section 72a is a storage section for defective products.
  • a spin shaft 6 4 rotatably provided on the rotary table 12 and rotatably mounted on a rotary seat 64 on which the test object 18 is mounted to rotate.
  • the entire outer periphery of the test object 18 can be photographed by one CCD camera 32, and the detection work by the transmission type detector 31 can be performed. It can be performed.
  • the object 18 is an ampoule or a vial or the like and the contents are inspected by transmitted light, if the rotated object 18 is instantaneously stopped, the contents in the object 18 are stopped. Only the object keeps turning, and it is possible to more accurately inspect for foreign matter.
  • the test object 18 that moves with the rotation of the rotary table 12 is held by the cap 82 provided on the mouth-evening head 80 with its upper part pressed and held.
  • the non-contact type inspection device 10 is mounted on a frame 84 surrounding the entire device, and the top of the frame 84 is a dead space that does not hinder the operation of the device 10. Further, the mouth head 80 is supported in a suspended state.
  • the rotatable head 80 is rotatably supported above the rotary table 12 so as to be rotatable around the rotation center of the rotary table 12, and has a rotary seat 6 4 attached to the rotary table 12 at a peripheral portion thereof.
  • the caps 82 are provided so as to correspond to the respective components. As shown in FIG. 6, the cap 82 is formed at the lower end of a stem 82a that is freely slidable up and down through the mouth 80, and each stem 82a is a spring. Pressed down through 8 2 b.
  • the rotary head 80 is rotatably attached to the inner periphery of an annular elevating frame 86 via a bearing 86 a at its outer peripheral portion, and the elevating frame 86 is a holding frame 8. It is attached to the lower side of the top of the frame 84 through 8.
  • the lifting frame 8 6 A plurality of bolts 90 rotatably mounted on the holding frame 88 are screwed into the holding groove 88 a of the holding frame 88 so as to be vertically slidable.
  • One of these bolts 90 is provided with a handle 90a at the upper end protruding upward from the frame 84, and the sprockets 91a and the chain are provided for these bolts 90.
  • a transmission mechanism 91 composed of 9 1 b is provided so that all ports 90 are driven. Therefore, by rotating the handle 90a, the lifting frame 86 is raised and lowered together with the mouth 80.
  • an interlocking mechanism 92 is provided between the rotary table 12 and the mouth head 80, and the interlocking mechanism 92 rotates the mouth head 80. It rotates in synchronization with the table 12.
  • the interlocking mechanism 92 includes first and second internal gears 94 and 96 respectively provided on the rotary table 12 and the mouth head 80, and the first and second internal gears 94 and 96 are respectively combined with these. It is configured by being connected to each other via two planetary gears 98, 100.
  • the first and second internal gears 94 and 96 are formed to have the same diameter, and the first internal gear 94 is formed integrally with the inner periphery of the turntable 12 while the second internal gear 94 is formed.
  • the one-round gear 96 is formed integrally with the inner periphery of the head 80.
  • the first and second planetary gears 98, 100 are also formed to have the same diameter, and these planetary gears 98, 100, as shown in FIG. It is arranged outside the reciprocating swing range so as not to interfere with the swinging outer table 14b.
  • the first and second planetary gears 98, 100 are integrally connected via a connecting shaft 102, and the connecting shaft 102 is a bearing body 100 fixed to the inner table 14a. In Fig. 4, it is supported by the rotation itself.
  • the second planetary gear 100 is formed to be long in the axial direction in consideration of the amount of elevation of the rotary head 80.
  • the continuous rotary drive cam 40 and the swing rotary drive cam 42 are driven to rotate.
  • the rotary table 12 is continuously rotated by the continuous rotary drive force 40 via the evening let 48 and the continuous rotary output shaft 44, and via the evening rotary 52 and the swing rotary output shaft 46.
  • the inspection equipment mounting table 14 is reciprocated and oscillated in the same and opposite directions as the rotation of the rotary table 12 by the oscillating rotary drive cam 42. So Then, the test objects 18 are sequentially taken one by one from the supply line 16 onto the rotary seats 64 of the rotary table 12, and the test objects 18 are continuously rotated by the rotary table 12. Are conveyed continuously. At this time, the upper part of the test object 18 on the rotary table 12 is held by the cap 82 of the blade head 80, and the test object 18 is stably conveyed.
  • the inspection equipment mounting table 14 that swings and rotates is rotated in synchronization with the rotation table 12 on the outward path that rotates in the same direction as the rotation table 12, the inspection equipment mounting table 14 attached to the inspection equipment mounting table 14 is rotated.
  • 1 light 30, transmission type detector 31, CCD force camera 32, and second light 33 move in unison with object to be inspected 18 conveyed by turntable 12 Will be.
  • the object 18 is inspected by the non-contact type inspection apparatus such as the CCD camera 32 described above. This makes it possible to create a state in which the inspected object 18 is inspected, and to carry out the inspection with high inspection accuracy.
  • the object 18 can be transported without interruption by the rotating table 12 that is continuously rotating, thereby ensuring high productivity. can do.
  • the inspection device mounting table 14 is quickly driven to rotate in the opposite direction to the turntable 12 to return to the original position, and the next time They are now working on inspections.
  • the inspected object 18, which has been inspected on the turntable 12 is sent out from the discharge line 20, and the non-defective product passes through the screw 68 a of the sorting device 68, and then passes through the pendulum 70 f shown in the figure. It is stored in the first sorting storage section 72 via the passage 70c and the first sorting passage 70a.
  • the defective product is stored in the second sorting storage portion 72 a through the passage 70 d and the second sorting passage 70 b by swinging the pendulum 70 f.
  • the object 18 is inspected using the light beams emitted from the first and second lights 30 and 33 is disclosed, but the invention is not limited to this. , it may be configured to include an inspection device using X-rays or electromagnetic waves is c here of course, in the present embodiment, the cap 82 which holds the upper portion of the inspection object 1 8 Since the mouth head 80 provided is suspended from the top of the frame 84 via the holding frame 88 and the elevating frame 86 in a suspended state above the rotating table 12. There is no obstruction above the rotary table 12 and below the roof head 80 around the entire circumference of the rotary table 12 and the mouth head 80 in the circumferential direction. An open space can be formed.
  • the mouth head 80 is attached to a holding frame 88 fixed to the frame 84 so as to be rotatable via a bolt 90, 90... It can be moved up and down freely by operating the handle 90a.
  • a holding frame 88 fixed to the frame 84 so as to be rotatable via a bolt 90, 90... It can be moved up and down freely by operating the handle 90a.
  • the mouth head 80 supported in a suspended state at the top of the frame 84 is interlocked with the rotary table 12 by an interlocking mechanism 92.
  • the first and second planetary gears 98, 100 are respectively combined and connected to each other, and the first and second planetary gears 98, 100 are connected to the inspection equipment mounting table.
  • the first and second planetary gears 98, 100 are supported on the inspection equipment mounting table 14 via the bearing body 104, so that the inspection equipment mounting table 14 is
  • the first internal gear 94 and the second internal gear 96 can be rotated at a constant speed even when the rotary table 12 is rotated relative to the rotary table 12, so that the rotary table 12 and the mouth head 80 can be rotated. Can always be rotated synchronously.
  • the rotation of the rotary input shaft 38 is performed by using the continuous rotary drive cam 40 and the swing rotary drive cam 42 to drive the rotary table 12 and the inspection equipment mounting table 14. Is converted into the continuous rotation of the rotary table 12 and the oscillating rotation of the inspection equipment mounting table 14, so that accurate motion can always be reproduced without any backlash in motion transmission.
  • the positioning accuracy of the DUT 18 is improved, and image blurring and focusing are prevented. The gap can be eliminated.
  • the CCD camera 32 and the transmission type detector 31 can be freely mounted on the inspection equipment mounting table 14 in the direction in which the inspection is desired, inspection of many items can be performed at one time.
  • the row head holding the upper part of the object to be inspected is supported above the rotary table.
  • an open space without any obstruction can be formed around the entire circumference of the rotary table and the mouth head.
  • the rotary head is supported above the rotary table, which is above the transport path of the test object and does not interfere with the equipment structure, and serves as a dead space. It is not necessary to secure a special installation space for installing the head, and the head space can be effectively used to lay out the mouthpiece appropriately.
