WO1990002626A1 - Laser beam relay unit - Google Patents

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WO1990002626A1
WO1990002626A1 PCT/JP1989/000857 JP8900857W WO9002626A1 WO 1990002626 A1 WO1990002626 A1 WO 1990002626A1 JP 8900857 W JP8900857 W JP 8900857W WO 9002626 A1 WO9002626 A1 WO 9002626A1
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laser beam
relay unit
air
light guide
beam relay
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PCT/JP1989/000857
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English (en)
French (fr)
Inventor
Takeji Arai
Original Assignee
Fanuc Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035Aligning the laser beam
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light

Definitions

  • the present invention relates to a laser beam relay unit used for a laser processing machine or the like in which an articulated mouthpiece and a laser oscillator are combined, and more particularly to a laser beam relay unit having a simplified structure by cooling a reflecting mirror with air.
  • Background technology
  • Laser welding machines combining robots and laser oscillators have become widely used for welding or heat-treating metals. This is because the positioning accuracy of the robot has been improved, and a laser processing machine can be configured by connecting a laser oscillator to a commercially available robot.
  • the reflecting mirror of the laser beam relay unit absorbs a few percent of the laser energy, and as it is, generates heat, deforms, or in some cases, forms a thin reflection coated by the heat.
  • the membrane may be damaged.
  • the reflector and the like are generally cooled with water. However, generally, water is not used in robots and the like, and if water is used as it is, leaked water will enter the robot's joints and other mechanical parts, causing unexpected failure. Disclosure of the invention
  • the present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a laser beam relay unit having a simplified structure by cooling a reflecting mirror with air.
  • a laser beam relay unit having two reflecting mirrors for changing a direction of a laser beam
  • the two reflecting mirrors are parallel to each other, placed at a predetermined angle with respect to incident light, and are rotatable.
  • a laser beam relay unit which is fixed to the light guide member and has a cooling air inlet, an air retaining portion, and a discharge port on the back surface of the reflector holder of the reflector,
  • the laser beam incident on one mirror is reflected by this mirror, passes through the light guide member, is reflected by the other mirror, and its direction and position can be changed.
  • FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a laser beam relay unit according to the present invention.
  • Fig. 2 (a) is a detailed view of the reflector holder.
  • FIG. 2 (b) is a sectional view taken along line AA of FIG. 2 (a)
  • FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the laser beam relay unit of the present invention.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
  • reference numeral 10 denotes a reflector holder, in which the reflector 31 is fixed by the holding member 32, and the cooling air 42 is introduced to cool the reflector 31. Details will be described later.
  • the reflector holder 1'0 is fixed to the light guide member 33, and the light guide member 33 is rotatably connected to the light guide member 36 by bearings 34 and 35.
  • the light guide member 36 is provided with a reflecting mirror holder 20, and the pressing member 38 fixes the reflecting mirror 37.
  • the laser beam 41a enters from the left side of the figure, is reflected by the reflector 37, travels upward as the laser beam 41b, is further reflected by the reflector 31 and is emitted in a different direction. . Since the light guide members 33 and 36 can be rotated by the end rings 34 and 35, the laser beam 41a is emitted from the laser beam 41a and the laser beam 41b is rotated. As a result, the angle can be changed by 360 °. Therefore, it can be used as a laser beam relay unit of a laser processing machine using a robot.
  • Fig. 2 (a) shows a detailed view of the reflector holder
  • Fig. 2 (b) shows a cross-sectional view taken along line AA of Fig. 2 (a).
  • reference numeral 10 denotes a reflector holder, which is preferably made of a material having good heat conductivity such as brass.
  • 1 1 is an inlet for cooling air, which can be connected to air piping.
  • Reference numeral 1 denotes a throttle, and the air changes its flow in the radial direction at each of the projections 13. Subsequently, the air temporarily stays in the staying portions 14 and 15, absorbs the heat from the reflecting mirror 13 at this time, and is discharged to the outside through the outlets 16 and 17.
  • the air passage is formed radially, as shown in Fig. 2 (b).
  • FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention.
  • the same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
  • the difference from FIG. 1 is that the light guide member 51 is connected to the light guide member 53 via the bearing 52, and the light guide member 53 is further connected to the screw 5 and the female screw 5 of the light guide member 5 6.
  • the distance L between the reflector 31 and the reflector 37 can be changed by rotating the light guide member 53.
  • Reference numeral 57 denotes a stopper for fixing the light guide member 56.
  • the robot arm can be used for robots having different arm lengths or different arms of the same robot. Furthermore, even if the robot arm has a low precision of the arm length, it can be installed according to each product.
  • the reflector holder is air-cooled.
  • the structure is simplified, it can be widely used as a laser beam relay unit for a laser processing machine or the like using a robot.
  • the distance between the reflectors can be adjusted, it can be easily installed even if the length of the robot arm or the step is changed.

