WO1997024466A1 - Tole d'acier magnetique ayant d'excellentes proprietes magnetiques, et son procede de fabrication - Google Patents

Tole d'acier magnetique ayant d'excellentes proprietes magnetiques, et son procede de fabrication Download PDF

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WO1997024466A1
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dent
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laser beam
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Naoya Hamada
Tatsuhiko Sakai
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Nippon Steel Corporation
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/0206—Manufacturing of magnetic cores by mechanical means
    • H01F41/0233—Manufacturing of magnetic circuits made from sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
    • C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
    • C21D8/1294—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties involving a localized treatment

Definitions

  • the present invention relates to an electromagnetic steel sheet having excellent magnetic properties and a method for producing the same.
  • the present invention relates to a grain-oriented electrical steel sheet having excellent magnetic properties, and more particularly to a grain-oriented electrical steel sheet having excellent magnetic properties which does not lose iron loss properties even when subjected to strain relief annealing.
  • Grain-oriented electrical steel sheets are required to reduce iron loss from the viewpoint of energy saving.
  • a method of subdividing magnetic domains by laser irradiation has already been disclosed in Japanese Patent Publication No. 58-26405.
  • Reduction of iron loss by this method reduces the hysteresis by introducing stress strain into the grain-oriented electrical steel sheet by the reaction force of the thermal shock wave generated by irradiating the laser beam and subdividing the magnetic domains.
  • the purpose is to reduce eddy current loss while suppressing the increase in cis loss.
  • this method there is a problem that the strain introduced by the laser disappears during annealing, and the domain refining effect is lost. Therefore, this method can be used for steel core transformers that do not require strain relief annealing, but can be used for wound iron core transformers that require strain relief annealing. You cannot.
  • the magnetic permeability is changed by giving the steel sheet a shape change exceeding the stress strain level to change the magnetic domain.
  • Various subdivision methods have been proposed. For example, a method in which a steel sheet is pressed with a toothed roll to form grooves or dots in the surface of the steel sheet (see Japanese Patent Publication No. 63-44804), a method in which a depression is formed in the steel sheet surface by chemical etching. ( See U.S. Pat. No. 4750949 Pat), or Q sweep rate pitch C0 2 lasers method of forming a groove on the steel sheet surface (Hei 7 - 22091 reference 3 JP), and the like.
  • the mechanical method using a toothed roll wears the toothed die in a short time because the magnetic steel sheet has high hardness.
  • the iron loss value is not sufficiently reduced as compared with the laser domain control method which does not change the shape.
  • the chemical etching method does not have the problem of wear of the tooth mold, but the process is more complicated than the mechanical method, and there is room for improvement in the iron loss value.
  • the method of forming a groove in Q sweep rate pitch C0 steel sheet surface at 2 laser is found, and a problem that the tooth die to form a recess in a non-contact wear, there is no problem that the process becomes complicated optimal No detailed pit shape was pursued, and there was room for improvement in reducing iron loss. Disclosure of the invention
  • the present invention solves the above-described problems and provides a magnetic iron sheet having an iron loss value lower than the iron loss value of a conventional directional electromagnetic steel sheet and having excellent magnetic properties that do not lose its properties even at high temperatures. And a method for manufacturing the same.
  • the present invention irradiates a pulsed laser beam on the surface of an electromagnetic steel sheet to form a depression having the following conditions, thereby dividing magnetic domains to reduce iron loss and applying a strain relief annealing to the steel sheet. This also has the effect that the magnetic domain refining effect does not disappear.
  • Such dents are formed at regular intervals in the rolling direction, with rows of dents arranged along the sheet width direction (direction perpendicular to the rolling direction).
  • the present invention has a great feature in that the core loss is reduced by defining the inner plate width direction recess pitch Pc under the above conditions in relation to the plate width direction recess diameter dc.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing a dent formed on the surface of a grain-oriented electrical steel sheet according to the present invention.
  • FIG. 2 (a) is a partially enlarged plan view of FIG.