  • the holding position of the object to be inspected by the low-end head can be raised and lowered. It is possible to inspect a plurality of different types of test objects having different heights with the same device.
  • the interlocking mechanism includes first and second internal gears provided on a rotary table and a mouthpiece, respectively, and the first and second internal gears. It is composed of a pair of first and second planetary gears that are respectively coupled to the two-in-one primary gear and are connected to each other, and these first and second planetary gears are supported by the inspection equipment mounting table. Therefore, when the first internal gear is rotated together with the rotary table, the first planetary gear associated therewith and the second planetary gear connected thereto rotate, and the second planetary gear coupled to the second planetary gear further rotates. The internal gear also rotates, whereby the mouthpiece can be rotated in synchronization with the rotary table.
  • first and second planetary gears are supported by an inspection equipment mounting table, even if the inspection equipment mounting table is of a fixed type, The first internal gear and the second internal gear can be rotated at the same speed, even if the rotary type is rotated relative to the rotary table as needed.
  • the head can always be rotated synchronously.
  • the rotary input shaft is driven to rotate to drive the continuous rotary drive cam and the swing rotary drive cam to rotate, and the rotary table is continuously rotated via the turret and the continuous rotary output shaft.
  • the inspection equipment mounting table is reciprocated and rotated through the evening lett and the oscillating rotary output shaft, thereby continuously transporting the object to be inspected by the continuously rotating rotary table. Since the mounting table can be rotated synchronously with the rotary table when it is driven to rotate in the same direction as the rotary table, the non-contact type inspection equipment mounted on the inspection equipment mounting table is transported by the rotary table. It can be moved integrally with the object to be inspected in synchronism with the object to be inspected.
  • the continuous rotation drive cam and the swing rotation drive cam are used to achieve continuous rotation of the rotary table and swing rotation of the inspection equipment mounting table. Accurate movement can be reproduced, and the rotational movement of both tables can be made high-precision, thereby significantly improving the inspection accuracy of inspection work that is affected by the accuracy of the rotational movement of both tables. Various excellent effects can be achieved.

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Description

明 細 書 非接触式検査装置 ^ ^
本発明は、 搬送される被検査体を非接触式検査機器にて検査して、 自動的に被 検査体の良否を判定するようにした非接触式検査装置に関する。 背 累 技 術
従来この種の検査装置は、 例えば薬品とか電子部品等の各種製品を被検査体と し、 光の透過性とか反射性等を利用するなどの様々な非接触式検査機器を用いて これら被検査体の検査を高精度で行い、 粗悪品が商品流通経路に流通してしまう ことを防止するようにしている （特公昭 47 - 1 0466号公報、 特開昭 50— 1 1 094号公報、 特公昭 57— 1 14 16号公報、 特開昭 57— 142252 号公報、 特公昭 60— 20695号公報、 特開昭 60— 9834 1号公報、 特開 昭 6 1— 2822 1 9号公報、 特公昭 62— 1582 1号公報、 特開昭 64— 3 1 040号公報、 特開平 3— 96841号公報参照） 。
ところで、 従来の非接触式検査装置では検査機器として例えば CCDカメラを 用い、 この CCDカメラの撮影範囲を通過するように被検査体を搬送するように していて、 この C CDカメラで被検査体を撮影し、 その画像を画像処理装置によ つて処理することで被検査体の良否をチヱヅクしていた。
そして特に、 かかる非接触式検査装置では、 被検査体が医薬品や飲料品等の液 体を封入したアンプル， バイアルやガラス製， プラスチヅク製等の容器である場 合に、 非接触式検査機器、 殊に光学的な検査機器を用いてこれら容器に光を透過 させてこれを CCDカメラで撮影することにより、 容器内部の液体に異物が混入 しているかどうかさえも的確に判定することができる。
図 10, 図 1 1は被検査体がアンプル 1である場合の従来の非接触式検査装置 2の要部を示し、 アンプル 1， 1…は回転テーブル 3の座 3 a， 3 a…に載せら れて搬送され、 検査作業では、 アンプル 1， 1…を搬送する回転テーブル 3を挟 んで、 その内側のテーブル 8に配置したライ ト 4の光をアンプル 1 , 1…の f 面 から透過させて回転テーブル 3外側のテーブル 8 aに配置した C C Dカメラ 5で 撮影するようになっている。
当該検査装置 2には、 回転テーブル 3の回転によって搬送されるアンブル 1， 1…を安定に保持するためにこれらを上方から押さえるキヤップ 6， 6…が備え られていて、 これらキャップ 6， 6 ···は、 前記回転テーブル 3上に搭載される円 筒体状のドラム 7の上部にその周方向に沿って多数取付けられている。 そしてド ラム 7は、 回転搬送されるアンプル 1， 1…とともにキャップ 6， 6…が回転移 動できるように、 回転テーブル 3とともに回転されるようになっている。 尚、 前 記キャップ 6， 6…はアンプル 1， 1…を受け入れその後保持するためにスライ ドロッ ド 6 a， 6 a…を介して昇降可能となっている。
