WO1995009064A1 - Procede permettant d'empecher la collision d'un arbre mobile d'une machine d'usinage par etincelage - Google Patents

Description

明 細 書

ワ イ ヤ放電加工機の移動軸衝突防止方法

技 術 分 野

本発明は、 ワイ ヤ放電加工機にかかわる発明であ り 、 詳 し く は、 ワイヤ放電加工機において、 ワイ ヤ放電加工 機の移動軸と障害物との衝突を検出する方法に関する。

背 景 技 術

従来、 ワイ ヤ放電加工機は、 ワイ ヤを Z軸方向に張架 し、 ワー クを該ワ イ ヤに対 して Χ · Υ方向に移動 し、 こ の移動によ っ てワ ー ク に力 ッ ト加工を行っている。

こ のワ ー ク の Χ · Υ方向の移動は、 ワ ー クが取 り付け られているテーブルを、 X軸方向、 及び Υ軸方向に移動 する こ と によ り行っている。 そ して、 こ のテ一ブルの移 動の制御は、 放電加工機の数値制御値装置 （ N C装置） に入力さ れたプロ グラ ムに従って行われる。

ま た、 テー パ ーカ ツ ト と 呼ばれる ワ ー ク のカ ツ ト面に 傾斜角を付ける加工も知 られている。 こ のテー パ ーカ ツ ト加工を行う 場合には、 テーブル面 と直交する垂直線に 対する、 ワ ー ク の傾斜角度 （テー パ ー角度） の制御を行 つ ている。 こ のテ 一パーカ ッ ト 時の ワ ー ク の傾斜角度の 制御は、 上ノ ズル側に設け られるいわゆる U * V軸を駆 動する こ と によ り 行われる。

したが って、 ワ イ ヤ放電加工機においては、 X軸、 Υ 軸、 Ζ軸、 U軸、 及び V軸等の移動軸を駆動する こ と に よ り加工が行われれる。 しか しなが ら、 従来のワイ ヤ放電加工機では、 次の よ う な問題点を有している。

ワ イ ヤ放電加工機の持つ X軸、 Y軸、 Z軸、 U軸、 及 び V軸等の移動軸は、 その移動中に障害物と衝突する可 能性があ る。 この移動軸が衝突する可能性のある 障害物 と しては、 例えば、 ワ ー ク やワ ー ク を支持するテーブル 、 あ る いはテ一ブルにワー ク を固定する ためのク ラ ンプ 等がある。

移動軸は、 障害物と衝突する と、 その移動を停止する 。 一方、 移動軸を駆動するサーボモ一夕 は、 停止 してい る移動軸を指合位置まで移動させよ う して大きな トル ク を発生する。

従来のワイ ヤ放電加工機では、 衝突検出機構が設置さ れていない。 そのため、 ワ イヤ放電加工機は、 障害物と 衝突 した後、 サ一ボモ一夕が停止する まで衝撃が加え ら れ続け、 その結果、 ノ ズルの破損や、 ア ーム， ク イ 一ル の変形等 とい った ワイ ヤ放電加工機に損害が生じ る。

こ の問題を解決する手段と して、 次のよ う な方法が考 え られる。 例えば、 （ a ) 夕 ツ チセ ッサによ る接触検知 する方法、 （ b ) 指合位置と実際の移動位置との差であ る位置偏差を検出 し、 その位置偏差が過大とな っ た場合 にア ラ ー ムを発生 して警告する方法、 （ c ) サ一ボモ一 夕 の駆動電流値に上限値を設け、 こ の上限値を越えた場 合に衝突を検出 して、 アラ ームを発生 して衝突を知 らせ る方法。 しかしながら、 前記の各方法では、 次のよ う な欠点が あ る。 （ a ) 夕 ツ チセ ッサによ る接触検知方法では、 セ ンサを設置するためコス ト の上昇が避け られない。 ま た 同検知方法では、 セ ンサ設置箇所以外での検出が e ない。 ま た、 （ b ) 位置偏差過大に よ る検出方法では、 位置偏差が過大値に達 してアラ ームを発生する前に、 モ 一 夕 の発生する ト ル ク によ ってワイ ヤ放電加工機の機構 部が破損する危険性がある。 ま た、 （ c ) 過大駆動電流 によ る検出では、 電流値が上限値に達してア ラ ー ムを発 生する までの時間がかかり 、 衝突検出が遅れてワ イ ヤ放 電加工機の機構部やワ ー ク が破損する恐れがある。

