TWM643539U - 塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置 - Google Patents

Abstract

本創作揭示一種塗布產線之基板輸送設備，包括一進料輸送裝置、一出料輸送裝置以及一移載裝置。進料輸送裝置將一基板傳送至一塗布作業區。出料輸送裝置將來自塗布作業區的基板移出。移載裝置將來自進料輸送裝置的基板移動通過塗布作業區，並移向出料輸送裝置。移載裝置包括一支撐件和一驅動單元，驅動單元用以帶動該支撐件移行，以移動該基板。當支撐件支撐基板時，支撐件之頂面被基板完全遮蔽。

Description

塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置

本創作是有關於一種基板輸送設備，特別是有關於一種塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置。

噴塗製程是利用壓縮空氣將塗料霧化後塗覆於物體表面的一種技術。由於操作簡便、製程效率高、作業成本相對低廉等優勢，噴塗製程已廣泛應用於各個技術領域中。

當一基板欲進行噴塗作業時，係將該基板輸送進入一噴室中，經由通過塗料噴頭下方來完成噴塗作業。長度較長的基板，例如長度大於噴室跨距的兩倍，可直接由進料輸送機送入噴室而完成噴塗作業。長度較短的基板，例如長度小於噴室跨距的兩倍，則需要一移載裝置移動該基板通過噴室。常見的移載裝置有滾輪式輸送機和皮帶式輸送機。

進行噴塗作業時，塗料經過塗料噴頭霧化後塗覆於基板表面，然而，霧化的塗料除了附著於基板，亦會因飛濺逸散而附著於噴室內的其他裝置上，包括了移動該基板通過噴室的滾輪式輸送機或皮帶式輸送機，噴濺逸散的塗料便有機會沾附於滾輪上或皮帶上。當下一個或下一批次的基板由前述輸送機承載移動時，基板與滾輪或皮帶接觸的表面便有機會被沾附於滾輪上或皮帶上的塗料污染。

綜上所述，現有技術導致基板受到塗料污染將難以應用於對基板潔淨度有要求的領域，如何避免因塗料噴濺逸散而間接污染基板，已為本技術領域人士極待解決的課題之一。

本創作的目的是提供一種塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置，可避免塗布作業所使用的塗料附著於移載裝置而污染其所輸送的基板。

本創作的另一目的是提供一種塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置，適合移動長度較短的基板，使不同尺寸的基板能在同一塗布設備完成塗布作業。

依據上述之目的，本創作提供一種移載裝置，用以移動一基板通過一塗布作業區，其包括：一支撐件，用以支撐該基板；以及一驅動單元，用以帶動該支撐件移行，以移動該基板，該驅動單元包括一皮帶輪組，該皮帶輪組包括二間隔設置的皮帶輪和一跨設於該二皮帶輪的皮帶，該支撐件係固接於該皮帶輪組；當該支撐件支撐該基板時，該支撐件之頂面被該基板完全遮蔽。

依據上述之目的，本創作提供一種塗布產線之基板輸送設備，包括：一進料輸送裝置，用以將一基板傳送至一塗布作業區；一出料輸送裝置，用以將來自該塗布作業區的該基板移出；以及一如前述之移載裝置，用以將來自該進料輸送裝置的該基板移動通過該塗布作業區，並移向該出料輸送裝置。

本創作之塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置藉由一支撐件支撐基板，於移載基板的過程中，基板完全遮蔽支撐件的頂面；於不移載基板的過程中，支撐件的頂面朝向塗布設備的底部、由基板完全遮蔽，或者位於塗布設備外側。因此，塗布作業飛散或滴落的塗料並不會附著於支撐件的頂面，確實能避免基板下表面受到塗料的污染，大幅節省了後處理時間與成本。本創作之塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置可移載長度較短的基板通過塗布作業區，便於一塗布設備能對不同長度的基板進行塗布作業，有助於降低塗布產線的建造成本，提升產線的稼動率。

