KR102606327B1 - 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템 - Google Patents

카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102606327B1
KR102606327B1 KR1020230104875A KR20230104875A KR102606327B1 KR 102606327 B1 KR102606327 B1 KR 102606327B1 KR 1020230104875 A KR1020230104875 A KR 1020230104875A KR 20230104875 A KR20230104875 A KR 20230104875A KR 102606327 B1 KR102606327 B1 KR 102606327B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
discharge pipe
housing
camera module
reaction
support member
Prior art date
Application number
KR1020230104875A
Other languages
English (en)
Inventor
이승룡
이진호
김선태
권대근
Original Assignee
(주)제이솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)제이솔루션 filed Critical (주)제이솔루션
Priority to KR1020230104875A priority Critical patent/KR102606327B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102606327B1 publication Critical patent/KR102606327B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954—Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50—Constructional details
    • H04N23/51—Housings
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50—Constructional details
    • H04N23/555—Constructional details for picking-up images in sites, inaccessible due to their dimensions or hazardous conditions, e.g. endoscopes or borescopes
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/76—Television signal recording
    • H04N5/765—Interface circuits between an apparatus for recording and another apparatus
    • H04N5/77—Interface circuits between an apparatus for recording and another apparatus between a recording apparatus and a television camera
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N7/00—Television systems
    • H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에 관한 것으로, 반도체 또는 디스플레이 제조장비에서 반응부산물 가스 중 일부가 배출관에 고형화되어 누적되는 상태를 실시간으로 모니터링하여 신속히 필요한 조치를 취할 수 있으며, 카메라모듈 및 제어박스를 모듈화된 형태로 간단히 설치 및 교체 가능하도록 한 것이다.

Description

카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체 또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템{Internal monitoring system of reaction byproduct gas discharge pipe of semiconductor or display manufacturing equipment with modular structure of camera module and control box}
본 발명은 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에 관한 것으로, 특히 반도체 또는 디스플레이 제조장비에서 반응부산물 가스 중 일부가 배출관에 고형화되어 누적되는 상태를 실시간으로 모니터링하여 신속히 필요한 조치를 취할 수 있으며, 카메라모듈 및 제어박스를 모듈화된 하나의 형태로 간단히 설치 및 교체 가능하도록 한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 LCD 제조공정에서 사용되는 공정챔버들은 진공의 분위기에서 공정을 수행하게 되고, 공정 수행을 위해 공정챔버에 공급된 가스들 중 잔여가스와 부산물 가스는 진공 라인인 배출관을 통해서 배출되도록 하고 있다.
이 과정에서 고온의 공정챔버 내에 있던 잔여가스 및 부산물 가스는 배출관을 지나면서 온도가 낮아지게 되고, 이로 인해 가스 배출관의 내벽면에 일부가 고착되는 경우가 발생한다. 즉, 공정을 수행하는 공정챔버 내부는 고온의 상태이므로 가스는 기체 상태로서 유지될 수가 있으나, 배출관을 통해 이동하면서 온도가 낮아지게 되므로 가스 중 일부가 배출관의 내벽에 고형화된 파우더 상태로 고착되어 누적되면서 배출관의 관경을 좁히고 압력을 상승시켜 배기력을 저하시키고 심지어 화재를 유발하는 문제가 있게 된다. 특히 배출관 중에서도 꺾인 부위, 연결부, 돌출부 등에 가스가 고형화되어 생성된 파우더가 고착되어 누적되는 현상이 두드러졌었다.
이와 관련하여 잔여가스 및 부산물 가스가 고형화되어 누적되는 문제를 해소하기 위해 한국등록특허공보 제0990157호에 개시된 히팅자켓과 같은 기술들이 다양하게 일부 개발되기도 하였으나, 정착 배출관 내부의 상태를 실시간으로 모니터링하여 관리할 수 있는 효과적인 방안은 없었다.
한국공개특허공보 제2021-0048134호(2021.05.03)
이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 또는 디스플레이 제조장비에서 반응부산물 가스 중 일부가 배출관에 고형화되어 누적되는 상태를 실시간으로 모니터링하여 신속히 필요한 조치를 취할 수 있으며, 카메라모듈 및 제어박스를 모듈화된 하나의 형태로 간단히 설치 및 교체 가능하도록 한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기술적 사상에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템은, 반도체와 디스플레이 제품을 포함하는 제품군 중 어느 한 제품을 제조하는 제조장비에서 반응부산물 가스가 이송되는 배출관 내부의 상태를 촬영할 수 있도록 한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템으로서, 상기 배출관 외주면을 천공하여 형성된 천공홀에 연통하도록 설치된 마운트관을 통해 상기 배출관 내부로 인입된 상태에서 상기 배출관 내부를 촬영하여 영상정보를 생성하는 카메라모듈; 상기 마운트관을 관통한 상태로 설치되며 일단부가 상기 배출관 내부에서 상기 카메라모듈을 지지하는 지지부재; 및 상기 카메라모듈이 생성한 영상정보를 네트워크를 통해 전달받아 기록하는 영상기록장치;를 포함하고, 상기 마운트관은 상기 배출관과 연결되는 반대편 단부에 플랜지를 구비하며, 일측면이 상기 마운트관의 플랜지에 대응하여 대면한 상태로 체결되는 커버 플레이트를 더 포함하여 상기 지지부재가 상기 커버 플레이트를 관통한 상태로 상기 커버 플레이트에 지지되며, 상기 커버 플레이트의 타측면에는 스위치 모드 전원 공급장치(SMPS)를 내부에 수용하는 제어박스가 장착되어 상기 커버 플레이트를 중심으로 상기 지지부재, 상기 카메라모듈 및 상기 제어박스가 하나의 모듈로 이루어져서, 상기 커버 플레이트를 상기 마운트관의 플랜지에 체결하는 것만으로 상기 배출관에 대한 상기 지지부재, 카메라모듈 및 제어박스의 설치까지 완료될 수 있도록 한 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.
