CN203428960U - 硅冷却液废液处理装置 - Google Patents

Abstract

一种硅冷却液废液处理装置(10)包括：膜模块(12)，具有中空纤维膜(28)；第一流路(14b)，连结于膜模块(12)的一端部；第二流路(14c)，连结于膜模块(12)的另一端部；方向切换机构(34)，能够在原液从第一流路(14b)流入中空纤维膜(28)内部的第一状态、与原液从第二流路(14c)流入中空纤维膜(28)内部的第二状态之间，切换原液的往膜模块(12)内的流动方向；反洗机构(38)，利用反洗用流体对中空纤维膜(28)施加外压，以进行中空纤维膜的反洗。方向切换机构被构成为，在进行过滤时与进行中空纤维膜的反洗时之间的期间，能够切换原液的往膜模块内的流动方向。由此，能够提高反洗效果。

Description

硅冷却液废液处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种硅冷却液废液处理装置。

背景技术

以往已知如日本专利公开公报特开2010-221337号所公开的用于处理被使用过的冷却液(以下称作冷却液废液)以使冷却液废液能够再利用的处理装置。基于制造成本的观点，冷却液废液被再利用，但由于含有切削屑及磨粒等，因此无法直接使用。为此，所述处理装置通过去除切削屑等来实施将冷却液废液变为可再利用状态的处理。具体而言，日本专利公开公报特开2010-221337号所公开的处理装置中，设置有从冷却液废液分离磨粒及切削屑等的离心分离机、以及从通过离心分离机去除了磨粒及切削屑等的冷却液中进一步将切削屑等进行膜分离的膜模块。

膜模块中设置有形成有微细孔的分离膜，导入膜模块内的原液(冷却液废液)分离为通过分离膜的微细孔的滤液和无法通过微细孔的浓缩液。并且，当进行膜过滤时，附着于膜面的堆积物量会逐渐增加而导致膜差压上升，因此须用处理液对膜面进行与滤液的流动方向反向的反洗。

作为分离膜，可使用中空纤维膜。而且，在使用中空纤维膜的情况下，可采用将经泵加压的原液导入中空纤维膜内以使滤液从膜的内侧流出到外侧的方案。此时，通过利用反洗用流体从外侧对中空纤维膜施加压力来进行反洗。

当使用中空纤维膜来作为分离膜时，从原液的入口侧至出口侧的压力损失增大。因此，在中空纤维膜中，原液的入口附近的过滤量较多，出口附近的过滤量较少。因此，附着于膜面的堆积物在入口附近也较多，而在出口附近较少。

进行反洗时，在维持原液流动的状态下，通过反洗用流体施加外压，但由于在入口附近，原液的压力高，因此反洗用流体的外压难以发挥作用。因此，在更多的堆积物附着的入口附近难以获得反洗效果。

尤其是用于切断硅锭的硅冷却液由于粘度高，因此原液(被使用过的硅冷却液(以下称作硅冷却液废液))的入口侧的压力与出口侧的压力间的压力损失大。因此，在入口附近无法获得反洗效果的情况变得显著。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种解决上述问题的硅冷却液废液处理装置。具体而言，本实用新型的目的在于提供一种能够提高反洗效果的硅冷却液废液处理装置。

根据本实用新型所涉及的硅冷却液处理装置，硅冷却液处理装置包括：膜模块，具有中空纤维膜；第一流路，连结于所述膜模块的一端部；第二流路，连结于所述膜模块的另一端部；泵，送出由硅冷却液废液构成的原液；方向切换机构，能够在从所述泵送出的所述原液从所述第一流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第一状态、与所述原液从所述第二流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第二状态之间，切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向；反洗机构，利用反洗用流体直接或间接对所述中空纤维膜施加外压，以进行所述中空纤维膜的反洗；滤液流出通路，使经所述膜模块过滤的滤液从所述膜模块流出；第一排出通路，排出基于从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液（也就是，排出从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液中，不通过该中空纤维膜而被浓缩的浓缩液）；第二排出通路，排出基于从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液（也就是，排出从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液中，不通过该中空纤维膜而被浓缩的浓缩液）；其中，所述方向切换机构被构成为，在所述泵被驱动而进行过滤时与利用所述反洗机构进行所述中空纤维膜的反洗时之间的期间，能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

