WO1996009565A1 - Vorrichtung zur strahlteilung - Google Patents

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WO1996009565A1
WO1996009565A1 PCT/DE1995/001252 DE9501252W WO9609565A1 WO 1996009565 A1 WO1996009565 A1 WO 1996009565A1 DE 9501252 W DE9501252 W DE 9501252W WO 9609565 A1 WO9609565 A1 WO 9609565A1
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polarization
deflection unit
beam splitter
partial
optical axis
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PCT/DE1995/001252
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Thomas Zelenka
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Linotype-Hell Ag
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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    • GPHYSICS
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    • G02B27/28Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements

Definitions

  • the invention relates to the field of reproduction technology and relates to a device for dividing a light beam into two partial beams.
  • Such a device for beam splitting can be used, for example, in a light beam scanning device for original scanning devices or recording devices.
  • the light beam scans the document to be scanned point by line and line by line, and the scanning light reflected or transmitted by the document is converted into an image signal in an optoelectronic converter.
  • the light beam is intensity-modulated by an image signal and the intensity-modulated light beam is guided point by point and line by line over a light-sensitive recording material.
  • the holder for the original or the recording material is a flat surface which is moved relative to the light beam scanning device and which the light beam sweeps across points and lines.
  • the holder for the original or the recording material is designed as a stationary, cylindrical segment-shaped depression.
  • the light beam scanning device moves parallel to the longitudinal axis of the trough, and the light beam is guided radially over the trough point by point and line by line perpendicular to the longitudinal axis.
  • the beam splitter device essentially has a stationary light source and a deflection unit which rotates about an optical axis.
  • the deflection unit consists of a polarization beam splitter, a polarization converter and a plane mirror.
  • the polarized light beam coming from the stationary light source is broken down in the rotating deflection unit by the polarization beam splitter into two partial beams which are intensity-modulated by an image signal.
  • the two intensity-modulated partial beams emerge radially offset from the deflection unit, are focused on a recording material fixed in an exposure trough and expose the recording material point by point and line by line Recording material exposed, whereby a high recording speed is achieved.
  • the two partial beams in the recording plane must not have a positional offset perpendicular to the line direction with respect to a desired position in which both partial beams are congruent. Because of such a position offset, the lines exposed on the recording material would not run at the same distance from one another, and disruptive fluctuations in the tonal value would result, which would considerably reduce the recording quality.
  • the known beam splitter device has the disadvantage that the light beam generated in the stationary light source must be adjusted very precisely in the direction of the optical axis or the axis of rotation of the deflection unit, so that the partial beams in each case after half a revolution of the deflection unit in one line the recording plane without perpendicular to the line direction. If the light beam in the known beam splitter device is not precisely aligned, the two point However, partial beams have a position offset which is directed opposite to the target position, ie the beam positions lie to the left and right of the target position, which results in a relatively large position error. However, an exact adjustment is complex and is lost over time, so that a readjustment may be necessary.
  • Disturbing position offsets of the partial beams also occur if the polarization beam splitter and the plane mirror in the deflection unit are not exactly aligned with one another due to manufacturing tolerances.
  • the known beam splitter device has, for example, an adjustable optical adjustment device in the form of a wedge plate, which is arranged in the beam path between the light source and the deflection unit.
  • an adjustment is relatively complex and inaccurate, since it can only be carried out when the beam splitter device is not rotating.
  • the object of the present invention is therefore to improve a device for beam splitting in such a way that disruptive relative position errors of the partial beams to one another are corrected automatically and that an exact beam splitting is achieved.
  • 2 shows an exemplary embodiment of a beam splitter device with a beam position correction
  • 3 shows a further exemplary embodiment of the beam splitter device with a beam position correction
  • Fig. 4 shows an application example for the beam splitter device
  • Fig. 1 shows an embodiment of a beam splitter device, which consists of a stationary light source (1) and a deflection unit (2).
  • the stationary light source (1) is, for example, a semiconductor laser diode.
  • the deflection unit (2) is rotatably mounted about an optical axis (3) and is driven by a motor (4).
  • a light beam (5) running parallel to the optical axis (3) is generated in the stationary light source (1).
  • the light beam (5) is split in the deflection unit (2) into two partial beams (6, 7) running radially to the optical axis (3).
  • the beam splitting can be carried out with a non-polarized or a polarized light beam (5).
  • the light source (1) generates a linearly polarized light beam (5) which is converted into a circularly polarized light beam (5).
  • any other light source that generates a non-polarized light beam can also be used in conjunction with a polarizer in order to generate the linearly or circularly polarized light beam (5).
  • a lens system (8) and a first polarization converter (9) for transforming a linear polarization into a circular polarization are arranged on the optical axis (3) between the light source (1) and the deflection unit (2).
  • the first polarization converter (9) can be omitted if a non-polarized or already a circularly polarized light beam (5) is used for beam splitting.
  • the lens system (8) generates a parallel, ie not pre-focused, light beam (5)
  • the polarization converter (9) is designed as a wave plate, for example as a ⁇ / 4 plate.
  • the deflection unit (2) consists essentially of a polarization beam splitter (12), a second polarization converter (13) and a reflector (14).
  • the optical elements are arranged one behind the other on the optical axis (3) and combined to form a compact unit, for example by gluing.
  • the polarization beam splitter (12) has a polarization layer (17) from which a polarized light beam is reflected or transmitted as a function of the direction of polarization.
  • the polarization layer (17) is generally formed from a plurality of dielectric layers with different refractive indices.
  • the polarization layer (17) can consist of a polarizing film made of plastic or another suitable material.
  • a glass plate or, as in the exemplary embodiment, a cube formed from two triangular prisms (18, 19) can be used as a support for the polarization layer (17), the polarization layer (17) in the region of the mutually facing boundary surfaces of the triangular prisms (18, 19) is arranged.
  • the second polarization converter (13) is, for example, a birefringent plate which, together with the reflector (14), causes a 90 ° rotation of the plane of polarization of a linearly polarized light beam.
  • the reflector (14) is, according to the invention, a prism with at least two at an angle of 90 ° mirror surfaces standing relative to one another.
  • a prism with at least two at an angle of 90 ° mirror surfaces standing relative to one another.
  • a light beam incident at an arbitrary angle emerges from the prism deflected by 180 ° parallel to the incident light beam.
  • a prism of the roof or a beam prism or triple mirror can preferably be used as the prism.
  • a triple prism has three mirror surfaces at 90 ° to each other, butt a corner of the mirror.
  • a light beam entering the triple prism at any angle returns after triple reflection 180 ° deflected parallel to the incident light beam, the reversal of direction being invariant against rotation of the triple prism about any axis.
  • the beam splitter device has optical means for focusing the partial beams (6, 7) on a reference plane.
  • the first partial beam (6) is focused on the reference plane by a lens (15) arranged in its beam path.
  • the lens (15) can also be arranged in the beam path of the light beam (5) between the lens system (8) and the deflection unit (2), for example stationary behind the first polarization converter (9) or in front of the polarization beam splitter (12 ) in the rotating deflection unit (2).
  • the second partial beam (7) is focused on the reference plane by a lens (16) arranged in its beam path.
  • the lens (16) can also be arranged in the rotating deflection unit (2) between the polarization beam splitter (12) and the reflector (14). Instead of one lens each, a lens combination can also be used.
  • a non-pre-focused light beam (5) is split, the lenses used to focus the first and second partial beams (6, 7) have the same optical parameters. If, on the other hand, a light beam prefocused by a corresponding design and arrangement of the lens system (8) is divided, the corresponding lenses for focusing the first and second partial beam (6, 7) have different optical parameters, the focusing means in this case for one of the partial beams (6, 7) can be omitted entirely.
  • the linearly polarized light beam (5) generated by the light source (1) is first collimated by the lens system (8) and then converted in the first polarization converter (9) into a circularly polarized light beam (5).
  • the circular polarization of the light beam (5) ensures that the polarization effect of the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) is independent of the respective angle of rotation of the polarization beam splitter (12) or the rotating deflection unit (2) .
  • the circularly polarized light beam (5) falls on the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) and is broken down there into two linearly polarized light components, the light output of the light beam (5) being halved almost without loss.
  • the first linearly polarized light component is reflected on the polarization layer (17) and forms the first partial beam (6). If the light beam (5) runs due to an exact adjustment in the direction of the optical axis (3) and the reflection layer (17) lies at an angle of 45 °, then the first partial beam (6) emerges perpendicular to the optical axis (3) the deflection unit (2) and reaches the reference plane in the target position.
  • the light beam (5) strikes the polarization layer (17) at an angle to the optical axis (3).
  • the first partial beam (6) occurs with a corresponding angular Kelab 'deviation from the vertical of the deflection unit (2) and reaches the reference plane with a position offset from the target position.
