、M329239 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作是關力一種用來吸附支持i搬運半導體晶 圓、玻璃基板、金屬碟片等平板基板的真空鑷夹用吸附片 及真空鑷夹，尤其是關於—種真空錯夹用吸附片及真空錯 爽’當以固定間隔收納於收納容器的複數片平板基板中一 片一片地取出平板基板或者將平板基板一片一片地收納於 收納容器_，可使用此種真空錄夾用吸附片及真线爽。 【先前技術】 當從以固定間隔收納於收納容器的複數片平板基板 一片地取出平板基板或者將其一片一片地收納於收納 ，态中時所使用的真空鑷夾可能為如第3圖所示的構造。在 第3圖所示的真空鑷夾的鑷夾本體1〇的先端上，有吸附片 透過連接it件30來連接。鑷夾本體1()為在吸附支持平板基 板時讓作業員把持的部分，吸附片2〇的表面和平板基板接 觸並吸附至其上。 吸附片20形成在作為吸附面i之表面開口的的吸附口 2於内邛形成内部吸附管路3。内部吸附管路3和吸附口 2 連通，並且，從設置於吸附片2〇之鑷夾本體1〇那側之側面 部的開口（連接口）連通至形成於連接元件3〇及鑷夾本體1〇 之内部的吸附管路4。吸附管路4為連接至幫浦4〇來得到吸 附作用的構造。 如同收納於載具的半導體晶圓，當從以固定間隔來收 5 M329239 、、内的平板基板t取出-片時，在以固定間隔排列的平板基 板之間插入吸附片20，使吸附面!和平板基板的背面接觸， 同夺吸附支持其♦面。此時，若將吸附片深深地插入平 板基板之間的間隙，與即將進行吸附之平板基板之背面那 側鄰接的平板基板的表面接觸的可能性提高。因此，習知 •之吸附片20如第4圖所示’為了使插人平板基板之間之狹窄 •間隙的插入尺寸為固定，在構造上包括一止動器其從即 將進行吸附之平板几件之表面突起（如特開平㈣7公 報又’在構造上包括—用來固定平板基板的凹溝6(如實 開平5 - 2 914 9公報）。 【新型内容】 在習知之真空鑷夾中，於吸附片2〇上形成止動器5和 2 6，藉此，形成不使吸附片2〇插入超過需要之深度的構 w。不過，從吸附面丨之表面側突出的止動器5或凹溝6會遮 住作業員的視線。另一方面，在不包括止動器5等的平板狀 吸附片20上’插人尺寸不固^，與插人平板基板之間之吸 附片20之为面那側鄰接的平板基板表面接觸，導致刮傷、 ^染等情況’為不良的創作。尤其是當平板基板為已形成 半導體元件的半導體晶圓時，會導致良率下降，所以為不 良的創作。本創作的目的在提供一種真空鑷夾用吸附片及 真工鑷夾，其可在不遮住作業員視線的情況下，使吸附的 插入尺寸為固定。 為了達成上述目的，本創作之申請專利範圍第1項之 、M329239 真空錄夾用吸附片，構成和平板基板之其中一表面接觸並 吸附支持上述平板基板之真空鑷夾的先端部，其特徵在於 包括：平面狀表面部，包括銜接並吸附上述平板基板之其 中一表面的吸附口；上述吸附片内部之内部吸附管路，連 通至上述吸附口並連接至於内部包括吸附管路之上述真空 ，鑷夾的本體部；側面部，包括和上述吸附管路連接之上述 _内部吸附官路的連接口；及複數個突起部，於上述平面狀 表面部背面之上述侧面部那側從上述平面狀表面部的背面 那側突出並相互隔開配置。 本創作之申請專利範圍第2項之真空鑷夾用吸附片， 構成和平板基板之其中一表面接觸並吸附支持上述平板基 板之真空鑷夾的先端部，並具有導電性，其特徵在於包括： 平面狀表面部，包括銜接並吸附上述平板基板之其中一表 面的吸附口；上述吸附片内部之内部吸附管路，連通至上 述吸附口並連接至於内部包括吸附管路之上述真空鑷夾的 本體部；4貝丨I而部，么L、丄、W »
