CN112925170B - 一种光阻供应系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种光阻供应系统，包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置，所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度，所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。可见，本发明通过设置监测装置实现对插管高度调节的实时监测，并发出对应的信号指示，以提示工作人员及时准确地调节插管高度，从而增加光阻单瓶利用率，避免光阻浪费，减少生产成本，另外，还可以避免出现插管负压引起的机台报警情况。

Description

一种光阻供应系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种光阻供应系统。

背景技术

在半导体制造过程中，微影用于图案化基板如晶圆，以形成集成电路的多种结构。在一般的微影制程中，光阻层形成于基板上，并以射线曝光形成集成电路的浅影像。接着在显影剂如化学溶液中显影曝光后的光阻层，以移除部分光阻层并形成光阻图案。接着以光阻图案作为后续蚀刻制程的蚀刻掩模，将图案转移至下方的材料层。

光阻是半导体微影制程中必不可少也是特有的一种常用物料，每一道微影制程中都会用到，主要是以液态形式存放在光阻瓶中。目前典型的光阻瓶装置主要包括光阻瓶、瓶口接头以及穿过瓶口接头的插管，该插管可通过瓶口接头进行高度调节，但是在实际应用时，因光阻瓶颜色为深棕色，导致无法准确判断插管高度是否调节适当，从而引起工作缺陷。例如，若插管高度调节太高(插管底端与光阻瓶底部的距离过大)会造成光阻浪费，增加生产成本；若插管高度调节太低(插管底端与光阻瓶底部接触)会造成整条插管弯曲，呈负压，导致机台因无法汲取光阻发出报警，且会在插管弯曲产生的张力下造成瓶口接头拧歪或脱离。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光阻供应系统，以解决现有技术中因光阻瓶颜色过深无法准确判断插管高度是否调节适当从而引起工作缺陷的问题。具体技术方案如下：

本发明提供一种光阻供应系统，包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置；

所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度；

所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。

可选的，所述监测装置包括压力侦测器、压力反馈器以及导压管，所述压力侦测器和所述压力反馈器分别设置在所述导压管的两端，所述压力侦测器随所述导压管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述压力侦测器的侦测点相对于所述插管的底端的位置不变。

可选的，所述压力侦测器的侦测点与所述插管的底端等高。

可选的，所述压力侦测器的侦测点低于所述插管的底端。

可选的，所述压力侦测器的侦测点与所述插管的底端之间的距离为5mm。

可选的，所述监测装置与所述插管一体化设置或者所述监测装置与所述插管并列设置。

可选的，所述H的调节情况分为三种：

第一种情况：H＞5mm，对应的信号指示为黄灯亮；

第二种情况：0mm≤H≤5mm，对应的信号指示为绿灯亮；

第三种情况：H＜0mm，对应的信号指示为红灯亮。

可选的，所述瓶口接头与所述光阻瓶的瓶口螺纹连接。

可选的，所述插管由软塑料制成。

可选的，所述压力侦测器封装在软塑料管内。

本发明提供的一种光阻供应系统，具有以下有益效果：所述光阻供应系统包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置，所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度，所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。可见，本发明通过设置监测装置实现对插管高度调节的实时监测，并发出对应的信号指示，以提示工作人员及时准确地调节插管高度，从而增加光阻单瓶利用率，避免光阻浪费，减少生产成本，另外，还可以避免出现插管负压引起的机台报警情况。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中一种光阻瓶装置的结构示意图；

图2是现有技术中光阻瓶装置中插管的一种状态图；

图3是现有技术中光阻瓶装置中插管的另一种状态图；

图4是本发明一实施例提供的一种光阻供应系统的结构示意图；

其中，附图1～4的附图标记说明如下：

1-光阻瓶；2-瓶口接头；3-插管；4-压力侦测器；5-压力反馈器；6-导压管。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种光阻供应系统作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所述的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义至少是两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