  • the second linearly polarized light component (20) is passed through the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) and directed in the direction of the reflector (14) to the second polarization converter (13), which determines the state of polarization linearly polarized light component (20) changed.
  • the light component (20 ') is reflected on the reflector (14), the polarization state being changed again.
  • the reflected light component (20 ') again passes through the second polarization converter (13) but in the opposite direction. This results in a rotation of the polarization plane by 90 ° with respect to the polarization plane of the light component (20) running in the direction of the reflector (14). whereby the light component (20 ') coming from the reflector (14') is reflected on the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) as a second partial beam (7)
  • the second partial beam (7) emerges from the deflection unit (2) perpendicular to the optical axis (3) and reaches the deflection unit after half a revolution.
  • the transmitted light component also falls on the reflector (14) and according to the invention at this angle is thrown back into itself, ie while maintaining the respective angle, onto the polarization converter (13) and the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12).
  • the second partial beam (7) thereby still occurs with an angular deviation of the perpendicular from the deflection unit (2), but the angular deviation of the second partial beam (7) has the same direction as the angular deviation of the first partial beam (6) with respect to the desired position.
  • the disruptive influence of the position offset of the two partial beams (6, 7) is advantageously, for example, on the Recording quality of a recorder reduced
  • the use of the reflector (14) according to the invention also has the advantage that positional tolerances that arise when the reflector is installed in the deflection unit (2), unlike those of a plane mirror, are not critical with regard to the positional offset of the partial beams (6, 7) are To completely correct the position offset of the two partial beams (6, 7) and to simultaneously correct any installation tolerances that may be present, it is additionally proposed to carry out an automatic beam position correction in the rotating light deflector (2) such that both partial beams (6, 7 ) are always in the target position in the reference plane, on which both partial beams (6, 7) are focused.
  • this is advantageously independent of angular errors of the light beam (5) impinging on the deflection unit (2) and of installation tolerances of the polarization beam splitter (12), i. H. good recording quality achieved without complex manual adjustments.
  • the automatic beam position correction is advantageously carried out by changing the angle of inclination of the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) and / or by moving at least one of the lenses (15, 16) essentially in the direction of the optical axis (3).
  • the change in the angle of inclination of the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12) is compact by tilting the polarization beam splitter (12) or, if polarization beam splitter (12), polarization converter (13) and reflector (14) are combined to form a unit by tilting the entire deflection unit (2).
  • FIG. 2 shows an exemplary embodiment of a beam splitter device in which the polarization beam splitter (12), polarization converter (13) and reflector (14) are connected to one another in a compact manner and in which a tilt angle control is used for the automatic beam position correction the entire rotating deflection unit (2) is carried out, so that at the same time there is a change in the angle of inclination of the polarization layer (17) and a shift of the lenses (15, 16).
  • the reflector (14) can be designed as a plane mirror or, as shown, as a roof prism or as a triple prism.
  • the entire deflection unit (2) is mounted on a cylindrical support (22) by means of a bearing (21) which can be tilted about the optical axis (3).
  • the carrier (22) is connected to the motor (4).
  • the mechanical construction of the bearing (21), carrier (22) and adjusting drive (23) must be designed in such a way that a rotationally symmetrical mass distribution is achieved.
  • the adjustment drive (23) is, for example, a piezo drive or a suitable magnetostrictive drive. Such drives are commercially available.
  • the transmitter (24) is, for example, an electromagnetic transmitter, with which an energy transfer for the piezo drive, which requires less than 1 mW of power, can be implemented without further notice.
  • the detection of the position offsets of the two partial beams (6, 7) to one another and the determination of corresponding correction values for the beam position correction can be carried out in various ways.
  • the position offsets of the partial beams (6, 7) to one another in the reference plane (focal plane) can, for. B., as shown in the embodiment, can be measured by means of a position measuring stage (25).
  • the position measuring stage (25) is designed, for example, as a differential photodiode with two separate light-sensitive surfaces. The boundary line between the light-sensitive surfaces of the differential photodiode extends in the deflection direction of the partial beams (6, 7) and is in the desired position for the two partial beams (6, 7).
  • the photo currents of the differential photodiode generated by the incident partial beams (6, 7) are fed to a comparison stage (26) which generates position error values as a measure of the positional offset of the partial beams (6, 7) perpendicular to the deflection direction.
  • a position measuring stage is described in detail, for example, in EP-B-0 054 170.
  • the position error values are fed to a control amplifier (27) which is connected to the stationary winding (24a) of the transformer (24).
  • the position error values are converted in the control amplifier (27) into corresponding correction values which determine the necessary direction and amplitude of the adjustment of the adjustment drive (23).
  • a primary alternating voltage is generated from the correction values and this is fed to the stationary winding (24a).
  • the primary AC voltage induces a secondary AC voltage in the rotating winding (24b) of the transformer (24), which is converted into a DC voltage in a rectifier.
  • the direct voltage supplied to the adjusting drive (23) causes the deflection unit (2) to tilt accordingly until a tilt angle is reached at which the two partial beams (6, 7) are in the desired position in the reference plane.
  • the correction values required for correcting the position offsets of the partial beams (6, 7) are determined, for example, in a measuring phase before actual operation and are stored in the control amplifier (27). During operation, the stored correction values for the current position correction of the two partial beams (6, 7) are then transmitted to the adjustment drive (23).
  • the position offset of the partial beams (6, 7) is measured by means of the position measuring stage at a separate measuring station for the beam splitter device, but preferably in the device in which the beam splitter device is installed. If the beam splitter device is used in an imagesetter or recorder, the reference surface for the position offset measurement is the exposure plane on which the film material to be exposed is arranged. In this case, the position error values or correction values for the beam position correction, alternatively to the position error measurement, can also be determined in such a way that in the recorder (imagesetter) a film is first exposed in strip form with various predetermined correction values and the exposed film for determining the optimal correction value is evaluated visually or by measurement.
  • the deflection unit (2) according to FIG. 2 can be modified accordingly.
  • the lenses (15, 16) can be stored, for example, in a cylindrical lens holder which is open on one side and which encases the components of the deflection unit (2) and one end face of which is attached to the outer surface of the carrier (22) that the lens holder does not follow the tilting movement of the deflection unit (2).
  • Fig. 3 shows a further embodiment of a beam splitter device in which the automatic beam position correction is carried out by moving the lenses (15, 16) by means of the adjustment drives (23) in the direction of the optical axis (3).
  • the reflector (14) can be designed as a plane mirror or, as shown, as a roof prism or as a triple prism.
  • the position offsets of the partial steels (6, 7) are measured and the corresponding correction values are transmitted to the adjustment drives (23) as described in FIG. 2.
  • FIG. 4 shows an application example for the beam splitter device according to the invention in a scanning device (28) of a recorder (imagesetter) working according to the inner drum principle.
  • Drawing material (29) fixed to the inner wall of a cylinder segment as an exposure trough (30).
  • the scanning device (28) rotates about the longitudinal axis (31) of the exposure trough (30).
  • the scanning device (28) has the beam splitter device shown in FIG. 1.
  • the partial beams (6, 7) are brightness-modulated by an image signal and guided over the recording material (29) point by point and line by line for exposure.
  • the scanning device (28) moves in the direction of the longitudinal axis (31) by means of a drive (not shown).
  • Each revolution of the light beam deflection device is subdivided into a working area (32) or a working time interval and a return area (33) or a return time interval / all. While one partial beam (6 or 7) is active and covers the working area (32) from the beginning of a line to the end of the line to expose the recording material (29), the respective inactive partial beam (7 or 6) in the return area (33) to the beginning of the next line. Recording with two partial beams (6, 7) doubles the efficiency of the imagesetter.
  • the two illuminating partial beams (6, 7) each have 50% of the light output of the input light beam (5) supplied to the beam splitter device.
  • greater light output is often required to illuminate certain materials.
  • FIG. 5 shows an advantageous development of a beam splitter device with an inactive partial beam (6 or 7) which can be switched off in the respective return interval in order to increase the light output of the respectively active partial beam (7 or 6).
  • the beam splitter device according to FIG. 5 differs from that according to FIG. 1 in that the stationary first polarization converter (9) is replaced by a controllable polarization converter (34) and in the rotating deflection unit (2) the polarization beam splitter (12) is arranged a polarization converter (35) which can be connected to the polarization beam splitter (12), for example by gluing.
  • a programmable angular momentum transmitter (36) is arranged on the optical axis, which is mechanically connected to the motor (4) and delivers a two-level control signal via a line (37) to the controllable polarization converter (34).
