TWM566200U - Photoresist bottle joint structure - Google Patents

Abstract

一種光阻瓶之接頭結構，包括：組裝於光阻瓶之瓶口的瓶口環，組裝於該瓶口環且保持旋轉自由的連接座，組裝於該連接座的光阻液輸出單元，以及保持該光阻液輸出單元的軸向調移及旋向自由的旋調座。供氣源所提供的氣體經由該連接座的氣體通道輸入至該光阻瓶的內部，適當的增加該光阻瓶的內壓，使光阻瓶中的光阻液經由該光阻液輸出單元向光阻設備輸出。該連接座與該瓶口環以及該光阻液輸出單元與該連接座均具有旋向自由組合關係，使該接頭結構可以順應供氣源及光阻設備的所在位置；該旋調座可調整該光阻液輸出單元的汲取管的管底端距離光阻瓶之瓶底的距離，使管底端保持在光阻瓶的瓶底最低處，盡可能將光阻液用磬，或將殘留量減至最小。

Description

光阻瓶之接頭結構

本創作涉及光阻瓶的技術領域，更詳而言之，是關於光阻瓶的連接座、進氣管及光阻輸出管的配置。

光阻液(又名光刻膠)是積體電路行業不可或缺的原料。光阻液是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成且對光敏感的混合液體。光阻液主要是以液態形式存放於光阻瓶內。傳統的光阻瓶，其結構大致包括可阻絕光線的瓶體、密封所述瓶體的連接座、貫穿連接座及瓶體的進氣管及光阻輸出管。進氣管用於向瓶體內通入氣體，增加瓶內的壓力，使光阻經由光阻輸出管向光阻設備輸出。

所述的連接座、光阻輸出管和進氣管採固定方式與光阻瓶結合，這樣的缺點是光阻瓶與氣體源以及光阻設備的軟管連結將無法順利的依現場狀況做機動性調整，組裝時需要扭轉軟管，造成軟管斷裂、或連結鬆脫等問題。

此外，光阻的價格昂貴的，因此在光阻瓶中的光阻應該盡可能的用磬，避免光阻的浪費。

光阻瓶內的光阻用完之後，通常需要更換光阻瓶或補充光阻，此時操作人員需要將連接座拔出。但拔出連接座的時候，光阻瓶內殘留的 光阻會濺射出來，濺至操作人員皮膚表面，使得操作人員受傷。

基於上述問題，本創作提出光阻瓶的連接座、進氣管及光阻輸出管的配置的改良。

一種光阻瓶之接頭結構，包括：一瓶口環，組裝於一光阻瓶的瓶口；一連接座，包含組裝於該瓶口環的一座體，該座體的側面徑向延伸一第一連接部，該座體的頂部向上延伸一第二連接部；該座體在該瓶口環中通過一第一組合結構而保持軸向限位及旋向自由之組合；該第一連接部連接於一供氣源；貫穿該第一連接部及該座體設一氣體通道，該供氣源所提供的氣體經由該氣體通道輸入至該光阻瓶的內部；一光阻液輸出單元，包含一管軸，延伸於該管軸底端的一汲取管，及延伸於該管軸頂端的一輸出接頭；貫穿該輸出接頭、該管軸及該汲取管設一光阻液通道；該管軸穿設於該第二連接部的一軸接孔中，該汲取管穿過該座體的一管通道而進入該光阻瓶內；一旋調座，包含一螺帽和一組合於該螺帽頂端的限位環；通過螺紋該螺帽組合於該第二連接部外部；該管軸及該限位環通過一第二組合結構而保持軸向限位及旋向自由之組合。

