TWM483823U

TWM483823U - 使用過的矽冷卻液處理裝置

Info

Publication number: TWM483823U
Application number: TW103203334U
Authority: TW
Inventors: Kazuma Inoue; Yoshiki Nobuto; Dai Ogita; Masayuki Tamai; Eiji Motooka
Original assignee: Kuraray Co
Priority date: 2013-06-04
Filing date: 2014-02-26
Publication date: 2014-08-11
Also published as: JP6137945B2; JP2014233813A; CN203428960U

Description

使用過的矽冷卻液處理裝置

本新型係關於一種使用過的矽冷卻液處理裝置。

以往已知如日本特開2010-221337號公報所公開的用於處理被使用過的冷卻液(以下稱作使用過的矽冷卻液)以使使用過的冷卻液能夠再利用的處理裝置。基於製造成本的觀點，使用過的冷卻液被再利用，但由於含有切削屑及磨粒等，因此無法直接使用。為此，所述處理裝置將切削屑等去除，而實施將使用過的冷卻液變為可再利用狀態的處理。具體而言，日本特開2010-221337號公報所公開的處理裝置中，設置有從使用過的冷卻液分離磨粒及切削屑等的離心分離機、以及從通過離心分離機去除了磨粒及切削屑等的冷卻液中進一步將切削屑等進行膜分離的膜模塊。

膜模塊中設置有形成有微細孔的分離膜，導入膜模塊內的原液(使用過的冷卻液)分離為通過分離膜的微細孔的濾液和無法通過微細孔的濃縮液。並且，當進行膜過濾時，附著於膜面的堆積物量會逐漸增加而導致膜差壓上升，因此須用處理液對膜面進行與濾液的流動方向反向的逆洗。

作為分離膜，可使用中空纖維膜。而且，在使用中空纖維膜的情況下，可采用將經泵加壓的原液導入中空纖維膜內以使濾液從膜的內側流出到外側的方案。此時，通過利用逆洗用流體從外側對中空纖維膜施加壓力來進行逆洗。

當使用中空纖維膜來作為分離膜時，從原液的入口側至出口側的壓力損失增大。因此，在中空纖維膜中，原液的入口附近的過濾量較多，出口附近的過濾量較少。因此，附著於膜面的堆積物在入口附近也較多，而在出口附近較少。

進行逆洗時，在維持原液流動的狀態下，通過逆洗用流體施加外壓，但由於在入口附近，原液的壓力高，因此逆洗用流體的外壓難以發揮作用。因此，在更多的堆積物附著的入口附近難以獲得逆洗效果。

尤其是用於切斷矽錠的矽冷卻液由於黏度高，因此原液(使用過的矽冷卻液)的入口側的壓力與出口側的壓力間的壓力損失大。因此，在入口附近無法獲得逆洗效果的情況變得顯著。

本新型的目的在於提供一種解決上述問題的使用過的矽冷卻液處理裝置。具體而言，本新型的目的在於提供一種能夠提高逆洗效果的使用過的矽冷卻液處理裝置。

本新型所涉及的使用過的矽冷卻液處理裝置包括：膜模塊，具有中空纖維膜；第一流路，連結於所述膜模塊的一端部；第二流路，連結於所述膜模塊的另一端部；泵，送出由使用過的矽冷卻液構成的原液；方向切換機構，能夠在從所述泵送出的所述原液從所述第一流路流入所述膜模塊的所述中空纖維膜內部的第一狀態、與所述原液從所述第二流路流入所述膜模塊的所述中空纖維膜內部的第二狀態之間，切換所述原液往所述膜模塊內的流動方向；逆洗機構，利用逆洗用流體直接或間接對所述中空纖維膜施加外壓，以進行所述中空纖維膜的逆洗；濾液流出通路，使經所述膜模塊過濾的濾液從所述膜模塊流出；第一排出通路，排出將從所述第一流路流入所述中空纖維膜內部的原液濃縮的濃縮液；第二排出通路，排出將從所述第二流路流入所述中空纖維膜內部的原液濃縮的濃縮液；其中，所述方向切換機構被構成為，在所述泵被驅動而進行過濾時與利用所述逆洗機構進行所述中空纖維膜的逆洗時之間的期間，能夠在所述第一狀態與所述第二狀態之間切換所述原液往所述膜模塊內的流動方向。