  • the rotary pulse generator (36) is programmable in such a way that in each revolution of the deflection unit (2) the two-level control signal during the working range (Fig. 4; 32) of the one partial beam (6 or 7) the one signal level and during the feedback range ( Fig. 4, 33) of the other sub-beam (7 or 6) occupies the other signal level.
  • the lengths of the working areas and the return areas of the partial beams (6, 7) can thus advantageously be determined independently of one another by the type of programming.
  • the controllable polarization converter (34) contains an electro-optical modulator, which converts the linear polarization of an incident light beam into a circular polarization and switches the direction of rotation of the circular polarization as a function of the respective signal level of the control signal on the line (37).
  • the polarization converter (34) is designed as a wave plate, for example as a ⁇ / 4 plate
  • the linear polarization of the light beam (5) coming from the light source (1) is first converted into a circular polarization in the controllable polarization converter (34). Depending on the respective signal level of the control signal, the direction of rotation of the circular polarization is then switched.
  • the conversion of the linear polarization of the light beam (5) into the circular polarization and the change of the direction of rotation of the circular polarization can of course also be carried out in separate modules
  • the circular polarization of the light beam (5) is then converted into a linear polarization with a first polarization state, for example a linear polarization with a 0 °, depending on the respective direction of rotation of the circular polarization - Polarization level, or implemented with a second polarization state, for example in a linear polarization with a 90 ° polarization level.
  • the linearly polarized light beam (5) has the first polarization state
  • the light beam (5) is reflected on the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12), but is not transmitted by it, so that only the first partial beam (6) is included almost the full light output of the light beam (5) is created.
  • the linearly polarized light beam (5) has the second polarization state
  • the light beam (5) is let through by the polarization layer (17) of the polarization beam splitter (12), but is not reflected by it, so that only the second partial beam (7) is formed with almost the full light output of the light beam (5).
  • the beam splitter device according to the invention can be used in recording devices of the inner drum type or of the flat bed type. It is within the scope of the invention to also use the beam splitter device in original scanning devices.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen. Die Vorrichtung besteht aus einer stationären Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtstrahles (5), einem ersten Polarisations-Umsetzer (9) und einer um die optische Achse (3) rotierenden Ablenkeinheit (2), in der aus dem Lichtstrahl (5) zwei Teilstrahlen (6, 7) erzeugt werden. Die Ablenkeinheit (2) enthält einen Polarisations-Strahlteiler (12), einen nachgeschalteten zweiten Polarisations-Umsetzer (13) und einen Reflektor (14), der vorzugsweise als Prisma ausgebildet ist. In der Ablenkeinheit (2) wird eine automatische Korrektur von Positionsversätzen der Teilstrahlen (6, 7) durchgeführt, indem mittels Verstellantriebe (23) der Polarisations-Strahlteiler (12) bzw. die Ablenkeinheit (2) gekippt und/oder die Linsen (15, 16) verschoben werden. Die Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) werden in ihrer Fokusebene gemessen, und es werden entsprechende Korrekturwerte mittels eines Übertragers (24) an die Verstellantriebe (23) in der rotierenden Ablenkeinheit (2) übermittelt.

Description

Vorrichtung zur Strahlteilunq
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Reproduktionstechnik und betrifft eine Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen.
Eine solche Vorrichtung zur Strahlteilung kann beispielsweise in einer Lichtstrahl- Abtasteinrichtung für Vorlagen-Abtastgeräte oder Aufzeichnungsgeräte Anwendung finden.
Bei einem Vorlagen-Abtastgerät, auch Eingabe-Scanner genannt, überstreicht der Lichtstrahl punkt- und zeilenweise die abzutastende Vorlage, und das von der Vorla¬ ge reflektierte oder durchgelassene Abtastlicht wird in einem optoelektronischen Wandler in ein Bildsignal umgewandelt.
Bei einem Aufzeichnungsgerät, auch Recorder, Belichter oder Ausgabe-Scanner ge¬ nannt, wird der Lichtstrahl durch ein Bildsignal intensitätsmoduliert und der intensi- tätsmodulierte Lichtstrahl punkt- und zeilenweise über ein lichtempfindliches Auf¬ zeichnungsmaterial geführt.
Bei einem Abtast- oder Aufzeichnungsgerät vom Flachbett-Typ ist die Halterung für die Vorlage bzw. das Aufzeichnungsmaterial eine ebene, relativ zur Lichtstrahl- Abtasteinrichtung bewegte Fläche, die der Lichtstrahl punkt- und zeilenweise über¬ streicht.
Bei einem Abtast- oder Aufzeichnungsgerät vom Innentrommel-Typ ist die Halterung für die Vorlage bzw. das Aufzeichnungsmaterial als stationäre, zylindersegment- förmige Mulde ausgebildet. Die Lichtstrahl-Abtasteinrichtung bewegt sich parallel zur Längsachse der Mulde, und der Lichtstrahl wird punkt- und zeilenweise senkrecht zur Längsachse radial über die Mulde geführt. Aus der DE-A- 1 28 468 ist bereits eine Lichtstrahl-Abtasteinrichtung mit einer Vor¬ richtung zu Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen bei einem Aufzeichnungs¬ gerät vom Innentrommel-Typ bekannt. Die Strahlteiler-Vorrichtung weist im wesent¬ lichen eine stationäre Lichtquelle und eine Ablenkeinheit auf, die sich um eine op- tische Achse dreht. Die Ablenkeinheit besteht aus einem Polarisations-Strahlteiler, einem Polarisations-Umsetzer und einem Planspiegel.
Der von der stationären Lichtquelle kommende, polarisierte Lichtstrahl wird in der ro¬ tierenden Ablenkeinheit durch den Polarisations-Strahlteiler in zwei Teilstrahlen zer- legt, die von einem Bildsignal intensitätsmoduliert werden. Die beiden intensitäts- modulierten Teilstrahlen treten radial versetzt aus der Ablenkeinheit aus, werden auf ein in einer Belichtungsmulde fixiertes Aufzeichnungsmaterial fokussiert und belich¬ ten punkt- und zeilenweise das Aufzeichnungsmaterial, Mit den beiden intensitätsmo- dulierten Teilstrahlen werden pro Umdrehung der Ablenkeinheit zwei Zeilen auf dem Aufzeichnungsmaterial belichtet, wodurch eine hohe Aufzeichnungsgeschwindigkeit erzielt wird.
Um auch eine hohe Aufzeichnungsqualität zu erzielen, dürfen die beiden Teilstrahlen in der Aufzeichnungsebene keinen Positionsversatz senkrecht zur Zeilenrichtung ge- genüber einer Sollposition aufweisen, in der beide Teilstrahlen in Deckung sind. Auf¬ grund eines solchen Positionsversatzes würden die auf dem Aufzeichnungsmaterial belichteten Zeilen nämlich nicht gleichabständig zueinander verlaufen, und störende Tonwertschwankungen wären die Folge, welche die Aufzeichnungsqualität erheblich mindern.
Die bekannte Strahlteiler-Vorrichtung hat den Nachteil, daß der in der stationären Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl sehr genau in Richtung der optischen Achse bzw. der Drehachse der Ablenkeinheit justiert sein muß, damit die Teilstrahlen jeweils nach ei¬ ner halben Umdrehung der Ablenkeinheit auf einer Zeile in der Aufzeichnungsebene ohne Positionsversatz senkrecht zur Zeilenrichtung auftreffen. Ist der Lichtstrahl bei der bekannten Strahlteiler-Vorrichtung nicht genau ausgerichtet, weisen die beiden Teilstrahlen jedoch einen bezüglich der Sollposition entgegengesetzt gerichteten Positionsversatz auf, d. h. die Strahlpositionen liegen links und rechts der Sollpositi¬ on, wodurch ein relativ großer Positionsfehler entsteht. Eine genaue Justierung ist aber aufwendig und geht mit der Zeit verloren, so daß eventuell eine Nachjustierung erforderlich wird. Störende Positionsversätze der Teilstrahlen entstehen auch, wenn der Polarisations-Strahlteiler und der Planspiegel in der Ablenkeinheit aufgrund von Fertigungstoleranzen nicht genau zueinander ausgerichtet sind. Zur Kompensation von durch eine ungenaue Ausrichtung der optischen Bauelemente entstandenen Fehlern, weist die bekannte Strahlteiler-Vorrichtung beispielsweise eine einstellbare optische Justiervorrichtung in Form einer Keilplatte auf, die im Strahlengang zwi¬ schen Lichtquelle und Ablenkeinheit angeordnet ist. Eine derartige Justierung ist aber relativ aufwendig und ungenau, da sie nur durchgeführt werden kann, wenn sich die Strahlteiler-Vorrichtung nicht dreht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung zur Strahlteilung derart zu verbessern, daß störende relative Positionsfehler der Teilstrahlen zuein¬ ander selbsttätig korrigiert werden und daß eine genaue Strahlteilung erreicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die in den Ansprüchen angegebenen Merkmale gelöst.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Fig. 1 bis 5 näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel für eine Strahlteiler-Vorrichtung,
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für eine Strahlteiler-Vorrichtung mit einer Strahlpositions-Korrektur, Fig. 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel für die Strahlteiler-Vorrichtung mit einer Strahlpositions-Korrektur,
Fig. 4 ein Anwendungsbeispiel für die Strahlteiler-Vorrichtung und
Fig. 5 eine Weiterbildung der Strahlteiler-Vorrichtung.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Strahlteiler-Vorhchtung, die aus einer stationären Lichtquelle (1 ) und aus einer Ablenkeinheit (2) besteht. Die stationäre Lichtquelle (1 ) ist beispielsweise eine Halbleiter-Laserdiode. Die Ablenkeinheit (2) ist um eine optische Achse (3) drehbar gelagert und wird von einem Motor (4) angetrie¬ ben. In der stationären Lichtquelle (1 ) wird ein parallel zur optischen Achse (3) ver¬ laufender Lichtstrahl (5) erzeugt. Der Lichtstrahl (5) wird in der Ablenkeinheit (2) in zwei radial zu der optischen Achse (3) verlaufende Teilstrahlen (6,7) zerlegt.