  • FIG. 2 (b) is a sectional view taken along line XX of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic front view of an apparatus for forming a dent according to the present invention.
  • Figure 4 is a waveform diagram showing an example of a measurement result of the waveform of the path Rusureza emitted from Q sweep rate Tutsi C0 2 laser oscillator of FIG. 3.
  • Fig. 5 (a) is a diagram showing the beam cross-sectional shape of the circular condensed beam focused on the magnetic steel sheet and the intensity distribution in each section.
  • Fig. 5 (b) is a diagram showing the beam cross-sectional shape of the rectangular condensed beam focused on the magnetic steel sheet and the intensity distribution in each section.
  • FIG. 6 (a) is a simulated view of an enlarged plan photograph showing an example of a recess formed by the circular condensed beam of FIG. 5 (a).
  • FIG. 6 (b) is a sectional view taken along line XX of FIG. 6 (a).
  • FIG. 6 (c) is a sectional view taken along the line Y--Y of FIG. 6 (a).
  • FIG. 6 (d) is a simulated view of an enlarged plan photograph showing an example of the recess formed by the rectangular convergent beam of FIG. 5 (b).
  • FIG. 6 (e) is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 6 (d).
  • FIG. 6 (f) is a sectional view taken along the line Y--Y of FIG. 6 (d).
  • Fig. 7 (a) is a graph showing the relationship between the pitch in the sheet width direction dent (Pc) after strain relief annealing and the iron loss improvement ratio when the sheet width direction dent diameter (dc) is 140 zm.
  • Fig. 7 (b) is a graph showing the relationship between the dent pitch (Pc) in the sheet width direction after strain relief annealing and the iron loss improvement rate when the dent diameter (dc) in the sheet width direction is 270 m (force). .
  • FIG. 1 schematically shows a steel sheet formed according to the present invention, that is, a state in which recesses 6 are formed in rows 5 on the surface 2 of a grain-oriented electrical steel sheet 1.
  • the recess 6 will be further described with reference to FIGS. 2 (a) and 2 (b).
  • FIG. 2 (a) is an enlarged plan view of a part of Fig. 1, and the dents 6 are indicated by the dent diameter dc in the sheet width direction, the dent pitch Pc in the sheet width direction, and the dent row pitch PI in the rolling direction.
  • FIG. 2 (b) is a cross-sectional view taken along the line X--X of FIG. 1, in which the recesses 6 are continuous, and the protrusions 7 are formed between the adjacent recesses 6, so that the entire shape is comb-shaped. It has become.
  • the back surface 3 is smooth and there is no gap between the steel sheets when laminating magnetic steel sheets, so that the space factor does not decrease.
  • the shape of the recess is defined as follows.
  • the dent dc in the width direction is less than 100 m, Since extremely high-speed pulse irradiation is required to form a thin film, it is difficult to implement the method and it is not practical.
  • the dent diameter dc in the sheet width direction exceeds 3000 m, the iron loss reduction effect decreases. Therefore, dc should be in the range of 100 ⁇ ⁇ dc ⁇ 3000 m.
  • the iron loss reduction effect is maximized.
  • the dent shape is a circular shape when the rolling direction diameter dl of the dent is smaller than the plate width direction diameter dc, that is, when the dent is a rectangle or an ellipse having a major axis in the plate width direction. Therefore, dlZdc, which is the ratio between dl and dc, is set to less than 1 since the iron loss improvement effect is higher than that of
  • the surface of a grain-oriented electrical steel sheet is irradiated with a circular condensed beam with a diameter of 140; After forming the dents, the steel was subjected to strain relief annealing at 800 ° C for 2 hours, and the iron loss improvement rate and the magnetic flux density deterioration amount in the dents were measured. The results are shown in Fig. 7 (a),
  • the iron loss improvement rate is the ratio of the improved iron loss value to the starting iron loss value. From the above figure, the present inventors found that the iron loss improvement ratio was within the range of not less than (dc-50 m) and not more than (dc + 50 m), regardless of whether the concave shape was circular or elliptical. Is increased, that is, the iron loss value is greatly reduced, and when the pit pitch Pc in the sheet width direction is almost equal to the dent diameter dc in the sheet width direction, the iron loss improvement rate is maximized. It was.
