M431323 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係關於一種光學檢測系統，特別是指一種用 以檢測玻璃基板上的缺陷的光學檢測系統。 【先前技術】 近年來，由於智慧型手機的問世，帶動了整個觸控 面板產業的蓬勃發展，而具有觸控面板的電子產品顯然 已成為一種主流趨勢。為了因應觸控面板的龐大商機， 各家廠商皆極力提升產量與品質。其中，觸控面板主要 是由玻璃基板所構成，然而以往的觸控面板需求量不 大，因此玻璃基板的品管在現有的製程中，皆是以目視 的方式逐一檢測玻璃基板的缺陷，但此種檢測方式的效 率低’且容易隨著檢驗人員的主觀意識而造成判斷上的 誤差。 隨著觸控面板的需求量增加，以目視的檢測方式已 無法應付玻璃基板的產量與品質。而在玻璃基板的品質 方面’尚可以光學儀器來對玻璃基板進行檢測，以取代 現有的目視檢測’但光學儀器仍需要檢測人員操作，並 無法增加檢測效率而有效的提高產能。 緣此’本案創作人認為實有必要開發出一種新的光 學檢測系統’使其可有效的減少以目視的方式進行檢測 所造成判斷上的誤差，以及以自動化的系統來增加檢測 的效率’藉以增加玻璃基板的生產效率並降低人力成本。 【新型内容】 本創作所欲解決之技術問題與目的： 3 M431323 綜觀以上所述，在習知技術中，普遍存在著玻璃基 板需要以目視的方式檢視缺陷的數量與位置，也因此容 易^到檢測人員的主觀意識影響，使玻璃基板的品質誤 差範圍大。此外，由於觸控面板的需求大增，因此以人 力進行檢測的方式已無法應付大量生產的玻璃基板。 緣此，本創作之主要目的在於提供一種光學檢測系 統，其係利用正向檢測模組與斜向檢測模組來檢測出位 於玻璃基板之基板正面上的缺陷數量與分佈情形。
本創作解決問題之技術手段： 本創作為解決習知技術之問題所採用之技術手段係 提供-種光學檢_統，包含—輸送裝置、—正向檢測 杈組、一斜向檢測模組以及一控制介面。該光學檢測系 統係用以對一玻璃基板進行缺陷檢測，而玻璃基板具有 一基板正面與一基板背面。
上述之輸达裝置係沿一輸送方向輸送玻璃基板。正 向檢測模_設置於輸送裝置，且正向檢測模組包含一 ^光源與-正面取像元件，正向光源係對基板背面投 /正向光束，而正面取像元件係用以接收穿透玻璃基 ίΓ=光束，並據以產生—正面影像訊號。斜向檢測 =係设置於輸綠置’且斜向檢測模組包含一斜向光 斜面取像元件，斜向光源係對基板正面投射-斜 而斜面取像7^係用以接收經基板正面反射之 束，亚據以產生一斜面影像訊號。控制介面係電 〜ΐ正向檢測模組與斜向檢測模組，用以接收正面 ㈣號’並據以產生-正面缺陷影像 由上述之技術手段所延伸出的附屬技術手段之一 4 =於束與—垂直於輸送方向之基準線之間的角度 為，正向檢測ί:更手二 附術手段之- 正面投射出一輔助光束 ；、盥以對基板 向之基準叙_纽介於與—Μ於輸送方 為的附屬技術手段之-介於15〜30度Ϊ 运方向之基準線之間的角度 $上f之技術手段所延伸出的附屬技術手段之一 ί ίίϊ影像包含油墨區透光、針孔、印刷圖文、 Γ;至緣、崩邊、崩角、到痕、黑白點與凹凸點 、由上述之技術手段所延伸出的附屬技術手段之一 為丄斜面缺陷影像包含油墨區透光、針孔、印刷圖文、 髒污、鋸齒邊緣、崩邊、崩角、刮痕、黑白點與凹凸 其中至少一者。 ^ 由上述之技術手段所延伸出的附屬技術手段之一 為，檢測系統更包含一背向檢測模組，其係設置於輸送 裝置，且背向檢測模組包含一背向光源與一背面取像元 件，背向光源係用以對基板正面投射一背向光束，而背 面取像元件係用以接收穿透玻璃基板之背向光束，以產 生一背面影像訊號’而控制介面更電性連結於背向檢測 模組’以接收背面影像訊號’並據以產生一背面缺陷影 像；其中’背面缺陷影像包含油墨區透光、針孔、癖污二 刮痕與鏡面區透光其中至少一者。較佳者，背向光束盘 一垂直於輸送方向之基準線之間的角度介於5〜10度；此 外’背向檢測模組更包含一輔助光源，其係用以對基板 ίϊίΐΐ—辅助光束，且輔助光束與—垂直於輸送方 向之基準線之_角度介於15〜3〇度。 本創作對照先前技術之功效： 上敘述可知，相較於習知技術是_目視的方 板上的缺陷分布情形，由於本創作所提 ^ 測系統係彻正向檢測模組與斜向檢測模 ϋ自動化的方式來對玻璃基板進行光學檢測；因此， 效的增加檢測效率以提高玻祕板的產能，並且 私、、a,/動化來降低人力成本。