WO1991008858A1 - Robot equipped with heat removing means - Google Patents

Description

明 細 書

奪熱手段を備えた レ ーザロ ボ ッ ト 技術分野

本発明は、 レ ーザロ ボ ッ ト に関 し、 特に、 レ ーザロ ボ ッ ト の レ ーザビ ー ム出射装置を先端に備えた ロ ボ ッ ト 了 — ム を駆動する駆動モー タ か ら発生 した熱を、 レ ーザビ 一ム管路系の冷却水源か ら導 く 冷却氷を用 いて強制的に 吸収する奪熱手段を備え、 同駆動モー タ と ロ ボ ッ ト 了 ー ム間に設け られる ボー ルね じ機構等の精密伝動装置への 同駆動モータ か らの熱伝達を遮断 し、 精密伝動装置の熱 変形に伴 う 伝動誤差の発生を防止 して σ ボ ッ ト ア ー ム の 高精度の動作を得る よ う に し、 究極的に レ ーザビ ー ム出 射装置によ る レ ーザビ ー ム出射方向を目的位置に対 して 高精度に設定可能に した レ ーザロ ボ ッ ト に関する。 従来技術

種々 の レ ーザロ ポ ッ ト が既に提供さ れてお り 、 その一 例の多関節腕型産業用 レ ーザロ ボ ッ ト が、 本出願人の先 願の国際出願 P C T / J P 9 0 / 0 0 1 0 4 号に開示さ れてい る。 こ の レ ーザ口 ボ ッ ト は レ ーザビ ー ム発振源か ら管路を用 い て ロ ボ ッ ト 機体に レ ーザビ ー ムを導き、 ロ ボ ッ ト 機体内 に設けた レ ーザビ ー ム案内管路と レ ーザビ ー ム の進路変 更用の光学系を経て π ボ ッ ト ア ー ム の先端に具備さ れた レ ーザビ ー ム出射装置か ら 目的位置に向けて レ ーザビ ー ムを出射する よ う に成っ てい る。 こ のと き、 レ ーザロ ボ ッ ト の機体は、 複数の可動要素、 例えば、 旋回 ボ ス ト 、 π ボ ッ ト 腕、 ロ ボ ッ ト 手首等を有 してお り 、 これ らの可 動要素の動作によ っ て、 レ ーザビ ー ム出射装置を所望の 目的位置へ指向さ せる こ とができ る。 従っ て、 これ ら の 可動要素の旋回動作や揺動動作、 伸縮動作等の駆動源と して駆動モータ 、 特に電動モー タ が多 く 用 い られる。

然 しなが ら、 駆動モータ か ら伝動機構を経由 して可動 要素を起動する よ う に してい るため、 駆動モータ が電動 モータ であ る場合、 同モータ か ら発する ジ ュ ール熱等の 熱が伝動機構に伝熱 し、 伝動機構の熱変形を生起 して可 動要素の動作に誤差を生む。

殊に、 TP ボ ッ ト ア ー ムを垂直面内で水平軸線周 り に上 下に揺動さ せる揺動機構では、 電動駆動モータ と ロ ポ ッ ト 了 ー ム と の間に精密な ボールね じ機構と 'リ ン ク 機構、 つま り 、 電動モータ によ っ て回転駆動さ れるポールね じ にナ ツ ト を嚙合さ せ、 同ナ ッ ト の直線変位を リ ン ク 機構 の リ ン ク 作用を介 して ボ ッ ト 了 ー 厶に伝動 し、 氷平軸 線周 り に揺動させる機構が用い られてい るが、 上記精密 ボールね じ機構はバ ッ ク ラ ッ シ ュ が小さ い こ とか ら、 口 ボ ッ ト ア ー ム の動作制御の精度を髙度に維持でき る反面、 電動モータ か ら の発生熱を受ける と、 ポールね じ軸が伸 縮変形する。 故に、 電源を投入 してロ ボッ ト 起動さ せて か ら、 ボールね じ軸等へのモー タ 熱の伝熱によ り 熱平衡 が得 られる までの過渡期簡は、 伝動系の熱変形の影響に よ り 、 ロ ボ ッ ト 動作の制御精度が不安定にな る と言 う 欠 点があ る。 しかも、 熱平衡状態に達する時間は長 く 、 口 ボ ッ ト の稼動率を著 し く 損な う 問題があ る。

