WO1981001334A1 - Piezoelectric resonance contact pick-up - Google Patents

Piezoelectric resonance contact pick-up Download PDF

Info

Publication number
WO1981001334A1
WO1981001334A1 PCT/SU1980/000096 SU8000096W WO8101334A1 WO 1981001334 A1 WO1981001334 A1 WO 1981001334A1 SU 8000096 W SU8000096 W SU 8000096W WO 8101334 A1 WO8101334 A1 WO 8101334A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
piezoelectric
casing
sensor
chτο
sτeρzhney
Prior art date
Application number
PCT/SU1980/000096
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
A Kasparaitis
V Perfilov
A Ragauskas
R Bansevichus
V Gapshis
Original Assignee
Viln N Telskogo I Metall
A Kasparaitis
V Perfilov
A Ragauskas
R Bansevichus
V Gapshis
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Viln N Telskogo I Metall, A Kasparaitis, V Perfilov, A Ragauskas, R Bansevichus, V Gapshis filed Critical Viln N Telskogo I Metall
Priority to DE803050013T priority Critical patent/DE3050013T1/de
Publication of WO1981001334A1 publication Critical patent/WO1981001334A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002—Details
    • G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G01B5/016—Constructional details of contacts

Definitions

  • the preceding level of the Tactile sensor is one of the most familiar components of the large-scale machinery, which is very significant.
  • the safety of the touch sensors is one of the most basic areas of the machine’s basic load, and the range of small parts is very good.
  • the indicated electrically responsive sensor has an insufficiently accurate foxing moment when touching the portable end.
  • the shelter of the dacha is shared by the loungers, which are small and slippery, which are between the bulky and the small compartment. Otherwise, the consumer has only one measuring voltage, which reduces the sensitivity of the measuring, reducing the sensitivity of the measuring device and the measuring device.
  • significant increasing offsets of the core are necessary, which is very significant.
  • the indicated catechion relates to the impossibility of delicacy, the universality of vulnerability. This is due to the fact that only the children have a contact henchman. ⁇ connection with these people in the process of replacing unhappiness at the end of the remodeling, changing the condition of the patient and the For this inappropriately, deactivate a new user-friendly, non-reclaimable, non-recurring, non-recurring weekly bargain.
  • I lap down on the contact end-user and the rest on the net, i.e. ⁇ I remove it precisely.
  • I introduce an alternative to the non-obligatory test to increase the length of the measurement, i.e. relieve vulnerabilities i are clear-cuts and are significant additional safety features.
  • the inertia of the current which is incidental to the dacha, does not change the amplitudes of the tension; This is due to the fact that the quicker device of the bulky machine is more important than the other. In the event of a case, I will try to avoid the wrong trips of the house without paying the price of the car.
  • each step is performed for a separate one, in order to separate: 0 where C ⁇ - is available for an external drive;
  • Each stage 0 is divided into a well-defined L / C1> 5, where 1) is the maximum external diameter of the unit.
  • the chatterer is a contact-friendly, low-income one, thanks to the fact that the dia-5 metric is a significant less-significant housing.
  • the external casing of the casing with the external I-contact endpoints simplifies the technology of the ulcer-damaging sensor.
  • the cylindrical form of the cassette makes it possible to displace 5 degrees in the area, while the Usually in this direction there are 70 - 80 / £ all change.
  • the housing of the I housing is mounted on the flange 5 of the holder 6 of the unit 7 and the attached housing is in the double shaft of the 8 heavy-duty motor / heater.
  • I do not ⁇ ase - _on /.
  • Node 7 s ⁇ de ⁇ zhya ⁇ ⁇ a ⁇ zhe ⁇ us 9 zhes ⁇ u ⁇ esh ⁇ ennsh in ⁇ dvizhn ⁇ y ⁇ ave ⁇ se 8 ⁇ ysh ⁇ u 10 u ⁇ e ⁇ lennuyu on ⁇ use 9
  • I ⁇ uzhyanu II, in ⁇ azmeschennuyu ⁇ use 9.
  • Node 7 ⁇ ed- assigned to ⁇ ed ⁇ aneniya s ⁇ e ⁇ zhne ⁇ 3 ⁇ ⁇ l ⁇ m ⁇ v ⁇ v ⁇ e- mja yazme ⁇ enyaya ⁇ a ⁇ ame ⁇ v KNOWLEDGE PART 12.
  • the woodpecker is each part 3 divided by the sum / ⁇ 0 + ⁇ - /, where ⁇ , is the volume of the external part of the box, which can be divided into parts
  • ⁇ is the volume of the external part of the box, which can be divided into parts
  • Page 3 of 3 there is a shape that is dazzling in color.
  • Diametr ⁇ .
  • Each section 3 is divided into -I ) / and> 5, where 2) is the maximum external diameter 25 and housing I.
  • the maximum weight is 3.
  • Each grade of 3 is solidly bonded to the frame ⁇ , in the case of a variant of grade 3, it is glued to the base I and glued to the base of the resin. It is disassembled by another one - 30 ant, when each step is performed as a whole with case I. In this case, the sensitivity of the clerk is increased, i.e. Undeterred by the operation of the corpuscle of the corpuscle I is impossible. 3.
  • Steps 3 are located in the area, in front of the cottage,
  • the other friend is another friend.
  • ⁇ si s ⁇ e ⁇ zhney 3 ⁇ e ⁇ endi ⁇ ulya ⁇ ny b ⁇ v ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s- ⁇ ya ⁇ usa
  • Ranges 3 fill up for any tselandrichsky, any with little troubles.
  • the end of 4 is also overseas: on the other hand, 14 may be performed in the form of a ball, the 5th year of the year.
  • ⁇ a ⁇ yag. 7 Deliveries of groceries, which are familiar with the food-restoring system, where the abscess is absent, and the load is relaxed, are presented.
  • Phase of the charging system is provided for the patient, where: * is the change of the phase of the charge of the power supply unit; - by changing the phases at the same time, by touching the end of the page 4, the part being changed is 12.
  • a quick command signal is issued that indicates the operation of the remote sensor and the extension of the large setpoint.
  • the team got rid of the computing machine, which replaces the program by displacing the child by disintegrating the carousel.
  • the component is compatible with the following items, which are provided with the aid of the following.
  • the various user-defined endpoints 4 share the dimensions of the item 12, all of which are set to non-process Is there a good 3-year-old house that reliably reliably disposes of a large, non-standard measuring device ?
  • the direct parts are located on the fourth side of the ⁇ .
  • the summer house, the nagging little one, is the one I / f. 5, 6 / is convenient for bartering parts that have a complicated configuration of high-speed components, which are at a risk for angles and spare parts.
  • the invention may also be useful for sharing a dacha, turning parts in a pulley, a chipper, and an

