TWM568496U - Wafer fixture carrier improved structure - Google Patents

Abstract

本創作係提供一種晶圓夾具之承載座改良結構，該晶圓夾具為一平板式圓爪型態，基本上是以三個承載座等距佈列接設於晶圓夾具的圓爪面上，該承載座是由一水平且設有螺絲孔的接合板，於內側面延伸一向內向下傾斜的導滑斜面板，而導滑斜面板的末端形成一靠置立面，於靠置立面底緣向內形成一水平的承置板，提供接合板以螺絲將承載座固接於晶圓夾具的圓爪面上；本創作改良之處為，該靠置立面採向下向內小角度傾斜的斜面結構，另於承置板末端頂面形成一光滑的小弧凸面，使各承載座之小角度傾斜的靠置立面與末端頂面形成一小弧凸面之承置板設計，提供晶圓於置入晶圓夾具上時，能順利確實的平置於各承載座的承置板上，確保正確定位，避免晶圓卡邊傾斜而損壞之虞，獲致實用進步性者。

Description

晶圓夾具之承載座改良結構

本創作係有關於晶圓夾具的結構改良，主要是針對皆設於晶圓夾具上用以承置晶圓之承載座的結構所為之改良。

如第1圖所示，本創作所稱之晶圓夾具10為一平板式圓爪型態，基本上每一個晶圓夾具10的圓爪面上設有三個以等角度佈列的承載座20，使晶圓30於置入晶圓夾具10上時，能由各承載座20將晶圓30平置於晶圓夾具10上，獲致定位，而便於搬移。如第2圖所示，該承載座20是由一水平且設有螺絲孔210的接合板21，於內側面延伸一向內向下傾斜的導滑斜面板22，而導滑斜面板22的末端形成一靠置立面23，於靠置立面23底緣向內形成一水平的承置板24，得由接合板212的螺絲孔210以螺絲將承載座20固接於晶圓夾具10的圓爪面上。

如第3圖所示，習知承載座20的靠置立面23為一垂直立面的設計，而承載座20的承置板24則是具有一相當長度的水平面，晶圓30於置入晶圓夾具10上時，是由各承載座20同時來承接晶圓30，而由於晶圓30本身極為輕薄，當晶圓30置入承載座20時的水平角度稍有偏差，在晶圓30於接觸承載座20的瞬間，可能產生晶圓30的一端與其中一個承載座20的承置板24產生水平摩擦阻力，使晶圓30的另一端靠止於其中一個承載座20的靠 置立面23頂邊的導滑斜面板22上，因此讓晶圓30形成略為傾斜的放置在晶圓夾具10的承載座20上，而並非達到確實的水平置放，如此一來，當置於晶圓夾具10上的晶圓30進行下一個工序時，則可能會造成晶圓30損壞的情形，故有改良的必要性。

本創作主要目的是解決習知晶圓夾具之承載座可能讓晶圓無法確實水平置放而造成晶圓於工序進行中產生損壞的問題。本創作晶圓夾具之承載座改良結構，亦是以三個承載座等距佈列接設於晶圓夾具的圓爪面上，該承載座是由一水平且設有螺絲孔的接合板，於內側面延伸一向內向下傾斜的導滑斜面板，而導滑斜面板的末端形成一靠置立面，於靠置立面底緣向內形成一水平的承置板，得由接合板以螺絲將承載座固接於晶圓夾具的圓爪面上；本創作的改良特徵在於，該靠置立面採向下向內以小角度內傾斜的斜面結構設計，另於承置板末端頂面形成一光滑的小弧凸面；藉由各承載座之小角度傾斜的靠置立面與末端頂面形成一小弧凸面的承置板設計，讓晶圓於置入晶圓夾具上時，能排除摩擦力而順利確實的平置於各承載座的承置板上，確保晶圓無卡邊傾斜而損壞之虞。

10‧‧‧晶圓夾具

20‧‧‧承載座

30‧‧‧晶圓

21‧‧‧接合板

22‧‧‧導滑斜面板

23‧‧‧靠置立面

24‧‧‧承置板

25‧‧‧小弧凸面

210‧‧‧螺絲孔

a‧‧‧傾斜角度

第1圖係晶圓夾具結構配設示意圖

第2圖係晶圓夾具之承載座的結構配設示意圖

第3圖係習知承載座的實施示意圖

第4圖係本創作之承載座的實施示意圖

第5圖係本創作之承載座的結構示意圖

請參閱第4及第5圖所示，本創作晶圓夾具之承載座改良結構，包含三個承載座20，以等角度設於晶圓夾具10的圓爪面上，該承載座20是由一水平且設有螺絲孔210的接合板21，以螺絲鎖固於晶圓夾具10的圓爪面上，於接合板21內側面延伸一向內向下傾斜的導滑斜面板22，而導滑斜面板22的末端形成一靠置立面23，於靠置立面23底緣向內形成一水平的承置板24；本創作的改良的特點在於，該承載座20的靠置立面23採向下向內而與軸線形成一內傾斜小角度a的斜面型態，該小角度以不大於5度為佳，另於承置板24末端頂面形成一光滑的小弧凸面25設計。

如前所述，本創作在晶圓30於置入晶圓夾具10上時，由各承載座20同時來承接晶圓30，由於各承載座20之靠置立面23採向下向內而與軸線形成5°以內傾斜角度a的斜面型態，且承置板24末端頂面形成一小弧凸面25的設計，因此當晶圓30於置入晶圓夾具上時，輕薄的晶圓30於接觸承載座20的瞬間，晶圓30的一端是會先與其中一個承載座20的承置板24上之小弧凸面25觸靠而不會產生水平摩擦阻力，而另一端與其中一個承載座20的靠置立面23之小角度斜面觸靠，形成順滑型態，因此讓晶圓30於置入晶圓夾具10的承載座20上時，能排除摩擦力而順利確實的平置於各承載座20的承置板24上，確保晶圓30不會產生卡邊傾斜的情況，而可避免於下一個工序產生損壞之虞。

綜上所述，本創作已具備顯著的進步性，惟以上所揭露的構造僅為本創作較佳實施例進行了具體說明，但本創作並不限於所述實施 例，熟悉本領域的技術人員在不違背本創作精神的前提下還可做出種種的等同變形或替換，這些等同的變形或替換均包含在本申請權利要求所限定的範圍內。

Claims (2)

1. 一種晶圓夾具之承載座改良結構，晶圓夾具為一平板式圓爪型態，係以三個承載座等角度列接設於晶圓夾具的圓爪面上，該承載座是由一水平接合板固設於晶圓夾具的圓爪面上，於接合板內側面延伸一向內向下傾斜的導滑斜面板，而導滑斜面板的末端形成一靠置立面，於靠置立面底緣向內形成一水平的承置板；其特徵在於，該承載座的靠置立面採向下向內小角度傾斜的斜面結構，另於承置板末端頂面形成一小弧凸面。
2. 如請求項1所述晶圓夾具之承載座改良結構，其中承載座的靠置立面採向下向內小角度傾斜的斜面結構，其傾斜角度為不大於5°度。