  • the iron loss is lower than that of the conventional technology even if the strain relief annealing is performed. It was determined that the value could be further reduced, and based on this recognition, the present invention was completed.
  • C0 2 laser oscillator in the present invention the current to the pulse laser oscillator using, and generally rectangular also properly oval long plate width direction on the pulse width 30 ⁇ sec or less of the laser beam to the surface of the steel sheet such as a YAG laser oscillator Light forms a dent. If the pulse width exceeds 30 sec, the dent workability (depth d) deteriorates due to heat transfer loss.
  • FIG. 3 shows an outline of a dent forming apparatus in which the pulse laser includes an oscillator.
  • a pulse laser oscillator 11 for example, Q sweep rate pitch C0 2 laser oscillator, from the pulsed laser beam LB emitted in this Parusurezabi one beam LB said oscillator plane is disposed in front of the exit port total reflection mirror 13 Polygon mirror 15 placed at a position facing the total reflection mirror 13 Incident on.
  • the polygon mirror 15 is rotated to scan the pulsed laser beam LB in the width direction of the magnetic steel sheet 1.
  • the pulsed laser beam LB is incident on a parabolic mirror 16 disposed directly above the steel sheet, and the reflected light is focused on the surface of the electromagnetic steel sheet 1 to form a dent.
  • the dent pitch Pc in the plate width direction is adjusted by the frequency of the pulse laser and the rotation speed of the polygon mirror 15.
  • the pitch P1 in the rolling direction is adjusted by the rotation speed of the polygon mirror 15 and the feed speed of the steel sheet.
  • the pulse laser has the waveform shown in FIG.
  • the initial spike part A is a giant pulse oscillating part peculiar to the Q switch laser, and its half-value width ranges from lOnsec to 1 sec.
  • This Q-switched CO 2 laser pulse has a long till B after the initial spike.
  • the maximum length of this till part B is about 30 sec.
  • Q sweep rate pitch maximum value of the oscillation time of the pulse repetition frequency when using ordinary continuous wave oscillation C0 2 laser to oscillate the Q sweep rate pitch, the frequency of up to about 100kHz can be realized.
  • the pulse energy and the pulse repetition frequency are almost inversely proportional in the region up to the pulse repetition frequency of about 20 kHz, that is, a constant laser average output is obtained.
  • FIG. 5 (a) shows a case of a circular focused beam having a diameter of 140 / m
  • FIG. 5 (b) shows a case of a rectangular focused beam of 90 ⁇ 270 / zm.
  • a cylindrical lens 14 is arranged between a flat total reflection mirror 13 and a polygon mirror 15 in the apparatus shown in FIG. Note that a cylindrical mirror may be used instead of the cylindrical lens.
  • the dent rows formed with the pit pitch Pc of 125 m in the plate width direction are shown in Figs. 6 (a), (b), ( c) is shown.
  • Fig. 6 (a) is a simulated view of an enlarged photograph of the dent row taken from above. Dent diameter dc is about 140 // m o
  • Fig. 6 (b) is a sectional view taken along the line X-X of Fig. 6 (a)
  • Fig. 6 (c) is a sectional view taken along the line Y-Y of Fig. 6 (a).
  • the results measured in the film are shown below.
  • the average depth of the depression is about 30 m.
  • the depth of the dent is 14 times larger than the longitudinal direction of the dent.
  • FIG. Figures (d), (e) and (f) show.
  • Fig. 6 (d) is a simulated view of an enlarged photograph of the dent row taken from above.
  • Fig. 6 (e) and (f) are cross-sectional views taken along the line X-X and line Y-Y of Fig. 6 (d), respectively. Show.
  • the average depth of the dent is approximately 30 ⁇ m, which is almost equal to the circular focusing of 140 / m in diameter.
  • the depression depth d is adjusted by the energy of the laser pulse.