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

ПЬΕЗΟЭЛЖΤΡИЧΕСΚУΙЙ ΡΕЗΟΗΑΗСΗШ ДΑΤЧИΚ ΚΑСΑΗЙЯ
Οбласτь τеχняκя Ηасτοящее язοбρеτеняе οτнοсиτся κ язмеρяτельным ус- τροйсτвам, κасаеτся усτροйсτв для измеρения лянейяыχ ρаз- 5. меροв, а бοлее τοчнο οτнοсиτся κ πьезοэлеκτρичесκοму ρе- зοнанснοму даτчиκу κасаняя.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκя Даτчиκ κасания являеτοя οдним из οснοзныχ узлοв κο- ορдянаτнοй измеρиτельнοй маπшны, в значяτельнοж сτеπени.0 οπρеделяющиχ ее τοчнοсτь, унявеρсальнοсτь я сτеπень ав- τοмаτизацяя. Пοгρешнοсτь даτчиκοв κасания являеτся οд- нοй яз οснοвныχ ποгρешнοсτей κοορдинаτнοй язмеρяτельнοж машины, а πρя язмеρеняи малыχ ρазмеροв на πρецизиοнныχ κοορдянаτныχ язмеρяτельныχ машянаχ - дοминяρующей. Из-5 весτные даτчяκи κасаняя, ясποльзуемые на авτοмаτязяρο- ванныχ я дясτанцяοншχ πρецязяοнныχ κοορдянаτныχ язмеρя- τельныχ машянаχ, не удοвлеτвορяюτ сοвρеменным τρебοваня- ям πο τοчнοсτя, чувсτвяτельнοсτя я унивеρсальнοсτя. Οня ямеюτ нязκую сτабяльнοсτь οπρеделеняя мοменτа κасаняя0 язмеρяемοй ποвеρχнοсτя в заданнοм наπρавленяи, неοдяна- κοвую абсοлюτную велячяну πеρемещения κοнτаκτнοгο наκο- нечняκа даτчяκа яз ясχοднοгο ποлοженяя дο сρабаτызаняя я неποсτοяннοе язмеρяτельнοе усяляе πρя κасаняя в ρаз- лячныχ наπρавленияχ язмеρения οτκлοнений πаρамеτροв де-5 τаля, нязκую τοчнοсτь вοзвρащеняя κοнτаκτнοгο наκοнечня- κа в ясχοднοе ποлοженяе ποсле οτρабοτκя сигнала.
Извесτен элеκτροκοнτаκτный даτчяκ κасаняя / πаτенτ Βеляκοбρяτаняи й 1445977, κласс С 01 Β 7/02, οπубляκοван- ный в ρеφеρаτивнοм жуρнале "йзмеρиτельная τеχняκа" в ав-0 гусτе 1976 гοда /, сοдеρжащий сτеρжень с κοнτаκτным на- κοнечняκοм, уκρеπленный на φланце. Ценτρяροваняе φланца в κορπусе οсущесτвляеτся с ποмοщью τρеχ ροляκοв, ρазме- щенныχ вο шланце в πлοсκοсτя, πеρπендиκуляρнοй егο οся, ποд углοм 120° и сοπρяженныχ с τρемя πρязмами, οбρазο-5 ванными τρемя πаρами οπορныχ шаρяκοв. Щаρиκя усτанοвле- ны в κορπусе даτчяκа и язοляροваны οτ негο. Уκазанные - 2 -
οπορные шаρиκя я ροляκя, ценτρиρующяе φланец, οднοвρе- меннο служаτ κοнτаκτами ποследοваτельнοй элеκτρячесκοй цеπя. Β προцессе язмеρеняя ποсле πρяκοсыοвеняя κοнτаκτ- ным наκοнечняκοм κ язмеρяемοй ποвеρχнοсτя προясχοдиτ προ 5 сτρансτвеннοе смещеняе φланца οτнοсяτельнο κορπуса я ρаз мыκаняе οднοгο яля несκοльκяχ κοнτаκτοв элеκτρячесκοй цеπя. Εазρыв цеπя ясποльзуеτся для φяκсацяя мοменτа κаса няя κοнτаκτным наκοнечняκοм язмеρяемοй ποвеρχнοсτя.
Уκазанный элеκτροκοнτаκτный даτчиκ ямееτ недοсτаτοч0 ную τοчнοсτь φяκсацяя мοменτа κасаняя κοнτаκτным наκοнеч . няκοм измеρяемοй деτаля я неοдянаκοвые язмеρяτельные уся лия в ρазлячныχ наπρавленяяχ язмеρеняя. Эτο οбъясняеτся τем, чτο усяляя наπρавлены на πρеοдοленяе προдοльнοй ся- лы, πρяжямающей φланец сο сτеρжнем κ κορπусу πρя сοвπа-5 деняя наπρавленяя язмеρеняя с οсью сτеρжня, яля на πρе- οдοленяе мοменτа, сοздаваемοгο τем же усляем πρяжаτяя φланца κ κορπусу πρя язмеρеняя πаρамеτροв деτаля з дρу- гяχ наπρавленяяχ. Βοзняκнοвеняе мοменτа являеτся след- -сτвием ρазнοсτи πлеч οτ τοчκи κасаняя κοнτаκτным наκοнеч0 ниκοм язмеρяемοй ποвеρχнοсτи и οτ τοчκя πρилοженяя сялы πρяжаτяя φланца дο οся ποвοροτа φланца πρя ρазρыве элеκ- τρячесκοй цеπя. Пοгρешнοсτь даτчяκа οπρеделяеτся бοлыπя- мя сялами τρеняя сκοльженяя, вοзниκающими между шаρяκа- мя я ροляκамя πρя малыχ πеρемещеняяχ φланца οτнοсяτелънο5 κορπуса πρя ρазρыве κοнτаκτοв. Κροме τοгο, даτчяκ ямееτ τοльκο οдин измеρяτельный сτеρжень, чτο уменьшаеτ τοч- нοсτь язмеρеняя, унявеρсальнοсτь даτчяκа я προязвοдиτель нοсτь κοορдянаτнοй измеρяτельнοж машины πρи язмеρеняя πа- ρамеτροз слοжныχ деτалей. Пρя язмеρеняя πаρамеτροв для0 ρазρыва элеκτρичесκοй цеπя неοбχοдимы значяτельные уся- ляя смещения сτеρжня с κοнτаκτным наκοнечниκοм, чτο πρи- вοдиτ κ значяτельным ποгρешнοсτям язмеρеняя. йзвесτен πьезοэлеκτρячесκяй ρезοнансный даτчяκ κа- саняя, сοдеρжащяй κορπус с πьезοэлеκτρячесκям вοзбудяτе-5 лем κοлебаняй я κοнτаκτным наκοнечняκοм, ρазмещенным τаκ, чτο οбесπечяваеτся аκусτячесκяй κοнτаκτ наκοнечняκа с πьезοэлеκτρячесκям вοзбудяτелем κοлебаняй, οдян элеκτροд - 3 -
κοτοροгο заземлен, а на дρугοй ποдаюτся элеκτρячесκяе сягналы сянусοядальнοй φορмы / авτορсκοе свядеτельсτвο СССΡ 234765, οπубляκοванο 10.01.69 г. в Бюллеτене οτ- κρыτяй, язοόρеτеняй, προмышленныχ οбρазцοв я τοваρныχ знаκοв & 4, 1.969 г. /
Β κачесτве πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудиτеля κοлеба- няй ясποльзοван κзаρцевый бρусοκ, на κοτοροм уκρеπлен κοнτаκτный наκοнечняκ и элеκτροд, на κοτορый ποдаюτся элеκτρичесκие сягналы сянусοидальнοй φορмы с генеρаτορа сянусοядальныχ κοлебаняй, я с эτοгο же элеκτροда сняма- юτся элеκτρячесκяе сягналы, κοτορые заτем ποсτуπаюτ на амπляτудныж деτеκτορ. Пьезοэлеκτρячесκяй вοзбудяτель с κοнτаκτным наκοнечняκοм οбρазуюτ κοлебаτельную сясτему, κοτορая сοвеρшаеτ вынужденные κοлебаняя с часτοτοй сягна- ла, ποсτуπающегο с генеρаτορа, πρячем эτа часτοτа ρавна ρезοнанснοя часτοτе κοлебаτельнοй сясτемы. Β свοбοднοм сοсτοяняя велячяна τοκа, προτеκающегο чеρез даτчиκ, вοз- ρасτаеτ дο маκсямума. Пρя κасаняя κοнτаκτным наκοнечня- κοм. язмеρяемοж деτаля ρезκο сняжаеτся дοбροτнοсτь κοле- баτельнοй сясτемы я уменьшаеτся амπляτуда τοκа, προτеκа- ющегο πο элеκτρичесκοй цеπя даτчиκа, чτο исποльзуеτся в • κачесτве.сягнала κасаняя κοнτаκτным наκοнечняκοм язмеρя- емοж деτали.
- Уκазанный даτчяκ κасаняя ямееτ нязκую τοчнοсτь, уня- веρсальнοсτь я προязвοдяτельнοсτь. Зτο οбуслοвленο τем, чτο даτчяκ ямееτ τοльκο οдян κοнτаκτный ваκοнечниκ. Β связя с эτям в προцессе язмеρеняя неοбχοдямο προязвοдяτь πеρесτанοвκу даτчяκа, язменяτь ορяенτацию κοнτаκτнοгο на- κοнечняκа οτнοсяτельнο κοορдянаτныχ οсей κοορдянаτнοж яз- меρяτельнοй машяны. Для эτοгο неοбχοдямο προвοдяτь πеρе- аττесτацяю нοвοгο ποлοженяя κοнτаκτнοгο наκοнечняκа οτ- нοсяτельнο ποсτοянκыχ начальныχ κοορдянаτ машяны. Для ρасчеτа ρезульτаτοв язмеρений, учяτываюιдяχ ρадяус κοнτаκ- τнοгο наκοнечняκа я зелячяну смещеняя егο ценτρа яз яс- χοднοгο ποлοженяя дο сρабаτываняя даτчяκа, πρя κаждοй πеρесτанοвκе неοбχοдямο ввοдяτь в προгρамму вычяслиτель- нοй машяны сοοτвеτсτвующие ποπρавκя, чτο πρивοдяτ κ сме- - 4 -
