WO1988008125A1 - Air stream visualization apparatus - Google Patents

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WO1988008125A1
WO1988008125A1 PCT/JP1988/000300 JP8800300W WO8808125A1 WO 1988008125 A1 WO1988008125 A1 WO 1988008125A1 JP 8800300 W JP8800300 W JP 8800300W WO 8808125 A1 WO8808125 A1 WO 8808125A1
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WO
WIPO (PCT)
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pipe
steam
tank
temperature
liquid level
Prior art date
Application number
PCT/JP1988/000300
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Fujio Matsumura
Naoki Sugita
Yutaka Hatta
Original Assignee
Midori Anzen Industry Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP62094311A external-priority patent/JPH0648228B2/ja
Priority claimed from JP18474887A external-priority patent/JPH0650274B2/ja
Application filed by Midori Anzen Industry Co., Ltd. filed Critical Midori Anzen Industry Co., Ltd.
Priority to BR888806901A priority Critical patent/BR8806901A/pt
Publication of WO1988008125A1 publication Critical patent/WO1988008125A1/ja
Priority to DK684988A priority patent/DK170565B1/da

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M9/00Aerodynamic testing; Arrangements in or on wind tunnels
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/02Indicating direction only, e.g. by weather vane
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • F17C7/02Discharging liquefied gases
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q

Definitions

  • the present invention relates to a device for visualizing the flow of an invisible gas, and especially for purifying the air flow in an industrial clean room.
  • the present invention relates to a device that generates a mist and uses the mist to visualize the flow of air.
  • a device that uses the smoke of mosquito coils (1) A device that uses the smoke of mosquito coils.
  • the mist falls onto a surface or a workbench, and is discharged into the airflow, it immediately disappears and disappears, making it possible to visualize the airflow from a distance.
  • the air flowed gradually downward under the influence of gravity was easily separated from the airflow, and it was not possible to accurately visualize the airflow.
  • An object of the present invention is to provide an airflow visualizing device that solves the above-mentioned conventional problems.
  • the clean steam generated by the steam generator is rapidly sent to an insulated tank containing any of liquid nitrogen, liquid oxygen, liquefied carbon dioxide, and other refrigerants.
  • a mist-like tracer which is sent directly to the air stream that is trying to be visualized, or rides on that air stream.
  • the air flow can be visualized from a distance, and the atomized tracer can be sent to the air flow. It can be released in a well-mounted state, can produce a large amount of clean and non-toxic mist-like tracers, and can produce mist-like tracers with few droplets. Can generate mist-like rain in safe operation. .
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of the configuration of an airflow visualization device according to the present invention
  • FIG. 2 is a diagram showing a partial modification of the same configuration
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing another example of the configuration of the airflow visualization device according to the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram showing a partial modification of the same configuration
  • FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of a control mechanism having the same configuration.
  • FIG. 6 is a diagram schematically showing another example of the control mechanism having the same configuration.
  • (1) is a steam generator, and a tank (2) is provided with water (3). ), A heater (5) for heating the water (3), a water level gauge (G) for measuring the water level of the water (3), and steam.
  • a discharge pipe (7) is provided.
  • (8) is an insulated tank filled with liquid nitrogen (3), which is an example of a cooling medium, and is supported at a certain distance D from the liquid surface (10) of the liquid nitrogen (3).
  • An inlet pipe (11) and an outlet pipe (12) for discharging steam cooled in the heat insulating tank (8) must be provided.
  • (13) is a pipe for sending steam from the steam generator (1) to the heat insulating tank (8), and has one end connected to the steam discharge pipe (7) and the other end. Connect the end to the inlet pipe (11) is there .
  • (14) is a heater attached to the pipe (13),
  • (15) is a liquid level controller for detecting the liquid level (10), and (16) ) Is a control mechanism for controlling the distance D between the liquid level (10) and the inlet pipe (11) so as to be kept constant.
  • the liquid level controller ( It operates by the detection signal of 15).
  • (17) is a pressure switch installed in the steam generator (1), which detects a change in the steam pressure in the tank (2) and energizes the heater (5). Control of 0N and 0FF of the switch.
  • (18) is the temperature controller installed at the outlet pipe (12), (13) is connected to the outlet pipe (12), and then into the airflow. It is a fog emission pipe that emits fog.
  • the water (3) is supplied to the tank (2) by the water supply pipe (4), and the water (3) is heated by the heater (5).
  • the generated steam is sent to the heat insulation tank (8) through the steam discharge pipe (7), the pipe (13), and the inlet pipe (11).
  • the sent steam is cooled rapidly by liquid nitrogen (3), and then flows through the outlet pipe (12) and the mist discharge pipe (13). It is released as a mist (2Q) at a temperature slightly higher than the temperature of the airflow.
  • This fog (20) has a long visible state and still has a good ride on the airflow.
  • the liquid nitrogen (3) gradually evaporates and the liquid level (10) drops.
  • the liquid level controller (15) detects that drop, and the control mechanism (1B) is operated by the detection signal to enter the liquid level (10).
  • the interval D of the outlet pipe (11) was kept constant.
  • the pressure switch (17) changes the pressure in the tank (2). Detects and controls so that the electricity to heater 1 (5) is stopped, and controls the generation of steam quantitatively.
  • the heat sink (14) heats the pipe (13) to prevent the steam passing through the pipe from returning to the water due to the temperature drop.
  • the tank (2) has a drain valve (21), a relief relief panel (22) for releasing excess steam, and an empty space for the tank (2).
  • a flat switch (23) that stops the electricity to the heater (5) when the amount of water (3) becomes small.
  • a water supply valve (24) shall be installed in the water supply pipe).
  • the steam discharge pipe (7) has a control valve (25) for adjusting the steam flow or stopping the supply of steam. Is installed.
