CN208984111U - 一种监控光阻过滤器使用寿命的系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。

Description

一种监控光阻过滤器使用寿命的系统

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种监控光阻过滤器使用寿命的系统。

背景技术

目前半导体机台的光阻过滤系统如图1所示：整个管路由光阻瓶，过滤器，光阻泵和光阻喷嘴组成箭头为光阻流动方向，其中过滤器为消耗品无定期更换；当过滤器异常时会差生大量气泡，这些气泡会随着光阻的流动一起移动直至光阻喷嘴端，当气泡到光阻泵与光阻喷嘴短时就会影响光阻喷量变少，喷吐到晶圆表面就会导致涂料减少，上述气泡产生由过滤器异常导致，而目前系统没有任何参数可以表征过滤器异常，只有一个光阻泵重装时间来监控光阻泵补液时间，当光阻泵补液时间异常时管路情况已经产生大量气泡，即目前系统不能及时抓住过滤器异常，具有延后性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能及时抓住过滤器异常，并及时处理的监控光阻过滤器使用寿命的系统。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括

一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；

一过滤器，管道连接所述光阻瓶；

一光阻泵，管道连接所述过滤器；

一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；

一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；

一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，还包括一超声波光阻流量计，设置于压力传感器二和光阻泵之间，并连接所述通讯板。

更优选的，还包括一光阻泵计数信号线，并连接所述通讯板。

更优选的，所述通讯板连接电脑主机。

更优选的，还包括一光阻喷嘴。

更优选的，所述过滤器还包括一排气管路。

更优选的，所述过滤器的排气管路上设置排气管路阀门。

更优选的，所述光阻泵前端设置光阻泵阀门。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。

附图说明

图1为现有的光阻过滤器的结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的监控光阻过滤器使用寿命的系统的结构示意图；

其中的附图标记为：

1光阻瓶；2过滤器；3光阻泵；4压力传感器一；5压力传感器二；6通讯板；7超声波光阻流量计；8光阻泵计数信号线；9主机；10光阻喷嘴；21排气管路；22排气管路阀门；31光阻泵阀门。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

图1为现有的光阻过滤器的结构示意图；图2为本实用新型的一种优选实施例的监控光阻过滤器使用寿命的系统的结构示意图。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括

一光阻瓶1，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶1中；

一过滤器2，管道连接所述光阻瓶1；

一光阻泵3，管道连接所述过滤器2；

一压力传感器一4，所述压力传感器一4设置于光阻瓶1和过滤器2之间的管道上；

一压力传感器二5，所述压力传感器二5设置于过滤器2和光阻泵3之间的管道上；

一通讯板6，连接所述压力传感器一4和压力传感器二5。

所述光阻瓶1顶端设置管道进口，管道插入到光阻瓶1中并保持光阻瓶1中的密闭性；所述过滤器2与光阻瓶1通过管道连接；

所述压力传感器一4和压力传感器二5分别设置于过滤器2的两端，压力传感器一4设置于光阻瓶1和过滤器2连接的管道部分，压力传感器二5设置于过滤器2和光阻泵3连接的管道部分；通讯板6连接压力传感器一4和压力传感器二5。

进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一超声波光阻流量计7，设置于压力传感器二5和光阻泵3之间，并连接所述通讯板6。

再进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一光阻泵计数信号线8，并连接所述通讯板6。所述光阻泵计数信号线8连接光阻泵3和通讯板6。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述通讯板6连接主机9。通讯板6连接主机9，主机9数据连接通讯板6，并接收通讯板6传来的压力传感器一4、压力传感器二5和光阻泵计数信号线8的数据信号，并在主机9上对数据信号进行判断，看其是否在常规的数据范围内，从而实现对光阻过滤器2使用寿命的监控。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一光阻喷嘴10。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述过滤器2还包括一排气管路21。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述过滤器2的排气管路21上设置排气管路阀门22。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述光阻泵3前端设置光阻泵阀门31。

本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统的操作流程为：

使用时先打开光阻泵阀门31，关闭排气管路阀门22后，将光阻泵3打开，光阻液从光阻瓶1中抽取出来，经过过滤器2和光阻泵3到达光阻喷嘴10进行光阻液的喷涂，在此过程中，主机9连通通讯板6，通讯板6再连接压力传感器一4、压力传感器二5和光阻泵计数信号线8，实时监控传输数据。

在过滤器2进口与出口存在一个压力差，当过滤器2使用时间久变脏会发生堵塞或过滤器2与光阻不匹配都会导致光阻通过性差，这时过滤器2进口与入口的压力传感器一4和压力传感器二5压力差就会变大，安装的压力传感器一4和压力传感器5的压力差变大超过限定范围后，主机9得到异常数据，就会传输信号给警报器触发报警，从而及时抓住过滤器2异常。

当过滤器2异常差生气泡时，光阻泵3做液体重装时超声波流量计7就能检测到液体重装量发生变化，同样这个量超出限定范围时主机9得到异常数据，就会传输信号给警报器触发报警，避免气泡进一步向光阻喷嘴10移动。

现有的光阻泵3没有计数功能，无法直接明了判断新的过滤器2过滤了多少光阻，目前笼统的都是以使用时间来更换的，而时间不能表征跑货量的多少，所以光阻泵3增加光阻泵计数信号线8，在换新过滤器时折个数值可以清零，这样光阻泵3就可以直接客观的反应新的过滤器2过滤光阻量。

综上所述，本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。

在本说明书的描述中，参考术语“一个较佳的实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。

Claims (8)

1.一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：包括

一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；

一过滤器，管道连接所述光阻瓶；

一光阻泵，管道连接所述过滤器；

一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；

一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；

一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。

2.根据权利要求1所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：还包括一超声波光阻流量计，设置于压力传感器二和光阻泵之间，并连接所述通讯板。

3.根据权利要求2所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：还包括一光阻泵计数信号线，并连接所述通讯板。

4.根据权利要求3所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：所述通讯板连接主机。

5.根据权利要求4所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：还包括一光阻喷嘴。

6.根据权利要求5所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：所述过滤器还包括一排气管路。

7.根据权利要求6所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：所述过滤器的排气管路上设置排气管路阀门。

8.根据权利要求7所述的监控光阻过滤器使用寿命的系统，其特征在于：所述光阻泵前端设置光阻泵阀门。