  • the dent rows formed under the conditions of the present invention as shown in FIGS. 6 (d) to (f) are subjected to strain relief annealing as shown in FIG. 7 (b). However, it does not lose the domain refining effect and has more improved iron loss characteristics.
  • the irradiation pulse laser had an output of 5 kW, a pulse repetition frequency of 100 kHz, a focused beam diameter of 90 X 270 m, and the dimensions of the dents were as follows:
  • a higher iron loss improvement rate (for example, 12 to 14%) can be obtained than with a grain-oriented electrical steel sheet having a depression formed by conventional pulse laser irradiation.
  • transformers, motors, and other devices are further improved in efficiency and significantly reduced in price, so that the present invention is highly likely to be used in industry.

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Description

明 細 書
磁気特性の優れた電磁鋼板およびその製造方法 技術分野
この発明は、 磁気特性の優れた方向性電磁鋼板、 特に歪取り焼鈍 で処理されても鉄損特性を喪失しない磁気特性の優れた方向性電磁 鋼板に関する。 背景技術
方向性電磁鋼板は鉄損を低減するこ とが、 エネルギ節約の観点か ら要望されている。 その方法と して、 レーザ照射によ り磁区を細分 化する方法が既に特公昭 58 - 26405号公報に開示されている。 この方 法による鉄損の低減は、 レーザビームを照射するこ とによって生ず る熱衝撃波の反力によつて方向性電磁鋼板に応力歪を導入し、 磁区 を細分化するこ とにより ヒ ステ リ シス損失の増加を抑えたまま渦電 流損失の低下を図るものである。 しかし、 この方法では、 レーザに よ り導入した歪が焼鈍時に消失し、 磁区細分化効果が失われるとい う問題がある。 したがって、 この方法は、 歪取り焼鈍を必要と しな い積鉄芯 ト ラ ンス用と しては使用できるが、 歪取り焼鈍処理を必要 とする卷鉄芯 ト ラ ンス用と しては使用するこ とはできない。
そこで、 鉄損値低減効果が歪取り焼鈍後も残るようにした方向性 電磁鋼板の磁気特性改善方法と して、 鋼板に応力歪レベルを超える 形状変化を与えて透磁率を変化させ、 磁区を細分化する方法が様々 に提案されている。 たとえば、 歯型ロールで鋼板を押圧し、 溝状ま たは点状の凹みを鋼板表面に形成する方法 （特公昭 63 - 44804号公報 参照） 、 化学的エッチングにより凹みを鋼板表面に形成する方法 （ 米国特許第 4750949 号明細書参照） 、 あるいは Qスィ ッチ C0 2 レー ザで鋼板表面に溝を形成する方法 （特開平 7 - 22091 3号公報参照） などがある。