為讓本創作之上述或其他目的、特徵以及特點能更明顯易懂，茲配合圖式將本創作相關實施例詳細說明如下，圖式主要為簡化之示意圖，僅以示意方式說明本創作之基本結構，因此在圖式中僅標示與本創作有關之元件，且所繪示之元件並非以實施時之數目、尺寸比例等加以繪製，且其元件佈局形態有可能更為複雜。

本說明書所提及的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「內」、「外」、「側面」等，僅是參考圖式的方向。使用的方向用語僅是用以說明及理解本創作，而非用以限制本創作。

圖1為塗布產線之基板輸送設備第一實施例之上視圖，圖2為第一實施例之移載裝置的正面視圖，請一併參閱圖1和圖2，本實施例所揭示之塗布產線之基板輸送設備包括一進料輸送裝置10、一出料輸送裝置20以及一移載裝置30。

進料輸送裝置10用以將一基板40傳送至一塗布設備50的塗布作業區51。出料輸送裝置20用以將來自塗布作業區51的基板40移出。於一種實施方式中，塗布設備50包含一噴室，塗布作業區51為噴室內部進行噴塗作業的空間區域。塗布設備50的一側具有一進料口52，相對進料口52的對側具有一出料口53。進料輸送裝置10係設置於鄰近進料口52這一側，出料輸送裝置20係設置於鄰近出料口53這一側。圖1所示的進料輸送裝置10和出料輸送裝置20為皮帶式輸送裝置，其透過動力源（如馬達）與傳動元件驅動皮帶移動，而帶動置放於皮帶上的基板40移動。惟本創作的實施並不以皮帶式輸送裝置為限。

請一併參閱圖1和圖2，移載裝置30是設置於塗布設備50的塗布作業區51下方，用以支撐和移動來自進料輸送裝置10的基板40通過塗布作業區51進行塗布作業，並移向出料輸送裝置20。移載裝置30包括一支撐件31和一驅動單元32。驅動單元32包括一皮帶輪組和一驅動皮帶輪組運轉的旋轉動力源，請參閱圖2，皮帶輪組具有兩個間隔設置的皮帶輪321和一掛設於兩皮帶輪321上的皮帶322。於本實施例中，皮帶322為一環形皮帶。二皮帶輪321係分別鄰近於進料口52和出料口53設置。旋轉動力源為一馬達323，馬達323用以驅動其中一皮帶輪321的輪軸轉動。旋轉動力源可直接驅動皮帶輪組，或再經由傳動元件（如齒輪）之組合來驅動皮帶輪組。於本實施例中，支撐件31係固接於皮帶322上，當馬達323驅動皮帶輪組運轉時，支撐件31會受皮帶322牽動而隨其移動。支撐件31的寬度（指圖1中Y方向的長度）小於基板40的寬度。支撐件31具有一厚度，故其頂面與皮帶322不在同一平面。

圖1所繪示的移載裝置30的數量為二，惟移載裝置30的數量可視基板40的寬度、重量加以調整，不以兩組為限。於本創作的應用上，鏈條鏈輪組同樣能提供如皮帶輪組所提供的技術功效，因此，本實施例的驅動單元32的皮帶輪組亦能以鏈條鏈輪組置換。

於一實施方式中，移載裝置30的支撐件31數量為二，二個支撐件31係沿其移行方向間隔地設置於皮帶322上，分別用於支撐基板40的不同位置，使基板40能夠獲得足夠的支撐，不致發生掉落的意外。較佳地，此二支撐件31的間隔距離大於等於塗布作業區51跨距的二分之一，且小於塗布作業區51的跨距。

於一實施方式中，驅動單元32更包括一撐托單元324，撐托單元324設於二皮帶輪321之間並位於皮帶322內側，用以撐托皮帶322，如此便能克服因基板40重量導致皮帶322下垂而影響塗布品質的問題。於圖2所示的實施方式中，撐托單元324為一板體，惟其實施不以板體為限，亦可為一滾輪，抑或為一滾輪組。