Die Strahlteilung kann mit einem nicht polarisierten oder einem polarisierten Licht¬ strahl (5) durchgeführt werden. Im Ausführungsbeispiel erzeugt die Lichtquelle (1 ) ei¬ nen linear polarisierten Lichtstrahl (5), der in einen zirkulär polarisierten Lichtstrahl (5) umgesetzt wird. Grundsätzlich kann auch jede andere Lichtquelle, die einen nicht polarisierten Lichtstrahl erzeugt, in Verbindung mit einem Polarisator verwendet wer¬ den, um den linear oder zirkulär polarisierten Lichtstrahl (5) zu erzeugen.
Zwischen der Lichtquelle (1 ) und der Ablenkeinheit (2) sind auf der optischen Achse (3) ein Linsensystem (8) und ein erster Polarisations-Umsetzer (9) zur Transformation einer linearen Polarisation in eine zirkuläre Polarisation angeordnet. Der erste Polari¬ sations-Umsetzer (9) kann entfallen, wenn zur Strahlteilung ein nicht polarisierter oder bereits ein zirkularpolarisierter Lichtstrahl (5) herangezogen wird.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel erzeugt das Linsensystem (8) einen parallelen, d. h. nicht vorfokussierten Lichtstrahl (5), und der Polarisations-Umsetzer (9) ist als Wellenplatte, beispielsweise als λ/4-Platte, ausgebildet. Die Ablenkeinheit (2) besteht im wesentlichen aus einem Polarisations-Strahlteiler (12), einem zweiten Polarisations-Umsetzer (13) und einem Reflektor (14). Die opti¬ schen Elemente sind auf der optischen Achse (3) hintereinander angeordnet und miteinander zu einer kompakten Einheit, beispielsweise durch Klebung, zusammen¬ gefaßt.
Der Polarisations-Strahlteiler (12) hat eine Polarisationsschicht (17), von der ein po¬ larisierter Lichtstrahl in Abhängigkeit von der Polarisationsrichtung reflektiert oder durchgelassen wird. Die Polarisationsschicht (17) wird in der Regel aus mehreren dielektrischen Schichten mit unterschiedlichen Brechungsindizes gebildet. Alternativ kann die Polarisationsschicht (17) aus einer polarisierenden Folie aus Kunststoff oder einem anderen geeigneten Material bestehen. Als Träger für die Polarisationsschicht (17) kann eine Glasplatte oder, wie im Ausführungsbeispiel, ein aus zwei Dreikant- prismen (18, 19) gebildeter Würfel verwendet werden, wobei die Polarisationsschicht (17) im Bereich der einander zugewandten Begrenzungsflächen der Dreikantprismen (18, 19) angeordnet ist.
Der zweite Polarisations-Umsetzer (13) ist beispielsweise eine doppelbrechende Platte, die zusammen mit dem Reflektor (14) eine 90°-Drehung der Polarisations¬ ebene eines linear polarsierten Lichtstrahles bewirkt.
Zur Vermeidung der in der Beschreibungseinleitung erwähnten aufwendigen Justie¬ rung des aus der stationären Lichtquelle (1 ) austretenden Lichtstrahles (5) in Rich- tung der optischen Achse (3) ist der Reflektor (14) erfindungsgemäß als Prisma mit mindestens zwei im Winkel von 90° zueinander stehenden Spiegelflächen ausgebil¬ det. Bei einem solchen Prisma tritt ein unter einem beliebigen Winkel einfallender Lichtstrahl um 180° abgelenkt parallel zum einfallenden Lichtstrahl wieder aus dem Prisma aus. Als Prisma kann vorzugsweise, wie im Ausführungsbeispiel dargestellt, ein Dachkantprisma oder ein Tήpelprisma bzw. Tripelspiegel verwendet werden. Ein Tripelprisma weist drei unter 90° zueinander stehende Spiegelflächen auf, die an ei- ner Spiegelecke aneinanderstoßen. Ein unter einem beliebigen Winkel in das Tri- pelprisma einfallender Lichtstrahl kehrt nach dreifacher Reflexion um 180° abgelenkt parallel zum einfallenden Lichtstrahl zurück, wobei die Richtungsumkehr invariant gegen eine Drehung des Tripelprismas um eine beliebige Achse ist.
Zur Fokussierung der Teilstrahlen (6, 7) auf eine Bezugsebene weist die Strahlteiler- Vorrichtung optische Mittel auf.
Im dargestelten Ausführungsbeispiel, bei dem ein nicht vorfokussierter Lichtstrahl (5) geteilt wird, wird der erste Teilstrahl (6) durch eine in seinem Strahlengang ange¬ ordnete Linse (15) auf die Bezugsebene fokussiert. Alternativ dazu kann die Linse (15) auch im Strahlengang des Lichtstrahles (5) zwischen dem Linsensystem (8) und der Ablenkeinheit (2) angeordnet werden, beispielsweise stationär hinter dem ersten Polarisations-Umsetzer (9) oder vor dem Polarisations-Strahlteiler (12) in der rotie- renden Ablenkeinheit (2). Der zweite Teilstrahl (7) wird durch eine in seinem Strah¬ lengang angeordnete Linse (16) auf die Bezugsebene fokussiert. Alternativ dazu kann die Linse (16) auch in der rotierenden Ablenkeinheit (2) zwischen Polarisations- Strahlteiler (12) und Reflektor (14) angeordnet werden. Anstelle von jeweils einer Lin¬ se kann auch eine Linsen-Kombination verwendet werden.
Wird, wie im dargestellten Ausführungsbeispiel, ein nicht vorfokussierter Lichtstrahl (5) geteilt, haben die zur Fokussierung des ersten und zweiten Teilstrahles (6, 7) verwendeten Linsen gleiche optische Parameter. Wird dagegen ein durch eine ent¬ sprechende Ausbildung und Anordnung des Linsensystems (8) vorfokussierter Licht- strahl geteilt, haben die entsprechenden Linsen zur Fokussierung des ersten und zweiten Teilstrahles (6, 7) unterschiedliche optische Parameter, wobei die Fokus- siermittel in diesem Fall für einen der Teilstrahlen (6, 7) ganz entfallen können.
Nach der Beschreibung des Aufbaus der Strahlteiler-Vorrichtung wird deren Wir- kungsweise näher erläutert. Der von der Lichtquelle (1 ) erzeugte linear polarisierte Lichtstrahl (5) wird zunächst von dem Linsensystem (8) kollimiert und dann in dem ersten Polarisations-Umsetzer (9) in einen zirkulär polarisierten Lichtstrahl (5) umgewandelt. Durch die Zirkularpola¬ risation des Lichtstrahles (5) wird erreicht, daß die Polarisationswirkung der Polarisa- tionsschicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) unabhängig vom jeweiligen Drehwinkel des Polarisations-Strahteilers (12) bzw. der rotierenden Ablenkeinheit (2) ist.