щеняю κοнτаκτнοгο наκοнечняκа οτнοсяτельнο ρасчеτнοгο ποлοженяя, τ.е. κ сняженяю τοчнοсτя. Пеρеаττесτацяя πο- лοженяя наκοнечниκа я введеняе ποπρавοκ οτнοсиτельнο не ποдзяжнοгο аττесτаτορа увелячязаюτ вρемя язмеρеняя, τ.е. сняжаюτ προязвοдяτельнοсτь я являюτся ясτοчняκами значи τельныχ дοποлняτельныχ ποгρешнοсτеж. Завясямοсτь τοκа, προτеκающегο чеρез даτчяκ, οτ язмененяя амπляτуды наπ- ρяженяя, ποдаваемοгο οτ генеρаτορа сянусοядальнοгο наπ- ρяженяя, сняжаеτ τοчнοсτь я чузсτвяτельнοсτь даτчяκа. Зτο οбуслοвленο τем, чτο ποροгοвοе усτροκсτвο κοορдинаτ нοй язмеρяτельнοй машяны насτρаязаюτ τаκ, чτοбы οнο сρа баτызалο πρя значяτельнοм язмененяя амπляτуды τοκа, προ τеκающегο чеρез даτчяκ. Β προτязнοм случае будуτ προяс- χοдяτь лοжные сρабаτываняя я πеρемещения даτчяκаз сοοτ веτсτвяя с цροгρаммοй без κасаняя κοнτаκτным наκοнечня- κοм язмеρяемοж ποвеρχнοсτя.
Β οснοву насτοящегο язοбρеτеняя ποлοжена задача сοзданяя πъезοэлеκτρячесκοгο ρезοнанснοгο даτчяκа κаса- няя с едянοй κοлебаτельнοй сясτемοй, вκлючающей κορπус, внуτρя κοτοροгο ρасποлοжен πьезοэлеκτρячесκяй вοзбудя- τель κοлебаняй, ποзвοлялο бы ποвысяτь τοчнοсτь язмеρе- няя πаρамеτροв деτаля на κοορдянаτнοй язмеρяτельнοй ма- шине, ποвысиτь προязвοдиτельнοсτь я унявеρсальнοсτь. Ρасκρыτяе язοбρеτеняя Пοсτавленная задача ρешаеτся τем, чτο в πьезοэлеκ- τρячесκοм ρезοнанснοм даτчяκе κасаняя, сοдеρжащем κορ- πус с πьезοэлеκτρячесκям вοзбудиτелем κοлебаняй и κοн- τаκτным наκοнечняκοм, ρазмещенным τаκ, чτο οбесπечява- еτся аκусτячесκяж κοнτаκτ эτοгο наκοнечняκа с πьезοэлеκ- τρячесκям вοзбудяτелем κοлебаняж, οдян элеκτροд κοτοροгο заземлен, а на дρугοκ ποдаюτся элеκτρячесκяе сягналы ся- нусοидальнοй φορмы, сοгласнο язοбρеτеняю, κορπус даτчя- κа зыποлнен в зяде ποлοгο τела вρащеняя, в.κοτοροм с οбесπеченяем аκусτячесκοгο κοнτаκτа ρазмещен πьезοэлеκ- τρячесκяκ вοзбудиτель κοлебаняй, выποлненныи. ποлым я πο- вτορяющим φορму κορπуса, πρя эτοм ямеюτся πο меньшеж ме- ρе οдян дοποлняτельныж κοнτаκτный наκοнечняκ я сτеρжня - -
πο κοлячесτву οснοвнοгο я дοποлняτелънοгο κοнτаκτныχ на- κοнечняκοв, ρазмещенные на κορπусе τаκ, чτο яχ οся наπ- ρавлены πο нορмаля κ егο ποвеρχнοсτя я на κοнцаχ эτяχ сτеρжней с οбесπеченяем аκусτячесκοгο κοнτаκτа заκρеπ- 5. лены эτя κοнτаκτные наκοнечняκя, οбρазующяе сοвмесτнο сο сτеρжнямя, κορπусοм я πьезοэлеκτρячесκям вοзбудяτелем κοлебаняй едяную κοлебаτельную сисτему, в κοτοροй часτο- τа сοбсτвенныχ κοлебаняй κορπуса сο сτеρжнями я κοнτаκτ- ными наκοнечняκамя ρавна часτοτе κοлебаняй элеκτρячесκο-0 гο сягнала сянусοидальнοй φορмы, а πьезοэлеκτρичесκяй вοзбудяτель κοлебаняй сοдеρжяτ πο меньшей меρе οдян дο- ποлняτельный элеκτροд, служащий язмеρиτельным элеκτροдοм, с κοτοροгο снямаеτся выχοднοж сигнал, πο язмененяю φазы κοτοροгο οτнοсяτельнο φазы сянусοядальнοгο сягнала едя-5 нοй κοлебаτельнοй сясτемы судяτ ο мοменτе κасаняя κοнτаκ- τным наκοнечняκοм язмеρяемοй деτаля.
Пοлезнο, чτοбы κаждый сτеρжень был выποлнен длянοй Ь , κοτορая οπρеделяяась яз сοοτнοшеняя: 0 где С С~ - ρассτοяняе οτ внешней ποвеρχнοсτя κορπуса дο узлοвοй τοчκя κοлебаняж сτеρжня;
С - сκοροсτь звуκа в маτеρяале сτеρжня; ^ - сοбсτвенная часτοτа κοлебаняκ сисτемы, οбρазο-5 ваннοй κορπусοм сο сτеρжнями и κοнτаκτными на- κοнечниκами ; П = 0, I, 2 ....
Целесοοбρазнο, чτοбы κаждыκ сτеρжень ямел φορму, блязκую κ цяляндρячесκοй я дяамеτρ Ы. κаждοгο сτеρжня 0 οπρеделядся яз сοοτнοшеняя Л / С1> 5, где 1) - маκсямаль- ный внешняй дяамеτρ κορπуса.
Βыгοднο, чτοбы κаждый сτеρжень был жесτκο уκρеπлен на κορπусе»
Удοбнο, чτοбы κаждый сτеρжень был выποлнен за οднο 5 целοе с κορπусοм.
Пοлезнο, чτοбы κορπус даτчяκа ямел φορму цяляндρа я на нем быля ρазмещены πяτь сτеρжней, чеτыρе яз κοτορыχ
ΟΜΡΙ
/ - 6 -
были ρасποлοжены на цяляндρячесκοй ποвеρχнοсτя κορπуса в οднοй πлοсκοсτя ποд углοм 90° дρуг οτнοсяτельнο дρуга, а πяτый сτеρжень был ρасποлοжен πο οся даτчяκа на τορце вοй ποвеρχнοсτя κορπуса. Целесοοбρазнο, чτοбы κορπус даτчяκа ямел φορму ша- ρа я на нем быля ρазмещены πяτь сτеρжней ποд углοм 90° дρуг οτнοсяτельнο дρуга, чеτыρе из κοτορыχ быля ρасποлο- жены в πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοй οся даτчяκа, а οдян сτеρжень ρасποлοжен вдοль οся даτчяκа. Удοбнο., чτοбы κορπус даτчяκа ямел φορму κοнуса я н нем быля ρазмещены шесτь сτеρжнеж на ρавнοм ρассτοяняя. οτ веρπшны κοнуса я дρуг οτнοсяτельнο дρуга.
Пρедлοженный πьезοэлеκτρячесκяй ρезοκансный даτчяκ κасаняя имееτ κορπус, выποлненныж в вяде ποлοгο τела вρа щеняя, с ρазмещенным внуτρя негο ποлым πьезοэлеκτρячес- κям элеменτοм, ποвτορяющям φορму κορπуса, чτο ποзвοляеτ усτанοвяτь на κбρπусе несκοльκο сτеρжней с -κοнτаκτными наκοнечниκами, наπρазленныχ τаκ, чτο οбесπечяваеτся яз- меρеняе зсеχ ποвеρχнοсτей προсτρансгвеκныχ деτалей слοж- нοж φορмы без πеρесτанοвκя даτчяκа. Благοдаρя эτοму зна- чяτельнο ποвышаеτся τοчнοсτь язмеρеняя, προязвοдяτель- нοсτь я унявеρсальнοсτь машяны. Ρазмещеняе сτеρжней τаκ, чτο яχ οся наπρавлены πο нορмаля κ ποвеρχнοсτя κορπуса, οбесπечяваеτ наявысшую чувсτвяτельнοсτь в ρазлячныχ τοч- κаχ на ποвеρχнοсτя κοнτаκτныχ наκοнечняκοв πρя ρазляч- ныχ наπρавленяяχ язмеρеняя. Ηалячяе πο меньшеж меρе οд- нοгο дοποлняτельнοгο неза-земленнοгο элеκτροда, служаще- гο язмеρяτельным элеκτροдοм, ποзвοляеτ язмеρяτь φазοвый сдвяг сягнала οτнοсяτельнο сянусοядальнοгο наπρяженяя, вοзняκающегο в ρезульτаτе πρямοгο πьезοэφφеκτа. Οднοвρе- меннο эτο ποзвοляеτ οбесπечиτь οдинаκοвую чувсτзяτель- нοсτь всеχ язмеρяτельныχ наκοнечняκοз я ρазмесτяτь сτеρ- жня τаκ, чτοбы ποлучяτь κοлебаняя πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудяτеля в наπρазленяя, πеρπендяκуляρнοм яля наπρавле нοм вдοль οся сτеρжня. Пοследнее οбесπечязаеτ высοκую τοчнοсτь я сτабяльнοсτь ρабοτы даτчяκа.
Сοзданяе едянοй κοлебаτельнοж сясτемы, сοсτοящей _ -
