TWM625977U - 探針測試針 - Google Patents

Abstract

一種探針測試針，包括一探針，包含相組接的第一針頭及針體，第一針頭具有結合部，針體具有第二結合部，第二結合部靠組該結合部；一第二探針，包含相組接的第二針頭及第二針體，第二針頭具有第三結合部，第二針體具有第四結合部，第四結合部靠組第三結合部；及一彈簧以一端套組針體與第一針頭的結合部並約束第二結合部與結合部為可拆組合，彈簧另一端套組第二針體與第二針頭的第三結合部並約束第四結合部與第三結合部靠組為可拆組合， 透過將具有多凸點結構的第一針頭與具有單凸點結構的第二針頭拆換，提供對應不同測試部位的導電測試使用。

Description

探針測試針

本創作涉及探針設備的技術領域，尤其涉及一種將多凸點針頭與單凸點針頭以可拆式結合於探針，使探針透過可拆式結合的多凸點針頭與單凸點針頭進行拆換，提供靈活對應不同測試部位的接觸導電測試使用的探針測試針。

在製造半導體積體電路的過程中，會使用一種量測器具來針對製造於晶圓上之半導體積體電路的電性特徵進行量測。透過此量測器具來執行電性量測時，會使內部的探針與形成於晶圓上之電極墊或電極端子接觸以在探針與電極墊或電極端子之間建立電連接。

例如，台灣申請第100102083號的「高頻垂直式彈片探針卡結構」發明專利，該專利如其第二圖所示，其連接於針身兩端的第一接觸件、第二接觸件(如圖中所示標號為21、22)的結構不同，主要以其第一接觸件形成多凸點針頭，於測試操作時可提供與測試部位的凸起結構形成穩定接觸；而以其第二接觸件的單凸點針頭，於測試操作時可提供與測試部位的平面結構形成穩定接觸。

然而，由於上揭習知專利中其第一接觸件、第二接觸件分別結合於針身的兩端固定，因此，當遇到所要接觸的測試部位結構型態有變化，而使其第一接觸件的多凸點針頭所面對的測試部位不是凸起結構，而其第二接觸件的單凸點針頭面對的測試部位不是平面結構時，習知專利結合固定的第一接觸件、第二接觸件使用，將無法進行測試操作使用，而造成不便。

本創作之主要目的，將多凸點針頭與單凸點針頭以可拆式結合於探針，使探針於遇到不同結構型態的不同測試部位時，透過可拆式結合的多凸點針頭與單凸點針頭進行拆換，提供靈活對應不同測試部位的接觸導電測試使用。

為了達成上述之目的與功效，本創作一種探針測試針，包括：

一探針，包含相組接的一第一針頭及一針體，該第一針頭具有位於一端的一結合部，該針體具有位於一端的一第二結合部，且該第二結合部靠組該結合部；

一第二探針，包含相組接的一第二針頭及一第二針體，該第二針頭具有位於一端的一第三結合部，該第二針體具有位於一端的一第四結合部，且該第四結合部靠組該第三結合部。

以及一彈簧以一端套組該針體與該第一針頭的該結合部並約束該第二結合部與該結合部靠組為可拆組合，該彈簧以另一端套組該第二針體與該第二針頭的該第三結合部並約束該第四結合部與該第三結合部靠組為可拆組合，且該彈簧彈抵頂推該探針、該第二探針相對靠近、遠離移動時持續保持接觸，用以提供電流導通。

請參閱第一～十二圖所示，本創作一種探針測試針包含三種實施例，其第一實施例如第一至六圖所示，包括：

一探針10，包含相組接的一第一針頭11及一針體12，該第一針頭11如圖所示為具有多凸點的結構且具有位於一端的一結合部111，該針體12具有位於一端的一第二結合部121，且該第二結合部121靠組該結合部111並配合以焊錫固定。