圖1和圖2所示的移載裝置30是穿伸過塗布設備50（噴室）而設置，其二皮帶輪321和馬達323皆位於塗布設備50的外部。惟移載裝置30的實施不以此為限，在其他的應用情境中，移載裝置30可以設置於塗布設備50的內部。

移載裝置30適合移動長度較短的基板通過塗布作業區51，例如長度大於塗布作業區51跨距，且小於等於塗布作業區51跨距的兩倍的基板。

以下將以進行噴塗作業為例，說明本創作塗布產線之基板輸送設備第一實施例的使用方式。

第一實例

於第一實例中，塗布作業區51的跨距為600 mm，基板41的長度為800 mm。本實例的基板41的長度不及塗布作業區51跨距的兩倍，是屬於本創作所定義的長度較短的基板。圖3A～圖3C為第一實施例之移載裝置移動基板之示意圖。首先，請參閱圖3A，基板41被放置於進料輸送裝置10上，在進料輸送裝置10驅動下，基板41朝向塗布設備50（噴室）移動，並準備由進料口52進入塗布作業區51。本實例的移載裝置30的支撐件31有兩個，此時，二支撐件31皆位於皮帶輪321轉軸的下方。

請參閱圖3B，基板41持續被進料輸送裝置10移動而進入塗布作業區51。當基板41進入一特定長度後，驅動單元32作動而將位於前側的支撐件31（即會先接觸基板41的支撐件31）由左側皮帶輪321轉軸的下方帶到左側皮帶輪321轉軸的上方，到達一起始位置和一工作高度。此時，位於前側的支撐件31的頂面與基板41下表面接觸，並對基板41產生支撐作用，亦使基板41的下表面不會與皮帶322接觸。基板41仍被進料輸送裝置10移動而繼續前進，驅動單元32亦作動而使位於前側的支撐件31在支撐基板41的情況下與基板41同步前進。隨著驅動單元32的作動，位於後側的支撐件31隨後亦被帶到左側皮帶輪321轉軸的上方，到達該起始位置和該工作高度。此時，位於後側的支撐件31的頂面與基板41下表面接觸，對基板41產生支撐作用並與基板41同步前進。當基板41通過塗料噴頭（未繪示）下方時，塗料便能噴塗於基板41的上表面。由於支撐件31的頂面與基板41下表面接觸，換言之，支撐件31的頂面是被基板41所完全遮蔽，因此於噴塗作業中，飛散的塗料並不會附著於支撐件31的頂面。

請參閱圖3C，接著基板41末尾的部分離開進料輸送裝置10，由移載裝置30接手將基板41移向出料口53，當位於前側的支撐件31抵達右側皮帶輪321轉軸的上方（即終止位置）時，基板41的前緣已跨上出料輸送裝置20，而位於後側的支撐件31支撐著基板41的後段，在此之後基板41係由移載裝置30和出料輸送裝置20共同移動。隨著驅動單元32的作動，位於前側的支撐件31會移行到右側皮帶輪321轉軸的右側，而與基板41分開，進而會往右側皮帶輪321轉軸的下側移行而下降至一回程高度。位於後側的支撐件31仍支撐著基板41，協同出料輸送裝置20使基板41的後段往出料口53移動。相同地，當位於後側的支撐件31抵達右側皮帶輪321轉軸的上方（即終止位置）後，位於後側的支撐件31會移行到右側皮帶輪321轉軸的右側，而與基板41分開，進而會往右側皮帶輪321轉軸的下側移行而下降至該回程高度。此後基板41係由出料輸送裝置20移動，完成噴塗作業而離開噴室，而二支撐件31受驅動單元32移動再回到圖3A所示的位置。在回程中，二支撐件31已經與基板41分開而未受到基板41遮蔽，惟二支撐件31頂面正好朝向噴室的底部，往下沉降的塗料無法沾附於其上。