ところで、 かかる従来の非接触式検査装置 2にあっては、 回転テーブル 3とと もに回転させるベく回転テーブル 3上に搭載したドラム 7の筒状壁部 7 aがアン プル 1， 1…の背面にあってライ ト 4に対してアンプル 1 , 1…を遮ることとな つていたため、 検査作業のためのライ ト 4からの光をアンプル 1， 1…に照射し て透過させるために、 この筒状壁部 7 aに各キャップ 6， 6…位置に対応させて それぞれスリッ ト 9， 9…を形成し、 このスリッ ト 9， 9…を通してライ 卜 4の 光をアンプル 1 , 1…の背面に照射するようにしていた。
しかしながら、 筒状壁部 7 aにスリッ ト 9 , 9…を形成したとはいえ、 この筒 状壁部 7 aのスリッ ト 9， 9…を介しての光の照射では、 光量が制限されるとと もに、 スリッ ト 9， 9…に遮られて照射角度も制限され、 またこのためにライ ト 4と対応させて配置すべき C C Dカメラ 5の配置レイァゥトも制限を受けること となって、 高い精度でかつ広範に検査を行うことはできないという課題があった。 発 明 の 開 示
そこで、 本発明はかかる従来の課題に鑑みて、 非接触式検査機器の検査能力を 十分に発揮させることができるとともに、 これら検査機器の配置レイァゥトもよ り自由に設定することができて、 当該検査機器による被検査体の検査を高精度に かつ広範に実施することができる非接触式検査装置を提供することを目的とする。 本発明の非接触式検査装置は、 回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転 テーブルと、 該回転テーブルを挾んでその内側と外側とに配置され、 上記被検査 体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、 上記回転テーブル上方に、 該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、 該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロー夕リーへッ ドと、 該ロ一夕リーへッ ドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構と、 を 備えたことを特徴とする。
前記口一夕リーへッ ドは昇降自在に支持される。
前記連動機構は、 前記回転テーブルおよび前記ロー夕リーへッドにそれぞれ設 けられた一対の第 1， 第 2イン夕一ナルギアと、 これら第 1， 第 2イン夕一ナル ギアにそれぞれ嚙合される一対の第 1 , 第 2遊星ギアと、 前記検査機器取付テー ブルに回転自在に支持され上記第 1 , 第 2遊星ギアを互いに一体的に連結する連 結軸と、 からなる遊星歯車装置を備える。
前記第 1 , 第 2イン夕一ナルギアは同一モジュールのギアで、 それぞれ前記回 転テーブルの内周および前記ロー夕リーへッ ドの内周に一体的に形成されるとと もに、 前記第 1 , 第 2遊星ギアも同一モジュールのギアであり、 これらを連結す る前記連結軸は前記検査機器取付テーブルに設けた軸受体に回転自在に支持され る。
前記ロー夕リーへッ ドが昇降自在に支持されるとともに、 該ロ一夕リーへッ ド の前記第 2イン夕一ナルギアに啮合される前記第 2遊星ギアは該ロー夕リーへヅ ドの昇降量に対応させて軸方向に長く形成される。
前記回転テーブル上方に配置され、 上下方向に沿うスライ ド溝が形成された保 持フレームと、 該保持フレームに上記スライ ド溝を介して昇降可能に設けられた 環状の昇降枠と、 該昇降枠の内周部に設けられ前記口一夕リーへッ ドの外周部を 回転自在に支持するべァリングとを備え、 前記口一夕リーへッ ドは上記保持フレ —ムに対し該昇降枠を介して昇降可能かつ回転可能に吊り下げ支持される。
前記保持フレームに前記スライ ド溝を介して回転不能かつ昇降可能に設けられ た前記昇降梓と、 上記保持フレームに回転可能に支持され上記昇降枠に螺合され たボルトと、 該ボルトに設けられたスプロケッ トおよび該スブロケッ 卜に掛け回 されて駆動力を伝達するチヱーンとからなる動力伝達機構とを備える。
前記検査機器取付テーブルが前記回転テ一ブルの回転中心周りに回転可能に設 けられるとともに、 連続 [!11転駆動カムと揺動回転駆動カムとがその軸方向に併設 され、 回転駆動される回転入力軸と、 上記連続回転駆動カムに摺接する夕一レツ トを介して連続回転される連続回転出力軸と、 上記揺動回転駆動カムに摺接する 夕一レツ トを介して揺動回転される揺動回転出力軸とを備え、 上記連続回転出力 軸で上記回転テーブルを連続回転駆動するとともに、 J:記揺動回転出力軸で上記 検査機器取付テーブルを揺動回転駆動し、 かつ該検査機器取付テーブルが該回転 テーブルと同方向に回転駆動されるときに、 該検査機器取付テーブルを、 該回転 テーブルと同期回転させる。
前記回転テーブルには入力ギアが設けられ、 該入力ギアには前 §ΰ連続回転出力 軸に設けられた出力ギアが啮合され、 該連続回転出力軸には円形の前記夕一レツ 卜が設けられ、 該夕一レツ トの外周には前記連続回転駆動カムに摺接するカムフ ォロワが回転自在に設けられる。
前記検査機器取付テーブルにはその回転中心位置に支持軸が設けられ、 該支持 軸には前記揺動回転出力軸が連結され、 該揺動回転出力軸には扇形の前記ターレ ッ 卜が設けられ、 該夕ーレツ 卜の外周には前記揺動回転駆動カムに摺接するカム フォロワが回転自在に設けられる。
前記回転テーブルおよび前記検査機器取付テーブルの回転運動速度を決定する 前記連続回転駆動カムおよび前記揺動回転駆動カムの各カム曲線は、 該検杳機器 取付テーブルが該回転テ一ブルの问転方向と同方向に運動するタイミングでは該 検査機器取付テーブルと該回転テーブルの運動速度が等しくなるように設定され、 該検査機器取付テ一ブルが該回転テーブルの回転方向と反対方向に運動するタイ ミングでは該検査機器取付テーブルの運動速度が該回転テーブルの運動速度より も速くなるように設定される。
前記回転テーブルは環状に形成されるとともに、 前記検査機器取付テーブルは 該回転テーブルを挟んで、 その内側空間に配置される内側テーブルと、 該内側テ 一ブルと相対向させて該回転テーブルの外側空間に配置される外側テーブルとか らなり、 上記内側テーブルにはその回転中心位歡に支持軸が一体的に設けられ、 該支持軸には上記回転テーブルの外側へ延長されたアームが一体的に設けられる とともに、 該アームには上記外側テーブルが一体的に取り付けられる。
前記非接触式検査機器は、 前記回転テーブルを挟んで相対向して配置された前 記内側テーブルおよび前記外側テーブルに、 当該回転テーブルによって搬送され る前記被検杏体を挟んで配置される。
前記非接触式検査機器は、 前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞ れ配設される、 前記被検査体で反射される光線を照射する投光器および映像を撮 影するための C C Dカメラからなり、 上記投光器から照射され上記被検査体で反 射された反射光の映像を上記 C C Dカメラで撮影することにより該被検査体の検 査を行う。
前記非接触式検査機器は、 前記内側テーブルおよび前記外側テーブルにそれぞ れ配設される、 前記被検査体を透過する光線を照射するバックライ トおよび透過 光を検知するための透過型検知器からなり、 上記バックライ トから照射され上記 被検査体を透過した透過光を上記透過型検知器で検知することにより該被検査体 の検査を行う。
前記非接触式検査機器は X線や電磁波を用いた検査機器であってもよい。 前記口一夕リーへヅ ドは、 これに上下スライ ド可能に挿通されたステムと、 該 ステムを下方に付勢するスプリングとを備え、 該ステムの下端部には前記被検査 体の上部を保持するためのキヤップが設けられる。
前記回転テーブルの周りには、 その周方向に沿って互いに間隔を隔てて、 該回 転テーブルへ前記被検査体を搬入するための供給ラインと、 該回転テーブルから 上記被検査体を排出するための排出ラインとが配置される。
以上の構成により本発明の非接触式検査装置にあっては、 回転テーブルの上方 に、 当該回転テーブルの回転中心周りに回転自在に支持させて口一夕リーへッ ド が配置されていて、 このロー夕リーへヅ ドは連動機構によって回転テーブルと同 期回転されるようになっている。 これにより被検査体は、 回転テーブルによって 搬送される際に、 その上部が回転テーブルと同期して回転する口一夕リーへヅ ド に保持されて移動されることになる。 そしてこれら回転テ一ブルとロー夕リーへ ッ ドとによって搬送される被検査体は、 搬送途中において、 環状の回転テーブル を挾んでその内側と外側とに配置された検査機器取付テーブルの間を通過する際 に、 当該検査機器取付テ一ブルに取り付けられた非接触式検査機器によって検査 されるようになっている。
そして特に、 被検査体の上部を保持する口一夕リーへッ ドが回転テーブルの上 方に支持されることから、 回転テ一ブルの上であってかつ口一夕リーへッ ドの下 にはこれら回転テーブルおよび口一夕リ一へッ ドの周方向全周に亘つて何ら遮る もののない開放された空間が形成されることとなる。 したがって、 ロー夕リーへ ッ ドでその上部が保持されつつ回転テーブルに載せられて搬送される被検査体に 対して非接触式検査機器で検査を行う際、 この検査機器と被検査体との間にはこ れら間を遮るものがまったくないので、 検査機器の検査能力を被検査体に対し何 らの喪失なく十分に発揮させることが可能であるとともに、 被検査体に対して検 査機器を自由にレイァゥ卜することが可能となり、 当該検査機器による被検査体 の検査を高精度にかつ広範に実施することが可能となる。