根据本实用新型的硅冷却液废液处理装置，能够提高反洗效果。

附图说明

图1是表示本实用新型的实施方式所涉及的硅冷却液废液处理装置的概略结构的图。

图2是用于说明在过滤工序与反洗工序之间维持原液的流动方向时的、原液的流体压力与反洗用流体的外压之间的关系的图。

图3是用于说明在过滤工序与反洗工序之间切换原液的流动方向时的、原液的流体压力与反洗用流体的外压之间的关系的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明用于实施本实用新型的形态。

图1概略表示本实用新型所涉及的硅冷却液废液处理装置的一实施方式。如图1所示，本实施方式所涉及的硅冷却液废液处理装置(以下简称作处理装置)10具备泵P-1、膜模块12、将从泵P-1送出的原液(硅冷却液废液)导向膜模块12的导入通路14、供经膜模块12过滤的滤液流动的滤液流出通路16、及排出经膜模块12由原液浓缩的浓缩液的排出通路18。

泵P-1将贮留在原液罐20中的原液抽吸，并从喷出口喷出。

膜模块12采用在细长形状的框体24内设有中空纤维膜28的结构。中空纤维膜28的内部通过分别设置在框体24的长度方向的端部的原液侧开口24a、24b而与框体24的外部连通。即，膜模块12构成为将原液导入中空纤维膜28内的内压式膜模块12。另一方面，在框体24的侧面，形成有使框体24的内部空间(中空纤维膜28的外侧空间)与框体24外部连通的滤液侧开口24c。通过中空纤维膜28而过滤的过滤液通过该滤液侧开口24c被导出到框体24的外部。而且，利用该滤液侧开口24c，还能够如后所述般将反洗用流体导入膜模块12内。

在膜模块12中，设置有放液机构30。放液机构30具备开闭阀30a，通过开放该开闭阀30a，能够排出膜模块12内的液体。

导入通路14包括送出通路14a、第一流路14b及第二流路14c。送出通路14a的一端部(上游端部)连接于泵P-1的喷出口。从泵P-1喷出的原液流入送出通路14a。在送出通路14a中设有流量计FL。

第一流路14b具有连接于送出通路14a的另一端部(下游端部)的一端部、及连接于设置在膜模块12的一端部(下端部)的一个原液侧开口24a的另一端部。第二流路14c具有连接于送出通路14a的另一端部(下游端部)的一端部、及连接于设置在膜模块12的另一端部(上端部)的另一个原液侧开口24b的另一端部。即，导入通路14中，从送出通路14a分支为第一流路14b及第二流路14c。并且，流经送出通路14a的原液被导入第一流路14b或第二流路14c。

滤液流出通路16的一端部连接于膜模块12的滤液侧开口24c。在滤液流出通路16中，流经有在膜模块12内经过滤的滤液。滤液流出通路16的另一端部成为滤液的出口。在滤液流出通路16中，在流体供应通路38a的连接部的下游侧设置有开闭阀AV-5。

排出通路18包括第一排出通路18a及第二排出通路18b。第一排出通路18a的一端部连接于第二流路14c，在第一排出通路18a中，流动有由从第一流路14b流入中空纤维膜28内部的原液浓缩的浓缩液。即，如后所述，当方向切换机构34切换为第一状态时，从第一流路14b导入膜模块12内的原液在膜模块12(中空纤维膜28)内经浓缩而成为浓缩液之后，经由第二流路14c被导入第一排出通路18a。因此，第一排出通路18a在原液从第一流路14b导入膜模块12内的情况下，排出浓缩液。流经第一排出通路18a的浓缩液返回原液罐20。

第二排出通路18b的一端部连接于第一流路14b，在第二排出通路18b中，流动有由从第二流路14c流入中空纤维膜28内部的原液浓缩的浓缩液。即，如后所述，在方向切换机构34切换为第二状态的情况下，从第二流路14c导入膜模块12内的原液在膜模块12(中空纤维膜28)内经浓缩而成为浓缩液之后，经由第一流路14b被导入第二排出通路18b。因此，第二排出通路18b在原液从第二流路14c导入膜模块12内的情况下，排出浓缩液。流经第二排出通路18b的浓缩液返回原液罐20。