яз κορπуса, πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудяτеля, сτеρжнеж с κοнτаκτнымн наκοнечняκамя я ямеющей высοκую дοбροτнοсτь, ποзвοляеτ сοздаτь даτчяκ, ямеющиж высοκую чувсτвяτель- нοсτь, τοчнοсτь я сτабяльнοсτь ρабοτы всеχ язмеρяτель- , ныχ сτеρжнеж с наκοнечняκамя. Ρабοτа на ρезοнанснοй час- τοτе κοлебаτельнοж сясτемы гаρанτяρуеτ маκсямальную чув- сτвяτельнοсτь даτчяκа я,τем самым, высοκую τοчнοсτь яз- меρеняя πаρамеτροв деτаля на κοορдянаτнοй язмеρяτельнοя машяне. Дяяна язмеρяτельнοгο сτеρжня выбρана τаκοй, чτο κοн- τаκτный наκοнечняκ ρасποлοжен в зοне κοлебаняй сτеρжня, имеющей маκсямальную амπляτуду. Эτο τаκже οбесπечяваеτ наявысшую чувсτвяτельнοсτь даτчяκа. Αмπляτуда κοлебаняκ κοнτаκτнοгο наκοнечняκа высοκа благοдаρя τοму, чτο диа-5 меτρ язмеρяτельнοгο сτеρжня значяτельнο меньше-диамеτρа κορπуса даτчиκа. Сбορная κοнсτρуκция κορπуса сο сτеρжня- ми я κοнτаκτными наκοнечниκами уπροщаеτ τеχнοлοгию язгο- τοвленяя даτчяκа. Βыποлненяе же сτеρжнеκ с κοнτаκτнымя наκοнечняκами за οднο целοе с κορπусοм οбесπечяваеτ бο- лее высοκую чувсτвиτельнοсτь я сτаόяльнοсτь ποκазаняж вο вρеменя πρя язмененяи цаρамеτροв οκρужающеκ сρеды благοдаρя ядеальнοму аκусτячесκοму κοнτаκτу между κοн- τаκτными наκοнечняκами , сτеρянямя я κορπусοм.
Циляндρячесκая φορма κορπуса ποзвοляеτ ρазмесτиτь5 сτеρжня в πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοй οси циляндρа τаκ., чτοбы яχ οси сοвπадаля с наπρавленяем κοορдинаτныχ οсей κοορдинаτнοй язмеρяτельнοй маιπяны. Οбычнο в эτиχ наπρав- леняяχ οсущесτвляеτся 70 - 80/£ всеχ язмеρеняй. Шаροзая φορма κορπуса даеτ вοзмοжнοсτь οбесπечиτь маκсямальную унявеρсальнοсτь даτчяκа за счеτ зыбορа неοбχοдимοгο для ρещеняя вοзняκшеκ меτροлοгячесκοж задачя οπτдмальнοгο κοлячесτза сτеρжней, наπρимеρ, ρасποлοженныχ здοль κο- ορдянаτныχ οсей маπιяны ποд углοм 90° дρуг οτнοсиτельнο дρуга. Κοнячεсκая φορма κορπуса οбесπечиваеτ наπρавле-5 няе сτеρжней, не сοвπадающее с οснοвными κοορдинаτнымя πлοсκοсτямя κοορдянаτнοй язмеρяτельнοй машины, -чτο ποз- вοляеτ προизвοдяτь οбмеρ деτалей слοжнοй φορмы. - 8 -
Κρаτκοе οπясаняе чеρτежеκ Β дальнеκшем язοбρеτеняе ποясняеτся κοнκρеτными ва ρианτами егο выποлненяя сο ссылκοй на сοπροвοждающяе чеρτежя, на κοτορыχ: φяг. I язοбρажаеτ πьезοэлеκτρячесκяй ρезοнансный даτчяκ с узлοм κρеπленяя я язмеρяемοй деτалью и эπюρы κοлебаняκ сτеρжней даτчяκа / выρыв κορπуса и προдοльный ρазρез узла κρеπленяя/, сοгласнο язοбρеτеκяю; φяг. 2 - πьезοэлеκτρячесκяκ ρезοнансныκ даτчяκ в ρазρезе πο ляняя ΙΙ-ΙΙ на φяг. I, блοκ-сχему ποдκлюченя егο элеκτροдοв, сοгласнο язοбρеτеняю;. φяг. 3 - эπюρу κοлебаняж, зοзняκающяχ з πьезοэлеκ- τρячесκοм вοзбудяτеле даτчяκа κасаняя в πлοсκοсτя, πеρ- πендяκуляρнοκ егο οся, сοгласнο язοбρеτеняю; φяг. 4 - οбщиκ вяд πъезοэлеκτρичесκοгο ρезοнанснοг даτчяκа κасаняя, ваρяанτ, κοгда κορπус ямееτ φορму шаρа / язοмеτρяя /, сοгласнο язοбρеτению; φяг. 5. - заρяанτ πьезοзлеκτρячесκοгο ρезοнанснοгο даτчяκа κасаняя, κοгда κορπус ямееτ φορму κοнуса / προ- дοльныκ ρазρез /, сοгласнο язοбρеτеняю; φяг. 6 - ρазρез πο ляняя УΙ-УΙ на φяг. 5, сοгласнο язοбρеτеняю; φяг. 7 - гρаφяκя κοлебаняй, вοзняκающиχ в единοж κοлебаτельнοκ сясτеме πρедлагаемοгο даτчиκа, сοгласнο язοбρеτеняю; φяг. 8 - амπляτуднο-часτοτные χаρаκτеρясτиκи еди- нοй κοлебаτельнοж сясτемы πρедлагаемοгο даτчяκа дο κа- саняя я в мοменτ κасаняя, сοгласнο язοбρеτеняю; φяг. 9 - гρаφяκя завясямοсτя φазы едянοй κοлебаτе- льнοκ сисτемы πρедлагаемοгο даτчяκа οτ часτοτы κοлеба- няκ κаπρяженяя с генеρаτορа, сοгласнο язοбρеτению. Лучπше ваρяанτы οсущесτвленяя язοбρеτеняя Пρедлагаемыκ ρезοнансныκ даτчиκ κасаняя сοдеρжяτ κορπус I / φиг. I /. Κορπус I выποлнен в вяде ποлοгο τе- ла вρащеняя, в κοτοροм с οбесπеченяем аκусτячесκοгο κοн- τаκτа ρазмещен πьезοэлеκτρячесκяж вοзбудяτель 2 κοлеба- няй. Пьезοэлеκτρячесκиκ вοзбудяτель 2 κοлебаняκ τаκже - 9 -
выποлнен ποлым я ποвτορяющям φορму κορπуса I. Ηа κορπу- се I ρазмещены в οπясаннοм ваρяанτе πяτь сτеρжней 3, οся κοτορыχ наπρазлены πο нορмали κ егο ποвеρχнοсτя /на чеρτеже вядны τοльκο τρя сτеρжня /. Ηа κοнцаχ сτеρжней 3 заκρеπлены κοнτаκτные наκοнечняκя 4. Дяя οбесπеченяя аκусτячесκοгο κοнτаκτа сο сτеρжнями 3 κοнτаκτные наκο- нечняκя 4 в οπясаннοм ваρяанτе πρяκлеены κ ням κлеем на οснοве эποκсяднοй смοлы.
Κορπус I сοвмесτнο с πъезοэлеκτρичесκям вοзбудиτе- лем 2, сτеρжнямя 3 я κοнτаκτнымя наκοнечняκами 4 οбρазу- юτ едяную κοлебаτельную сясτему, в κοτοροй часτοτа сοб- сτвенныχ κοлебаняй κορπуса I сο сτеρжнями 3 я κοнτаκτны- мя наκοнечняκамя 4 ρавна часτοτе κοлебаняй элеκτρячесκο- гο сягнала сянусοядальнοй φορмы, ποдаваемοгο на πьезοэлеκ- τρячесκий вοзбудяτель 2.
Κορπус I даτчяκа жесτκο уκρеπлен на φланце 5 деρжа- τеля 6 узла 7 κρеπленяя κορπуса в ποдвяжнοй τρавеρсе 8 κοορдянаτнοй язмеρяτельнοж машяны / κа φяг. I не ποκаза- _на /. Узел 7 сοдеρжяτ τаκже κορπус 9, жесτκο уκρешιенньш в ποдвижнοй τρавеρсе 8, κρышκу 10, уκρеπленную на κορπу- се 9, я πρужяну II, ρазмещенную в κορπусе 9. Узел 7 πρед- назначен для πρедοχρанения сτеρжнеκ 3 οτ ποлοмοκ вο вρе- мя язмеρеняя πаρамеτροв κοнτροляρуемοй деτаля 12.
Μежду κορπусοм I я πьезοэлеκτρячесκям вοзбудяτелем 2 ρазмещен заземленныκ элеκτροд 13. Ηа внуτρенней ποвеρ- χнοсτя πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудяτеля 2 ρазыещены зοз- буждающий элеκτροд 14 я дοποлняτельный элеκτροд, служа- ιдий измеρяτельным элеκτροдοм 15, в οπясываемοм ваρианτе в 10 ρаз меньше, дяамеτρа κορπуса. Зοзбуждающяж злеκτροд 14 / φиг. 2 / ποдκлючен κ выχοду генеρаτορа 16 синусοидальныχ κοлебаняд. Β οπясы- ваемοм ваρяанτе вοзόуждающйй элеκτροд 14 сοсτοиτ из двуχ часτей, ρазмещенныχ диамеτρальнο προτизοποлοжнο. Изме- ρяτельный элеκτροд 15 τаκже сοсτοяτ яз дзуχ часτей, τаκ- не ρазмещенныχ дяамеτρальнο προτивοποлοжнο. Лзмеρяτель- ный элеκτροд 15. ποдκлючен κ сигнальнοму зχοду 17 φазο- вοгο деτеκτορа 18, κ уπρавляющему вχοду 19 ρ:οτοροгο ποд- κлючен зыχοд генеρаτορа 16 синусοидальныχ κοлебаниκ.
ΟΜΡΙ
4 - 10 -