여기서, 상기 지지부재는 상기 커버 플레이트의 중앙부를 관통하여 회전 가능한 상태로 지지되며, 상기 제어박스의 외측면에서 회전 가능하도록 설치되되 상기 제어박스의 외측면을 관통하여 상기 지지부재의 상단부에 회전력을 제공할 수 있도록 연결되어 회전동작을 통해 상기 지지부재와 상기 지지부재의 하단부에 연결된 카메라모듈을 회전시킬 수 있도록 한 스윙각 조절핸들을 더 구비한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 지지부재의 일단부에는 원판형 지지체와 상기 지지체에 회전 가능하도록 결합된 회전노브가 설치되며 상기 카메라모듈의 하우징 후단부가 상기 회전노브의 외주면에 연결되어 상기 회전노브를 따라 회전할 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 지지체와 회전노브 사이에는 상기 지지체에 대하여 상기 회전노브가 일방향으로 회전하는 경향을 갖도록 탄성지지하여 상기 카메라모듈이 일방향으로 회전한 상태가 되도록 유도하는 토션스프링이 더 설치되며, 상기 제어박스 내에 설치된 기어 어셈블리와, 상기 기어 어셈블리와 상기 회전노브 간을 연결하여 상기 회전노브가 일방향으로 회전하지 않도록 지지하되 외력에 의해 당겨지면 상기 회전노브를 타방향으로 회전시키면서 상기 카메라모듈이 타방향 회전하도록 유도하는 텐션 와이어와, 상기 제어박스의 외측면에서 회전 가능하도록 설치되되 상기 제어박스의 외측면을 관통하여 상기 기어 어셈블리에 회전력을 제공할 수 있도록 연결되어 회전동작을 통해 상기 텐션 와이어를 당길 수 있도록 한 틸팅각 조절핸들을 더 구비한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 지지부재는 중공의 관으로 형성되어 상기 텐션 와이어가 상기 지지부재의 내부를 경유하여 상기 기어 어셈블리와 회전노브 간을 연결하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 카메라모듈은, 상기 지지부재의 일단부에 지지된 상태로 설치된 하우징; 및 상기 하우징의 선단부 내부에 설치되어 상기 하우징 선단부를 가로질러 내부를 차단하도록 설치된 전면창을 통해 상기 배출관 내부를 촬영하는 카메라;를 포함하며, 상기 하우징의 후단부에는 질소가스가 유입되도록 유입구가 형성되며, 상기 하우징의 선단부 중 상기 전면창 전측에 위치한 부위에는 내주면의 내경이 전방으로 갈수록 커지는 경사면이 형성되고, 상기 경사면을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제1분사공이 형성되어 상기 유입구를 통해 상기 하우징의 내부로 유입된 질소가스가 상기 하우징 내부를 경유한 후 다수의 제1분사공을 통해 전방을 향해 원관형으로 분사되면서 배출관 내부에서 흐르는 반응부산물 가스가 상기 전면창에 접근하지 못하도록 차단하는 에어커튼을 형성하도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 선단부 중 상기 제1분사공이 형성된 경사면보다 상기 전면창에 인접한 부위의 내주면에는 둘레방향을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제2분사공이 형성되어 상기 유입구를 통해 상기 하우징의 내부로 유입된 질소가스 중 일부가 상기 하우징 내부를 경유한 후 다수의 제2분사공을 통해 하우징의 직경방향으로 분사되면서 상기 전면창을 접촉하여 세척할 수 있도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 선단부에는 상기 전면창 둘레부를 감싸서 고정하는 환형 돌부가 형성되되 상기 환형 돌부는 그 외주면을 따라 질소가스가 전방을 향하여 흐르도록 안내하다가 상기 제1분사공 및 제2분사공으로 연통되는 유로를 형성하여, 상기 환형 돌부의 외주면을 따라 흐르는 질소가스가 상기 제1분사공을 통해 동일방향으로 분사될 때보다 상기 제2분사공을 통해 다른 방향으로 분사될 때 감속된 상태로 분사되어 제1분사공으로부터 질소가스가 분사되어 형성되는 원관형의 에어커튼을 손상시키지 않도록 한 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 후단부 내부에서 유입구로부터 이격된 지점을 가로지른 원판 형태로 설치되어 상기 하우징 내주면과의 사이로 질소가스가 흐를 수 있도록 유로를 형성하는 확산 본체부와, 상기 확산 본체부를 상기 유입구가 형성된 하우징의 내측 후면에 지지하는 복수의 다리로 이루어진 확산부재를 더 포함하여, 상기 유입구를 통해 상기 하우징 내부로 유입된 질소가스가 상기 확산부재에 의해 확산된 후 상기 하우징의 내주면을 따라 흐르도록 유도하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 확산 본체부의 후면 둘레부는 질소가스를 점진적으로 하우징의 내주면 쪽으로 안내할 수 있도록 곡면으로 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 확산부재의 확산 본체부 중앙부에는 상기 하우징의 후단부 유입구를 통해 유입된 질소가스 중 일부가 그대로 관통한 후 상기 하우징 내부에 설치된 카메라와 LED 조명에 접촉하여 흐르도록 유도함으로써 카메라와 LED 조명의 냉각과 질소가스의 온도 상승을 유도하는 중앙 통공이 더 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템은 반도체 또는 디스플레이 제조장비에서 반응부산물 가스 중 일부가 배출관에 고형화되어 누적되는 상태를 실시간으로 모니터링하여 신속히 필요한 조치를 취할 수 있도록 해주며, 커버 플레이트를 중심으로 카메라모듈, 제어박스 및 지지부재가 하나로 모듈화되어 배출관에 매우 간단히 설치하고 분리할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 질소가스를 흐름을 이용하여 카메라모듈의 내부 부품을 냉각하는 동시에 전면창 앞에서 원관형의 에어커튼 형성용 질소가스와 세척용 질소가스가 분사되도록 한 독창적인 이중 분사에 의해 반응부산물 가스가 흐르는 배출관 내부의 극한 환경에서도 장기간 보수 없이 원활한 촬영을 할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 카메라모듈을 배출관에서 꺼내지 않아도 스윙방향과 틸탕방향으로 촬영각도를 변경할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템의 구성도
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 배출관에 카메라모듈이 설치된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈 및 지지부재의 단면도
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈의 구성 및 질소가스 유입경로를 설명하기 위한 단면도
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈의 질소가스 흐름 경로를 설명하기 위한 참조단면도
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈의 스윙각 조절 구조를 설명하기 위한 참조사시도
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈의 틸팅각 조절 구조를 설명하기 위한 분해사시도
도 8 및 도 9는 본 발명의 변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 제어박스의 내부 구성을 설명하기 위한 참조사시도
도 10은 본 발명의 제1변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도
도 11은 본 발명의 제2변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도
도 12는 본 발명의 제2변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조의 동작을 설명하기 참조도
도 13은 본 발명의 제3변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도
도 14는 본 발명의 제3변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조의 동작을 설명하기 참조도
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 지니고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 지니는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
<실시예>
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 배출관에 카메라모듈이 설치된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈 및 지지부재의 단면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템은 반도체 또는 디스플레이를 제조하는 제조장비에서 반응부산물 가스가 이송되는 배출관(P0) 내부의 상태를 촬영하여 모니터링할 수 있도록 한 것으로, 카메라모듈(100) 및 제어박스(200)를 구비하여 각각의 배출관(P0) 내부를 촬영할 수 있도록 한 촬영장치(10)를 중심으로 상기 카메라모듈(100)이 생성한 영상정보를 기록하는 영상기록장치(20), 영상정보를 저장하는 데이터베이스(30) 및 영상정보를 전달받아 영상 출력하는 디스플레이(40)를 포함하여 이루어진다.