另外，本实施方式中，采用了第一排出通路18a的另一端部(下游端)与第二排出通路18b的另一端部(下游端)相互连接的结构，但并不限于此。也可采用第一排出通路18a及第二排出通路18b分别独立地使浓缩液返回原液罐20的结构。

而且，并不限于第一排出通路18a连接于第二流路14c，第二排出通路18b连接于第一流路14b的结构。也可取而代之而采用第一排出通路18a及第二排出通路18b直接连接于膜模块12的结构。

本实施方式所涉及的处理装置10具备：用于切换原液的往膜模块12内的流动方向的方向切换机构34、用于进行中空纤维膜28的反洗的反洗机构38、以及控制面板42。控制面板42的功能包括控制反洗机构38及所述方向切换机构34的控制部44。

方向切换机构34具有：设置在第一流路14b中的第一流入侧开闭阀AV-1、设置在第二流路14c中的第二流入侧开闭阀AV-3、设置在第一排出通路18a中的第一流出侧开闭阀AV-2、以及设置在第二排出通路18b中的第二流出侧开闭阀AV-4。本实施方式中，流入侧开闭阀AV-1、AV-3及流出侧开闭阀AV-2、AV-4均包含通过空气压来开闭的球阀。

另外，流入侧开闭阀AV-1、AV-3及流出侧开闭阀AV-2、AV-4的结构并不限于此。例如，流入侧开闭阀AV-1、AV-3及流出侧开闭阀AV-2、AV-4也可包含通过电信号来开闭的电磁阀。

方向切换机构34并不限于具备第一流入侧开闭阀AV-1及第二流入侧开闭阀AV-3的结构。也可取而代之，方向切换机构34具备配置于送出通路14a、第一流路14b及第二流路14c的连接部处的三向阀。该三向阀具有能够切换为原液从送出通路14a流向第一流路14b的第一状态、与原液从送出通路14a流向第二流路14c的第二状态的结构。

反洗机构38具有用于供反洗用流体流动的流体供应通路38a以及设置在流体供应通路38a中的反洗用开闭阀SV-1。反洗用开闭阀SV-1包含电磁阀，但并不限于此，也可包含球阀。

流体供应通路38a的一端部(流入端)构成为用于使反洗用流体流入的端部，在该端部，例如能够连接图外的压缩机。流体供应通路38a的另一端部(流出端)连接于滤液流出通路16中的开闭阀AV-5的上游侧(膜模块12侧)的部位。另外，流体供应通路38a的另一端部(流出端)也可直接连接于膜模块12的框体24。

本实施方式中，使用空气来作为反洗用流体。膜模块12既可采用反洗用流体对中空纤维膜28直接施加外压的结构，或者也可采用利用该反洗用流体经由其他流体对中空纤维膜28施加外压的结构。

当在关闭滤液流出通路16的开闭阀AV-5并且打开反洗用开闭阀SV-1的状态下，向流体供应通路38a导入反洗用流体时，反洗用流体朝向膜模块12的内部流动。反洗用流体的压力作用于中空纤维膜28的外表面，从而能够反洗中空纤维膜28。

在流体供应通路38a中，设置有过滤器38c与球阀38d。过滤器38c去除流经流体供应通路38a内的空气中的异物。球阀38d在处理装置10停止时等闭塞，而且在启动时也暂时闭塞。球阀38d也可予以省略。

在流体供应通路38a上，在球阀38d的上游侧，连接有控制用流路46的一端部。该控制用流路46的另一端部连接于设置在控制面板42内的省略图示的控制阀。控制用流路46内的空气压被用作控制阀的先导压。控制阀被用于开闭阀AV-1～AV-5等的开闭用空气压的供应切换。

在控制用流路46中，设置有过滤器46a与球阀46b。过滤器46a去除流经流体供应通路38a内的空气中的异物。球阀46b在处理装置10停止时等闭塞，而且在启动时也暂时闭塞。