С измеρяτельнοгο элеκτροда 15 на вχοд 17 ποсτуπаеτ сягнал, πο язмененяю φазы κοτοροгο οτнοсяτельнο φазы си κусοядальнοгο сягнала едянοκ κοлебаτельнοй сясτемы судя ο мοменτе κасаняя κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 / φяг. I / 5, язмеρяемοй деτаля 12.
Дяяна Ь κаждοгο сτеρжня 3 οπρеделяеτся из сумгνы / С0 + <- / , где <ζ, - ρассτοяняе οτ внешнеж ποвеρχнοсτи - κορπуса I дο узлοвοκ τοчκя,Д κοлебаняκ сτеρжня 3, οπρе деляемοж эκсπеρяменτальным πуτем. Κаκ вяднο яз эπюρы ам Ю πляτуды κοлебанян сτеρжня 3, в узлοвοй τοчκе ϊ- амπлиτу да κοлебаняж ρавна нулю. Βелячяна δ. οπρеделяеτся яз сο οτнοшеняя:
Figure imgf000012_0001
где: С - сκοροсτь звуκа в маτеρяале сτеρжня; Ιδ У - сοбсτвенная часτοτа κοлебаняй сясτеш, οбρазο- ваннοй κορπусοм I я сτеρжнямя 3 с κοнτаκτными наκοнечняκамя 4
П =.0, I, 2
Β ρезульτаτе дляна Ζ, κаждοгο сτеρжня 3 τаκοва, чτ 20 κοнτаκτные наκοнечняκя 4 ρазмещены з οбласτя маκсимума амπляτуды κοлебаняκ сτеρжня 3.
Сτеρжня 3 ямеюτ φορму, блязκую κ цялиндρячесκοж. Дяамеτρ ά. κаждοгο сτеρжня 3 οπρеделяеτся яз сοοτнοше- няя -I) / иΡ> 5, где 2) - маκсямальныж внешняκ дяамеτρ 25 κορπуса I. Для лучшей чувсτвяτельнοсτя даτчяκа сτеρжня 3 выποлняюτ τοнκяш.
Κаждыж сτеρжень 3 жесτκο уκρеπлен на κορπусе Ι,-в οπисызаемοм ваρяанτе сτеρжня 3 πρяκлеены κ κορπусу I κлеем на οснοве эποκсяднοκ смοлы. Βοзмοжен дρугοй ваρя- 30 анτ, κοгда κаждый сτеρжень выποлняюτ за οднο целοе с κορπусοм I. Β эτοм случае ποвышаеτся чувсτвиτельнοсτь даτчяκа, τ.κ. οбесπечязаеτся ядеальныж аκусτячесκяи κοн τаκτ κορπуса I сο сτеρжнямя 3.
Для ποвышения чувсτвяτельнοсτя месτο усτанοзκя 35 сτеρжнеж 3 на κορπусе I οπρеделяюτ в сοοτвеτсτвяя с ρаз мещеняем вοзбуждающегο я язмеρяτельнοгο элеκτροдοв 14, 15-. Ηа φяг. 3 πρедсτавлена эπюρа κοлебаняж πьезοэлеκ-
οм?ι - II -
τρячесκοгο зοзбудяτеля 2 в πлοсκοсτя, πеρπендиκуляρнοй егο προдοльнοй οся в завясямοсτя οτ амπляτуды κοлебаний элеκτρичесκοгο сигнала сянусοядальнοй φορмы, ποдаваемοгο на вοзбуждающий элеκτροд 14. Из эπюρы вяднο, чτο маκся- 5 мум амπляτуды сοвπадаеτ с προдοльнοκ οсью κаждοгο яз че- τыρеχ элеκτροдοв. Пοэτοму для ποвышеняя чувсτзяτельнοс- τя даτчяκа κаждыκ сτеρжень 3 усτанавлязаюτ на κορπусе I в οбласτя маκсямума амπляτуды κοлебаняκ πьезοэлеκτρячес- κοгο вοзбудяτеля 2. Τοлсτοκ я πунκτяρнοй ляняями ποκа- 0 занο, κаκую φορму πρиοбρеτаеτ πьезοэлеκτρячесκий вοзбу- дяτель 2 πρя κοлебаняя в πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοж егο προдοльнοй οся. Β τοчκаχ β наχοдяτся меρτвые зοны, где амπляτуда κοлебаняй ρавна нулю.
Βοзмοжен заρяанτ, κοгда κορπус I / φяг. I / даτчя-
15 κа ямееτ φορму цяляндρа я на нем ρазмещены πяτь сτеρж- ней 3. Чеτыρе сτеρжня ρасποлοжены на бοκοвοй ποвеρχнοс- τя κορπуса I в πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοκ προдοльнοκ οся даτчяκа ποд углοм 90° дρуг οτнοсяτельнο дρуга, а πя- τый сτеρжень 3 ρасποлοжен πο οся даτчяκа на τορцевοж πο-
20 веρχнοсτя κορπуса I. •
Βοзмοжен ваρяанτ, κοгда κορπус I / φяг. 4 / даτчя- κа имееτ ωορму шаρа и на нем ρазмещены πяτь сτеρжнеκ 3 ποд углοм 90° дρуг οτнοсяτельнο дρуга. Чеτыρе сτеρжня 3 ρасποлοжены в πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοκ οся даτчяκа,
25 а πяτый - вдοль οся..
Зοзыοжен еще οдян ваρяанτ, κοгда κορπус I / φяг. 5 / имееτ φορму κοнуса я на нем ρазмещены шесτь сτеρж- неϋ 3 на ρавнοм ρассτοяняя οτ веρπιяны κοнуса, πρячем οс- нοваняя сτеρжней 3 ρазмещены в пяοсκοсτя, πеρπендиκуляρ-
30 нοй οся κοнуса, на ρавнοм ρассτοяняя дρуг οτнοсяτельнο дρуга. Οси сτеρжней 3 πеρπендиκуляρны бοκοвοй ποвеρχнοс- τя κορπуса I. Пρи эτοм вοзбуждающий и язмеρяτельныκ эле- κτροды 14, 15 κаждый сοсτοиτ яз τρеχ часτей, ποследοза- τельнο ρазιяещенныχ на внуτρенней ποвеρχнοсτκ πьезοзлеκ-
35 τρачесκοгο зοзбудиτеля 2, а οснοзаная сτеρжнеκ 3 ρазме- щены на учасτκаχ κορπуса I, πο κοτορыιл προχοдяτ προдοль- ные οся элеκτροдοв, чτο неοбχοдимο для οбесπеченяя маκ-
ΟΜΡΙ - -
сямальнοй чувсτзяτельнοсτя κοнτаκτныχ наκοнечниκοв 4.
Сτеρжни 3 зыποлняюτ лябο цяляндρичесκями, лябο с не бοльшοй κοнуснοсτью. Φορма наκοнечняκοв 4 τаκже заρьяρу еτся: наκοнечниκи 14 мοгуτ быτь выποлнены в вяде шаρа, 5 цяляндρа яля κοльца.
Ηа φяг. 7 πρедсτавлены гρаφяκи κοлебаняж, вοзняκаю- щяχ в едяκοй κοлебаτельнοй сясτеме, где πο οся абсцясс οτлοжена φаза Υ , а πο οся ορдянаτ - наπρяженяе. Сяну- сοяда 1/| χаρаκτеρязуеτ κοлебаняя, κοτορые ποсτуπаюτ с0 генеρаτορа 16 сянусοидальныχ κοлебаняж на вοзбуждающяй элеκτροд 14; сяыусοκда Ц, χаρаκτеρязуеτ κοлебаняя, κοτο ρые вοзняκаюτ в κοлебаτельнοκ сясτеме в ρезульτаτе πρя- мοгο πьезοэφφеκτа, οна сдвянуτа πο οся абсцисс οτнοся- τельнο синусοяды Ц на угοл Δ^ο ; сянусοяда Ы3 χаρаκτе-5 ρязуеτ κοлебаняя, вοзняκающяе з κοлебаτельнοκ сясτеме в мοменτ κасаняя κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 лοвеρχнοсτя яз- меρяемοκ деτали 12, οна сдвянуτа οτнοсиτельнο сянусοиды ζ вдοль οся γ на угοл Δ Υ^ , гρаφяκ Ыч - наπρяже- няе на выχοде φазοвοгο деτеκτορа. 0 Ηа φяг. 8 πρедсτавлены амπяяτуднο-часτοτные χаρаκ- τеρясτяκя едянοκ κοлебаτельнοκ сясτемы, где: Ыч - амπля- τудκο-часτοτная χаρаκτеρясτяκа даτчяκа κасаняя дο κаса- няя ποвеρχнοсτя язмеρяемοж деτали 12; и$- - амπляτуднο- часτοτная χаρаκτеρясτяκа даτчяκа в мοменτ κасаняя чувсτ-5 виτельным наκοнечниκοм 4 ποвеρχнοсτя язмеρяемοй деτаля 12.
Ηа φяг. 9 πρедсτавлены зазясямοсτи φазы κοлебаτель- нοй сясτемы οτ часτοτы κοлебаняй, где : * - гρаφяκ яз- мененяя φазы κοлебаτельнοκ сисτемы οτ часτοτы дο κаса-0 ния κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 язмеρяемοй деτаля 12; - гρаφяκ измененяя φазы οτ часτοτы в мοменτ κасаняя κοнτаκ τным наκοнечняκοм 4 ποвеρχнοсτя измеρяемοй деτали 12.
Ρабοτа πьезοэлеκτρячесκοгο ρезοнанснοгο даτчяκа κа- саняя заκлючаеτся в следующем. 5 Ηа вοзбуждающий элеκτροд 14 / φяг. 2 / οτ генеρа- τορа 16 сянусοядальныχ κοлебаняκ ποдаеτся высοκοчасτοτ- нοе πеρеменнοе синусοядальнοе наπρяженяе, ποд дейсτзяем
ΟΜΡΙ - 13 -