こ のよ う な電動モー タ の利用 に伴 う 熱発生の問題を解 消すべ く 、 冷却フ ァ ン によ り 電動モー タ を強制空冷する よ う に した レ ーザロ ボ ッ ト も提供さ れてい るが、 モータ 全体の冷却に は フ ァ ン容量が大き いな どか ら装置の大型 化、 価格上昇等が避け られない問題があ る。 発明の開示

依 っ て、 本発明の目的は、 こ のよ う な従来の レ ーザ口 ボ ッ ト に伴 う 問題点を解決する こ と に あ る。

ま た、 本発明の他の目的は、 既存の レ ーザロ ボ ヅ ト に 改良手段と して簡単にを組み入れる こ と が可能な電動駆 動モ ータ の発生熱を除去可能な奪熱手段を備えた レ ーザ ロ ボ ッ ト を提供する こ と に あ る。

本発明の更に他の目的は、 奪熱手段を組み入れて も、 レ ーザロ ボ ッ ト の全機体の大型化を回避でき る コ ンパク ト な、 かつ、 低コ ス ト で実現でき る レ ーザ π ボ ッ ト 用の 奪熱手段を提供せんとする も のであ る。

上述 した発明の目的に鑑み、 本発明 は、 ボ ッ ト 基礎 部と、 その ϋ ボ ッ ト 基礎部上に縦軸回 り に旋回可能に立 設さ れた ロ ボ ッ ト 旋回 ポ ス ト 部と、 そ のロ ボ ッ ト 旋回 ポ ス ト 部に取付け られ、 該ロ ボ ッ ト 旋回 ボ ス ト 部に対 して 垂直面内で上下に首振 り 揺動する と共に腕長さ 方向に伸 縮動作する よ う に設け られ、 かつ、 その先端に向けて レ —ザビ ー ムを案内する レーザビ ー ム管路を内蔵 した ロ ボ ッ ト ア ー ム と、 ロ ボ ッ ト ア ー ム の先端に具備さ れ、 案内 れさ た レ ーザビ ー ムを出射する レ ーザ出射装置と、 精密 伝動装置を介 して前記ロ ボ ッ ト ア ー ム の揺動々作を駆動 する駆動モー タ と、 冷却水源か ら供給される冷却水を用 いて駆動モータ によ り 発生さ れる熱を吸収 し、 ^てその 駆動モー タ か ら前記精密伝動機構に封する伝熱防止を行 う 奪熱手段とを具備 した レ ーザロ ボ ッ ト であ っ て、

前記奪熱手段は、 前記精密伝動機構と前記駆動モ ータ と の間に介挿さ れ、 該揺動駆動モータ の出力軸側端面に 当接さ せた第一の端部と、 前記精密伝動機構に当接させ た第 2 の端部と、 冷却水を流動通過さ せて冷却効果を得 る環状に凹設さ れた流体回路と を有 したブラ ケ ッ ト 手段 と 、

前記冷却水供給源と前記ブラ ケ ッ ト 手段の前記環状凹 設流体回路とを結合 して前記冷却氷を該環状凹設流体回 路の内部に流入せ しめ る流体供給管と、

前記ブ ラ ケ ッ ト 手段の前記環状凹設流体回路と前記冷 却水供給源とを結合 して前記冷却永を前記冷却永供給源 へ帰還さ せる流体帰還管と を具備 して構成さ れた レ ーザ ロ ボ ッ ト を提供する も のであ る。

上述の構成によれば、 レ ーザロ ボ ッ ト の作動時に レ ー ザビ ー ム管路系を冷却するために必須の冷却水源か ら流 体供給管及び流体帰還管を介 して常時、 冷却氷をブラ ケ ッ ト 手段の環状 ω設流体回路に循環さ せて同ブ ラ ケ ッ ト 手段を強制冷却 し、 こ のブ ラ ケ ッ ト が電動モータ と精密 伝動機構と の間に介在 してモ ー タ か らの発生熱を吸収 し て精密伝動機構側への伝熱を防止する のであ る。 図面の簡単な説明

以下、 本発明の他の目的、 特徴、 利点を添付図面に示 す実施例に基づき、 更に詳細に説明するが、 添付図面に おいて、

第 1 図は、 本発明 に係る奪熱手段を具備 した レ ーザ ロ ボ ッ ト の要部を図示 した部分断面図、

第 2 図は第 1 図の Π — Π 線に沿 う 断面図、

第 3 図は、 本発明の奪熱手段が組み込ま れる レ ーザ ロ ボ ッ ト の一例の全体構成を示す側面図、

第 4 図は、 第 3 図の IV— IV矢視線によ る後面図、 第 5 図は、 奪熱効果を本発明、 従来技術に就いて対 比 して示すグラ フ図。 発明を実施するための最良の態様