10‧‧‧使用過的矽冷卻液處理裝置

12‧‧‧膜模塊

14‧‧‧導入通路

14a‧‧‧送出通路

14b‧‧‧第一流路

14c‧‧‧第二流路

16‧‧‧濾液流出通路

18‧‧‧排出通路

18a‧‧‧第一排出通路

18b‧‧‧第二排出通路

20‧‧‧原液罐

24‧‧‧框體

24a‧‧‧原液側開口

24b‧‧‧原液側開口

24c‧‧‧濾液側開口

28‧‧‧中空纖維膜

30‧‧‧放液機構

30a‧‧‧開閉閥

34‧‧‧方向切換機構

38‧‧‧逆洗機構

38a‧‧‧流體供應通路

38c‧‧‧過濾器

38d‧‧‧球閥

42‧‧‧控制面板

44‧‧‧控制部

46‧‧‧控制用流路

46a‧‧‧過濾器

46b‧‧‧球閥

51‧‧‧第一壓力計

52‧‧‧第二壓力計

54‧‧‧旁通路

54a‧‧‧開閉閥

AV-1‧‧‧第一流入側開閉閥

AV-2‧‧‧第一流出側開閉閥

AV-3‧‧‧第二流入側開閉閥

AV-4‧‧‧第二流出側開閉閥

AV-5‧‧‧開閉閥

FL‧‧‧流量計

P-1‧‧‧泵

PL‧‧‧流體壓力

PO‧‧‧外壓

SV-1‧‧‧逆洗用開閉閥

圖1是表示本新型的實施方式所涉及的使用過的矽冷卻液處理裝置的概略結構的圖。

圖2是用於說明在過濾工程與逆洗工程之間維持原液的流動方向時之原液的流體壓力與逆洗用流體的外壓之間的關係的圖。

圖3是用於說明在過濾工程與逆洗工程之間切換原液的流動方向時之原液的流體壓力與逆洗用流體的外壓之間的關係的圖。

以下，參照附圖詳細說明用於實施本新型的形態。

圖1概略表示本新型所涉及的使用過的矽冷卻液處理裝置的一實施方式。如圖1所示，本實施方式所涉及的使用過的矽冷卻液處理裝置(以下簡稱作處理裝置)10具備泵P-1、膜模塊12、將從泵P-1送出的原液(使用過的矽冷卻液)導向膜模塊12的導入通路14、供經膜模塊12過濾的濾液流動的濾液流出通路16、及排出經膜模塊12由原液濃縮的濃縮液的排出通路18。

泵P-1將貯留在原液罐20中的原液抽吸，並從噴出口噴出。

膜模塊12的結構為在細長形狀的框體24內設有中空纖維膜28。中空纖維膜28的內部通過分別設置在框體24的長度方向的端部的原液側開口24a、24b而與框體24的外部連通。即，膜模塊12構成為將原液導入中空纖維膜28內的內壓式膜模塊12。另一方面，在框體24的側面，形成有使框體24的內部空間(中空纖維膜28的外側空間)與框體24外部連通的濾液側開口24c。通過中空纖維膜28而過濾的過濾液通過該濾液側開口24c被導出到框體24的外部。而且，利用該濾液側開口24c，還能夠如後所述般將逆洗用流體導入膜模塊12內。

在膜模塊12中，設置有放液機構30。放液機構30構成為具備開閉閥30a，通過開放該開閉閥30a，能夠排出膜模塊12內的液體。

導入通路14包括送出通路14a、第一流路14b 及第二流路14c。送出通路14a的一端部(上游端部)連接於泵P-1的噴出口。從泵P-1噴出的原液流入送出通路14a。在送出通路14a中設有流量計FL。

第一流路14b具有連接於送出通路14a的另一端部(下游端部)的一端部、及連接於設置在膜模塊12的一端部(下端部)的一個原液側開口24a的另一端部。第二流路14c具有連接於送出通路14a的另一端部(下游端部)的一端部、及連接於設置在膜模塊12的另一端部(上端部)的另一個原液側開口24b的另一端部。即，導入通路14中，從送出通路14a分支為第一流路14b及第二流路14c。並且，流經送出通路14a的原液被導入第一流路14b或第二流路14c。