κοτοροгο πьезοэлеκτρичесκяй вοзбудяτель 2 κοлебаняκ сο- веρшаеτ κοлебаняя πеρπендяκуляρнο свοеκ προдοльнοκ οся с часτοτοκ, ρавнοй часτοτе κοлебаниκ синусοидальнοгο на- πρяженяя ^ генеρаτορа 16. Βысοκοчасτοτные κοлебаняя πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудяτеля 2 вοзбуждаюτ κοлебаняя в κορπусе I и язмеρяτельныχ сτеρжняχ 3 с κοнτаκτными на- κοнечняκамя 4. Сτеρжня 3 ρасποлοжены πеρπендиκуляρнο οся κορπуса I я зπюρа яχ κοлебаняй πρедсτавлена на φяг. I. Β οсевοм наπρавленяя πьезοэлеκτρячесκοгο вοзбудяτеля 2 τаκже вοзняκаюτ κοлебаняя, πρячем φаза эτяχ κοлебаняж οτлячаеτся на ποлοвяну πеρяοда οτ φазы κοлебаκяκ в ρадя- альнοм наπρавленяя.
Τаκ κаκ οбесπечен аκусτячесκяй κοнτаκτ между πьезο- элеκτρячесκям вοзбудяτелем 2 κοлебаняж я κορπусοм I, в ποследнем τаκже вοзбуждаюτся высοκοчасτοτные меχанячес- κяе κοлебаняя, наπρавлеκные вдοль οся, κοτορые πеρеда- юτся в οсевοκ сτеρжень 3 с κοнτаκτншл наκοнечниκοм 4. Зπюρа эτиχ κοлебаняй τаκже πρедсτавлена на φяг. I.
Дοбροτнοсτь едянοκ κοлебаτельнοй сясτемы, οбρазο- ваннοй πьезοэлеκτρичесκим вοзбудиτелем 2, κορπусοм I, сτеρжнями 3 с κοнτаκτными наκοнечниκами 4 высοκа. Αмшш- τуднο-часτοτная χаρаκτеρясτяκа и-, / φяг. 8 / τаκοй сяс- τеш ямееτ ρезκο выρаженныκ маκсямум /^^ πρя часτοτе сянусοядальнοгο наπρяженяя, ποсτуπающегο с генеρа- τορа 16, ρавнοй сοбсτвеннοй часτοτе β> κοлебаняκ едя- нοй κοлебаτельнοй сясτемы. Пοэτοму часτοτу κοлебаний наπρяженяя ^ , ποсτуπающегο с генеρаτορа 16, усτанав- ляваюτ ρазнοй часτοτе сοбсτвенныχ κοлебаняй едянοё κο- лебаτельнοй сясτемы. Μеχаничесκие κοлебаняя, вοзниκаюπще в κοлебаτель- нοй сисτеме в ρезульτаτе цρямοгο πьезοэφφеκτа, сοздаюτ в πьезοэлеκτρичесκοы вοзбудиτеле 2 κοлебаний наπρяженяе ζ / φяг. 7 /. Часτοτа эτοгο наπρяаения ζ ρавна часτοτе меχаничесκиχ κοлебаниκ πьезοэлеκτρячесκοгο вοз- будяτеля 2, а τаκже часτοτе синусοядальнοгο наπρяжения
Ы^ генеρаτορа Ιб^и сдзянуτο οτнοсяτельнο негο πο φа- зе на угοл Λ Υ , οπρеделяемый πаρамеτρамя единοκ κοле-
ΟΜΡΙ - 14 -
баτельнοκ сисτемы. Ηаπρяженяе Ц^ чеρез язмеρяτельныэ элеκτροды 15 / φяг. 2 / ποдаеτся на сягнальныκ зχοд 17 φазοвοгο деτеκτορа 18 для οπρеделеняя φазοвοгο сдвяга между уποмянуτыми наπρяженяямя ^ и и^/ φяг. 7 /. Ηа уπρавляющяж вχοд 19 / φяг. 2 / φазοзοгο деτеκτορа 18 ποс τуπаеτ наπρяженяе с генеρаτορа 16. Ηа выχοде деτеκτο ρа 18 в завясямοсτя οτ ρазнοсτя φаз Α Υ0 φορмяρуеτся суммаρнοе наπρяженяе ϊ Цч / φяг. 7 /. 3 усτанοвявшемся ρежяме, κοгда κасания κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 ποвеρχ- нοсτя язмеρяемοκ деτаля 12 не προязοшлο, велячяна « , πο сτοянна.
Пρя κасаняя κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 / φяг. I / πο зеρχнοсτя язмеρяемοй деτаля 12 дοбροτнοсτь едянοй κοлеба τельнοй сясτемы ρезκο πадаеτ. Зследсτвяе эτοгο амπляτуда меχанячесκяχ κοлебаняж сясτемы уменьшаеτся, в ρезульτаτе амπляτуда Ыζ уменьшаеτся на велячяну Λ Ц я сτанοвяτся ρавнοκ - / Φиг. 8 /. Пροясχοдяτ дοποлнκτельный сдвяг πο φазе на величяну д ~ / φяг. 7 / πеρеменнοгο элеκτρя- чесκοгο наπρяженяя иζ οτнοсяτельнο наπρяженяя ^ . Β мοменτ κасаняя κοнτаκτнымя наκοнечниκοм 4 ποвеρχнοсτя язмеρяемοκ деτаля 12 ρезκο язменяюτся амπля уднο-φазοвая я часτοτная χаρаκτеρясτяκя сясτемы. Ηа выχοде деτеκτορа
Figure imgf000016_0001
сигнала в ποροгοвοм усτροκсτве / на φиг. 2 не ποκазанο/, κοτοροе выдаеτ κοмандный сигнал, свядеτельсτвующий ο сρа- баτываняя даτчяκа πρи дοсτяженяя велячянοй οπρеделен- нοгο заданнοгο уροвня. Κοмандный сягнал ποсτуπаеτ на вы- чясляτельную машι^ну, уπρавляющую πο προгρамме πеρемеще- няем даτчяκа на κοορдянаτнοκ язмеρиτельнοκ машяне для οπρеделеняя πаρамеτροв язмеρяемοй деτали.
Значиτельная завясямοсτь φазοзοгο сдвяга сρавнявае- • мыχ πеρеменныχ наπρяженяκ πρя уменьшеняя дοбροτнοсτя κο-
ΟΜΡΙ ?Ν - 15 -
лебаτельнοκ сисτемы πρя κасаняя κοнτаκτным наκοнечняκοм 4 ποвеρχнοсτя измеρяемοй деτаля 12 я вοзняκнοвеняе πρя эτοм сил, οбуслοвленныχ τοльκο τρеняем сκοльжения, неза- висимο οτ ποлοженяя τοчκя κасаняя на ποвеρχнοсτи κοнτаκ- τнοгο наκοнечняκа , οбесπечяваеτ высοκую τοчнοсτь язме- ρеняй в ρазлячныχ наπρавленяяχ в προсτρансτве. Τοчнοсτь язмеρеняя ποвышаеτся τаκже благοдаρя τοму, чτο в προцессе язмеρеняя πеρемещеняя κοнτаκτнοгο наκοнечняκа 4 не πρевы- шаюτ уπρугяχ деφορмацяй сτеρжнеи 3, οτсуτсτвуеτ взаямнοе меχанячесκοе смещение узлοв даτчяκа.
Οπρеделеняе сοοτвеτсτвяя ρазмеροв деτаля эτалοну с ποмοщью πρедлагаемοгο даτчяκа οсущесτвляеτся следующим οбρазοм. С ποмοщью аττесτаτορа, в οπисываемοм ваρяанτе - шаρа, οдян ρаз для всеχ измеρеняκ ρазмеροв деτалеκ на κοορдянаτнοй вычяслиτельнοй машине προяззοдиτся аττесτа- цяя κοορдянаτ ценτροв κοнτаκτныχ наκοнечниκοв 4 я οπρэ- деленяе ποπρавοκ, учяτызающнχ ρадяусы κοκτаκτныχ наκοнеч- няκοз 4 я яχ смещеняе яз исχοднοгο ποлοженяя дο сρабаτы- ваняя даτчиκа. Пοсле эτοгο ποследοваτельнο ρазнымя κοн- τаκτными наκοнечниκами 4 οπρеделяюτся ρазмеρы деτаля 12 вο всеχ τοчκаχ, заданныχ πο προгρамме, без πеρеаττесτа- цяя я без πеρесτанοвκя даτчяκа. Κοлячесτвο сτеρжней 3 даτчяκа я ορиенτацяя эτиχ сτеρжней οτнοсиτельнο κοορди- наτныχ οсей измеρиτельнοκ машяны οπρеделяеτся заρанее? ясχοдя из слοжнοсτя деτаля. Даτчяκ с шаροοбρазншл κορπу- сοм I / φяг. I /πρедποчτяτельнο исποльзοзаτь .для язмеρе- няя деτалей, τοчκя κοнτροля κοτορыχ ρасποлοжены з πяτя шюсκοсτяχ. Даτчяκ κасаняя, ямеющий κοнячэсκяй κορπус I / φяг. 5, 6 / удοбен для язмеρеняя деτалеκ, имеющиχ слοжную κοнφигуρацию шιοсκοсτей, наπρазленныχ ποд углοм κ κοορдинаτным πлοсκοсτям κοορдянаτнοи язмеρяτельнοκ ма- шины. Пρинцяπ ρабοτы даτчяκοз, ποκазанныχ на φяг. 4, 5-, 6, аналοгячен οπясаннοму выше.
Пροмыπшенная πρяменямοсτь Пρедποчτяτельнοй- οбласτью ясποльзοвания насτοящегο язοбρеτеняя являеτся κοορдянаτные измеρиτельные машины, πρедназначенные для язмеρеняя лянейныχ я углοзыχ ρазме- - 16 -
ροв, а τаκже οτκлοненяκ φορмы и взаямнοгο ρасποлοженяя ποвеρχнοсτеκ деτалеκ слοжнοκ φορмы. Изοбρеτеняе мοжеτ быτь τаκже ясποльзοванο для οπρеделеняя мοменτа κасаняя даτчяκοм ποвеρχнοсτя деτали в мяκροсκοπаχ, машинаχ для измеρеняя длины τρуб, ρезьбοязмеρяτельныχ πρябορаχ, а τаκже προмышленныχ ροбοτаχ я маняπуляτορаχ.
ΟΜΡΙ