본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템은 반응부산물 가스 중 일부가 배출관(P0)에 고형화되어 누적되는 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것은 물론, 카메라모듈(100)과 제어박스(200)를 모듈화된 형태로 배출관(P0)에 간단히 설치 및 분리하여 교체할 수 있도록 구성된다. 또한, 질소가스를 이용하여 카메라모듈(100)을 냉각하는 동시에 카메라모듈(100)을 보호하기 위한 에어커튼을 형성할 수 있도록 하여 반응부산물 가스와 그로부터 생성된 파우더로 인해 오염되기 쉬운 배출관(P0) 내부의 극한 환경에서도 원활한 촬영이 이루어지도록 구성된다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에 대해 상세히 설명한다.
본 발명에서 촬영장치(10)를 이루는 카메라모듈(100), 제어박스(200) 및 지지부재(330)는 도 2 및 도 3에 도시된 것처럼 하나의 모듈을 이루면서 배출관(P0)에 간단히 설치 및 분리하여 교체할 수 있도록 구성된다.
이를 위해 상기 지지부재(330)는 마운트관(310)을 관통한 상태로 설치되며 하단부가 배출관(P0) 내부에서 카메라모듈(100)을 지지한다. 상기 지지부재(330)는 도 3에 도시된 것처럼 내부에 유로를 형성하여 하우징(120)의 유입구(121)와 연결되는 중공의 관으로 구비된다. 상기 지지부재(330)의 상단부에는 질소가스의 외부 공급호스가 연결되는 연결관(331)이 분기된 형태로 구비된다. 상기 지지부재(330)의 하단부에는 다른 부위에 비해 좁은 관경을 갖고 지지체(341)와 연결되는 하부 연장부(332)가 형성된다.
상기 커버 플레이트(320)는 마운트관(310)에서 배출관(P0)과 연결되는 반대편 단부에 구비된 플랜지(310a)를 대면하여 볼트 체결되며 마운트관(310)에 대하여 지지부재(330)와 카메라모듈(100) 및 제어박스(200)를 모듈화하여 지지하는 역할을 한다. 이처럼 커버 플레이트(320)를 중심으로 지지부재(330)와 카메라모듈(100) 및 제어박스(200)를 하나로 모듈화한 구성은 본 발명에서 매우 중요한 역할을 한다. 즉, 이같이 모듈화된 구성에 의해 지지부재(330)와 카메라모듈(100) 및 제어박스(200)를 현장에서 일일이 조립하고 분해하는 번거로움 없이 커버 플레이트(320)를 마운트관(310)의 플랜지(310a)에 간단히 체결하고 분리하는 것만으로 이들 주요 구성요소 모두를 배출관(P0)에 설치할 수 있고 분리할 수 있는 것이다.
상기 제어박스(200)는 도 8 및 도 9에 도시된 것처럼 박스형 케이싱(210) 내부에 스위치 모드 전원 공급장치(230)(SMPS)를 구비하며, 브래킷(211)에 의해 커버 플레이트(320)에 결합된다. 제어박스(200)가 커버 플레이트(320)에 바로 결합되어 있으면 제어박스(200)가 담당하고 있는 해당 카메라모듈(100)과 함께 관리하기가 편해진다. 상기 제어박스(200)의 내부에는 카메라모듈(100)을 하단부에 지지하는 지지부재(330)의 상단부가 인입되며, 카메라모듈(100)의 틸팅각 조절을 위한 기어 어셈블리(220)가 설치된다. 상기 제어박스(200) 외측면에는 배출관(P0) 내부에서 카메라모듈(100)을 꺼내지 않아도 스윙방향으로 회전시킬 수 있도록 한 스윙각 조절핸들(360a)과 틸팅방향으로 회전시킬 수 있도록 한 틸팅각 조절핸들(360b)가 설치된다.
상기 카메라모듈(100)은 지지부재(330)의 일단부에 지지된 상태로 마운트관(310)을 통해 배출관(P0) 내부로 인입되며 배출관(P0) 내부를 촬영하여 영상정보를 생성하는 역할을 한다. 상기 카메라모듈(100)은 마운트관(310)의 플랜지(310a)에 체결되는 커버 플레이트(320)를 중심으로 그 반대편에 설치된 제어박스(200), 이들을 연결하는 지지부재(330)와 함께 하나로 모듈화된다. 이로써 상기 커버 플레이트(320)를 마운트관(310)의 플랜지(310a)에 간단히 체결하기만 하면 카메라모듈(100)이 마운트관(310)을 통해 배출관(P0) 내부에 인입된 상태로 설치되는 동시에 제어박스(200)는 배출관(P0) 외부에 설치된 상태가 되는 것이다.
상기 카메라모듈(100)은 도 4 및 도 5에 도시된 것처럼 카메라(110)와 상기 카메라(110)를 내부에 수용하는 하우징(120), LED 조명(130), 전면창(140), 확산부재(150)로 이루어진다. 상기 카메라모듈(100)의 배출관(P0) 내 설치방향은 반응부산물 가스의 흐름방향과 동일하게 하여 카메라모듈(100)의 전면창(140)이 반응부산물 가스가 흐르는 동안 대면하여 쉽게 오염되지 않도록 하는 것이 바람직하다. 하지만 본 발명은 필요한 경우 상기 지지부재(330)의 회전을 통해 카메라모듈(100)의 촬영방향을 반대로 변경할 수 있도록 하였다. 이에 대해서는 차후에 자세히 설명하기로 한다.