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Description

明 細 書 レーザビーム中継ュニッ ト 技 術 分 野
本発明は多関節型口ボッ ト とレーザ発振器を結合したレ一 ザ加工機等に使用されるレーザビーム中継ュニッ トに関し、 特に反射鏡を空冷と し、 構造を簡略化したレーザビーム中継 ユニ ッ トに関する。 背 景 技 術
金属の溶接あるいは熱処理のために、 ロボッ トとレーザ発 振器を結合したレーザ加工機が広く使用されるようになって きた。 これはロボッ 卜の位置決め精度が向上し、 市販されて いるロボッ トにレーザ発振器を結合することにより、 レーザ 加工機を構成することができるようになつたからである。
このような、 レーザ加工機ではレーザビームをレーザ発振 器からロボッ トのアームに沿って、 手首まで導光する必要が ある。 このためには、 途中にレーザビームの方向を変えるレ 一ザビーム中継ュニッ トが必要になる。
レーザビーム中継ュニッ 卜の反射鏡では、 数%のレーザェ ネ ルギ一を吸収するために、 そのままでは発熱し、 変形した り、 場合によつては発熱のためにコ一テイ ングされた薄い反 射膜が破損してしまう場合もある。 このために、 一般には反 射鏡等を水で冷却している。 しかし、 一般にロボッ ト等では水は使用せず、 またそのま ま水を使用すると、 漏れた水がロボッ トの関節等の機構部に 侵入して思わぬ故障の原因となる。 発 明 の 開 示
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、 反射 鏡を空冷とし、 構造を簡略化したレーザビーム中継ュニッ ト を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、
2個の反射鏡を有し、 レーザビームの方向を変えるレーザ ビーム中継ュニッ トにおいて、 前記 2個の反射鏡は互いに平 行で、 入射光に対して所定の角度をもって置かれ、 かつ回転 可能な導光部材に固定され、 前記反射鏡の反射鏡ホルダーの 背面に冷却用空気の入口、 空気の滞留部及び吐き出し口を有 することを特徵とするレーザビーム中継ュニッ トが、
提供される。
—方の反射鏡に入射したレーザビームはこの反射鏡で反射 し、 導光部材を通り他方の反射鏡で反射して、 方向と位置を 変えられる。
また、 反射鏡は空冷とし、 空気の滞留部を設けているので- 冷却が十分に行われる。 図 面 の 簡 単 な 説 明 第 1図は本発明のレーザビーム中継ュニッ トの第 1の実施 例を示す図、 第 2図 ( a ) は反射鏡ホルダ—の詳細図、
第 2図 ( b ) は第 2図 ( a ) の A— A線の断面図、 第 3図は本発明のレーザビーム中継ュニッ 卜の第 2の実施 例を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第 1図に本発明の第 1の実施例を示す。 図において、 1 0 は反射鏡ホルダーであり、 反射鏡 3 1が押さえ部材 3 2で固 定されており、 冷却用空気 4 2を導入して、 反射鏡 3 1を冷 却しており、 その詳細は後述する。 反射鏡ホルダー 1 '0は導 光部材 3 3に固定され、 導光部材 3 3はベア リ ング 3 4 と 3 5で回転可能に導光部材 3 6 と結合されている。
同様に、 導光部材 3 6 には反射鏡ホルダ一 2 0が設けられ ており、 押さえ部材 3 8で反射鏡 3 7が固定されている。
レーザ光 4 1 aは図の左から入射し、 反射鏡 3 7で反射し、 レーザ光 4 1 bとなって上方向へ進み、 反射鏡 3 1 でさらに 反射し、 方向を変えて出射される。 導光部材 3 3と 3 6はべ 了 リ ング 3 4 と 3 5で回転できるようになっているので、 レ —ザ光 4 1 aの出射光 4 1 cをレーザ光 4 1 bを回転軸と し て 3 6 0 ° の角度分変化させることができる。 従って、 ロボ ッ トを使用したレーザ加工機のレーザビーム中継ュニッ ト と して使用することができる。