本創作之申請專利範圍第3項之真空鑷夾，用來吸附 支持平板基板，其特徵在於包括：錄夾本體部， 7 M329239 片内部之内部吸附管路，連通至上述吸附口並連接至於内 部包括吸附管路之上述真空鑷夾的本體部；側面部，包括 和上述吸附管路連接之上述内部吸附管路的連接口；及複 數個突起部’於上述平面狀表面部背面之上述側面部那側 從上述平面狀表面部的背面那侧突出並相互隔開配置。 本創作之申請專利範圍第4項之真空鑷夾，用來吸附 支持平板基板，其特徵在於包括：鑷夾本體部，於内部包 括吸附管路4導電性吸附片，連接至該鑷夹本體部：端 並與上述平板基板接觸；該吸附片包括：平面狀表面部， 包括銜接並吸附上述平板基板之其中一表面的吸附口；上 述吸附片内部之内部吸附管路，連通至上述吸附口並連接 至於内部包括吸附管路之上述真空鑷夾的本體部丨側面 部，包括和上述吸附管路連接之上述内部吸附管路的連接 口；及複數個突起部，於上述平面狀表面部背面之上述側 面部那側從上述平面狀表面部的背面那侧突出並相互隔開 配置。 本創作之申請專利範圍第5項之真空鑛失，用來吸附 支持半導體晶圓，其特徵在於包括：冑夹本體部，於内部 包括吸附管路；及導電性吸附片，連接至該鑷夾本體部先 :並與上述半導體晶圓接觸；該吸附片包括：+面狀表面 部：包括銜接並吸附上述半導體晶圓之其中—表面的吸附 口；上述吸附片内部之内部吸附管路，連通至上述吸附口 並連接至於内部包括吸附管路之上述真空鑷夾的本體部； 側面部’包括和上述吸附管路連接之上述内部吸附管路的 ^ M329239 連接口；及複數個突起部，於上述平面狀表面部背面之知 上述側面部那側&上述平面狀表面部的背面那㈣突出並相 互隔開配置。 本創作之申請專利範圍第6項之真空鑷夾，用來吸附 支持已形成半導體元件之半導體晶圓，其特徵在於包括： •錄夾本體部，於内部包括吸附管路；及吸附片，連接至該 鑷夾本體部先端並與上述半導體晶圓接觸；該吸附片包 籲括+面狀表面部’包括銜接並吸附上述半導體晶圓之其 中一表面的吸附口；上述吸附片内部之内部吸附管路，連 l至上述吸附口並連接至於内部包括吸附管路之上述真空 鑷夾的本體部’側面部，包括和上述吸附管路連接之上述 内口p吸附吕路的連接口；及複數個突起部，於上述平面狀 表面^月φ之上述侧面部那侧從上述平面狀表面部的背面 那側突出並相互隔開配置。 μ本創作之申請專利範圍第7項之真空鑷夾在如申請專 • 範圍第5或6項之真空鑷夹中的特徵為，上述突起部由2 在尺寸上可接觸±述半導體晶圓<定向+面部的尺寸且 ^隔開配置的突起部所組成。 【實施方式】 ]作之真空鑷夾的構造和習知例相同，在於内部包 路的❹本體部的先端上，連接有吸附片。另外， :工鑷夾之先端部的本創作之真空鑷夾用吸附 造則和習知例π Η W π 冋，於月面那側包括突起部。此突起部當 9 * M329239 從以固定間隔收納的福盤 是數片平板基板中一片一片地取出或