発 明 の 開 示

本発明の 目 的は、 移動軸の障害物との衝突を確実に検 出する ワ イ ヤ放電加工機の移動軸衝突防止方法を提供す る と ある o

本発明の他の 目 的は、 移動軸の障害物とが衝突する こ と によ っ て生ずる ノ ズルの破損や、 アーム， ク イ 一ルの 変形等と いっ たワ イ ヤ放電加工機への ¾害を防止する移 動軸衝突防止方法を提供する こ と にある。

本発明の別の 目 的は、 セ ンサを設置する必要のない移 動軸衝突防止方法を提供する こ と にある。

本発明の更に別の目 的は、 セ ンサ設置箇所によ らず衝 突検出を行う こ とができ る移動軸衝突防止方法を提俟す こ と にめ な 。

ま た、 本発明の 目的は、 検出遅れのない衝突検出を行 う ； とができ る移動軸衝突防止方法を提供する こ と にあ 本発明のワ イ ヤ放電加工機の移動軸衝突防止方法は、 少な く と も 1 つの移動軸をサ一ボモ一夕 によ り駆動 し制 御する ワ イ ヤ放電加工機に適 ffiする ものであ る。 そ して 、 こ の移動軸衝突防止方法は、 ワイ ヤ放電加工機の持つ 移動軸の内で少な く と も一つの移動軸の駆動制御を行う サーボモ一夕 の制御系に外乱推定オブザーバを構成し、 こ の外乱推定オブザーバによ っ て移動軸に印加さ れる外 乱の負荷を推定する。 そ して、 その推定された外乱の大 き さ と あ らか じめ設定 した設定値との比較を行う 。 推定 した外乱の大き さが設定値以上にな った こ とを検知する して移動軸の衝突を検出 し、 ワ イ ヤ放電加工機の移動軸 の衝突を防止する ものであ る。

本癸明における外乱推定オブザーバは、 ワ イヤ放電加 ェ機の移動軸の駆動制御を行う サーボモー夕 の制御系に 構成される も のであ り 、 モ一夕 に指合さ れる トル ク指合 値と モ一 夕の実速度等によ って外乱負荷 トル クを推定す る ものである。 そ して、 こ の外乱推定オブザーバが推定 する外乱負荷 トル ク は、 ワ イ ヤ放電加工機の移動軸がヮ — ク ゃ該ワ ー ク を支持する テーブル、 あ る いは該テ一ブ ルに ワ ー ク を固定する ク ラ ンプ等の障害物に衝突する こ と によ り 生じ る も のである。

ま た、 この ワイ ヤ放電加工機の移動軸は、 ワイ ヤ放電 加工機において、 ワー ク と ワイ ヤ と の相対的な位置関係 を変更した り ·. ノ ズルの位置を変更する ものであ る。 例 えば、 X軸.、 Y軸、 U軸、 及び V軸は、 ワ ー ク を移動す る ための移動軸であ り 、 Z軸は、 上ノ ズルを Z軸方向に 移動する ための移動軸であ る。

本発明の方法は、 その少な く と も一つの移動軸の外乱 負荷 トル クを外乱推定オブザーバによ り推定 し、 推定さ れた外乱の大き さ と設定値との比較を行い、 推定された 外乱の大き さ と設定値以上とな った と き 、 移動軸が障害 物に衝突 した もの と判定して衝突を検知 し、 モ一 夕を停 止する等の制御によ って移動軸の衝突を防止する もので あ る

こ の衝突防止は、 ワイ ヤ放電加工機中の全ての移動軸 に適応する こ と も、 任意の一つある いはそれ以上の移動 軸に適応する こ と もでき る。

また、 推定された外乱と の比較に甩いる設定値は、 任 意に設定する こ とができ る。 例えば、 該設定値を、 移動 軸を駆動する機構部の静摩擦等や童力項よ り も大き く 、 かつ機構部やワ ー クの破壊限界よ り も小さい値に設定す る こ とができ る。 この設定によ り 、 機構部ゃヮ一 クが破 壊さ れる前に確実に衝突を検出 し、 モ一夕を停止させる こ とができ る。

図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明のワ イヤ放電加工機の移動軸衝突防止 方法を実施するための一構成プロ ッ ク図、