由以上噴塗作業程序的說明可知：基板41進入塗布設備50（噴室）後，僅與支撐件31的頂面接觸；於移載基板41的過程中，基板41完全遮蔽支撐件31的頂面；於不移載基板41時（即與基板41分開時），支撐件31的頂面是朝向噴室底部。因此，噴塗作業飛散的塗料並不會附著於支撐件31的頂面，確實能避免後續進行塗布作業的基板41的下表面受到塗料的污染。

第二實例

於第二實例中，同樣地，塗布作業區51的跨距為600 mm，基板42的長度為5000 mm。本實例的基板42的長度大於塗布作業區51跨距的兩倍，是屬於本創作所定義的長度較長的基板。圖4A～圖4B為第一實施例對較長基板之輸送示意圖。首先，請參閱圖4A，基板42被放置於進料輸送裝置10上，在進料輸送裝置10驅動下，基板42朝向塗布設備50移動，並準備由進料口52進入塗布作業區51。本實例的移載裝置30的支撐件31有兩個，此時，兩支撐件31皆位於皮帶輪321轉軸的下方。

在進料輸送裝置10持續驅動下，基板42經由進料口52進入塗布作業區51並逐漸深入，當基板42通過塗料噴頭（未繪示）下方時，塗料便能塗布於基板42的上表面。由於基板42的長度遠大於塗布作業區51跨距的兩倍，此時基板42的大部分仍置放於進料輸送裝置10上，基板42的前緣在沒有支撐的情況下仍能平穩地朝出料口53移動，因此，基板42並不需要移載裝置30支撐與移動。移載裝置30便可維持於如圖4A所示的狀態，支撐件31的頂面是朝向噴室底部，噴塗作業飛散的塗料並不會附著於支撐件31的頂面，確實能避免之後使用移載裝置30時污染基板的下表面。惟本創作的應用並不以此為限，即使為長度較長的基板仍可由移載裝置30支撐與移動通過塗布作業區51。

請參閱圖4B，當基板42的前緣跨上出料輸送裝置20後，基板42便由進料輸送裝置10和出料輸送裝置20共同移動，以持續噴塗作業。當基板42末尾的部分離開進料輸送裝置10後，基板42則由出料輸送裝置20輸送。

由以上噴塗作業程序的說明可知：基板42進入塗布設備50（噴室）後，並未與支撐件31或皮帶322接觸；在噴塗作業過程中，支撐件31的頂面是朝向噴室底部，噴塗作業飛散的塗料並不會附著於支撐件31的頂面。如此確實能避免基板42下表面受到塗料的污染，也能避免污染之後需要使用移載裝置30的基板。

圖5為塗布產線之基板輸送設備第二實施例之上視圖，圖6為第二實施例之移載裝置的正面視圖，請一併參閱圖5和圖6，本實施例所揭示之塗布產線之基板輸送設備，同樣地，包括一進料輸送裝置10、一出料輸送裝置20以及一移載裝置30’。進料輸送裝置10和出料輸送裝置20與第一實施例相同，於此不再重複敘述。

請參閱圖6，移載裝置30’同樣是設置於塗布設備50的塗布作業區51下方，其構造與第一實施例的移載裝置30近似，包括一支撐件31’和一驅動單元32’。與第一實施例驅動單元32的不同之處在於驅動單元32’更包括一滑軌325’和一滑塊326’，滑軌325’設置的方向與皮帶322’平行，滑塊326’與滑軌325’結合，受其拘束而可於其上線性往復移行。支撐件31’則固設於滑塊326’上，可隨滑塊326’移動。掛設於二皮帶輪321’上的皮帶322’具有兩端，分別連接於滑塊326’左、右端。當馬達323’驅動皮帶輪321’轉動而牽動皮帶322’移動時，皮帶322’便能拉動滑塊326’沿著滑軌325’滑動，並帶動支撐件31’移動。當支撐件31’支撐和移動基板40時，基板40的重量是由滑軌325’所支撐，因而解決了皮帶322’承受基板40重量所導致的下垂問題。相同地，支撐件31’的寬度（指圖5中Y方向的長度）小於基板40的寬度，支撐件31’的頂面與皮帶322’不在同一平面。