將之收納於内時，和鄰垃从丁，上# L A 々冲接的平板基板接觸，吸附片插入平 板基板之間的狹窄間）¾、沾把 丄 & 卞叫I象的插入尺寸設為固定。又，突起部 相互間隔而配置，不會濟社从I , «遮住作業貝的視線。以下將詳細說 明本創作之實施例。 第1實施例 首先，說明本創作之真空鑷夾用吸附片。此外，本創 作中所謂的正面，是指可以看得到吸附面丨之全面且在吸附 面1之下部设置吸附口的面，之後將以此正面為基準來決定 上下及别後左右。第1圖為本創作之真空鑷夾用吸附片的說 明圖，第1(A)圖為吸附片20的正面圖，第i(B)圖為本創作 之吸附片20的背面圖，第1(c)圖為本創作之吸附片2〇的右 側面圖，第1(D)圖為本創作之吸附片2〇的平面圖，第 圖為本創作之吸附片20的底面圖，第1(F)圖為從左側及平 面這側來表示本創作之吸附片20之背面的立體圖，第1(G) 圖為從右側及底面這側來表示本創作之吸附片2 〇之正面的 立體圖，第1(H)圖為本創作之吸附片2〇之第1(a)圖中之 a-a’面的剖面圖。 吸附片2 0的表面作為與欲吸附之平板基板之其中一 表面（例如平板基板的背面）接觸的吸附面1。如第1圖所 示’吸附面1之其中一部分形成具有凹狀缺口的吸附口 2(參 照第1(A)圖、第1(G)圖、第1(H)圖）。吸附口 2連通至形成 於吸附片20之内部的内部吸附管路3(參照第1(d)圖、第1(G) 圖、第1(H)圖）。内部吸附管路3的另一端於吸附片2〇上部 10 M329239 的侧面部7上開口（參照第1(F)圖、第1(H)圖）。此開口和後 面將敘述之第3圖所示的習知例相同，作為透過連接元件3〇 和形成於真空鑷夾之本體部内部的吸附管路連接的連接口 3A(參照第1(B)圖、第1(c)圖、第kf)圖、第j⑻圖）。在 本創作之吸附片20中，作為吸附面j的表面為平板狀，於背 .面包括突起部8這一點和習知例不同（參照第1 (B)圖至第 • 1 (H)圖）。突起部8以相互間隔的方式來配置為其一大特徵 (參照第1(B)圖、第1(D)圖至第kg)圖 • 本創作之吸附片2G當如後面所述地連接至真空錄夹 之先知來使用時，在作為吸附面丨之表面側不會遮住作業員 的視線，可-面看著欲吸附之平板基板之表面及背面，_ 面作業。另一方面，背面那側有突起部8以相互間隔的方式 «又置，所以，可一面看著從突起部8之間吸附的平板基板的 背面和與背面那側鄰接的平板基板的表面，一面作業，工 作性非常優良。 驗本創作之吸附片20為非常簡單的構造，所以，可由導 -電性樹脂來形成。使用導電性樹脂可防止吸附片2〇帶電， -進而防止因吸附片20上附著帶電物質而污染了平板基板以 及帶電的電荷對平板基板有影響，是理想的選擇。導電性 樹脂可使用-般使用於無塵室内的樹脂。具體來說，主要 可使用揉混環狀稀氫共聚物和碳纖維的樹脂，也可選擇其 他不因摩擦或碰撞而產生灰塵的材料。 “ 第2實施例 接著，說明本創作之直介μ + ,.. + j< 異空鑷夾。在第1實施例中說明 11 .M329239 過的吸附片20如第3圖所示’透過連接元件3()連接至錄夹本 體部Π)及幫浦40’藉此，構成真空錄夹。現在使用第】圖來 說明使用本創作之真空鑷夾從以固^間隔收納之複數片平 板基板中-片-片地取出平板基板的情況。如第2圖所示， 在以固定間隔收納的複數片平板基板5〇之中，於欲取出的 平板基板50a的背面那側插入吸附片2〇。若以固定的尺寸插 入，和平板基板50a之背面那側鄰接的平板基板5〇b的端部 和突起部8接觸，吸附片2〇不會再更深入。此時，形成於吸 附面1上的吸附口 2在突起部8之形成位置的下側形成，所 以，吸附面1吸附至平板基板5〇a的背面，於是可取出平板 基板5 0 a。 