図 2 は、 本発明の一実施例に ffiいる外乱推定ォブザ— バのブロ ッ ク 図、

図 3 は、 サ一ボモ一 夕制御系のブロ ッ ク図、

図 4 は、 外乱推定ォブザ一バを組むモデルのブロ ッ ク 図、

図 5 は、 デジタ ルサ—ボのプロセ ッ サが行う 本実施例 の位置， 速度ルー プ処理及び外乱推定オブザーバ処理の フ ロ 一チ ヤ 一 トである。

発明を実施する ための最良の形態 (本発明を実施する ための構成）

は じめに、 本発明のワイ ヤ放電加工機の移動軸衝突防 止方法を実施する ための一構成例を、 図 】 のブロ ッ ク 図 を甩いて説明する。 なお、 図 】 のブロ ッ ク図は、 ワイ ヤ 放電加工機の一部分のみの構成を示 している。

図 1 において、 Z軸 1 は、 図示 しないワイ ヤ送 り 出 し 部分から送り 出さ れる ワイ ヤ （図示されていない） を上 ノ ズル 2 に案内する。 こ の 2軸 1 は、 例えばパイ プ構造 によ り構成する こ とができ る。

こ の Z軸 】 は、 図示 しない駆動装置によ り 移動可能で あ り 、 ワ ー ク 7 あ るいはテ一ブルに対する距離を調節す る こ とができ る。

上ノ ズル 2 は .. 洪絵されたワイ ヤをワ ー ク 7 に通す。 ま た、 上ノ ズル 2 は、 ワー ク 7 の放電加工窟所に加工液 を供給 し、 加工箇所に発生する スラ ッ ジの除去及び^却 を行 う。

ま た、 下ガイ ド 3 は、 前記上ノ ズル 2 と対向する位置 に設け られる。 こ の下ガィ ド 3 は、 ヮ ィ ャを図示 しない ヮ ィ ャ巻取 り部に案内する。 ま た、 下ガィ ド 3 も .. 上ノ ズル 2 と 同様に、 ワ ー ク 7 の放電加工箇所に加工液を俟 絵 して、 加工箇所に発生する ス ラ ジの除去及び冷却を 行う 。

ワ ー ク 7 は、 ク ラ ンプ 6 によ ってワ ー ク置き台 5 に固 定さ れ、 放電加工によ り加工が行われる。 こ のワ ー ク 置 き台 5 はテ一ブルに設置さ れている。 こ のテーブルを X 軸、 Y軸、 U軸、 及び V軸等に対 して移動可能に構成す る。 そ して、 このテ一ブルの構成によ り 、 テ一ブルの X 軸方向、 及び Y軸方向への移動を行い、 また、 ワ ー ク の 傾斜制御を行う。 前記各軸の移動は、 ワ イ ヤ放電加工機 の移動軸をモ一夕 Mによ り駆動 して行われる。

図 1 に示す例は、 テーブルのサ ドル 4 を移動軸 8 によ り 移動する場合である。

本発明の実施例において、 C N C S 0 は、 トル ク検出 部 2 0 によ り 検出 される モ一夕 Mの トル ク値を受け取 り 、 モ一夕 Mを制御する。 また、 C N C 3 0 には、 表示装 置 4 0 が接続されている。

(外乱推定オブザーバの構成）

次に、 本発明の移動軸衝突防止方法に用いる外乱推定 オブザーバの構成について説明する。

本発明の移動軸衝突防止方法は、 こ の外乱推定ォブザ —バによ り推定した外乱によ っ て、 移動軸と障害物と の 衝突を判定する。 図 S は、 位置に対 し比例 （ F ) 制御を行い、 速度にお し比例 * 積分制御 （ P I ) を行う サ一ボモ一 夕系のプロ ッ ク線図であ る。 図 3 において、 伝達関数 】 0 の k p は 位置ループにおけ る比例ゲイ ン、 伝達関数 1 2 は速度ル —プにおける 伝達関数であ る。 そ して、 伝達関数 】 2 に おいて、 k 】 は積分定数を表 し、 k 2 は比例定数を表 し ている。 また、 伝達関数 】 4 , 】 6 は、 モ一夕の伝達関 数である。 こ の伝達関数 1 4 , 】 6 において、 k t は ト ル ク定数を表 し、 J はイ ナ一 シ ャ を表 している。 また、 伝達関数 1 8 は、 速度 V を積分 して位置 Ρ ί を箕出する 伝達関数であ る。 また、 T L は外乱 トル クである。

