TWM411569U - Testing probe and probe retaining base - Google Patents

Description

M411569 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 座 本創作係、’用以測試半導體晶圓等元件之探針與探針固定 【先前技術】 界之電i(ite8Lated circuit，ic)晶片（待測元件)和測試儀 由和待測元件接觸並將所探測訊號傳送 寻知待測元件是否為良品，因此-直以來娜 發3不？ίίί是密何分，探針的設計因應不同的1c世代而 出的探針勢必得滿^此微。’要能在競爭的市場上脫穎而 接觸咖針下壓以 針的損耗。另—種習知的探 件的磨損或是探 無法符合微H的'ί/。加而且所製成的探針尺寸過大， 因此，-種具有彈性而且尺寸微小的探針實為業界所冀望。 【新型内容】 試探本創作提供—麵試探針，狀包含該測 1』、本創作之第一實施例，提供一 對一待測元件進行垂直測試。 /八奴針。該探針用以 的f曲彈性結構;第一針頭，二“:彈性部，具有帶狀 端，並用以接觸 3 M411569 ‘針第;j頭斜=轉性部之另-端。另外，該 —針_4!^ ΐί r針頭與該彈性部係—體成形，且該第 依照本二^第:略小於該彈性部的寬度。 定座包含：」n提供一種探針固定座心亥探針固 測試探;:針===; 係略自對應的該導引槽内，且該導引槽之寬度 關，iff助容僅和本創作所揭露之多個實施例的—部分相 範圍中以限制本創作之範# ’其係在本創作之申請專利 隨附圖式料及其他_將在1^實施方式中偕同 【實施方式】 以下將參知附圖洋細說明本創作之實施例。 ”本創作之第一實施例係關於一種測試探針。請參照圖丨，其呈 現楝針1—之示意圖。探針i係置於探針固定座(如圖句内以對待測 兀，進行垂直測試。舉例而言’在本實施射，探針〗係由微機 電系統(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)技術製成，此種 鲁探針製造技術具有製程精確、大量製造以及微型化等等之優點， 因而吾人可使用由此種製造技術所製成之探針來測量具有2〇微米 (μιη)以上之接點間距(pitch)的各式電子元件，例如微型的印刷電路 板(printed circuit board，PCB)、微型的積體電路(integratecl circuit 1C)晶粒或半導體晶圓等等。 ’ 如圖1所示，探針1包含第一針頭u、彈性部12與第二針頭 一 1Γ。第一針頭11與第二針頭11’係分別位於彈性部12的二端，且 . 第一針頭Η、彈性部12與第二針頭11，係一體成形的單一結構物。 另外，第一針頭11與第二針頭11，的寬度係分別略小於彈性部12 的寬度’而彈性部12的寬度定義了探針1的寬度。舉例而言，在 本實施例中，探針1的寬度可從20〇μιη小至20μιη，實際寬度則 M411569 '------ 該帶構 =的彈性部12具有帶狀彎曲彈性結構， 在探針i受力時^過t£p 3的彈賦予探針1彈性， 和目前業界所用的線形探 為緩衝，因而 而造成待測元件損壞，例二=^父可避免由所施加外力 ㈣所受外力與其變形量係===甚至將_彳破。彈性 F=K.X (公式 u 3=所^=則_、而又則是變形量。 可為約50〜15_，而:十二彈性部12針對晶圓測試的變形量 軸。除此之外，彈性邻12 測試的變形量則可為約0.3〜0.5 ^-彈性結構“^:所== 如本探針固定座，其包含複數個 之示意圖。探針固定座2包人=考圖4 ’其呈現探針固定座2 個探針i以及第二針頭定=/?；：針頭定位板21、本體22、複數 定位板21與第二針财位 ’而且本體22係介於第-針頭 測試當時_機台而有不同 5 M411569 作’故於此並不詳述。探針固定座2中的庐 如第-實施例中所描繪，故不再資述，與特徵誠 徵加以說明。 偟就弟一實軏例之特 於掇本體22具有複數個導引槽22卜1复声略士 在本實施例中，寬度略大於探針i的導舉例而言， 頭在本體22中鑽孔而形成，且導引槽221 ^ 型鑽 矩形或是圓形。探針固定座2的第—針方形、 一開槽2n’其寬度小於探⑴的寬度 固第 矩形或是圓形。舉例而言，在本實施例中，第方形、 的複數個第-開槽211係可藉由雷射形成’’第疋2丄上 板21之上視圖，呈現複數個第一開槽：為定位 ，矩陣’物的配置佈設則可依待測元件= :由雷射加工而形成寬度小於探針i的 板^⑦數個 其剖面雜可4謂、細彡。鱗，2 1 ’且 ====複數個導引槽-之配置 元件上接點的位置而定，所以由第一開槽211穿 ί位ί接點上以進行測試。在探針固定座2的 =3圖6Α與6Β所示，由第二針頭定位板^ 心: 職由轉接板5轉接後和測試儀器電氣連接， ^印刷電路板(PCB)、或甚至可透過微光職鑄模== ^成。原本在探針1之間的間距為數十,，但經由—接板$ 所作設之寬度遞增的銅落、或是透過多個轉接板5上間距依序 6 數m5上最終會和測試儀器連接之接點的 差異就可職探針丨麵針蚊座2巾\口^座2…料寬度之 個探i創：:篇口 ：二^