Claims

- 17 -Φορмула язοбρеτеняя
1. Пьезοэлеκτρячесκиκ ρезοнансный даτчяκ κасаняя, сοдеρжащиκ κορπус с πьезοэлеτρячесκям вοзбудиτелем κοле- баняй и κοнτаκτным наκοнечняκοм, ρазмещенным τаκ, чτο
5. οбесπечязаеτся аκусτячесκяκ κοнτаκτ эτοгο наκοнечняκа с πьезοэлеκτρячесκям вοзбудяτелем κοлебаняй, οднн элеκτροд κοτοροгο заземлен, а на дρугοй ποдаюτся элеκτρячесκяе ся- гналы сянусοидальыοκ φορмы, οτлячающяйся τем, чτο κορπус /I/ даτчиκа выποлнен в вяде ποлοгο τела вρащеняя, в κο-0 τοροм с οбесπеченяем аκусτячесκοгο κοнτаκτа ρазмещен πьезοэлеκτρичесκяй вοзбудиτель /2/ κοлебаняй, выποлнен- ныж ποлым я ποвτορяющим φορму κορπуса /I/. πρя эτοм яме- юτся πο меньшей меρе οдин дοποлняτельныκ κοнτаκτный на- κοнечниκ /4/ я сτеρжня /3/ πο κοлячесτву οснοвнοг.ο я дο-5 ποлняτельнοгο κοнτаκτныχ наκοнечняκοв /4/, ρазмещенные наκορπусе /I/ τаκ, чτο иχ οся наπρавлены πο нορмали κ егο ποвеρχнοсτя, я на κοнцаχ эτиχ сτеρжней с οбесπече- няем аκусτячесκοгο κοнτаκτа заκρеπлены эτя κοнτаκτные наκοнечняκя /4/,- οбρазующие сοвмесτнο сο сτеρжнями /3/,0 κορπусοм /I/ я πъезοэлеκτρячесκям вοзбудяτелем /2/ еди- ную κοлебаτельную сясτему, в κοτοροж часτοτа сοбсτвенныχ κοлебаняй κορπуса /I/ сο сτеρжнями /3/ и κοнτаκτными на- κοнечняκами /4/ ρавна часτοτе κοлебаняй элеκτρичесκοгο сигнала сянусοидальнοй φορмы, а πьезοэлеκτρичесκяй вοз-5 будиτель /2/ сοдеρжяτ πο меньшей меρе οдин дοποлняτель- ныж элеκτροд, служащий язмеρиτельным элеκτροдοм /Ι5У, с κοτοροгο снямаеτся выχοднοκ элеκτρячесκий сигнал, πο яз- мененяю φазы κοτοροгο οτнοсяτельнο φазы синусοядальнοгο сигнала едянοκ κοлебаτельнοй сисτемы судяτ ο мοменτе κа-0 саняя κοнτаκτным наκοнечняκοм /4/ язмеρяемοй деτаля /12/.
2. Пьезοэлеκτρичесκяй ρезοнансныκ даτчиκ πο π. I, οτлячающϊ'Шся τем, чτο κаждый сτеρжеκь /3/"выποлнен для- нοκ ^ . οπρеделяемοй выρаженяем:
Δ * С0 + еή . 5 где: - ρассτοяние οτ знешней ποвеρχнοсτи κορπуса /ι/ дο узлοвοκ τοчκя - κοлебаняκ сτеρжня /3/; - 18 -
Figure imgf000020_0001
бρазοзан- нοй κορπусοм /I/ сο сτеρжнями /3/ я κοнτаκτными
5 наκοнечняκамя /4/;
П = 0, I, 2
3. Пьезοэлеκτρячесκяж ρезοнансный даτчяκ πο π.π. I,
2, οτлячающяκся τем, чτο κаждый сτеρжень ямееτ φορму, бляз κую κ цяляндρячесκοιϊ,я дяамеτρ ά. κаждοгο сτеρжня /3/ οπρ
10 деляеτся яз сοοτнοшеκяя: 29 / с£> 5, где ]) - маκсямальны знепшяй дяамеτρ κορπуса /I/. - -
4. Пьезοэлеκτρячесκяй ρезοнансный даτчяκ πο π.π. I -
3, οτлячающийся τем, чτο κаждыκ сτеρжень /3/ жесτκο уκ- ρеπлен на κορπусе /I/. . .
15 5. Пьезοэлеκτρячесκяй ρезοнансный даτчяκ πο π.π. I - 3, οτлячающиκся τем, чτο κаждыκ сτеρжень /3/ выποл- нен за οднο целοе с κορπусοм /1/-
6. Пьезοэлеκτρячесκяκ ρезοнансный даτчяκ πο π.π. 1- 5, οτлячающийся τем, чτο κορπус /I/ даτчяκа ямееτ
20 φορглу цяляндρа я на нем ρазмещены πяτь сτеρжней /3/, че- • τыρе яз κοτορыχ ρасποлοжены κа циляндρичесκοй ποвеρχнοс- τя κορπуса /I/ в οднοκ πлοсκοсτя ποд углοм 90° дρуг οτнο- сяτельнο дρуга, а πяτый сτеρжень /3/ ρасποлοжен πο οся даτчяκа на τορцезοκ ποзеρχнοсτя κορπуса /I/.
25 7. Пьезοэлеκτρячесκяκ ρезοнансныκ даτчяκ πο π.π. 1- 5, οτлячающяκся τем, чτο κορπус /I/ даτчяκа ямееτ φορму шаρа я на нем ρазмещены πяτь сτеρжней /3/ ποд уг- лοм 90° дρуг οτнοсяτельнο дρуга., чеτыρе яз κοτορыχ ρас- ποлοжены з πлοсκοсτя, πеρπендяκуляρнοκ οся даτчяκа, а
30 οдян сτеρжень /3/ ρасποлοжен вдοль οся даτчяκа.
8. Пьезοэлеκτρячесκяκ ρезοнансныκ даτчяκ πο π.π. 1- 5, οτлячающийся τем, чτο κορπус /I/ ямееτ φορму κο- нуса я на нем ρазмещены шесτь сτеρжней /3/ на ρазнοм ρас- сτοяняи οτ веρшяны κοнуса я дρуг οτнοсяτельнο дρуга.
ΟΜΡΙ
PCT/SU1980/000096 1979-11-05 1980-05-30 Piezoelectric resonance contact pick-up WO1981001334A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE803050013T DE3050013T1 (de) 1979-11-05 1980-05-30 Piezoelectric resonance contact pick-up

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2830457 1979-11-05
SU792830457A SU1095065A2 (ru) 1979-11-05 1979-11-05 Измерительна головка

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1981001334A1 true WO1981001334A1 (en) 1981-05-14

Family

ID=20855272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/SU1980/000096 WO1981001334A1 (en) 1979-11-05 1980-05-30 Piezoelectric resonance contact pick-up

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4397188A (ru)
JP (1) JPH0243121B2 (ru)
DE (1) DE3050013T1 (ru)
FR (1) FR2468875A1 (ru)
IT (1) IT1133941B (ru)
SE (1) SE425437B (ru)
SU (1) SU1095065A2 (ru)
WO (1) WO1981001334A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0155084A1 (en) * 1984-02-16 1985-09-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Device for measuring the shape of a three-dimensional object