図 3 のブロ ッ ク 図において、 位置指合 F c から現在位 置 F ί の フ ィ ー ドバ ッ ク値を減算 してその差を求める と 、 位置偏差 e (二 P c — F i ) が得 られる。 こ の位置偏 差 ど に比例定数 k p を乗じ、 速度指合値を求める。 求め た速度指合値と実速度 V と の差か ら速度偏差を求める。 伝達関数 〗 2 は、 求めた速度偏差に射 して P I 制御を行 つて、 ト ルク指合値と しての電流値 I を求める。 そ して 、 こ の電流 I をモ一夕 の捲線に流してモー夕 を駆動する 。 モ一夕 は、 電流 I によ っ て速度 V で回転する。 伝達関 数 1 8 は、 こ のモ ー夕 の速度 \- を種分 して位置 p ί を求 め ο

こ こで、 こ の図 3 に示すサ一 ボモ一夕 に対 して、 外乱 推定オブザーバを構成する。 まず、 従来から知られてい る外乱推定オブザーバについて、 サ一ボモ一夕のサ一ボ 制御をプロセ ッ サで行 う デジ夕 ルサ一ボ制御系を基に し て説明する。

図 4 は、 サ一ボモ一 夕 におけ るオブザーバ对象のモデ ルのブロ ッ ク 図である。 図中において、 符号 】 4 は図 S に示すサ一ボモ一夕の ト ル ク定数 k t の伝達関数であ る 。 なお、 図 4 において、 図 3 で示 した伝達関数 】 6 はィ ナ一 シ ャ J の伝達関数 1 6 a と積分項 1 6 b に分割して 示 している。 また、 図 4 において、 I は入力 と しての ト ル ク指合、 V は速度、 T L は外乱 ト ル ク であ る。

図 4 のブロ ッ ク のモデルにおいて、 オブザーバを組む 一般的な手法を用いて、 速度 v 、 外乱 ト ル ク 丁 L を推定 する 同一次元オブザーバを組むと、 図 2 中の符号 5 0 で 示さ れる オブザーバとなる。 なお、 ブロ ッ ク 5 0 は外乱 推定オブザーバの一構成図であ る。

外乱推定オブザーバ 5 0 の項 5 2 , 5 3 中に示される k 3 , k 4 は外乱推定オブザーバのパラ メ 一夕である。 ま た、 項 5 1 中に示さ れる は、 サーボモ一夕 に実際に 出力 される ト ルク指合 とな る電流値 I に乗 じ るパラ メ 一 夕 の値であ り 、 モー夕 の ト ル ク定数の推定値 k t * をィ ナ 一 シ ャ の推定値 J ni * で除した （ 二 k t * ノ J m * ) と して表される。

項 5 4 は積分項であ り、 項 5 1 , 5 2 . 5 3 の出力を すべて加算した値を積分し、 モ一夕 の推定速度 V a を求 め る項である。 ま た、 項 5 5 は、 項 5 3 からの出力に （ 1 , · a ) を乗 じて推定外乱 トル ク 丁 d 2 を求める項であ る C

図 2 に示さ れる ブロ ッ ク 図において、 外乱推定ォブザ —バ 5 0 の解析を行う 。 こ の解析において、 = k t *

, J m * とお き、 かつモ一夕の トル ク定数 k t をその推 定値 k t * と等しい ( k † = k t * ) と し、 モ一 夕のィ ナ一 シャ J mをその推定値 J m * ( J m = J m * ) とす る o

項 1 6 の演算によ っ て、 以下の式 （ 1 ) が得られる。 ( I * k t + 丁し ） （ 】 / J m · S ) = v … （ 1 ) ま た、 項 5 4 の出力 V a について検討する と、 以下の 式 （ 2 ) が得 られる。

{ I * ( k t Z J m ) + ( v - v a ) k 3 + ( v - v a ) ( k 4 / S ) } * ( 1 S ) 二 v a … （ 2 ) そ して、 式 （ ュ ） を変形する と次式 （ 3 ) とな り、

I = ( V ♦ J m ♦ S - T L ) k t … （ 3 ) さ らに、 こ の式 （ 3 ) を式 （ 2 ) に代入して整理する と、 以下の式が得 られる。

( V ♦ J m · S - T L ) J m + ( v - v a ) k 3

+ ( v - v a ) ( k 4 / S ) = v a ♦ S … （ 4 )