また、 回転テーブルの上方は被検査体の搬送経路の上方でもあって、 装置構造 上支障となるものがないデッ ドスペースとなっており、 このデッドスペースに口 一夕リーへッ ドを支持させることで装置が構成されるようになっている。
また、 前記口一夕リーヘッ ドを昇降自在に支持するようにすると、 この口一夕 リーへッ ドによる被検査体の保持位置が上下に変化して、 高さの異なる複数異種 の被検査体を同一の装置で検査することが可能となる。
さらに、 前記連動機構を、 回転テーブルおよびロータリ一ヘッドにそれぞれ設 けた第 1 , 第 2イン夕一ナルギアと、 これら第 1， 第 2イン夕一ナルギアにそれ ぞれ嚙合され、 かつ互いに連結された一対の第 1， 第 2遊星ギアとで構成し、 こ れら第 1 , 第 2遊星ギアを前記検査機器取付テーブルに支持させるようにしてい て、 回転テーブルとともに第 1インターナルギアが回転されると、 これに喃合す る第 1遊星ギアおよびこれに連結した第 2遊星ギアが回転され、 さらにこの第 2 遊星ギアに嚙合する第 2ィン夕一ナルギアも回転されて、 これによつて口一夕リ 一へッ ドが回転テーブルと同期して回転されるようになっている。
特に、 前記第 1 , 第 2遊星ギアを検査機器取付テ一ブルで支持させているので、 この検査機器取付テーブルが固定式であっても、 また前記回転テーブルに対して 必要に応じて相対回転される回転式の場合であっても、 第 1ィン夕一ナルギアと 第 2イン夕一ナルギアとを等速回転させることが可能であり、 回転テーブルと口 —夕リーへッ ドとは常に同期して回転されることになる。
また、 本発明の非接触式検査装置にあっては、 回転入力軸を回転駆動して連続 回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを回転駆動させると、 夕一レツ トおよび連 続回転出力軸を介して前者の連続回転駆動カムにより回転テーブルが連続回転す ると共に、 夕一レツ トおよび揺動回転出力軸を介して後者の揺動回転駆動カムに より検査機器取付テーブルが、 回転テーブルの回転と同方向および反対方向に往 復揺動回転する。 連続回転する回転テーブルは、 被検査体を連続的に搬送する。 一方、 揺動回転する検査機器取付テーブルは、 回転テ一ブルと同方向に回転する とき、 この回転テ一ブルと同期して回転駆動される。 これによつて、 検査機器取 付テーブルに取付けた非接触式検査機器は、 回転テーブルで搬送される被検査体 と同期して一体に移動されることになる。 この両テーブルの同期回転は、 このと きに非接触式検査機器で被検査体を検査することで、 あたかも静止している検査 機器によって静止している被検査体を検査している状態を創出する。
また上記したように、 非接触式検査機器で被検査体に対する検査を実施してい る間も、 連続回転する回転テーブルは被検査体を間断なく搬送することになる。 揺動回転駆動される検査機器取付テーブルは、 回転テーブルと同方向に回転駆 動され非接触式検査機器を被検査体と一体に移動させて検査を実施した後には、 回転テーブルと反対方向に回転駆動されて元の位置に復帰され、 次回の検査作業 に臨むようになつている。
殊に、 連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを採用して回転テーブルの連 続回転および検査機器取付テーブルの揺動回転を得るようにしている。 このよう なカム構成は、 一連の運動伝達におけるバックラッシュがないので常に正確な動 作を再現する機能を有していて、 両テ一ブルの回転運動の精度が向上する。
HISの な説, ffl
第 1図は、 本発明の一実施形態を示す装置全体の断面正面図である。
第 2図は、 本発明の一実施形態の被検査体の流れを説明する平面図である。 第 3図は、 本発明の--実施形態の要部を示す断面平面図である。
第 4図は、 本発明の 実施形態に用いられるカム機構を示す平面図である。 第 5 1 ^は、 本発明の一実施形態の回転テーブルと検杳機器取付テーブルの運動 関係を示すタイムチャートである。
第 6図は、 本発明の一実施形態の要部拡大断面図である。
第 7図は、 非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の一例を示す要部斜 視図である。
第 8図は、 非接触式検査機器を用いた被検査体の検査態様の他の例を示す要部 斜視図である。
第 9図は、 被検査体を自転させる機構の概略を示す平面図である。
第 1 0図は、 従来の検査装置を示す要部斜視図である。
第 1 1図は、 従来の検査装置を示す要部断面図である。 発明を実施するための最良の形熊
以下、 本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。 図 1から図 9 は本発明の非接触式検査装置の一実施形態を示している。
本実施形態の非接触式検査装置 1 0は、 内側に円形の開口部が形成されて、 回 転駆動される環状の回転テーブル 1 2と、 この回転テーブル 1 2を挟むように隣 接させてその内側に、 当該回転テーブル 1 2の回転中心周りに回転可能に配置さ れる内側テーブル 1 4 a、 および外側にこれも回転テーブル 1 2の回転中心周り に回転可能に配置される外側テーブル 1 4 bとを備える。 そしてこれら内側テ一 ブル 1 4 aと外側テーブル 1 4 bとによって検査機器取付テーブル 1 4が構成さ れる。
前記回転テーブル 1 2は図 2に示すようにその上面に被検査体 1 8が載置され てこれを搬送するようになっており、 この回転テーブル 1 2には供給ライン 1 6 から被検査体 1 8が取込まれ、 この被検査体 1 8を載置した状態で回転テーブル 1 2が回転し、 検査が終了した被検査体 1 8は排出ライン 2 0から排出されるよ うになつている。
前記内側テーブル 1 4 aは円盤状を成しており、 図 1および図 2に示したよう にその中心部下側に支軸 2 2がー体に垂設されている。 一方、 前記外側テーブル 1 4 bは図 2および図 3に示すように回転テーブル 1 2のほぼ 1 / 6周を超える 円弧状の帯体に形成され、 その下側から一体に突設された扇状のアーム 2 4の要 部分が前記内側テーブル 1 4 aの支軸 2 2下部に一体に嵌着されることにより、 内側テーブル 1 4 aと外側テーブル 1 4 bとが一体化される。 また、 前記回転テ —ブル 1 2は下面からボス部 2 6がー体に形成され、 このボス部 2 6は前記支軸 2 2の上部にベアリング 2 8を介して回転自在に嵌合される。
前記内側テーブル 1 4 aには図 2に示したように投光器 3 0および透過型検知 器 3 1が取付けられると共に、 前記外側テーブル 1 4 bには C C Dカメラ 3 2お よびバックライ ト 3 3が取付けられ、 被検査体 1 8を検査するためのこれら非接 触式検査機器としての前記投光器 3 0と前記 C C Dカメラ 3 2および前記透過型 検知器 3 1と前記バックライ ト 3 3はそれぞれ、 回転テーブル 1 2によって搬送 される被検査体 1 8を挟んで相対向させて配置される。
前記回転テーブル 1 2および前記検査機器取付テーブル 1 4の下側には、 これ ら両テ一ブル 1 2， 1 4を駆動するためのカム機構 3 6が配置される。 前記カム 機構 3 6は、 図外の回転駆動源からの回転力が入力される回転入力軸 3 8を備え、 この回転入力軸 3 8には軸方向に離隔して連続回転駆動カム 4 0と揺動回転駆動 カム 4 2とが併設される。
一方、 前記連続回転駆動カム 4 0および前記摇動回転駆動カム 4 2のそれぞれ の側方には、 図 4に示すように連続回転出力軸 4 4および揺動回転出力軸 4 6が 回転入力軸 3 8と直交させて配置される。 連続回転出力軸 4 4には円形の夕一レ ット 4 8が嵌着され、 この夕一レツ ト 4 8の外周に回転自在に設けたカムフォロ ァ 5 0が前記連続回転駆動カム 4 0に摺接される。 また、 前記揺動回転出力軸 4 6には扇形の夕一レツト 5 2が嵌着され、 この夕一レツ 卜 5 2の外周に回転自在 に設けたカムフォロア 5 4が前記揺動回転駆動カム 4 2に摺接される。 従って、 前記回転入力軸 3 8の回転により前記連続回転出力軸 4 4は連続回転駆動力ム 4 0および夕一レツト 4 8を介して連続回転駆動されると共に、 前記揺動回転出力 軸 4 6は揺動回転駆動カム 4 2および夕一レット 5 2を介して揺動回転駆動され る o 前記連続回転出力軸 4 4の上端には出力ギア 5 6が固設される一方、 前記回転 テーブル 1 2のボス部 2 6下端に入力ギア 5 8が固設され、 これら出力ギア 5 6 と入力ギア 5 8とが嚙合されることにより、 連続回転出力軸 4 4の回転が回転テ 一ブル 1 2に伝達されて、 この回転テーブル 1 2が速続回転される。 一方、 前記 揺動回転出力軸 4 6の上端は前記内側テーブル 1 4 aの支軸 2 2の下端に一体的 に連結され、 この揺動回転出力軸 4 6の揺動回転が支軸 2 2に伝達されて、 内側 テーブル 1 4 aおよび外側テ一ブル 1 4 bからなる検査機器取付テーブル 1 4が 揺動回転される。
