TWM591094U - 垂直製程裝置及其轉向機構 - Google Patents

Abstract

一種垂直製程裝置及其轉向機構，該垂直製程裝置包括進料滾筒、出料滾筒、接板台、暫存機構、張力檢測單元及轉向機構等。進料滾筒及出料滾筒之間形成一輸送路徑，可用以輸送軟性基板(例如軟性銅箔基板)。接板台、暫存機構、張力檢測單元及轉向機構設置於輸送路徑上。轉向機構包含導入滾筒、轉向元件及導出滾筒，轉向元件設置於導入滾筒及導出滾筒之間，轉向元件具有多個氣孔，能用以輸出氣體，使軟性基板不與轉向元件接觸。

Description

垂直製程裝置及其轉向機構

本創作涉及一種垂直製程裝置，尤指一種適用於軟性銅箔基板等電鍍裝置的垂直製程裝置及其轉向機構。

在軟性銅箔基板(軟性基板)的製程中，常會有將軟性銅箔基板由水平轉成垂直的需求，然而在現有技術的軟性銅箔基板的電鍍裝置中，將軟性銅箔基板由水平轉成垂直的轉向機構，大多容易造成軟性銅箔基板的刮傷。再者，現有的垂直製程裝置，在軟性銅箔基板的輸送過程中，也容易因為張力等問題，而使得軟性銅箔基板造成皺褶、張力或刮傷，顯然仍具有可改善的空間。

本創作所要解決的技術問題在於，提供一種垂直製程裝置及其轉向機構，可有效的避免造成軟性基板的刮傷。

本創作所要解決的技術問題在於，還提供一種垂直製程裝置及其轉向機構，使軟性基板在輸送過程中具有適當的張力，使軟性基板不會造成皺褶、張力或刮傷的問題。

為了解決上述的技術問題，本創作提供一種垂直製程裝置，包括：一放板機構，該放板機構包含至少一進料滾筒、一接板台、一第一張力檢測單元、一暫存機構及一第一轉向機構，該進料滾筒、該接板台、該第一張力檢測單元、該暫存機構及該第一轉向機構設置於一輸送路徑上，軟性基板能沿著該輸送路徑輸送，該進料滾筒配置於一第一方向上，該第一方向為水平方向，該進料滾筒能用以放置該軟性基板，該接板台設置於該進料滾筒的下游位置，該接板台能用以接合該軟性基板，該第一張力檢測單元設置於該接板台的下游位置，該第一張力檢測單元能用以檢測該軟性基板的張力，該暫存機構設置於該第一張力檢測單元的下游位置，該暫存機構能用以暫存該軟性基板，該第一轉向機構設置於該暫存機構的下游位置，該第一轉向機構能用以將該軟性基板由該第一方向轉向為一第二方向，該第二方向為垂直方向，該第一轉向機構包含一第一轉向元件、一第一導入滾筒及一第一導出滾筒，該第一轉向元件位於該第一導入滾筒及該第一導出滾筒之間，該第一導入滾筒配置於該第一方向上，該第一導出滾筒配置於該第二方向上，該第一轉向元件呈傾斜狀，該第一轉向元件具有一第一中空體，該第一中空體上設置多個第一氣孔，該軟性基板依序通過該第一導入滾筒、該第一轉向元件及該第一導出滾筒，該些第一氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該第一轉向元件直接接觸；以及一收板機構，該收板機構設置於該放板機構的下游位置，該收板機構包含一第二轉向機構、一導正機構、一第二張力檢測單元及至少一出料滾筒，該第二轉向機構、該導正機構、該第二張力檢測單元及該出料滾筒設置於該輸送路徑上，該第二轉向機構能用以將該軟性基板由該第二方向轉向為該第一方向，該第二轉向機構包含一第二轉向元件、一第二導入滾筒及一第二導出滾筒，該第二轉向元件位於該第二導入滾筒及該第二導出滾筒之間，該第二導入滾筒配置於該第二方向上，該第二導出滾筒配置於該第一方向上，該第二轉向元件呈傾斜狀，該第二轉向元件具有一第二中空體，該第二中空體上設置多個第二氣孔，該軟性基板依序通過該第二導入滾筒、該第二轉向元件及該第二導出滾筒，該些第二氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該第二轉向元件直接接觸，該導正機構設置於該第二轉向機構的下游位置，能用以導正該軟性基板，該第二張力檢測單元設置於該導正機構的下游位置，該第二張力檢測單元能用以檢測該軟性基板的張力，該出料滾筒設置於該第二張力檢測單元的下游位置，該出料滾筒配置於該第一方向上，該出料滾筒能用以放置該軟性基板。