控制部44构成为，每当进行过滤工序时，在第一状态与第二状态之间切换原液的往膜模块12内的流动方向。第一状态下，成为第一流入侧开闭阀AV-1及第一流出侧开闭阀AV-2开放并且第二流入侧开闭阀AV-3及第二流出侧开闭阀AV-4闭塞的状态。第二状态下，成为第二流入侧开闭阀AV-3及第二流出侧开闭阀AV-4开放并且第一流入侧开闭阀AV-1及第一流出侧开闭阀AV-2闭塞的状态。即，控制部44每当进行过滤工序时进行控制，以使方向切换机构34在第一状态与第二状态之间切换原液的往膜模块12内的流动方向。控制部44对各种开闭阀AV-1～AV-5的开闭切换通过设置在控制面板42内的省略图示的控制阀来进行。控制阀送出基于空气压的控制信号。另外，控制阀的控制信号并不限于基于空气压的信号。例如，在各种开闭阀AV-1～AV-5包含电磁阀的情况下，也可根据电信号来进行各种开闭阀AV-1～AV-5的开闭切换。

控制部44在进行反洗的反洗工序中进行控制，以关闭滤液流出通路16的开闭阀AV-5并且打开反洗用开闭阀SV-1。另外，在进行反洗时，在第一状态与第二状态之间不进行切换。另一方面，控制部44在进行原液过滤的过滤工序中进行控制，以开放滤液流出通路16的开闭阀AV-5并且关闭反洗用开闭阀SV-1。

本实施方式所涉及的处理装置10具备第一压力计51、第二压力计52及旁通路54。第一压力计51设置在第一流路14b中，检测流经第一流路14b的原液的压力。第二压力计52设置在第二流路14c中，检测流经第二流路14c的原液的压力。第一压力计51及第二压力计52被设置在相同的高度位置。

旁通路54连通送出通路14a与排出通路18。本实施方式中，旁通路54的一端连接于第二排出通路18b。

在旁通路54中，设置有开闭阀54a。本实施方式中，开闭阀54a包含可调整开度的阀(蝶阀)。当第一压力计51或第二压力计52的检测值大于预先设定的压力值时，开放开闭阀54a或者加大开度，从而能够以送出通路14a的原液绕过膜模块12的方式使原液流向排出通路18。另外，该开闭阀54a并不限于可调整开度的阀。

此处，对本实施方式所涉及的处理装置10的运转动作，即硅冷却液废液处理方法进行说明。

如表1所示，硅冷却液废液处理方法包含过滤工序、切换工序、稳定化工序及反洗工序，这些工序依次进行。这一连串的工序能够反复进行。

表1

表2

。

表1中示为工序No.1的过滤工序(第一过滤工序)中，方向切换机构34被切换为第一状态。即，成为第一流入侧开闭阀AV-1及第一流出侧开闭阀AV-2开放并且第二流入侧开闭阀AV-3及第二流出侧开闭阀AV-4闭塞的状态。并且，过滤工序中，成为滤液流出通路16的开闭阀AV-5开放并且反洗用开闭阀SV-1关闭的状态。当在该状态下泵P-1被驱动时，从原液罐20受到抽吸而从泵P-1送出的原液如图中的虚线箭头所示，流经送出通路14a及第一流路14b，并通过图下侧的原液侧开口24a流入中空纤维膜28的内部。经中空纤维膜28过滤的滤液通过滤液侧开口24c而流出至滤液流出通路16，滤液从滤液流出通路16的出口得到回收。另一方面，在中空纤维膜28的内部经浓缩的浓缩液经由第二流路14c流入第一排出通路18a，随后返回原液罐20。该过滤工序如表2所示，较为理想的是进行5～60分钟，更理想的是进行10～30分钟。

当过滤工序进行指定时间时，到达切换工序(第一切换工序)(表1中的工序No.2)。切换工序中，方向切换机构34从第一状态切换为第二状态。即，成为第一流入侧开闭阀AV-1、第一流出侧开闭阀AV-2及滤液流出通路16的开闭阀AV-5闭塞并且第二流入侧开闭阀AV-3及第二流出侧开闭阀AV-4开放的状态。另外，在切换工序中，泵P-1停止。