如背景技术所述，请参阅图1，目前典型的光阻瓶装置主要包括光阻瓶1、瓶口接头2以及穿过瓶口接头2的插管3，该插管3可通过瓶口接头2进行高度调节，但是在实际应用时，因光阻瓶1颜色为深棕色，导致无法准确判断插管3高度是否调节适当，从而引起工作缺陷。

例如，请参阅图2，若插管3高度调节太高(插管底端与光阻瓶底部的距离过大)会造成光阻浪费，增加生产成本；请参阅图3，若插管3高度调节太低(插管底端与光阻瓶底部接触)会造成整条插管3弯曲，呈负压，导致机台因无法汲取光阻发出报警，且会在插管3弯曲产生的张力下造成瓶口接头2拧歪或脱离。因此，本发明的核心思想在于提供一种光阻供应系统，通过设置监测装置实现对插管高度调节的实时监测，并发出对应的信号指示，以提示工作人员及时准确地调节插管高度，从而增加光阻单瓶利用率，避免光阻浪费，还可以避免出现插管负压引起的机台报警情况。

为此，本发明提供一种光阻供应系统，请参阅图4，所述光阻供应系统包括光阻瓶1、瓶口接头2、插管3、监测装置，所述插管3穿过所述瓶口接头2伸入所述光阻瓶1内，且所述插管3的底端相对于所述光阻瓶1的底部的最大高度H可调节，所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。

具体的，将所述H的调节情况分为三种，对应的信号指示采用信号灯指示：

第一种情况：H＞5mm，对应的信号指示为黄灯亮；

第二种情况：0mm≤H≤5mm，对应的信号指示为绿灯亮；

第三种情况：H＜0mm，对应的信号指示为红灯亮。

需要说明的是，为了保证光阻单瓶利用率，所述光阻供应系统在机台安装时，所述光阻瓶1是呈倾斜状的，并非是摆正状态。其中，所述H为所述插管3的底端相对于所述光阻瓶1的底部的最大高度，规定H最佳的取值范围为0mm≤H≤5mm。

进一步的，所述监测装置包括压力侦测器4、压力反馈器5以及导压管6，所述压力侦测器4和所述压力反馈器5分别设置在所述导压管6的两端，所述压力侦测器4随所述导压管6穿过所述瓶口接头2伸入所述光阻瓶1内，且所述压力侦测器4的侦测点相对于所述插管3的底端的位置不变，即在调节所述插管3的H时，所述压力侦测器4是同步进行调节的。

具体的，在工作前，分别将三种情况中H的取值与该取值下压力侦测器4可侦测的压力信号的对应关系预存到所述压力反馈器5中。所述压力侦测器4用于侦测压力信号并将压力信号通过所述导压管6传递给所述压力反馈器5，所述压力反馈器5用于接收所述压力信号，并根据所述压力信号和对应关系判断所述H的取值范围，发出对应的信号指示。

进一步的，本实施例中，所述压力侦测器5的侦测点低于所述插管3的底端，具体的，所述压力侦测器5的侦测点与所述插管3的底端之间的距离为5mm，即在进行插管高度调节过程中，是压力侦测器5的侦测点先触碰到所述光阻瓶1的底部。

进一步的，所述监测装置与所述插管3可以是一体化设置，也可以是并列设置，本实施例中优选将所述监测装置与所述插管3并列设置，这样在后续更换光阻瓶1时方便操作，另外，在所述插管1或监测装置出现故障时方便工作人员进行维修。

进一步的，所述插管3由软塑料制成，所述压力侦测器4封装在软塑料管内，以保证在调节插管3的H时，所述插管3和所述压力侦测器4有一定的伸张空间，从而避免所述插管3和所述压力侦测器4出现损坏或者对所述光阻瓶造成损坏。另外，需要说明的是，所述导压管6由刚性材料制成，以保证压力信号的完整传递。