しかし、 上記の従来の製造方法のうち、 歯型ロールを用いる機械 的方法は、 電磁鋼板は硬度が高いために歯型が短期間で磨耗する。 また、 形状変化を加えないレーザ磁区制御方法に比べて鉄損値が十 分に下がらない。 化学的エッチングによる方法は、 歯型が磨耗する という問題はないが、 機械的方法に比べて工程が複雑であり、 また 鉄損値も改良の余地がある。 さ らに Qスィ ッチ C02 レーザで鋼板表 面に溝を形成する方法は、 非接触で凹みを形成するため歯型が磨耗 するという問題や、 工程が複雑になるという問題はないが最適な凹 み形状について詳細な追求がされておらず、 鉄損低減に改善の余地 力くあった。 発明の開示
本発明は、 上記のような問題点を解決して、 従来の方向性電磁鋼 板の鉄損値より も更に低い鉄損値をもち、 かつ高温でもその特性を 喪失しない磁気特性に優れた方向性電磁鋼板およびその製造方法を 提供するものである。
すなわち、 この発明は電磁鋼板の表面にパルスレーザビームを照 射して下記条件を有する凹みを形成することにより、 磁区を細分化 して鉄損を低減するとともにこの鋼板に歪取り焼鈍を施しても磁区 細分化効果が消失しないという効果を有するのである。
かかる凹みは板幅方向 （圧延方向に対し直角方向） に沿って並ぶ 凹み列が圧延方向に一定間隔で形成されており、 更に、
圧延方向凹み径 d l ： m≤ d l ≤ 300〃 m
板幅方向凹み径 d c： 1 00 m≤ d c ≤ 3000 ^ m 但 し dlZdcく 1
凹 み 深 さ d 10 m≤ d≤ 30 m
圧延方向凹み列ピッチ P1 3 mm ≤ PI ≤ 10 mm
板幅方向凹みピッチ Pc dc— 50 m≤ Pc ≤ dc + 50 u m の各条件を有することを特徴と している。
特に本発明は上記条件の内板幅方向凹みピッチ Pcを板幅方向凹み 径 dcとの関連で規定して鉄損を低下せしめたところに大きな特徴を 有する。 図面の簡単な説明
第 1 図はこの発明の方向性電磁鋼板の表面に形成された凹みを模 式的に示した斜視図である。
第 2図 （ a ) は第 1 図の一部拡大平面図である。
第 2図 （ b ) は第 2図の X— X断面図である。
第 3図はこの発明の凹みを形成する装置の概略正面図である。 第 4図は第 3図の Qスィ ツチ C02 レーザ発振器から出射されたパ ルスレーザの波形の測定結果の一例を示す波形図である。
第 5図 （ a ) は電磁鋼板に集光された円形集光ビームのビーム断 面形状と各セク シ ョ ンにおける強度分布を示す図である。
第 5図 （ b ) は電磁鋼板に集光された長方形集光ビームのビーム 断面形状と各セク ショ ンにおける強度分布を示す図である。
第 6図 （ a ) は第 5図 （ a ) の円形集光ビームで形成した凹みの 一例を示す拡大平面写真の模写図である。
第 6図 （ b ) は第 6図 （ a ) の X— X線断面図である。
第 6図 （ c ) は第 6図 （ a ) の Y— Y線断面図である。
第 6図 （ d ) は第 5図 （ b ) の長方形集光ビームで形成した凹み の一例を示す拡大平面写真の模写図である。 第 6図 （ e ) は第 6図 （ d ) の X— X線断面図である。
第 6図 （ f ) は第 6図 （ d ) の Y— Y線断面図である。
第 7図 （ a ) は板幅方向凹み径 （dc) が 140 z mの場合の、 歪取 り焼鈍後の板幅方向凹みピッチ （Pc) と鉄損改善率との関係を示す 図である。
第 7図 （ b ) は板幅方向凹み径 （dc) 力く 270 mの場合の、 歪取 り焼鈍後の板幅方向凹みピッチ （Pc) と鉄損改善率との関係を示す 図である。 発明を実施するための最良の形態
次に本発明を実施するための最良の形態について説明する。
先ず、 第 1 図に、 本発明に基づいて形成した鋼板すなわち方向性 電磁鋼板 1 の表面 2 に凹み 6を列 5をなすように形成した状態を模 式的に示す。
上記凹み 6を更に第 2図 （ a ) 、 ( b ) で説明する。
