TWM522062U - 塗料混合液純化裝置 - Google Patents

Description

塗料混合液純化裝置

本創作係關於一種塗料混合液純化裝置，尤其是一種用以去除塗布於晶圓或玻璃之塗料中之低沸點成分的塗料混合液純化裝置。

製作半導體產品時，需要反覆在晶圓上塗佈阻劑(例如：正光阻或負光阻)塗料，始能順利完成微影(lithography)製程的繁複步驟，其中，塗佈阻劑的方式通常採用旋塗機以高速旋轉方式將阻劑旋塗於晶圓上。類似地，製作玻璃製品時，時常需要在玻璃表面塗佈如疏水層、絕緣層或光敏劑(photosensitizer)等功能性塗料，以形成具有防潑水、良好絕緣或可吸收光能等各種不同實用特性的玻璃。

將上述塗料塗佈於晶圓或玻璃表面的過程中，勢必有部分塗料會脫離晶圓或玻璃的表面，習知的半導體製程或玻璃製程往往將濺出的塗料視為廢液並直接丟棄。然而，隨著材料科學的不斷演進，市售之各種晶圓塗料及玻璃塗料的性質持續精進，價格也跟著水漲船高，致使過往將塗料廢液直接丟棄的作法逐漸成為生產成本居高不下的隱憂。

惟，業界缺乏一種能夠統一回收塗料廢液的裝置，僅能仰賴設置於塗佈機底部的承接盤來收集塗料廢液，再由人工進行分類回收。這種方式具有「回收塗料廢液所需成本偏高」與「所回收之塗料廢液品質不穩定」及「無法完全去除塗料廢液中之低沸點有毒成分」等缺點，使得業者對於塗料廢液回收再利用的投資始終興趣缺缺。

有鑑於此，亟需發展一種塗料混合液純化裝置，以解決上述 問題，有效回收塗料廢液以降低半導體製程或玻璃製程的生產成本。

本創作之一目的係提供一種塗料混合液純化裝置，能夠有效去除塗料廢液中的低沸點成分，且更可依據溫度變化曲線來判斷塗料廢液是否變質，確保所回收之塗料廢液並未變質損壞，具有提升塗料廢液回收品質之功效。

一種塗料混合液純化裝置，包含：至少一廢料收集桶，該廢料收集桶經由一進料閥門連接一廢料收集管路，該廢料收集桶另連接一出料閥門；一溫度調整桶，連接該廢料收集桶之出料閥門，該溫度調整桶設有一溫度調整機構及一感測器，該感測器包含一溫度偵測器，該溫度調整桶另連接一出料閥門；及一攪拌桶，連接該溫度調整桶之出料閥門，該攪拌桶設有一溶劑儲存槽、一感測器及一氣體儲存槽，該溶劑儲存槽係透過一抽液裝置連接該攪拌桶，該感測器包含一黏度偵測器及一濃度偵測器，該氣體儲存槽係透過一抽氣裝置連接該攪拌桶，該攪拌桶另具有一出料閥門以連接一塗料輸出管路。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整機構為冷凝管。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整機構為容置該溫度調節桶之恆溫箱。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該攪拌桶當中設有一攪拌棒，該攪拌棒係受一動力裝置之驅動而在該攪拌桶中旋轉。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶經由一卸料閥門以連接一廢料桶。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶係依據該感測器之溫度偵測器以判斷所容納之塗料廢液是否在一預定時間內被調 整至一預定溫度，若未達到該預定溫度即透過該卸料閥門將塗料廢液排放至該廢料桶。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該攪拌桶亦經由一卸料閥門以連接該廢料桶。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶及該攪拌桶分別設有一重量計，當該重量計所測得之重量過重，該溫度調整桶或該攪拌桶係開啟其卸料閥門以將過盛之塗料廢液排放至該廢料桶中。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該廢料收集桶、該溫度調整桶、該攪拌桶及該廢料桶必須係於水平高度上依序由上方朝下方排列設置。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該廢料收集桶、該溫度調整桶及該攪拌桶分別連接一增壓閥門，各該增壓閥門係連接分別於一加壓裝置。

本創作之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶之感測器另包含一壓力偵測器，該攪拌桶之感測器亦另包含一壓力偵測器，該塗料混合液純化裝置設有一排氣閥，該排氣閥分別透過一洩壓閥門以連通該溫度調整桶及該攪拌桶。