此外，由於本創作之光學 二“，統疋以光學的方式進行檢測，因此不會因檢測人 =主觀的騎而產生誤差，可纽的提高玻璃基板的品 貝0 本創作所採用的具體實施例，將藉由以下之實施例 及圖式作進一步之說明。 【實施方式】 ^由於本創作所提供之光學檢測系統，可廣泛運用於 檢測各種玻璃基板的表面缺陷情形，其依據不同的玻璃 基板而有多種實施方式，故在此不再——贅述，僅列舉 其中較佳之實施例來加以具體說明。 ,請參閱第一圖至第五圖，第一圖係顯示本創作之光 學檢測系統之立體示意圖；第二圖係顯示本創作之光學 檢測系統之平面示意圖；第三圖係顯示以正向檢測模組 對玻璃基板進行檢測之平面示意圖；第四圖係顯示以斜 向檢測模組對玻璃基板進行檢測之平面示意圖；第五圖 係顯示以背向檢測模組對玻璃基板進行檢測之平面示意 M431323 圖。如圖所示，一種光學檢測系統1〇〇包含一輸送裝置 1、一正向檢測模組2、一斜向檢測模組3、一背向檢測 模組4以及一控制介面（圖未示）。其中，光學檢測系統 100係用以對一玻璃基板2〇〇進行缺陷檢測，而玻璃基 板200具有一基板正面2〇1與一基板背面202。 輸送裝置1包含一基座11與一測試平台丨2，測試 平台12係沿一輸送方向TD可往復移動地設置於基座 11 ’且測試平台12包含二穿槽12卜122以及複數個支 撐件123，而這些支撐件123係分布於穿槽12卜122的 周圍，藉以供玻璃基板200經由支撐件123的支撐而放 置於穿槽121(穿槽122亦可放置玻璃基板200，在此僅 以玻璃基板200放置於穿槽121來說明）；其中，由於玻 璃基板200係放置於測試平台丨2之穿槽12ι，且測試平 台12係沿輸送方向td可往復移動地設置於基座η，因 此使測试平台12沿輸送方向td輸送玻璃基板200。此 外，在本實施例中，玻璃基板2〇〇之基板正面2〇1係面 向上方’而基板背面202係面向下方。 正向檢測模組2包含一正向光源21、二輔助光源 22(圖中僅標示一個）以及一正面取像元件23。正向光源 21係設置於輸送裝置1之測試平台12下方，並在玻璃 基板200沿輸送方向TD移動到正向檢測模組2時，對 基板为面202投射一正向光束L21 ;辅助光源22係設置 於輪送裝置1之測試平台12上方，與正向光源21相對 應，以在玻璃基板200沿輪送方向TD移動到正向檢測 模組時，對基板正面201投射一辅助光束l22 ;正面 取像元件23係設置於輸送裝置丨之測試平台12上方， 並用以接收穿透玻璃基板200之正向光束L21以及自基 板正。面201反射之輔助光束L22，並據以產生一正面影 像訊號，而此正面影像訊號具有基板正面2〇1之影像。 7 M431323 其中，輔助光源22亦可只設置一個。 #則模組3包含一斜向光源31以及與一斜面取 ，仵2 °斜向光源31係設置於輸送裝置i之測試平 ^ λ, ^才對基扳正面201杈射一斜向光束L31 ; =面取像元件32係設置於輪送裝置〗之測試平台i2 光源31相對應，㈣接收減板正面 而此钭面j向光束⑶，麟以產生—斜面影像訊號， 而此斜面影像訊號具有基板正面201之影像。 42mHi測模組4包含—背向光源4卜二辅助光源 4i I: ίί:一個)以及一背面取像元件43。背向光源 送裝置1之測試平台12上方，並在玻璃 ^ &輪送方向TD移動到背向檢測模组4時， ίΪΪΪ 5投射：背向光束W1 ;輔助光源42係設置 ,jl^2 之測5式平台12下方，並在玻璃基板 200 Γ〇2^Ι+ 移動到f向檢測模組4時，對基板背面 20=身-輔助光束L42 ;背面取像元# 43係設置於輸
Jill式平台12下方’並用以接收穿透玻璃基板 克L42以“及自基板背面搬反射之輔助光 Ϊ呈ΐ其if 一背面影像訊號，而此背面影像訊 =有基板为面202之影像。其中，輔助光源4 設置一個。 从控^介面（圖未示)係電性連結於正向檢測模組2、斜 “背向檢測模組4，以接收正面影像訊 ί以及为面影像訊號，並分別產生相對 =正面缺影像、斜面缺陷影像以及背面缺陷影像； 二中，正面缺陷影像包含油墨區透光、針孔、印刷圖文、 緣：崩邊、崩角、到痕、黑白點與凹凸點 ,、中至> -者，斜面缺陷影像包含油墨區透光、針孔、 8 M431323 印?