상기 카메라모듈(100)에서 카메라(110)는 하우징(120)의 선단부 내부에 설치되어 전면창(140)을 통해 배출관(P0) 내부를 촬영하는 역할을 한다. 상기 카메라(110)가 촬영하여 생성된 영상정보는 네트워크를 통해 영상기록장치(20)에 전달된다.
상기 하우징(120)은 원통형의 형상을 가지며 하우징 본체(120a)와 전면 커버(120b) 및 후면 커버(120c)의 3피스로 이루어진다. 상기 전면 커버(120b)는 하우징(120)의 선단부를 구성하고 상기 후면 커버(120c)는 하우징(120)의 후단부를 구성한다. 상기 하우징(120)의 선단부 중 전면창(140) 전측에 위치한 부위에는 내주면의 내경이 전방으로 갈수록 커지는 경사면(122)으로 형성되고, 그 경사면(122)을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제1분사공(123a)이 형성된다. 이로써 하우징(120) 후단부의 유입구(121)를 통해 하우징(120) 내부로 유입된 질소가스 중 일부가 제1분사공(122a)을 통해 분사되도록 한다. 상기 제1분사공(122a)을 통해 분사된 질소가스는 원관형의 에어커튼을 형성하여 배출관(P0) 내부에서 흐르는 반응부산물 가스가 전면창(140)에 쉽게 접근하지 못하도록 효과적으로 차단하게 된다.
한편, 상기 하우징(120)의 선단부 중 제1분사공(122a)이 형성된 경사면(122)보다 전면창(140)에 인접한 부위의 내주면(123)에는 둘레방향을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제2분사공(123a)이 형성된다. 이로써 하우징(120) 후단부에 형성된 유입구(121)를 통해 하우징(120)의 내부로 유입된 질소가스 중 나머지 일부가 제2분사공(123a)을 통해 분사된다. 이때 제2분사공(123a)을 통해 분사된 질소가스는 살짝 퍼지면서 전면창(140)에 비스듬히 접촉하여 전면창(140)을 세척한다.
여기서, 상기 제1분사공(122a)은 하우징(120)의 선단부 경사면(122)에서 전방으로 형성되고, 상기 제2분사공(123a)은 하우징(120) 선단부 내주면에서 직경방향으로 형성되어, 각각 하우징(120) 선단부의 전방과 하우징(120) 선단부의 내측 직경방향으로 질소가스를 입체적으로 분사하게 된다.
상기 하우징(120)의 선단부를 구성하는 전면 커버(120b)에는 전면창(140) 둘레부를 감싸서 고정하는 환형 돌부(124)가 형성되되 상기 환형 돌부(124)는 그의 외주면을 따라 질소가스가 전방을 향하여 흐르도록 안내하다가 제1분사공(122a) 및 제2분사공(123a)으로 연통되는 유로(상기 유로는 환형 돌부(124)의 외주면과 하우징 본체(120a) 사이에 형성된 틈새임)를 형성한다. 이같은 구성에 따르면 상기 환형 돌부(124)의 외주면을 따라 흐르는 질소가스가 제1분사공(122a)을 통해 동일방향으로 분사될 때보다 제2분사공(123a)을 통해 다른 방향으로 분사될 때 더 많이 감속된 상태로 분사된다. 이로써 제2분사공(123a)을 통해 분사된 질소가스가 전면창(140) 전면을 비스듬히 접촉한 직후 제1분사공(122a)을 통해 분사된 질소가스의 흐름을 훼손하지 않으면서 원활히 합류할 수 있게 된다. 만일 제2분사공(123a)을 통해 분사된 전면창(140) 세척용 질소가스의 흐름이 제1분사공(122a)을 통해 분사된 에어커튼용 질소가스의 흐름보다 더 강하거나 동일하다면 에어커튼용 질소가스의 흐름이 훼손될 수 있으며 이 경우 질소가스 분사에 의해 에어커튼을 형성하여 반응부산물 가스로부터 전면창(140)을 보호하는데 지장을 줄 수 있다.
상기 하우징(120)의 후단부 내부에서 질소가스의 흐름을 안내하기 위한 확산부재(150)가 더 설치된다. 상기 확산부재(150)는 하우징(120) 후단부 중앙에 형성된 유입구(121)로부터 이격된 지점을 가로지른 원판 형태로 설치되어 하우징(120) 내주면과의 사이로 질소가스가 흐를 수 있도록 유로를 형성하는 확산 본체부(151)와, 유입구(121)가 형성된 하우징(120)의 내측 후면에 대하여 이격을 두고 상기 확산 본체부(151)를 지지하는 복수의 다리(152)로 이루어진다. 여기서, 상기 확산 본체부(151)의 후면 둘레부는 질소가스를 점진적으로 하우징(120)의 내주면 쪽으로 안내할 수 있도록 부드러운 곡면(151a)으로 형성되는 것이 바람직하다.
이같은 확산부재(150)를 구비한 구성에 따르면 유입구(121)를 통해 하우징(120) 내부로 유입된 질소가스가 확산부재(150)에 의해 확산되어 하우징(120)의 내주면을 따라 원활하게 흐르도록 유도한다. 이로써 제1분사공(122a)과 연계된 질소가스의 흐름이 원활하게 이루어진다.
나아가, 상기 확산부재(150)의 확산 본체부(151) 중앙부에는 하우징(120)의 후단부 유입구(121)를 통해 유입된 질소가스 중 일부가 그대로 관통한 후 상기 하우징(120) 내부에 설치된 카메라와 LED 조명를 포함하는 내부 부품들에 접촉하여 흐르도록 유도하는 중앙 통공(151b)가 형성된다. 이로써 하우징(120) 내부로 유입되는 질소가스가 이들 내부 부품들에 활발히 접촉하여 냉각하는 것은 물론, 내부 부품들을 냉각하는 과정에서 질소가스의 온도가 상승하여 제1분사공(122a) 및 제2분사공(122b)을 통해 분사되었을 때 반응부산물 가스의 온도를 상승시켜 고형화되는 것을 억제하는데 도움이 될 수 있다. 이처럼 본 발명은 질소가스의 흐름을 통해 카메라모듈(100)의 전면창에 반응부산물 가스가 접근하지 않도록 에어커튼을 형성하여 차단하고 전면창을 세척하는 동시에, 하우징(120) 내부에 설치된 카메라 PCB, LED 조명을 포함하는 부품들을 냉각할 수 있게 된다.
