JPS626786A - レ−ザ加工機の冷却装置 - Google Patents

レ−ザ加工機の冷却装置

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JPS626786A
JPS626786A JP60144829A JP14482985A JPS626786A JP S626786 A JPS626786 A JP S626786A JP 60144829 A JP60144829 A JP 60144829A JP 14482985 A JP14482985 A JP 14482985A JP S626786 A JPS626786 A JP S626786A
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JP
Japan
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mirror
air
laser
laser beam
chamber
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JP60144829A
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JPH0218678B2 (ja
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Wataru Iida
亘 飯田
Eiichiro Uchida
内田 栄一朗
Osamu Toyama
修 外山
Muneya Takagi
高木 宗谷
Katsuhiko Ueda
勝彦 上田
Yoshito Kato
加藤 由人
Kazuhisa Sanbe
和久 三瓶
Kazumasa Itoga
糸賀 一聖
Yasuo Ishiguro
石黒 恭生
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Toyota Motor Corp
Toyoda Koki KK
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Toyota Motor Corp
Toyoda Koki KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ワークをレーザによって切断、溶接等の加工
を行うレーザ加工機の冷却装置に関するものである。
〈従来の技術〉 炭酸ガスや固体結晶を使うレーザ光の非常に大きな熱エ
ネルギーを用いてワークをトリミング、穴あけ、切断、
溶接2表面処理を行うレーザ加工機は、レーザトーチを
各種の形状のワークの加工面に直角に向くよう複数個所
に異なった旋回軸線で旋回する旋回部を有する加工ヘッ
ドを備えている。従って、レーザ発振器からのレーザ光
軸をビーム通路を介してレーザトーチに導くために、旋
回部で屈折反射させるミラーが各旋回部に配置されてい
る。
〈発明が解決しようとする問題点〉 上記レーザ光軸を屈折反射させるミラーはレーザの熱エ
ネルギーによる過熱を防止するために、各ミラーの裏側
に冷却ポケットを設け、この冷却ポケットに冷却水を注
入、排出している。一方、ビーム通路内には、ビーム通
路内に外部からゴミや煙の侵入防止と、ミラー表面の結
露防止のためにドライエアを送り込んでいる。従って、
ミラーの冷却には、各、ミラー裏側の冷却ポケットに冷
却水の注入管と排出管とを接続し、また、冷却ポケット
は防水構造にしなければならない。さらに、ビーム通路
内にドライエアを送るための供給管も接続する必要があ
り、多くの配管構成となって、そのとりまわしが大変で
あり、構造も複雑となる問題がある。
く問題点を解決するための手段〉 本発明は、複数個所に異なった旋回軸線回りに旋回する
旋回部を有し、この各旋回部にレーザ光軸を屈折反射す
るミラーが固定され、前記旋回部の1つにレーザトーチ
を備えた加工ヘッドによるレーザ加工機において、前記
ミラーの背面にレーザビーム通路と連通し、且つ大気に
通じる室を形成し、この室内にミラー背面に接するフィ
ンを設け、前記レーザビーム通路にエア供給管を接続し
たものである。
く作   用〉 上記本発明は、ビーム通路内に供給するエアのみによっ
て、各ミラーの冷却作用は勿論のこと、ビーム通路内の
ゴミ、煙の侵入並びにミラーの結露防止作用を行うもの
である。
く実 施 例〉 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1図
は後述する加工ヘッド27を水平面内における座標のX
及びY方向の水平方向と、Z方向の垂直方向に移動させ
る移送装置を示し、その構成は次の通りである。IOは
ベッドであり、その上面の四隅に支柱11が立設されて
いる。この支柱11間上には一対のX方向案内レール1
2が平行して掛は渡され、第1直動部I3が移動可能に
案内されている。
前記第1直動部13上に、前記X方向案内レール12に
対し直交するY方向案内レールL7が設けられ、これに
第2直動部23が移動可能に案内されている。19は前
記Y方向案内レール17に沿っても設けられたY方向用
のボールネジであり、Y方向用のサーボモータ20によ
って正逆回転される。このボールネジ19に前記第2直
動部23と一体のナツト21が螺合され、ボールネジ1
9の回転により第2直動部23をY方向に移動するもの
である。
さらに、前記第2直動部23にZ方向の第3直動部18
がZ方向に移動り可能に案内され、この第3直動部18
にレーザによる加工ヘッド27が設けられ、前記ベッド
10上にセットしたワークWをトーチ31によって加工
するものである。
゛この加工ヘッド27は第2図に示すように、例えば3
つの旋回部により構成され、トーチ31をワークWの加
工面携帯に応じて常に直角に向くよう旋回制御するよう
になっている。
41はレーザ発振器であり、発振されたーレーザビーム
は後述する屈折反射機構を介して加工ヘッド27に導か
れる。
第2図により加工ヘッド27の構成について説明する。
第3直動部18の下端に垂直軸線回りに旋回する第1旋
回部28と、この第1旋回部28に水平軸線回りに旋回
するよう設けた第2旋回部29と、この第2旋回部29
に前記水平軸線に対し直角な軸線回りに旋回するよう設
けた第3旋回部30とからなり、この第3旋回部30に
トーチ31が設けられている。
前記第1旋回部28には後述するレーザビームの屈折反
射機構で導かれるレーザビームの第1ビーム通路50a
と、この第1ビーム通路50aで導かれたレーザビーム
を第2旋回部29に屈折反射するミラー42とを備え、
第1旋回部28と第2旋回部29との間に前記ミラー4
2で屈折反射したレーザビームを通す第2ビーム通路5
0bを有し、第2旋回部29にはミラー42からのレー