1‧‧‧廢料收集桶

11‧‧‧進料閥門

111‧‧‧廢料收集管路

12‧‧‧出料閥門

13‧‧‧增壓閥門

131‧‧‧加壓裝置

2‧‧‧溫度調整桶

21‧‧‧感測器

22‧‧‧卸料閥門

23‧‧‧重量計

24‧‧‧出料閥門

25‧‧‧增壓閥門

251‧‧‧加壓裝置

3‧‧‧廢料桶

4‧‧‧攪拌桶

41‧‧‧溶劑儲存槽

411‧‧‧抽液裝置

42‧‧‧攪拌棒

421‧‧‧動力裝置

43‧‧‧感測器

44‧‧‧氣體儲存槽

441‧‧‧抽氣裝置

45‧‧‧重量計

46‧‧‧卸料閥門

47‧‧‧出料閥門

471‧‧‧塗料輸出管路

48‧‧‧增壓閥門

481‧‧‧加壓裝置

5‧‧‧排氣閥

51‧‧‧洩壓閥門

52‧‧‧洩壓閥門

T‧‧‧預定溫度

B‧‧‧沸點溫度

t‧‧‧預定時間

C‧‧‧預定黏度

第1圖：係本創作較佳實施例之結構示意圖。

為讓本創作之上述及其他目的、特徵及優點能更明顯易懂，下文特舉本創作之實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：本創作所述之「上方」、「下方」、「底部」，係依地平面為基準，位於一水平高度較高之位置稱「上方」，位於一水平高度較低之位置稱 「下方」、「底部」。

請參照第1圖所示，係本創作較佳實施例之塗料混合液純化裝置，包含至少一廢料收集桶1，該廢料收集桶1經由一進料閥門11連接一廢料收集管路111，該廢料收集管路111可以連通設置於一習用塗佈機底部之承接盤，以收集由該習用塗佈機所濺出之塗料廢液，當該進料閥門11開啟時，該廢料收集管路111當中所收集的塗料廢液能夠流入該廢料收集桶1中儲存。該廢料收集桶1另連接一出料閥門12，該出料閥門12較佳連通該廢料收集桶1之底部，藉此當該出料閥門12開啟時，該廢料收集桶1可以簡單利用位能差將該廢料收集桶1中所儲存之塗料廢液由該出料閥門12向下排出。

其中，由於生產線可能同時有多台塗佈機以批次進行塗佈，或者於生產流程之不同階段需要用到相同之塗料進行塗佈，因此本實施例之塗料混合液純化裝置可以同時設有複數個廢料收集桶1，以分別回收連通於不同之習用塗佈機的廢料收集管路111所收集之塗料廢液。據此，該至少一廢料收集桶1之數量可以為一個或複數個，本創作不以此為限。

該廢料收集桶1係經由該出料閥門12以連接一溫度調整桶2，且該溫度調整桶2較佳位於該廢料收集桶1下方，使得該溫度調整桶2能夠收集由該至少一廢料收集桶1所排出的塗料廢液，並據以進行溫度調整。詳言之，該溫度調整桶2具有一溫度調整機構，該溫度調整機構可以為習用恆溫箱，用以容置該溫度調整桶2，以利用外在溫度來調節該溫度調整桶2當中所容納之塗料廢液的溫度；或者，該溫度調整桶2也可以設置如習用冷凝管以作為該溫度調整機構，用以降低該溫度調整桶2當中所容納之塗料廢液的溫度，且該溫度調整桶2可以預設該塗料廢液所欲調整達到之一預定溫度T。

在本創作中，為了提升塗料廢液回收品質之功效，依據塗料 廢液中之不同溶液的沸點差異特性，預設該塗料廢液中所要排出的溶液之一沸點溫度B，其中該預定溫度T低於該沸點溫度B，當該塗料廢液之溫度上升且超過該沸點溫度B時，藉此所要排出之溶液即先行蒸發。該溫度調整桶2還可以設有一感測器21，該感測器21較佳包含一溫度偵測器，用以量測該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液的溫度，以確認該溫度調整桶2是否成功將該塗料廢液調整至該預定溫度T之一誤差範圍內。

