TWM574755U - 氣嘴結構 - Google Patents
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Abstract
一種氣嘴結構，係整體為金屬材質製成，該氣嘴的周面凸設有較大外徑之一固定片，該固定片上具有複數結合孔可分別供複數螺栓穿過而將其螺鎖結合在一平台上，該氣嘴之中具有一氣道，該氣道一端延伸到頂面而形成一第一開口可供與一晶圓盒之對接部相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口用以供連接一進氣管或一出氣管，且該第二開口係位於該固定片的下方，該氣嘴的頂面凸設有斷面呈圓弧形且呈同心圓狀之複數環凸肋供用於與該晶圓盒之對接部抵接；藉由上述結構係可使晶圓盒不會有過大的高度變化，而且亦不會沾黏晶圓製程中所產生的雜質者。
Description
本創作係一種晶圓盒充氣裝置的氣嘴結構之技術領域，尤指一種可使置放於其上之晶圓盒不會有過大的高度變化而使機械手臂運送晶圓進、出時不會有任何影響，而且亦不會沾黏晶圓製程中所產生的雜質之氣嘴結構者。
請參閱第1圖所示，係為一種習知晶圓盒充氣裝置的結構示意圖，該晶圓盒充氣裝置10主要係設於一晶圓製程設備中用於將特定氣體(如乾燥空氣、氮氣……等)充進一晶圓盒11中，使於製程中、後將該晶圓盒11中之晶圓12的濕氣去除或是避免晶圓12產生氧化者。該晶圓盒充氣裝置10主要係包含一平台13可供承載該晶圓盒11，該平台13上設有複數氣嘴14可供分別與該晶圓盒11上之對接部15對接而相連通，該複數氣嘴14係為橡膠或矽膠材質，且分別連接有複數進氣管16及複數出氣管17，供用於分別將特定氣體導入或導出。該晶圓盒11之對接部15係為一單向閥結構，即僅可由外部向內單向充入氣體或是僅可由內部向外單向排出氣體，此為習知且常見之結構，而且其並非本創作欲保護之範疇，因此圖式中僅以簡單方式示意，實際詳細結構不再另外
贅述之，此合先敘明。
請配合參閱第1~3圖所示，由於橡膠或矽膠材質之氣嘴14在承受重量時會產生較大的變形量，所以當該晶圓盒11置放於其上時，該晶圓盒11相對於該平台13之高度便會隨著該晶圓盒11中之晶圓12的數量隨時在發生變化，而且其變化量亦不小，因此當該機械手臂18在將晶圓12送出或送入該晶圓盒11時，便會因其高度的變化而無法將晶圓12精準的置入該晶圓盒11中的適當位置或是精準的取出。例如第2圖所示，當該晶圓盒11中沒有晶圓12時，則該高度H1較大，當如第3圖所示該機械手臂18將晶圓12依序運送入該晶圓盒11之中時，該氣嘴14便會因承受的重量增加而受壓變形，導致該晶圓盒11的高度H2大幅下降；反之，當滿載晶圓12之晶圓盒11中的晶圓12逐漸被該機械手臂18運出時，該晶圓盒11的高度亦會因氣嘴14承受的重量減少而彈性昇高。而如此高度的大幅變化便會嚴重影響機械手臂18運送晶圓12進、出該晶圓盒11。再者，由於該習知氣嘴14的材質係為橡膠或矽膠，因此其係非常容易沾黏製程中所產生之雜質(如PI、PBO、碳……等微粒)，而且該沾黏之雜質亦不易被該氣嘴14之散溢氣流吹離。
有鑒於此，本創作人乃係針對上述之問題，而深入構思，且積極研究改良試做而開發設計出本創作。
本創作之主要目的係在於解決習知橡膠或矽膠材
質之氣嘴所存在之易在製程中使晶圓盒產生過大的高度變化進而影響機械手臂運送晶圓的進、出，而且會沾黏晶圓製程中所產生的雜質等問題。
本創作所述之氣嘴結構，係整體為金屬材質製成，該氣嘴的周面凸設有較大外徑之一固定片，該固定片上具有複數結合孔可分別供複數螺栓穿過而將其螺鎖結合在一平台上，該氣嘴之中具有一氣道，該氣道一端延伸到頂面而形成一第一開口可供與一晶圓盒之對接部相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口用以供連接一進氣管或一出氣管，且該第二開口係位於該固定片的下方，該氣嘴的頂面凸設有斷面呈圓弧形且呈同心圓狀之複數環凸肋供用於與該晶圓盒之對接部抵接。
本創作所提供之氣嘴結構，係使該晶圓盒壓設於其上時，不論該晶圓盒中的晶圓增加與否，該氣嘴皆不會因受壓而變形，相對的該晶圓盒之高度從始至終皆不會有太大的變化，因此機械手臂在運送晶圓進、出該晶圓盒時便不會受到任何影響。而且，金屬材質之該氣嘴亦不易會沾黏晶圓製程中所產生的雜質，尤其是即使有少量雜質沾黏，更是會在充放氣的同時因該氣嘴的表面較為光滑而會被該氣嘴之散溢氣流吹離。