ザビームを第3旋回部30に屈折反射するミラー43を
儲え、第2旋回部29と第3旋回部30との間にミラー
43で屈折反射したレーザビームを通す第3ビーム通路
50cを有し、第3旋回部30にはミラー43からのレ
ーザビームをトーチ31に屈折反射させるミラー44を
偏えている。
この各第1〜3旋回部28.29.30に備えられてい
るミラー42,43.44は第3図で示すように、旋回
台60に固定され、その外周に各第1〜3旋回部28.
29.30に固定されたスリーブ61の内径に凸弧面接
触し、旋回台60に螺合され、スリーブ61端に当接し
ている調整ねじ62によって旋回台60を介してミラー
42.43.44の角度を調整可能としている。
さらに、各ミラー42.43.44の背面には各第1〜
3旋回部28.29.30に固設したカバー51によっ
て室52が形成され、この室52と第1,2゜3ビ一ム
通路50a、 50b、 50cとが旋回台60に設け
たエア通路55を介して連通している。また、室52と
大気とがカバー52に明けられたエア排出口53にて連
通している。前記旋回台60にはフィン54が固定され
、このフィン54はミラー42,43.44の背面に接
触している。56が第1ビーム通路50aに連通するエ
ア供給口であり、これにエア供給管57が接続されてい
る。同図例では第1旋回部28にエア供給管57が接続
されているが、他の旋回部に接続してもよいし、複数個
所に設けてもよい。
レーザ発振器41から発振したレーザビームを前記加工
ヘッド27に導くための屈折反射機構について第4図に
より説明する。
第2直動部23に固定−した支持部材71に直角に屈曲
した第1ビーム管70を旋回自在に支持する。この第1
ビーム管70はレーザ発振器41からのレーザビームA
を通すものであり、その屈曲部にはミラー74が配置さ
れている。73は第3直動部18に固定された第2ビー
ム管であり、第1ビーム管70を通ったレーザビームを
矢印Bのように加工ヘッド27に通すものである。この
第2ビーム管73の一端と前記支持部材71とは伸縮カ
バー72で連結され、第2ビーム管73の両端部にミラ
ー75.76が配置されている。これら、各ミラー74
.75.76も前記第1〜3旋回部28,29゜30に
配置されているミラー42.43.44と同様に角度調
整機構を備え、さらに、カバー51.室52、エア排出
口53、フィン54及びエア通路55よりなる冷却機構
が同様に備えられている。
本発明は上記の通りの構成であるから、エア供給口56
より供給されたエアは、加工ヘッド27においては第1
〜3ビーム通路50a〜50cに導かれ、各ミラー42
.43.44の部位にてエア通路55を通ってフィン5
4に接触して熱交換し、室52に入ってカバー51に明
けられたエア排出口53より大気に排出される。
一方、第1ビーム通路50aから第4図で示す第2.第
1ビーム管73.70にもエアが導かれ、各ミラー?6
.75.74も上記と同様にエア冷却されるのである。
〈発明の効果〉 以上のように本発明は、レーザビーム通路にエアを供給
し、これを各ミラーの背面に導入してミラー背面と接触
するフィンと接触させて熱交換し、室を経て大気に放出
するようにしたものであるから、ミラーの冷却並びに結
露防止及びレーザビーム通路内のゴミ侵入防止の全てを
エアによって得られ、配管が少なくなり、水冷のように
冷却ポケットの防水構造も不要であり、構造が簡単とな
る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
第1図はレーザ加工機の正面図、第2図は本発明装置を
備えた加工ヘッドの縦断面図、第3図は第2図■−■線
拡大面図、第4図は第1図■矢視部の拡大断面図である
。 27・・・加工ヘッド、28・・・第1旋回部、29・
・・第2旋回部、30・・・第3旋回部、31・ ・ 
・トーチ、42.43.44・ ・・ミラー、50a・
・・ビーム通路、50b・・・第2ビーム通路、50c
・・・第3ビーム通路、51・・・カバー、52・・・
室、53・・・エア排出口、54・・・フィン、55・
・・エア通路、56・・・エア供給口、57・・・エア
供給管。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 複数個所に異なった旋回軸線回りに旋回する旋回部を有
    し、この各旋回部にレーザ光軸を屈折反射するミラーが
    固定され、前記旋回部の1つにレーザトーチを備えた加
    工ヘッドによるレーザ加工機において、前記ミラーの背
    面にレーザビーム通路と連通し、且つ大気に通じる室を
    形成し、この室内にミラー背面に接するフィンを設け、
    前記レーザビーム通路にエア供給管を接続したことを特
    徴とするレーザ加工機の冷却装置。
JP60144829A 1985-07-03 1985-07-03 レ−ザ加工機の冷却装置 Granted JPS626786A (ja)

Priority Applications (1)

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JP60144829A JPS626786A (ja) 1985-07-03 1985-07-03 レ−ザ加工機の冷却装置

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JP60144829A JPS626786A (ja) 1985-07-03 1985-07-03 レ−ザ加工機の冷却装置

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JPS626786A true JPS626786A (ja) 1987-01-13
JPH0218678B2 JPH0218678B2 (ja) 1990-04-26

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JP60144829A Granted JPS626786A (ja) 1985-07-03 1985-07-03 レ−ザ加工機の冷却装置

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WO1990002626A1 (en) * 1988-09-07 1990-03-22 Fanuc Ltd Laser beam relay unit
DE102019114328A1 (de) 2018-05-31 2019-12-05 Rohm Co. Ltd Halbleitersubstratstruktur und leistungshalbleitervorrichtung

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