ここで、 前記検査機器取付テーブル 1 4は、 その往路で前記回転テーブル 1 2 と同方向に回転され、 その後の復路で回転テーブル 1 2の回転方向とは反対方向 に回転されるようになっている。 そしてこのように検査機器取付テーブル 1 4を 往復揺動回転させる摇動回転駆動カム 4 2のカム面は次のように設定されている。 すなわち、 回転テーブル 1 2と同方向に回転する検杏機器取付テーブル 1 4の往 路の揺動回転を、 回転テーブル 1 2と同期するように回転テーブル 1 2の回転速 度と等速に設定し、 かつ、 復路の揺動回転では迅速に元の位置に復帰するように 設定してある。 この設定に従う前記回転テーブル 1 2と前記検査機器取付テープ ル 1 4の運動関係は図 5のタイムチャートで示されていて、 同図中斜線で示した 領域で両者の回転角度の傾斜 （回転速度） を同一として、 回転テーブル 1 2と前 記検査機器取付テーブル 1 4とが同方向に等速で同期回転されるようになってい る。
そして、 前記検査機器取付テーブル 1 4に取付けた C C Dカメラ 3 2で被検査 体 1 8の映像を撮影するには、 例えば図 7に示すように C C Dカメラ 3 2と投光 器 3 0とを組みにして、 投光器 3 0から照射した光線を被検査体 1 8で反射させ、 この反射光を C C Dカメラ 3 2で撮影するようにする。 また、 前記被検査体 1 8 がアンプルとかバイャル等のように液体を収納した透明容器である場合などには、 図 8に示すように透過型検知器 3 1とバックライ 卜 3 3とを組みにし、 ノ、"ックラ イ ト 3 3から照射した光線を被検査体 1 8に透過させるようにし、 この透過光を 透過型検知器 3 1で検知するようにする。 そして、 C C Dカメラ 3 2で撮影した 画像を画像処理装置に送って、 また透過型検知器 3 1で検知した信号を処理装置 に送って処理することで、 被検査体 1 8の外観の良否や内容物に混入した異物を 検出して当該被検査体 1 8の良否を判定するようになっている。
他方、 前記回転テーブル 1 2に被検査体 1 8を供給する供給ライン 1 6は、 図 2に示したように被検査体 1 8を一列に並べて整然と移動させるガイ ド 6 0と、 このガイ ド 6 0の出口部分に配置される第 1ス夕一ホイル 6 2とを備えて構成さ れる。 そして、 ガイ ド 6 0から順次押出される被検査体 1 8は、 第 1ス夕一ホイ ル 6 2の外周に等間隔で形成された凹部 6 2 aに 1つづつ取り込まれ、 この状態 で第 1スターホイル 6 2が回転して被検査体 1 8を回転テーブル 1 2の所定位置、 つまり、 この回転テーブル 1 2には被検査体 1 8を自転させるための回転座 6 4 を設けてあり、 これら回転座 6 4に被検査体 1 8を順次 1つづつ載置するように なっている。
一方、 検査を終了した被検査体 1 8を前記回転テーブル 1 2から排出する前記 排出ライン 2 0は、 第 2スターホイル 6 6と、 この第 2ス夕一ホイル 6 6に連な る選別装置 6 8とで構成される。 そして、 回転テーブル 1 2から順次送り出され る被検査体 1 8は、 第 2ス夕一ホイル 6 6の外周に等間隔で形成された凹部 6 6 aに 1つづつ取り込まれ、 この状態で第 2スターホイル 6 6が回転することによ り前記選別装置 6 8に被検査体 1 8を 1つづつ渡すようになつている。
前記選別装置 6 8は、 前記第 2スターホイル 6 6から受け渡される被検査体 1 8を搬送するためのスクリュー 6 8 aと、 このスクリユー 6 8 aから 1つづつ送 り出される被検査体 1 8を第 1選別通路 7 0 a若しくは第 2選別通路 7 0 bへと 振り分ける振り子式選別機構 7 0とを備える。 振り子式選別機構 7 0は振り子 7 0 f を備えていて、 この振り子 7 0 f はその回動中心 0周りに往復回動可能に設 けられるとともに、 この回動中心 0を挟んで二股状に一対の通路 7 0 c， 7 0 d を有している。 そして、 前記振り子 7 0 f の回動中心 0を中心とした回動により、 入口 7 0 eを択一的に、 通路 7 0 cを介して第 1選別通路 7 0 aに連通させるか、 あるいは通路 7 0 dを介して第 2選別通路 7 O bに連通させるようになつている。 第 1選別通路 7 0 aに案内された被検査体 1 8は第 1選別収納部 7 2に収容され ると共に、 第 2選別通路 7 O bに案内された被検査体 1 8は第 2選別収納部 7 2 aに収容されるようになっている。 このとき、 例えば第 1選別収納部 7 2は良品 の収納部とされ、 また第 2選別収納部 7 2 aは不良品の収納部とされる。
方、 図 2、 図 6および図 9に示すように、 前記回転テーブル 1 2に回転自在 に設けられ被検査体 1 8を自転可能に載置する回転座 6 4から垂設したスピン軸 6 4 aは、 この回転テーブル 1 2の下面から突設され、 被検査体 1 8が検査機器 取付テーブル 1 4位置に到達したときに、 モー夕 7 4とプーリ 7 6との間に周回 されて循環駆動されるベルト 7 8に摺接されるようになつている。 そして、 スビ ン軸 6 4 aがベルト 7 8に摺接されることにより、 このスピン軸 6 4 aが回転し て回転座 6 4を回転させ、 これにより被検査体 1 8を自転させる。 このように被 検査体 1 8を回転テーブル 1 2上で自転させることにより、 被検査体 1 8の外周 全体を一台の C C Dカメラ 3 2で撮影したり、 透過型検知器 3 1による検知作業 を行うことができる。 また、 前記被検査体 1 8がアンプルやバイャル等であって 内容物を透過光により検査する場合、 自転させた被検査体 1 8を瞬時に制止させ ると、 被検査体 1 8内で内容物のみが旋回し続けて異物の混入をより正確に検査 することができる。
ところで、 前記回転テーブル 1 2の回転に伴って移動する被検査体 1 8は、 口 —夕リーへッ ド 8 0に設けられたキヤップ 8 2によってそれぞれの上部が押さえ られて保持されるようになっている。 一方、 前記非接触式検査装置 1 0は全体を 取り囲むフレーム 8 4に組付けられるようになつており、 この装置 1 0の運用上 何ら支障のないデッ ドスペースとなっているフレーム 8 4の頂部に、 前記口一夕 リーへッ ド 8 0が吊下げ状態で支持されるようになっている。
前記ロー夕リーへッ ド 8 0は、 回転テーブル 1 2の上方に当該回転テーブル 1 2の回転中心周りに回転可能に支持され、 その周縁部には回転テーブル 1 2に設 けた回転座 6 4にそれぞれ対応させて前記キヤップ 8 2が設けられている。 キヤ ッブ 8 2は図 6に示すように、 口一タリ一ヘッ ド 8 0に上下スライ ド自在に揷通 されたステム 8 2 aの下端部に形成され、 それぞれのステム 8 2 aはスプリング 8 2 bを介して下方に押圧されている。
前記ロータリーへッ ド 8 0は、 その外周部が環状の昇降枠 8 6の内周にベアリ ング 8 6 aを介して回転自在に取付けられ、 かつ、 この昇降枠 8 6は保持フレ一 ム 8 8を介して前記フレーム 8 4の頂部下側に取付けられる。 前記昇降枠 8 6は 保持フレーム 8 8のスライ ド溝 8 8 aに上下スライ ド可能に嵌合されると共に、 保持フレーム 8 8に回転自在に取付けた複数本のボル卜 9 0が螺入されている。 これらボルト 9 0のうちの 1本には、 フレーム 8 4上方へ突出させたその上端部 にハンドル 9 0 aが設けられ、 かつ、 これらのボル卜 9 0問にはスプロケッ ト 9 1 aおよびチェーン 9 1 bでなる伝動機構 9 1が設けられて、 全ポルト 9 0が連 動されるようになっている。 従って、 前記ハンドル 9 0 aを回転することにより、 前記昇降枠 8 6が口一夕リーへッ ド 8 0と共に昇降するようになっている。
さらに、 前記回転テーブル 1 2と前記口一夕リ一へッ ド 8 0との間には連動機 構 9 2が設けられ、 この連動機構 9 2は口一夕リーへヅ ド 8 0を回転テーブル 1 2と同期させて回転させるようになつている。 連動機構 9 2は、 回転テーブル 1 2および口一夕リ一へッド 8 0にそれそれ設けた第 1 , 第 2ィンターナルギア 9 4 , 9 6を、 これらにそれぞれ喃合される第 1， 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0を介 して互いに連結することにより構成される。
前記第 1 , 第 2インターナルギア 9 4 , 9 6はそれぞれ同径に形成され、 第 1 イン夕一ナルギア 9 4は回転テーブル 1 2の内周に一体に形成されると共に、 第 2ィン夕一ナルギア 9 6は口一夕リーへヅ ド 8 0の内周に一体に形成される。 一 方、 前記第 1， 第 2遊星ギア 9 8 , 1 0 0も同径に形成され、 これら遊星ギア 9 8 , 1 0 0は図 3に示したように、 揺動回転駆動カム 4 2で揺動回転される外側 テーブル 1 4 bと干渉しないように、 その往復揺動範囲外方に配置される。 そし て、 これら第 1， 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0は連結軸 1 0 2を介して一体に結合 され、 この連結軸 1 0 2は内側テーブル 1 4 aに固定した軸受体 1 0 4に回転自 在に支持されるようになっている。 また、 前記第 2遊星ギア 1 0 0はロータリー ヘッ ド 8 0の昇降量を考慮して軸方向に長く形成されている。