继而，执行稳定化工序(第一稳定化工序)(工序No.3)。在方向切换机构34刚切换之后，液体的流动不稳定，因此作为直至液体稳定地流动为止的工序，进行稳定化工序。稳定化工序中，在各开闭阀AV-1～AV-5、SV-1维持与切换工序同样的状态下，泵P-1被驱动。稳定化工序较为理想的是进行1～15分钟，更理想的是进行1～5分钟。

在该稳定化工序中，由于方向切换机构34从第一状态切换为第二状态，因此从原液罐20受到抽吸而从泵P-1送出的原液如图中的实线箭头所示，流经送出通路14a及第二流路14c，并通过图上侧的原液侧开口24b流入中空纤维膜28的内部。在中空纤维膜28的内部经浓缩的浓缩液经由第一流路14b流入第二排出通路18b，随后返回原液罐20。

当稳定化工序进行指定时间时，过渡到反洗工序(第一反洗工序)(工序No.4)。反洗工序中，开放反洗用开闭阀SV-1。此时，滤液流出通路16的开闭阀AV-5仍保持关闭。因此，通过流体供应通路38a，作为反洗用流体的空气被导入膜模块12的框体24内。由此，对中空纤维膜28的外表面施加压力。此时，原液流入中空纤维膜28的内部，因此堵塞在中空纤维膜28的微细孔中的异物从中空纤维膜28脱离，并与原液一同排出到膜模块12的外部。反洗工序如表2所示，较为理想的是进行1～180秒，更理想的是进行1～60秒。

当反洗工序结束时，过渡到过滤工序(第二过滤工序)(工序No.5)。过滤工序中，闭塞反洗用开闭阀SV-1并且开放滤液流出通路16的开闭阀AV-5。该第二过滤工序中，原液的往膜模块12内的流入方向不同于第一过滤工序，但除此以外与第一过滤工序同样。

当过滤工序结束时，过渡到切换工序(第二切换工序)(工序No.6)。该切换工序中，方向切换机构34从第二状态切换为第一状态。即，成为第一流入侧开闭阀AV-1及第一流出侧开闭阀AV-2开放并且第二流入侧开闭阀AV-3及第二流出侧开闭阀AV-4闭塞的状态。以后，依次进行稳定化工序(第二稳定化工序)、反洗工序(第二反洗工序)(工序No.7～8)。这些工序中，原液的往膜模块12内的流入方向也不同于前次进行的各工序，但除此以外同样。并且，再次返回工序No.1，以后重复各工序。

所述各工序中，通过第一压力计51及第二压力计52，检测第一流路14b内的压力及第二流路14c内的压力。并且，当检测出的压力超过预定的值时，控制面板42将旁通路54的开闭阀54a开放(或加大开度)。另外，开闭阀54a的操作并不限于通过控制面板42来自动进行，也可人为进行。

此处，参照图2及图3来说明每当进行过滤工序时，切换原液的往膜模块12内的流入方向的理由。

如图2所示，假设在过滤工序中，原液从上朝下流经中空纤维膜28的内部。此时，对于如硅冷却液废液般粘性大的流体而言，流经中空纤维膜28内时的压力损失大，因此从内侧按压中空纤维膜28的流体压力PL越往下部越大，越往上部越小(参照图2(a))。因此，在中空纤维膜28的下侧进行更多的过滤，堵塞在微细孔中的异物也是越往中空纤维膜28的下侧越多。

当在维持原液的流动方向的状态下过渡到反洗工序时，在原液的流体压力PL大的中空纤维膜28的下部，反洗用流体的外压PO难以发挥作用，在原液的流体压力小的中空纤维膜28的上部，反洗用流体的外压PO更大地发挥作用(参照图2(b))。因此，越往异物堵塞多的下侧，越无法使反洗用流体的压力(外压PO)发挥作用，因此无法有效地进行反洗(参照图2(c))。

与此相对，如图3所示，在从过滤工序(图3(a))过渡到反洗工序(图3(b))之前，使原液的流动方向逆转的情况下，越往异物堵塞多的下侧，越能够使反洗用流体的压力PO发挥大的作用。即，由于原液从上朝下流动，因此越往下侧，原液的流体压力PL越小，反洗用流体的压力PO越容易发挥作用。由此，能够有效地进行反洗。在过滤工序中，原液从上朝下流动(图3(c))，反洗工序中，原液从下朝上流动的情况下(图3(d))也同样如此。