圖文、、錫齒邊緣、崩邊、崩角、刮痕、黑白 點ΐ中至=者，#面缺陷影像包含油墨區透 先針孔鱗巧、刮痕與鏡面區透光其中至少一者。 以人具有通f知識者應能理解，控 t面^為設置於遠端的主機，且本實施例之 面的設置位置不會影響収向檢 2 =模 組3,向檢測模組4的運作，因此未顯示於= » τ/Γ芩閱第二圖，如圖所示，當玻璃基板200經由測 试平口 12沿輸送方向TD輸送而經過正向檢測模組2 時，正向光源21係對玻璃基板2〇〇之基板背面2〇2投射 正向光束L21，而正向光束L21與一垂直於輸送方向td 之基準線D1之間具有—傾角Θ21，而傾角Θ21之角度 介於0〜5度；輔助光源22對玻璃基板2〇〇之基板正面 201所投射之輔助光束L22與基準線〇1之間具有一傾角 Θ22,而傾角Θ22之角度介於〜3〇度；其中，藉由正 向光束L21自基板背面202穿透玻璃基板2〇〇而由基板 正面201透射出，可以使正面取像元件23接收到基板正 面201之影像’而輔助光源22對基板正面2〇1所投射之 辅助光束L22，可以強化位於基板正面2〇1之缺陷的對 比度’藉以使缺陷於正面缺陷影像中更為明顯。 請參閱第四圖，如圖所示，當玻璃基板200經由測 試平台12沿輪送方向TD輪送而經過斜向檢測模組3 時’斜向光源31係對玻璃基板200之基板正面201投射 斜向光束L31’而斜向光束L31與一垂直於輸送方向td 之基準線D2之間具有一傾角Θ 3 ’而傾角0 3之角度介 於15〜30度。 請參閱第五圖，如圖所示’當玻璃基板2〇〇經由測 試平台12沿輸送方向TD輸送而經過背向檢測模組4 9 M431323
時，背向光源41係對玻璃基板200之基板正面201投射 背向光束L4卜而背向光束L41與一垂直於輸送方向TD 之基準線D3之間具有一傾角041，而傾角Θ41之角度 介於5〜10度；辅助光源42對玻璃基板200之基板背面 2 〇 2所投射之輔助光束L 4 2與基準線D 3之間具有一傾角 Θ 42,而傾角0 42之角度介於15〜30度；其中，藉由背 向光束L41自基板正面201穿透玻璃基板2〇〇而由基板 背面202透射出，可以使背面取像元件43接收到基板背 面202之影像，而輔助光源42對基板背面202所投射之 輔助光束L42，可以強化位於基板背面2〇2之缺陷的對 比度’藉以使缺陷於背面缺陷影像中更為明顯。 請參閱第六圖，第六圖係顯示本創作另一較佳實施 例之光學檢測系統立體示意圖。如圖所示，一光學檢測 系統10G’更設有-取放裝i 3〇〇，其制以將玻璃基板 200移動至一測試平台12,上，且光學檢測系統1〇〇，所包 含之一控制介面5’係設置於一輪送裝置丨，之側面。
相信舉凡在所屬技術領域巾具有通常知識者在 =上所揭露之技術後，應更可輕易理解，藉由本創作 ，供之光學檢測系統，可以系統化的方式自動對玻 測’而光學檢測可以有效的檢測出玻璃i ===統可以提高玻璃基板的‘S’ 之利^述;，本創作確具產業上 實施例說明’舉凡所屬二:=日’僅為本創作之較佳 依據本創作之上述實施例說明、二通常知識者當可 田仍屬於本創作之創作精神及界定之專利範 10 M431323 【圖式簡單說明】 第一圖係顯示本創作之光學檢測系統之立體示意圖； 第二圖係顯示本創作之光學檢測系統之平面示意圖； 第三圖係顯示以正向檢測模組對玻璃基板進行檢測 之平面示意圖； 第四圖係顯示以斜向檢測模組對玻璃基板進行檢測 之平面示意圖； 第五圖係顯示以背向檢測模組對玻璃基板進行檢測 之平面示意圖；以及 第六圖係顯示本創作另一較佳實施例之光學檢測系 統立體不意圖。 【主要元件符號說明】 100 、 100’ 光學檢測系統 200 玻璃基板 201 基板正面 202 基板背面 300 取放裝置 1 > Γ 輸送裝置 11 基座 12、12， 測試平台 121 ' 122 穿槽 11 M431323
123 支樓件 2 正向檢測模組 21 正向光源 22 辅助光源 23 正面取像元件 3 斜向檢測模組 31 斜向光源 32 斜面取像元件 4 背向檢測模組 41 背向光源 42 辅助光源 43 背面取像元件 5, 控制介面 D1 > D2 > D3 基準線 TD 輸送方向· L21 正向光束 L22 輔助光束 L31 斜向光束 L41 背向光束 L42 輔助光束 02卜 Θ22、03、6>41、 6» 42 傾角 12