濾液流出通路16的一端部連接於膜模塊12的濾液側開口24c。在濾液流出通路16中，流經有在膜模塊12內經過濾的濾液。濾液流出通路16的另一端部成為濾液的出口。在濾液流出通路16中，在比流體供應通路38a的連接部更下游側設置有開閉閥AV-5。

排出通路18包括第一排出通路18a及第二排出通路18b。第一排出通路18a的一端部連接於第二流路14c，在第一排出通路18a中，流動有由從第一流路14b流入中空纖維膜28內部的原液濃縮的濃縮液。即，如後所述，當方向切換機構34切換為第一狀態時，從第一流路 14b導入膜模塊12內的原液在膜模塊12(中空纖維膜28)內經濃縮而成為濃縮液之後，經由第二流路14c被導入第一排出通路18a。因此，第一排出通路18a在原液從第一流路14b導入膜模塊12內的情況下，排出濃縮液。流經第一排出通路18a的濃縮液返回原液罐20。

第二排出通路18b的一端部連接於第一流路 14b，在第二排出通路18b中，流動有由從第二流路14c流入中空纖維膜28內部的原液濃縮的濃縮液。即，如後所述，在方向切換機構34切換為第二狀態的情況下，從第二流路14c導入膜模塊12內的原液在膜模塊12(中空纖維膜28)內經濃縮而成為濃縮液之後，經由第一流路14b被導入第二排出通路18b。因此，第二排出通路18b在原液從第二流路14c導入膜模塊12內的情況下，排出濃縮液。流經第二排出通路18b的濃縮液返回原液罐20。

另外，本實施方式中，構成為第一排出通路 18a的另一端部(下游端)與第二排出通路18b的另一端部(下游端)相互連接的結構，但並不限於此。也可構成為第一排出通路18a及第二排出通路18b分別獨立地使濃縮液返回原液罐20。

而且，並不限於第一排出通路18a連接於第二流路14c，第二排出通路18b連接於第一流路14b的結構。也可取而代之而構成為第一排出通路18a及第二排出通路18b直接連接於膜模塊12。

本實施方式所涉及的處理裝置10具備：用於切換原液往膜模塊12內的流動方向的方向切換機構34、用於進行中空纖維膜28的逆洗的逆洗機構38、以及控制面板42。控制面板42的功能包括控制逆洗機構38及所述方向切換機構34的控制部44。

方向切換機構34具有：設置在第一流路14b 中的第一流入側開閉閥AV-1、設置在第二流路14c中的第二流入側開閉閥AV-3、設置在第一排出通路18a中的第一流出側開閉閥AV-2、以及設置在第二排出通路18b中的第二流出側開閉閥AV-4。本實施方式中，流入側開閉閥AV-1、AV-3及流出側開閉閥AV-2、AV-4均由通過空氣壓來開閉的球閥所構成。

另外，流入側開閉閥AV-1、AV-3及流出側開閉閥AV-2、AV-4的結構並不限於此。例如，流入側開閉閥AV-1、AV-3及流出側開閉閥AV-2、AV-4也可由通過電信號來開閉的電磁閥所構成。

方向切換機構34並不限於具備第一流入側開閉閥AV-1及第二流入側開閉閥AV-3的結構。也可取而代之，方向切換機構34具備配置於送出通路14a、第一流路14b及第二流路14c的連接部處的三向閥。該三向閥具有能夠切換為原液從送出通路14a流向第一流路14b的第一狀態、與原液從送出通路14a流向第二流路14c的第二狀態的結構。

逆洗機構38具有用於供逆洗用流體流動的流體供應通路38a以及設置在流體供應通路38a中的逆洗用開閉閥SV-1。逆洗用開閉閥SV-1由電磁閥所構成，但並不限於此，也可由球閥所構成。

流體供應通路38a的一端部(流入端)構成為用於使逆洗用流體流入的端部，在該端部，例如能夠連接圖外的壓縮機。流體供應通路38a的另一端部(流出端)連接於比濾液流出通路16中的開閉閥AV-5更上游側(膜模塊12側)的部位。另外，流體供應通路38a的另一端部(流出端)也可直接連接於膜模塊12的框體24。