  • a heat insulating material or a heater is attached, and the fog (20) is discharged at a temperature appropriate for the temperature of the air flow.
  • the temperature controller (18) generates a flow of fog (20) in response to a change in the temperature of the cooling steam passing through the outlet pipe (12). Be used to determine the temperature of the tank, and if the liquid nitrogen in the thermal insulation tank (8) is emptied and the temperature inside the tank rises. (5) to stop the electrical connection to the outlet (2).
  • the control mechanism (1e) moves the motor so that the heat insulation tank (8) rises as the liquid level (10) falls.
  • a configuration driven by (2G) may be adopted, as shown in Fig. 2.
  • the motor driven by a motor (2G) is used so that the inlet pipe (11) drops.
  • the inlet pipe (11) may be manually controlled instead of the control mechanism (1S).
  • the steam generator (1) and the heat insulation tank (8) can be installed on a joint vehicle (33) with a caster (27) so that they can move freely. You may choose to install it in a specific place.
  • (1) is a steam generator, and water (3) is supplied to sunset (2).
  • a water supply pipe for supplying water, a heater (5) for heating water (3), and a pipe (7) for discharging steam (S).
  • (8) is an insulated tank filled with liquid nitrogen (S), which is an example of a refrigerant.
  • the inlet pipe (11) and the steam (6) are cooled in the insulated tank (8).
  • An outlet pipe (13) for discharging the mist-like tracer (12) generated by the exhaust pipe must be provided.
  • (14) is a pipe for sending the steam (B) from the steam generator (1) to the heat insulating tank (8).
  • One end of the pipe is connected to the pipe (7), and the other end is connected to the pipe. Is connected to the inlet pipe (11).
  • (15) is a liquid level gauge installed in the insulated tank (8), which detects the liquid level (10) and displays the amount of liquid nitrogen (3).
  • (1G) is a bypass pipe, one end of which is connected so as to branch off from the pipe (7), and the other end is connected to the outlet pipe (13). It is linked.
  • (17) is a pass-no-snow.
  • (18) is the exit pipe With the temperature controller set in (13), the temperature of the tracer (12) passing through the outlet pipe (13) falls below the set temperature. And the control valve (17) is opened.
  • the train (20) is connected to the outlet pipe (13) and discharges the tracer (12) into the air flow (30) which is going to be visibly shaded. It is a server release pipe.
  • water (3) is heated by the heater (5) to generate steam (B).
  • the generated steam (6) is sent through the pipe (7), the pipe (14) and the inlet pipe (1) to the heat insulation tank (8). It is.
  • the sent steam (6) is rapidly cooled by the liquid nitrogen (3), and a mist-like trainer (12) is generated.
  • the tracer (12) passes through the outlet pipe (13) and is discharged from the tracer discharge pipe (20).
  • the control valve (17) is turned on by the temperature controller (17). Since the valve is opened by receiving the control signal from (18), a part of the steam (6) passing through the pipe (7) is partially removed by the bypass pipe (16).
  • the control valve (17) is opened by the control signal of the temperature controller (18). It is controlled like a valve Then, the supply of the steam (B) to the outlet pipe (13) is shut off, and the temperature rise of the tracer (12) is stopped. With the above control of the temperature controller (18), the tracer discharge pipe (20) is maintained while the tracer (12) is always maintained at the set temperature. ). As the temperature set in the temperature controller (18), the temperature, humidity, etc., such as a clean room through which the air current (30) to be visualized flows.
  • the temperature set so that the tracer (12) is cheap to ride on the airflow (30) for example, the temperature in the clean room is 23 and the temperature is Five .
  • the temperature of the tracer (12) should be a constant temperature around 50 ° C, or a constant temperature range.
  • the tracer (12) flows out while being mixed with the surrounding air after being released from the pipe (20mm). Since the relative humidity is 100% and the relative humidity of the indoor air is usually 50 to 80%, if the temperature of the tracer (12) is the same as the indoor temperature, the At the same time that the satellite (12) mixes with the surrounding air, the relative humidity of the tracer (12) decreases, and fine water droplets in the tracer (12) begin to evaporate. However, the particle size of the water droplets becomes smaller, and eventually becomes invisible as a gas.
  • the tracer (12) mixes with the surrounding air and at the same time. -Since the temperature of (12) decreases and the saturated vapor pressure also decreases, evaporation of minute water droplets does not occur until a certain distance after the tracer (12) flows out. , On the contrary, condensation When water flows further and mixes well with the air in the room, the water droplets do not evaporate as if the small water droplets turned into evaporation. Because of the large distance, the tracer (12) can visualize the air flow far away.
  • the control of the space between the liquid surface (10) and the inlet pipe (11) makes the mist tray
  • the temperature of the server (20) is made higher than the room temperature, and in the embodiment shown in FIG. 3 or FIG. 6, the outlet pipe (13) is provided from the bypass (1S).
  • the temperature of the tracer (12) is made higher than the room temperature by controlling the amount of steam supplied to).
  • the steam pressure in the tank (2) becomes higher than a predetermined pressure.
  • the pressure switch (19) detects this, controls the heater (5) so as to stop the supply of electricity, and quantitatively controls the generation of steam (G). Troll.
  • the tank (2) includes a drain valve (21), a relief leaf (22) for releasing excess steam, and a drain valve (31).
  • a switch (23) and a water level gauge (32) for measuring the water level of the water (3) will be installed.
  • the water supply pipe (4) is provided with a water supply valve (24).
  • a control knob (25) for adjusting the flow rate of steam (G) or stopping the supply of steam (G) is provided in the eve (7). .
  • the pipe (1G) does not branch off from the pipe (7), as shown in Fig. 2.
  • Pipes (1) and (16) are fitted with heat insulators or heaters, and steam (S) is passed through the pipes (14) during the passage of the pipes (14).
  • the temperature controller (18) may be configured to prevent the temperature from dropping back into the water.