以上の構成により本実施形態の非接触式検査装置 1 0にあっては、 回転入力軸 3 8を回転駆動して連続回転駆動カム 4 0および揺動回転駆動カム 4 2を回転駆 動させると、 夕一レツ ト 4 8および連続回転出力軸 4 4を介して連続回転駆動力 ム 4 0により回転テーブル 1 2が連続回転すると共に、 夕一レット 5 2および揺 動回転出力軸 4 6を介して揺動回転駆動カム 4 2により検査機器取付テーブル 1 4が、 回転テーブル 1 2の回転と同方向および反対方向に往復揺動回転する。 そ して、 供給ライン 1 6から回転テーブル 1 2の回転座 6 4上に被検査体 1 8が順 次 1つづつ取込まれ、 これら被検査体 1 8は連続回転する回転テーブル 1 2によ つて連続的に搬送される。 このとき、 回転テーブル 1 2上の被検査体 1 8の上部 はロー夕リーへヅ ド 8 0のキヤップ 8 2に保持され、 これら被検査体 1 8は安定 的に搬送される。
揺動回転する検査機器取付テーブル 1 4は、 回転テーブル 1 2と同方向に回転 する往路において、 回転テーブル 1 2と同期して回転されるため、 この検査機器 取付テーブル 1 4に取付けられた第 1ライ ト 3 0 , 透過型検知器 3 1， C C D力 メラ 3 2および第 2ライ ト 3 3は、 回転テーブル 1 2で搬送される被検査体 1 8 と同期して一体となって移動することになる。 そしてこの両テ一ブル 1 2， 1 4 の同期回転時に上記 C C Dカメラ 3 2等の非接触式検査機器で被検査体 1 8を検 査することで、 あたかも静止している検査機器によって静止している被検査体 1 8を検査している状態を創出することができて、 高い検査精度で検査を実施する ことができる。 また、 前記回転テーブル 1 2と前記検査機器取付テーブル 1 4と が同期して移動する区間では、 被検査体 1 8と C C Dカメラ 3 2および透過型検 知器 3 1との相対移動がないので、 この区間で連続的に撮影を行って多数の画像 を得たり、 多数の検知信号を得るなどすれば、 同一条件下での複数の画像ゃ検知 信号相互で比較対照を行うことができ、 この面からも高い検査精度を得ることが できる。 近年では医薬品や飲料品等の品質に関する基準の厳しさが増して来てい るが、 本実施形態の装置によりガラスのビンホールチヱックゃ微小なひび、 割れ 等を高精度で検杳することができる。 被検査体 1 8としては、 上記のものに限ら れず、 電子部品やその他様々な物品を対象とすることができることはもちろんで あ O 0
そしてまた、 被検査体 1 8に対する検査を実施している間も、 連続回転してい る回転テーブル 1 2によつて被検査体 1 8を間断なく搬送することができるため、 高い生産性を確保することができる。 そして、 前記被検査体 1 8の検査を終了し た後には、 前記検査機器取付テーブル 1 4は回転テーブル 1 2と反対方向に速や かに回転駆動されて元の位置に復帰され、 次回の検査作業に臨むようになつてい る。 そして、 回転テーブル 1 2上で検査が終了した被検査体 1 8は排出ライン 2 0 から送り出され、 良品は選別装置 6 8のスクリュー 6 8 aを通過した後、 図示す る振り子 7 0 fで通路 7 0 cおよび第 1選別通路 7 0 aを介して第 1選別収納部 7 2に格納される。 一方、 不良品は振り子 7 0 f が揺動されて通路 7 0 d , 第 2 選別通路 7 0 bを介して第 2選別収納部 7 2 aに格納されることになる。
尚、 本実施形態にあっては、 第 1， 第 2ライ ト 3 0， 3 3から照射される光線 を利用して被検査体 1 8を検査する場合を開示したが、 これに限ることなく、 X 線や電磁波等を利用した検査機器を備えて構成してもよいことはもちろんである c ここで、 本実施形態にあっては、 被検査体 1 8の上部を保持するキャップ 8 2 を備えた口一夕リ一ヘッ ド 8 0を、 フレーム 8 4の頂部から保持フレーム 8 8お よび昇降枠 8 6を介して吊下げ状態で冋転テーブル 1 2の上方に支持させるよう にしたので、 回転テーブル 1 2の上であってかつロー夕リーへッ ド 8 0の下には これら回転テーブル 1 2および口一夕リーへッ ド 8 0の周方向全周に Hつて何ら 遮るもののない開放された空間を形成することができる。 これにより、 被検査体 1 8に対して第 1ライ ト 3 0， 透過型検知器 3 1 ， C C Dカメラ 3 2および第 2 ライ 卜 3 3等で構成した非接触式検査機器で検査を行う際に、 回転テーブル 1 2 を挾むように配置されるこれら検査機器と、 冋転テーブル 1 2上の被検査体 1 8 との間にはこれら間を遮るものがまったくなく、 したがって検査機器の検査能力 を十分に発揮させることができるとともに、 被検査体 1 8に対する検査機器の配 置レイァゥトも自由に設定することができて、 当該検査機器による被検査体 1 8 の検査を高精度にかつ広範に実施することができる。
また、 前記口一夕リーヘッ ド 8 0は、 これを回転自在に保持する昇降枠 8 6が フレーム 8 4に固定された保持フレーム 8 8にボルト 9 0， 9 0…を介して昇降 可能に取付けられていて、 ハン ドル 9 0 aを操作することで昇降自在に昇降され るようになっている。 そしてこの口一夕リーへヅ ド 8 0を昇降させてその高さを 調整することにより、 高さの異なる複数異種の被検査体 1 8を同一の装置で検査 することができる。
さらに、 フレーム 8 4の頂部に吊下げ状態で支持した前記口一夕リーへッ ド 8 0は、 連動機構 9 2により回転テーブル 1 2と連動されるが、 この連動機構 9 2 を、 回転テーブル 1 2および口一夕リ一ヘッ ド 8 0にそれぞれ設けた第 1 , 第 2 インターナルギア 9 4， 9 6と、 これら第 1， 第 2イン夕一ナルギア 9 4， 9 6 にそれぞれ啮合され、 かつ互いに連結された 対の第 1 , 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0とで構成し、 これら第 1， 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0を検査機器取付テ一ブ ル 1 4に支持させるようにしたので、 回転テーブル 1 2と共に第 1ィン夕一ナル ギア 9 4が回転されると、 これに嚙合する第 1遊星ギア 9 8およびこれに連結軸 1 0 2を介して連結した第 2遊星ギア 1 0 0が回転し、 さらにこの第 2遊星ギア 1 0 0に喃合する第 2インターナルギア 9 6も回転して、 これによつて口一タリ 一へッ ド 8 0を回転テーブル 1 2と同期させて回転させることができる。
このとき、 前記第 1 , 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0を、 軸受体 1 0 4を介して検 査機器取付テーブル 1 4に支持させるようにしたので、 検査機器取付テーブル 1 4が前記回転テーブル 1 2に対して相対回転しても、 第 1ィンターナルギア 9 4 と第 2インターナルギア 9 6とを等速回転させることができて、 回転テーブル 1 2と口一夕リーへッ ド 8 0とを常に同期回転させることができる。 特に回転テ一 ブル 1 2と検査機器取付テーブル 1 4とが同期回転する検査機器による検査期間 中は、 これらテーブル 1 2 , 1 4間に相対回転がないので第 1 , 第 2遊星ギア 9 8， 1 0 0が回転することがなく、 連動機構 9 2を設備しているものの、 これに 起因する振動が発生しない、 無振動状態で検査を行うことができ、 きわめて高精 度の検査作業を保証することができる。
そしてまた、 本実施形態では回転テーブル 1 2および検査機器取付テーブル 1 4を駆動するに、 連続回転駆動カム 4 0および揺動回転駆動カム 4 2を用いるこ とによって、 回転入力軸 3 8の回転を回転テーブル 1 2の連続回転および検査機 器取付テーブル 1 4の揺動回転に変換するようにしたので、 運動伝達におけるバ ックラッシュがなく常に正確な動作を再現することができる。 また、 回転テープ ル 1 2のテーブル面に被検査体 1 8の位置決め溝や穴等を加工しておくことによ り、 被検査体 1 8の位置決め精度を高めて画像のブレとかピン卜のズレをなくす ことができる。 更に、 検査機器取付テーブル 1 4には C C Dカメラ 3 2や透過型 検知器 3 1を検査したい方向に自由に取付けることができるので、 一度に多項目 の検査を行うことができる。 以上説明したように本発明の非接触式検査装置にあっては、 被検査体の上部を 保持するロー夕リーへッ ドを回転テーブルの上方に支持させるようにしたので、 回転テ一ブルの上であってかつロータリーヘッ ドの下にはこれら回転テーブルお よび口一夕リーへッドの周方向全周に豆つて何ら遮るもののない開放された空間 を形成することができ、 被検査体に対して非接触式検査機器で検査を行う際に、 この検査機器と被検査体との間にはこれら問を遮るものがまったくなく、 したが つて検査機器の検査能力を十分に発揮させることができるとともに、 被検査体に 対する検査機器の配置レイァゥ トも自由に設定することができて、 当該検杳機器 による被検査体の検査を高精度にかつ広範に実施することができる。
また、 被検査体の搬送絰路の上方でもあって装置構造上支障となるものがなく デッ ドスペースとなっている回転テーブルの上方にロータリーへッ ドを支持させ るようにしたので、 ロー夕リーへッ ドを設備するために特別の設置スペースを確 保する必要なく、 このデッ ドスペースを有効利用して適切に口一タリ一へッ ドを レイアウトすることができる。