상기 카메라모듈(100)의 하우징(120) 선단부에 설치된 전면창(140)은 사파이어 글라스로 구비되며 빛의 투과율을 향상시키고 반사 현상을 대비할 수 있도록 AR 코팅이 되어 있다. 그리고 카메라(110) 인근에는 카메라(110) 렌즈의 지향방향과 동일한 방향으로 발광하는 복수의 LED 조명(130)이 설치된다. LED 조명(130)은 LED 소자에 집광렌즈(130a)를 봉합한 것으로 상기 집광렌즈(130a)에 의해 광원 확보는 물론, 빛의 반사로 인한 카메라(110)의 빛 번짐 현상을 제거하게 된다. 이로써 카메라모듈(100)이 배출관(P0) 내부에서 더 원거리까지 촬영이 가능해지며 보다 선명한 영상정보를 생성할 수 있게 된다.
상기 카메라모듈(100)의 유입구(121)를 통해 질소가스를 공급하기 위하여 상기 지지부재(330)는 내부에 유로를 형성하여 하우징(120)의 유입구(121)와 연결되는 중공의 관으로 구비된다. 상기 지지부재(330)의 타단부에는 질소가스의 외부 공급호스(미도시됨)가 연결되는 연결관(331)이 분기된 형태로 구비된다. 그리고 도 5에 도시된 것처럼 지지부재(330)와 카메라모듈(100)의 하우징(120)을 회전 가능하게 연결하는 회전노브(342)와 하우징(120) 연결부(125)에 질소가스가 흐르도록 서로 연통되는 유로가 형성된다.(도면부호 342a는 회전노브(342)에 형성된 유로, 도면부호 125a는 하우징(120) 연결부에 형성된 유로를 가리킨다)
상기 카메라모듈(100)은 배출관(P0)에서 외부로 꺼내지 않더라도 스윙방향으로 회전시켜 촬영방향을 완전히 반대로도 변경하는 것이 가능하다. 이를 위해 상기 지지부재(330)는 도 6에 도시된 것처럼 커버 플레이트(320)의 중앙부를 관통하여 회전 가능한 상태로 지지된다. 이때 도 3에 도시된 것처럼 상기 커버 플레이트(320) 중앙부에는 하방향으로 단관 형태의 회전 지지관(320a)이 설치되고 상기 지지부재(330)가 회전 지지관(320a)을 관통한 상태로 지지되며 이 상태에서 지지부재(330)의 상방향 이탈을 방지하기 위해 지지부재(330) 외주면에 스토퍼 링(330b)이 접합된 상태로 설치되어 회전 지지관(320a)의 하단부에 접하며, 지지부재(330)의 하방향 이탈을 방지하기 위해 커버 플레이트(320) 상측에서는 스토퍼용 너트(330a)가 지지부재(330)에 체결된다.
또한, 상기 지지부재(330)에 회전력을 제공하기 위해 도 2에 도시된 것처럼 제어박스(200)의 상면에 스윙각 조절핸들(360a)이 더 설치된다. 상기 스윙각 조절핸들(360a)은 제어박스(200) 상면에서 납작한 디스크 형태로 설치되며 상면에는 작업자가 회전시키기 편하도록 돌출된 노브(361a)를 간단히 구비한다. 이같은 스윙각 조절핸들의 회전축은 제어박스(200) 상면을 관통하여 연결부재(350)와 연결되고 상기 연결부재(350)는 다시 지지부재(330)의 상단부와 연결된다. 여기서 상기 연결부재(350)는 도 6에 도시된 것처럼 역 U자형으로 형성되어 상단부에 제어박스(200) 상면을 관통한 스윙각 조절핸들(360a)의 회전축과 결합되는 연결부(351)과 상기 연결부(351)의 하단부에서 상대적으로 넓은 좌우 폭을 갖고 지지부재(330)의 상단부 외주면과 체결 또는 접합되는 결합부(352)로 이루어진다. 이같은 구성에 따라 카메라모듈(100)을 배출관(P0)에서 굳이 인출하지 않더라도 제어박스(200) 상면에 설치된 스윙각 조절핸들(360a)을 간단히 조작함으로써 카메라모듈(100)을 스윙방향으로 회전시킬 수 있으며 완전히 반대방향으로까지 회전시키는 것도 가능하다.
상기 카메라모듈(100)은 배출관(P0)에서 외부로 꺼내지 않더라도 틸팅시켜 촬영방향을 변경하는 것이 가능하다. 이를 위해 도 7에 도시된 것처럼 상기 지지부재(330)의 일단부에는 원판형 지지체(341)와 상기 지지체(341)에 회전 가능하도록 결합된 회전노브(342)가 설치되며 상기 카메라모듈(100)의 하우징(120) 후단부가 하우징 연결부(123)를 통해 회전노브(342)의 외주면에 연결된다. 이로써 상기 회전노브(342)를 따라 카메라모듈(100)이 회전할 수 있게 된다.
이에 더해, 상기 지지체(341)와 회전노브(342) 사이에는 지지체(341)에 대하여 회전노브(342)가 일방향으로 회전하는 경향을 갖도록 탄성지지하여 카메라모듈이 일방향으로(도면에서는 처짐방향인 하방향으로) 회전한 상태가 되도록 유도하는 토션스프링(343)이 더 설치된다. 상기 회전노브(342)에는 와이어 헤드(345)에 의해 텐션 와이어(344)의 일단부가 연결되고 도 8 및 도 9에 도시된 것처럼 제어박스(200) 내에 설치된 기어 어셈블리(220)에는 텐션 와이어(344)의 타단부가 연결된다. 그리고 제어박스(200)의 외측면에는 도 2에 도시된 것처럼 틸팅각 조절핸들(360b)이 회전 가능하도록 설치된다. 상기 틸팅각 조절핸들(360b)은 제어박스(200)의 일측면에서 납작한 디스크 형태로 설치되며 작업자가 회전시키기 편하도록 돌출된 노브(361b)를 간단히 구비한다. 이같은 틸팅각 조절핸들(360b)의 회전축은 제어박스(200) 일측면을 관통한 후 기어 어셈블리(220)에 속한 구동기어와 연결되어 구동기어 및 종동기어를 회전시킬 수 있게 된다. 이같은 구성에 따르면 카메라모듈(100)을 배출관(P0)에서 굳이 인출하지 않더라도 제어박스(200) 일측면에 설치된 틸팅각 조절핸들(360b)을 간단히 조작함으로써 텐션 와이어(344)에 의해 카메라모듈(100)을 일방향(도면상 상방향)으로 당겨 틸팅시킬 수 있으며 틸팅각 조절핸들(360b)을 반대방향으로 조작하면 텐션 와이어(344)에 의해 당겨졌던 카메라모듈(100)이 토션스프링(343)의 탄성에 의해 원래의 처짐 위치로 돌아가도록 할 수 있게 된다.