  • the temperature controller (18) may be used to empty the liquid nitrogen in the insulated tank (8). If the temperature inside the tank rises, stop supplying power to the heater (5), or use the control knob (25) or the control knob. Troll valves (25) and (25) 'may also be used to close or control the flow. (30) During the release, the liquid nitrogen (S) gradually evaporates and the liquid level (10) drops, but with the drop, the liquid level (10) decreases.
  • D is controlled to be constant.
  • Adopt a mechanism (23) driven by a motor (28), or adopt manual control of the inlet pipe (11). 1) and the heat insulation tank (8) may be installed on a dolly with a caster so that they can be moved freely, or installed in a specific place or the like. You can do it.
  • the present invention Since the present invention has been constructed as described above, If the generated steam is not cooled by the refrigerant, the visible amount of the atomized tracer is a part of the amount of generated steam, but the present invention discloses that the generated steam is not cooled. Because of the rapid cooling by spraying on the coolant, the visible amount of the atomized tracer can be increased up to 100% of the steam generation amount. .
  • Clean, non-toxic, and safe atomized tracers can be easily and easily generated in large quantities, but also generate conventional pure water mist.
  • the generation of droplets can be significantly reduced in comparison with the first embodiment.
  • the air flow visualization device is a device for grasping the flow of normal air in an ultra-clean space, an industrial clean room, and other spaces with air flow. It can be used as a device for studying the installation position and rate of machines and equipment.

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Description

明 細 書
発 明 の 名 称
気流可視 化装 置
技 術 分 野
本発 明 は 、 目 に 見 え な い 気 体 の 流 れ を 可視 化 す る 装 置 、 特 に 工業用 ク リ ー ン ル ー ム 内 の 気 流 を 把握 す る た め の 、 特 に 清浄 な 霧 を 発 生 さ せ 、 そ の 霧 を 利用 し て 気 体 の 流 れ を 可視 ィヒ す る 装置 に 関 す る も の で あ る 。
背 景技術
従来気体 の 流 れ を 可視 化す る 装置 と し て 、
( 1 ) 蚊取 り 線 香 の 煙 を 利 用 す る 装置 、
( 2 ) 四 塩化 チ タ ン そ の 他 の 化学薬 品 の 化 学反 応 に よ り 発 生す る 煙 を 利 用 す る 装 置、
( 3 ) オ イ ル の 力 [|熱 に よ り 発 生 す る オ イ ル ミ ス ト を 利 用 す る 装 置、
( 4 ) 超 音 波加 湿機 と 同 様 に 純 水 を 使 っ て 純 水 ミ ス ト を 発 生 さ せ る 装置 、
な ど が 使用 さ れ て い る 。