如以上所说明的，本实施方式中，在进行过滤时、与通过反洗机构38进行膜模块12内的中空纤维膜28的反洗时之间的期间，方向切换机构34进行原液的往膜模块12内的流动方向的切换。因此，例如，当处于从泵P-1送出的原液从第一流路14b流入膜模块12的中空纤维膜28内部的第一状态时，经膜模块12过滤的滤液从滤液流出通路16流出，另一方面，浓缩液从第一排出通路18a排出。此时，原液从膜模块12的一端部侧流入中空纤维膜28的内部，因此在一端部侧过滤量多，附着于膜面的堆积物也多。而且，越往一端部侧，原液的压力PL越高，另一端部侧的原液的压力PL低。在此状态下，在进行反洗之前，方向切换机构34将原液的往膜模块12内的流动方向由第一状态切换为第二状态。由此，经膜模块12过滤的滤液从滤液流出通路16流出，另一方面，浓缩液从第二排出通路18b排出。在此状态下，原液从膜模块12的另一端部侧流入中空纤维膜28的内部，因此一端部侧的原液的压力PL低，另一端部侧的原液的压力PL高。因此，当通过反洗用流体进行中空纤维膜28的反洗时，在一端部侧，更大的外压PO作用于中空纤维膜28的外表面。因此，能够高效地进行堆积物附着多的一端部侧的反洗。另一方面，进行第二状态下的过滤之后且进行反洗之前，通过将原液的往膜模块12内的流动方向切换为第一状态，从而能够高效地进行膜模块12的另一端侧的反洗。

并且，本实施方式中，每当进行过滤工序时，切换原液的往膜模块12内的流动方向，以进行原液的过滤。因此，能够在膜模块12的一端侧及另一端侧这两端侧高效地进行反洗。并且，每当进行过滤工序时切换方向，因此能够延长膜模块12的寿命。

而且，本实施方式中，使用空气作为反洗用流体，因此能够抑制反洗所需的成本，并且，由于在流体供应通路38a中设置有过滤器38c，因此能够去除侵入流体供应通路38a内的异物。

而且，本实施方式中，设置有第一压力计51及第二压力计52，因此能够检测第一流路14b内及第二流路14c内的原液的压力。并且，当第一压力计51或第二压力计52的检测压力变高时，通过开放旁通路54的开闭阀54a，能够使从泵P-1送出的原液流向旁通路54。由此，能够降低第一流路14b或第二流路14c的原液的压力。因此，能够减轻泵P-1的负载。

而且，本实施方式中，在膜模块12中设置有放液机构30，因此在更换中空纤维膜28等时，能够通过放液机构30放出膜模块12内的液体。

而且，本实施方式中，反洗机构38及方向切换机构34由控制部44予以控制，因此能够自动切换原液的往膜模块12内的流动方向。

而且，本实施方式中，当进行反洗时，方向切换机构34在第一状态与第二状态之间不进行切换，因此能够稳定地进行反洗。

另外，本实用新型并不限于所述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更、改良等。例如，所述实施方式中，在连结于泵P-1的送出通路14a上，连接有第一流路14b及第二流路14c，但并不限于此。也可取而代之，具备两个泵P-1，在第一流路14b及第二流路14c上分别连接泵P-1。

而且，所述实施方式中，通过控制面板42来控制方向切换机构34及反洗机构38，从而控制面板42自动开闭开闭阀。也可取而代之，采用在各工序结束后，手动开闭各开闭阀的结构。即，也可采用在控制面板42上设置定时器、显示器等，当经过在各工序中进行的时间时，通过显示器来告知的结构。