圖6所繪示的移載裝置30’的數量為一，惟移載裝置30’的數量可視基板40的寬度、重量加以調整，不以一組為限。圖5和圖6所示的移載裝置30’是穿伸過塗布設備50（噴室）而設置，其二皮帶輪321’和馬達323’皆位於塗布設備50的外部。於本創作的應用上，鏈條鏈輪組同樣能提供如皮帶輪組所提供的技術功效，因此，本實施例的驅動單元32’的皮帶輪組亦能以鏈條鏈輪組置換。

於一種實施方式中，支撐件31’具有一吸附單元311’（例如吸盤），藉由吸附力使基板40暫時地固著於支撐件31’，避免基板40在移動過程中發生掉落的意外。

以下將以進行噴塗作業為例，說明本創作塗布產線之基板輸送設備第二實施例的使用方式。

第三實例

第三實例之塗布作業區51跨距為600 mm，基板41的長度為800 mm。圖7A～圖7C為第二實施例之移載裝置移動基板之示意圖。首先，請參閱圖7A，基板41被放置於進料輸送裝置10上，在進料輸送裝置10驅動下，基板41朝向塗布設備50（噴室）移動，並準備由進料口52進入塗布作業區51。此時，支撐件31’是位於鄰近進料口52的一起始位置，較佳地，該起始位置是位於塗布設備50的外側（如圖7A所示）。

請參閱圖7B，基板41持續被進料輸送裝置10移動，其前緣先跨上支撐件31’並進入噴室的塗布作業區51，此時支撐件31’保持不動，基板41前緣不會與皮帶322’或滑塊326’接觸。當基板41被推進一特定長度後，驅動單元32’作動使皮帶322’拉動滑塊326’沿著滑軌325’朝向出料口53的方向滑動，並帶動支撐件31’移動，使基板41通過塗布作業區51。較佳地，基板41被推進該特定長度後，支撐件31’係位於接近基板41長度的二分之一處。當基板41通過塗料噴頭（未繪示）下方時，塗料便能塗布於基板41的上表面。支撐件31’的寬度（指圖5中Y方向的長度）小於基板41的寬度，在移載裝置30’移動基板41的過程中，支撐件31’的頂面由基板41完全遮蔽，因而噴塗作業中飛散的塗料並不會附著於支撐件31’的頂面。

請參閱圖7C，基板41持續被支撐件31’和驅動單元32’移動而移向出料口53，當支撐件31’抵達鄰近出料口53的一終止位置，基板41的前緣已跨上出料輸送裝置20，接下來，支撐件31’保持不動以支撐基板41，基板41由出料輸送裝置20移動。當基板41與支撐件31’分離後，驅動單元32’反向作動，使皮帶322’拉動滑塊326’沿著滑軌325’朝向進料口52的方向滑動，支撐件31’再度返回到該起始位置，接續進行下一片基板的支撐與移動。在支撐件31’返回該起始位置的過程中，基板41的噴塗作業已經完畢，塗料噴頭不再噴出塗料，因而不會有飛散的塗料附著於支撐件31’的頂面。

由以上噴塗作業程序的說明可知：基板41進入塗布設備50（噴室）後，僅與支撐件31’的頂面接觸；於移載基板41的過程中，支撐件31’的頂面受到基板41的完全遮蔽；於不移載基板41時，塗料噴頭不再噴出塗料。因此，噴塗作業中飛散的塗料並不會附著於支撐件31’的頂面，確實能避免後續進行塗布作業的基板41的下表面受到塗料的污染。