上 記 従来 の 装 置 の う ち 、 蚊 取 り 線香 や 、 化学薬 品 の 反 応 に よ る 煙 を 利用 す る も の や 、 オ イ ル ミ ス ト を 禾 IJ 用 す る も の は 、 工業用 ク リ ー ン ル ー ム な ど に 送 り 込 ま れ て い る 清挣 空気 の 流 れ を 可視 ィヒ し ょ う と す る と 、 清 铮 空 気 自 体 が 汚 れ る ば か り で な く 、 ク リ ー ン ル ー ム や 、 ク リ ー ン ル ー ム に 設 置 さ れ て い る 機械 、 装 置 及 び そ れ ら に よ っ て 清铮 度 を 要求 さ れ る 製 品 が 製 造 さ れ る 工 程 を汚染 さ せ、 そ れ ら の 使用 を不可能 に し 、 特に 化学薬 品 の 反応に よ る 煙を利用 す る 場合 に は 、 毒性が あ っ て 危険で あ る な ど の 問題点が あ り 、 純水 ミ ス ト を発生 さ せ る も の は 、 ミ ス ト の 発生量が少 な く 、 多量に ミ ス ト を発生 さ せ よ う と す る と 、 液滴 と な っ て床面や作業台 な どに落下す る し 、 発生 し た ミ ス ト は 、 気流中へ送 り 出 さ れ る と 、 す ぐ に消え て見え な く な り 、 遠方 ま で気 流 を可視化 で き な い ばか り で な く 、 重力 の 影響を受 け て徐々 に下方へ流れ、 気流か ら 分離 し や す く 、 気流 を 正確に 可視化で き な い な ど の 問題が あ っ た 。
本発明 は 、 上記従来の 問題点を解消 し う る 気流可視 化装置 を提供す る こ と を 目 的 と し て い る 。
発明 の 開示
本発明 は、 蒸気発生装置で発生 さ せ た 清浄な蒸気 を 液体窒素、 液体酸素、 液化炭酸ガ ス 、 そ の 他 の 冷媒 の い ずれか を入れて あ る 断熱槽へ送 り 込 ん で 急激 に冷却 し て霧状 ト レ ー サー を発生 さ せ、 こ の ト レ ー サ ー を可 視化 し よ う と す る気流に 直接送 り 出 し 、 あ る い は そ の 気流に 乗 り や す い 温度に コ ン ト ロ ー ル し て 送 り 出す よ う に構成す る こ と に よ り 、 気流を遠方 ま で可視化で き 、 霧状 ト レ ー サ ー を そ れ が気流に よ く 乗 る 状態で放出 で き 、 清浄、 無毒な霧状 ト レ ー サ ーを大量 に 発生 さ せ る こ と がで き 、 液滴 の 発生が少な い状態で霧状 ト レ ー サ ー を 発生 さ せ る こ とがで き 、 安全 な 運転で霧状 ト レ — サ ー を発生 さ せ る こ と がで き る 。 図 面 の 簡単 な 説 明
図面 は 本発明 の実施例 を示す も の で 、
第 1 図 は 、 本発 明 に 係 る 気流可視化装置 の 構成 の 一例 を 概略 的 に 示す 図、
第 2 図 は 、 同構成 の 一部 の 変更例 を示す図 、
第 3 図 は 、 本発明 に 係 る 気流可視化装置 の 構成 の 別 の 例 を概 略 的 に 示す図 、
第 4 図 は 、 同構成 の 一部 の 変更例 を示す図 、
第 5 図 は 、 同構成 に お け る 制 御機構 の一例 を 概 略 的 に 示 す図 、
第 6 図 は 、 同構成 に お け る 制御機構 の 別 の 例 を 概略 的 に 示す 図 で あ る 。
発明 を 実施 す る た め の最良 の 形態
以下図面第 1 図及 び第 2 図 に も と ず い て 本発 明 の一 実施例 を 詳細 に 説明 す る と 、 ( 1 ) は 蒸気発生装置で 、 タ ン ク ( 2 ) に 水 ( 3 ) を 供給す る 給 水パ イ プ ( 4 ) と 、 水 ( 3 ) を 加熱 す る ヒ ー タ 一 ( 5 ) と 、 水 ( 3 ) の 水位 を は か る 水位計 ( G ) と 、 蒸気吐 出 パ イ プ ( 7 ) と を 設 け て な る 。 ( 8 ) は 冷 媒 の 一例 で あ る 液体窒素 ( 3 ) を 入れ た 断熱 槽 で、 液体窒素 (3 ) の 液面 ( 1 0 )か ら 一定 の 間 隔 D を お い て 支持 さ れ る 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )と 、 断熱槽 ( 8 ) 内 で 冷却 さ れ た 蒸気 を 排 出 す る 出 口 パ イ プ ( 1 2 )を 設 け て な る 。 ( 1 3 )は 蒸気発生装置 ( 1 ) か ら 断熱槽 (8 ) へ 蒸気 を 送 り 込 む パ イ プ で、 一方 の端部 を 蒸気 吐 出 パ イ プ ( 7 ) に 連結 し 、 他方 の 端部 を 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )に 連結 し て あ る 。 ( 1 4 )は パ イ プ ( 1 3 )に取 り 付 け た ヒ ー タ ー 、 ( 1 5 ) は液面 ( 1 0 )を検出 す る 液面 コ ン ト ロ 一 ラ 、 ( 1 6 )は液面 ( 1 0 )と 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )と の 間 隔 D が一定 に保 た れ る よ う に 制御す る 制御機構で、 液面 コ ン ト ロ ー ラ ( 1 5 )の 検 出信号 に よ り 動作す る 。 ( 1 7 )は 蒸気発生装置 ( 1 ) に 設 け た 圧力 ス ィ ツ チ で 、 タ ン ク ( 2 ) 内 の蒸気の 圧力 の 変化を検出 し て、 ヒ ー タ ー ( 5 ) に 通電す る ス ィ ツ チ の 0 N 、 0 F F を 制御す る 。 ( 1 8 )は 出 口 パ イ プ ( 1 2 )に 設 け た温度 コ ン ト ロ ー ラ 、 ( 1 3 )は 出 口 バ イ プ ( 1 2 )に連結 し 、 か つ.気流中 へ霧を放出 す る 霧放出 パ イ プで あ る 。