此处，对所述实施方式进行总结说明。

(1)本实施方式中，在进行过滤时、与利用反洗机构进行膜模块内的中空纤维膜的反洗时之间的期间，方向切换机构进行原液的往膜模块内的流动方向的切换。因此，例如，当处于从泵送出的原液从第一流路流入膜模块的中空纤维膜内部的第一状态时，经膜模块过滤的滤液从滤液流出通路流出，另一方面，浓缩液从第一排出通路排出。此时，原液从膜模块的一端部侧流入中空纤维膜内部，因此在一端部侧过滤量多，附着于膜面的堆积物也多。而且，越往一端部侧，原液的压力越高，另一端部侧的原液的压力低。在此状态下，在进行反洗之前，方向切换机构将原液的往膜模块内的流动方向由第一状态切换为第二状态。由此，在进行反洗时，经膜模块过滤的滤液从滤液流出通路流出，另一方面，浓缩液从第二排出通路排出。在此状态下，原液从膜模块的另一端部侧流入中空纤维膜内部，因此一端部侧的原液的压力低，另一端部侧的原液的压力高。因此，当通过反洗用流体进行中空纤维膜的反洗时，在一端部侧，更大的外压作用于中空纤维膜的外表面。因此，能够高效地进行堆积物的附着多的一端部侧的反洗。另一方面，在进行第二状态下的过滤之后且进行反洗之前，通过将原液的往膜模块内的流动方向切换为第一状态，从而能够高效地进行膜模块的另一端侧的反洗。

(2)所述方向切换机构也可构成为，每当进行过滤时能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换原液的往所述膜模块内的流动方向。

该技术方案中，每当进行过滤时，切换原液的往膜模块内的流动方向，以进行原液的过滤。因此，能够在膜模块的一端侧及另一端侧这两端侧高效地进行反洗。并且，每当进行过滤工序时切换方向，因此能够延长膜模块的寿命。

(3)所述方向切换机构也可具有设置在所述第一流路中的第一流入侧开闭阀、设置在所述第二流路中的第二流入侧开闭阀、设置在所述第一排出通路中的第一流出侧开闭阀、以及设置在所述第二排出通路中的第二流出侧开闭阀。

该技术方案中，通过开放第一流入侧开闭阀及第一流出侧开闭阀并且闭塞第二流入侧开闭阀及第二流出侧开闭阀，从而使原液的往膜模块内的流动方向成为第一状态。另一方面，通过开放第二流入侧开闭阀及第二流出侧开闭阀并且闭塞第一流入侧开闭阀及第一流出侧开闭阀，从而使原液的往膜模块内的流动方向成为第二状态。

(4)该技术方案中，所述反洗机构也可具有使反洗用流体流向所述膜模块的流体供应通路、以及设置在所述流体供应通路中的反洗用开闭阀。

该技术方案中，通过开放反洗用开闭阀，从而成为通过反洗用流体对中空纤维膜施加外压的反洗状态，通过闭塞反洗用开闭阀，从而成为对中空纤维膜的加压停止的停止状态。因此，通过切换反洗用开闭阀的开闭，能够进行在反洗状态与停止状态之间的切换。

(5)该技术方案中，所述流体供应通路也可连接于所述滤液流出通路，此时，所述滤液流出通路中，也可在比所述流体供应通路的连接部更下游侧的部位设置开闭阀。

该技术方案中，在进行反洗时，通过关闭滤液流出通路的开闭阀，从而能够使反洗用流体经由滤液流出通路而流入膜模块内。因此，能够抑制膜模块的结构变得复杂。

(6)所述反洗用流体也可为空气，此时，所述流体供应通路中，也可设置有过滤器。

该技术方案中，能够抑制反洗所需的成本，并且，能够去除侵入流体供应通路内的异物。

(7)所述第一排出通路也可连接于所述第二流路，所述第二排出通路也可连接于所述第一流路。

该技术方案中，在第一状态下，从膜模块排出的浓缩液经由第二流路流向第一排出通路。另一方面，在第二状态下，从膜模块排出的浓缩液经由第一流路流向第二排出通路。

(8)该技术方案中，所述硅冷却液废液处理装置也可包括：第一压力计，检测流经所述第一流路的所述原液的压力；第二压力计，检测流经所述第二流路的所述原液的压力。

该技术方案中，能够通过第一压力计来检测第一流路内的原液的压力，能够通过第二压力计来检测第二流路内的原液的压力。

(9)该技术方案中，所述硅冷却液废液处理装置也可包括：送出通路，将所述泵与所述第一流路及所述第二流路连接；其中，所述送出通路上连接有绕过所述膜模块的旁通路，所述旁通路中设置有开闭阀。

该技术方案中，当第一压力计或第二压力计的检测压力变高时，通过开放旁通路的开闭阀，能够使从泵送出的原液流向旁通路。由此，能够降低第一流路或第二流路的原液的压力。因此，能够减轻泵的负载。

(10)所述膜模块中，也可设置有放液机构。

该技术方案中，在更换中空纤维膜等时，能够通过放液机构放出膜模块内的液体。

(11)所述反洗用流体也可为空气。该技术方案中，能够抑制反洗所需的成本。

(12)所述硅冷却液废液处理装置也可包括：控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，所述控制部被构成为，每当进行过滤时所述方向切换机构在所述第一状态与所述第二状态之间进行原液的往所述膜模块内的流动方向的切换。

该技术方案中，反洗机构及方向切换机构由控制部予以控制，因此能够自动切换原液的往膜模块内的流动方向。

(13)所述硅冷却液废液处理装置也可包括：控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，所述控制部被构成为，每当进行过滤时在所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀开放并且所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀闭塞的所述第一状态、与所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀开放并且所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀闭塞的所述第二状态之间进行切换。

该技术方案中，反洗机构及方向切换机构由控制部予以控制，因此能够自动切换原液的往模块内的流动方向。

(14)所述方向切换机构也可在进行反洗时，在所述第一状态与所述第二状态之间不进行切换。

该技术方案中，当进行反洗时，不进行原液的往膜模块内的流动方向的切换，因此能够稳定地进行反洗。

如上所述，根据本实用新型，能够提高反洗的效果。

Claims (14)

1. 一种硅冷却液废液处理装置，其特征在于包括：

膜模块，具有中空纤维膜；

第一流路，连结于所述膜模块的一端部；

第二流路，连结于所述膜模块的另一端部；

泵，送出由硅冷却液废液构成的原液；

方向切换机构，能够在从所述泵送出的所述原液从所述第一流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第一状态、与所述原液从所述第二流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第二状态之间，切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向；

反洗机构，利用反洗用流体直接或间接对所述中空纤维膜施加外压，以进行所述中空纤维膜的反洗；

滤液流出通路，使经所述膜模块过滤的滤液从所述膜模块流出；

第一排出通路，排出基于从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液；

第二排出通路，排出基于从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液；其中，

所述方向切换机构被构成为，在所述泵被驱动而进行过滤时与利用所述反洗机构进行所述中空纤维膜的反洗时之间的期间，能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

2. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构被构成为，每当进行过滤时能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

3. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构具有设置在所述第一流路中的第一流入侧开闭阀、设置在所述第二流路中的第二流入侧开闭阀、设置在所述第一排出通路中的第一流出侧开闭阀、以及设置在所述第二排出通路中的第二流出侧开闭阀。

4. 根据权利要求3所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗机构具有使反洗用流体流向所述膜模块的流体供应通路、以及设置在所述流体供应通路中的反洗用开闭阀。

5. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述流体供应通路连接于所述滤液流出通路，

所述滤液流出通路中，在比所述流体供应通路的连接部更下游侧的部位设置有开闭阀。

6. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗用流体为空气，

所述流体供应通路中设置有过滤器。

7. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述第一排出通路连接于所述第二流路，

所述第二排出通路连接于所述第一流路。

8. 根据权利要求7所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

第一压力计，检测流经所述第一流路的所述原液的压力；

第二压力计，检测流经所述第二流路的所述原液的压力。

9. 根据权利要求8所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

送出通路，将所述泵与所述第一流路及所述第二流路连接；其中，

所述送出通路上连接有绕过所述膜模块的旁通路，

所述旁通路中设置有开闭阀。

10. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述膜模块中设置有放液机构。

11. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗用流体为空气。

12. 根据权利要求2所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，

所述控制部被构成为，每当进行过滤时所述方向切换机构在所述第一状态与所述第二状态之间进行所述原液的往所述膜模块内的流动方向的切换。

13. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，

所述控制部被构成为，每当进行过滤时在所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀开放并且所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀闭塞的所述第一状态、与所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀开放并且所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀闭塞的所述第二状态之间进行切换。

14. 根据权利要求1至13中任一项所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构在进行反洗时，在所述第一状态与所述第二状态之间不进行切换。

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