舉例而言，若該廢料收集桶1所儲存之塗料廢液約為〝27°~28°〞，該塗料廢液之預定溫度T為〝23°〞，且該誤差範圍設定為〝±1%〞，則該溫度調整桶2以將該塗料廢液調整至〝23±0.23°〞為目標，可以容置於溫度固定在〝23°〞的習用恆溫箱中，或者透過習用冷凝管對該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液進行降溫，該感測器21即可用以確認該溫度調整桶2是否成功將該塗料廢液之溫度調整至〝23±0.23°〞。此外，該感測器21還可以用以判斷該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液是否變質，例如若該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液的溫度遠高於或遠低於該預定溫度T，即可判定該塗料廢液已經變質損壞；又或者由於變質損壞之塗料廢液的溫度變化曲線與理想之塗料廢液不盡相同，因此該感測器21中可以預設一預定時間t，若該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液經過該預定時間t後仍未被調整至該預定溫度T，即判定該塗料廢液已經變質損壞。以上述示例而言，該預定時間t可以設定為半小時，若該至少一廢料收集桶1所儲存之塗料廢液進入該溫度調整桶2半小時後，該感測器21量測該塗料廢液之溫度仍未落在〝23±0.23°〞，即判定該塗料廢液已經變質損壞。反之，若該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液在該預定時間t內順利被調整至該預定溫度T，即判定完成溫度調整。

該溫度調整桶2經由一卸料閥門22以連接一廢料桶3，該卸料閥門22較佳連通該溫度調整桶2之底部，且該廢料桶3較佳設置於該 溫度調整桶2下方，藉此若該溫度調整桶2所容納之塗料廢液被判定已變質損壞，該溫度調整桶2將可透過該卸料閥門22將塗料廢液排放至該廢料桶3中，據以進行後續廢棄處理。此外，該溫度調整桶2還可以設有一重量計23，該重量計23較佳設置於該溫度調整桶2底部，用以量測該溫度調整桶2之整體重量，據以判斷應由該至少一廢料收集桶1接收來進行溫度調整之塗料廢液的量，進而控制該廢料收集桶1之出料閥門12的開關；或者，該重量計23之量測結果可以用來判斷該溫度調整桶2所容納之塗料廢液是否超量。由於該溫度調整桶2之容量有限，若該溫度調整桶2所收集之塗料廢液超量可能會衍生塗料廢液外洩、溫度難以調整及閥門破損等諸多問題，因此一旦該重量計23所測得之重量過重，經判定為該溫度調整桶2所容納之塗料廢液超量所造成時，該較佳實施例之廢液回收裝置將關閉該廢料收集桶1之出料閥門12，以避免該溫度調整桶2繼續接收由該至少一廢料收集桶1所排出的塗料廢液，並且適度開啟該卸料閥門22以調節該溫度調整桶2所容納之塗料廢液的量，將過盛之塗料廢液排放至該廢料桶3中。

該溫度調整桶2另經由一出料閥門24以連接一攪拌桶4，該出料閥門24較佳連通該溫度調整桶2之底部，且該攪拌桶4較佳位於該溫度調整桶2下方，使得該攪拌桶4能夠由該溫度調整桶2之出料閥門24接收完成溫度調整之塗料廢液，並據以進行黏度調整。詳言之，該攪拌桶4設有一溶劑儲存槽41，該溶劑儲存槽41中備有用以稀釋該塗料廢液之溶劑，該溶劑常見為丙二醇單甲基醚酯(propylene glycol monomethyl ether acetate,PGMEA)、丙二醇單甲基醚(propylene glycol monomethyl ether,PGME)或乙酸丁酯(butyl acetate)等習用塗料溶劑，或者為數種習用塗料溶劑之混合液，本創作不以此為限。該溶劑儲存槽41係透過一抽液裝置411連接該攪拌桶4，該抽液裝置411可以為泵或抽液馬達等習用輸液元 件，藉此，該攪拌桶4可以驅動該抽液裝置411以自該溶劑儲存槽41吸入溶劑，用以稀釋該攪拌桶4中所容納之塗料廢液。