本實施方式中，使用空氣來作為逆洗用流體。膜模塊12既可構成為逆洗用流體對中空纖維膜28直接施加外壓，也可構成為利用該逆洗用流體經由其他流體對中空纖維膜28施加外壓。

當在關閉濾液流出通路16的開閉閥AV-5並且打開逆洗用開閉閥SV-1的狀態下，向流體供應通路38a導入逆洗用流體時，逆洗用流體朝向膜模塊12的內部流動。逆洗用流體的壓力作用於中空纖維膜28的外表面，從而能夠逆洗中空纖維膜28。

在流體供應通路38a中，設置有過濾器38c與球閥38d。過濾器38c去除流經流體供應通路38a內的空氣中的異物。球閥38d在處理裝置10停止時等關閉，而且在啟動時也暫時關閉。球閥38d也可予以省略。

在流體供應通路38a上，在比球閥38d更上游側，連接有控制用流路46的一端部。該控制用流路46的另一端部連接於設置在控制面板42內的省略圖示的控制閥。控制用流路46內的空氣壓被用作控制閥的先導壓。控制閥被用於開閉閥AV-1~AV-5等的開閉用空氣壓的供應切換。

在控制用流路46中，設置有過濾器46a與球閥 46b。過濾器46a去除流經流體供應通路38a內的空氣中的異物。球閥46b在處理裝置10停止時等關閉，而且在啟動時也暫時關閉。

控制部44構成為，每當進行過濾工程時，在第一狀態與第二狀態之間切換原液往膜模塊12內的流動方向。第一狀態下，成為第一流入側開閉閥AV-1及第一流出側開閉閥AV-2開放並且第二流入側開閉閥AV-3及第二流出側開閉閥AV-4關閉的狀態。第二狀態下，成為第二流入側開閉閥AV-3及第二流出側開閉閥AV-4開放並且第一流入側開閉閥AV-1及第一流出側開閉閥AV-2關閉的狀態。即，控制部44每當進行過濾工程時進行控制，以使方向切換機構34在第一狀態與第二狀態之間切換原液往膜模塊12內的流動方向。控制部44對各種開閉閥AV-1~AV-5的開閉切換通過設置在控制面板42內的省略圖示的控制閥來進行。控制閥送出根據空氣壓的控制信號。另外，控制閥的控制信號並不限於根據空氣壓的信號。例如，在各種開閉閥AV-1~AV-5由電磁閥所構成的情況下，也可根據電信號來進行各種開閉閥AV-1~AV-5的開閉切換。

控制部44在進行逆洗的逆洗工程中進行控制，以關閉濾液流出通路16的開閉閥AV-5並且打開逆洗用開閉閥SV-1。另外，在進行逆洗時，在第一狀態與第二狀態之間不進行切換。另一方面，控制部44在進行原液過濾的過濾工程中進行控制，以開放濾液流出通路16的開閉閥AV-5並且關閉逆洗用開閉閥SV-1。

本實施方式所涉及的處理裝置10具備第一壓力計51、第二壓力計52及旁通路54。第一壓力計51構成為設置在第一流路14b中，檢測流經第一流路14b的原液的壓力。第二壓力計52構成為設置在第二流路14c中，檢測流經第二流路14c的原液的壓力。第一壓力計51及第二壓力計52被設置在相同的高度位置。

旁通路54連通送出通路14a與排出通路18。本實施方式中，旁通路54的一端連接於第二排出通路18b。

在旁通路54中，設置有開閉閥54a。本實施方式中，開閉閥54a由可調整開度的閥(蝶閥)所構成。當第一壓力計51或第二壓力計52的檢測值大於預先設定的壓力值時，開放開閉閥54a或者加大開度，從而能夠以送出通路14a的原液繞過膜模塊12的方式使原液流向排出通路18。另外，該開閉閥54a並不限於可調整開度的閥。