S ( v - v a ) + ( v - v a ) ♦ k 3 + ( v - v a ) ( k 4 , · S ) =丁 L ノ J m - ( 5 ) と な る。 また、 式 （ 5 ) 力、 ら V e r r (' = ν - v a ) を 求める と 、 次式 （ S ) が得 られる。

V e r r = v - v a

二 （丁 L , ' J m ) [ 1 / { S k 3 -t ( k 4 ,' S ) } ] … ( 6 上記式 （ 6 ) か ら、 項 5 3 の出力 T d 1 は次式 （ 7 によ って表さ れる。

T d 1 = V e r r * ( k 4 . · S )■

= ( TL J k 4 , ( S ² 十 k 3 * S 十 k 4 ) }

… ( 7 )

、ノ

式 （ Ί ) において 、 ノ、。ラ メ 一 夕 k 3 > k 4 を極が安定 する よ う に選択する と、 T d 1 二 T L / J mの関係式に 近似する こ とができ る。 こ の近似 した関係式は、 全外乱 ト ル ク T d 1 を推定でき る こ と を示 している。

そ して、 項 6 1 において、 こ の全外乱 トル ク 丁 d 1 に 1 , a ( = J m * / k t * ) を乗 じて、 推定外乱 ト ル ク 丁 d 2 を求める。

比較器 6 2 は、 こ の推定外乱 トル ク T d 2 と、 衝突を 検出する ための設定さ れた設定値丁 s と を比較する。 こ の比較において、 推定外乱 トル ク 丁 d 2 が設定値 T s よ り大きい場合には、 衝突が生じた も のと判断する。 そ し て、 ァラ —ムを を出力 し、 速度ループの積分器の値を 「 0 」 とする と と もに、 以後の速度指合を 「 0 」 に して モ ー 夕 を停止させる ο

衝突を検出する ために設定する設定値丁 S は、 移動軸 を駆動する機構部の静摩擦等や重力項よ り も大き く 、 か つ機構部やワ ー ク の破壊限界よ り も小さ い値に設定する

c±r >— U ^

。 こ の設 ^ (( つ , 機構部やワ ー クが破壊される前に 、 衝突を確実に検出 し、 モ一夕 を停止させる こ とができ る o

(本発明の実施例の作甩）

次に、 前記構成の一実施例の作用を説明する。 図 5 は 、 デジタ ルサ一ボ （ ソ フ ト ゥ ュ アサ一ボ） のプロ セ ッ サ が位置. 速度ル―ブ処理周期毎に実施する処理の フ ロ ー チ ヤ 一 ト であ る。 なお、 以下の説明では、 ステ ッ プ S の 符号を用いて説明する。

デジタ ルサ一ボ （ ソ フ ト ゥ ュ アサ一ボ） のプロ セ ッ サ は、 数値制御装置から出力 される位置指合とサ一ボモ一 夕 に取り 付け られるパルス コ ーダ等によ って検出 される 現在位置 （位置の フ ィ ー ドバッ ク値） と に基づいて、 従 来と 同様の位置ループ処理を行って、 速度指合を算出す る （ステ ッ プ S 1 ) 。

次に、 プロセ ッ サは、 フ ラ グ F力 「 1 」 か否かの判定 を行 う （ステ ッ プ S 2 ) 。 なお、 こ のフ ラ グ F は、 初期 設定において 「 0 」 に設定されている。 そ して、 フ ラ グ F は、 衝突が生じなければ 「 0 」 の状態を保持し、 衝突 が生 じた後には 「 1 」 に設定さ れる。

プロセ ッ サは、 前記フ ラ グ F の値が 「 1 」 でない場合 には、 図 2 に示す外乱推定オブザーバ 5 0 及びブロ ッ ク 6 1 , 6 2 の処理を実行 し、 推定外乱 ト ル ク T d 2 を求 め る （ステ ッ プ S 3 ) 。 そ して、 求め られた推定外乱 ト ル ク 丁 d 2 が、 衝突を検出する ために設定さ れた設定値 丁 s 以上か否かの判定を行 う （ステ ッ プ S 4 ) 。

こ の判定において、 求め られた推定外乱 ト ルク T d 2 が設定値丁 s よ り 小さ い場合には、 ステ ッ プ S 1 の工程 で求めた速度指合 とサ一ボモ一 夕 に取 り 付け られたパル ス コ ーダ等の速度検出器で検出 さ れるサ一ボモ一 夕 の実 速度を用いて、 従来と 同様の速度ループ処理を行 う 。