在第1實施例中所說明過的吸附片2〇中，作為吸附面i 的表面那側為平板狀，所以，不會遮住作業員的視線，可 一面看著平板基板5〇a的表面及背面，一面作業。另一方 面，在背面那側，如第2圖所示，2個突起部8相互間隔而設 置，所以，可一面從突起部8之間看著平板基板5〇a的背面 及平板基板50b的表面，一面作業。於是，可達成吸附片2〇 不接觸平板基板5 0 b表面的精細作業。 如第2圖所示，突起部8的下部和所鄰接的平板基板 50b的端部接觸之後而吸附平板基板5〇a，所以，若配合鄰 接突起部8之下部的平板基板5〇b的端部來配置，可經常在 固疋的插入位置來吸附平板基板5 〇 a，進而可對吸附不良等 情況防患未然。 此外’第2圖為平板基板5 〇的一例，揭示取出半導體 12 M329239 晶圓的情況。在半導體晶圓上的外周的其中一呷八 的半導體晶圓的上端部），形成了定向 第2圖 I叫卟。另外，告胳 半導體晶圓收納於載具時，一般將該定向 田、 丁 ¢3 4罪上側斜 齊，以固定的間隔來收納。因此，本創作之真空鑷夹之突 起部8如第2圖所示，以和定向平面部接觸的方式來配置 亦即，使2㈣起部8的間隔尺寸比定向平面部的尺寸（ 中為直線部分的尺寸）窄，藉此，可在幾乎是固定的位置: 附半導體晶圓，此為理想的做法。 曰。本創作之真空錄夾用吸附片及真空鱗夾除了半導體 晶圓之外，也可用在搬運玻璃基板、金屬碟片等平板狀基 板的用途上。 土 【產業上可利性】 連接有本創作之吸附片的真空鑛夾包括突起部，藉 此，可使吸附片20的插入尺寸為固定。 9 又，連接有本創作之吸附片20的真空鑷夹完全沒有於 吸附月之吸附面那側遮住視線的突出部分，所以，可一面 看著欲吸附的平板基板的表面及背面，一面作業。另一方 面，在吸附面之背面那側，包括複數個突起部，'但是各個 突起部以間隔的方式來設置’所以’可一面看著從該間隙 吸附的平板基板的背面及鄰接背面那側的平板基板的表 面’-面作業。於是’當吸附平板基板時，鄰接的平板基 板的表面上不會產生到傷或污染。尤其是當平板基板為已 形成半導體元件的半導體晶圓時，不會導致良率下降，所 以為理想的創作。 13 M329239 ，再者，若使用吸附片具有導電性’可防止吸附片帶 電，進而防止因附著帶電物質而污染平板基板或帶電的電 ::平板基板有影響。當平板基板為半導體晶圓時，尤其 疋當其為已形成半導體元件的半導體晶 或靜電破壞半導體元件，所以為理想的創作。 再者，當使用本創作之真空鎖夾吸附支持包括定向平 /曰=定向平面部靠上側對齊而收納於載具之中的半導 體日日0時，若根據2個突起部 開來μ署^疋向千面部接觸的尺寸間隔 置’會使吸附位置在收納Μ具的半導體晶圓之間 為近乎固定，所以為理想的創作。 圖式簡單說明】 第1(A)〜（Η)圖為本創作 說明 圖 。 具工鑷夾用吸附片的 第2圖為使用本創作之直处 來之複數片平板基板中取出^夾從㈣定間隔收納起 圖。 出一片一片之平板基板的說明 第3圖為習知之真空鑷夾的說明圖。 第4(Α)、（Β)圖為習知之直* ”二鑷失用吸附片的說明圖。 【主要元件符號說明】 1 吸附面 2 吸附口 3 内部吸附管路 M329239 3A連接口 4 吸附管路 5 止動器 6 凹溝 7 側面部 8 突起部 1 0鑷夾本體部 " 20吸附片 • 30連接元件 40幫浦 50，50a，50b平板基板 15