此處，對本實施方式所涉及的處理裝置10的運轉動作，即使用過的矽冷卻液處理方法進行說明。

如表1所示，使用過的矽冷卻液處理方法包含過濾工程、切換工程、穩定化工程及逆洗工程，依序進行這些工程。這一連串的工程能夠反覆進行。

表1中表示為工程No.1的過濾工程(第一過濾工程)中，方向切換機構34被切換為第一狀態。即，成為第一流入側開閉閥AV-1及第一流出側開閉閥AV-2開放並且第二流入側開閉閥AV-3及第二流出側開閉閥AV-4關閉的狀態。並且，過濾工程中，成為濾液流出通路16的開閉閥AV-5開放並且逆洗用開閉閥SV-1關閉的狀態。當在該狀態下泵P-1被驅動時，從原液罐20受到抽吸而從泵P-1送出的原液如圖中的虛線箭頭所示，流經送出通路14a及第一流路14b，並通過圖下側的原液側開口24a流入中空纖維膜28的內部。經中空纖維膜28過濾的濾液通過濾液側開口24c而流出至濾液流出通路16，濾液從濾液流出通路16的出口得到回收。另一方面，在中空纖維膜28的內部經濃縮的濃縮液經由第二流路14c流入第一排出通路18a，隨後返回原液罐20。該過濾工程如表2所示，較為理想的是進行5~60分鐘，更理想的是進行10~30分鐘。

當過濾工程進行指定時間時，到達切換工程( 第一切換工程)(表1中的工程No.2)。切換工程中，方向切換機構34從第一狀態切換為第二狀態。即，成為第一流入側開閉閥AV-1、第一流出側開閉閥AV-2及濾液流出通路16的開閉閥AV-5關閉並且第二流入側開閉閥AV-3及第二流出側開閉閥AV-4開放的狀態。另外，在切換工程中，泵P-1停止。

繼而，執行穩定化工程(第一穩定化工程)(工程No.3)。在方向切換機構34剛切換之後，液體的流動不穩定，因此作為直至液體穩定地流動為止的工程，進行穩定化工程。穩定化工程中，在各開閉閥AV-1~AV-5、SV-1維持與切換工程同樣的狀態下，泵P-1被驅動。穩定化工程較為理想的是進行1~15分鐘，更理想的是進行1~5分鐘。

在該穩定化工程中，由於方向切換機構34從第一狀態切換為第二狀態，因此從原液罐20受到抽吸而從泵P-1送出的原液如圖中的實線箭頭所示，流經送出通路14a及第二流路14c，並通過圖上側的原液側開口24b流入中空纖維膜28的內部。在中空纖維膜28的內部經濃縮的濃縮液經由第一流路14b流入第二排出通路18b，隨後返回原液罐20。

當穩定化工程進行既定時間時，移至逆洗工程(第一逆洗工程)(工程No.4)。逆洗工程中，開放逆洗用開閉閥SV-1。此時，濾液流出通路16的開閉閥AV-5仍保持關閉。因此，通過流體供應通路38a，作為逆洗用流體的空氣被導入膜模塊12的框體24內。由此，對中空纖維膜28的外表面施加壓力。此時，原液流入中空纖維膜28的內部，因此堵塞在中空纖維膜28的微細孔中的異物從中空纖維膜28脫離，並與原液一同排出到膜模塊12的外部。逆洗工程如表2所示，較為理想的是進行1~180秒，更理想的是進行1~60秒。

當逆洗工程結束時，移至過濾工程(第二過濾工程)(工程No.5)。過濾工程中，關閉逆洗用開閉閥SV-1並且開放濾液流出通路16的開閉閥AV-5。該第二過濾工程中，原液往膜模塊12內的流入方向不同於第一過濾工程，但除此以外與第一過濾工程同樣。

當過濾工程結束時，移至切換工程(第二切換工程)(工程No.6)。該切換工程中，方向切換機構34從第二狀態切換為第一狀態。即，成為第一流入側開閉閥AV-1及第一流出側開閉閥AV-2開放並且第二流入側開閉閥AV-3及第二流出側開閉閥AV-4關閉的狀態。以後，依次進行穩定化工程(第二穩定化工程)、逆洗工程(第二逆洗工程)(工程No.7~8)。這些工程中，原液往膜模塊12內的流入方向也不同於前次進行的各工程，但除此以外皆相同。並且，再次返回工程No.1，以後重複各工程。