そ して、 プロセ ッ サは、 該速度ループ処理によ って電 流指合 （ トル ク指合） を算出 し、 該電流指合を電流ル一 プに引渡す。 こ の電流指合の電流ループへの引渡 した後 、 プロセ ッ サは、 当該周期の処理を終了する （ステ ッ プ S 7 , ステ ッ プ S 8 ) 。

一方、 ステ ッ プ S 4 の判定の工程において、 算出さ れ た推定外乱 ト ルク 丁 d 2 が設定値丁 s 以上の場合には、 プロセ ッ サは衝突 した もの と判定しア ラ ームを出力する 。 そ して、 フ ラ グ F を 「 ュ 」 にセ ッ ト し、 速度指合を 「 0 」 ， 速度ループの積分器を 「 0 」 にする （ステ ッ プ S 5 , ステ ッ プ S 6 ) 。

そ して、 プロセ ッ サは、 ステ ッ プ S 7 の速度ル一プ処 理において速度指合を 「 0 」 ， 速度ループの積分器を 「 0 」 と して速ループ処理を行い電流指合を求め、 求めた 電流指合を電流ループに引 き渡す。 前記ア ラ ームは、 例 えば、 表示装置 4 0 に衝突を表示 した り 、 警報音を発す る等によ り行 う こ とができ る。

次の周期以降においては、 フ ラ グ F は 「 1 」 にセ ッ ト さ れる。 したがっ て、 プロ セ ッ サは、 ステ ッ プ S 2 の次 にステ ッ プ S 6 に移行する。 そ して、 プロセ ッ サは、 速 度指合を 「 0 」 ， 速度ループの積分器を 「 0 」 と して速 度ループ処 ¾を行 って電流指合を求め .. 求めた電流指合 を電流ループに引 き渡す。

なお、 前記実施例の衝突防止方法は、 ワイ ヤ放電加工 機中の全ての移動軸に適応する こ と も、 任意の一つあ る いはそれ以上の移動軸に適応する こ とができ る。

また、 推定された外乱と の比較に用いる設定値は、 任 意に設定する こ とができ る。 例えば、 該設定値を、 移動 軸を駆動する機構部の静摩擦等や童力項よ り も大き く 、 かつ機構部やヮ― クの破壊限界よ り も小さい値に設定す る こ とができ る。 この設定の場合には、 機構部やワ ー ク が破壊さ れる前に、 衝突を確実に検出 してモ一夕 を停止 させる こ とができ る。

上述したよ う に、 モ ー夕 の停止動作を行う こ とができ 、 機構部やワ ー ク が破壊さ れる前に、 衝突を確実に検出 し、 モ一夕を停止させる こ とができ る。

ま た、 以上説明 したよ う に、 本発明によれば、 移動軸 の障害物 との衝突を、 確実に検出する ワ イ ヤ放電加工機 の移動軸衝突防止方法を提供する こ とができ る。

Claims

. 請求の範囲

1 . 少な く と も一つの移動軸を備え、 該移動軸をサ一ボ モ ー夕 によ り駆動する こ と によ り加工制御を行う ワイ ヤ 放電加工機において、

前記移動軸の少な く と も一つの移動軸の駆動制御を行う サ— ボモ一夕 の制御系に外乱推定オブザーバを構成する ¾> のでめ つ 、

該外乱推定オブザーバによ り該移動軸に印加される外乱 の大き さ を推定するステ ッ プと 、

該推定さ れた外乱の大き さ と設定値との比較を行う ステ ッ プと、

前記比較結果に基づいて移動軸の衝突を検出する ステ ッ プと を備えた、 ワ イ ヤ放電加工機の移動軸衝突防止方法 ο

2 . 前記設定値は、 移動軸を駆動する機構部の破壊限界 値よ り小さい値である請求の範囲第 1 項に記載の ワイ ヤ 放電加工機の移動軸衝突防止方法。

3 . 前記設定値は、 被加工物の破壊限界値よ り小さい値 であ る請求の範囲第 1 項に記載のワ イ ヤ放電加工機の移 動軸衝突防止方法。

4 . 前記設定値は、 移動軸を駆動する機構部の静止摩擦 項よ り大きい値である請求の範囲第 】 項に記載のワイ ヤ 放電加工機の移動軸衝突防止方法。

5 . 前記設定値は、 移動軸を駆動する機構部の童力項よ り大きい値である請求の範囲第 1 項に記載の ワイ ヤ放電 加工機の移動軸衝突防止方法。