第四實例

第四實例的塗布作業區51的跨距為600 mm，基板42的長度為5000 mm。圖8A～圖8B為第二實施例對較長基板之輸送示意圖。首先，請參閱圖8A，基板42被放置於進料輸送裝置10上，在進料輸送裝置10驅動下，基板42朝向塗布設備50移動，並準備由進料口52進入塗布作業區51。此時，支撐件31’是位於鄰近進料口52的一起始位置，較佳地，該起始位置是位於塗布設備50的外側。

基板42持續被進料輸送裝置10移動，其前緣先跨上支撐件31’，此時支撐件31’保持不動。基板42持續前進，經過進料口52進入塗布作業區51並逐漸深入，當基板42通過塗料噴頭（未繪示）下方時，塗料便能噴塗於基板42的上表面。由於基板42的長度遠大於塗布作業區51跨距的兩倍，此時基板42的大部分仍置放於進料輸送裝置10上，基板42的前緣在沒有移載裝置30’支撐和移動的情況下仍能平穩地朝出料口53移動。於本實例，支撐件31’一直處於該起始位置，基板42在前進的過程中持續地滑過支撐件31’的頂面，也就是說，於噴塗作業的過程中基板42完全遮蔽支撐件31’的頂面。因此，支撐件31’的頂面並不會受到塗料的污染。

請參閱圖8B，當基板42的前緣通過出料口53跨上出料輸送裝置20後，基板42便由進料輸送裝置10和出料輸送裝置20共同移動，以持續噴塗作業。當基板42末尾的部分離開進料輸送裝置10後，基板42則由出料輸送裝置20輸送。當基板42末尾的部分離開支撐件31’後，支撐件31’的頂面不再有遮蔽，而噴塗作業仍持續進行。由於支撐件31’所處的該起始位置是位於塗布設備50的外側，噴塗作業飛散的塗料並不會附著於支撐件31’的頂面。

由以上噴塗作業程序的說明可知：噴塗過程中，支撐件31’在該起始位置保持不動；基板42滑過支撐件31’並遮蔽其頂面；該起始位置位於塗布設備50的外側，因此，噴塗作業飛散的塗料並不會附著於支撐件31’的頂面。如此確實能避免基板42下表面受到塗料的污染，也能避免污染之後需要使用移載裝置30’的基板。

圖9為塗布產線之基板輸送設備第三實施例之上視圖，圖10為第三實施例之移載裝置的正面視圖，請一併參閱圖9和圖10，本實施例所揭示之塗布產線之基板輸送設備與第二實施例相近似，不同之處在於本實施例的移載裝置30’更包括一一維線性移行模組33’。一維線性移行模組33’係固設於滑塊326’的上表面，支撐件31’再固接於一維線性移行模組33’，藉此使支撐件31’能在X方向往復移動，且能相對滑塊326’沿Z方向上下移行。一維線性移行模組具有多種實施方式可供選擇，應為本領域之技藝人士所熟知，於此不在贅述。

於本實施例的一種實施方式中，支撐件31’更具有一止滑單元312’（例如橡膠墊塊），其係連接於支撐件31’的頂面，用以在支撐和移動基板40的過程中對基板40提供一摩擦力，避免基板40滑落。

本創作塗布產線之基板輸送設備第三實施例的使用方式與第二實施例相似，以下僅對不同之處進行說明。

第五實例

相同地，第五實例之塗布作業區51跨距為600 mm，基板41的長度為800 mm。圖11A～圖11C為第三實施例之移載裝置移動基板之示意圖。在對較短基板的輸送上，第五實例與第三實例的作動方式大致相同，不同之處在於：首先，請參閱圖11A，基板41朝向塗布設備50（噴室）移動，並準備進入塗布作業區51時，支撐件31’在X方向是位於鄰近進料口52的一起始位置，在Z方向是位於一回程高度。基板41持續前進，其前緣由支撐件31’上方通過但未與支撐件31’接觸。此時支撐件31’保持不動，基板41前緣亦不會與皮帶322’或滑塊326’接觸。