第 2図 ( a ) に反射鏡ホルダーの詳細図を、 第 2図 ( b ) に第 2図 ( a ) の A— A線の断面図を示す。 第 2図 ( a ) に おいて、 1 0は反射鏡ホルダーであり、 真鍮等の熱伝導性の 良い材質が好ましい。 1 1 は冷却用の空気の入り口であり、 空気用配管が結合できるようになつている。 1 2は絞りであ り、 空気は凸部 1 3でそれぞれ半径方向に流れを変える。 続 いて空気は滞留部 1 4及び 1 5で一時滞留し、 このとき反射 鏡 1 3からの熱を吸収し、 吐き出し口 1 6及び 1 7から外部 に吐き出される。
空気の通路は第 2図 ( b ) に示すように、 放射状に構成さ れている。 このような構成で、 冷却用の空気圧を 5 k g Z c m 2 にすることにより、 出力数 K W程度のレーザ加工機での 反射鏡の発熱量である数 1 0 W程度の熱を冷却することがで きる。
第 3図に本発明の第 2の実施例を示す。 図において、 第 1 図と同じ要素には同一の符号が付してあり、 その説明は省略 する。 第 1図と異なるのは、 導光部材 5 1がベアリ ング 5 2 を介して導光部材 5 3 と結合し、 さらに導光部材 5 3はおネ ジ 5 と導光部材 5 6のめネジ 5 5 と結合しており、 導光部 材 5 3を回転することにより、 反射鏡 3 1 と反射鏡 3 7の距 離 Lを変えることができる。 5 7は導光部材 5 6を固定する ス ト ッパーである。
従って、 ァ一厶長の異なるロボッ ト、 あるいは同一ロボッ トの異なるアームに使用することができる。 さらに、 ロボッ トのアームの長さの精度が低くても個々の製品に合わせて設 置することもできる。
以上説明したように本発明では、 反射鏡ホルダーを空冷と し、 その構造を簡単にしたので、 ロボッ トを使用したレーザ 加工機等のレーザビーム中継ュニッ ト と して、 広く使用する ことができる。 また、 その反射鏡間の距離を調整できるよ うにしたので、 ロボッ トのアームや段差部分の長さが変わつ ても簡単に設置することができる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 2個の反射鏡を有し、 レーザビームの方向を変えるレ 一ザビー厶中继ュニッ トにおいて、
前記 2個の反射鏡は互いに平行で、 入射光に対して所定の 角度をもって置かれ、 かつ回転可能な導光部材に固定され、 前記反射鏡の反射鏡ホルダ一の背而に冷却用 気の入门、 空気の滞留部及び吐き出し口を有することを特徵とするレー ザビーム中継ユニッ ト。
2 . 前記空気の滞留部は放射状又はうず巻き状 (スパイ ラ ル) に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第 1 項記載のレーザビーム中継ュニッ ト。
3 . 前記導光部材をネジで結合することにより、 レーザビ ーム方向に前記反射鏡間の距離を可変にしたことを特徴とす る特許請求の範囲第 1項記載のレーザビーム中継ュニッ ト。
4 . 前記反射鏡は入射光に対して 4 5 ° に配置されている こ とを特徴とする特許請求の範囲第 1項記載のレーザビーム 中继ュニッ ト。
PCT/JP1989/000857 1988-09-07 1989-08-22 Laser beam relay unit WO1990002626A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63/224083 1988-09-07
JP63224083A JPH0275490A (ja) 1988-09-07 1988-09-07 レーザビーム中継ユニット

Publications (1)

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WO1990002626A1 true WO1990002626A1 (en) 1990-03-22

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Country Status (5)

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US (1) US5208439A (ja)
EP (1) EP0383942B1 (ja)
JP (1) JPH0275490A (ja)
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