在另一個實施例中，該氣嘴結構包括一本體及一O形膠圈，該本體的結構與上述實施例大致相同，差別在於本實施例之本體的頂面未具有環凸肋而是呈平面狀，而是另設有一環溝槽，該O形膠圈係嵌設於該環溝槽之中，且上側凸伸出該本體的
頂面一高度。如此，藉由該O形膠圈便可使其具有良好的密封效果，而且並使該晶圓盒之最大高度變化為該O形膠圈上側凸伸出該本體頂面的高度，因此使該晶圓盒之高度變化可被控制到可接受的範圍之內，進而使其不會影響到機械手臂運送晶圓進、出，而且該金屬材質的本體亦可有效減少雜質的沾黏。
[先前技術]
10‧‧‧晶圓盒充氣裝置
11‧‧‧晶圓盒
12‧‧‧晶圓
13‧‧‧平台
14‧‧‧氣嘴
15‧‧‧對接部
16‧‧‧進氣管
17‧‧‧出氣管
18‧‧‧機械手臂
[本創作]
20‧‧‧氣嘴
21‧‧‧固定片
22‧‧‧結合孔
23‧‧‧氣道
24‧‧‧第一開口
25‧‧‧第二開口
26‧‧‧進氣管
27‧‧‧出氣管
28‧‧‧環凸肋
30‧‧‧平台
31‧‧‧晶圓盒
32‧‧‧對接部
40‧‧‧氣嘴
41‧‧‧本體
42‧‧‧固定片
43‧‧‧結合孔
44‧‧‧氣道
45‧‧‧第一開口
46‧‧‧第二開口
47‧‧‧進氣管
48‧‧‧出氣管
49‧‧‧環溝槽
50‧‧‧O形膠圈
第1圖係習知晶圓盒充氣裝置的結構示意圖。
第2圖係習知氣嘴第一種受壓狀態示意圖。
第3圖係習知氣嘴第二種受壓狀態示意圖。
第4圖係本創作之立體示意圖。
第5圖係本創作之剖面示意圖。
第6圖係本創作之使用狀態示意圖。
第7圖係本創作另一實施例之立體分解示意圖。
第8圖係本創作另一實施例之立體組合示意圖。
第9圖係本創作另一實施例之組合剖面示意圖。
第10圖係本創作另一實施例未受壓時之動作示意圖。
第11圖係本創作另一實施例受最大壓力時之動作示意圖。
請參閱第4~6圖所示，係顯示本創作所述之氣嘴結構為金屬材質製成，該氣嘴20的周面係凸設有較大外徑之一固定片21，該固定片21上具有複數結合孔22可分別供複數螺栓(圖中
未示)穿過而螺鎖結合在一平台30上。該氣嘴20之中具有一氣道23，該氣道23一端延伸到頂面而形成一第一開口24可供與一晶圓盒31之對接部32相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口25用以供連接一進氣管26或一出氣管27，且該第二開口25係位於該固定片21的下方。該氣嘴20的頂面凸設有斷面呈圓弧形且呈同心圓狀之複數環凸肋28供用於與該晶圓盒31之對接部32抵接，內側之該環凸肋28的高度係高於外側之該環凸肋28。在本實施例中，該環凸肋28的數量為2道。
如此，當該晶圓盒31壓設於金屬材質之該氣嘴20上時，不論該晶圓盒31中的晶圓增加與否，該氣嘴20皆不會因受壓而變形，相對的該晶圓盒31之高度H3從始至終皆不會有太大的變化，因此機械手臂在運送晶圓進、出該晶圓盒31時便不會受到任何影響，如第6圖所示。而且，金屬材質之該氣嘴20亦不易會沾黏晶圓製程中所產生的雜質，尤其是即使有少量雜質沾黏，更是會在充放氣的同時因該氣嘴20的表面較為光滑而會被該氣嘴20之散溢氣流吹離。
請參閱第7~11圖所示，係為本創作所述氣嘴結構之另一實施例，本實施例中係顯示該氣嘴40包括一本體41及一O形膠圈50。其中：
該本體41，係為金屬材質製成，該本體41的周面係凸設有較大外徑之一固定片42，該固定片42上具有複數結合孔43可分別供複數螺栓(圖中未示)穿過而螺鎖結合在一平台30上。該
本體41之中具有一氣道44，該氣道44一端延伸到頂面而形成一第一開口45可供與一晶圓盒31之對接部32相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口46用以供連接一進氣管47或一出氣管48，且該第二開口46係位於該固定片42的下方。該本體41的頂面於該第一開口45的周圍設有斷面呈梯形之一環溝槽49。
該O形膠圈50，係為橡膠或矽膠材質，且係嵌設於該環溝槽49之中，上側並凸伸出該本體41的頂面一高度H4，H4<0.1mm。