請參閱圖11B，當基板41被推進一特定長度後，一維線性移行模組33’驅動支撐件31’向上（Z方向）移動至一工作高度並保持在該高度，使支撐件31’頂面與基板41下表面接觸，而撐起基板41離開進料輸送裝置10。而當支撐件31’設置有止滑單元312’時，是由止滑單元312’與基板41下表面接觸，藉此在止滑單元312’與基板41間形成一抓附力，避免基板40在移動過程中滑落。接著，皮帶322’拉動滑塊326’沿著滑軌325’朝向出料口53的方向滑動，並帶動支撐件31’移動，使基板41通過塗布作業區51。

請參閱圖11C，當支撐件31’抵達鄰近出料口53的一終止位置時，基板41的前緣已跨上出料輸送裝置20。接下來，滑塊326’（支撐件31’）在X方向上保持不動，隨著基板41大部分的長度已在出料輸送裝置20上，而出料輸送裝置20已能提供基板41足夠的支撐時，一維線性移行模組33’作動驅使支撐件31’下降至回程高度而與基板41分開。接著再回到圖11A所示的起始位置，為支撐和移動下一片基板進行準備。

相同地，在移載裝置30’移動基板41的過程中，支撐件31’的頂面由基板41完全遮蔽，因而噴塗作業中飛散的塗料並不會附著於支撐件31’的頂面。支撐件31’於返回行程中，由於基板41的塗布作業已經完畢，塗料噴頭不再噴出塗料，因此支撐件31’的頂面並不會受到塗料的污染。

第六實例

第六實例的塗布作業區51的跨距為600 mm，基板42的長度為5000 mm。圖12為第三實施例對較長基板之輸送示意圖。請參閱圖12，在對較長基板之輸送上，第六實例與第四實例的作動方式大致相同，不同之處在於，在基板42通過塗布設備50的過程中，支撐件31’是一直保持於鄰近進料口52的一起始位置（X方向）和一回程高度（Z方向），較佳地，該起始位置是位於塗布設備50的外側。因此，基板42前進的過程中，其由支撐件31’上方通過但未與支撐件31’接觸。由於支撐件31’的起始位置是位於塗布設備50的外側，並為在基板42下方，能使得支撐件31’的頂面避免受到塗料的污染。

圖13為進料輸送裝置設置基板長度感測模組之示意圖。請參閱圖13，於一實施方式中，進料輸送裝置10具有一感測模組11，用以線上感測基板43的長度，當基板長度小於塗布作業區跨距的兩倍時，啟用移載裝置以移動基板43通過塗布作業區；當基板長度大於塗布作業區跨距的兩倍時，不啟用移載裝置。

本創作之塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置藉由一支撐件支撐基板，於移載基板的過程中，基板完全遮蔽支撐件的頂面；於不移載基板的過程中，支撐件的頂面朝向塗布設備的底部、仍由基板完全遮蔽，或者位於塗布設備外側。因此，塗布作業飛散或滴落的塗料並不會附著於支撐件的頂面，確實能避免基板下表面受到塗料的污染，大幅節省了後處理時間與成本。本創作之塗布產線之基板輸送設備及其移載裝置可移載長度較短的基板通過塗布作業區，便於一塗布設備能對不同長度的基板進行塗布作業，有助於降低塗布產線的建造成本，提升產線的稼動率。

以上僅記載本創作為呈現解決問題所採用的技術手段之較佳實施方式或實施例而已，並非用以限定本創作專利實施之範圍。即凡與本創作專利申請範圍文義相符，或依本創作專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本創作專利範圍所涵蓋。