其中，該溶劑儲存槽41中所儲存之溶劑的溫度較佳與該溫度調整桶2所預設之預定溫度T相同，以避免利用該溶劑稀釋該塗料廢液時，再度影響該塗料廢液之溫度。該攪拌桶4當中可以設有一攪拌棒42，該攪拌棒42係受一動力裝置421(例如：馬達)之驅動而運轉，進而於該攪拌桶4中旋轉以確保該溶劑及該塗料廢液能夠均勻混合，且該攪拌桶4可以預設該塗料廢液所欲調整達到之一預定黏度C。該攪拌桶4還可以設有一感測器43，該感測器43較佳包含一黏度偵測器及一濃度偵測器，用以量測該攪拌桶4中所容納之塗料廢液的黏度及濃度，以確認該攪拌桶4是否成功將該塗料廢液調整至該預定黏度C之一誤差範圍內。

舉例來說，若該塗料廢液之預定黏度C為〝15cP〞且該誤差範圍設定為〝±1%〞，則該攪拌桶4以將該塗料廢液調整至〝15±1.5cP°〞為目標，當該感測器43量測該塗料廢液之黏度超出〝15.15cP〞時，該攪拌桶4可以驅動該抽液裝置411以自該溶劑儲存槽41吸入溶劑以進行稀釋；反之，當該感測器43量測該塗料廢液之黏度低於〝14.85cP〞時，該攪拌桶4可以由該溫度調整桶2之出料閥門24接收更多完成溫度調整之塗料廢液，以提高該感測器43中所容納之塗料廢液的黏度。當該攪拌桶4中所容納之塗料廢液順利被調整至該預定黏度C，即判定完成黏度調整。

其中，該攪拌桶4設有一氣體儲存槽44，該氣體儲存槽44用以儲存該塗料廢液進行攪拌時所產生的氣體，該氣體儲存槽44係透過一抽氣裝置441連接該攪拌桶4，該抽氣裝置441可以為泵或抽液馬達等習用輸液元件，藉此，該攪拌桶4可以驅動該抽氣裝置441以自該攪拌桶吸入氣體，用以純化該攪拌桶4中所容納之塗料廢液。詳言之，該攪拌棒42在進行攪拌時，會造成該攪拌桶4內之塗料廢液溫度上升，當該塗料廢液 溫度超過所要排出的溶液之沸點溫度B時，根據該塗料廢液中之溶液不同沸點之特性，即可將所要排出的溶液先行蒸發，能夠有效去除塗料廢液中之低沸點有毒成份，以達到純化該塗料廢液之功效。

此外，該攪拌桶4也可以設有一重量計45，該重量計45較佳設置於該攪拌桶4底部，用以量測該攪拌桶4之整體重量，配合該感測器43所測得之黏度及濃度數值，據以判斷應自該溶劑儲存槽41吸入之溶劑的量(當該攪拌桶4所容納之塗料廢液需要稀釋時)或是由該溫度調整桶2之出料閥門24接收之塗料廢液的量(當該攪拌桶4所容納之塗料廢液黏度不足時)，進而控制該抽液裝置411或該溫度調整桶2之出料閥門24的開關；或者，該重量計45之量測結果可以用來判斷該攪拌桶4所容納之塗料廢液是否超量。一旦該重量計45所測得之重量過重，經判定為該攪拌桶4所容納之塗料廢液超量所造成時，該較佳實施例之廢液回收裝置將關閉該溫度調整桶2之出料閥門24，以避免該攪拌桶4繼續由該溫度調整桶2接收塗料廢液，並且立即停止驅動該抽液裝置411，以避免自該溶劑儲存槽41繼續吸入溶劑。同時，該攪拌桶4還可以經由一卸料閥門46以連接該廢料桶3，該卸料閥門46較佳連通該攪拌桶4之底部，且該廢料桶3較佳設置於該攪拌桶4下方，藉此，該攪拌桶4將可適度開啟該卸料閥門46以調節該攪拌桶4所容納之塗料廢液的量，將過盛之塗料廢液排放至該廢料桶3中，以利繼續進行黏度調整作業。

該攪拌桶4另經由一出料閥門47以連接一塗料輸出管路471，該出料閥門47較佳連通該攪拌桶4之底部，當該出料閥門47開啟時，該攪拌桶4當中完成黏度調整之塗料廢液可以經由該塗料輸出管路471輸出，以供使用者儲存或者再利用。