上記構成 の 気流可視化装置で は 、 給水パ イ プ ( 4 ) で タ ン ク ( 2 ) へ水 (3 ) を供給 し 、 そ の 水 (3 ) を ヒ ー タ ー ( 5 ) で加熱 し て蒸気 を発生 さ せ る 。 発生 し た蒸気は 、 蒸気吐出 パ イ プ ( 7 ) 、 パ イ プ ( 1 3 )及び入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )を通 っ て断熱槽(8 ) へ送 り 込 ま れ る 。 送 り 込 ま れた 蒸気は 、 液体窒素 ( 3 ) に よ り 急激 に冷却 さ れて か ら 、 出 口パ イ プ ( 1 2 )及び霧放出 パ イ プ ( 1 3 )を通 っ て気流中 に そ の 気流 の 温度 よ り も 若干高い 温度 の霧 ( 2 Q )と な つ て放出 さ れ る 。 こ の 霧 ( 2 0 )は 可視状態 の持続時間が長 く 、 し か も 気流へ の 乗 り が良好で あ る 。
上記 の よ う に し て霧 (2 0 )を 気流中 へ放出 さ せ て い る 間 に 、 液体窒素 ( 3 ) が徐々 に気化 し て そ の 液面 ( 1 0 )が 降下 し て い く が、 そ の 降下を 液面 コ ン ト ロ ー ラ ( 1 5 )が 検 出 し 、 そ の 検 出信号に よ り 制御機構 ( 1 B )が動作 し て 、 液面 ( 1 0 )と 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )の 間隔 D が一定に保 た れ る よ う に 制御 す る し 、 タ ン ク ( 2 ) 内 の 蒸 気 圧 が 所 定 の 圧 力 よ り も 大 き く な る と 、 圧力 ス ィ ッ チ ( 1 7 )が そ れ を 検 出 し て 、 ヒ ー タ 一 ( 5 ) へ の 通 電 を 止 め る よ う に 制 御 し 、 蒸気 の 発 生 を 定量 に コ ン ト ロ ー ル す る 。 ヒ ー 夕 一 ( 1 4 )は パ イ プ ( 1 3 )を 加 熱 し て 、 パ イ プ 内 を 通 過 す る 蒸 気 が 温度 低下 に よ り 水 に 戻 る の を 防 ぐ 作 用 を す る 。 タ ン ク ( 2 ) に は 、 ド レ ン バ ル ブ ( 2 1 )と 、 過 剰 な 蒸気 を 逃 が す リ リ ー フ パ ノレ ブ ( 2 2 ) と 、 タ ン ク ( 2 ) の 空 焚 き を 防止 す る た め 、 水 ( 3 ) の 量 が 少量 に な る と ヒ ー タ ー ( 5 ) へ の 通 電 を 止 め る フ ロ ー ト ス ィ ッ チ ( 2 3 )と を 設 け る 。 給 水 パ イ プ ) に は 、 給 水 バ ル ブ ( 2 4 )を 設 け る 。 蒸 気 吐 出 パ イ プ ( 7 ) に は 、 蒸気 の 流 量 を 調 整 し た り 、 蒸 気 の 供 給 を 止 め た り す る コ ン ト ロ ー ル バ ル ブ ( 2 5 ).を 設 け る 。 出 口 パ イ プ ( 1 2 )に は 、 保温 材 あ る い は ヒ ー タ ー を 取 り 付 け て 、 霧 ( 2 0 )が 気流 の 温 度 に 対 し 適 当 な 温度 で 放 出 さ れ る よ う に 制 御 す る こ と も あ る 。 温度 コ ン ト ロ ー ラ ( 1 8 )は 、 出 口 パ イ プ ( 1 2 )を 通過 す る 冷却 蒸気 の 温 度 の 変化 に 対 し て 霧 ( 2 0 )が ど の よ う な 流 れ 方 を す る か を 調 べ る の に 使用 す る ほ か 、 断 熱槽 ( 8 ) 内 の 液体 窒 素 が 空 に な っ て 槽 内 の 温 度 が 上 昇 す る 場 合 に は 、 ヒ ー タ ー ( 5 ) へ の 通 電 を 止 め た り 、 コ ン ト 口 一 ノレ バ ノレ ブ ( 2
5 )を 閉 じ た り す る 制 御 に 使用 す る こ と も あ る 。 制 御 機 構 ( 1 e )は 、 第 1 図 示 の よ う に 液面 ( 1 0 )が 降 下 す る に つ れ て 断 熱槽 ( 8 ) が 上 昇 す る よ う に モ ー タ ー ( 2 G )で 駆動 す る 構 成 の も の を 採 用 す る こ と も あ り 、 第 2 図 示 の よ う に 液面 ( 10 )が降下す る に つ れて、 入 り 口 パ イ プ ( 11 ) が降下す る よ う に モ ー タ 一 ( 2 G )で駆動 す る 構成 の も の を採用 す る こ と も あ り 、 入 り 口パ イ プ ( 11 )を 制御機構 ( 1 S )の 代わ り に手動 で制御す る こ と も あ る 。 蒸気発生 装置(1 ) 及び断熱槽 (8 ) は、 キ ャ ス タ (27 )を取 り 付 け た 合車 (33 )に設置 し て、 自 由 に移動で き る よ う に し て も よ く 、 特定の 場所な ど に据 え付 け る よ う に し て も よ い 。
次に、 図面第 3 図 な い し 第 6 図 に基づい て本発明 の 他 の実施例 を説明す る と 、 (1 ) は 蒸気発生装置で、 夕 ン ク ( 2 ) に 水 ( 3 ) を供給す る 給水パ イ プ ) と 、 水 ( 3 ) を加熱す る ヒ ー タ ー ( 5 ) と 、 蒸気 (S ) を 吐出 す る パ イ ブ ( 7 ) と を設 け て な る 。 ( 8 ) は 冷媒 の一例で あ る 液 体窒素 ( S ) を入 れ た 断熱槽で、 入 り 口 パ イ プ ( 11 )と 、 断熱槽 (8 ) 内 で蒸気 (6 ) が冷却 さ れて発生す る 霧状 ト レ 一 サ ー ( 12 )を排出 す る 出 口 パ イ プ ( 13 )を設 け て な る 。 ( 14 )は蒸気発生装置 ( 1 ) か ら 断熱槽 (8 ) へ蒸気 (B ) を送 り 込む パ イ プで 、 一方の 端部 をパ イ プ ( 7 ) に連結 し 、 他方の 端部 を入 り 口 パ イ プ ( 11 )に連結 し て あ る 。