一第二探針20，包含相組接的一第二針頭21及一第二針體22，該第二針頭21如圖所示為具有單凸點的結構且具有位於一端的一第三結合部211，該第二針體22具有位於一端的一第四結合部221，且該第四結合部221靠組該第三結合部211並配合以焊錫固定。

以及一彈簧30以一端套組該針體12與該第一針頭11的該結合部111並約束該第二結合部121與該結合部111靠組為可拆組合，該彈簧30以另一端套組該第二針體22與該第二針頭21的該第三結合部211並約束該第四結合部221與該第三結合部211靠組為可拆組合，且該彈簧30彈抵頂推該探針10、該第二探針20相對靠近、遠離移動時持續保持接觸，用以提供電流導通。

前述為本創作主實施例之主要技術特徵，其對應本案申請專利範圍第一項的內容，得以詳知本創作之目的與實施型態，而其餘附屬申請專利範圍所述的技術特徵是為對申請專利範圍第一項內容的詳述或附加技術特徵，而非用以限制申請專利範圍第一項的界定範圍，應知本案申請專利範圍第一項不必要一定包含其餘附屬申請專利範圍所述的技術特徵。

以下，進一步詳述本創作之實施方式，係進一步將本創作該探針10、第二探針20、彈簧30組合結構裝入於一安裝孔40內，安裝孔40具有位於兩端的針孔41，藉彈簧30頂推使該探針10的該第一針頭11、第二探針20的該第二針頭21分別凸伸於針孔41外；而使其第一針頭11朝向待測物50的凸起測試部51以進行測試接觸，並使其第二針頭21朝向待測物50的平面測試部52以進行測試接觸。

因此，本創作透過將具有多凸點結構的第一針頭11與具有單凸點結構的第二針頭21以可拆式結合於探針10、第二探針20，遇到待測物50提供接觸的表面結構(凸起測試部51、或平面測試部52)有變化時，即可，透過可拆式結合第一針頭11與第二針頭21進行拆換。

所以，相較於前述習知專利結構其第一接觸件、第二接觸件分別結合於針身的兩端的固定結構，本創作該探針10、第二探針20可經由拆換第一針頭11與第二針頭21，即可對應待測物50表面因為凸起測試部51、平面測試部52的改變而靈活提供測試操作使用，確實具有使用上進步性達成。

於下進一步細述本創作的各元件之特徵，在上述第一至六圖中，該針體12具有遠離該第二結合部121一端的一限位部122，該第二針體22具有遠離第四結合部221一端的一第二限位部222，且彈簧30彈抵頂推該探針10、該第二探針20相對遠離移動時以該限位部122扣組該第二限位部222。因此，透過限位部122與該第二限位部222扣組限位以防止該探針10、該第二探針20脫離。

再者，如第五圖、第六圖所示，本創作第一實施例衍生之另一組合結構，係於該結合部111設有開口朝向該第二結合部121的一套槽1111，而該套槽1111套組該第二結合部121並配合以焊錫固定；且，該第三結合部211設有開口朝向該第二結合部121的一第二套槽2111，而該第二套槽2111套組該第四結合部221並配合以焊錫固定。因此，藉該套槽1111套組該第二結合部121及該第二套槽2111套組該第四結合部221的組合，使得該第一針頭11得以牢固支撐該針體12，且該第二針頭21得以牢固支撐該第二針體22，令探針組合的穩定度與操作順暢性進一步提昇。

另外，如第七至九圖所示，本創作第二實施例包括：

一探針10，包含相組接的一第一針頭11及一針體12，該第一針頭11具有位於一端的一結合柱112，該針體12具有位於一端的一C型結合部123，且該針體12的該C型結合部123套組該第一針頭11的該結合柱112；

一第二探針20，包含相組接的一第二針頭21及一第二針體22，該第二針頭21具有位於一端的一第二結合柱212，該第二針體22具有位於一端的一第二C型結合部223，且該第二針體22的該第二C型結合部223套組該第二針頭21的該第二結合柱212。