본 발명에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서는 카메라모듈(100)과 지지부재(330)의 결합구조를 다양하게 변형하는 것이 가능하다. 아래에서는 이같은 변형실시예들에 대해 설명한다.
도 10은 본 발명의 제1변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제1변형실시예에서는 지지부재(330)의 일단부에 원판형 지지체(341)와 상기 지지체(341)에 회전 가능하도록 결합된 회전노브(342)가 설치되며 상기 카메라모듈(100)의 하우징(120) 후단부가 하우징 연결부(123)를 통해 회전노브(342)의 외주면에 연결되는 구성은 변형 전과 대동소이하지만 토션스프링과 텐션 와이어를 구비하지는 않는다. 따라서 카메라 모듈(100)을 원하는 촬영각도로 회전시킨 상태에서 배출관(P0) 내부로 인입시켜야 한다. 이때 지지체(341)와 회전노브(342) 간에 간단히 볼트 체결을 하여 카메라모듈(100)의 처짐문제를 방지할 수 있다.
상기 지지체(341)와 회전노브(342)에 의해 카메라모듈(100)이 지지부재(330)에 회전 가능한 상태로 연결되더라도 중공의 지지부재(330)와 회전노브(342) 및 하우징 연결부(123) 내부에 유로가 형성되어 있으므로 카메라모듈(100)의 하우징(120)으로 질소가스를 공급하는 데 아무런 문제가 없다.
이같은 제1변형실시예의 경우 변형 전 실시예와 비교하여 보다 간단한 구성을 갖는다는 장점이 있지만 외부에서 카메라 촬영각도를 조작하지 못한다는 단점이 있다.
참고로, 설명되지 않는 다른 구성의 경우 대동소이하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 11은 본 발명의 제2변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도이며, 도 12는 본 발명의 제2변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조의 동작을 설명하기 참조도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제2변형실시예의 경우 카메라모듈(100)의 각도를 적어도 두 개의 지점에서 조절할 수 있도록 변형된 형태의 카메라모듈(100) 연결구조를 갖는 것을 특징으로 한다. 이를 위해 지지부재(330)의 일단부에 원판형 제1지지체(351a)와 상기 제1지지체(351a)에 회전 가능하도록 결합된 제1회전노브(352a)를 구비하며, 상기 제1회전노브(352a)의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 연장된 연결아암(353)과, 상기 연결아암(353)의 선단부에 설치되되 상기 제1지지체(351a)와 직교한 방향으로 설치된 제2지지체(351b)와, 상기 제2지지체(351b)에 회전 가능하도록 결합된 제2회전노브(352b)를 구비한다. 상기 카메라모듈(100)의 하우징(120) 후단부는 상기 제2회전노브(352b)의 외주면에 연결되어 제2회전노브(352b)를 따라 회전할 수 있도록 한다.
이렇게 변형된 형태의 카메라모듈(100)의 연결구조에 따르면 도 11에 도시된 것처럼 제1회전노브(352a)와 제2회전노브(352b)에 의해 적어도 두 개의 지점에서 카메라모듈(100)의 각도를 조절하는 것이 가능하며, 변형 전과 비교하여 카메라모듈(100)의 각도 조절이 틸팅각 조절을 포함하여 보다 다양하게 이루어질 수 있기 때문에 지지부재(330) 및 카메라모듈(100)을 배출관(P0)에 대하여 상측에서 인입시키지 않고 측면에서 인입시키더라도 원활한 촬영이 가능해진다. 도 12를 참고하면 카메라모듈(100)의 촬영방향을 그대로 유지하면서 연결아암(353)에 의해 배출관(P0)의 원주방향을 따라 이동시킬 수도 있음을 알 수 있다.
도 13은 본 발명의 제3변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조를 설명하기 위한 사시도이며, 도 14는 본 발명의 다른 변형실시예에 의한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템에서 카메라모듈과 지지부재의 변형된 결합구조의 동작을 설명하기 참조도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제3변형실시예의 경우 카메라모듈(100)의 각도를 적어도 세 개의 지점에서 조절할 수 있도록 변형된 카메라모듈(100) 연결구조를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이를 위해 상기 지지부재(330)의 일단부에 원판형 제1지지체(351a)와 상기 제1지지체(351a)에 회전 가능하도록 결합된 제1회전노브(352a)를 구비하며, 상기 제1회전노브(352a)의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 연장된 제1연결아암(353a)과, 상기 제1연결아암(353a)의 선단부에 설치된 제2지지체(351b)와, 상기 제2지지체(351b)에 회전 가능하도록 결합된 제2회전노브(352b)를 구비한다. 상기 제2회전노브(352b)의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 연장된 제2연결아암(353b)과, 상기 제2연결아암(353b)의 선단부에 설치되되 상기 제2지지체(351b)와 직교한 방향으로 설치된 제3지지체(351c)와, 상기 제3지지체(351c)에 회전 가능하도록 결합된 제3회전노브(352c)를 구비하며, 상기 카메라모듈(100)의 하우징(120) 후단부가 하우징 연결부(125)에 의해 제3회전노브(352c)의 외주면에 연결되어 제3회전노브(352c)를 따라 회전할 수 있도록 한다.