先ず、 第 3 図、 第 4 図を参照する と、 レ ーザロ ボ ッ ト 1 0 は ロ ボ ッ ト 基礎部 1 2 、 こ の ロ ボ ッ ト 基礎部 1 2 に 立設さ れ、 同基礎部 1 2 に対 して縦軸阖 り に旋回可能な ボ ス ト 1 4 、 こ の ボ ス ト 1 4 に対 して氷平軸心を揺動中 心 C と して上下に揺動可能に （矢印 V ) 保持さ れ、 且つ 伸縮動作が可能な長手の ロ ボ ッ ト ア ー ム 1 6 、 ロ ボ ッ ト ア ー ム 1 6 の先端に設け られた ロ ボ ッ ト 手首 1 8 、 こ の ロ ボ ッ ト 手首 1 8 に保持さ れた レ ーザビ ー ム出射装置 2 0 等を具備 して構成さ れてい る。

レ ーザビ ー ム出射装置 2 0 か ら 出射さ れる レ ーザビ ー ム は、 TP ボ ッ ト 機体外の レ ーザビ ー ム発振源か ら適宜の 管路を経て同機体まで導かれる。 次に、 矢印で図示の如 く 、 例えば、 ボ ス ト 1 4 の上方か ら機体内に入 り 、 ボ ス ト 1 4 に対する ロ ボ ッ ト ア ー ム 1 6 の揺動中心軸線上に 設け られた レ ーザビ ー ム の進路変更用 ミ ラ 一 （図示な し） で第 4 図に示す矢印方向に進路変更 して、 ロ ボ ッ ト ァ ー ム 1 6 内に入 り 、 同ア ー ム 1 6 内では、 再び進路を ミ ラ 一 （図示な し） によ り 変更さ れ、 了 ー ム の長軸線に沿 つ て ロ ボ ッ ト 手首 1 8 へ進む。 ロ ボ ッ ト 手首 1 8 内部では 再び ミ ラ 一によ る進路変更を受けてか ら レーザビ ー ム出 射装置 2 0 へ導かれ、 集光 レ ン ズ系を経て外部に向けて 出射さ れる レ ーザビ ー ム管路が形成さ れてい る。 本実施 例の レーザロ ボ ッ ト 1 0 では、 ロ ボ ッ ト 了 ー 厶 1 & が蛇 腹構造に形成さ れ、 ア ー ム長軸線方向に伸縮自 在に形成 さ れてい る ので、 レーザビ ー ムは こ の蛇腹構造の ロ ボ ッ ト ア ー ム 1 6 内部に収納さ れたテ レ ス コ ープ式に伸縮す る レ ーザビ ー ム管路に ¾ つ て導かれる よ う に成っ てい る。

上述のよ う に、 レーザ Ώ ボ ッ ト 1 0 では内部に レ ーザ ビ ー ム管路が設け られ、 ま た、 進路変更用の ミ ラ ーが設 け られてい るか ら、 特に、 後者の ミ ラ ーでは髙エ ネ ルギ —を有 した レ ーザビ ー ムを反射さ せてい る ため に、 加熱 高温化さ れる。 故に、 反射 ミ ラ ー に は ロ ボ ッ ト 機体外に 準備さ れた冷却水の供給源か ら冷却水が冷却水供給管路 を介 して供給さ れ、 ミ ラ ー冷却後に帰還す る よ う な冷却 氷循環路が従来よ り 配設さ れてい る。

他方、 レ ーザロ ボ ッ ト 1 0 の機体において、 上記ロ ボ ッ ト 基礎部 1 2 の側部に はボ ス ト 1 4 を縦軸線周 り に旋 回駆動する駆動モー タ M (9 が搭載さ れ、 基礎部 1 2 の内 部に設け られたベ ル ト · プー リ 機構等の伝動機構 （図示 な し） を経て同ボ ス ト 1 4 を縦軸線回 り に左右両方向に 回転駆動する構成が設け られてい る。