為了解決上述的技術問題，本創作另提供一種垂直製程裝置的轉向機構，該轉向機構應用於垂直製程裝置，該轉向機構設置於一輸送路徑上，軟性基板能沿著該輸送路徑輸送，該轉向機構能用以將該軟性基板由一第一方向轉向為一第二方向，該第一方向為水平方向或垂直方向，該第二方向為垂直方向或水平方向，該轉向機構包含一轉向元件、一導入滾筒及一導出滾筒，該轉向元件位於該導入滾筒及該導出滾筒之間，該導入滾筒配置於該第一方向上，該導出滾筒配置於該第二方向上，該轉向元件呈傾斜狀，該轉向元件具有一中空體，該中空體上設置多個氣孔，該軟性基板依序通過該導入滾筒、該轉向元件及該導出滾筒，該些氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該轉向元件直接接觸。

本創作的有益效果在於，本創作的垂直製程裝置包括放板機構及收板機構，放板機構及收板機構分別包含第一轉向機構及第二轉向機構，第一轉向機構包含第一轉向元件、第一導入滾筒及第一導出滾筒，第一轉向元件具有第一中空體，第一中空體上設置多個第一氣孔，軟性基板依序通過第一導入滾筒、第一轉向元件及第一導出滾筒，該些第一氣孔能用以輸出氣體，使軟性基板不與第一轉向元件直接接觸。第二轉向機構包含第二轉向元件、第二導入滾筒及第二導出滾筒，第二轉向元件具有第二中空體，第二中空體上設置多個第二氣孔，軟性基板依序通過第二導入滾筒、第二轉向元件及第二導出滾筒，第一導入滾筒、第一導出滾筒及第二導入滾筒、第二導出滾筒能用以導引軟性基板順利的通過，且該些第二氣孔能用以輸出氣體，使軟性基板不與第二轉向元件直接接觸，因此可有效的避免造成軟性基板的刮傷。

再者，本創作的垂直製程裝置，該放板機構包含有第一張力檢測單元及暫存機構，該收板機構包含有第二張力檢測單元，暫存機構能用以暫存軟性基板，第一張力檢測單元及第二張力檢測單元能用以檢測軟性基板的張力，以便適時的進行軟性基板的張力調整，使軟性基板在輸送過程中具有適當的張力，使軟性基板不會造成皺褶、張力或刮傷的問題。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本創作加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本創作所公開的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本創作的優點與效果。本創作可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本創作的構思下進行各種修改與變更。另外，本創作的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本創作的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本創作的保護範圍。

[實施例]

請參閱圖1至圖4，本創作提供一種垂直製程裝置，適用於軟性銅箔基板等電鍍裝置，包括一放板機構1及一收板機構2，收板機構2設置於放板機構1的下游位置。具體而言，放板機構1及收板機構2之間可設置一電鍍槽3(如圖11所示)，該放板機構1可設置於電鍍槽3的上游位置，該收板機構2可設置於電鍍槽3的下游位置，放板機構1及收板機構2之間形成一輸送路徑A，軟性基板(例如軟性銅箔基板)能沿著輸送路徑A輸送，該放板機構1能將軟性基板沿著輸送路徑A輸送至電鍍槽3，以便進行電鍍的製程，軟性基板在電鍍完成後，再沿著輸送路徑A輸送至收板機構2上存放。

該放板機構1包含至少一進料滾筒11、一接板台12、一第一張力檢測單元13、一暫存機構14及一第一轉向機構15。該進料滾筒11設置於輸送路徑A上，該進料滾筒11可設置有一個或多個，本實施例揭示設置兩進料滾筒11，以便於備用。該進料滾筒11能用以放置軟性基板，進料滾筒11能配置於一第一方向B上，該第一方向B可為水平方向或垂直方向，在本實施例中，該第一方向B為水平方向，使得軟性基板可沿著水平方向輸送。該進料滾筒11的一側(下側)亦可進一步設置一第一膜軸16，以便捲收由軟性基板上撕離的膠膜。

該接板台12設置於進料滾筒11的下游位置，該接板台12設置於輸送路徑A上，該接板台12能用以接合軟性基板，亦即可將新軟性基板的前端接合於舊軟性基板的後端，使軟性基板可連續的供料。

該第一張力檢測單元13設置於接板台12的下游位置，該第一張力檢測單元13設置於輸送路徑A上，該第一張力檢測單元13可為電子式的張力檢測裝置，該第一張力檢測單元13接觸軟性基板，能用以檢測軟性基板的張力，以便適時的進行軟性基板的張力調整。該第一張力檢測單元13的構造並不限制，也可以是其他形式的張力檢測裝置。

該暫存機構14設置於第一張力檢測單元13的下游位置，該暫存機構14設置於輸送路徑A上，當新、舊的軟性基板接合時，可利用該暫存機構14暫存軟性基板，使軟性基板能維持適當的張力。請參閱圖5及圖6，該暫存機構14包含一驅動裝置141及至少一暫存輪142，在本實施例中，設置有兩暫存輪142，該兩暫存輪142呈水平狀且間隔的設置，該兩暫存輪142連接於驅動裝置141，軟性基板能放置於兩暫存輪142上，該驅動裝置141能驅動兩暫存輪142升降，使軟性基板能維持適當的張力。

在本實施例中，驅動裝置141包含一伺服馬達143，該伺服馬達143通過一皮帶輪組144及一升降座145連接於兩暫存輪142，亦即兩暫存輪142樞設於升降座145上，皮帶輪組144連接於伺服馬達143及升降座145之間。當伺服馬達143轉動時，可通過皮帶輪組144帶動升降座145及兩暫存輪142上升、下降，使軟性基板能維持適當的張力。

該第一轉向機構15設置於該暫存機構14的下游位置，該第一轉向機構15設置於輸送路徑A上，能用以將軟性基板由第一方向B轉向為第二方向C，亦即能將水平輸送的軟性基板轉向為垂直輸送，使得軟性基板以垂直狀態輸入電鍍槽3。

如圖7及圖8所示，該第一轉向機構15包含一第一轉向元件(轉向元件)151、一第一導入滾筒(導入滾筒)152及一第一導出滾筒(導出滾筒)153，第一轉向元件151位於第一導入滾筒152及第一導出滾筒153之間。第一導入滾筒152及第一導出滾筒153配置於不同的方向，第一導入滾筒152配置於第一方向B上，第一導出滾筒153配置於第二方向C上，第二方向C垂直於第一方向B，在本實施例中，該第一方向B為水平方向，該第二方向C為垂直方向，該軟性基板依序通過第一導入滾筒152、第一轉向元件151及第一導出滾筒153，軟性基板通過第一導入滾筒152時為水平狀，經過第一轉向元件151轉向輸送至第一導出滾筒153成垂直狀。在另一實施例中，該第一方向B可為垂直方向，該第二方向C可為水平方向。

該第一轉向元件151可為鈑金件，由金屬板體彎折組成。該第一轉向元件151呈傾斜狀，該第一轉向元件151具有一第一中空體(中空體)154，且該第一中空體154上設置多個第一氣孔（氣孔）155，該些第一氣孔155能用以輸出氣體，該第一轉向元件151設置於輸送路徑A上，能用導引軟性基板改變方向，且使得軟性基板不與第一轉向元件151直接接觸，用以避免軟性基板產生刮傷。該些第一氣孔155的形狀並不限制，可以是圓形、方形、多邊形或長條狀等各種形狀。在本實施例中，該第一中空體154具有一第一弧形表面（弧形表面）156，該些第一氣孔155分布於第一弧形表面156上。該第一轉向元件151連接於現有的供氣裝置，可用以輸送氣體至第一轉向元件151內，並由該些第一氣孔155輸出氣體。

該收板機構2包含一第二轉向機構21、一導正機構22、一第二張力檢測單元23及至少一出料滾筒24。該第二轉向機構21設置於電鍍槽3的下游位置，該第二轉向機構21設置於輸送路徑A上，能用以將軟性基板由第二方向C轉向為第一方向B，亦即能將垂直輸送的軟性基板轉向為水平輸送，使得軟性基板轉能以水平狀態依序輸送至導正機構22、第二張力檢測單元23及出料滾筒24。

如圖9及圖10所示，該第二轉向機構21包含一第二轉向元件(轉向元件)211、一第二導入滾筒(導入滾筒)212及一第二導出滾筒(導出滾筒)213，第二轉向元件211位於第二導入滾筒212及第二導出滾筒213之間。第二導入滾筒212及第二導出滾筒213配置於不同的方向，第二導入滾筒212配置於第二方向C上，第二導出滾筒213配置於第一方向B上，在本實施例中，該第一方向B為水平方向，該第二方向C為垂直方向，該軟性基板依序通過第二導入滾筒212、第二轉向元件211及第二導出滾筒213，軟性基板通過第二導入滾筒212時為垂直狀，經過第二轉向元件211轉向輸送至第二導出滾筒213成水平狀。在另一實施例中，該第一方向B可為垂直方向，該第二方向C可為水平方向。

該第二轉向元件211可為鈑金件，由金屬板體彎折組成。該第二轉向元件211呈傾斜狀，該第二轉向元件211具有一第二中空體（中空體）214，且該第二中空體214上設置多個第二氣孔（氣孔）215，該些第二氣孔215能用以輸出氣體，該第二轉向元件211設置於輸送路徑A上，能用導引軟性基板改變方向，且使得軟性基板不與第二轉向元件211直接接觸，用以避免軟性基板產生刮傷。該些第二氣孔215的形狀並不限制，可以是圓形、方形、多邊形或長條狀等各種形狀。在本實施例中，該第二中空體214具有一第二弧形表面（弧形表面）216，該些第二氣孔215分布於第二弧形表面216上。該第二轉向元件211連接於現有的供氣裝置，可用以輸送氣體至第二轉向元件211內，並由該些第二氣孔215輸出氣體。

該導正機構22設置於第二轉向機構21的下游位置，該導正機構22設置於輸送路徑A上，能用導正軟性基板，以避免軟性基板發生偏移，使得輸送程序得以順利進行。該導正機構22的構造並不限制，在本實施例中，該導正機構22具有多個導正輪221，而具有將偏斜的軟性基板件予以導正的功效。

該第二張力檢測單元23設置於導正機構22的下游位置，該第二張力檢測單元23設置於輸送路徑A上，該第二張力檢測單元23可為電子式的張力檢測裝置，該第二張力檢測單元23接觸軟性基板，可用以檢測軟性基板的張力，以便適時的進行軟性基板的張力調整。該第二張力檢測單元23的構造並不限制，也可以是其他形式的張力檢測裝置。

該出料滾筒24設置於第二張力檢測單元23的下游位置，該出料滾筒24設置設置於輸送路徑A上，該輸送路徑A位於進料滾筒11及出料滾筒24之間，該出料滾筒24可設置有一個或多個，本實施例揭示設置兩出料滾筒24，以便於備用。軟性基板能放置於出料滾筒24上，出料滾筒24能配置於第一方向B上，該第一方向B可為水平方向或垂直方向，在本實施例中，該第一方向B為水平方向，使得軟性基板可沿著水平方向輸送至出料滾筒24。該出料滾筒24的一側(下側)亦可進一步設置一第二膜軸25，該第二膜軸25上可放置膠膜，以便將膠膜貼附於軟性基板上，用以保護該軟性基板。

在本創作的另一實施例中，該轉向機構包含一轉向元件(如前述的第一轉向元件151、第二轉向元件211)、一導入滾筒(如前述的第一導入滾筒152、第二導入滾筒212)及一導出滾筒(如前述的第一導出滾筒153、第二導出滾筒213)，轉向元件位於導入滾筒及導出滾筒之間，導入滾筒配置於第一方向上，第一方向可為水平方向或垂直方向，導出滾筒配置於第二方向上，第二方向可為垂直方向或水平方向。轉向元件呈傾斜狀，轉向元件具有中空體(如前述的第一中空體154、第二中空體214)，中空體上設置多個氣孔(如前述的第一氣孔155、第二氣孔215)，軟性基板依序通過導入滾筒、轉向元件及導出滾筒，該些氣孔能用以輸出氣體，使軟性基板不與轉向元件直接接觸。

[實施例的有益效果]

本創作的有益效果在於，本創作的垂直製程裝置包括放板機構及收板機構，放板機構及收板機構分別包含第一轉向機構及第二轉向機構，第一轉向機構包含第一轉向元件、第一導入滾筒及第一導出滾筒，第一轉向元件具有第一中空體，第一中空體上設置多個第一氣孔，軟性基板依序通過第一導入滾筒、第一轉向元件及第一導出滾筒，該些第一氣孔能用以輸出氣體，使軟性基板不與第一轉向元件直接接觸。第二轉向機構包含第二轉向元件、第二導入滾筒及第二導出滾筒，第二轉向元件具有第二中空體，第二中空體上設置多個第二氣孔，軟性基板依序通過第二導入滾筒、第二轉向元件及第二導出滾筒，第一導入滾筒、第一導出滾筒及第二導入滾筒、第二導出滾筒能用以導引軟性基板順利的通過，且該些第二氣孔能用以輸出氣體，使軟性基板不與第二轉向元件直接接觸。是以，本創作可有效的避免造成軟性基板的刮傷。

再者，本創作的垂直製程裝置，該放板機構包含有第一張力檢測單元及暫存機構，該收板機構包含有第二張力檢測單元，暫存機構能用以暫存軟性基板，第一張力檢測單元及第二張力檢測單元能用以檢測軟性基板的張力，以便適時的進行軟性基板的張力調整，使軟性基板在輸送過程中具有適當的張力，使軟性基板不會造成皺褶、張力或刮傷的問題。

以上所公開的內容僅為本創作的優選可行實施例，並非因此侷限本創作的申請專利範圍，所以凡是運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的申請專利範圍內。

1‧‧‧放板機構 11‧‧‧進料滾筒 12‧‧‧接板台 13‧‧‧第一張力檢測單元 14‧‧‧暫存機構 141‧‧‧驅動裝置 142‧‧‧暫存輪 143‧‧‧伺服馬達 144‧‧‧皮帶輪組 145‧‧‧升降座 15‧‧‧第一轉向機構 151‧‧‧第一轉向元件 152‧‧‧第一導入滾筒 153‧‧‧第一導出滾筒 154‧‧‧第一中空體 155‧‧‧第一氣孔 156‧‧‧第一弧形表面 16‧‧‧第一膜軸 2‧‧‧收板機構 21‧‧‧第二轉向機構 211‧‧‧第二轉向元件 212‧‧‧第二導入滾筒 213‧‧‧第二導出滾筒 214‧‧‧第二中空體 215‧‧‧第二氣孔 216‧‧‧第二弧形表面 22‧‧‧導正機構 221‧‧‧導正輪 23‧‧‧第二張力檢測單元 24‧‧‧出料滾筒 25‧‧‧第二膜軸 3‧‧‧電鍍槽 A‧‧‧輸送路徑 B‧‧‧第一方向 C‧‧‧第二方向

圖1為本創作垂直製程裝置之放板機構的立體圖。

圖2為本創作垂直製程裝置之放板機構的平面圖。

圖3為本創作垂直製程裝置之收板機構的立體圖。

圖4為本創作垂直製程裝置之收板機構的平面圖。

圖5為本創作暫存機構的立體圖。

圖6為本創作暫存機構另一角度的立體圖。

圖7為本創作第一轉向機構的立體圖。

圖8為本創作第一轉向機構使用狀態的立體圖。

圖9為本創作第二轉向機構的立體圖。

圖10為本創作第二轉向機構使用狀態的立體圖。

圖11為本創作垂直製程裝置之方塊示意圖。

15‧‧‧第一轉向機構

151‧‧‧第一轉向元件

152‧‧‧第一導入滾筒

153‧‧‧第一導出滾筒

154‧‧‧第一中空體

155‧‧‧第一氣孔

156‧‧‧第一弧形表面

A‧‧‧輸送路徑

B‧‧‧第一方向

C‧‧‧第二方向

Claims (10)