所述各工程中，通過第一壓力計51及第二壓力計52，檢測第一流路14b內的壓力及第二流路14c內的壓力。並且，當檢測出的壓力超過預定的值時，控制面板42將旁通路54的開閉閥54a開放(或加大開度)。另外，開閉閥54a的操作並不限於通過控制面板42來自動進行，也可人為進行。

此處，參照圖2及圖3來說明每當進行過濾工程時，切換原液往膜模塊12內的流入方向的理由。

如圖2所示，假設在過濾工程中，原液從上朝下流經中空纖維膜28的內部。此時，對於如使用過的矽冷卻液般黏性大的流體而言，流經中空纖維膜28內時的壓力損失大，因此從內側按壓中空纖維膜28的流體壓力PL越往下部越大，越往上部越小(參照圖2(a))。因此，在中空纖維膜28的下側進行更多的過濾，堵塞在微細孔中的異物也是越往中空纖維膜28的下側越多。

當在維持原液的流動方向的狀態下移至逆洗工程時，在原液的流體壓力PL大的中空纖維膜28的下部，逆洗用流體的外壓PO難以發揮作用，而在原液的流體壓力小的中空纖維膜28的上部，逆洗用流體的外壓PO發揮較大的作用(參照圖2(b))。因此，越往異物堵塞多的下側，越無法使逆洗用流體的壓力(外壓PO)發揮作用，因此無法有效地進行逆洗(參照圖2(c))。

與此相對地，如圖3所示，在從過濾工程(圖 3(a))移至逆洗工程(圖3(b))之前，使原液的流動方向逆轉的情況下，越往異物堵塞多的下側，越能夠使大的逆洗用流體的壓力PO發揮作用。即，由於原液從上朝下流動，因此越往下側，原液的流體壓力PL越小，逆洗用流體的壓力PO越容易發揮作用。由此，能夠有效地進行逆洗。在過濾工程中，原液從上朝下流動(圖3(c))，且在逆洗工程中，原液從下朝上流動的情況下(圖3(d))也同樣如此。

如以上所說明的，本實施方式中，在進行過濾時、與通過逆洗機構38進行膜模塊12內的中空纖維膜28的逆洗時之間的期間，方向切換機構34進行原液往膜模塊12內的流動方向的切換。因此，例如，當處於從泵P-1送出的原液從第一流路14b流入膜模塊12的中空纖維膜28內部的第一狀態時，經膜模塊12過濾的濾液從濾液流出通路16流出，另一方面，濃縮液從第一排出通路18a排出。此時，原液從膜模塊12的一端部側流入中空纖維膜28的內部，因此在一端部側過濾量多，附著於膜面的堆積物也多。而且，越往一端部側，原液的壓力PL越高，另一端部側的原液的壓力PL低。在此狀態下，在進行逆洗之前，方向切換機構34將原液往膜模塊12內的流動方向由第一狀態切換為第二狀態。由此，經膜模塊12過濾的濾液從濾液流出通路16流出，另一方面，濃縮液從第二排出通路18b排出。在此狀態下，原液從膜模塊12的另一端部側流入中空纖維膜28的內部，因此一端部側的原液的壓力PL低，另一端部側的原液的壓力PL高。因此，當通過逆洗用流體進行中空纖維膜28的逆洗時，在一端部側，更大的外壓PO作用於中空纖維膜28的外表面。因此，能夠高效地進行堆積物附著多的一端部側的逆洗。另一方面，進行第二狀態下的過濾之後且進行逆洗之前，通過將原液往膜模塊12內的流動方向切換為第一狀態，從而能夠高效地進行膜模塊12的另一端側的逆洗。

並且，本實施方式中，每當進行過濾工程時，切換原液往膜模塊12內的流動方向，以進行原液的過濾。因此，能夠在膜模塊12的一端側及另一端側這兩端側高效地進行逆洗。並且，每當進行過濾工程時切換方向，因此能夠延長膜模塊12的壽命。

而且，本實施方式中，使用空氣作為逆洗用流體，因此能夠抑制逆洗所需的成本，並且，由於在流體供應通路38a中設置有過濾器38c，因此能夠去除侵入流體供應通路38a內的異物。