第 2図 （ a ) は第 1 図の一部を拡大した平面図で、 凹み 6 は板幅 方向凹み径 dc、 板幅方向凹みピッチ Pc及び圧延方向凹み列ピッチ PI で表示される。 また第 2図 （ b ) は第 1 図の X— X線断面図で、 凹 み 6が連続し、 隣接する凹み 6の間に隆起部 7が形成されており、 全体と して櫛型形状となっている。
なお、 裏面 3 は平滑になっており、 電磁鋼板を積層する際に鋼板 間に空隙が生じないので占積率を低下しない。
本発明では上記凹みの形状を下記のように規定する。
電磁鋼板の圧延方向凹み径 dlが、 50 m未満であると、 鉄損低減 効果が低下し、 300 // mを超えると、 磁束密度の低下が顕著となる 。 したがって dlを 50 m ^ dl≤ 300 mの範囲とする。
また板幅方向凹み怪 dcが、 100 m未満であると、 凹みを連続し て形成するためには極めて高速のパルス照射が要求されるので、 実 施困難であり、 現実的でない。 一方、 板幅方向凹み径 dcが 3000 m を超えると、 鉄損低減効果が低下する。 したがって dcを 100 πι ≤ dc≤ 3000 mの範囲とする。
また、 凹み深さ dが、 10/i m未満であると鉄損低減効果が低下し 、 30 mを超えると鉄損低減効果の低下とと もに磁束密度の劣化が 著しく なる。 したがって dを 10 m≤ d ≤ 30〃 mの範囲とする。 圧延方向凹み列ピッチ P1は 3 mm未満、 あるいは lOmmを超えると、 共に鉄損低減効果が低下するので、 P1を 3 mm≤Pl≤ 10inmの範囲とす る
また、 板幅方向凹みピッチ Pc (dc- 50 z m) 以上、 あるいは （dc + 50^ m) 以下の範囲において、 鉄損低減効果が最大となるので、 Pcをこの範囲とする。 更に凹み形状と して、 凹みの圧延方向径 dlが 板幅方向径 dcに比べて小さい、 すなわち板幅方向に長軸を持つ長方 形あるいは楕円形である場合において、 凹み形状が円形の場合に比 較して鉄損改善効果が高く なるので、 dlと dcの比である dlZdcを 1 未満とする。
上記の範囲は板幅方向凹みピッチ Pc、 鉄損改善率及び凹み形状と の関係を以下のように究明することによって求められたものである o
方向性電磁鋼板の表面にパルスレーザ発信器より直径 140 ； a mの 円形集光ビームと 90 X 270^ mの長方形集光ビームをそれぞれ板幅 方向凹みピッチ Pcを逐次変えて照射して凹みを形成し、 凹み形成後 800 °Cの温度で 2時間保定する歪取焼鈍を施し、 上記凹みにおける 鉄損改善率と磁束密度劣化量を測定し、 この結果を第 7図 （ a ) 、
( b ) に示し両者を比較した。 なお、 鉄損改善率は出発鉄損値に対 する改善鉄損値の割合である。 上記図から本発明者らは凹み形状が円形、 楕円形を問わず板幅方 向凹みピッチ Pcが （dc— 50 m) 以上、 かつ （dc+ 50〃 m) 以下の 範囲で、 鉄損改善率が大きく なること、 つまり鉄損値が大き く低減 することを確認し、 かつ板幅方向凹みピッチ Pcが板幅方向凹み径 dc にほぼ等しい場合に、 鉄損改善率が最大になることを確認したので ある。
更に Fig. 7 ( a )(b ) で凹み形状における鉄損改善率の最大値を 比較すると、 凹みが円形に較べ楕円形の方が改善率は高いこ とが判 明した。 これは圧延方向に狭く鋭い形状を持ち、 かつ板幅方向には 広い凹みの方が磁区細分化効果が高いためである。
すなわち、 凹み深さ dを 10〜30 mの範囲と し、 かつ板幅方向に 長軸を持つ長方形あるいは楕円形の凹みを形成することにより、 歪 取り焼鈍を行っても従来技術に比べ鉄損値を更に大き く低減するこ とができることが究明され、 この認識に基づき本発明が完成された のである。
次に本発明の鋼板を製造する方法について説明する。 本発明では C02 レーザ発振器、 YAG レーザ発振器などのパルスレーザ発振器を 使用し、 かつパルス幅が 30〃 sec 以下のレーザビームを鋼板表面上 に板幅方向に長いほぼ長方形も しく は楕円形に集光して凹みを形成 する。 パルス幅から 30 sec を超えると、 伝熱損失により凹み加工 性 （深さ d ) が劣化する。