一彈簧30以一端套組該針體12且頂抵該第一針頭11，該彈簧30以另一端套組該第二針體22且頂抵該第二針頭21，且該彈簧30彈抵頂推該探針10、該第二探針20相對靠近、遠離移動時持續保持接觸，用以提供電流導通。

上述本創作第二實施例，該探針10藉由C型結合部123套組該第一針頭11，透過可彈性迫張的一變形缺口123A而達到可彈性拆裝的組合，及該第二探針20藉由第二C型結合部223套組該第二針頭21，透過可彈性迫張的一第二變形缺口223A而達到可彈性拆裝的組合，能藉由拆換第一針頭11與第二針頭21，以對應待測物50的表面結構的改變而靈活提供測試操作使用，確實具有使用上進步性達成。

其次，該結合柱112、該第二結合柱212分別具有一小徑頸部1122、一第二小徑頸部2122，該C型結合部123以內套孔套組於該小徑頸部1122，該第二C型結合部223以內套孔套組於該第二小徑頸部2122；所以，藉此結構使該第一針頭11、該第二針頭21得以可拆的組合於該針體12、該第二針體22，達到方便拆裝的使用效果。

再者，該結合柱112、第二結合柱212分別具有一外端漸縮的一錐導部1121、第二錐導部2121，該錐導部1121引導該C型結合部123易於套入小徑頸部1122，該第二錐導部2121引導該第二C型結合部223易於套入第二小徑頸部2122；所以，藉此結構使第一針頭11與第二針頭21得以更快速完成組合，達到方便的使用效果。

而且，該針體12具有遠離該C型結合部123一端的一限位部122，該第二針體22具有遠離該第二C型結合部223一端的一第二限位部222，且彈簧30彈抵頂推該探針10、該第二探針20相對遠離移動時以該限位部122扣組該第二限位部222；因此，透過限位部122與該第二限位部222扣組限位以防止該探針10、該第二探針20脫離。

最後，如第十至十二圖所示本創作第三實施例結構，其相較前述第二實施例的差異在於：

該結合柱112、該第二結合柱212分別具有以環狀凹設形成的一限位環槽1123、一第二限位環槽2123，該C型結合部123具有環列的複數內凸扣體1231，且該複數內凸扣體1231扣抵於該限位環槽1123，該第二C型結合部223具有環列的複數第二內凸扣體2231，且該複數第二內凸扣體2231扣抵於該第二限位環槽2123；因此，藉此結構使該第一針頭11、該第二針頭21得以可拆的組合於該針體12、該第二針體22，而透過拆換第一針頭11與第二針頭21，以對應待測物50的表面結構的改變而靈活提供測試操作使用，同樣能達到使用上進步性達成。

10:探針

11:第一針頭

111:結合部

1111:套槽

112:結合柱

1121:錐導部

1122:小徑頸部

1123:限位環槽

12:針體

121:第二結合部

122:限位部

123:C型結合部

123A:變形缺口

1231:內凸扣體

20:第二探針

21:第二針頭

211:第三結合部

2111:第二套槽

212:第二結合柱

2121:第二錐導部

2122:第二小徑頸部

2123:第二限位環槽

22:第二針體

221:第四結合部

222:第二限位部

223:第二C型結合部

223A:第二變形缺口

2231:第二內凸扣體

30:彈簧

40:安裝孔

41:針孔

50:待測物

51:凸起測試部

52:平面測試部

第一圖為本創作第一實施例之立體組合示意圖。 第二圖為本創作第一實施例之立體分解示意圖。 第三圖為本創作第一實施例探針、第二探針之立體示意圖。 第四圖為本創作第一實施例於安裝孔內完成安裝並提供待測物可進行檢測之使用狀態示意圖。 第五圖為本創作第一實施例衍生之另一組合結構立體分解示意圖。 第六圖為第一實施例衍生之另一組合結構於安裝孔內完成安裝並提供待測物可進行檢測之使用狀態示意圖。 第七圖為本創作第二實施例之立體分解示意圖。 第八圖為本創作第二實施例探針、第二探針之立體示意圖。 第九圖為本創作第二實施例於安裝孔內完成安裝並提供待測物可進行檢測之使用狀態示意圖。 第十圖為本創作第三實施例之立體分解示意圖。 第十一圖為本創作第三實施例探針、第二探針之立體示意圖。 第十二圖為本創作第三實施例於安裝孔內完成安裝並提供待測物可進行檢測之使用狀態示意圖。