( 15 )は 断熱槽 ( 8 ) に 設 け た液面計で、 液面 ( 10 )を検知 し 、 液体窒素 ( 3 ) の 量を表示す る 。 ( 1 G )は バ イ パ ス パ イ ブで、 一方 の 端部 がパ イ プ ( 7 ) か ら 分岐す る よ う に 連結 し 、 他方 の 端部 が出 口 パ イ プ ( 13 )に 連結 し て い る 。 ( 17 )は パ ィ パ スノヽ。 ィ プ ( 1 β )の 中 間部分 に 接続 し た 制 御弁で 、 例 え ば電磁弁を使用 す る 。 ( 18 )は 出 口 パ イ パ ( 13 )に 設 け た 温 度 コ ン ト ロ 一 ラ で 、 出 口 パ イ プ ( 13 )を 通 過 す る ト レ ー サ ー ( 12 )の 温 度 が 設 定 温度 以 下 に な る と 制 御 弁 ( 17 )を 開 弁 す る よ う に 制 御 す る 。 ( 13 )は 蒸気 発 生装置 ( 1 ) に 設 け た 圧 力 ス ィ ッ チ で 、 タ ン ク ( 2 ) 内 の 蒸気 ( B ) の 圧 力 の 変ィ匕 を 検 出 し て 、 ヒ ー タ 一 (5 ) に 通 電 す る ス ィ ッ チ の O N、 O F F を 制 御 す る 。 ( 20 )は 出 口 パ イ プ ( 13 )に 連結 し 、 か つ 可 視ィ匕 し ょ う と す る 気 流 ( 30 )中 へ ト レ ー サ ー ( 12 )を 放 出 す る ト レ ー サ ー 放 出 パ イ ブ で あ る 。
上 記 構成 の 気 流可 視化 装置 で は 、 水 ( 3 ) を ヒ ー タ 一 ( 5 ) で 加 熱 し て 蒸気 (B ) を 発 生 さ せ る 。 発 生 し た 蒸 気 ( 6 ) は 、 パ イ プ ( 7 ) 、 パ イ プ ( 14 )及 び 入 り 口 パ イ プ ( 1 )を と お っ て 断 熱槽 ( 8 ) へ送 り 込 ま れ る 。 送 り 込 ま れ た 蒸気 ( 6 ) が 液 体窒 素 ( 3 ) に よ り 急 激 に 冷 却 さ れ て 、 霧 状 の ト レ 一 サ 一 ( 12 )が 発生 す る 。 こ の ト レ ー サ ー ( 1 2 )は 、 出 口 パ イ プ ( 13 )を 通過 し て 、 ト レ 一 サ 一 放 出 パ ィ プ ( 20 )か ら 放 出 さ れ る が 、 ト レ 一 サ 一 ( 12 )の 温度 が 温 度 コ ン ト ロ ー ラ. ( 18 )に 予 め 設 定 し た 温度 以下 の と き は 、 制 御 弁 ( 17 )が温度 コ ン ト ロ ー ラ ( 18 )か ら の 制御 信 号 を 受 け て 開 弁 し て い る の で 、 パ イ プ (7 ) を 通 過 す る 蒸 気 ( 6 ) の 一部 が バ イ パ ス パ イ プ ( 16 )を 通 っ て 出 口 パ イ ブ ( 13 )へ 供給 さ れ 、 ト レ ー サ ー ( 12 )の 温 度 を 上 記 設 定 温度 ま で 昇温 さ せ る 。 ト レ 一 サ 一 ( 12 )の 温度 が 上 記 設 定温 度 に 達 す る と 、 温 度 コ ン ト ロ ー ラ ( 18 )の 制 御 信 号 に よ っ て 制 御 弁 ( 17 )が 開 弁 す る よ う に 制 御 さ れ る の で 、 蒸気 ( B ) の 出口 パ イ プ ( 13 )へ の供給が遮断 さ れ、 ト レ ー サ ー ( 12 )の昇温を止め る 。 温度 コ ン ト ロ ー ラ ( 1 8 )の 以上の 制御 に よ っ て ト レ ー サ ー ( 12 )が常時設定温 度 に 保 た れ な が ら ト レ ー サ ー 放出 パ イ プ ( 20 )か ら 放 出 さ れ る 。 温度 コ ン ト ロ ー ラ (18 )に 設定す る 温度 と し て は 、 可視化 し よ う と す る 気流 ( 30 )が流れ る ク リ ー ン ル ー ム な どの 温度、 湿度、 そ の 他 の諸条件を考慮 し 、 ト レ ー サ ー ( 12 )が気流 ( 30 )に乗 り 安い よ う に 定め た温度 、 例 え ば ク リ ー ン ル ー ム 内 の 温度 が 2 3 で 〜 2 5 。C の 場合、 ト.レ ー サ ー (12)の 温度が 5 0 °C前後 の 一定の 温 度、 あ る い は一定の 温度範囲 と す る 。
ト レ ー サ ー ( 12 )は 、 パ イ プ ( 20 Γか ら 放出 さ れた後、 周 囲 の 空気 と 混 ざ り な が ら 流れて い く が、 ト レ ー サ ー ( 12 )の 相対湿度 は 1 0 0 %、 室内 空気の 相対湿度は 通 常 5 0 〜 8 0 % な の で 、 ト レ ー サ ー (12)の 温度が室 内 温度 と 同 じ 場合 に は 、 ト レ 一 サ 一 (12 )が周 囲 の 空気 と 混合す る と 同 時に、 ト レ ー サ ー ( 12 )の 相対湿度が下が り 、 ト レ ー サ ー ( 12 )中 の 微小水滴が蒸発を 開始 し 、 そ の 水滴の 粒径が小 さ く な り 、 つ い に は 気体 と な っ て見 え な く な る 。
と こ ろ が、 ト レ ー サ ー ( 12 )の 温度が室内 温度 よ り 高 い 場合 に は 、 ト レ ー サ ー ( 12 )が周 囲 の 空気 と 混合す る と 同時 に、 ドレ ー サ ー ( 12 )の 温度が下が り 、 飽和蒸気 圧 も 下が る た め 、 ト レ ー サ ー ( 12 )が流れ出 し て か ら あ る 距離 ま で は微小水滴の 蒸発 が起 こ ら ず、 む し ろ 凝縮 が 起 こ り 、 さ ら に 遠 く へ 流 れ て 室 内 空 気 と 十 分 に 混 合 し た 時 点 で 、 微小水 滴 が 蒸発 に 転 ず る と い う よ う に 、 蒸 発 し な い 距離 を か せ げ る の で 、 ト レ ー サ ー ( 12 )は 気 流 を 遠方 ま で 可 視化 す る こ と が で き る の で あ る 。