值得注意的是，若該廢料收集桶1與該溫度調整桶2之間、該溫度調整桶2與該攪拌桶4之間、該溫度調整桶2與該廢料桶3之間以 及該攪拌桶4與該廢料桶3之間的單純仰賴位能差來驅使塗料廢液流通，則該廢料收集桶1、該溫度調整桶2、該攪拌桶4及該廢料桶3必須依序由上方朝下方排列設置。然而，該較佳實施例塗料混合液純化裝置之各構件若需在水平高度上形成所述之排列關係，將造成實際裝設困難，且勢必會耗費額外空間來產生所需之高度差，導致該廢液回收裝置難以廣泛適用於各式廠房當中。

據此，該廢料收集桶1、該溫度調整桶2及該攪拌桶4較佳分別連接一增壓閥門13、25、48，各該增壓閥門13、25、48係分別連接於一加壓裝置131、251、481，各該加壓裝置131、251、481可以為空壓機等習用增壓機構。藉此，當該增壓閥門13開啟時，該加壓裝置131將可以提升該廢料收集桶1中的壓力，以迫使該廢料收集桶1中所儲存之塗料廢液由該出料閥門12排出；再者，當該增壓閥門25開啟時，該加壓裝置251亦可以提升該溫度調整桶2中的壓力，以迫使該溫度調整桶2中所容納之塗料廢液由該卸料閥門22或該出料閥門24排出；此外，當該增壓閥門48開啟時，該加壓裝置481同樣可以提升該攪拌桶4中的壓力，以迫使該攪拌桶4中所容納之塗料廢液由該卸料閥門46或該出料閥門47排出。藉由上述結構，該廢料收集桶1、該溫度調整桶2、該攪拌桶4及該廢料桶3之相對位置毋須特別設計，仍然能夠藉由各該加壓裝置131、251、481以確保塗料廢液能夠相互流通。

除此之外，該溫度調整桶2之感測器21除了包含該溫度偵測器外，還可以另包含一壓力偵測器，用以量測該溫度調整桶2中的壓力；同理，該攪拌桶4之感測器43除了包含該黏度偵測器外，還可以另包含一壓力偵測器，用以量測該攪拌桶4中的壓力。本創作較佳實施例之塗料混合液純化裝置還可以設有一排氣閥5，該排氣閥5較佳透過一洩壓閥門51以連通該溫度調整桶2，並透過另一洩壓閥門52以連通該攪拌桶2。藉此， 若該溫度調整桶2接收由該至少一廢料收集桶1所排出的塗料廢液時造成內部壓力上升，一但該感測器21偵測到該溫度調整桶2之壓力過高時，可以開啟該洩壓閥門51以利用該排氣閥5進行卸壓；相對地，若該溫度調整桶2接收由該溫度調整桶2所排出的塗料廢液時造成內部壓力上升，一但該感測器43偵測到該攪拌桶4之壓力過高時，可以開啟該洩壓閥門52以利用該排氣閥5進行卸壓，俾使該較佳實施例之塗料混合液純化裝置具有更為良好之使用安全性。

再者，為了保證該塗料輸出管路471所輸出之塗料廢液的品質穩定性，該攪拌桶4之感測器43還可以包含一溫度偵測器，以對該攪拌桶4所容納之塗料廢液的溫度再次進行確認，以確保由該塗料輸出管路471所輸出之塗料廢液並未變質損壞，方能有效回收並進一步利用。

藉由上述結構，本創作較佳實施例之塗料混合液純化裝置係利用至少一廢料收集桶1以收集由習用塗佈機所濺出之塗料廢液，再以一溫度調整桶2接收該至少一廢料收集桶1中的廢液，據以進行溫度調整，並且，另以一攪拌桶4由該溫度調整桶2接收完成溫度調整之塗料廢液，對其進行黏度調整，進而固定由該至少一廢料收集桶1所回收之塗料廢液的溫度與黏度，以供使用者儲存或者再利用。

綜上所述，本創作之塗料混合液純化裝置能夠回收塗料廢液並且據以調整其溫度及黏度，以產生性質固定之回收廢液供進一步利用。相較單純仰賴人工進行分類回收，所回收之塗料廢液之性質會因變異性較大而難以再次利用，本創作之塗料混合液純化裝置確實具有降低生產成本之功效。