探針固定座3包含本體32與複數個探針lD 故不再瞽、t、巧針1之結構與特徵誠如第—實施例中所述， 故不再^下僅就第三實關之特徵加以說明。 定座3°之探針固定座2的本體22相似，探針固 寬产。兴你w 數個導引槽321 ’其寬度略大於探針1的 孔貫狀了可，方過微型鑽頭在本體32中鑽 在探针固定J H 為方形、矩形或是圓形。此外’ 各探針1、的彈性部12餘於各自對應的導引 I^q 罙針1能因應測試時所承受的外力而在導引槽321 PM上卜移動。 探針Ξ第二t施例的探針狀座2不同，在第三實施例中， 純91^座不具有探針定位板(例如探針固定座2的第一針頭定 代^是在探侧定座3巾本體32和轉接板5相 斑太雜πΐλ’错由點膠的方式以黏膠4將探針1的第二針頭1Γ ^在一起。舉例而言’在本實施例中，用於點膠的黏 胗4可為裱氧樹脂(ep〇xy)、熱熔膠或瞬間膠等等。 例 =針2概，探針固定座3可祕具有較大接點間距之 #測儿件’且成本較低而效率較高。 雖然本創作已參照上述特定健實施例與舉罐圖式欽述， M411569 惟其不應被視為具限制性。 精神與範疇下，當可對ι 本技術者在未脫離本創作之直實 ==述所限制，所有與以 定 改因此本 應包含於本創作中 圖式簡單說明】 在隨附赋巾’ _的元刺叫目_參考符號加以標 不 其中 作第—實酬，呈雜針的示意圖； 簡圖圖餘…、本創作第一實施例，呈現探針的針頭之端部形狀 的示=係依照本創作第—實施例，呈現探針於受力與未受力時 ，4係依照本創作第二實施例，呈現探針固定座之示. 板之依照本I則二實細，呈_㈣定朗^定位 板連本鋪^實細，呈現探仙定座和—個轉接 圖6Β係依照本創作第二實施例，呈現探針固定座和多個 板連接之示意圖；以及 得钱 圖7係依照本創作第三實施例，呈現和—個轉接板 一探針固定座之示意圖。 、另 【主要元件符號說明】 1 探針 Η 第一針頭 12 彈性部 11’第二針頭 1Η第一端部 8 M411569 121 節距 111， 第二端部 2 探針固定座 21 第一探針定位板 22 本體 21， 第二探針定位板 211 第一開槽 221 導引槽 211， 第二開槽 3 探針固定座 32 本體 4 黏膠 5 轉接板

Claims (1)

1. M411569 六、申請專利範圍： 探針’用⑽—待測元件進㈣直測試，該探針包含·· 了弹性。卩，具有帶狀的彎曲彈性結構； 以及第針頭位於該彈性部之—端，並用以接觸該待測元件； 第二針頭，位於該彈性部之另一端， 二針頭與該彈性部係-體成形，以及 的寬度。/針頭一第—針碩的寬度係分別略小於該彈性部 2.如申請專利範圍以項之 彈性部的寬度來定義，且忒探針的寬度是由該 米之間。 義且雜針的寬度制介於20微米與微 其中該探針的剖 測試探針， 針，其中該第-針頭 別端部之形狀為_、卿,^針頭的個 —財娜部的 以該彈性部的 7· —種探針固定座，包含： 本體，具有複數個導引槽，以及 10 申請專利範_丨至6項其中任—賴述之 探針的該彈性部係位於各自對應的該導引槽内， ，、中邊導引槽之寬度係略大於該探針之寬度。 8狀項之細定座，其中_丨槽之剖面形 9二針如頭申:專 10.=_請專利範圍第8項之探針固定座，更包含： 針頭定位板，具有複數個第-開槽，以及 ^一，頭定位板，具有複數個第二開槽， 間，.、中林體係介於該第—針頭定位板與該第二針歡位板之 而·^中Ϊ第—針頭係從該第—朗定位板的該第—開槽穿出， 係從該第二針職位板的該第二開槽穿出，以及 官I二開槽之寬度與該第二開槽之寬度係小於該探針之 脫二猎〜等寬度的差異，俾使該探針不從該探針固定座中滑 第1G項之探針固定座，其中該第—開槽與該 一 g槽之σ·〗面形狀為方形、矩形或圓形。 利範圍第10項之探針固定座，其中該第一開槽、該 陣了汗θ以及該導引槽係彼此搭配而配置成具有預定間距之矩 第9至12項其巾任—項之探針固定座，其中 〜木μ —針碩係經由一個轉接板轉接，以利和一測試儀器 M411569 電氣連接。 14.如申請專利範圍第9至12項其中任一項之探針固定座，其中 該探針的該第二針頭係經由多個轉接板轉接，以利和一測試儀器 電氣連接。 七、圖式： 12