第 3図は上記パルスレーザが発振器を含む凹み成形装置の概要を 示す。
先ず、 パルス レーザ発振器 11、 例えば Qスィ ッ チ C02 レーザ発振 器、 から、 パルスレーザビーム LBを出射し、 このパルスレーザビ一 ム LBを前記発振器出射口の前方に配設した平面全反射鏡 13で反射せ しめ、 平面全反射鏡 13に対面する位置に配設したポリ ゴン ミ ラ一 15 に入射する。
次いで、 ポ リ ゴン ミ ラ一 15を回転してパルスレーザビーム LBを電 磁鋼板 1 の板幅方向に走査する。
続いて、 パルスレーザビーム LBを鋼板の直上に配置された放物面 鏡 16に入射して、 その反射光線を電磁鋼板 1 の表面に集光せしめ、 凹みを形成する。 板幅方向凹みピッチ Pcは、 パルス レーザの周波数 およびポ リ ゴン ミ ラー 15の回転数によ って調節する。 圧延方向凹み ピッチ P1は、 ポ リ ゴン ミ ラー 15の回転数と鋼板の送り速度によって 調節する。
前記のパルスレーザは第 4 図に示す波形を有している。 図に示す よ う に、 初期スパイ ク部 Aは Qスィ ツ チ レーザ特有のジ ャ イ ア ン 卜 パルス発振部であり、 その半値幅の範囲は lOnsec以上、 1 sec 以 下である。 この Qスィ ッチ CO 2 レーザパルスは、 初期スパイ ク後に 長いティル部分 Bを伴っている。 このティル部 Bの最大長さはおよ そ 30 sec である。 Qスィ ッ チ発振時のパルス繰り返し周波数の最 大値は、 一般の連続波発振 C02 レーザを用いて Qスィ ッチを発振さ せた場合、 100kHz程度までの周波数が実現可能である。 なお、 これ より周波数を下げてゆく 場合、 20kHz 程度のパルス繰り返し周波数 までの領域では、 パルスエネルギーとパルス繰り返し周波数はおよ そ反比例の関係、 すなわち一定のレ—ザ平均出力が得られる。
電磁鋼板に集光されたパルスレーザビームのパター ン及び強度分 布は第 5図 （ a ) 、 （ b ) に表示される。
第 5図 （ a ) は直径 140 / mの円形集光ビームの場合であり、 第 5図 （ b ) は 90 X 270 /z mの長方形集光ビームの場合である。 長方 形集光ビームを形成するには、 第 3 図に示す装置において平面全反 射鏡 13とポ リ ゴン ミ ラ一 15との間に円柱レンズ 14を配置する。 なお 、 前記円柱レンズに代えて円柱ミ ラ一であってもよい。 こ こで第 5図 （ a ) で示す直径 140 mの円形集光ビームを用い 、 板幅方向凹みピッチ Pcを 125 mにして形成した凹み列を第 6図 ( a ) 、 （ b ) 、 （ c ) に示す。 第 6図 （ a ) は上記凹み列を上方 より撮影した拡大写真の模写図である。 凹み直径 dcは約 140 // mで ある o
第 6図 （ b ) は第 6図 （ a ) の X— X線断面図、 第 6図 （ c ) は 第 6図 （ a ) の Y— Y線断面図で上記凹み列の断面形状をプロフ ィ ルメー夕一で測定した結果を示す。 凹みの平均深さは約 30〃 mであ る。
なお、 第 6図 （ b ) において凹み深さ方向は凹み長手方向に比べ 14倍に拡大されている。
同様に、 第 5図 （ b ) で示す長径 270 β τη, 短径 90// mの長方形 集光ビームを用い、 板幅方向凹みピッチ Pcを 270 〃 mにして形成し た凹み列を第 6図 （ d ) 、 （ e ) 、 （ f ) に示す。 第 6図 （ d ) は 上記凹み列を上方より撮影した拡大写真の模写図である。 第 6図 （ e ) 、 ( f ) はそれぞれ第 6図 （ d ) の X— X線断面図、 Y— Y線 断面図で、 上記凹み列の断面形状をプロフィルメ一ターで測定した 結果を示す。 凹み平均深さは直径 140 / mの円形集光とほぼ等しく 約 30〃 mである。