而且，本實施方式中，設置有第一壓力計51 及第二壓力計52，因此能夠檢測第一流路14b內及第二流路14c內的原液的壓力。並且，當第一壓力計51或第二壓力計52的檢測壓力變高時，通過開放旁通路54的開閉閥54a，能夠使從泵P-1送出的原液流向旁通路54。由此，能夠降低第一流路14b或第二流路14c的原液的壓力。因此，能夠減輕泵P-1的負載。

而且，本實施方式中，在膜模塊12中設置有放液機構30，因此在更換中空纖維膜28時等，能夠通過放液機構30放出膜模塊12內的液體。

而且，本實施方式中，逆洗機構38及方向切換機構34由控制部44予以控制，因此能夠自動切換原液往膜模塊12內的流動方向。

而且，本實施方式中，當進行逆洗時，方向切換機構34在第一狀態與第二狀態之間不進行切換，因此能夠穩定地進行逆洗。

另外，本新型並不限於所述實施方式，能夠在不脫離其主旨的範圍內進行各種變更、改良等。例如，所述實施方式中，在連結於泵P-1的送出通路14a上，連接有第一流路14b及第二流路14c，但並不限於此。也可取而代之，具備兩個泵P-1，在第一流路14b及第二流路14c上分別連接泵P-1。

而且，所述實施方式中，其構成為通過控制面板42來控制方向切換機構34及逆洗機構38，從而控制面板42自動開閉開閉閥。也可取而代之，構成為在各工程結束後，手動開閉各開閉閥。即，也可構成為在控制面板42上設置定時器、顯示器等，當經過在各工程中進行的時間時，通過顯示器來告知。

此處，對所述實施方式進行總結說明。

(1)本實施方式中，在進行過濾時、與利用逆洗機構進行膜模塊內的中空纖維膜的逆洗時之間的期間，方向切換機構進行原液往膜模塊內的流動方向的切換。因此，例如，當處於從泵送出的原液從第一流路流入膜模塊的中空纖維膜內部的第一狀態時，經膜模塊過濾的濾液從濾液流出通路流出，另一方面，濃縮液從第一排出通路排出。此時，原液從膜模塊的一端部側流入中空纖維膜內部，因此在一端部側過濾量多，附著於膜面的堆積物也多。而且，越往一端部側，原液的壓力越高，另一端部側的原液的壓力低。在此狀態下，在進行逆洗之前，方向切換機構將原液往膜模塊內的流動方向由第一狀態切換為第二狀態。由此，在進行逆洗時，經膜模塊過濾的濾液從濾液流出通路流出，另一方面，濃縮液從第二排出通路排出。在此狀態下，原液從膜模塊的另一端部側流入中空纖維膜內部，因此一端部側的原液的壓力低，另一端部側的原液的壓力高。因此，當通過逆洗用流體進行中空纖維膜的逆洗時，在一端部側，更大的外壓作用於中空纖維膜的外表面。因此，能夠高效地進行堆積物的附著多的一端部側的逆洗。另一方面，在進行第二狀態下的過濾之後且進行逆洗之前，通過將原液的往膜模塊內的流動方向切換為第一狀態，從而能夠高效地進行膜模塊的另一端側的逆洗。

(2)所述方向切換機構也可構成為，每當進行過濾時能夠在所述第一狀態與所述第二狀態之間切換原液往所述膜模塊內的流動方向。

該技術方案中，每當進行過濾時，切換原液往膜模塊內的流動方向，以進行原液的過濾。因此，能夠在膜模塊的一端側及另一端側這兩端側高效地進行逆洗。並且，每當進行過濾工程時切換方向，因此能夠延長膜模塊的壽命。

(3)所述方向切換機構也可具有設置在所述第一流路中的第一流入側開閉閥、設置在所述第二流路中的第二流入側開閉閥、設置在所述第一排出通路中的第一流出側開閉閥、以及設置在所述第二排出通路中的第二流出側開閉閥。

該技術方案中，通過開放第一流入側開閉閥及第一流出側開閉閥並且關閉第二流入側開閉閥及第二流出側開閉閥，從而使原液往膜模塊內的流動方向成為第一狀態。另一方面，通過開放第二流入側開閉閥及第二流出側開閉閥並且關閉第一流入側開閉閥及第一流出側開閉閥，從而使原液往膜模塊內的流動方向成為第二狀態。