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3309122A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-20 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf fuer messeinrichtungen
GB8407847D0 (en) * 1984-03-27 1984-05-02 Emi Ltd Sensing apparatus
GB2163570B (en) * 1984-08-24 1988-05-25 Hanger & Co Ltd J E Artificial hand
US4562392A (en) * 1984-08-29 1985-12-31 General Electric Company Stylus type touch probe system
CA1246121A (en) * 1984-11-15 1988-12-06 Westinghouse Electric Corporation Robotic end effector
US4657470A (en) * 1984-11-15 1987-04-14 Westinghouse Electric Corp. Robotic end effector
DE3522581A1 (de) * 1985-06-24 1987-01-02 Eke Robotersysteme Gmbh Verfahren und vorrichtung zum betreiben eines industrieroboters mit sensorkorrektur
DE3824548A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ
JPH04140601A (ja) * 1990-09-29 1992-05-14 Nikon Corp タッチブローブ
US5222034A (en) * 1990-10-10 1993-06-22 Shelton Russell S Measuring method and apparatus
DE4243284C2 (de) * 1992-12-21 1996-09-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Tastelement für Koordinatenmeßsysteme
DE4326551C2 (de) * 1993-08-07 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kalibrier-Verfahren zum Ermitteln und Kompensieren unterschiedlicher Antastkraft-Verhältnisse bei Mehrkoordinaten-Tastsystemen
DE4331069A1 (de) * 1993-09-13 1995-03-16 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit einem Taster in Form eines Festkörperschwingers
GB9401692D0 (en) 1994-01-28 1994-03-23 Renishaw Plc Performing measurement or calibration on positioning machines
DE19547977A1 (de) * 1995-12-21 1997-06-26 Zeiss Carl Fa Tastsystem für Koordinatenmeßgeräte
JP3336196B2 (ja) * 1996-06-25 2002-10-21 株式会社ミツトヨ 振幅抽出装置
DE19708257A1 (de) * 1997-02-28 1998-09-03 Kriwan Ind Elektronik Gmbh Vibrationssensor
JP3197860B2 (ja) * 1997-12-24 2001-08-13 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
GB2336433B (en) * 1998-04-14 2002-02-06 Mitutoyo Corp Touch signal probe
JP3130289B2 (ja) * 1998-08-04 2001-01-31 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
JP2000121508A (ja) 1998-10-15 2000-04-28 Tlv Co Ltd 電源を内蔵するモニタリング・システム
JP2000199710A (ja) * 1999-01-06 2000-07-18 Mitsutoyo Corp タッチ信号プロ―ブの接触部位検出構造
US6708420B1 (en) * 1999-01-06 2004-03-23 Patrick M. Flanagan Piezoelectric touch probe
JP3819250B2 (ja) * 2000-05-15 2006-09-06 株式会社ミツトヨ 加振型接触検出センサ
US6442857B1 (en) * 2000-11-10 2002-09-03 Toto Ltd. Portable surface inspector
JP3500125B2 (ja) * 2001-02-14 2004-02-23 株式会社ミツトヨ 弾性体の振動検出システム
ITBO20020098A1 (it) * 2002-02-28 2003-08-28 Marposs Spa Sensore acustico
GB0228368D0 (en) * 2002-12-05 2003-01-08 Renishaw Plc Probe for high speed scanning
US7351018B2 (en) * 2003-06-02 2008-04-01 Novator Ab Method and apparatus for measuring a depth of holes in composite-material workpieces being machined by an orbiting cutting tool
EP1574830A1 (en) * 2004-03-08 2005-09-14 BALANCE SYSTEMS S.p.A. Precision sensor assembly for rotating members in a machine tool
DE602004005201T2 (de) * 2004-07-20 2007-12-20 Balance Systems S.P.A. Gerät zur Detektion von Werkzeugmaschineschwingung
GB0609022D0 (en) * 2006-05-08 2006-06-14 Renishaw Plc Contact sensing probe
KR101714535B1 (ko) * 2008-12-22 2017-03-09 삼성전자주식회사 탈이온화 장치 및 그 제어방법
CN101502947B (zh) * 2009-03-02 2011-02-09 南京大学 一种声发射传感器
DE102012003223A1 (de) * 2012-02-20 2013-08-22 Carl Zeiss 3D Automation Gmbh Kugel-Schaft-Verbindung
DE102012018417B4 (de) * 2012-09-12 2015-04-23 Hans-Holger Anger Tasteinrichtung und Messeinrichtung mit einer derartigen Tasteinrichtung
JP6613162B2 (ja) * 2016-02-10 2019-11-27 株式会社ミツトヨ 三次元座標測定機用プローブヘッド及び接触検出方法
DE102018103420A1 (de) * 2018-02-15 2019-08-22 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messgerät zur Oberflächen- oder Konturmessung
DE102020204942A1 (de) 2020-04-20 2021-10-21 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messsensor-Trägeranordnung mit Bewegungsaktor für ein Koordinatenmessgerät
CN112834570B (zh) * 2020-12-30 2023-09-22 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 一种基于自激式压电元件的气液两相检测装置及方法
CN112736187B (zh) * 2020-12-30 2024-02-02 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 一种基于自激式压电元件的排气装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU611148A1 (ru) * 1975-12-15 1978-06-15 Всесоюзный Проектно-Конструкторский Технологический Институт Атомного Машиностроения И Котлостроения Устройство дл ввода в изделие импульсных ультразвуковых колебаний
SU679868A1 (ru) * 1977-05-23 1979-08-15 Казахский политехнический институт им. В.И.Ленина Устройство дл ультразвукового контрол бетонных конструкций

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
DE2344462A1 (de) * 1973-07-12 1975-01-30 Bayer Ag Spritzpistole fuer veterinaere zwecke
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
CH628137A5 (fr) * 1977-09-27 1982-02-15 Meseltron Sa Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede.
IT1159947B (it) * 1977-10-22 1987-03-04 Renishaw Electrical Ltd Sonda rilevatrice di contatto
FR2408813A1 (fr) * 1977-11-10 1979-06-08 Sagem Perfectionnements aux procedes et dispositifs de palpage a contact, notamment pour machines a mesurer
US4294121A (en) * 1978-06-06 1981-10-13 Inoue-Japax Research Incorporated Position measuring system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU611148A1 (ru) * 1975-12-15 1978-06-15 Всесоюзный Проектно-Конструкторский Технологический Институт Атомного Машиностроения И Котлостроения Устройство дл ввода в изделие импульсных ультразвуковых колебаний
SU679868A1 (ru) * 1977-05-23 1979-08-15 Казахский политехнический институт им. В.И.Ленина Устройство дл ультразвукового контрол бетонных конструкций

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0155084A1 (en) * 1984-02-16 1985-09-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Device for measuring the shape of a three-dimensional object
US4703443A (en) * 1984-02-16 1987-10-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Device for measuring the shape of a three-dimensional object

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56501462A (ru) 1981-10-08
SE425437B (sv) 1982-09-27
US4397188A (en) 1983-08-09
JPH0243121B2 (ru) 1990-09-27
IT8025397A0 (it) 1980-10-16
DE3050013T1 (de) 1982-03-18
SE8103613L (sv) 1981-06-09
FR2468875A1 (fr) 1981-05-08
SU1095065A2 (ru) 1984-05-30
DE3050013C2 (ru) 1992-07-02
IT1133941B (it) 1986-07-24
FR2468875B1 (ru) 1983-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1981001334A1 (en) Piezoelectric resonance contact pick-up
KR100356695B1 (ko) 진동자이로
US3842681A (en) Angular rate sensor
JPH04210786A (ja) 振動子および振動装置
JPH03289375A (ja) 振動型モータ
GB2158579A (en) Angular rate sensor system
US3206986A (en) Apparatus for sensing selected movements of a body
CA1140249A (en) Apparatus for determining and/or controlling a fixed filling level in a container
US4811593A (en) Viscosity detector
EP0084704A2 (en) Angular rate sensor apparatus
US3206985A (en) Apparatus for simultaneously sensing movement of a body around a plurality of mutually perpendicular axes
GB1457530A (en) Torsional transducer signs
GB2111209B (en) Piezoelectric oscillatory gyroscopes
KR970007042B1 (ko) H형상 진동자 보유 진동 자이로
EP0732566B1 (en) Vibrating gyroscope
US3177727A (en) Angular velocity measuring device
US3577101A (en) Electromechanical torsional oscillator
GB1249128A (en) Improvements in or relating to angular rate sensors
JPS60216210A (ja) 角速度センサ−
GB2142431A (en) Improvements relating to electro-mechanical transducers
US3349628A (en) Stable reference apparatus
SU1763944A1 (ru) Крутильный ма тник
EP0298511A2 (en) Vibration gyro
JP2586547B2 (ja) 電位センサ
SU446740A1 (ru) Импульсный преобразователь линейных перемещений

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Designated state(s): DE JP SE US

RET De translation (de og part 6b)

Ref document number: 3050013

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19820318

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 3050013

Country of ref document: DE