Der zirkulär polarisierte Lichtstrahl (5) fällt auf die Polarisationsschicht (17) des Pola- risations-Strahlteilers (12) und wird dort in zwei linear polarisierte Lichtkomponenten zerlegt, wobei die Lichtleistung des Lichtstrahles (5) nahezu verlustfrei halbiert wird. Die erste linear polarisierte Lichtkomponente wird an der Polarisationsschicht (17) re¬ flektiert und bildet den ersten Teilstrahl (6). Verläuft der Lichtstrahl (5) aufgrund einer exakten Justierung in Richtung der optischen Achse (3) und liegt die Reflexions- Schicht (17) unter einem Winkel von 45°, so tritt der erste Teilstrahl (6) senkrecht zur optischen Achse (3) aus der Ablenkeinheit (2) aus und erreicht die Bezugsebene in der Sollposition. Fehlt eine Justierung oder wurde eine Justierung nicht exakt durch¬ geführt, trifft der Lichtstrahl (5) unter einem Winkel zur optischen Achse (3) auf die Polarisationsschicht (17). Der erste Teilstrahl (6) tritt mit einer entsprechenden Win- kelab'weichung von der Senkrechten aus der Ablenkeinheit (2) aus und erreicht die Bezugsebene mit einem Positionsversatz gegenüber der Sollposition.
Die zweite linear polarisierte Lichtkomponente (20) wird durch die Polarisations¬ schicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) durchgelassen und in Richtung des Reflektors (14) auf den zweiten Polarisations-Umsetzer (13) geleitet, der den Polari¬ sationszustand der linear polarisierten Lichtkomponente (20) verändert. Die Licht¬ komponente (20') wird an dem Reflektor (14) reflektiert, wobei der Polarisationszu¬ stand wieder verändert wird. Die reflektierte Lichtkomponente (20') durchläuft erneut den zweiten Polarisations-Umsetzer (13) aber in entgegengesetzter Richtung. Da- durch wird eine Drehung der Polarisationsebene um 90° gegenüber der Polarisation¬ sebene der in Richtung des Reflektors (14) laufenden Lichtkomponente (20) erreicht, wodurch die von dem Reflektor (14) kommende Lichtkomponente (20') an der Polaπ- sationsschicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) als zweiter Teilstrahl (7) re¬ flektiert wird
Verlauft der Lichtstrahl (5) aufgrund einer exakten Justierung wiederum in Richtung der optischen Achse (3), tritt der zweite Teilstrahl (7) senkrecht zur optischen Achse (3) aus der Ablenkemheit (2) aus und erreicht nach einer halben Umdrehung der Ab- lenkeinheit (2) die Bezugsebene ebenfalls in der Sollposition auf einer Zeile
Tritt der Lichtstrahl (5) aufgrund einer fehlenden oder ungenauen Justierung dagegen um einen Winkel gegenüber der optischen Achse (3) geneigt in den Polarisations- Strahlteiler (12) ein, fallt die durchgelassene Lichtkomponente auch unter diesem Winkel auf den erfmdungsgemaßen Reflektor (14) und wird von diesem in sich, d h unter Beibehaltung des jeweiligen Winkels, auf den Polaπsations-Umsetzer (13) und die Polaπsationsschicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) zurückgeworfen Der zweite Teilstrahl (7) tritt dadurch zwar immer noch mit einer Winkelabweichung von der Senkrechten aus der Ablenkemheit (2) aus, aber die Winkelabweichung des zweiten Teilstrahles (7) hat, bezogen auf die Sollposition, dieselbe Richtung wie die Winkelabweichung des ersten Teilstrahles (6)
Dadurch, daß sich nunmehr die Winkelfehler aufgrund des erfmdungsgemaßen Re¬ flektors (14) auf beide Teilstrahlen (6, 7) identisch auswirken, wird in vorteilhafter Weise der störende Einfluß des Positionsversatzes der beiden Teilstrahlen (6, 7) bei¬ spielsweise, auf die Aufzeichnungsqua tat eines Recorders verkleinert
Die Verwendung des erfmdungsgemaßen Reflektors (14) hat darüber hinaus den Vorteil, daß Lagetoleranzen, die beim Einbau des Reflektors in die Ablenkemheit (2) entstehen, im Gegensatz zu denen eines Planspiegels, unkritisch in Bezug auf den Positionsversatz der Teilstrahlen (6, 7) sind Zur vollständigen Korrektur des Positionsversatzes der beiden Teilstrahlen (6, 7) und zur gleichzeitigen Korrektur von eventuell vorhandenen Einbautoleranzen wird zu¬ sätzlich vorgeschlagen, in dem rotierenden Lichtablenker (2) eine automatische Strahlpositions-Korrektur derart durchzuführen, daß sich beide Teilstrahlen (6, 7) stets in der Sollposition in der Bezugsebene befinden, auf die beide Teilstrahlen (6, 7) fokussiert sind.
Dadurch wird beispielsweise bei einem Recorder in vorteilhafter Weise unabhängig von Winkelfehlern des auf die Ablenkeinheit (2) auftreffenden Lichtstrahles (5) und von Einbautoleranzen des Polarisations-Strahlteilers (12), d. h. ohne aufwendige ma¬ nuelle Justierungen, eine gute Aufzeichnungsqualität erreicht.
Die automatische Strahlpositions-Korrektur erfolgt in vorteilhafter Weise durch Ände¬ rung des Neigungswinkles der Polarisationsschicht (17) des Polarisations-Strahteilers (12) und/oder durch Verschieben mindestens einer der Linsen (15, 16) im wesentli¬ chen in Richtung der optischen Achse (3).
Die Änderung des Neigungswinkles der Polarisationsschicht (17) des Polarisations- Strahlteilers (12) wird durch Kippen des Polarisations-Strahlteilers (12) oder, falls Polarisations-Strahlteiler (12), Polarisations-Umsetzer (13) und Reflektor (14) kom¬ pakt miteinander zu einer Einheit zusammengefaßt sind, durch Kippen der gesamten Ablenkeinheit (2) erreicht.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Strahlteiler-Vorrichtung, bei der Polari- sations-Strahlteiler (12), Polarisations-Umsetzer (13) und Reflektor (14) kompakt miteinander verbunden sind und bei der zur automatischen Strahlpositions-Korrektur eine Kippwinkel-Steuerung der gesamten rotierenden Ablenkeinheit (2) durchgeführt wird, so daß gleichzeitig eine Änderung des Neigungswinklels der Polarisations¬ schicht (17) und eine Verschiebung der Linsen (15, 16) erfolgt. Durch die automati- sehe Strahlpositions-Korrektur kann der Reflektor (14) als Planspiegel oder, wie dar¬ gestellt, als Dachkantprisma bzw. als Tripelprisma ausgebildet sein. Die gesamte Ablenkeinheit (2) ist mittels eines Lagers (21) um die optische Achse (3) kippbar an einem zylindrischen Träger (22) gelagert. Der Träger (22) ist mit dem Mo¬ tor (4) verbunden. In den Träger (22) ist ein VerStellantrieb (23) zum Kippen der Ab- lenkeinheit (2) und die Wicklung (24a) mindestens eines Übertragers (24) eingebaut, dessen andere Wicklung (24b) in einem Abstand vom Träger (22) stationär angeord¬ net ist. Die mechanische Konstruktion von Lager (21), Träger (22) und VerStellantrieb (23) muß so gestaltet sein, daß eine rotationssymmetrische Massenverteilung er¬ reicht wird. Der VerStellantrieb (23) ist beispielsweise ein Piezoantrieb oder ein ge- eigneter magnetostriktiver Antrieb. Solche Antriebe sind im Handel erhältlich. Der Übertrager (24) ist z.B. ein elektromagnetischer Übertrager, mit dem sich ohne weite¬ res eine Energieübertragung für den Piezoantrieb, der weniger als 1 mW Leistung benötigt, realisieren läßt.
Die Erfassung der Positionsversätze der beiden Teilstrahlen (6, 7) zueinander und die Ermittlung entsprechender Korrekturwerte für die Strahlpositions-Korrektur kön¬ nen auf verschiedene Art und Weise erfolgen.
Der Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) zueinander in der Bezugsebene (Fokus- ebene) können z. B., wie im Ausführungsbeispiel dargestellt, mittels einer Positions- Meßstufe (25) gemessen werden. Die Positions-Meßstufe (25) ist beispielsweise als Differential-Fotodiode mit zwei voneinander getrennten lichtempfindlichen Flächen ausgebildet. Die Grenzlinie zwischen den lichtempfindlichen Flächen der Differential- Fotodiode erstreckt sich in Ablenkrichtung der Teilstrahlen (6, 7) und befindet sich in der Sollposition für die beiden Teilstrahlen (6, 7). Die durch die einfallenden Teilstrah¬ len (6, 7) erzeugten Fotoströme der Differential-Fotodiode werden einer Vergleichs- Stufe (26) zugeführt, die Positionsfehlerwerte als Maß für den Positionsversatz der Teilstrahlen (6, 7) senkrecht zur Ablenkrichtung erzeugt. Eine solche Positions-Me߬ stufe wird beispielsweise in der EP-B-0 054 170 ausführlich beschrieben. Die Positionsfehlerwerte werden einem Regelverstärker (27) zugeführt, der mit der stationären Wicklung (24a) des Übertragers (24) verbunden ist. In dem Regelverstär¬ ker (27) werden die Positionsfehlerwerte in entsprechende Korrekturwerte umgesetzt, welche die notwendige Richtung und Amplitude der Verstellung des VerStellantriebes (23) bestimmen. Zur Energieübertragung an den VerStellantrieb (23) wird aus den Korrekturwerten eine primäre Wechselspannung erzeugt und diese der stationären Wicklung (24a) zugeführt. Die primäre Wechselspannung induziert in der rotierenden Wicklung (24b) des Übertragers (24) eine sekundäre Wechselspannung, die in einem Gleichrichter in eine Gleichspannung umgeformt wird. Die dem Versteilantrieb (23) zugeführte Gleichspannung bewirkt eine entsprechende Kippung der Ablenkeinheit (2) bis ein Kippwinkel erreicht ist, bei dem sich die beiden Teilstrahlen (6, 7) in der Sollposition in der Bezugsebene befinden.