10:探針

20:第二探針

30:彈簧

Claims (8)

1. 一種探針測試針，包括：一探針，包含相組接的一第一針頭及一針體，該第一針頭具有位於一端的一結合部，該針體具有位於一端的一第二結合部，且該第二結合部靠組該結合部；一第二探針，包含相組接的一第二針頭及一第二針體，該第二針頭具有位於一端的一第三結合部，該第二針體具有位於一端的一第四結合部，且該第四結合部靠組該第三結合部；以及一彈簧以一端套組該針體與該第一針頭的該結合部並約束該第二結合部與該結合部靠組為可拆組合，該彈簧以另一端套組該第二針體與該第二針頭的該第三結合部並約束該第四結合部與該第三結合部靠組為可拆組合，且該彈簧彈抵頂推該探針、該第二探針相對靠近、遠離移動時持續保持接觸，用以提供電流導通。
2. 如請求項1所述之探針測試針，其中該針體具有遠離該第二結合部一端的一限位部，該第二針體具有遠離第四結合部一端的一第二限位部，且彈簧彈抵頂推該探針、該第二探針相對遠離移動時以該限位部扣組該第二限位部。
3. 如請求項1所述之探針測試針，其中該該結合部設有開口朝向該第二結合部的一套槽，而該套槽套組該第二結合部並配合以焊錫固定；且，該第三結合部設有開口朝向該第二結合部的一第二套槽，而該第二套槽套組該第四結合部並配合以焊錫固定。
4. 一種探針測試針，包括： 一探針，包含相組接的一第一針頭及一針體，該第一針頭具有位於一端的一結合柱，該針體具有位於一端的一C型結合部，且該針體的該C型結合部套組該第一針頭的該結合柱；一第二探針，包含相組接的一第二針頭及一第二針體，該第二針頭具有位於一端的一第二結合柱，該第二針體具有位於一端的一第二C型結合部，且該第二針體的該第二C型結合部套組該第二針頭的該第二結合柱；一彈簧以一端套組該針體且頂抵該第一針頭，該彈簧以另一端套組該第二針體且頂抵該第二針頭，且該彈簧彈抵頂推該探針、該第二探針相對靠近、遠離移動時持續保持接觸，用以提供電流導通。
5. 如請求項4所述之探針測試針，其中該結合柱、該第二結合柱分別具有一小徑頸部、一第二小徑頸部，該C型結合部以內套孔套組於該小徑頸部，該第二C型結合部以內套孔套組於該第二小徑頸部。
6. 如請求項4所述之探針測試針，其中該結合柱、第二結合柱分別具有一外端漸縮的一錐導部、第二錐導部，該錐導部引導該C型結合部易於套入小徑頸部，該第二錐導部引導該第二C型結合部易於套入第二小徑頸部。
7. 如請求項4所述之探針測試針，其中該針體具有遠離該C型結合部一端的一限位部，該第二針體具有遠離該第二C型結合部一端的一第二限位部，且彈簧彈抵頂推該探針、該第二探針相對遠離移動時以該限位部扣組該第二限位部。
8. 如請求項4所述之探針測試針，其中該結合柱、該第二結合柱分別具有以環狀凹設形成的一限位環槽、一第二限位環槽，該C型結合部具 有環列的複數內凸扣體，且該複數內凸扣體扣抵於該限位環槽，該第二C型結合部具有環列的複數第二內凸扣體，且該複數第二內凸扣體扣抵於該第二限位環槽。

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