ま た、 ボ ス ト 1 4 の略中央部か ら橫方向に突出 した支 持ブラ ケ ッ ト 2 2 によ っ て枢動 自在に支持さ れたハ ウ ジ ング体 2 4 が設け られてい る。 こ のハ ウ ジ ン グ体 2 4 は ロ ボ ッ ト ア ー ム 1 6 の揺動駆動モー タ M v の出力軸と伝 動'機構を形成する ボー ルね じ軸 3 0 と の結合部を囲繞す る よ う に設け られ、 該ハ ウ ジ ング体 2 4 の内部に、 オ ル ダム継手等の適宜の継手手段 6 6 (第 1 図） と ボールね じ軸 3 G の回転支持用軸受 6 4 (第 1 、 2 図） 等が収納 さ れてい る。 そ して、 こ のハ ウ ジ ン グ体 2 4 の下端面 と 揺動駆動モ ータ M v の出力軸側の端面 （ フ ラ ン ジ面） と の間に後述する環状冷却水回路を有 したブラ ケ ッ ト 部材 2 6 が介挿さ れ、 こ のブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 を挟持する よ う に してハ ウ ジ ン グ体 2 4 に揺動駆動モ ー タ M V が、 ね じ ポ ル ト 等の取付け手段によ っ て取付け られてい る。 な お、 ブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 自 体 も後述する氷密封止構造を 得るために、 ハ ウ ジ ン グ体 2 4 の下面に当接状態でね じ ポル ト 2 8 に よ り 取付け られてい る 。

更に、 上記ボールね じ軸 3 0 に はナ ツ ト 3 2 が係合 し、 ポールね じ軸 3 0 の回転に応 じてね じ軸の軸線方向に直 動変位する よ う に設け られてい る。 つま り 、 ボールね じ 機構によ る伝動機構が形成さ れてい る。 こ のボールね じ 機構の上記ナ ツ ト 3 2 の直動変位は、 同ナ ツ ト 3 2 に結 合さ れた リ ン ク 機構 3 4 を介 してロ ボ ッ ト ア ーム 1 6 に 伝動さ れ、 同口 ポ ッ ト ア ー ム 1 6 によ る揺動中心 C の周 り の上下揺動を起動する構成に成っ てい る。 なお、 第 3 図、 第 4 図におけ る参照蕃号 3 6 は、 ケ ー ブルハ ウ ジ ン グを示 してお り 、 電気ケ ーブルや レ ーザビー ム ミ ラ ーの 冷却液用 フ レキ シ ブル管路等のケ ーブルが収納さ れてい 次に、 第 1 図、 第 2 図を参照する と、 これ らの図は、 上述 した レ ーザロ ボ ッ ト 1 0 の奪熱手段の要部を拡大図 示 してお り 、 ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 がハ ウ ジ ング体 2 4 と の当接面に環状に回設 した冷却氷回路 5 0 を有 してい る 構造が示さ れてい る。 即ち、 ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 自 体が 略 リ ン グ形状を有 した部材と して金属材料等の適宜の構 造材料で形成さ れ、 その リ ング形犹のブラ ケ ッ ト 部材 2 6 の上面に環犹に溝を穿設加工 し、 該ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 の溝加工面をハ ウ ジ ン グ体 2 4 の下面に当接さ せ、 こ の と き、 溝の周囲に 〇 リ ン グ等の シ ー ル部材 5 2 を配設 して水密性の上記環妆冷却氷回路 5 0 を形成 してい る。 従 っ て、 ま た、 上記ブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 に は上記の環状 冷却水回路 5 0 に連通する冷却永入口 5 4 a と冷却水出 口 5 4 b と がね じ付き攢穴形状で穿設さ れてい るか ら、 周知のニ ッ プル、 パイ プ継手等を用 いて冷却氷供給パイ プ 5 6 、 冷却水帰還パイ プ 5 8 を結合 して上記の環状冷 却水回路 5 0 を周回流動する冷却氷回路を形成 し得る よ う にな つ てい る。 これ らの冷却氷洪給パイ プ 5 6 およ び 冷却水帰還パイ プ 5 8 は揺動駆動モー タ M v の電気配線 用ケ ー ブル 6 0 と共に ク ラ ン プ材で束ね られ、 ポ ス ト 1 4 内 に導入さ れ、 レ ーザビ ー ム管路に対する冷却水供給 系に適宜に接続さ れて、 冷却水の供給と帰還と が達せ ら れる よ う にな っ てい る も のであ る。