Die zur Korrektur der Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) benötigten Korrektur- werte werden beispielsweise in einer Meßphase vor dem eigentlichen Betrieb ermit¬ telt und in dem Regelverstärker (27) gespeichert. Während des Betriebes werden dann die gespeicherten Korrekturwerte zur laufenden Positionskorrektur der beiden Teilstrahlen (6, 7) an den VerStellantrieb (23) übertragen.
Die Messung des Positionsversatzes der Teilstrahlen (6, 7) mittels der Positions- Meßstufe wird an einem separaten Meßplatz für die Strahlteiler-Vorrichtung, vor¬ zugsweise aber in demjenigen Gerät vorgenommen, in das die Strahlteiler-Vorrich¬ tung eingebaut ist. Wird die Strahlteiler-Vorrichtung in einem Belichter oder Recorder verwendet, ist die Bezugsfläche für die Positionsversatzmessung die Belichtungs- ebene, auf der das zu belichtende Filmmaterial angeordnet ist. In diesem Fall können die Positionsfehlerwerte bzw. Korrekturwerte für die Strahlpositions-Korrektur alter¬ nativ zur Positionsfehlermessung auch derart ermittelt werden, daß im Recorder (Be¬ lichter) zunächst mit verschiedenen vorgegebenen Korrekturwerten ein Film streifen- förmig belichtet und der belichtete Film zur Ermittlung des optimalen Korrekturwertes visuell oder meßtechnisch ausgewertet wird. Prinzipiell ist es ausreichend, nur einen Übertrager (24) am Umfang des Trägers (22) vorzusehen und nur einen Korrekturwert pro Umdrehung an den Piezoantrieb zu übertragen, da dieser kapazitives Verhalten hat. Es ist aber wegen der rotationssym¬ metrischen Massenverteilung zweckmäßig, mehrere Übertrager (24) bzw. mehrere mit dem Träger (22) rotierende Wicklungen (24b) und stationäre Wicklungen (24a) vorzusehen.
Falls bei der Kippung der Ablenkheit (2) keine gleichzeitige Verschiebung der Linsen (16, 17) stattfinden soll, läßt sich die Ablenkeinheit (2) nach Fig. 2 konstruktiv ent- sprechend verändern. Dazu können die Linsen (15, 16) beispielsweise in einer ein¬ seitig offenen zylinderförmigen Linsen-Halterung gelagert werden, welche die Kom¬ ponenten der Ablenkeinheit (2) umhüllt und deren eine Stirnseite an der Außenfläche des Träger (22) befestigt ist, so daß die Linsen-Halterung die Kippbewegung der Ab¬ lenkeinheit (2) nicht mitmacht.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, die Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) wäh¬ rend des Betriebes durch eine laufende Regelung zu korrigieren, indem die Positi¬ onsversätze kontinuierlich gemesssen und entsprechende Korrekturwerte zu dem ro¬ tierenden Ablenker (2) übertragen werden.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine Strahlteiler-Vorrichtung, bei der die automatische Strahlpositions-Korrektur durch Verschieben der Linsen (15, 16) mittels der VerStellantriebe (23) in Richtung der optischen Achse (3) durchgeführt wird. Auch bei dieser Ausführungsform kann der Reflektor (14) als Planspiegel oder, wie dargestellt, als Dachkantprisma bzw. als Tripelprisma ausgebildet sein. Die Mes¬ sung der Positionsversätze der Teilstahlen (6, 7) und die Übertragung der entspre¬ chenden Korrekturwerte an die VerStellantriebe (23) erfolgt wie in Fig. 2 beschrieben.
Fig. 4 zeigt ein Anwendungsbeispiel für die erfindungsgemäße Strahlteiler-Vorrich- tung in einer Abtasteinrichtung (28) eines nach dem Innentrommel-Prinzip arbeiten¬ den Recorders (Belichters). Bei einem solchen Innentrommel-Recorder ist das Auf- Zeichnungsmaterial (29) an der Innenwand eines Zylindersegments als Belichtungs¬ mulde (30) fixiert. Die Abtasteinrichtung (28) rotiert um die Längsachse (31 ) der Be¬ lichtungsmulde (30). Die Abtasteinrichtung (28) weist die in Fig. 1 dargestellte Strahl¬ teiler-Vorrichtung auf. Die Teilstrahlen (6, 7) werden von einem Bildsignal helligkeits- moduliert und zur Belichtung punkt- und zeilenweise über das Aufzeichnungsmaterial (29) geführt. Dabei bewegt sich die Abtasteinrichtung (28) in Richtung der Längs¬ achse (31 ) mittels eines nicht dargestellten Antriebes. Jede Umdrehung der Licht¬ strahl-Ablenkvorrichtung ist in einen Arbeits-Bereich (32) bzw. ein Arbeits-Zeitintervall und einen Rückführungs-Bereich (33) bzw. ein Rückführungs-Zeitinteπ/all unterteilt. Während der eine Teilstrahl (6 bzw. 7) jeweils aktiv ist und zur Belichtung des Auf¬ zeichnungsmaterials (29) den Arbeits-Bereich (32) von dem Anfang einer Zeile zu dem Ende der Zeile überstreicht, wird der jeweils inaktive Teilstrahl (7 bzw. 6) in dem Rückführungs-Bereich (33) zum Anfang der nächsten Zeile zurückgeführt. Durch die Aufzeichnung mit zwei Teilstrahlen (6, 7) wird der Nutzungsgrad des Belichters ver- doppelt.
In den bisher beschriebenen Strahlteiler-Vorrichtungen zur Anwendung in Belichtern haben die beiden belichtenden Teilstrahlen (6, 7) jeweils 50% der Lichtleistung des der Strahlteiler-Vorrichtung zugeführten Eingangs-Lichtstrahles (5). Zur Belichtung von bestimmten Materialen wird aber oft eine größere Lichtleistung benötigt. Um eine größere Lichtleistung zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, die Entste¬ hung des jeweils inaktiven Teilstrahls (6 bzw. 7) während des Rückführungs-Interval- les zu verhindern, so daß keine Aufteilung der Lichtleistung erfolgt, und der jeweils aktive Teilstrahl (7 bzw. 6) nahezu die volle Lichtleistung des Eingangs-Lichtstrahles (5) aufweist.
Fig. 5 zeigt eine vorteilhafte Weiterbildung einer Strahlteiler-Vorrichtung mit einem abschaltbaren inaktiven Teilstrahl (6 bzw. 7) im jeweiligen Rückführungs-Intervall zur Vergrößerung der Lichtleistung des jeweils aktiven Teilstrahles (7 bzw. 6). Die Strahlteiler-Vorrichtung nach Fig 5 unterscheidet sich von der nach Fig. 1 da¬ durch, daß der stationäre erste Polaπsations-Umsetzer (9) durch einen steuerbaren Polarisations-Umsetzer (34) ersetzt ist und daß in der rotierenden Ablenkheitheit (2) vor dem Polarisations-Strahlteiler (12) ein Polarisations-Umsetzer (35) angeordnet ist, der mit dem Polarisations-Strahlteiler (12) beispielsweise durch Klebung verbun¬ den sein kann. Ferner ist auf der optischen Achse ein programmierbarer Drehimpuls¬ geber (36) angeordnet, der mit dem Motor (4) mechanisch verbunden ist und ein zweipegliges Steuersignal über eine Leitung (37) an den steuerbaren Polarisations- Umsetzer (34) liefert.
Der Drehimpulsgeber (36) ist derart programmierbar, daß in jeder Umdrehung der Ablenkemheit (2) das zweipeglige Steuersignal während des Arbeits-Bereiches (Fig 4; 32) des einen Teilstrahles (6 bzw 7) den einen Signalpegel und während des Rückführungs-Bereiches (Fig 4, 33) des anderen Teilstrahles (7 bzw 6) den anderen Signalpegel einnimmt. Somit lassen sich die Langen der Arbeits-Bereiche und der Rückführungs-Bereiche der Teilstrahlen (6, 7) in vorteilhafter Weise durch die Art der Programmierung unabhängig voneinander festlegen.