이같은 제3변형실시예에 따른 변형된 형태의 카메라모듈(100) 연결구조에 따르면 도 14에 도시된 것처럼 제1회전노브(352a)와 제2회전노브(352b) 및 제3회전노브(352c)에 의해 적어도 세 개의 지점에서 카메라모듈(100)의 각도를 조절하는 것이 가능하며, 변형 전과 비교하여 카메라모듈(100)의 각도 조절이 틸팅각 조절 및 높이 조절을 포함하여 보다 다양하게 이루어질 수 있다. 이 때문에 지지부재(330) 및 카메라모듈(100)을 배출관(P0)에 대하여 상측에서 인입시키지 않고 측면에서 인입시키더라도 원활한 촬영이 가능해진다. 이처럼 3개의 지점에서 각도 조절이 가능하도록 구성된 경우 지지부재(330)의 일단측을 곡선형으로 절곡시켜 배출관(P0) 내부에서 공간 활용성을 더욱 높여주는 것이 바람직하다. 이로써 전술된 제2변형실시예와 달리 카메라모듈(100)의 위치를 배출관(P0) 내부 중앙에 위치시킬 수도 있고 배출관(P0) 내부 중앙에서 벗어난 지점에도 위치시킬 수 있는 장점이 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.
100: 카메라모듈 110: 카메라
120: 하우징 130: LED 조명
140: 전면창 150: 확산부재
200: 제어박스 210: 케이싱
220: 기어 어셈블리 230: 스위치 모드 전원 공급장치(SMPS)
300: 지지 어셈블리 310: 마운트관
320: 커버 플레이트 330: 지지부재

Claims (11)

  1. 반도체와 디스플레이 제품을 포함하는 제품군 중 어느 한 제품을 제조하는 제조장비에서 반응부산물 가스가 이송되는 배출관 내부의 상태를 촬영할 수 있도록 한 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템으로서,
    상기 배출관 외주면을 천공하여 형성된 천공홀에 연통하도록 설치된 마운트관을 통해 상기 배출관 내부로 인입된 상태에서 상기 배출관 내부를 촬영하여 영상정보를 생성하는 카메라모듈; 및 상기 마운트관을 관통한 상태로 설치되며 일단부가 상기 배출관 내부에서 상기 카메라모듈을 지지하는 지지부재;를 포함하여 상기 카메라모듈이 생성한 영상정보를 네트워크를 통해 전달할 수 있도록 하며,
    상기 마운트관은 상기 배출관과 연결되는 반대편 단부에 플랜지를 구비하며, 일측면이 상기 마운트관의 플랜지에 대응하여 대면한 상태로 체결되는 커버 플레이트를 더 포함하여 상기 지지부재가 상기 커버 플레이트를 관통한 상태로 상기 커버 플레이트에 지지되며,
    상기 커버 플레이트의 타측면에는 전원 공급장치를 내부에 수용하는 제어박스가 장착되어 상기 커버 플레이트를 중심으로 상기 지지부재, 상기 카메라모듈 및 상기 제어박스가 하나의 모듈로 이루어져서, 상기 커버 플레이트를 상기 마운트관의 플랜지에 체결하는 것만으로 상기 배출관에 대한 상기 지지부재, 카메라모듈 및 제어박스의 설치까지 완료될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 커버 플레이트의 중앙부를 관통하여 회전 가능한 상태로 지지되며,
    상기 제어박스의 외측면에서 회전 가능하도록 설치되되 상기 제어박스의 외측면을 관통하여 상기 지지부재의 상단부에 회전력을 제공할 수 있도록 연결되어 회전동작을 통해 상기 지지부재와 상기 지지부재의 하단부에 연결된 카메라모듈을 회전시킬 수 있도록 한 스윙각 조절핸들을 더 구비한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재의 일단부에는 원판형 지지체와 상기 지지체에 회전 가능하도록 결합된 회전노브가 설치되며 상기 카메라모듈의 하우징 후단부가 상기 회전노브의 외주면에 연결되어 상기 회전노브를 따라 회전할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지체와 회전노브 사이에는 상기 지지체에 대하여 상기 회전노브가 일방향으로 회전하는 경향을 갖도록 탄성지지하여 상기 카메라모듈이 일방향으로 회전한 상태가 되도록 유도하는 토션스프링이 더 설치되며,
    상기 제어박스 내에 설치된 기어 어셈블리와, 상기 기어 어셈블리와 상기 회전노브 간을 연결하여 상기 회전노브가 일방향으로 회전하지 않도록 지지하되 외력에 의해 당겨지면 상기 회전노브를 타방향으로 회전시키면서 상기 카메라모듈이 타방향 회전하도록 유도하는 텐션 와이어와, 상기 제어박스의 외측면에서 회전 가능하도록 설치되되 상기 제어박스의 외측면을 관통하여 상기 기어 어셈블리에 회전력을 제공할 수 있도록 연결되어 회전동작을 통해 상기 텐션 와이어를 당길 수 있도록 한 틸팅각 조절핸들을 더 구비한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지부재는 중공의 관으로 형성되어 상기 텐션 와이어가 상기 지지부재의 내부를 경유하여 상기 기어 어셈블리와 회전노브 간을 연결하는 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 카메라모듈은, 상기 지지부재의 일단부에 지지된 상태로 설치된 하우징; 및 상기 하우징의 선단부 내부에 설치되어 상기 하우징 선단부를 가로질러 내부를 차단하도록 설치된 전면창을 통해 상기 배출관 내부를 촬영하는 카메라;를 포함하며,
    상기 하우징의 후단부에는 질소가스가 유입되도록 유입구가 형성되며, 상기 하우징의 선단부 중 상기 전면창 전측에 위치한 부위에는 내주면의 내경이 전방으로 갈수록 커지는 경사면이 형성되고, 상기 경사면을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제1분사공이 형성되어 상기 유입구를 통해 상기 하우징의 내부로 유입된 질소가스가 상기 하우징 내부를 경유한 후 다수의 제1분사공을 통해 전방을 향해 원관형으로 분사되면서 배출관 내부에서 흐르는 반응부산물 가스가 상기 전면창에 접근하지 못하도록 차단하는 에어커튼을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하우징의 선단부 중 상기 제1분사공이 형성된 경사면보다 상기 전면창에 인접한 부위의 내주면에는 둘레방향을 따라 서로 이격을 두고 다수의 제2분사공이 형성되어 상기 유입구를 통해 상기 하우징의 내부로 유입된 질소가스 중 일부가 상기 하우징 내부를 경유한 후 다수의 제2분사공을 통해 하우징의 직경방향으로 분사되면서 상기 전면창을 접촉하여 세척할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 하우징의 선단부에는 상기 전면창 둘레부를 감싸서 고정하는 환형 돌부가 형성되되 상기 환형 돌부는 그 외주면을 따라 질소가스가 전방을 향하여 흐르도록 안내하다가 상기 제1분사공 및 제2분사공으로 연통되는 유로를 형성하여,
    상기 환형 돌부의 외주면을 따라 흐르는 질소가스가 상기 제1분사공을 통해 동일방향으로 분사될 때보다 상기 제2분사공을 통해 다른 방향으로 분사될 때 감속된 상태로 분사되어 제1분사공으로부터 질소가스가 분사되어 형성되는 원관형의 에어커튼을 손상시키지 않도록 한 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 하우징의 후단부 내부에서 유입구로부터 이격된 지점을 가로지른 원판 형태로 설치되어 상기 하우징 내주면과의 사이로 질소가스가 흐를 수 있도록 유로를 형성하는 확산 본체부와, 상기 확산 본체부를 상기 유입구가 형성된 하우징의 내측 후면에 지지하는 복수의 다리로 이루어진 확산부재를 더 포함하여,
    상기 유입구를 통해 상기 하우징 내부로 유입된 질소가스가 상기 확산부재에 의해 확산된 후 상기 하우징의 내주면을 따라 흐르도록 유도하는 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 확산 본체부의 후면 둘레부는 질소가스를 점진적으로 하우징의 내주면 쪽으로 안내할 수 있도록 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 확산부재의 확산 본체부 중앙부에는 상기 하우징의 후단부 유입구를 통해 유입된 질소가스 중 일부가 그대로 관통한 후 상기 하우징 내부에 설치된 카메라와 LED 조명에 접촉하여 흐르도록 유도함으로써 카메라와 LED 조명의 냉각과 질소가스의 온도 상승을 유도하는 중앙 통공이 더 형성된 것을 특징으로 하는 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템.