1. 一種垂直製程裝置，包括： 一放板機構，該放板機構包含至少一進料滾筒、一接板台、一第一張力檢測單元、一暫存機構及一第一轉向機構，該進料滾筒、該接板台、該第一張力檢測單元、該暫存機構及該第一轉向機構設置於一輸送路徑上，軟性基板能沿著該輸送路徑輸送，該進料滾筒配置於一第一方向上，該第一方向為水平方向，該進料滾筒能用以放置該軟性基板，該接板台設置於該進料滾筒的下游位置，該接板台能用以接合該軟性基板，該第一張力檢測單元設置於該接板台的下游位置，該第一張力檢測單元能用以檢測該軟性基板的張力，該暫存機構設置於該第一張力檢測單元的下游位置，該暫存機構能用以暫存該軟性基板，該第一轉向機構設置於該暫存機構的下游位置，該第一轉向機構能用以將該軟性基板由該第一方向轉向為一第二方向，該第二方向為垂直方向，該第一轉向機構包含一第一轉向元件、一第一導入滾筒及一第一導出滾筒，該第一轉向元件位於該第一導入滾筒及該第一導出滾筒之間，該第一導入滾筒配置於該第一方向上，該第一導出滾筒配置於該第二方向上，該第一轉向元件呈傾斜狀，該第一轉向元件具有一第一中空體，該第一中空體上設置多個第一氣孔，該軟性基板依序通過該第一導入滾筒、該第一轉向元件及該第一導出滾筒，該些第一氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該第一轉向元件直接接觸；以及 一收板機構，該收板機構設置於該放板機構的下游位置，該收板機構包含一第二轉向機構、一導正機構、一第二張力檢測單元及至少一出料滾筒，該第二轉向機構、該導正機構、該第二張力檢測單元及該出料滾筒設置於該輸送路徑上，該第二轉向機構能用以將該軟性基板由該第二方向轉向為該第一方向，該第二轉向機構包含一第二轉向元件、一第二導入滾筒及一第二導出滾筒，該第二轉向元件位於該第二導入滾筒及該第二導出滾筒之間，該第二導入滾筒配置於該第二方向上，該第二導出滾筒配置於該第一方向上，該第二轉向元件呈傾斜狀，該第二轉向元件具有一第二中空體，該第二中空體上設置多個第二氣孔，該軟性基板依序通過該第二導入滾筒、該第二轉向元件及該第二導出滾筒，該些第二氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該第二轉向元件直接接觸，該導正機構設置於該第二轉向機構的下游位置，能用以導正該軟性基板，該第二張力檢測單元設置於該導正機構的下游位置，該第二張力檢測單元能用以檢測該軟性基板的張力，該出料滾筒設置於該第二張力檢測單元的下游位置，該出料滾筒配置於該第一方向上，該出料滾筒能用以放置該軟性基板。
2. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該暫存機構包含一驅動裝置及至少一暫存輪，該暫存輪連接於該驅動裝置，該軟性基板能放置於該暫存輪上，該驅動裝置能驅動該暫存輪升降。
3. 如申請專利範圍第2項所述的垂直製程裝置，其中該驅動裝置包含一伺服馬達，該伺服馬達通過一皮帶輪組及一升降座連接於該暫存輪。
4. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該第一中空體具有一第一弧形表面，該些第一氣孔分布於該第一弧形表面上。
5. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該第一轉向元件由金屬板體彎折組成。
6. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該第二中空體具有一第二弧形表面，該些第二氣孔分布於該第二弧形表面上。
7. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該第二轉向元件由金屬板體彎折組成。
8. 如申請專利範圍第1項所述的垂直製程裝置，其中該放板機構及該收板機構之間設置一電鍍槽，該放板機構設置於該電鍍槽的上游位置，該收板機構設置於該電鍍槽的下游位置。
9. 一種垂直製程裝置的轉向機構，該轉向機構應用於垂直製程裝置，該轉向機構設置於一輸送路徑上，軟性基板能沿著該輸送路徑輸送，該轉向機構能用以將該軟性基板由一第一方向轉向為一第二方向，該第一方向為水平方向或垂直方向，該第二方向為垂直方向或水平方向，該轉向機構包含一轉向元件、一導入滾筒及一導出滾筒，該轉向元件位於該導入滾筒及該導出滾筒之間，該導入滾筒配置於該第一方向上，該導出滾筒配置於該第二方向上，該轉向元件呈傾斜狀，該轉向元件具有一中空體，該中空體上設置多個氣孔，該軟性基板依序通過該導入滾筒、該轉向元件及該導出滾筒，該些氣孔能用以輸出氣體，使該軟性基板不與該轉向元件直接接觸。
10. 如申請專利範圍第9項所述的垂直製程裝置的轉向機構，其中該第一轉向元件由金屬板體彎折組成，該第一中空體具有一第一弧形表面，該些第一氣孔分布於該第一弧形表面上，該第二轉向元件由金屬板體彎折組成，該第二中空體具有一第二弧形表面，該些第二氣孔分布於該第二弧形表面上。

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