Der steuerbare Polarisations-Umsetzer (34) enthält einen elektrooptischen Modulator, welcher die Lmearpolarisation eines einfallenden Lichtstrahles in eine Zirkularpolari¬ sation umsetzt und die Drehrichtung der Zirkularpolaπsation in Abhängigkeit von dem jeweiligen Signalpegel des Steuersignals auf der Leitung (37) umschaltet. Der Polaπ- sations-Umsetzer (34) ist als Wellenplatte, beispielsweise als λ/4-Platte, ausgebildet
Die lineare Polarisation des von der Lichtquelle (1 ) kommenden Lichtstrahls (5) wird in dem steuerbaren Polarisations-Umsetzer (34) zunächst in eine zirkuläre Polarisati¬ on umgewandelt. In Abhängigkeit von dem jeweiligen Signalpegel des Steuersignals wird dann die Drehrichtung der Zirkularpolaπsation umgeschaltet Die Umsetzung der Linearpolarisation des Lichtstrahles (5) in die Zirkularpolarisation und die Änderung der Drehrichtung der Zirkularpolaπsation kann selbstverständlich auch in getrennten Baugruppen vorgenommen werden In dem mit der Ablenkeinheit (2) rotierenden Polarisations-Umsetzer (35) wird dann die zirkuläre Polarisation des Lichtstrahles (5) in Abhängigkeit von der jeweiligen Drehrichtung der Zirkularpolarisation in eine lineare Polarisation mit einem ersten Polarisationszustand, beispielsweise eine lineare Polarisation mit einer 0°- Polarisati¬ onsebene, oder mit einem zweiten Polarisationszustand, beispielsweise in eine linare Polarisation mit einer 90°-Polarisationsebene, umgesetzt.
Weist der linear polarisierte Lichtstrahl (5) den ersten Polarisationszustand auf, wird der Lichtstrahl (5) an der Polarisationsschicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) reflektiert, aber nicht von dieser durchgelassen, so daß nur der erste Teilstrahl (6) mit nahezu der vollen Lichtleistung des Lichtstrahles (5) entsteht. Weist der linear pola¬ risierte Lichtstrahl (5) dagegen den zweiten Polarsationszustand auf, wird der Licht¬ strahl (5) von der Polarisationsschicht (17) des Polarisations-Strahlteilers (12) durch- gelassen, aber nicht an dieser reflektiert, so daß nur der zweite Teilstrahl (7) mit na¬ hezu der vollen Lichtleistung des Lichtstrahles (5) gebildet wird.
Die erfindungsgemäße Strahlteiler-Vorrichtung kann bei Aufzeichnungsgeräten vom Innentrommel-Typ oder vom Flachbett-Typ Anwendung finden. Es liegt im Rahmen der Erfindung, die Strahlteiler-Vorrichtung auch bei Vorlagen-Abtastgeräten einzuset¬ zen.

Claims

Patentansprüche
1 . Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen, bestehend aus
- einer stationären Lichtquelle (1 ) zur Erzeugung eines Lichtstrahles (5) ent- lang einer optischen Achse (3),
- einem in der optischen Achse (3) vor der Lichtquelle (1 ) angeordneten Ob¬ jektiv (8) und
- einer von dem Lichtstrahl (5) beaufschlagten, um die optische Achse (3) ro¬ tierbaren Ablenkeinheit (2), welche enthält - einen Polarisations-Strahlteiler (12), welcher den polarisierten Lichtstrahl (5) in eine reflektierte, im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse (3) ver¬ laufende polarisierte Lichtkomponente als ersten Teilstrahl (6) und in eine durchgelassene, im wesentlichen in Richtung der optischen Achse (3) ver¬ laufende polarisierte Lichtkomponente (20) zerlegt, - einen auf der optischen Achse (3) hinter dem Polarisations-Strahlteiler (12) angeordneten Polarisations-Umsetzer (13) und einen Reflektor (14), welche die durchgelassene Lichtkomponente (20) in eine bezüglich der Polarisati¬ onsrichtung in der Phase um 90" gedrehte polarisierte Lichtkomponente (20') transformieren, wobei die auf den Polarisations-Strahlteiler (12) zu- rückgeworfene gedrehte polarisierte Lichtkomponente (20") an dem Polari¬ sations-Strahlteiler (12) als zweiter Teilstrahl (7) reflektiert wird, sowie
- Mittel zur Strahl-Fokussierung auf eine Bezugsebene, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß zur Korrektur von relativen Positionsversätzen der Teilstrah¬ len (6, 7) zueinander der Reflektor (14) als Prisma mit mindestens zwei Spiegelflächen ausgebildet ist, welche die den Polarisations-Umsetzer (13) in Richtung auf das Prisma (14) durchlaufende Lichtkomponente (20') auf den Polarisations-Umsetzer (13) zurückwirft.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Prisma (14) als Dachkantprisma ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Prisma (14) als Tripelprisma ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet. daß
- die Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) in der Bezugsebene festgestellt werden,
- den festgestellten Positionsversätzen entsprechende Korrekturwerte an die rotierende Ablenkeinheit (2) übertragen werden und
- die Positionskorrektur der Teilstrahlen (6, 7) in Abhängigkeit von den über¬ tragenden Korrekturwerten in der rotierenden Ablenkeinheit (2) durchge- führt wird.
5. Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen, bestehend aus
- einer stationären Lichtquelle (1 ) zur Erzeugung eines Lichtstrahles (5) ent¬ lang einer optischen Achse (3), - einem in der optischen Achse (3) vor der Lichtquelle (1 ) angeordneten Ob¬ jektiv (8) und
- einer von dem Lichtstrahl (5) beaufschlagten, um die optische Achse (3) ro¬ tierbaren Ablenkeinheit (2), welche enthält
- einen Polarisations-Strahlteiler (12), welcher den polarisierten Lichtstrahl (5) in eine reflektierte, im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse (3) ver¬ laufende polarisierte Lichtkomponente als ersten Teilstrahl (6) und in eine durchgelassene, im wesentlichen in Richtung der optischen Achse (3) ver¬ laufende polarisierte Lichtkomponente (20) zerlegt,
- einen auf der optischen Achse (3) hinter dem Polarisations-Strahlteiler (12) angeordneten Polarisations-Umsetzer (13) und einen Reflektor (14), welche die durchgelassene Lichtkomponente (20) in eine bezüglich der Polarisati¬ onsrichtung in der Phase um 90° gedrehte polarisierte Lichtkomponente (20') transformieren, wobei die auf den Polarisations-Strahlteiler (12) zu¬ rückgeworfene gedrehte polarisierte Lichtkomponente (20") an dem Polari- sations-Strahlteiler (12) als zweiter Teilstrahl (7) reflektiert wird, sowie - Mittel zur Strahl-Fokussierung auf eine Bezugsebene, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß zur Korrektur von relativen Positionsversatzen der Teilstrah¬ len (6, 7)
- die Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) in der Bezugsebene festgestellt werden,
- den festgestellten Positionsversätzen entsprechende Korrekturwerte an die rotierende Ablenkeinheit (2) übertragen werden und
- die Positionskorrektur der Teilstrahlen (6, 7) in Abhängigkeit von den über¬ tragenden Korrekturwerten in der rotierenden Ablenkemheit (2) durchge- führt wird.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor (14) als Prisma mit mindestens zwei Spiegelflächen ausgebildet ist, welche die den Polarisations-Umsetzer (13) in Richtung auf das Prisma (14) durchlaufen- de Lichtkomponente (20') auf den Polarisations-Umsetzer (13) zurückwirft.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Fokussierung des ersten Teilstrahles (6) auf die Bezugsebene zwi¬ schen Objektiv (8) und Polarisations-Strahlteiler (12) und/oder im Strahlen- gang des ersten Teilstrahles (6) mindestens eine Linse (1 5) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Fokussierung des zweiten Teilstrahles (7) auf die Bezugsebene zwi¬ schen dem Polarisations-Strahlteiler (12) und dem Reflektor (14) und/oder im Strahlengang des zweiten Teilstrahles (7) mindestens eine Linse (16) ange¬ ordnet ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet. daß die Positions-Korrektur der Teilstrahlen (6, 7) in der Ablenkeinheit (2) durch Änderung des Neigungswinkels des Polarisations-Strahlteilers (12) in
Abhängigkeit von den Korrekturwerten durchgeführt wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Änderung des Neigungswinkels des Polarisations-Strahlteilers (12) durch eine gesteuerte Kippung des Polarisations-Strahlteilers (12) gegenüber der optischen Achse (3) erfolgt.