如此，當該晶圓盒31置放於該氣嘴40上時，該O形膠圈50便會受壓變形，而使其具有較佳之密封性，而且當該晶圓盒31中的晶圓逐漸增加時，會因為該晶圓盒31的重量增加而使該O形膠圈50加大變形，進而使該晶圓盒31的下降，直至該晶圓盒31的底面接觸到金屬材質之該本體41的頂面時，便無法再繼續下降，如此便可有效控制該晶圓盒31的最大下降距離維持在可接受的範圍之內，因此便可避免影響機械手臂運送晶圓進、出，如第10、11圖所示。再者，金屬材質之該本體41係不易會沾黏晶圓製程中所產生的雜質，而O形膠圈50顯露出之面積亦不大，所以雜質沾黏的情形亦非常少。
綜上所述，由於本創作具有上述優點及實用價值，而且在同類產品中均未見有類似之產品發表，故已符合新型專利之申請要件，乃爰依法提出申請。
Claims (8)
- 一種氣嘴結構，係整體為金屬材質製成，該氣嘴的周面凸設有較大外徑之一固定片，該固定片上具有複數結合孔可分別供複數螺栓穿過而將其螺鎖結合在一平台上，該氣嘴之中具有一氣道，該氣道一端延伸到頂面而形成一第一開口可供與一晶圓盒之對接部相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口用以供連接一進氣管或一出氣管，且該第二開口係位於該固定片的下方，該氣嘴的頂面凸設有斷面呈圓弧形且呈同心圓狀之複數環凸肋供用於與該晶圓盒之對接部抵接。
- 如請求項1所述之氣嘴結構，其中該氣嘴頂面內側之該環凸肋的高度係高於外側之該環凸肋。
- 如請求項2所述之氣嘴結構，其中該環凸肋的數量為2道。
- 一種氣嘴結構，包括：一本體，係為金屬材質製成，該本體的周面係凸設有較大外徑之一固定片，該固定片上具有複數結合孔可分別供複數螺栓穿過而將其螺鎖結合在一平台上，該本體之中具有一氣道，該氣道一端延伸到頂面而形成一第一開口可供與一晶圓盒之對接部相接通，另一端則延伸到周面而形成一第二開口用以供連接一進氣管或一出氣管，且該第二開口係位於該固定片的下方，該本體的頂面於該第一開口的周圍設有一環溝槽；以及一O形膠圈，係嵌設於該環溝槽之中，且上側凸伸出該本體的頂面一高度。
- 如請求項4所述之氣嘴結構，其中該環溝槽的斷面形狀呈梯形。
- 如請求項4所述之氣嘴結構，其中該O形膠圈上側凸伸出該本體頂面的高度小於0.1mm。
- 如請求項4所述之氣嘴結構，其中該O形膠圈為橡膠材質。
- 如請求項4所述之氣嘴結構，其中該O形膠圈為矽膠材質。
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| TW107212527U TWM574755U (zh) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 氣嘴結構 |
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| TW107212527U TWM574755U (zh) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 氣嘴結構 |
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|---|---|
| TWM574755U true TWM574755U (zh) | 2019-02-21 |
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ID=66214709
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Country Status (1)
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| TW (1) | TWM574755U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI781068B (zh) * | 2022-03-23 | 2022-10-11 | 翁子勝 | 噴液裝置 |
-
2018
- 2018-09-13 TW TW107212527U patent/TWM574755U/zh not_active IP Right Cessation
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| TWI781068B (zh) * | 2022-03-23 | 2022-10-11 | 翁子勝 | 噴液裝置 |
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