第 1 図 及 び第 2 図 の 実 施例 で は 、 液 面 ( 10 )と 入 り 口 パ イ プ ( 11 )と の 間 隔 の コ ン ト ロ ー ル に よ っ て 霧 状 ト レ ー サ ー ( 20 )の 温 度 を 室 内 温度 よ り 高 く し 、 第 3 図 な い し 第 6 図 の 実施例 で は 、 バ イ パ ス ( 1 S )か ら 出 口 パ イ プ ( 13 )へ の 蒸 気供 給量 の コ ン ト ロ ー ノレ に よ っ て ト レ ー サ — ( 12 )の 温 度 を 室 内 温度 よ り 高 く す る 。
蒸気 発生 装置 ( 1 ) が 蒸 気 ( B ) を 発生 さ せ て い る 状 態 に お い て 、 タ ン ク (2 ) 内 の 蒸気圧 が所 定 の 圧力 よ り も 大 き く な る と 、 圧力 ス ィ ツ チ ( 19 )が そ れ を 検 出 し て 、 ヒ ー タ ー (5 ) へ の 通電 を 止 め る よ う に 制御 し 、 蒸気 (G ) の 発 生 を 定量 に コ ン ト ロ ー ル す る 。
タ ン ク ( 2 ) に は 、 ド レ ン バ ル ブ ( 21 )と 、 過 剰 な 蒸 気 を 逃 が す リ リ ー フノ ル ブ ( 22 ) と 、 ド レ ン パ ン ( 31 )と 、 タ ン ク ( 2 ) の 空焚 き を 防 止 す る た め 、 水 ( 3 ) の 量 が 少 量 に な る と ヒ ー タ ー ( 5 ) へ の 通 電 を 止 め る フ ロ ー ト ス ィ ツ チ ( 23 )と 、 水 ( 3 ) の 水位 を 測 る 水 位 計 ( 32 )と を 設 け る 。 水 ( 3 ) に は 純 水 を 使用 す る 。 給 水 パ イ プ ( 4 ) に は 、 給 水 バ ル ブ ( 24 )を 設 け る 。 イ ブ ( 7 ) に は 、 蒸 気 ( G ) の 流量 を 調 整 し た り 、 蒸気 ( G ) の 供 給 を 止 め た り す る コ ン ト ロ ー ル ノレ ブ ( 25 )を 設 け る 。 パ イ プ ( 1 G )は 、 パ イ プ ( 7 ) か ら 分 岐 す る こ と な く 、 第 2 図示 の よ う に タ ン ク ( 2 ) に コ ン ロ ー ル パ ル プ ( 2 5 ) ' を介 し て連 結す る こ と も あ る 。 パ イ プ ( 1 及 びパ イ プ ( 1 6 )に は 、 保温材 ま た は ヒ ー タ ー を取 り 付 け、 蒸気 ( S ) がパ イ プ ( 1 4 )を通過す る 過程で温度が降下 し て水 に 戻 る の を防 ぐ よ う に構成す る こ と も あ る 。 温度 コ ン ト ロ ー ラ (1 8 ) は 、 断熱槽 ( 8 ) 内 の 液体窒素が空 に な っ て槽内 の 温度 が上昇す る 場合 に は 、 ヒ ー タ ー (5 ) へ の 通電を止 め た り 、 コ ン ト ロ ー ル ノ ル ブ ( 2 5 )あ る い は コ ン ト ロ ー ル パ ル ブ ( 2 5 )と ( 2 5 ) ' を 閉 じ た り す る 制御 に使用 す る こ と も あ る 。 ト レ ー サ ー ( 1 2 )を気流 (3 0 )中 へ放出 さ せて い る 間 に 、 液体窒素 ( S ) が徐々 に気化 し て そ の 液面( 1 0 ) が降下 し てい く が、 そ の 降下 と と も に 液面 ( 1 0 )と 入 り 口パ イ プ ( 1 1 )と の 間隔 D を一定に 保つ よ う に制御す る こ と も あ り 、 そ の 制御手段 と し て は、 例 え ば、 第 3 図 示 の よ う に 液面 ( 1 0 )が降下す る に つ れて液面計 ( 1 5 )の 検出信号 に よ り 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 }が降下す る よ う に モ 一 夕 一 ( 2 S )で駆動 さ れ る 機構 ( 2 7 )や、 第 4 図示 の よ う に液面 ( 1 0 )が降下す る に つ れ て液面計 ( 1 5 )の検 出信号 に よ り 断熱槽 ( 8 ) が上昇す る よ う に モ ー タ ー (2 8 )で駆 動 さ れ る 機構 (2 3 )な ど を 採用 し 、 あ る い は 入 り 口 パ イ プ ( 1 1 )の 手動制御 を採用 す る 。 蒸気発生装置 ( 1 ) 及び 断熱槽 (8 ) は、 キ ャ ス タ 付 き の 台車に 設置 し て 自 由 に 移動 で き る よ う に し て も よ く 、 特定の 場所 な ど に据 え 付 け る よ う に し て も よ い 。
本発明 は 、 叙上の よ う に構成 し た か ら 、 発生 さ せ た 蒸 気 を 冷媒 で 冷 却 し な い 場合 は 、 霧状 ト レ ー サ ー の 可視 量 は 蒸気 発生 量 の 一部 で あ る が 、 本発 明 は 、 発生 さ せ た 蒸気 を 冷 媒 に 吹 き 付 け て 急激 に 冷 却 す る た め 、 霧状 ト レ ー サ ー の 可視 量 を 蒸気 発生 量 の 1 0 0 % 近 く ま で 増大 さ せ る こ と が で き る 。
霧状 ト レ ー サ ー の 放 出 温度 を 可 視化 し よ う と す る 気 流 に 適 合 す る よ う に 積極 的 に コ ン ト ロ ー ル す る こ と に よ り 、 気 流 中 で の 浮遊 時 間 を 長 く 保 つ こ と が可 能 と な り 、 ト レ ー サ ー を そ れ が 気 流 か ら 分 離 す る こ と な く 気 流 に 注 入 さ れ た 状態 す な わ ち 気流 に よ く 乗 つ た 状態 で 気 流 の 影 響 に よ っ て の み 遠方 ま で 放 出 さ せ る こ と が で き 、 ト レ ー サ ー の 描 く 線 や 模 様 な ど に よ り 気 流 の 状 態 を 正確 に 可 視ィ匕 す る こ と が で き る 。