また、 本発明の非接触式検査装置にあっては、 前記口一タリ一ヘッ ドを昇降自 在に支持するようにしたので、 このロー夕リーへッ ドによる被検査体の保持位置 を上下に変化させることができ、 高さの異なる複数異種の被検査体を同一の装置 で検査することができる。
さらに、 本発明の非接触式検査装置にあっては、 前記連動機構を、 回転テープ ルおよび口一タリ一ヘッ ドにそれぞれ設けた第 1， 第 2インターナルギアと、 こ れら第 1 , 第 2イン夕一ナルギアにそれぞれ嚙合され、 かつ互いに連結された一 対の第 1， 第 2遊星ギアとで構成し、 これら第 1， 第 2遊星ギアを前記検査機器 取付テーブルに支持させるようにしたので、 回転テーブルとともに第 1ィン夕一 ナルギアが回転されると、 これに嚙合する第 1遊星ギアおよびこれに連結した第 2遊星ギアが回転し、 さらにこの第 2遊星ギアに嚙合する第 2イン夕一ナルギア も回転して、 これによつて口一タリ一へヅ ドを回転テーブルと同期させて回転さ せることができる。
特に、 前記第 1， 第 2遊星ギアを検査機器取付テーブルで支持させるようにし たので、 この検査機器取付テーブルが固定式であっても、 また前記回転テーブル に対して必要に応じて相対回転される回転式の場合であっても、 第 1インターナ ルギアと第 2イン夕一ナルギアとを等速回転させることができて、 回転テーブル と口一夕リーへッ ドとを常に同期回転させることができる。
また本発明にあっては、 回転入力軸を回転駆動して連続回転駆動カムおよび揺 動回転駆動カムを回転駆動させ、 ターレツ 卜および連続回転出力軸を介して回転 テーブルを連続回転させると共に、 同様に夕一レツ 卜および揺動回転出力軸を介 して検査機器取付テーブルを往復摇動回転させ、 これにより連続回転する回転テ —ブルによって被検査体を連続的に搬送させる一方で、 検査機器取付テーブルを、 これが回転テーブルと同方向に回転駆動されるときにこの回転テーブルと同期回 転させることができるので、 検査機器取付テ一ブルに取付けた非接触式検査機器 を、 回転テーブルで搬送される被検査体と同期させて一体に移動させることがで き、 この両テーブルの同期回転時に非接触式検査機器で被検査体を検査させるこ とで、 あたかも静止している検査機器によって静止している被検査体を検査して いる状態を創出することができて、 高い検査精度で検査を実施することができる。 また、 非接触式検査機器で被検査体に対する検査を実施している問も、 連続回 転する回転テーブルによって被検査体を間断なく搬送することができるため、 高 い生産性を確保することができる。
さらに、 連続回転駆動カムおよび揺動回転駆動カムを採用して回転テーブルの 連続回転および検査機器取付テーブルの揺動回転を得るようにしているので、 一 連の運動伝達におけるバックラッシュがなく、 常に正確な動作を再現させること ができ、 両テーブルの回転運動を高精度なものとすることができて、 これにより 両テーブルの回転運動の精度に影響を受ける検査作業の検査精度を著しく向上さ せることができるという各種優れた効果を奏する。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テ一ブルと、
該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、 上記被検査体を検査す るための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、
上記回転テーブル上方に、 該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持さ れ、 該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持する口一夕リーへッ ドと、
該ロ—夕リーへッ ドを上記回転テ一ブルと同期させて回転させる連動機構と、 を備えたことを特徴とする非接触式検査装置。
2 . 前記口一夕リーへッ ドが昇降自在に支持されていることを特徴とする請求 項 1に記載の非接触式検査装置。
3 . 前記連動機構は、
前記回転テーブルおよび前記ロー夕リーへッ ドにそれぞれ設けられた一対の第 1， 第 2ィン夕一ナルギアと、
これら第 1， 第 2インターナルギアにそれぞれ嚙合される一対の第 1， 第 2遊 星ギアと、
前記検査機器取付テーブルに回転自在に支持され上記第 1， 第 2遊星ギアを互 いに一体的に連結する連結軸と、
からなる遊星歯車装置を備えることを特徴とする請求項 1に記載の非接触式検 査装置。
4 . 前記第 1 , 第 2イン夕一ナルギアは同一モジュールのギアで、 それぞれ前 記回転テーブルの内周および前記ロー夕リ一へッ ドの内周に一体的に形成される とともに、 前記第 1 , 第 2遊星ギアも同一モジュールのギアであり、 これらを連 結する前記連結軸は前記検査機器取付テーブルに設けた軸受体に回転自在に支持 されることを特徴とする請求項 3に記載の非接触式検査装置。
5 . 前記口一タリ一ヘッ ドが昇降自在に支持されるとともに、 該ロ一夕リーへ ッ ドの前記第 2ィン夕一ナルギアに嚙合される前記第 2遊星ギアは該口一夕リー へッ ドの昇降量に対応させて軸方向に長く形成されていることを特徴とする請求 項 3に記載の非接触式検査装置。
6 . 前記回転テーブル上方に配置され、 上 方向に沿うスライ ド溝が形成され た保持フレームと、
該保持フレームに上記スライ ド溝を介して昇降可能に設けられた環状の昇降枠 と、
該昇降枠の内周部に設けられ前記ロー夕リーへッ ドの外周部を回転自在に支持 するベアリングとを備え、
前記口一夕リーへッ ドは上記保持フレームに対し該昇降枠を介して昇降可能か つ [口 I転可能に吊り下げ支持されていることを特徴とする請求頃 2に記載の非接触 式検査装置。
7 . 前記保持フレームに前記スライ ド溝を介して回転不能かつ昇降可能に設け られた前記昇降枠と、
上記保持フレームに回転可能に支持され上記昇降枠に螺合されたボルトと、 該ボルトに設けられたスプロケッ トおよび該スブロケッ 卜に掛け回されて駆動 力を伝達するチェーンとからなる動力伝達機構とを備えたことを特徴とする請求 項 6に記載の非接触式検査装置。
8 . 前記検査機器取付テーブルが前記回転テーブルの回転屮心周りに回転可能 に設けられるとともに、
連続回転駆動カムと揺動回転駆動カムとがその軸方向に併設され、 回転駆動さ れる回転入力軸と、
上記連続回転駆動カムに摺接するターレツ トを介して連続回転される連続回転 出力軸と、
上記揺動回転駆動力ムに摺接する夕一レッ トを介して揺動回転される揺動回転 出力軸とを備え、
上記連続回転出力軸で上記回転テーブルを連続回転駆動するとともに、 上記揺 動回転出力軸で上記検査機器取付テーブルを揺動回転駆動し、 かつ該検査機器取 付テーブルが該回転テーブルと同方向に回転駆動されるときに、 該検査機器取付 テーブルを、 該回転テーブルと同期回転させるようにしたことを特徴とする請求 項 1に記載の非接触式検査装置。
9 . 前記回転テーブルには入力ギアが設けられ、 該入力ギアには前記連続回転 出力軸に設けられた出力ギアが嚙合され、 該連続回転出力軸には円形の前記夕一 レツ 卜が設けられ、 該夕一レツ 卜の外周には前記連続回転駆動カムに摺接する力 ムフォロワが回転內在に設けられていることを特徴とする請求頃 8に記載の非接 触式検査装置。
1 0 . 前記検査機器取付テーブルにはその回転中心位置に支持軸が設けられ、 該支持軸には前記揺動回転出力軸が連結され、 該揺動回転出力軸には扇形の前記 夕一レツ 卜が設けられ、 該夕一レツ トの外周には前記揺動回転駆動カムに摺接す るカムフォロワが回転自在に設けられていることを特徴とする請求項 8に記載の 非接触式検杳装置。
1 1 . 前記回転テーブルおよび前記検査機器取付テーブルの回転運動速度を決 定する前記連続回転駆動カムおよび前記揺動回転駆動カムの各カム曲線は、 該検 査機器取付テ一ブルが該回転テーブルの回転方向と同方向に運動するタイミング では該検査機器取付テーブルと該回転テーブルの運動速度が等しくなるように設 定され、 該検査機器取付テーブルが該回転テーブルの回転方向と反対方向に運動 するタイミングでは該検査機器取付テーブルの運動速度が該回転テーブルの運動 速度よりも速くなるように設定されていることを特徴とする請求項 8に記載の非 接触式検査装置。
1 2 . 前記回転テーブルは環状に形成されるとともに、 前記検査機器取付テ一 ブルは該回転テーブルを挟んで、 その内側空間に配置される内側テーブルと、 該 内側テーブルと相対向させて該回転テーブルの外側空間に配置される外側テープ ルとからなり、
上記内側テーブルにはその回転中心位置に支持軸が一体的に設けられ、 該支持 軸には上記回転テーブルの外側へ延長されたアームが一体的に設けられるととも に、 該アームには上記外側テーブルが一体的に取り付けられることを特徴とする 請求項 1に記載の非接触式検査装置。
1 3 . 前記非接触式検査機器は、 前記回転テーブルを挟んで相対向して配置さ れた前記内側テーブルおよび前記外側テーブルに、 ¾該回転テーブルによって搬 送される前記被検査体を挟んで配置されることを特徴とする請求項 1 2に記載の 非接触式検査装置。
1 4 . 前記非接触式検査機器は、 前記内側テーブルおよび前記外側テーブルに それぞれ配設される、 前記被検査体で反射される光線を照射する投光器および映 像を撮影するための C C Dカメラからなり、