較佳的，該瓶口環包括一第一環件和一第二環件；該第一環件組裝於該光阻瓶的瓶口；該第二環件通過數個固定元件組裝於該第一環件上。

較佳的，該第一組合結構包括在該座體及該第二環件的相對位置設環繞該座體及該第二環件的凹槽及凸部。

較佳的，該第二環件是由兩個半環相對結合而成。

較佳的，該第二組合結構包括在該管軸及該限位環的相對位置設環繞該管軸及該限位環的凹槽與凸部。

較佳的，該限位環是由兩個半環相對結合而成，該限位環以數個固定元件固定於該螺帽的頂端。

較佳的，該軸接孔的徑寬大於該管通道的徑寬，兩者連通且於交界處形成一承托部，該承托部支托該管軸的底端。

較佳的，通過該旋調座的該螺帽，調整並保持該汲取管的底端深入至該光阻瓶的最底部。

較佳的，該汲取管的底端側壁環設數個向下開口的的汲取口。

較佳的，該第二連接部軸向傾斜一角度，與之結合的該光阻液輸出單元也傾斜一角度，使該汲取管斜向的深入至該瓶底的角落最低部。

本創作的功效：

通過上述結構，該供氣源所提供的氣體經由該氣體通道輸入至該光阻瓶的內部，適當的增加該光阻瓶的內壓，使光阻瓶中的光阻液經由該汲取管進入該光阻液通道經由該輸出接頭向光阻設備輸出。

基於該連接座與該瓶口環的旋向自由的組合關係，該連接座可於該瓶口環中自由的轉動，因此可調整及改變該第一連接部的方向，使其順應供氣源的所在位置，供氣源的軟管可以順勢與該第一連接部連接，避免軟管被過度扭曲而斷裂或連結鬆脫的問題。

該光阻液輸出單元與該連接座亦保持了旋向自由的組合關係，該光阻液輸出單元可於該連接座中自由的轉動，因此可調整及改變該輸出接頭的方向，使其順應光阻設備的所在位置，使輸出光阻液的軟管可以順 勢連接，避免軟管被過度扭曲而斷裂或連結鬆脫的問題。

旋進或旋出該旋調座的螺帽，該螺帽藉由該限位環帶動該光阻液輸出單元上下調移位置，調整該汲取管的管底端距離該光阻瓶之瓶底的距離。較佳的，管底端應接觸該光阻瓶的瓶底最低處，盡可能將光阻液用磬，或將殘留量減至最小。除了避免光阻浪費之外，亦可避免工作人員在更換光阻瓶時，被殘留在光阻瓶中的光阻液噴濺。

本創作的瓶口環是以螺紋而組裝於該光阻瓶的瓶口，因此換裝光阻瓶時，工作人員只要旋開及旋緊該瓶口環即可將整個接頭結構安裝於該光阻瓶，避免先前技術中所述工作人員以拔出的方式卸下接頭而造成瓶內光阻液噴濺的問題。

10‧‧‧瓶口環

11‧‧‧第一環件

12‧‧‧第二環件

121‧‧‧半環

122‧‧‧半環

13‧‧‧固定元件

14‧‧‧凸部

151‧‧‧螺紋

152‧‧‧螺紋

20‧‧‧連接座

21‧‧‧座體

22‧‧‧凹槽

23‧‧‧第一連接部

231‧‧‧氣體通道

24‧‧‧第二連接部

241‧‧‧軸接孔

242‧‧‧管通道

243‧‧‧承托部

251‧‧‧螺紋

30‧‧‧光阻液輸出單元

31‧‧‧管軸

312‧‧‧止漏環

32‧‧‧凹槽

33‧‧‧汲取管

331‧‧‧汲取口

37‧‧‧輸出接頭

35‧‧‧光阻液通道

40‧‧‧旋調座

41‧‧‧螺帽

411‧‧‧螺紋

42‧‧‧限位環

421‧‧‧半環

422‧‧‧半環

43‧‧‧凸部

44‧‧‧固定元件

50‧‧‧光阻瓶

51‧‧‧瓶口

第1圖為光阻瓶與本創作接頭結構的立體外觀圖。

第2圖為本創作接頭結構的立體分解圖。

第3圖為本創作接頭結構的組合剖面圖。

第4圖為本創作接頭結構的汲取管的末端的示意圖。

第5圖為本創作汲取管的末端深入至光阻瓶的瓶底角落最低處及汲取光阻液的示意圖。

第6圖為本創作接頭結構的光阻液輸出單元軸向調移及旋向調轉的示意圖。

為便於說明本創作於上述新型內容一欄中所表示的中心思想， 茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於說明之比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實際元件的比例予以繪製，合先敘明。