1 1 . Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
- der Polarisations-Strahlteiler (12) mit der Ablenkemheit (2) verbunden ist und
- die Änderung des Neigungswinkels des Polarisations-Strahlteilers (12) durch eine gesteuerte Kippung der Ablenkemheit (2) gegenüber der opti¬ schen Achse (3) erfolgt
12 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Positions-Korrektur der Teilstrahlen (6, 7) in der Ablenkemheit (2) durch Verschiebung mindestens einer der Linsen (15, 16) in Richtung der opti¬ schen Achse (3) in Abhängigkeit von den Korrekturwerten durchgeführt wird
13 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Polarisations-Strahlteiler (12) bzw. die Ablenkemheit (2) und/oder mindestens eine der Linsen (15, 16) jeweils mechanisch mit einem Verstellan- tπeb (23) gekoppelt ist, welcher durch die an die rotierende Ablenkeinheit (2) übertragenen Korrekturwerte steuerbar ist
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Verstell- antrieb (23) ein Piezoantrieb verwendet wird
15 Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Verstell- antπeb (23) ein magnetostπktiver Antrieb verwendet wird
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 15, gekennzeichnet durch
- eine in der Bezugsebene der Teilstrahlen (6, 7) angeordnete Positions- Meßstufe (25) zur Ermittlung der Positionsversatze der Teilstrahlen (6, 7), - eine stationäre Einrichtung (26, 27) zur Umsetzung der ermittelten Posi¬ tionsversätze in Korrekturwerte und
- einen Übertrager (24) zur Übertragung der Korrekturwerte von der stationä¬ ren Einrichtung (26, 27) an den VerStellantrieb (23).
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß als Positions- Meßstufe (25) eine Differenzial-Fotodiode verwendet wird.
18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Übertrager (24) als elektromagnetischer Übertrager ausgebildet ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, die Lichtquelle (1 ) einen zirkulär polarisierten Lichtstrahl (5) erzeugt.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1 ) einen linear polarisierten Lichtstrahl (5) erzeugt und auf der optischen Achse (3) zwischen der Lichtquelle (1 ) und der rotierender Ablenkeinheit (2) ein weiterer Polarisations-Umsetzer (9) angeordnet ist, wel- eher die lineare Polarisation des Lichtstrahles (5) in eine zirkuläre Polarisation umsetzt.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet. daß die Polarisations-Umsetzer (9, 13) als doppelbrechende Platten, bei- spielsweise als als λ/4-Platten ausgebildet .sind.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21 , dadurch gekennzeichnet, daß zur Vergrößerung der Lichtleistung des jeweils aktiven Teilstrahles
(6 bzw. 7) die Erzeugung des jeweils inaktiven Teilstrahls (7 bzw. 6) verhindert wird.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß - der Lichtstrahl (5) zirkulär polarisiert ist,
- vor der Ablenkeinheit (2) ein steuerbarer Polarisations-Umsetzer (34) sta¬ tionär angeordnet ist, welcher in Anhängigkeit von einem Steuersignal die Drehrichtung der Zirkularpolarisation des Lichtstrahles (5) umschaltet,
5 - in der rotierenden Ablenkeinheit (2) vor dem Polarisations-Strahlteiler (12) ein weiterer Polarisations-Umsetzer (35) angeordnet ist, welcher die zirkulä¬ re Polarisation des Lichtsrahles (5) in Abhängigkeit von der jeweiligen Drehrichtung der Zirkularpolarisation in eine lineare Polarisation mit einem ersten Polarisationszustand oder einem zweiten Polarisationszustand um- lo wandelt,
- der linear polarisierte Lichtstrahl (5) mit dem ersten Polarisationszustand an dem Polarisations-Strahlteiler (12) zur Generierung des aktiven Teilstrahles (6 bzw. 7) reflektiert, aber von dem Polarisations-Strahlteiler (12) zur Gene¬ rierung des inaktiven Teilstrahles (7 bzw. 6) nicht durchgelassen wird
I und
- der linear polarisierte Lichtstrahl (5) mit dem zweiten Polarisationszustand von dem Polarisations-Strahlteiler (12) zur Generierung des aktiven Teil¬ strahles (6 bzw. 7) durchgelassen, aber an dem Polarisations-Strahlteiler (12) zur Generierung des inaktiven Teilstrahles (7 bzw. 6) nicht reflektiert 0 wird.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der steuerbare Polarisations-Umsetzer (34) als elektrooptischer Modulator ausgebildet ist.
5 25. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Polarisati¬ ons-Umsetzer (35) als Wellenplatte ausgebildet ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 25, dadurch gekennzeichnet. daß das Steuersignal für den steuerbaren Polarisations-Umsetzer (35) von ei- 0 nem mit der Ablenkeinheit (2) gekoppelten Drehimpulsgeber (36) gewonnen wird.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Steuersignal in jeder Umdrehung der Ablenkeinheit (2) ein Arbeits-Zeitintervall festlegbar ist, in dem ein Teilstrahl (6 bzw. 7) eingeschaltet und der andere Teilstrahl (7 bzw. 6) abgeschaltet ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0822437A2 (de) * 1996-07-29 1998-02-04 Bayer Corporation Bauteilgruppe für die Strahlausrichtkorrektur

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19841863B4 (de) * 1998-09-14 2005-06-09 Heidelberger Druckmaschinen Ag Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles
US6263129B1 (en) * 1999-07-06 2001-07-17 Avanex Corporation High-isolation dense wavelength division multiplexer utilizing a polarization beam splitter, non-linear interferometers and birefringent plates
DE19951480A1 (de) * 1999-10-26 2001-05-03 Zeiss Carl Jena Gmbh Teilerwechsler in einem Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zur Korrektur von Toleranzfehlern
US6188520B1 (en) 1999-10-29 2001-02-13 Sharp Laboratories Of America, Inc. Light polarization converter
US6373630B1 (en) 2000-05-05 2002-04-16 Chih-Kung Lee Light beam polarization converter
US6611379B2 (en) 2001-01-25 2003-08-26 Brookhaven Science Associates Llc Beam splitter and method for generating equal optical path length beams
EP1329631A3 (de) * 2002-01-22 2003-10-22 Jenbacher Zündsysteme GmbH Verbrennungsmotor
JP2006091377A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Fuji Photo Film Co Ltd インナードラム露光装置
US20090034071A1 (en) * 2007-07-31 2009-02-05 Dean Jennings Method for partitioning and incoherently summing a coherent beam
US8077328B2 (en) * 2009-07-06 2011-12-13 Gammex, Inc. Variable color incoherent alignment line and cross-hair generator
US20110187878A1 (en) 2010-02-02 2011-08-04 Primesense Ltd. Synchronization of projected illumination with rolling shutter of image sensor
CN103018931A (zh) * 2012-12-13 2013-04-03 京东方科技集团股份有限公司 光学装置及显示装置
CN104317030B (zh) * 2014-10-31 2017-04-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置
US10447424B2 (en) * 2018-01-18 2019-10-15 Apple Inc. Spatial multiplexing scheme
US10877285B2 (en) 2018-03-28 2020-12-29 Apple Inc. Wavelength-based spatial multiplexing scheme
US11493606B1 (en) 2018-09-12 2022-11-08 Apple Inc. Multi-beam scanning system
DE102019208232A1 (de) 2019-06-05 2020-12-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung und Verfahren zur Korrektur von Zentrierfehlern und/oder Winkelfehlern

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0054170B1 (de) * 1980-12-11 1985-05-29 DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH Verfahren zur Korrektur der Positionsfehler eines Vielflächen-Drehspiegels
DE4128468A1 (de) * 1991-08-28 1993-03-04 Hell Ag Linotype Vorrichtung zur strahlteilung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4917456A (en) * 1988-07-15 1990-04-17 At&T Bell Laboratories Optical crossover network
DE4026333C2 (de) * 1990-08-21 1993-11-18 Spindler & Hoyer Kg Vorrichtungen zur Lage- und Richtungsstabilisierung eines Laserstrahls

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0054170B1 (de) * 1980-12-11 1985-05-29 DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH Verfahren zur Korrektur der Positionsfehler eines Vielflächen-Drehspiegels
DE4128468A1 (de) * 1991-08-28 1993-03-04 Hell Ag Linotype Vorrichtung zur strahlteilung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0822437A2 (de) * 1996-07-29 1998-02-04 Bayer Corporation Bauteilgruppe für die Strahlausrichtkorrektur
EP0822437B1 (de) * 1996-07-29 2002-04-17 Agfa Corporation Bauteilgruppe für die Strahlausrichtkorrektur

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