进一步的，所述瓶口接头2与所述光阻瓶1的瓶口螺纹连接，实际应用中主要通过旋拧所述瓶口接头实现对所述插管3和所述压力侦测器4的高度调节。更进一步的，所述瓶口接头2的表面设有防滑纹，以方便旋拧所述瓶口接头2时不会打滑。

所述光阻供应系统的工作原理如下：

所述插管3和所述监测装置并列穿过所述瓶口接头2，再伸入到所述光阻瓶1内，此时由于所述压力侦测器4的侦测点未触及到所述光阻瓶1的底部，所述压力侦测器4未侦测到压力信号，表示所述插管3的底端相对于所述光阻瓶1的底部的最大高度过大，即H＞5mm，此时所述压力反馈器5的黄色指示灯亮起。继续向下旋拧瓶口接头2，当所述压力侦测器4的侦测点刚好触及到所述光阻瓶1的底部，此时所述压力侦测器4刚好能侦测到压力信号，同时将侦测到的压力信号通过所述导压管6传递给所述压力反馈器5，所述压力反馈器5的绿色指示灯亮起，继续向下旋拧瓶口接头2，所述压力侦测器4侦测到的压力信号逐渐增强，但是所述压力反馈器的依然保持绿色指示灯亮起，表示此时所述插管3的底端相对于所述光阻瓶1的底部的最大高度仍处在最佳范围，即0mm≤H≤5mm。再继续向下旋拧所述瓶口接头2，所述压力侦测器4侦测到的压力信号继续增强，增强至所述压力反馈器5的红色指示灯亮起，表示此时所述插管3的底端已经触及所述光阻瓶1的底部了，即H＜0mm，应该及时停止向下旋拧所述瓶口接头2并再将所述瓶口接头2向上回拧一些，以使所述H在最佳范围内，保证光阻的单瓶利用率。若再继续旋拧所述瓶口接头2，所述插管2会出现弯折的情况，呈负压，导致机台因汲取不到光阻发出报警，影响工作进度。

在另一实施例中，所述压力侦测器的侦测点与所述插管的底端可以是等高设置，这种情况下只要将所述压力反馈器中三种情况中H的取值与压力侦测器可侦测的压力信号的对应关系更改下，工作原理同上。

综上所述，在本发明提供的一种光阻供应系统，具有以下优点：所述光阻供应系统包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置，所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度，所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示。可见，本发明通过设置监测装置实现对插管高度调节的实时监测，并发出对应的信号指示，以提示工作人员及时准确地调节插管高度，从而增加光阻单瓶利用率，避免光阻浪费，减少生产成本，另外，还可以避免出现插管负压引起的机台报警情况。

最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种光阻供应系统，其特征在于，包括光阻瓶、瓶口接头、插管、监测装置；

所述插管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光阻瓶的底部的最大高度；

所述监测装置包括压力侦测器、压力反馈器以及导压管，所述压力侦测器和所述压力反馈器分别设置在所述导压管的两端，所述压力侦测器随所述导压管穿过所述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述压力侦测器的侦测点相对于所述插管的底端的位置不变；

所述监测装置用于监测所述H的调节情况并发出对应的信号指示；

所述监测装置与所述插管一体化设置或者所述监测装置与所述插管并列设置；

所述压力侦测器的侦测点与所述插管的底端等高或所述压力侦测器的侦测点低于所述插管的底端。

2.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，当所述压力侦测器的侦测点低于所述插管的底端时，所述压力侦测器的侦测点与所述插管的底端之间的距离为5mm。

3.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，当所述压力侦测器的侦测点低于所述插管的底端时，所述H的调节情况分为三种：

第一种情况：H＞5mm，对应的信号指示为黄灯亮；

第二种情况：0mm≤H≤5mm，对应的信号指示为绿灯亮；

第三种情况：H＜0mm，对应的信号指示为红灯亮。

4.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述瓶口接头与所述光阻瓶的瓶口螺纹连接。

5.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述插管由软塑料制成。

6.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述压力侦测器封装在软塑料管内。