如第1至3圖，本創作光阻瓶之接頭結構，包括：組裝於光阻瓶50之瓶口51的瓶口環10，組裝於該瓶口環10且保持旋轉自由的連接座20，組裝於該連接座20的光阻液輸出單元30，以及保持該光阻液輸出單元30的軸向調移及旋向自由的旋調座40。

該瓶口環10，包括一第一環件11和一第二環件12。通過螺紋151,152該第一環件11組裝於該光阻瓶50的瓶口51。該第二環件12通過數個固定元件13組裝於該第一環件11上。

該連接座20，包含一組裝於該第二環件12的座體21，該座體21的側面徑向延伸一第一連接部23，該座體21的頂部向上延伸一第二連接部24。通過一第一組合結構，該座體21在該第二環件12上保持軸向限位及旋向自由的組合關係。該第一組合結構包括在該座體21及該第二環件12的相對位置設環繞該座體21及該第二環件12的凸部14及凹槽22；環狀的凸部14及凹槽22的結合，使該座體21被軸向限位於該第二環件12上，該座體21不脫離該第二環件12，但可於該第二環件12上自由旋轉。在本創作圖例中，為達成所述的組合關係且便於該第二環件12及該連接座20的組裝，遂將該第二環件12設計呈兩個半環121,122相對結合成一個完整環的結構。

該第一連接部23通過已知的接頭及軟管連接於一供氣源，貫穿該第一連接部23及該座體21設一氣體通道231，該供氣源所提供的氣體經由該氣體通道231輸入至該光阻瓶50的內部，適當的增加該光阻瓶50的內壓。

該第二連接部24用以組合該光阻液輸出單元30。貫穿該第二連 接部24及該座體21設一軸接孔241和一管通道242，該軸接孔241的徑寬大於該管通道242的徑寬，兩者連通且於交界處形成一承托部243。

該光阻液輸出單元30包含一管軸31、延伸於該管軸31底端的汲取管33、延伸於該管軸31頂端的輸出接頭34。貫穿該輸出接頭34、該管軸31及該汲取管33設一光阻液通道35。該光阻液輸出單元30以該汲取管33通過該第二連接部24的該軸接孔241及該管通道242而進入該光阻瓶50中，該汲取管33的底端並深至該光阻瓶50的最底部；該管軸34合徑的位於該軸接孔241中，並被該承托部243所支持，該管軸31與該軸接孔241之間具有止漏環312。

該旋調座40，包含一螺帽41和一組合於該螺帽頂端的限位環42；通過螺紋411,251該螺帽41組合於該第二連接部24外部，該管軸31及該限位環42通過一第二組合結構而保持軸向限位及旋向自由之組合關係。該第二組合結構包括於該管軸31及該限位環42的相對位置設環繞該管軸31及該限位環42的凹槽32與凸部43，環狀的凹槽32及凸部43的結合，使該管軸31被軸向限位於該限位環42中，該管軸31不脫離該限位環42，但可於該限位環42中自由轉動。在圖例中，為達成所述的組合關係且便於該限位環42與該管軸31及該螺帽41的組裝，遂將該限位環42設計呈兩個半環421,422相對結合成一個完整環的結構，該限位環42並以數個固定元件44固定於該螺帽41的頂端。

如第4，5圖，較佳的，該第二連接部24軸向傾斜一角度，因此與之結合的該光阻液輸出單元30也傾斜一角度，使該汲取管33斜向的深入至該光阻瓶50的瓶底角落處，因該角落處是該光阻瓶50的最低部，也是 最容易殘留光阻液的部位。除此之外，該汲取管33的底端側壁環設數個向下開口的的汲取口331，該光阻瓶50中的光阻液可通過該汲取口331進入該汲取管33中，避免該汲取管33底端抵住該光阻瓶50的瓶底而導致光阻液難以進入該汲取管33的問題。該輸出接頭34通過已知的軟管和接頭將光阻液向光阻設備輸出。

通過上述結構，該連接座20組裝於該瓶口環10即封閉了該光阻瓶50的瓶口51，該供氣源所提供的氣體經由該氣體通道231輸入至該光阻瓶50的內部，適當的增加該光阻瓶50的內壓，使光阻瓶50中的光阻液經由該汲取管33進入該光阻液通道35經由該輸出接頭34向光阻設備輸出。