前記凹み深さ dはレーザパルスのエネルギーにより調節される。 上述したように、 本発明の条件に基づいて形成された第 6図 （ d ) 〜 （ f ) で示すような凹み列は第 7図 （ b ) で示すように、 歪取 り焼鈍を行っても磁区細分化効果を消失せず、 しかもより改善され た鉄損特性を有するのである。 実施例
方向性電磁鋼板 （板幅 ： 900 mm. 板厚 ： 0.23mm) の表面に長方形 形状 （本発明相当） と円形及び連続溝 （従来法相当） の凹みを形成 した。 照射パルスレーザは、 出力 5 kW、 パルス繰り返し周波数 100k Hz、 集光ビーム径 90 X 270 〃 mであり、 凹みの各寸法は次のとおり ί、めった ο
本発明 従来例 従来例 (長方形集光） (円形集光） (連続溝） 圧延方向凹み径 dl ： 90 m 140/2 m 400〃 m 板幅方向凹み径 dc ： 270 m 140 m
凹 み 深 さ d ： 25 // m 25 / m 25 m 圧延方向凹み列ピッチ PI ： 6 mm 5 mm 5 mm 板幅方向凹みピッチ Pc ： 270 n m 140 m 300 m 鉄 損 改 善 率 ： 14 % 11% 5〜8 % 凹み形成後に歪取り焼鈍 （800 °C、 2時間） したのち、 鉄損改善 率を測定した。 その結果、 本発明の方向性電磁鋼板は 14%の鉄損改 善率を示し、 従来例は 11%または 8 %の鉄損改善率を示した。 産業上の利用可能性
以上詳述したごとく、 本発明によれば、 従来のパルスレーザ照射 で凹みを形成した方向性電磁鋼板より も高い鉄損改善率 （たとえば 12〜14%) が得られる。 この結果、 変圧器、 モータなどの機器は、 効率が一層向上し、 また価格が大幅に低減するので、 本発明が産業 上で利用される可能性は大きい。

Claims

請 求 の 範 囲 1 . 電磁鋼板表面に、 パルスレーザビームの照射によって形成さ れた凹みを有する磁気特性の優れた方向性電磁鋼板において、 前記 凹みが下記形状を有することを特徴とする ：
前記鋼板の板幅方向に沿って形成された凹み列が圧延方向に所定 間隔で形成されていること ； 及び
前記凹みが下記形状を有すること。
圧延方向凹み径 dl ： 50fi m≤ dl ≤ 300 / m
板幅方向凹み径 dc： 100/ m≤ dc ≤ 3000〃 m
但し、 dlZdcく 1
凹 み 深 さ d 10 m≤ d ≤ 30 ^ m
圧延方向凹み列ピッチ PI 3 mm ≤ PI ≤ 10 mm
板幅方向凹みピッチ Pc dc - 50 m≤ Pc ≤ dc + 50 m
2. 電磁鋼板表面にパルスレーザビームを照射し凹みを形成する ことによって磁気特性の優れた方向性電磁鋼板を製造する方法にお いて、 以下の工程からなる ：
前記電磁鋼板表面に長方形状または楕円形状のパルスレーザビー ムを集光して、 複数の凹みを下記形状に基づいて前記鋼板表面の板 幅方向にわたって形成すること ；
圧延方向凹み径 dl ： 50 m≤ dl ≤ 300 m
板幅方向凹み径 dc： 100 m≤ dc ≤ 3000 m
但し、 dl/dc< 1
凹み深さ d ： 10/ m≤ d ≤ 30 m
板幅方向凹みピッチ Pc： dc— 50 m≤ Pc ≤ dc + 50 / m 次いで、 前記パルス レーザビ ムを前記鋼板表面の圧延方向に下 記範囲のピッチで移動し、 前記鋼板表面に前記パルスレーザビーム を集光して前記複数の凹みを前記鋼板表面の板幅方向にわたって形 成する こ と。
圧延方向凹み列ピッチ Π : 3 mm ≤ PI ≤ 10 mm
3 . 前記パルス レーザビームがパルス C02 または YAG レーザビ一 ムである請求の範囲 2記載の製造方法。
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