上記投光器から照射され上記被検査体で反射された反射光の映像を上記 C C D カメラで撮影することにより該被検査体の検杏を行うことを特徴とする請求項 1 3に記載の非接触式検査装置。
1 5 . 前記非接触式検査機器は、 前記内側テーブルおよび前記外側テーブルに それぞれ配設される、 前記被検査体を透過する光線を照射するバックライ トおよ び透過光を検知するための透過型検知器からなり、
上記バックライ トから照射され上記被検査体を透過した透過光を t記透過型検 知器で検知することにより該被検査体の検査を行うことを特徴とする請求項 1 3 に記載の非接触式検査装置。
1 6 . 前記非接触式検査機器は X線や電磁波を用いた検査機器であることを特 徴とする請求項 1に記載の非接触式検査装置。
1 7 . 前記口一夕リーヘッ ドは、 これに上下スライ ド可能に挿通されたステム と、 該ステムを下方に付勢するスプリングとを備え、
該ステムの F端部には前記被検査体の上部を保持するためのキヤッブが設けら れていることを特徴とする請求項 1に記載の非接触式検査装置。
1 8 . 前記回転テーブルの周りには、 その周方向に沿って互いに間隔を隔てて、 該回転テーブルへ前記被検査体を搬入するための供給ラインと、 該回転テーブル から上記被検査体を排出するための排出ラインとが配置されることを特徴とする 請求項 1に記載の非接触式検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103884721A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 山东新华医疗器械股份有限公司 自动灯检机
WO2024052440A1 (en) * 2022-09-09 2024-03-14 F. Hoffmann-La Roche Ag Inspection system and method for a closed medical container

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4516201B2 (ja) * 2000-11-01 2010-08-04 リッカーマン（日本）株式会社 連続検査装置
JP4696230B2 (ja) * 2001-07-19 2011-06-08 キリンテクノシステム株式会社 容器検査装置
US7067323B2 (en) * 2003-10-15 2006-06-27 Lighthouse Instruments, Llc System and method for automated headspace analysis
JP4587657B2 (ja) * 2003-10-30 2010-11-24 トヨタ自動車株式会社 フェールセーフ油圧回路
DE102004024277A1 (de) * 2004-05-15 2005-12-01 Sig Technology Ltd. Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Werkstücken
US7728873B2 (en) * 2004-11-09 2010-06-01 Cnoga Ltd Apparatus for obtaining and electronically interpreting digital images of liquids, solids and combinations on liquids and solids
ITCR20070023A1 (it) * 2007-09-11 2009-03-12 Pharmamech Srl Macchina ispezionatrice
JP5468467B2 (ja) * 2010-02-08 2014-04-09 株式会社イシダ Ｘ線検査装置
JP2012068126A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 Ishida Co Ltd Ｘ線検査装置
IT1403497B1 (it) 2010-12-27 2013-10-17 Makro Labelling Srl "dispositivo di rilevamento per contenitori in movimento"
TW202208825A (zh) * 2011-01-21 2022-03-01 美商拉布拉多診斷有限責任公司 樣本使用最大化之系統及方法
ITPR20130104A1 (it) * 2013-12-20 2015-06-21 One Love Di Tarasconi Ermina & C S A S Sperlatrice e metodo di ispezione
DE102014216576A1 (de) * 2014-08-21 2016-02-25 Krones Ag Behälterbehandlungsmaschine mit einer Inspektionsvorrichtung
KR101759242B1 (ko) 2015-02-24 2017-07-18 정성화 폐전선 및 통신선 열분해장치
KR101709343B1 (ko) * 2015-07-28 2017-02-23 주식회사 완성 앰플 비전 검사 장치 및 검사 방법
DE102017215927A1 (de) 2017-09-08 2019-03-14 Krones Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Ausschleusen von in einer Direktdruckmaschine fehlerhaft bedruckten Behältern

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5425891A (en) * 1977-07-29 1979-02-27 Eisai Co Ltd Apparatus for inspecting solid material in liquid
JPS57142252A (en) * 1981-02-28 1982-09-02 Eisai Co Ltd Method and apparatus for inspecting foreign matter mixed in liquid of transparent container
JPH0674915A (ja) * 1992-08-29 1994-03-18 Kirin Techno Syst:Kk 容器検査装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4172524A (en) * 1977-05-04 1979-10-30 The Upjohn Company Inspection system
CH672955A5 (ja) * 1987-05-12 1990-01-15 Elpatronic Ag
WO1990004169A1 (en) * 1988-10-07 1990-04-19 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for detecting particular substance
US5271271A (en) * 1991-04-03 1993-12-21 Frazier Charles H Method and apparatus for inspection of gears

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5425891A (en) * 1977-07-29 1979-02-27 Eisai Co Ltd Apparatus for inspecting solid material in liquid
JPS57142252A (en) * 1981-02-28 1982-09-02 Eisai Co Ltd Method and apparatus for inspecting foreign matter mixed in liquid of transparent container
JPH0674915A (ja) * 1992-08-29 1994-03-18 Kirin Techno Syst:Kk 容器検査装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0837311A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103884721A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 山东新华医疗器械股份有限公司 自动灯检机
CN103884721B (zh) * 2012-12-20 2016-04-13 山东新华医疗器械股份有限公司 自动灯检机
WO2024052440A1 (en) * 2022-09-09 2024-03-14 F. Hoffmann-La Roche Ag Inspection system and method for a closed medical container

Also Published As

Publication number Publication date
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BR9702250A (pt) 1999-02-17

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