(4)該技術方案中，所述逆洗機構也可具有使逆洗用流體流向所述膜模塊的流體供應通路、以及設置在所述流體供應通路中的逆洗用開閉閥。

該技術方案中，通過開放逆洗用開閉閥，從而成為通過逆洗用流體對中空纖維膜施加外壓的逆洗狀態，通過關閉逆洗用開閉閥，從而成為對中空纖維膜的加壓停止的停止狀態。因此，通過切換逆洗用開閉閥的開閉，能夠進行在逆洗狀態與停止狀態之間的切換。

(5)該技術方案中，所述流體供應通路也可連接於所述濾液流出通路，此情況下，所述濾液流出通路中，也可在比所述流體供應通路的連接部更下游側的部位設置開閉閥。

該技術方案中，在進行逆洗時，通過關閉濾液流出通路的開閉閥，從而能夠使逆洗用流體經由濾液流出通路而流入膜模塊內。因此，能夠抑制膜模塊的結構變得復雜。

(6)所述逆洗用流體也可為空氣，此情況下，所述流體供應通路中，也可設置有過濾器。

該技術方案中，能夠抑制逆洗所需的成本，並且，能夠去除侵入流體供應通路內的異物。

(7)所述第一排出通路也可連接於所述第二流路，所述第二排出通路也可連接於所述第一流路。

該技術方案中，在第一狀態下，從膜模塊排出的濃縮液經由第二流路流向第一排出通路。另一方面，在第二狀態下，從膜模塊排出的濃縮液經由第一流路流向第二排出通路。

(8)該技術方案中，所述使用過的矽冷卻液處理裝置也可包括：第一壓力計，檢測流經所述第一流路的原液的壓力；第二壓力計，檢測流經所述第二流路的原液的壓力。

該技術方案中，能夠通過第一壓力計來檢測第一流路內的原液的壓力，能夠通過第二壓力計來檢測第二流路內的原液的壓力。

(9)該技術方案中，所述使用過的矽冷卻液處理裝置也可包括：送出通路，將所述泵與所述第一流路及所述第二流路連接；其中，所述送出通路上連接有繞過所述膜模塊的旁通路，所述旁通路中設置有開閉閥。

該技術方案中，當第一壓力計或第二壓力計的檢測壓力變高時，通過開放旁通路的開閉閥，能夠使從泵送出的原液流向旁通路。由此，能夠降低第一流路或第二流路的原液的壓力。因此，能夠減輕泵的負載。

(10)所述膜模塊中，也可設置有放液機構。該技術方案中，在更換中空纖維膜時等，能夠通過放液機構放出膜模塊內的液體。

(11)所述逆洗用流體也可為空氣。該技術方案中，能夠抑制逆洗所需的成本。

(12)所述使用過的矽冷卻液處理裝置也可包括：控制部，控制所述逆洗機構及所述方向切換機構；其中，所述控制部被構成為，每當進行過濾時所述方向切換機構在所述第一狀態與所述第二狀態之間進行原液往所述膜模塊內的流動方向的切換。

該技術方案中，逆洗機構及方向切換機構由控制部予以控制，因此能夠自動切換原液往膜模塊內的流動方向。

(13)所述使用過的矽冷卻液處理裝置也可包括：控制部，控制所述逆洗機構及所述方向切換機構；其中，所述控制部被構成為，每當進行過濾時在所述第一流入側開閉閥及所述第一流出側開閉閥開放並且所述第二流入側開閉閥及所述第二流出側開閉閥關閉的所述第一狀態、與所述第二流入側開閉閥及所述第二流出側開閉閥開放並且所述第一流入側開閉閥及所述第一流出側開閉閥關閉的所述第二狀態之間進行切換。

該技術方案中，逆洗機構及方向切換機構由控制部予以控制，因此能夠自動切換原液往模塊內的流動方向。

(14)所述方向切換機構也可在進行逆洗時，在所述第一狀態與所述第二狀態之間不進行切換。

該技術方案中，當進行逆洗時，不進行原液往膜模塊內的流動方向的切換，因此能夠穩定地進行逆洗。

如上所述，根據本新型，能夠提高逆洗的效果。