上述 した冷却水の環状冷却水回路を有 したブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 が揺動駆動モー タ M v と ボ ールね じ機構か ら成 る精密伝導機構と の間に介挿さ れてい る こ と によ り 、 ブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 が常に ロ ボ ッ ト 作動中 は強制冷却状態 におかれる。 故に、 揺動駆動モー タ M v で発生する熱は、 同モ ー タ の出力側端面、 つま り 、 フ ラ ン ジ面か ら冷却さ れた ブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 によ り 吸収さ れ、 こ こ で揺動駆 動モ ータ M v は奪熱作用を受け る。 故に、 同モータ M v か らノ、 ウ ジ ング体 2 4 への伝熱は肪止さ れる。 つま り 、 ハ ウ ジ ン グ体 2 4 か ら軸受 6 4 等の内部要素を介 してボ ールね じ軸 3 0 へ伝熱する熱伝導路がブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 によ り 、 遮断さ れる こ と にな る。 従っ て、 ポールね じ 軸 3 0 への伝熱が防止さ れ、 同 ポールね じ軸 3 0 の熱変 形原 Hが解消 さ れる こ と にな る。 即ち、 ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 が駆動モー タ M V と ボー ルね じ軸 3 0を有 した精密伝 導機構と の間を熱的に隔雜する のであ る。 こ こ で、 注目 すべき点は、 揺動駆動モータ M V が発する熱は精密伝動 機構側へブラ ケ ッ ト 部材 2 6 、 ハ ウ ジ ング体 2 4 を介 し て伝熱する分だけを奪熱さ れ、 モー タ 周囲へ散逸さ れる 熱分に は蘭与 しないので、 ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 の冷却水 回路 5 0 を循環させる冷却氷量は過大な冷却能力を要求 さ れる こ と は無 く 、 ブラ ケ ッ ト 部材 2 6 への伝熱分によ る熱を除去するだけの冷却能力で良 く 、 故に、 環 冷却 水回路 5 0 も極端に大き な溝に形成する必要は無い。

なお、 レ ーザロ ボ ッ ト 1 0 の保守等に当た り 、 揺動駆 動モータ M v やボールね じ軸 3 0 を交換目的で取外 しす る場合に も、 ブ ラ ケ ッ ト 部材 2 6 とハ ウ ジ ング体 2 4 と は結合ね じ 2 8 で一体結合状態に維持 したま まに放置で き、 〇 リ ング 5 2 によ り 氷密性も維持されるか ら、 保守 時に冷却水が水漏れを起こす危惧も無 く 、 従って、 保守 作業に当た り 、 水漏れを警戒する めの余分な注意力が要 求さ れず、 簡便に遂行 し得る利点も あ る。

なお、 上述の実施例は レ ーザロ ボ ッ トの揺動駆動モ ー タ と伝動機構と の間に介挿 したブラ ケ ッ ト 部材に環状冷 却水回路を設けた実施例 と したが、 本発明の思想は、 モ ー タ を直接的に冷却する こ と はな く 、 伝熱路に単一のブ ラ ケ ッ ト 部材を介揷 し、 こ のブラ ケ ッ ト 部材を レ ーザ ミ ラ ーの冷却水を併用 して強制冷却する こ と によ り 、 熱変 形によ り 動作精度上で影響を受け る伝動機構への伝熱を 遮断する も のであ るか ら、 本実施例の構造の レ ーザロ ボ ッ ト に跟る こ と な く 、 種々 の レ ーザ ϋ ボ ッ ト に適用す る こ と ができ る こ と を理解すべきであ る。

第 5 図は、 本発明 によ る奪熱手段を設けた場合に は、 従来技術に比較 して熱的平衡を得る のに極めて小時間で 実現でき る こ とを示 したグ ラ フ 図で、 従来は、 熱平衡に 達する のに長時間 Τ 。 を要 し、 しかも、 平衡熱が比較的 髙ぃ状態に あ る が、 本発明では、 短時間 T t で平衡状態 に達 し、 しかも、 低い温度 レ ベ ルで平衡を得る こ とがで f る。