清挣 、 無 毒、 安全 な 霧 状 ト レ ー サ ー を 簡 易 、 か つ 大 量 に 発 生 さ せ る こ と が で き 、 し か も 従来 の 純 水 ミ ス ト を 発生 さ せ る も の に 比 し 、 液滴 の 発生 を 著 し く 少 な く す る こ と が で き る 。
工業 用 ク リ ー ン ル ー ム な ど で 清 浄空気 が ど の よ う に 流 れ て い る か を 把握 す る 場合 、 ク リ ー ン ル ー ム は も ち ろ ん 、 ク リ ー ン ル ー ム 内 に 設 置 さ れ 、 あ る い は 設置 し よ う と し て い る 機械 、 装 置 や 、 そ れ ら に よ る 製 造 工 程 な ど に 汚染 な ど の 悪 影 響 を 与 え な く て す む 。
機械 、 装 置 な ど の 運転 中 や 、 作 業者 な ど の 作 業 中 に 気体 の 流 れ を 把 握 す る こ と が 可能 に な る 。
装置 の 運 転 中 に お け る 安全 性 を 確保 で き る 。 な ど の 諸効果を奏す る 。
産業上 の 利用可能性
本発明 に 係 る 気流可視化装置 は 、 超清浄空間 に お け る 正常空気 の 流れ を把握す る た め の 装置や 、 工業用 ク リ ー ン ル ー ム そ の他気流の あ る 空間 に お い て機械、 装 置な ど の設置位置や レ イ ァ ゥ ト を検討す る た め の 装置 と し て 使え る 。

Claims

請求 の 範 囲
1 . 蒸 気発 生装 置 と 、 液体窒 素 そ の 他 の 冷 媒 を 入 れ る 断 熱槽 と を 、 蒸気発 生装 置 か ら 断 熱槽 へ 蒸気 を 送 り 込 む パ イ プ で 連結 し 、 断熱 槽 に は 、 蒸気 が 冷 媒 で 冷 却 さ れ て 発 生 す る 霧状 ト レ ー サ ー を 排 出 す る 出 口 パ イ プ を 設 け て な る 気流 可視 化 装 置。
2 . 可 視 化 し よ う と す る 気 流 の 温 度 よ り 高 い 温度 の ト レ ー サ ー を 排 出 す る 特許 請求 の 範 囲 第 1 項 記載 の 気 流 可 視化 装置 。
3 . 蒸 気発 生装置 と 出 口 パ イ プ と を パ イ パ ス パ イ プ で 連結 し 、 こ の パ イ パ ス パ イ プ に は 、 制 御弁 を 接続 し 、 上記 出 口 パ イ プ に は 、 同 パ イ プ 内 を 通 過 す る 上 記 ト レ ー サ 一 の 温 度 が 設定 温度 以下 に な る と 、 上 記 制 御 弁 を 開 弁 す る よ う に 制御 す る 温度 コ ン ト ロ ー ラ を 設 け て な る 特許 請求 の 範 囲 第 1 項 又 は 第 2 項記 載 の 気 流 可視 化 装 置。
4 . バ イ パ ス パ イ プ が 、 蒸気 発生 装置 か ら 断熱 槽 へ 蒸 気 を 送 る パ イ プ か ら 分 岐 し て い る 特許請求 の 範 囲 第 3 項 記載 の 気 流可 視化装置 。
5 . 断 熱槽 に 、 そ の 内 部 に 入 れ ら れ た 液体 窒素 な ど の 液 面 か ら 一 定 の 間 隔 を お い て 支持 さ れ る 入 り 口 パ イ プ を 設 け 、 そ の 入 り 口 パ イ プ に 蒸気 を 送 り 込 む パ イ プ が 連 結 さ れ て い る 特許 請 求 の 範 囲 第 1 項 、 第 2 項 、 又 は 第 3 項 記載 の 気 流可 視 化 装 置 。
6 . 入 り 口 パ イ プ に 、 断 熱槽 に 入 れ ら れ た 液 体 窒素 な ど の 液面を 検出 す る 液面 コ ン ト ロ ー ラ 又 は 液面計 に よ り 液面 の変位 と と も に入 り 口 パ イ プ を液面か ら 一定の 間隔を保ち つ つ 移動 さ せ る 制御機構が設 け ら れて い る 特許請求の 範囲 第 5 項記載の 気流可視化装置。
7 . 断熱槽 に、 断熱槽に入れ ら れた液体窒素な どの 液 面を検 出す る液面 コ ン ト ロ ー ラ 又は液面計 に よ り 液面 の変位 と と も に入 り 口パ イ プ が液面か ら 一定の 間隔 を 保つ よ-う に 断熱槽を移動 さ せ る 制御機構が設 け ら れ て い る 特許請求の 範囲第 5 項記載の 気流可視化装置。
8 . 蒸気を断熱槽に 送 り 込む パ イ プ に 加熱装置が設 け ら れて い る 特許請求の範囲第 1 項な い し 第 7 項 の い ず れ か 1 項記載の 気流可視化装置。 '
9 . 蒸気発生装置に、 蒸気の 圧力 の 変化 を 検出 し て ヒ 一 タ ー な ど の 加熱装置の 動作を制御す る 圧力 ス ィ ッ チ が設 け ら れて い る 特許請求の 範囲 第 1 項 な い し 第 8 項 の い ずれか 1 項記載 の気流可視化装置。
1 0 . 蒸気発生装置を構成す る タ ン ク に 、 タ ン ク 内 の 水 位を は か る 水位計が設 け ら れてい る 特許請求の範囲第
1 項な い し 第 9 項 の い ずれか 1 項記載 の 気流可視化装
1 1 . 断熱槽 の蒸気排出 口 に、 排出蒸気 の 温度を検出 す る 温度 コ ン ト ロ ー ラ が設 け ら れて い る 特許請求 の 範囲 第 1 項 な い し 第 1 0 項 の い ずれか 1 項記載 の 気流可視 化装置。
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JP2014528074A (ja) * 2011-09-26 2014-10-23 北京京東方光電科技有限公司 クリーンルームのための気流の検測方法と検測システム

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