基於該連接座20與該瓶口環10為旋向自由的組合關係，該連接座20可於該瓶口環10中自由的轉動，因此可調整及改變該第一連接部23的方向，使其順應供供氣源的所在位置，供氣源的軟管可以順勢與該第一連接部23連接，避免軟管被過度扭曲而斷裂或連結鬆脫的問題。

如第6圖，該光阻液輸出單元30與該連接座20亦保持了旋向自由的組合關係，該光阻液輸出單元30可於該連接座20中自由的轉動，因此可調整及改變該輸出接頭34的方向，使其順應光阻設備的所在位置，使輸出光阻液的軟管可以順勢連接，避免軟管被過度扭曲而斷裂或連結鬆脫的問題。

旋進或旋出該旋調座40的螺帽41，該螺帽41藉由該限位環42帶動該光阻液輸出單元30上下調移位置，調整該汲取管33的管底端距離該光阻瓶50之瓶底的距離。較佳的，管底端應接觸該光阻瓶50的瓶底最低處，盡可能將光阻液用磬，或將殘留量減至最小。除了避免光阻液浪費之外， 亦可避免工作入員在更換光阻瓶時，被殘留在光阻瓶中的光阻液噴濺。

Claims (10)

1. 一種光阻瓶之接頭結構，包括：一瓶口環，組裝於一光阻瓶的瓶口；一連接座，包含組裝於該瓶口環的一座體，該座體的側面徑向延伸一第一連接部，該座體的頂部向上延伸一第二連接部；該座體在該瓶口環中通過一第一組合結構而保持軸向限位及旋向自由之組合；該第一連接部連接於一供氣源；貫穿該第一連接部及該座體設一氣體通道，該供氣源所提供的氣體經由該氣體通道輸入至該光阻瓶的內部；一光阻液輸出單元，包含一管軸，延伸於該管軸底端的一汲取管，及延伸於該管軸頂端的一輸出接頭；貫穿該輸出接頭、該管軸及該汲取管設一光阻液通道；該管軸穿設於該第二連接部的一軸接孔中，該汲取管穿過該座體的一管通道而進入該光阻瓶內；一旋調座，包含一螺帽和一組合於該螺帽頂端的限位環；通過螺紋該螺帽組合於該第二連接部外部；該管軸及該限位環通過一第二組合結構而保持軸向限位及旋向自由之組合。
2. 如請求項1所述光阻瓶之接頭結構，其中，該瓶口環包括一第一環件和一第二環件；該第一環件組裝於該光阻瓶的瓶口；該第二環件通過數個固定元件組裝於該第一環件上。
3. 如請求項2所述光阻瓶之接頭結構，其中，該第一組合結構包括在該座體及該第二環件的相對位置設環繞該座體及該第二環件的凹槽及凸部。
4. 如請求項3所述光阻瓶之接頭結構，其中，該第二環件是由兩個半環相對結合而成。
5. 如請求項1所述光阻瓶之接頭結構，其中，該第二組合結構包括在該管軸及該限位環的相對位置設環繞該管軸及該限位環的凹槽與凸部。
6. 如請求項5所述光阻瓶之接頭結構，其中，該限位環是由兩個半環相對結合而成，該限位環以數個固定元件固定於該螺帽的頂端。
7. 如請求項1所述光阻瓶之接頭結構，其中，該軸接孔的徑寬大於該管通道的徑寬，兩者連通且於交界處形成一承托部，該承托部支托該管軸的底端。
8. 如請求項1所述光阻瓶之接頭結構，其中，通過該旋調座的該螺帽，調整並保持該汲取管的底端深入至該光阻瓶的最底部。
9. 如請求項8所述光阻瓶之接頭結構，其中，該汲取管的底端側壁環設數個向下開口的的汲取口。
10. 如請求項8所述光阻瓶之接頭結構，其中，該第二連接部軸向傾斜一角度，與之結合的該光阻液輸出單元也傾斜一角度，使該汲取管斜向的深入至該瓶底的角落最低部。