以上、 の説明か ら理解でき る よ う に、 本発明 によれば、 レ ーザロ ボ ッ ト の精密伝動機構への伝熱が防止さ れ、 該 精密伝動機構の作用精度を髙 レペ ル に維持でき る効果が あ る。 ま た、 本発明の奪熱手段は、 発熱源であ る電動モ — タ 自 体を冷却する こ とを避け、 モー タ か ら熱を嫌 う 精 密伝動機構と の間に伝熱遮断作用を有 した循環冷却回路 を備え る ブラ ケ ッ ト 部材を介挿する も のであ り 、 奪熱能 力 はモ ー タ に直接、 冷却作用を付与する よ り 、 小能力 に して所要の奪熱効果を上げる こ とができ る。 しかも、 冷 却媒体は レ ーザロ ボ ッ ト の レ ーザビ ー ム反射 ミ ラ ー の冷 却水を併用する か ら、 既存の レ ーザ o ボ ッ ト に対 して も 、 環妆冷却回路を形成 した ブラ ケ ッ ト 部材を組み込むだ けで、 熱によ る伝動機構への悪影響を遮断する こ とがで き る。 更に、 揺動駆動モータ を冷却フ ァ ン等で冷却する に は、 冷却装置の大型化を避け得ないが、 本発明の奪熱手段に よれば、 ブラ ケ ッ ト 部材内に冷却構造が内蔵された構成 にあ り 、 故に、 コ ン パク な奪熱手段が実現でき る のであ _ る。 ま た、 レ ーザロ ボ ッ 卜 の保守性を損なわない利点も の o

Claims

請求の範囲

1 . ロ ボ ッ ト 基礎部と、 その ロ ボ ッ ト 基礎部上に縦軸 回 り に旋回可能に立設さ れた ロ ボ ッ ト 旋回 ポ ス ト 部と、 その ボ ッ ト 旋回ポ ス ト 部に取付け られ、 該ロ ボ ッ ト 旋 回 ボ ス ト 部に対 して垂直面内で上下に首振 り 揺動する と 共に腕長さ 方向に伸縮動作する よ う に設け られ、 かつ、 その先端に向けて レ ーザビ ー ムを案内する レ ーザビ ー ム 管路を内蔵 した ロ ボ ッ ト ア ー ム と 、 a ボ ッ ト ア ー ム の先 端に具備さ れ、 案内れさ た レ ーザビ ー ムを出射する レ ー ザ出射装置と、 精密伝動装置を介 して前記ロ ボ ッ ト ァ ー ム の揺動々 作を駆動する駆動モータ と、 冷却水源か ら供 給さ れる冷却水を用 いて駆動モータ によ り 発生さ れる熱 を吸収 し、 以てその駆動モ ータ か ら前記精密伝動機構に 対する伝熱防止を行 う 奪熱手段とを具備 した レ ーザロ ボ ッ ト であ つ 、

前記奪熱手段は、 前記精密伝動機構と前記駆動モー タ と の間に介挿さ れ、 該揺勖駆動モー タ の出力軸側端面に 当接さ せた第一の端部と、 前記精密伝動機構に当接さ せ た第 2 の端部と、 冷却氷を流動通過 さ せて冷却効果を得 る環状に Dfl設さ れた流体回路とを有 したブラ ケ ッ ト 手段 と、

前記冷却氷供給源と前記ブラ ケ ッ ト 手段の前記環状回 設流体回路と を結合 して前記冷却 を該環钛 ω設流体回 路の内部に流入せ しめ る流体供給管と、 前記ブラ ケ ッ ト 手段の前記環状凹設流体回路と前記冷 却水供給源とを結合 して前記冷却水を前記冷却水供給源 へ帰還させる流体帰還管とを、

具備 して構成さ れた こ と を特徵と した レ ーザロ ボ ッ ト 。

2 . 前記環状凹設流体回路を有 した前記ブラ ケ ッ ト 手 段は前記駆動モータ と前記精密伝動機構を囲繞 したハ ウ ジ ング体と の間に挟持さ れた リ ン グ状部材か ら成 り 、 該 環犹凹設流体回路の 1 8 0 ° 隔てた 2 位置に冷却水入口 と冷却水帰還口 とを有 してい る請求項 1 に記載の レ ーザ ロ ボ ッ ト 。 —

3 . 前記精密伝動機構は、 ボー ルね じ機構と、 該ポー ルね じ機構のナ ツ ト と前記ロ ボ ッ ト ア ー ム と の間を結合 する リ ン ク 機構とを有 して成る請求項 1 に記載の レ ーザ 口 ホ ッ ト

4 . 前記冷却水供給源は、 前記 π ポ ッ ト ア ー ム の レ ー ザビ ー ム管路を冷却するための冷却水供給源を併用する も のであ る請求項 1 に記載の レ ーザ π ポ ッ ト 。