10:進料輸送裝置 11:感測模組 20:出料輸送裝置 30, 30’:移載裝置 31, 31’:支撐件 311’:吸附單元 312’:止滑單元 32, 32’:驅動單元 321, 321’:皮帶輪 322, 322’:皮帶 323, 323’:馬達 324:撐托單元 325’:滑軌 326’:滑塊 33’:一維線性移行模組 40, 41, 42, 43:基板 50:塗布設備 51:塗布作業區 52:進料口 53:出料口 X, Y, Z:座標方向

圖1 為塗布產線之基板輸送設備第一實施例之上視圖。 圖2 為第一實施例之移載裝置的正面視圖。 圖3A～圖3C 為第一實施例之移載裝置移動基板之示意圖。 圖4A～圖4B 為第一實施例對較長基板之輸送示意圖。 圖5 為塗布產線之基板輸送設備第二實施例之上視圖。 圖6 為第二實施例之移載裝置的正面視圖。 圖7A～圖7C 為第二實施例之移載裝置移動基板之示意圖。 圖8A～圖8B 為第二實施例對較長基板之輸送示意圖。 圖9 為塗布產線之基板輸送設備第三實施例之上視圖。 圖10 為第三實施例之移載裝置的正面視圖。 圖11A～圖11C 為第三實施例之移載裝置移動基板之示意圖。 圖12 為第三實施例對較長基板之輸送示意圖。 圖13 為進料輸送裝置設置基板長度感測模組之示意圖。

10:進料輸送裝置

20:出料輸送裝置

30:移載裝置

31:支撐件

32:驅動單元

322:皮帶

324:撐托單元

40:基板

50:塗布設備

51:塗布作業區

52:進料口

53:出料口

Claims (10)

1. 一種移載裝置，用以移動一基板通過一塗布作業區，其包括：一支撐件，用以支撐該基板；以及一驅動單元，用以帶動該支撐件移行，以移動該基板，該驅動單元包括一皮帶輪組，該皮帶輪組包括二間隔設置的皮帶輪和一跨設於該二皮帶輪的皮帶，該支撐件係固接於該皮帶輪組；當該支撐件支撐該基板時，該支撐件之頂面被該基板完全遮蔽。
2. 如請求項1所述之移載裝置，其中該皮帶呈環形，該支撐件係固接於該皮帶，該支撐件的數量為二，該二支撐件係沿其移行方向間隔排列。
3. 如請求項2所述之移載裝置，其中該塗布作業區具有一跨距，該二支撐件之間的間隔距離大於等於該跨距的二分之一，且小於該跨距。
4. 如請求項2所述之移載裝置，其中該移載裝置更包括一撐托單元，該撐托單元設於該二皮帶輪之間並位於該皮帶的內側，用以撐托該皮帶。
5. 如請求項1所述之移載裝置，其中該皮帶輪組更包括一滑軌和一可於該滑軌上移行的滑塊，該皮帶的兩端分別連接於該滑塊，該支撐件係固接於該滑塊。
6. 如請求項5所述之移載裝置，其中該皮帶輪組更包括一一維線性移行模組，該一維線性移行模組固設於滑塊，該支撐件再 固接於該一維線性移行模組，使該支撐件能在垂直該滑塊的移行方向上往復移動。
7. 如請求項5所述之移載裝置，其中該支撐件具有一吸附單元或一止滑單元，用以防止該基板掉落。
8. 如請求項1所述之移載裝置，其中該塗布作業區具有一跨距，該基板的長度大於該跨距，且小於等於該跨距的兩倍。
9. 一種塗布產線之基板輸送設備，包括：一進料輸送裝置，用以將一基板傳送至一塗布作業區；一出料輸送裝置，用以將來自該塗布作業區的該基板移出；以及一如請求項1至8之任一項的移載裝置，用以將來自該進料輸送裝置的該基板移動通過該塗布作業區，並移向該出料輸送裝置。
10. 如請求項9所述之塗布產線之基板輸送設備，其中該進料輸送裝置具有一感測模組，用以感測該基板的長度，據此自動判斷是否啟用該移載裝置。

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