再者，本創作之塗料混合液純化裝置能夠偵測一溫度調整桶所容納之塗料廢液是否在一預定時間t內被調整至一預定溫度T，以依據溫度變化曲線來判斷該塗料廢液是否變質，確保所回收之塗料廢液並未變 質損壞，確實具有提升塗料廢液回收品質之功效。

雖然本創作已利用上述實施例揭示，然其並非用以限定本創作，任何熟習此技藝者在不脫離本創作之精神和範圍之內，相對上述實施例進行各種更動與修改仍屬本創作所保護之技術範疇，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧廢料收集桶

11‧‧‧進料閥門

111‧‧‧廢料收集管路

12‧‧‧出料閥門

13‧‧‧增壓閥門

131‧‧‧加壓裝置

2‧‧‧溫度調整桶

21‧‧‧感測器

22‧‧‧卸料閥門

23‧‧‧重量計

24‧‧‧出料閥門

25‧‧‧增壓閥門

251‧‧‧加壓裝置

3‧‧‧廢料桶

4‧‧‧攪拌桶

41‧‧‧溶劑儲存槽

411‧‧‧抽液裝置

42‧‧‧攪拌棒

421‧‧‧動力裝置

43‧‧‧感測器

44‧‧‧氣體儲存槽

441‧‧‧抽氣裝置

45‧‧‧重量計

46‧‧‧卸料閥門

47‧‧‧出料閥門

471‧‧‧塗料輸出管路

48‧‧‧增壓閥門

481‧‧‧加壓裝置

5‧‧‧排氣閥

51‧‧‧洩壓閥門

52‧‧‧洩壓閥門

Claims (11)

1. 一種塗料混合液純化裝置，包含：至少一廢料收集桶，該廢料收集桶經由一進料閥門連接一廢料收集管路，該廢料收集桶另連接一出料閥門；一溫度調整桶，連接該廢料收集桶之出料閥門，該溫度調整桶設有一溫度調整機構及一感測器，該感測器包含一溫度偵測器，該溫度調整桶另連接一出料閥門；及一攪拌桶，連接該溫度調整桶之出料閥門，該攪拌桶設有一溶劑儲存槽、一感測器及一氣體儲存槽，該溶劑儲存槽係透過一抽液裝置連接該攪拌桶，該感測器包含一黏度偵測器及一濃度偵測器，該氣體儲存槽係透過一抽氣裝置連接該攪拌桶，該攪拌桶另具有一出料閥門以連接一塗料輸出管路。
2. 如申請專利範圍第1項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整機構為冷凝管。
3. 如申請專利範圍第1項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整機構為容置該溫度調節桶之恆溫箱。
4. 如申請專利範圍第1項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該攪拌桶當中設有一攪拌棒，該攪拌棒係受一動力裝置之驅動而在該攪拌桶中旋轉。
5. 如申請專利範圍第1、2、3或4項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶經由一卸料閥門以連接一廢料桶。
6. 如申請專利範圍第5項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶係依據該感測器之溫度偵測器以判斷所容納之塗料廢液是否在一預定時間內被調整至一預定溫度，若未達到該預定溫度即透過該卸料閥門將塗料廢液排放至該廢料桶。
7. 如申請專利範圍第5項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該攪拌桶亦經由一卸料閥門以連接該廢料桶。
8. 如申請專利範圍第7項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶及該攪拌桶分別設有一重量計，當該重量計所測得之重量過重，該溫度調整桶或該攪拌桶係開啟其卸料閥門以將過盛之塗料廢液排放至該廢料桶中。
9. 如申請專利範圍第5項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該廢料收集桶、該溫度調整桶、該攪拌桶及該廢料桶必須係於水平高度上依序由上方朝下方排列設置。
10. 如申請專利範圍第1、2、3或4項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該廢料收集桶、該溫度調整桶及該攪拌桶分別連接一增壓閥門，各該增壓閥門係連接分別於一加壓裝置。
11. 如申請專利範圍第1、2、3或4項所述之塗料混合液純化裝置，其中，該溫度調整桶之感測器另包含一壓力偵測器，該攪拌桶之感測器亦另包含一壓力偵測器，該塗料混合液純化裝置設有一排氣閥，該排氣閥分別透過一洩壓閥門以連通該溫度調整桶及該攪拌桶。