KR1020230104875A 2023-08-10 2023-08-10 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템 KR102606327B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230104875A KR102606327B1 (ko) 2023-08-10 2023-08-10 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230104875A KR102606327B1 (ko) 2023-08-10 2023-08-10 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102606327B1 true KR102606327B1 (ko) 2023-11-29

Family

ID=88969098

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230104875A KR102606327B1 (ko) 2023-08-10 2023-08-10 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102606327B1 (ko)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785883B1 (ko) * 2005-05-07 2007-12-17 이진민 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치
US20090028543A1 (en) * 2007-07-27 2009-01-29 Water Resources Engineering Corporation Apparatus for photographing pipe without suspension of water supply and system for controlling the same
JP2009180595A (ja) * 2008-01-30 2009-08-13 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd 配管内面点検装置
KR20120028759A (ko) * 2010-09-15 2012-03-23 한국수력원자력 주식회사 용융로 유리용탕 감시 카메라 장치
KR101402982B1 (ko) * 2013-07-15 2014-06-11 (주)케이코아 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치
KR20160069668A (ko) * 2014-12-09 2016-06-17 이지선 배관 내부 모니터링용 모듈러 카메라 및 이를 구비하는 유공관
KR101918981B1 (ko) * 2017-11-17 2018-11-15 한국생산기술연구원 촬영수단의 이물질 부착 방지장치
KR20210048134A (ko) 2019-10-23 2021-05-03 에스케이하이닉스 주식회사 광학 카메라 통신을 이용한 밸브 감시 시스템

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785883B1 (ko) * 2005-05-07 2007-12-17 이진민 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치
US20090028543A1 (en) * 2007-07-27 2009-01-29 Water Resources Engineering Corporation Apparatus for photographing pipe without suspension of water supply and system for controlling the same
JP2009180595A (ja) * 2008-01-30 2009-08-13 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd 配管内面点検装置
KR20120028759A (ko) * 2010-09-15 2012-03-23 한국수력원자력 주식회사 용융로 유리용탕 감시 카메라 장치
KR101402982B1 (ko) * 2013-07-15 2014-06-11 (주)케이코아 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치
KR20160069668A (ko) * 2014-12-09 2016-06-17 이지선 배관 내부 모니터링용 모듈러 카메라 및 이를 구비하는 유공관
KR101918981B1 (ko) * 2017-11-17 2018-11-15 한국생산기술연구원 촬영수단의 이물질 부착 방지장치
KR20210048134A (ko) 2019-10-23 2021-05-03 에스케이하이닉스 주식회사 광학 카메라 통신을 이용한 밸브 감시 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5221823A (en) Laser machining apparatus for welding and cutting
US10674048B2 (en) Panorama stitching camera
JP2006326580A (ja) 冷却監視光学系を備える接着剤用ノズル
US6417488B1 (en) Internal metal pipe welding apparatus and monitoring system
US8011788B2 (en) Illumination system adapted for a projection apparatus and cooling air guiding apparatus thereof
JP5313444B2 (ja) 光源ランプ冷却装置と投射型表示装置
KR102606327B1 (ko) 카메라모듈 및 제어박스의 모듈화 구조를 갖는 반도체또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템
KR102602715B1 (ko) 외부에서 카메라모듈의 촬영각도 조절이 가능하도록 한 반도체 또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템
KR102601699B1 (ko) 질소가스를 이용한 카메라모듈 냉각 및 에어커튼 형성 구조를 갖는 반도체 또는 디스플레이 제조장비의 반응부산물 가스 배출관 내부 모니터링 시스템
CN109773331B (zh) 一种带旋转轴的防撞式内导光激光切割装置
US5185512A (en) Laser robot with heat eliminating means
KR102144983B1 (ko) 감시 카메라 장치
US20100208219A1 (en) Focusing device for beam projector
JP2006337510A (ja) プロジェクタ
KR20040046834A (ko) 에어커튼이 구비된 로내 감시 카메라
US7021767B2 (en) Integral reflector and heat sink
US6676280B1 (en) Projection apparatus
CN109514085B (zh) 激光焊接装置
EP2054187A2 (en) Air soldering unit
JP2020122886A (ja) 雲台装置
JP3298349B2 (ja) 駆動装置および撮影装置
KR102305289B1 (ko) Cctv 카메라용 하우징 및 이를 포함하는 밀폐공간 모니터링 시스템
WO1992008583A1 (en) Industrial robot with means for cooling ball screw shaft
JP2020027117A (ja) レンズ連結装置及び投写型表示システム
CN113848675B (zh) 投影设备及其壳体

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant