TWM479415U - 螢光自動光學檢查機 - Google Patents
螢光自動光學檢查機 Download PDFInfo
- Publication number
- TWM479415U TWM479415U TW103200857U TW103200857U TWM479415U TW M479415 U TWM479415 U TW M479415U TW 103200857 U TW103200857 U TW 103200857U TW 103200857 U TW103200857 U TW 103200857U TW M479415 U TWM479415 U TW M479415U
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- lens
- axis track
- optical
- inspection machine
- test object
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
本創作係關於一種光學檢測裝置,特別是關於一種利用有機物可激光反應原理作為檢測基礎之螢光自動光學檢查機。
自動光學檢測(AOI)為結合光學感測系統、訊號處理系統及分析軟體之檢測標準技術,應用層面涵蓋宇宙探測、航空、衛星遙測、生物醫學、工業生產品質檢測、指紋比對、機器人控制、多媒體技術,其原理係利用光學儀器取得成品的表面狀態,再以電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵,是屬於一非接觸式的檢查技術。
然而,由於自動光學檢測(AOI)係利用程式邏輯比對檢測,應用在檢測印刷電路板或也可以檢測其他電子產品有機物的殘留時,係以底銅面積被遮蔽的面積比率來檢測出瑕疵點,若底銅被異物遮蔽銅比例太小將出現漏測之情況,此時檢測出的瑕疵點作業人員必需再以顯微鏡確認,常會出現人為誤判之情形,如將氧化部分誤認為殘膠;是以,目前的自動光學檢測(AOI)技術仍然存在有其須改進之處。
有鑑於此,如何將上述缺失加以摒除,即為本案創作人所欲解決之技術困難點之所在;是而,本案創作人基於多年從事相關業界的經驗,經多年苦心孤詣潛心研究,試作改良,終於成功研發完成本案,並使本新型得以誕生,以增進功效者。
有鑒於上述之缺點,本新型提供一種螢光自動光學檢查機,藉此解決現有技術存在的問題,其包括有一基座、一光學攝像模組及一控制系統模組;一光學攝像模組,其係可多向移動,並具有一攝像單元、至少一發光單元、一第一鏡片、一第二鏡片及一光學鏡頭,第一鏡片係設於
光學攝像模組之頂面,而攝像單元係設於第一鏡片之上方,第二鏡片係斜設於第一鏡片之下方,光學鏡頭係設於第二鏡片下方,當發光單元之光束照射到第二鏡片時形成折射,再經光學鏡頭令發光單元之光束照射至待測品,使待測品產生至少一顏色之螢光反應,令待測品之圖像經由光學鏡頭、第二鏡片及第一鏡片進入攝像單元,藉此採集待測品不同顏色之螢光圖像,並顯示於顯示螢幕上。
本新型之主要目的為,利用有機物可激光反應原理作為檢測基礎之螢光自動光學檢查機,可大幅提昇檢測人員辨識瑕疵點之精確度。
1‧‧‧螢光自動光學檢查機
10‧‧‧基座
11‧‧‧Y軸軌道
12‧‧‧平台
121‧‧‧Z軸軌道
13‧‧‧X軸軌道
20‧‧‧光學攝像模組
21‧‧‧攝像單元
22‧‧‧發光單元
23‧‧‧第一鏡片
24‧‧‧第二鏡片
25‧‧‧第三鏡片
26‧‧‧光學鏡頭
30‧‧‧控制系統模組
31‧‧‧電腦主機
32‧‧‧顯示螢幕
40‧‧‧動力控制模組
41‧‧‧輸入/輸出介面
42‧‧‧伺服驅動器
A‧‧‧待測品
第一圖係本新型螢光自動光學檢查機之立體外觀圖。
第二圖係本新型螢光自動光學檢查機第一實施例之使用狀態示意圖。
第三圖係本新型螢光自動光學檢查機第二實施例之使用狀態示意圖。
第四圖係本新型螢光自動光學檢查機第三實施例之使用狀態示意圖。
為使 貴審查委員方便了解本新型之內容,及所能達成之功效,茲配合圖示列舉具體實施例,詳細說明如下:首先,請參閱第一圖,本新型螢光自動光學檢查機1之第一實施例,其包括:一基座10、一光學攝像模組20、一控制系統模組30及一動力控制模組40,其中基座10,係分作上、下座台,上座台兩側框架設有一Y軸軌道11,而Y軸軌道11上可移動的設有一平台12,且平台12上更設有一X軸軌道。
上述平台12上更設有一Z軸軌道121,而X軸軌道13係可垂直移動設於Z軸軌道121上。
請參照第二圖,光學攝像模組20,其係可移動的設於X軸軌道13上,並具有一攝像單元21、至少一發光單元22、一第一鏡片23、一第二鏡片24及一光學鏡頭26,第一鏡片23係設於光學攝像模組20之頂面,而攝像單元21係設於第一鏡片23之上方,第二鏡片24係斜設於第一
鏡片23之下方,光學鏡頭26係設於第二鏡片24下方。
上述發光單元22之前方更設有一第三鏡片25,其係為一激發光濾鏡(Excitation Filter),使發光單元22之光束先透過第三鏡片25,再依序投射至第二鏡片24及光學鏡頭26而至待測品A上。
上述發光單元22係為至少一發光二極體。
上述第一鏡片23係為放射光濾鏡(Emission Filter)。
上述第二鏡片24係為雙色鏡(Dichromatic Mirror)或分光鏡(Beam Splitter)。
請參照第一圖,控制系統模組30,係由一電腦主機31與一顯示螢幕32所組成,電腦主機31內建有邏輯程式(圖中未示)及設有一資料庫(圖中未示),且電性連接光學攝像模組20及顯示螢幕32。
一動力控制模組40,係由一輸入/輸出介面及41至少一伺服驅動器42所組成,其中至少一伺服驅動器42係電性連接輸入/輸出介面41。
請參照第二圖,係為第一實施例之使用狀態示意圖。發光單元22之光束先透過第三鏡片25,再照射到第二鏡片24時形成折射,令光束經光學鏡頭26後,再照射至待測品A,使待測品A產生至少一顏色之螢光反應,令待測品A之圖像經由光學鏡頭26、第二鏡片24及第一鏡片23進入攝像單元21,藉此採集待測品不同顏色之螢光圖像,並顯示於顯示螢幕32上。
請參照第三圖,係為本新型之第二實施例之使用狀態示意圖。由於第二實施例之結構及元件多與第一實施例相似,故相同處之結構及元件不再贅述,其不同處在於:本創作可視實際情形裝或不裝設第三鏡片25,第二實施例中則為未裝設第三鏡片25,因此,當發光單元22之光束於照射到第二鏡片24後形成折射,使光束經光學鏡頭26後而照射在待測品A上,使待測品A產生至少一顏色之螢光反應,令待測品A之圖像經由光學鏡頭26、第二鏡片24及第一鏡片23進入攝像單元21,藉此採集待測品A不同顏色之螢光圖像,並顯示於顯示螢幕32上。
請參照第四圖,係為本新型之第三實施例之使用狀態示意
圖。由於第三實施例之結構及元件多與第一實施例相似,故相同處之結構及元件不再贅述,其不同處在於:第三實施例必須裝設有第三鏡片25,且發光單元22改為使用一全波長光源,如金屬鹵素燈、hg燈、Xe燈或多重固態光源等。當發光單元22經過第三鏡片25時,能濾出不同波段的特殊波長光,此特殊波長光經第二鏡片24反射後,經光學鏡頭26垂直照設於待測品A上,待測品A經不同波長光照射後,會發出不同顏色之螢光反應,此螢光反應經光學鏡頭26並通過第二鏡片24及第一鏡片23,進入攝像單元21,並於顯示螢幕32上成像。
上列詳細說明係針對本新型之一可行實施例之具體說明,惟實施例並非用以限制本新型之專利範圍,凡未脫離本新型技藝精神所為之等效實施或變更,均應包含於本案之專利範圍中。
綜上所述,本新型在突破先前之技術結構下,確實已達到所欲增進之功效,且也非熟項技藝者所易於思及,再者,本新型申請前未曾公開,其所具之進步性、實用性,顯已符合新型專利之申請要件,爰依法提出新型申請,懇請 貴局核准本件新型專利申請案,以勵創作,至感德便。
1‧‧‧螢光自動光學檢查機
10‧‧‧基座
11‧‧‧Y軸軌道
12‧‧‧平台
121‧‧‧Z軸軌道
13‧‧‧X軸軌道
20‧‧‧光學攝像模組
21‧‧‧攝像單元
26‧‧‧光學鏡頭
30‧‧‧控制系統模組
31‧‧‧電腦主機
32‧‧‧顯示螢幕
40‧‧‧動力控制模組
41‧‧‧輸入/輸出介面
42‧‧‧伺服驅動器
Claims (9)
- 一種螢光自動光學檢查機,其包括有一基座,係分作上、下座台,上座台兩側框架設有一Y軸軌道,而該Y軸軌道上可移動的設有一平台,且該平台上更設有一X軸軌道;一光學攝像模組,其係可移動的設於該X軸軌道上,並具有一攝像單元及至少一發光單元,其中該發光單元係用以將光束照射於至少一待測品上,而該攝像單元係可自動掃描待測品以採集至少一圖像;一控制系統模組,係由一電腦主機與一顯示螢幕所組成,該電腦主機內建有邏輯程式及設有一資料庫,且電性連接該光學攝像模組及該顯示螢幕;一動力控制模組,係具有一輸入/輸出介面及至少一伺服驅動器,其中該至少一伺服驅動器係電性連接該輸入/輸出介面;其特徵在於:該平台上更設有一Z軸軌道,而該X軸軌道係可垂直移動設於該Z軸軌道上,並利用該動力控制模組分別控制該X軸軌道、該Y軸軌道及該Z軸軌道;該光學攝像模組內更設有一第一鏡片、一第二鏡片及一光學鏡頭,該第一鏡片係設於該光學攝像模組之頂面,而該攝像單元係設於該第一鏡片之上方,該第二鏡片係斜設於該第一鏡片之下方,該光學鏡頭係設於該第二鏡片下方,當該發光單元之光束照射到該第二鏡片時形成折射,再經該光學鏡頭令該發光單元之光束照射至待測品,使待測品產生至少一顏色之螢光反應,令該待測品之圖像經由該光學鏡頭、該第二鏡片及該第一鏡片進入該攝像單元,藉此採集待測品不同顏色之螢光圖像,並顯示於該顯示螢幕上。
- 如請求項1所述之螢光自動光學檢查機,其中該發光單元之前方更設有一第三鏡片,其係為一激發光濾鏡(Excitation Filter),使該發光單元之光束先透過該第三鏡片,再依序投射至該第二鏡片及該光學鏡頭而至待測品上。
- 如請求項1所述之螢光自動光學檢查機,其中該第一鏡片係為放射光濾鏡(Emission Filter)。
- 如請求項1所述之螢光自動光學檢查機,其中該第二鏡片係為雙色鏡(Dichromatic Mirror)或分光鏡(Beam Splitter)。
- 如請求項1所述之螢光自動光學檢查機,其中該發光單元係為至少一發光二極體。
- 一種螢光自動光學檢查機,其包括有一基座,係分作上、下座台,上座台兩側框架設有一Y軸軌道,而該Y軸軌道上可移動的設有一平台,且該平台上更設有一X軸軌道;一光學攝像模組,其係可移動的設於該X軸軌道上,並具有一攝像單元及至少一發光單元,其中該發光單元係用以將光束照射於至少一待測品上,而該攝像單元係可自動掃描待測品以採集至少一圖像;一控制系統模組,係由一電腦主機與一顯示螢幕所組成,該電腦主機內建有邏輯程式及設有一資料庫,且電性連接該光學攝像模組及該顯示螢幕;一動力控制模組,係由一輸入/輸出介面及至少一伺服驅動器所組成,其中該至少一伺服驅動器係電性連接該輸入/輸出介面;其特徵在於:該平台上更設有一Z軸軌道,而該X軸軌道係可垂直移動設於該Z軸軌道上,並利用該動力控制模組分別控制該X軸軌道、該Y軸軌道及該Z軸軌道;該光學攝像模組內更設有一第一鏡片、一第二鏡片、第三鏡片及一光學鏡頭,該第一鏡片係設於該光學攝像模組之頂面,而該攝像單元係設於該第一鏡片之上方,該第二鏡片係斜設於該第一鏡片之下方,該光學鏡頭係設於該第二鏡片下方,該第三鏡片係設於該發光單元之前端,該發光單元之光束先透過該第三鏡片,當光束照射到該第二鏡片時則形成折射,再經該光學鏡頭令該發光單元之光束照射至待測品,使待測品產生至少一顏色之螢光反應,令該待測品之圖像經由該光學鏡頭、該第二鏡片及該第一鏡片進入該攝像單元,藉此採集待測品不同顏色之螢光圖像,並顯示於該顯示螢幕上。
- 如請求項6所述之螢光自動光學檢查機,其中該第一鏡片係為放射光濾鏡(Emission Filter)。
- 如請求項6所述之螢光自動光學檢查機,其中該第二鏡片係為雙色鏡(Dichromatic Mirror)或分光鏡(Beam Splitter)。
- 如請求項6所述之螢光自動光學檢查機,其中該發光單元係為至少一全波長光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW103200857U TWM479415U (zh) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | 螢光自動光學檢查機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW103200857U TWM479415U (zh) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | 螢光自動光學檢查機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWM479415U true TWM479415U (zh) | 2014-06-01 |
Family
ID=51394743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW103200857U TWM479415U (zh) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | 螢光自動光學檢查機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWM479415U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI550264B (zh) * | 2014-10-17 | 2016-09-21 | Hitachi Ltd | Oil leakage detection device and method |
TWI830022B (zh) * | 2021-05-07 | 2024-01-21 | 由田新技股份有限公司 | 螢光影像檢測系統 |
-
2014
- 2014-01-15 TW TW103200857U patent/TWM479415U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI550264B (zh) * | 2014-10-17 | 2016-09-21 | Hitachi Ltd | Oil leakage detection device and method |
TWI830022B (zh) * | 2021-05-07 | 2024-01-21 | 由田新技股份有限公司 | 螢光影像檢測系統 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102468234B1 (ko) | 심층 합성곱 신경망을 이용한 레이저 가공 시스템의 가공오류 검출 시스템 및 방법 | |
CN110389021B (zh) | 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法 | |
JP6507653B2 (ja) | 検査装置及び検査装置の制御方法 | |
JP6570977B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
TWI484164B (zh) | Optical re - inspection system and its detection method | |
US10579890B2 (en) | Automatic alignment of a 3D model to a test object | |
JP2014038045A (ja) | 検査装置、照明、検査方法、プログラム及び基板の製造方法 | |
CN104101611A (zh) | 一种类镜面物体表面光学成像装置及其成像方法 | |
CN105627919A (zh) | 图像测量设备和测量设备 | |
JP2017040510A (ja) | 検査装置、検査方法および物体製造方法 | |
KR101203210B1 (ko) | 결함 검사장치 | |
TW201543023A (zh) | 濾除異物雜訊的亮點檢測設備及其方法 | |
JP2018205004A (ja) | 画像検査装置 | |
TW201428279A (zh) | 外觀檢查裝置,及外觀檢查方法 | |
TWM479415U (zh) | 螢光自動光學檢查機 | |
US20210295491A1 (en) | System and method for automated visual inspection | |
JP2015219085A (ja) | 基板検査装置 | |
TW201428278A (zh) | 外觀檢查裝置,及外觀檢查方法 | |
CN103453860A (zh) | 一种平面度视觉检测方法及其装置 | |
JP2020159862A (ja) | 分光カメラおよび検査システム | |
KR102678467B1 (ko) | 광학식 검사 장치 및 광학식 검사 방법 | |
JP2009264882A (ja) | 外観検査装置 | |
TWM453143U (zh) | 複合式光學檢測系統 | |
JP2020148735A (ja) | 検査装置 | |
JP2013036908A (ja) | 観察装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4K | Annulment or lapse of a utility model due to non-payment of fees | ||
MM4K | Annulment or lapse of a utility model due to non-payment of fees |